JPH1058715A - 記録液体噴出による記録装置および記録方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】約２０、０００ノズル、１色記録で１２００ｄ
ｐｉ、４色カラー記録で６００ｄｐｉを実現する記録液
体噴出による記録装置および記録方法の提供。 【解決手段】発熱部と、ノズルと、記録液体供給通路
と、半導体回路との組合せをノズル単位としたものを半
導体基板上に複数備えたものであって、ノズル単位から
なるノズル群（列または行）のノズル位置パターンの基
本配置を４列（または行）とし、同一列のノズル間隔
は、所要ドット数／インチ間隔、ノズル群の基本配置４
列の間隔は、ノズル群の１列を基準位置とし、他のノズ
ル群の１列を基準位置から所定間隔のｎ倍、他のノズル
群の２列を基準位置から所定間隔のｎ倍＋前記ノズル間
隔の１／２、ノズル位置は、他のノズル群の１列のノズ
ル位置を基準位置のノズル群の１列と同位置、他のノズ
ル群の２列のノズル位置を基準位置のノズル群の１列の
ノズル間の位置とした前記マルチノズル記録ヘッドを有
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録液体を加熱
し、熱エネルギーの作用によって、液滴粒子をノズルか
ら記録対象物へ噴出飛行させて、ノンインパクトで文字
・画像等を記録対象物に記録する記録液体噴出による記
録装置および記録方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ノンインパクト記録を行なう記録装置の
一つとして、記録液体を、記録ヘッドから熱エネルギー
の作用によって記録対象物へ噴出飛行させて記録する装
置が、すでに商品化されている。この周知の記録装置で
は、記録ヘッドに記録液体を噴出するノズルを複数設け
（マルチノズル記録ヘッド）、複数のノズルの所要のノ
ズルより記録液体を液滴粒子として噴出飛行させ、ノズ
ルに対向して設けた記録対象物、例えば記録紙上に、記
録液体を付着させ、所要数のドット状の記録とするもの
である。この記録装置に使用している記録ヘッドに関
し、液滴粒子を形成するノズルと記録液体の噴出への通
路と発熱体面との関係を提供し、長時間連続記録するこ
と、高密度マルチノズル化のための一部微細加工による
装置とすることについて、例えば特公昭６３−６３５６
号公報等に開示されている。

【０００３】つぎに、従来の記録液体噴出による記録装
置に使用している半導体基板上に形成したマルチノズル
記録ヘッドによる各ドット記録群（列または行）のドッ
ト位置パターンと、合成記録の例を図５に示す。図５に
示す例は、記録紙５１上に記録した、例えば記録密度４
００ｄｐｉ（記録ドットピッチ：６３．５μｍ）のブラ
ック（Ｂ）ドット５２、シャン（Ｃ）ドット５３、マゼ
ンタ（Ｍ）ドット５４、イエロー（Ｙ）ドット５５の４
色のドット記録群（列または行）のドット位置パターン
と、合成記録５６の例である。この例に示すドット位置
パターンの場合、４色のドット記録群５２〜５５（列ま
たは行）のドット位置はすべて所定の同一間隔の列（ま
たは行）、同一記録ドットピッチで同一位置にあり、合
成の記録は、４色とも重畳された合成記録５６となる。
したがって、記録密度（４００ｄｐｉ）および記録速度
は、基準となる第１列（または行）Ｂドット５２の性能
と同等となる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来技術の記録液体噴
出による記録装置および記録方法では、一般的に、超高
精細記録のために記録密度をあげるほど、隣接する飛行
液滴粒子同士の接触、結合、衝突等が発生するために記
録分解能が低下する傾向にあり、超高精細記録、高速記
録、小形化、小電力化を同時に達成し、さらに、多量生
産性向上、廉価化を図る上で、記録信号データが入力さ
れる記録信号回路、複数のノズルから記録液体が噴出飛
行する装置の実現には適さなかった。特に、多数のノズ
ルを有するマルチノズル記録ヘッドを、小形で、超高精
細記録、各種のカラー化に容易に対応させることにおい
て不充分であり、これに伴う加工上、多数のノズルを有
するマルチノズル記録ヘッドの形成のプロセスは必ずし
も容易でなく、実現に困難を伴い、生産性向上による一
層の低価格化等の実現を行うためにも、適さない欠点が
あった。また、従来は、記録液体を噴出して液滴粒子を
形成するためのノズルを形成するとき、レーザ加工によ
る方法や電鋳穴開け後機械的組合せを行なう方法等が行
われており、マルチノズル記録ヘッドを形成するには加
工のプロセスが容易でなく、超高精細化マルチノズル記
録ヘッドの製造には制約があった。また、超高精細化マ
ルチノズル記録ヘッドの場合、発熱体に供給するエネル
ギーが大きいため記録駆動回路等の回路構成が大形とな
り、マルチノズル記録ヘッドと一体に実装することに制
約をうけ実現困難であった。さらには、超高精細な微細
化記録を行うのに機械組合せ的構成を伴うために、一層
の微細化記録を妨げる欠点があった。

