JP2002229044A5 - - Google Patents

Claims (26)

1. 第１の基板を保持する第１の保持板と第２の基板を保持する第２の保持板とを備え、処理室内に前記第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
   前記第１の保持板及び前記第２の保持板の少なくとも一方の吸着面には、前記第１の基板若しくは前記第２の基板を真空保持するための背圧と前記処理室内の圧力とを同圧にするための溝が設けられていることを特徴とするプレス装置。
2. 前記処理室内を大気圧から減圧するときに、前記第１の基板若しくは第２の基板を真空保持するための背圧と前記処理室内の圧力とを同圧にすることを特徴とする請求項１に記載のプレス装置。
3. 前記溝は、前記第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方の吸着面における所定の方向に沿って延びるように形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプレス装置。
4. 前記第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方の吸着面には、静電吸着のための誘電層と、前記吸着面から所定の深さに埋設された電極とが形成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載のプレス装置。
5. 前記処理室内に、対向させた前記第１の基板及び第２の基板を同時に搬入することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のプレス装置。
6. 処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
   前記第１の基板を保持する第１の保持板と、
   前記第２の基板を保持する第２の保持板と、
   前記第１の基板又は前記第２の基板上の位置合せマークを撮像する撮像装置と、
   前記第１の保持板と前記撮像装置とを移動させる第１の移動機構と、
   前記第２の保持板を移動させる第２の移動機構と
   を備える位置合せ装置を備えることを特徴とするプレス装置。
7. 前記位置合せ装置は、概略の位置合せと精密な位置合せとを行うこと
   を特徴とする請求項６に記載のプレス装置。
8. 処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
   前記第１の基板又は第２の基板よりも前に前記処理室に搬入された第３の基板における、前記第１の基板又は第２の基板と同じ位置に設けられた位置合せマークを撮像装置により撮像して該位置合せマークの第１の位置を求め、
   搬入した前記第１の基板又は第２の基板上の位置合せマークを前記撮像装置により撮像して該位置合せマークの第２の位置を求め、
   前記第１の位置と前記第２の位置との座標差分によって前記第１の基板及び第２の基板の位置合せを行うことを特徴とするプレス装置。
9. 前記第１の基板及び第２の基板を前記処理室に搬入する前に更に該第１の基板及び第２の基板の位置合せを行うことを特徴とする請求項６〜８の何れか一項に記載のプレス装置。
10. 前記処理室は２つの容器に分割されており、それぞれの容器には前記第１の基板を保持する第１の保持板及び第２の基板を保持する第２の保持板が設置され、一方の容器は位置合わせの際に移動可能な機構に取着され、他方の容器は前記処理室内を減圧した後に前記一方の容器と共に移動することを特徴とする請求項６〜９の何れか一項に記載のプレス装置。
11. 処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
    前記処理室内に設けられた上側の保持板を支持するための支持部材と、
    前記保持板に圧力を加える加圧手段と、
    前記加圧手段が加える加工圧を検出するロードセルと
    を備え、前記加工圧に基づいて、前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるときの圧力を制御することを特徴とするプレス装置。
12. 処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
    前記処理室内に設けられた上側の保持板を支持するための支持部材と、
    前記保持板に圧力を加える加圧手段と、
    前記支持部材及び前記保持板の重量が加わるように設けられたロードセルと
    を備え、前記ロードセルは、前記支持部材に加わる総圧力から前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるときの反力を減少させた測定値を出力することを特徴とするプレス装置。
13. 前記総圧力は、前記保持板に加わる大気圧と、前記支持部材及び前記保持板の自重と、前記加圧手段が加える加工圧との総和値であることを特徴とする請求項１２に記載のプレス装置。
14. 前記測定値に基づいて圧力を前記第１の基板又は第２の基板に加えるように制御する制御手段を更に備えたことを特徴とする請求項１２又は請求項１３に記載のプレス装置。
15. 前記支持部材を吊り下げる支え板を更に備え、前記ロードセルは、該支持部材と前記支え板との間に配置されていることを特徴とする請求項１１〜１４の何れか一項に記載のプレス装置。
16. 前記支え板を上下動させるアクチュエータを更に備えることを特徴とする請求項１１〜１５の何れか一項に記載のプレス装置。
17. 貼り合わせを行う前記処理室とは別に減圧形成可能に形成された容器を更に備え、該容器にて前記第１の基板及び第２の基板の少なくとも一方に対して貼り合せの前処理を行うことを特徴とする請求項１１〜１６の何れか一項に記載のプレス装置。
18. 処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入し、該処理室内を減圧して前記第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
    前記第１の基板及び第２の基板をそれぞれ保持する保持板と、
    前記第１の基板又は第２の基板を一方の保持板に吸着する際に、前記吸着する基板の撓みを矯正する矯正機構と
    を備えることを特徴とするプレス装置。
19. 前記矯正機構は、前記第１の基板又は第２の基板の外面を吸着することを特徴とする請求項１８に記載のプレス装置。
20. 前記矯正機構は、前記第１の基板又は第２の基板の中央部を上方へ持ち上げる機構であることを特徴とする請求項１８又は請求項１９に記載のプレス装置。
21. 前記矯正機構は、
    前記第１の基板又は第２の基板を吸着する吸着パッドと、
    前記吸着パッドを保持するアームと、
    前記アームを上下動させる上下機構と
    を備えること特徴とする請求項１８〜２０の何れか一項に記載のプレス装置。
22. 前記第１の基板又は第２の基板は、搬送ロボットによりその外面を保持されて前記処理室内に搬入されて、前記矯正機構に受け渡されることを特徴とする請求項１８〜２１の何れか一項に記載のプレス装置。
23. 処理室内に第１の基板及び第２の基板を搬入して該第１の基板及び第２の基板を貼り合わせるプレス装置において、
    前記処理室は、第１の容器及び第２の容器とに上下分割可能であり、
    前記処理室内には前記第１の基板を保持する第１の保持板及び前記第２の基板を保持する第２の保持板が設けられており、
    該第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方は、前記処理室を貫通する複数の支柱を介して該処理室の外部に設けられた移動機構に接続されており、
    該第１の保持板及び第２の保持板の少なくとも一方には、前記支柱を囲み、前記処理室の気密を保つためのベローズが設けられていることを特徴とするプレス装置。
24. 前記第１の保持板は、第１の移動機構に接続され、該第１の移動機構は前記第１の保持板を上下方向に駆動するものであることを特徴とする請求項２３に記載のプレス装置。
25. 前記第２の保持板は、第２の移動機構に接続され、該第２の移動機構は前記第２の保持板を水平方向に駆動するものであることを特徴とする請求項２３又は請求項２４に記載のプレス装置。
26. 前記支柱には、前記保持板の平行度を調整するためのレベル調整部が設けられていることを特徴とする請求項２３〜２５の何れか一項に記載のプレス装置。