JP5450538B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
半導体記憶装置は、ウェル上にトンネル絶縁膜を介して形成された浮遊ゲートに蓄積する電荷量を制御することにより電気的にデータを書き換え可能な複数のメモリセルを備える。半導体記憶装置は、前記ウェル、及び前記浮遊ゲート上に絶縁膜を介して形成された制御ゲートに電圧を印加する制御回路を備える。
図7は、メモリセルの消去動作時における、ウェル制御回路が出力する消去電圧の波形の一例を示す波形図である。なお、図7において、縦軸が消去電圧VERAであり、横軸が時間である。
図9に示すように、階段状に上昇する第1の消去電圧の段差(ΔVERA−step1)は、第2のパルス波P2の第2の消去電圧と、階段状に上昇する第1の消去電圧の最終値との差(ΔVERA)よりも小さくなるように設定されている。ここで、第1のパルス波P1は第1段ST1、第2段ST、第3段ST3、第4段ST4の4段の段差を有している。
次に、図10は、メモリセルの消去動作時における、ウェル制御回路が出力する消去電圧の波形のさらに他の例を示す波形図である。
図11に示すように、第3のパルス波P3の第3の消去電圧は、階段状に上昇する第2の消去電圧の最終値(第4段ST4−2)と等しく設定されている。
次に、図12は、メモリセルの消去動作時における、ウェル制御回路が出力する消去電圧の波形のさらに他の例を示す波形図である。
次に、図13は、メモリセルの消去動作時における、ウェル制御回路が出力する消去電圧の波形のさらに他の例を示す波形図である。
次に、図14は、メモリセルの消去動作時における、ウェル制御回路が出力する消去電圧の波形のさらに他の例を示す波形図である。
次に、図15は、メモリセルの消去動作時における、ウェル制御回路が出力する消去電圧の波形のさらに他の例を示す波形図である。
第2の実施形態として図16、図17を用いて説明する。第2の実施形態は、第1の実施形態に対してベリファイ動作の結果を次の消去電圧のパルス波形に反映させる点が、第1の実施形態と異なる。図16、図17は、メモリセルの消去動作時における、ウェル制御回路が出力する消去電圧の波形のさらに他の例を示す波形図である。
次に、ステップS5で決定したパルス数に応じたパルス波形を消去電圧としてウェルWell(p)、Well(n)に印加する(ステップS5→ステップS1)。
次に、図21、図22は、メモリセルの消去動作時における、ウェル制御回路が出力する消去電圧の波形の他の例を示す波形図である。
図22に示すように、先ず、ウェル制御回路10は、第1のパルス波P1をウェルWell(p)、Well(n)に印加する(ステップS11)。
2 ビット線制御回路
3 カラムデコーダ
4 データ入出力バッファ
5 データ入出力端子
6 ロウデコーダ
7 制御回路
8 制御信号入力端子
9 ソース線制御回路
10 ウェル制御回路
100 半導体記憶装置
Claims (9)
- ウェル上にトンネル絶縁膜を介して形成された浮遊ゲートに蓄積する電荷量を制御することにより電気的にデータを書き換え可能な複数のメモリセルと、
前記ウェル、及び前記浮遊ゲート上に絶縁膜を介して形成された制御ゲートに電圧を印加する制御回路と、を備え、
前記メモリセルの消去動作において、
前記制御回路は、第1の消去電圧の第1のパルス波を、前記ウェルに印加し、その後、第2の消去電圧の第2のパルス波を、前記ウェルに印加するものであり、
前記第1の消去電圧、及び第2の消去電圧は、それぞれ0Vに下がること無く階段状に上昇し、
0Vに下がること無く階段状に上昇する前記第2の消去電圧の初期値は、0Vに下がること無く階段状に上昇する前記第1の消去電圧の最終値よりも低い
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 前記第1のパルス波の第1のパルス幅は、前記第2のパルス波の第2のパルス幅よりも大きい
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 階段状に上昇する前記第2の消去電圧の最終値は、階段状に上昇する前記第1の消去電圧の最終値よりも高い
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 階段状に上昇する前記第2の消去電圧の段差は、階段状に上昇する前記第1の消去電圧の段差よりも小さい
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記メモリセルの消去動作において、
前記制御回路は、前記第2のパルス波を、前記ウェルに印加した後、第3の消去電圧の第3のパルス波を、前記ウェルに印加する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記第3の消去電圧は、前記第2の消去電圧よりも高いことを特徴とする請求項5に記載の半導体記憶装置。
- 前記第3の消去電圧は、階段状に上昇する前記第2の消去電圧の最終値と等しいことを特徴とする請求項5に記載の半導体記憶装置。
- 階段状に上昇する前記第2の消去電圧の段数は、階段状に上昇する前記第1の消去電圧の段数と異なる
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。 - ウェル上にトンネル絶縁膜を介して形成された浮遊ゲートに蓄積する電荷量を制御することにより電気的にデータを書き換え可能な複数のメモリセルと、
前記ウェル、及び前記浮遊ゲート上に絶縁膜を介して形成された制御ゲートに電圧を印加する制御回路と、を備え、
前記メモリセルの消去動作において、
前記制御回路は、第1の消去電圧の第1のパルス波を、前記ウェルに印加し、その後、第2の消去電圧の第2のパルス波を、前記ウェルに印加するものであり、
前記第1の消去電圧、及び第2の消去電圧は、それぞれ0Vに下がること無く階段状に上昇し、
前記ウェルへの前記第1のパルス波の印加と、前記ウェルへの前記第2のパルス波の印加との間に、前記メモリセルの消去が完了したか否かを検証する消去ベリファイが実行され、
前記消去ベリファイにより前記メモリセルの消去が完了していないと検証された場合に、前記制御回路は、前記メモリセルの閾値電圧のレベルに応じて、0Vに下がること無く階段状に上昇する前記第2のパルスの段数を変化させる
ことを特徴とする半導体記憶装置。
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