【０００５】本発明は、前記問題点の解決、例えば、１
２００ｄｐｉ（ドットピッチ：２１．１６７μｍ／ドッ
ト）以上の超高精細記録を達成するため、６００ｄｐｉ
（ドットピッチ：４２．３３３μｍ／ドット）のノズル
群（列または行）を４群（列または行）でノズル単位と
して半導体製造プロセスにより半導体基板上に構成した
マルチノズル記録ヘッドを有するものとし、約２０、０
００ノズル、１色記録で１２００ｄｐｉ、４色カラー記
録で６００ｄｐｉを実現する記録液体噴出による記録装
置および記録方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、記録液体供給
通路と、発熱作用による熱エネルギーが記録液体に作用
する部分である発熱抵抗体からなる複数の発熱部と、前
記記録液体を所要方向へ噴出飛行させる複数の記録液体
噴出飛行方向案内ノズルとを備えた記録ヘッドを有する
記録液体噴出による記録装置において、前記複数のノズ
ルの液体噴出開口部は行と列で配列し、かつ、少なくと
もその各行と各列の一方は相互の位置をずらして配置し
た記録液体噴出による記録装置を提供するものである。
また、前記ノズルの配列位置の変更は予めノズルが形成
された外壁の変更により行なわれるようにしてもよい。
さらに詳しくは、前記目的を達成するために、本発明の
記録液体噴出による記録装置は、少なくとも、記録液体
に熱エネルギーによる状態変化を発生させる発熱抵抗体
からなる発熱部と、該発熱部上部に設けた記録液体を噴
出させるノズルと、前記発熱部と前記ノズルとへ記録液
体を供給する記録液体供給通路との組合せをノズル単位
としたものを、前記発熱部を駆動信号により駆動する半
導体回路とともに半導体基板上に複数備えたマルチノズ
ル記録ヘッドを有するものであって、記録する文字・画
像等に応じた駆動信号により複数の前記半導体回路を介
し前記発熱部を駆動し、記録液体に熱エネルギーによる
状態変化を発生させ、状態変化に基づいて各発熱部上部
に設けたノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を記録
対象物へ飛行させる記録液体噴出による記録装置におい
て、前記ノズル単位のノズル群（列または行）のノズル
位置パターンの基本配置を４列（または行）とし、同一
列（または行）のノズル間隔は、所要ドット数／インチ
間隔、ノズル群の基本配置４列（または行）の間隔は、
ノズル群の１列（または行）を基準位置とし、他のノズ
ル群の１列（または行）を基準位置から所定間隔のｎ
倍、他のノズル群の２列（または行）を基準位置から所
定間隔のｎ倍＋前記ノズル間隔の１／２、ノズル位置
は、他のノズル群の１列（または行）のノズル位置を基
準位置のノズル群の１列（または行）と同位置、他のノ
ズル群の２列（または行）のノズル位置を基準位置のノ
ズル群の１列（または行）のノズル間の位置とした前記
マルチノズル記録ヘッドを有するものである。

