JPH0596730A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPH0596730A JPH0596730A JP28574791A JP28574791A JPH0596730A JP H0596730 A JPH0596730 A JP H0596730A JP 28574791 A JP28574791 A JP 28574791A JP 28574791 A JP28574791 A JP 28574791A JP H0596730 A JPH0596730 A JP H0596730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- nozzle
- nozzles
- recording head
- flow path
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ink Jet (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 余剰のインクがノズル面に残留することを防
止して、記録ヘッドの印字品質を向上させる。 【構成】 ノズル１に連通するインク流路３には、ヒー
ター５が設けられ、インク室７に連通されている。ノズ
ル１間にダミーノズル２を設け、インク流路４により、
ヒーター５よりもインク室７側のインク流路３に連通さ
れている。ヒーター５に印字信号を送り、インク滴が吐
出した後は、吐出によって失われたインクの補給が行な
われる。このとき、補給されるインクの流れにより、イ
ンク流路４内に負圧が生じ、ダミーノズル２からノズル
面に存在している余剰インクが吸引される。
止して、記録ヘッドの印字品質を向上させる。 【構成】 ノズル１に連通するインク流路３には、ヒー
ター５が設けられ、インク室７に連通されている。ノズ
ル１間にダミーノズル２を設け、インク流路４により、
ヒーター５よりもインク室７側のインク流路３に連通さ
れている。ヒーター５に印字信号を送り、インク滴が吐
出した後は、吐出によって失われたインクの補給が行な
われる。このとき、補給されるインクの流れにより、イ
ンク流路４内に負圧が生じ、ダミーノズル２からノズル
面に存在している余剰インクが吸引される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置のインクジェット記録ヘッド、特に、ダミーノズルを
設けたインクジェット記録ヘッドに関するものである。
置のインクジェット記録ヘッド、特に、ダミーノズルを
設けたインクジェット記録ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録方式は、高速記録が
可能であり、記録の際に発生する騒音がほとんどなく、
普通紙に直接印字でき、定着処理等を必要としないた
め、装置の小型化が図れるという点で注目を集めてい
る。
可能であり、記録の際に発生する騒音がほとんどなく、
普通紙に直接印字でき、定着処理等を必要としないた
め、装置の小型化が図れるという点で注目を集めてい
る。
【０００３】従来のインクジェット記録ヘッドにおい
て、印字品質の保持および向上のために種々の手段が開
発されている。特開昭６３−５４２５０号公報に記載さ
れたものは、一列に並んだ複数のノズルと、該ノズルに
連通する複数の圧力室と、各ノズルに共通のインク室を
有するインクジェット記録ヘッドにおいて、最外側のノ
ズルの両外側で、各ノズルとほぼ同列の位置に、大気に
開口したダミーノズルを設け、これをインク室に連通さ
せる流路を設けることにより、記録ヘッド内の気泡の排
出性を高め、印字品質の向上を図るものである。
て、印字品質の保持および向上のために種々の手段が開
発されている。特開昭６３−５４２５０号公報に記載さ
れたものは、一列に並んだ複数のノズルと、該ノズルに
連通する複数の圧力室と、各ノズルに共通のインク室を
有するインクジェット記録ヘッドにおいて、最外側のノ
ズルの両外側で、各ノズルとほぼ同列の位置に、大気に
開口したダミーノズルを設け、これをインク室に連通さ
せる流路を設けることにより、記録ヘッド内の気泡の排
出性を高め、印字品質の向上を図るものである。
【０００４】また、特開昭５８−１２７７０号公報に記
載されたインクジェット用ノズルヘッドは、隣接するノ
ズル開口間に、インクの広がりを防止するための凹部を
設けて、高解像度を得ようとするものである。また、特
開平２−２７４５５３号公報に記載されたインクジェッ
ト装置は、列方向にインクを噴出する複数のノズルを列
状に配列し、各ノズル間、ならびに、最上位および最下
位のノズルのそれぞれ外側に、めくら穴構造のダミーノ
ズルを設けることにより、ノズル面でのインク溜まりを
均一にするようにして、高画質化を図るものである。
載されたインクジェット用ノズルヘッドは、隣接するノ
ズル開口間に、インクの広がりを防止するための凹部を
設けて、高解像度を得ようとするものである。また、特
開平２−２７４５５３号公報に記載されたインクジェッ
ト装置は、列方向にインクを噴出する複数のノズルを列
状に配列し、各ノズル間、ならびに、最上位および最下
位のノズルのそれぞれ外側に、めくら穴構造のダミーノ
ズルを設けることにより、ノズル面でのインク溜まりを
均一にするようにして、高画質化を図るものである。
【０００５】しかしながら、特開昭５８−１２７７０号
公報に記載されているように、ノズル間に凹部を設ける
方式では、吐出ノズルの付近に、凹部の容量を越えるイ
ンクの付着があった場合には、期待する効果が得られる
かどうか疑問である。また、長時間放置した場合には、
インクが凹部に固着する可能性があり、その対策を施す
必要がある。また、特開平２−２７４５５３号公報に記
載されているノズル表面にインクを保持する凹部を設け
る方式では、均一なメニスカスを維持することが困難で
あると考えられる。さらに、特開昭５８−１２７７０号
公報に記載されたものと同様に、保持されたインクが、
長時間の放置により固着することが考えられる。
公報に記載されているように、ノズル間に凹部を設ける
方式では、吐出ノズルの付近に、凹部の容量を越えるイ
ンクの付着があった場合には、期待する効果が得られる
かどうか疑問である。また、長時間放置した場合には、
インクが凹部に固着する可能性があり、その対策を施す
必要がある。また、特開平２−２７４５５３号公報に記
載されているノズル表面にインクを保持する凹部を設け
る方式では、均一なメニスカスを維持することが困難で
あると考えられる。さらに、特開昭５８−１２７７０号
公報に記載されたものと同様に、保持されたインクが、
長時間の放置により固着することが考えられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した事
情に鑑みてなされたもので、余剰のインクがノズル面に
残留することを防止して、記録ヘッドの印字品質を向上
させることを目的とするものである。
情に鑑みてなされたもので、余剰のインクがノズル面に
残留することを防止して、記録ヘッドの印字品質を向上
させることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、インクを吐出
するための複数のノズルと、該ノズルと連通するインク
流路と、インクを吐出するためのエネルギーを発生させ
るためのエネルギー発生手段と、前記インク流路に連通
するインク室を有するインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記ノズル間にインクを吐出しないダミーノズルを
配置するとともに、前記ダミーノズルを前記インク流路
のインク室側に接続するインク流路を設けたことを特徴
とするものである。
するための複数のノズルと、該ノズルと連通するインク
流路と、インクを吐出するためのエネルギーを発生させ
るためのエネルギー発生手段と、前記インク流路に連通
するインク室を有するインクジェット記録ヘッドにおい
て、前記ノズル間にインクを吐出しないダミーノズルを
配置するとともに、前記ダミーノズルを前記インク流路
のインク室側に接続するインク流路を設けたことを特徴
とするものである。
【０００８】
【作用】図２は、本発明によるインクジェット記録ヘッ
ドの１つのノズル分についての流路配置の一例を示した
ものである。図中、１はノズル、２はダミーノズル、
３，４はインク流路、５はエネルギー発生体、８はイン
ク滴である。インク流路３は、図示しないインク室に連
通されている。図２（Ａ）は、印字動作前の状態を示す
ものであり、すべてのインク流路は、インクによって満
たされている。ここで、エネルギー発生体５に印字信号
を送り、インク滴８を吐出する。インク滴８を吐出した
後は、吐出によって失われたインクの補給が行なわれ
る。図２（Ｂ）に示すように、インクの補給は、主とし
て、インク流路３に連通するインク室側から行なわれる
から、補給されるインクの流れが、インク流路３に発生
する。この流れにより、ダミーノズル２と連通している
インク流路４内にも負圧が生じ、ダミーノズル２からノ
ズル面に存在している余剰インクが吸引される。この吸
引により、ノズル面は、常に余剰インクのない状態に保
たれ、印字品質の向上が期待できる。
ドの１つのノズル分についての流路配置の一例を示した
ものである。図中、１はノズル、２はダミーノズル、
３，４はインク流路、５はエネルギー発生体、８はイン
ク滴である。インク流路３は、図示しないインク室に連
通されている。図２（Ａ）は、印字動作前の状態を示す
ものであり、すべてのインク流路は、インクによって満
たされている。ここで、エネルギー発生体５に印字信号
を送り、インク滴８を吐出する。インク滴８を吐出した
後は、吐出によって失われたインクの補給が行なわれ
る。図２（Ｂ）に示すように、インクの補給は、主とし
て、インク流路３に連通するインク室側から行なわれる
から、補給されるインクの流れが、インク流路３に発生
する。この流れにより、ダミーノズル２と連通している
インク流路４内にも負圧が生じ、ダミーノズル２からノ
ズル面に存在している余剰インクが吸引される。この吸
引により、ノズル面は、常に余剰インクのない状態に保
たれ、印字品質の向上が期待できる。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明のインクジェット記録ヘッド
の一実施例を説明するためのものであり、（Ａ）図は流
路配置を示す平面図、（Ｂ）図はノズル面の正面図であ