【０００７】また、本発明の記録液体噴出による記録方
法は、少なくとも、記録液体に熱エネルギーによる状態
変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部と、該発熱
部上部に設けた記録液体を噴出させるノズルと、前記発
熱部と前記ノズルとへ記録液体を供給する記録液体供給
通路との組合せをノズル単位としたものを、前記発熱部
を駆動信号により駆動する半導体回路とともに半導体基
板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを有し、記録
する文字・画像等に応じた駆動信号により複数の前記半
導体回路を介し前記発熱部を駆動し、記録液体に熱エネ
ルギーによる状態変化を発生させ、状態変化に基づいて
各発熱部上部に設けたノズルより記録液体を噴出し、液
滴粒子を記録対象物へ飛行させる記録液体噴出による記
録方法において、前記ノズル単位のノズル群（列または
行）のノズル位置パターンの基本配置を４列（または
行）とし、同一列（または行）のノズル間隔は、所要ド
ット数／インチ間隔、ノズル群の基本配置４列（または
行）の間隔は、ノズル群の１列（または行）を基準位置
とし、他のノズル群の１列（または行）を基準位置から
所定間隔のｎ倍、他のノズル群の２列（または行）を基
準位置から所定間隔のｎ倍＋前記ノズル間隔の１／２、
ノズル位置は、他のノズル群の１列（または行）のノズ
ル位置を基準位置のノズル群の１列（または行）と同位
置、他のノズル群の２列（または行）のノズル位置を基
準位置のノズル群の１列（または行）のノズル間の位置
とした前記マルチノズル記録ヘッドを使用し、前記マル
チノズル記録ヘッドのすべてのノズル群に同一色の記録
液体を供給して、所要のノズルより同一色の記録液体を
噴出し、高解像度の合成記録を行なうようにしたもので
あり、また、前記マルチノズル記録ヘッドのノズル群
に、黒（Ｂ）、シャン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロ
ー（Ｙ）の４色の記録液体を供給して、所要のノズルよ
り４色の記録液体を噴出し、高解像度のカラー合成記録
を行なうようにしたものである。

【０００８】また、本発明の記録液体噴出による記録装
置は、少なくとも、記録液体に熱エネルギーによる状態
変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部と、該発熱
部上部に設けた記録液体を噴出させるノズルと、前記発
熱部と前記ノズルとへ記録液体を供給する記録液体供給
通路との組合せをノズル単位としたものを、前記発熱部
を駆動信号により駆動する半導体回路とともに半導体基
板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを有するもの
であって、記録する文字・画像等に応じた駆動信号によ
り所要の前記半導体回路を介し所要の前記発熱部を駆動
し、記録液体に熱エネルギーによる状態変化を発生さ
せ、状態変化に基づいて各発熱部上部に設けた所要のノ
ズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を記録対象物へ飛
行させる記録液体噴出による記録装置において、前記ノ
ズル単位の前記発熱部群（列または行）の発熱部位置パ
ターンの基本配置を４列（または行）とし、同一列（ま
たは行）の前記発熱部間隔は、所要ドット数／インチ間
隔、前記発熱部群の基本配置４列（または行）の間隔
は、発熱部群の１列（または行）を基準位置とし、他の
発熱部群の３列（または行）のそれぞれを基準位置から
所定間隔のｎ倍、ノズルは、すべて前記発熱部上部に一
端を有し、発熱部群の基準位置の１列（または行）の発
熱部上部のノズルは垂直、他の３列（または行）の発熱
部上部のノズルは、それぞれ所定の方向へ、所要角度θ
の傾斜となるように配置した前記マルチノズル記録ヘッ
ドを有するものである。

【０００９】本発明の作用について説明すると、本発明
の記録液体噴出による記録装置および記録方法は、少な
くとも、記録液体に熱エネルギーによる状態変化を発生
させる発熱抵抗体からなる発熱部と、該発熱部上部に設
けた記録液体を噴出させるノズルと、前記発熱部と前記
ノズルとへ記録液体を供給する記録液体供給通路との組
合せをノズル単位としたものを、前記発熱部を駆動信号
により駆動する半導体回路とともに半導体基板上に複数
備えたマルチノズル記録ヘッドを有し、記録する文字・
画像等に応じた駆動信号により複数の前記半導体回路を
介し前記発熱部を駆動し、記録液体に熱エネルギーによ
る状態変化を発生させ、状態変化に基づいて各発熱部上
部に設けたノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を記
録対象物へ飛行させる記録液体噴出による記録装置およ
び記録方法であって、前記ノズル単位のノズル群（列ま
たは行）のノズル位置パターンの基本配置を４列（また
は行）とし、同一列（または行）のノズル間隔は、所要
ドット数／インチ間隔、ノズル群の基本配置４列（また
は行）の間隔は、ノズル群の１列（または行）を基準位
置とし、他のノズル群の１列（または行）を基準位置か
ら所定間隔のｎ倍、他のノズル群の２列（または行）を
基準位置から所定間隔のｎ倍＋前記ノズル間隔の１／
２、ノズル位置は、他のノズル群の１列（または行）の
ノズル位置を基準位置のノズル群の１列（または行）と
同位置、他のノズル群の２列（または行）のノズル位置
を基準位置のノズル群の１列（または行）のノズル間の
位置とした前記マルチノズル記録ヘッドを使用し、前記
マルチノズル記録ヘッドのすべてのノズル群に同一色の
記録液体を供給して、所要のノズルより同一色の記録液
体を噴出し、高解像度の合成記録を行なう、また、前記
マルチノズル記録ヘッドのノズル群に、黒（Ｂ）、シャ
ン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の４色の記
録液体を供給して、所要のノズルより４色の記録液体を
噴出し、高解像度のカラー合成記録を行なう。