る。図中、１はノズル、２はダミーノズル、３，４はイ
ンク流路、５はエネルギー発生体、６は隔壁、７はイン
ク室である。説明のために、ノズルの数を４とした。
（Ｂ）図に示すように、ノズル１は、インク滴を吐出す
るためのものであり、一列に配列されており、このノズ
ル１の間にダミーノズル２が設けられている。これらの
インク滴吐出のためのノズル１は、それぞれインク流路
３によりインク室７と連通している。インク流路３内に
は、エネルギー発生体５が設けられている。エネルギー
発生体５としては、発熱抵抗体や圧電素子などを用いる
ことができる。ダミーノズル２はインク流路３と独立し
たインク流路４により、インク流路３に連通されてい
る。インク流路３においてインク流路４が連通する位置
は、エネルギー発生体５よりもインク室７側である。こ
の実施例では、これらのインク流路３，４およびインク
室７は、隔壁６によって形成されている。
の一実施例を説明するためのものであり、（Ａ）図は流
路配置を示す平面図、（Ｂ）図はノズル面の正面図であ
る。図中、１はノズル、２はダミーノズル、３，４はイ
ンク流路、５はエネルギー発生体、６は隔壁、７はイン
ク室である。説明のために、ノズルの数を４とした。
（Ｂ）図に示すように、ノズル１は、インク滴を吐出す
るためのものであり、一列に配列されており、このノズ
ル１の間にダミーノズル２が設けられている。これらの
インク滴吐出のためのノズル１は、それぞれインク流路
３によりインク室７と連通している。インク流路３内に
は、エネルギー発生体５が設けられている。エネルギー
発生体５としては、発熱抵抗体や圧電素子などを用いる
ことができる。ダミーノズル２はインク流路３と独立し
たインク流路４により、インク流路３に連通されてい
る。インク流路３においてインク流路４が連通する位置
は、エネルギー発生体５よりもインク室７側である。こ
の実施例では、これらのインク流路３，４およびインク
室７は、隔壁６によって形成されている。
【００１０】図２で説明したように、ノズル１からイン
ク滴を吐出した後のインク供給の際に、そのノズルのイ
ンク流路３に連通されたダミーノズル２が負圧となるか
ら、そのダミーノズル２の近傍の余剰インクが吸引さ
れ、ノズル面を清浄に保つことができる。
ク滴を吐出した後のインク供給の際に、そのノズルのイ
ンク流路３に連通されたダミーノズル２が負圧となるか
ら、そのダミーノズル２の近傍の余剰インクが吸引さ
れ、ノズル面を清浄に保つことができる。
【００１１】図３により、図１で説明した実施例のイン
クジェット記録ヘッドの製造工程の概略を説明する。
（Ａ）図は、蓋材を接着する前の基板の一部の平面図で
あり、（Ｂ）図は蓋材を接着した状態のノズル面の一部
の正面図である。図中、図１と同様な部分には同じ符号
を付して説明を省略する。９は基板、１０は蓋材であ
る。基板９上には、エネルギー発生体５としてのヒータ
ーと、それを駆動するためのロジック回路が形成され、
感光性の材料によりヒーターを除く部分が被覆されてい
るが、これらは図示されていない。この感光性の材料に
より被覆された基板９上に、感光性の材料により隔壁６
を形成する。感光性の材料は、例えば、感光性ポリイミ
ドなどを用いることができ、インク滴吐出のためのイン
ク流路３、ダミーノズル２のためのインク流路４、イン
ク室７を形成するようパターニングされ、隔壁６が形成
される。その後、蓋材１０を張り合わせて、記録ヘッド
が作製される。
クジェット記録ヘッドの製造工程の概略を説明する。
（Ａ）図は、蓋材を接着する前の基板の一部の平面図で
あり、（Ｂ）図は蓋材を接着した状態のノズル面の一部
の正面図である。図中、図１と同様な部分には同じ符号
を付して説明を省略する。９は基板、１０は蓋材であ
る。基板９上には、エネルギー発生体５としてのヒータ
ーと、それを駆動するためのロジック回路が形成され、
感光性の材料によりヒーターを除く部分が被覆されてい
るが、これらは図示されていない。この感光性の材料に
より被覆された基板９上に、感光性の材料により隔壁６
を形成する。感光性の材料は、例えば、感光性ポリイミ
ドなどを用いることができ、インク滴吐出のためのイン
ク流路３、ダミーノズル２のためのインク流路４、イン
ク室７を形成するようパターニングされ、隔壁６が形成
される。その後、蓋材１０を張り合わせて、記録ヘッド
が作製される。
【００１２】図４乃至図６は、本発明のインクジェット
記録ヘッドの他の実施例を製造工程とともに説明するた
めのものであり、図４はチャンネル基板の一部の平面
図、図５は感光性樹脂層の一部の平面図、図６はノズル
面の一部の正面図である。図中、図１と同様な部分には
同じ符号を付して説明を省略する。１１はヒーター基
板、１２は感光性樹脂層、１３はチャンネル基板、１４
はヒーター用の開口部、１５は連通用の開口部である。
この実施例では、記録ヘッドは、２枚の部材を張り合わ
せることによって構成される。
記録ヘッドの他の実施例を製造工程とともに説明するた
めのものであり、図４はチャンネル基板の一部の平面
図、図５は感光性樹脂層の一部の平面図、図６はノズル
面の一部の正面図である。図中、図１と同様な部分には
同じ符号を付して説明を省略する。１１はヒーター基
板、１２は感光性樹脂層、１３はチャンネル基板、１４
はヒーター用の開口部、１５は連通用の開口部である。
この実施例では、記録ヘッドは、２枚の部材を張り合わ
せることによって構成される。
【００１３】図４にチャンネル基板を示す。（１００）
結晶面を表面にもつシリコンウェハに、マスキングを施
し、水酸化カリウム水溶液を用いた異方性エッチングに
より、インク滴吐出のためのインク流路３、ダミーノズ
ル２のためのインク流路４、インク室７が形成され、チ
ャンネル基板が作製される。
結晶面を表面にもつシリコンウェハに、マスキングを施
し、水酸化カリウム水溶液を用いた異方性エッチングに
より、インク滴吐出のためのインク流路３、ダミーノズ
ル２のためのインク流路４、インク室７が形成され、チ
ャンネル基板が作製される。
【００１４】ヒーター基板は、シリコンウェハ上にＬＳ
Ｉプロセスによヒーターおよびその駆動のためのロジッ
ク回路を形成し、さらに、その上を感光性樹脂層１２で
覆う。感光性樹脂層１２には、図５に示すように、ヒー
ター用の開口部１４と、連通用の開口部１５が設けられ
る。ヒーター用の開口部１４は、気泡の成長領域を制限
するためのものである。連通用の開口部１５は、図５の
一部に点線で、インク流路３および４に相当する位置を
図示したが、これからわかるように、インク流路３およ
び４の端部近傍を含み、インク室７にかかるように形成
され、この開口部１５により、インク流路３および４と
インク室７が連通される。
Ｉプロセスによヒーターおよびその駆動のためのロジッ
ク回路を形成し、さらに、その上を感光性樹脂層１２で
覆う。感光性樹脂層１２には、図５に示すように、ヒー
ター用の開口部１４と、連通用の開口部１５が設けられ
る。ヒーター用の開口部１４は、気泡の成長領域を制限
するためのものである。連通用の開口部１５は、図５の
一部に点線で、インク流路３および４に相当する位置を
図示したが、これからわかるように、インク流路３およ
び４の端部近傍を含み、インク室７にかかるように形成
され、この開口部１５により、インク流路３および４と
インク室７が連通される。
【００１５】このようにして作製されたヒーター基板と
チャンネル基板の２枚のウェハを張り合わせ、図４に一
点鎖線１６で図示した位置で切断することにより記録ヘ
ッドのチップが作製できる。ノズル面は、図６に示すよ
うに、インク吐出ノズル１の間に、より小さい断面積の
ダミーノズル２が形成されている。
チャンネル基板の２枚のウェハを張り合わせ、図４に一
点鎖線１６で図示した位置で切断することにより記録ヘ
ッドのチップが作製できる。ノズル面は、図６に示すよ
うに、インク吐出ノズル１の間に、より小さい断面積の
ダミーノズル２が形成されている。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、インク滴吐出後のインク供給時に生じる負圧
を利用して、ノズル面に付着する余剰インクを吸引する
ことができるので、常に、ノズル面に余剰インクがない
状態を保つことができ、印字品質が向上したインクジェ
ット記録ヘッドを提供することができるという効果があ
る。
によれば、インク滴吐出後のインク供給時に生じる負圧
を利用して、ノズル面に付着する余剰インクを吸引する
ことができるので、常に、ノズル面に余剰インクがない
状態を保つことができ、印字品質が向上したインクジェ
ット記録ヘッドを提供することができるという効果があ
る。
【図１】 本発明のインクジェット記録ヘッドの一実施
例の説明図である。
例の説明図である。
【図２】 本発明の作用の説明図である。
【図３】 図１の実施例の記録ヘッドの作製工程の説明
図である。
図である。
【図４】 本発明の他の実施例のチャンネル基板の平面
図である。
図である。
【図５】 図４の実施例の感光性樹脂層の平面図であ
る。
る。
【図６】 図４の実施例のノズル面の正面図である。
１ ノズル、２ ダミーノズル、３，４ インク流路、
５ エネルギー発生体、６ 隔壁、７ インク室、８
インク滴。
５ エネルギー発生体、６ 隔壁、７ インク室、８
インク滴。
Claims (1)
- 【請求項１】 インクを吐出するための複数のノズル
と、該ノズルと連通するインク流路と、インクを吐出す
るためのエネルギーを発生させるためのエネルギー発生
手段と、前記インク流路に連通するインク室を有するイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、前記ノズル間にイン
クを吐出しないダミーノズルを配置するとともに、前記
ダミーノズルを前記インク流路のインク室側に接続する