【００１０】

【発明の実施の形態】

〔実施の形態 １〕本発明の記録液体噴出による記録装
置および記録方法の第１の実施の形態を、図１〜図４を
使用して説明する。最初に、図１により、本発明の記録
液体噴出による記録装置に使用している半導体基板上に
形成したマルチノズル記録ヘッドによる各ドット記録群
（列または行）のドット位置パターンと、合成記録を示
し説明する。図１に示す実施の形態は、超高記録密度１
２００ｄｐｉ（記録ドットピッチ：２１．１６７μｍ）
以上を記録するのに好適なドット位置パターンと合成記
録の例である。さらに詳細には、記録紙２１上に形成し
てある各ドット記録群のドット位置パターンは、記録密
度６００ｄｐｉ（記録ドットピッチ：４２．３３３μ
ｍ）のブラック（以下、Ｂと記す。）ドット２２、シャ
ン（以下、Ｃと記す。）ドット２３、マゼンタ（以下、
Ｍと記す。）ドット２４、イエロー（以下、Ｙと記
す。）ドット２５の４色のドット記録群（列または行）
のドット位置パターンの例であり、合成記録（Ｂドット
２６、Ｃドット２７、Ｍドット２８、Ｙドット２９）の
例である。

【００１１】この各ドット記録群（列または行）のドッ
ト位置パターンは、Ｂのドット２２群（列または行）が
同一列（または行）に記録ドットピッチ：４２．３３３
μｍで配列されているドット位置パターンを基準位置と
しており、Ｃのドット２３群（列または行）のドット位
置パターンは、基準位置から所定の間隔Ｌの位置より記
録ドット配列（または行）間隔の半分：２１．１６７μ
ｍの位置だけさらに隣の同一列（または行）に、Ｂのド
ット２２群（列または行）のドット位置パターンと同一
の記録ドットピッチ：４２．３３３μｍで配列されてい
る。また、Ｍのドット２４群（列または行）のドット位
置パターンは、基準位置から所定の間隔２Ｌの位置の同
一列（または行）に、Ｂのドット２２群（列または行）
のドット位置パターンの行（または列）間：２１．１６
７μｍの位置に記録ドットピッチ：４２．３３３μｍで
配列されている。さらに、Ｙのドット２５群（列または
行）のドット位置パターンは、基準位置から所定の間隔
３Ｌの位置より記録ドット配列（または行）間隔の半
分：２１．１６７μｍの位置だけさらに隣の同一列（ま
たは行）で、Ｂのドット２２群（列または行）のドット
位置パターンの行（または列）間：２１．１６７μｍの
位置に記録ドットピッチ：４２．３３３μｍで配列され
ている。

【００１２】これらＢドット２２、Ｃドット２３、Ｍド
ット２４、Ｙドット２５のドット群（列または行）のド
ット位置パターンによる合成記録（Ｂドット２６、Ｃド
ット２７、Ｍドット２８、Ｙドット２９）を図１の左端
に示している。この場合、合成記録は、従来技術のよう
に４色のドットが重畳されておらず、４色均等の配置で
合成記録となるもので、各色の記録密度は、この例の場
合６００ｄｐｉであり、従来技術の４色同一位置の配置
での合成記録の場合に比較して、記録速度は２倍とな
る。このドット位置パターンにおいて、４色のドット記
録群（列または行）を同一色とした場合、すなわち、例
えば各色Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙの何れかの同一色にすれば、上
述に示す例の場合には、記録密度は２倍となり、１２０
０ｄｐｉ（記録ドットピッチ：２１．１６７μｍ）が実
現される。また、記録速度は、同時に隣の列（または
行）が記録されるので、２倍となる。本発明の記録液体
噴出による記録装置および記録方法は、図１のドット配
置パターンを半導体基板上において実現したマルチノズ
ル記録ヘッドを使用し、超高精細、超高密度、超高速、
小形、小電力、多量生産性、廉価を実現するものであ
る。