インク流路を設けたことを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28574791A JPH0596730A (ja) | 1991-10-05 | 1991-10-05 | インクジエツト記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28574791A JPH0596730A (ja) | 1991-10-05 | 1991-10-05 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0596730A true JPH0596730A (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=17695530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28574791A Pending JPH0596730A (ja) | 1991-10-05 | 1991-10-05 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0596730A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0811497A2 (en) * | 1996-06-03 | 1997-12-10 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printhead assembly |
| US7111755B2 (en) | 2002-07-08 | 2006-09-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method and apparatus and display device panel manufacturing method and apparatus |
| US7188919B2 (en) * | 2002-07-08 | 2007-03-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge method and apparatus using individually controllable nozzles |
| US7621310B2 (en) | 2000-11-30 | 2009-11-24 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| JP2014124935A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Sii Printek Inc | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
| US11247468B2 (en) * | 2019-03-19 | 2022-02-15 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid discharge head, liquid discharge device, and liquid discharge apparatus |
| US11724500B2 (en) | 2021-01-20 | 2023-08-15 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head |
-
1991
- 1991-10-05 JP JP28574791A patent/JPH0596730A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0811497A2 (en) * | 1996-06-03 | 1997-12-10 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printhead assembly |
| EP0811497A3 (en) * | 1996-06-03 | 1998-07-01 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printhead assembly |
| AU723857B2 (en) * | 1996-06-03 | 2000-09-07 | Lexmark International Inc. | Ink jet printhead assembly with non-emitting orifices |
| US8128768B2 (en) | 2000-11-30 | 2012-03-06 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7621310B2 (en) | 2000-11-30 | 2009-11-24 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7681522B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-03-23 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7703494B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-04-27 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
| US7819165B2 (en) | 2000-11-30 | 2010-10-26 | Fujitsu Limited | Apparatus for manufacturing bonded substrate |
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