【００１３】図２は、本発明の記録液体噴出による記録
装置に使用している半導体回路を一体化したマルチノズ
ル記録ヘッドの構成の一部を示す断面図である。図２に
おいて、１はマルチノズル記録ヘッド、２は例えばシリ
コン（Ｓｉ）からなる半導体基板、３は、半導体基板２
に設けた半導体回路、４は、発熱抵抗体からなる発熱
部、５ａは駆動用共通電極、５ｂは駆動用個別電極、６
は配線電極、７は隔壁、８は記録液体供給通路、９は、
発熱部真上の通路、１１は外壁、１２は記録液体の噴出
飛行方向を案内するノズル、１３はノズル端部、１５は
記録液体個別供給通路、１４は記録液体共通供給通路、
さらに半導体回路３において、３１は駆動回路、３２は
駆動回路電極、３４は、駆動回路３１のスイッチングト
ランジスタ、３６は、半導体回路３を絶縁する酸化膜絶
縁層、３７は、半導体回路３を保護する保護膜層、４１
は、発熱部４を形成する発熱抵抗体膜を示している。

【００１４】マルチノズル記録ヘッド１において、例え
ばＳｉの半導体基板２は、Ｐ形の半導体で形成され、半
導体回路３を構成する駆動回路３１の最終段のスイッチ
ングトランジスタ３４はＮＰＮのトランジスタで形成さ
れている。また、スイッチングトランジスタ３４から出
力される駆動電流で加熱される発熱部４の発熱抵抗体
は、例えばＴａ−Ｓｉ−Ｏ（タンタル−シリコン−酸素
三元合金）を使用することにより、空気中でのパルス加
熱によって絶縁性自己酸化被膜が形成され、特別の保護
膜層を設けなくても発熱抵抗体を保護するので、記録液
体中での発熱作用状態、記録液体中での放置状態、空気
中での放置状態のいずれにおいても安定なものとなって
いる。また、駆動回路電極３２はＡｌ（アルミニウ
ム）、酸化膜絶縁層３６はＳｉＯ₂ 、保護膜層３７はＣ
ＶＤ（化学蒸着）によるＳｉＯ₂ 膜とＰ−ＳｉＮ膜、駆
動用共通電極５ａと駆動用個別電極５ｂはＮｉ膜で形成
されている。

【００１５】さらに、図３に、本発明の記録液体噴出に
よる記録装置に使用している半導体製造プロセスにより
形成したマルチノズル記録ヘッドの要部断面図および要
部拡大図を示す。図３において、１６は記録ヘッド取付
けフレーム台、１５は、個別の記録液体供給通路８に連
通する記録液体個別供給通路、１４は、複数の記録液体
個別供給通路１５に連通する記録液体共通供給通路、１
７は、記録液体共通供給通路１４に連通する記録液体フ
レーム内共通供給通路、１８は、記録液体フレーム内共
通供給通路１７に連通する記録液体タンクを示す。ま
た、図３には、記録液体の通路と記録液体を噴出するノ
ズルとの関係を理解しやすくするため、記録ヘッド１の
要部の拡大構成が示してあり、４５は、記録ヘッド１を
上面から見た複数のノズル１２、ノズル端部１３の配置
を示す要部、４６、４７は記録液体供給通路８、記録液
体個別供給通路１５等と発熱部４との関連配置を示す要
部である。なお、前記図２の符号と同一のものは同一物
であるため、説明を省略する。この発熱部４とノズル１
２と記録液体供給通路８との組合せをノズル単位とし、
半導体回路３とともに半導体基板２上に複数備えたマル
チノズル記録ヘッド１の関連配置において、複数のノズ
ル１２は、それぞれ発熱部４の上部に垂直に設けられて
いるため、要部４５に示すノズル端部１３と要部４６に
示す発熱部４との中心の位置関係が、同一線上にある。

【００１６】つぎに、図４に、本発明の記録液体噴出に
よる記録装置に使用している半導体製造プロセスにより
形成したマルチノズル記録ヘッド１の半導体基板２上に
設けられた半導体回路３、発熱部４、駆動用電極５につ
いて、例えば、４色（Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）のノズル群（列
または行）のノズル位置を示す。これらノズル位置に
は、発熱部４とともに、同一部分上部に発熱部真上の通
路９、記録液体の噴出飛行方向を案内するノズル１２、
ノズル端部１３がある。このノズル位置は、４色（Ｂ、
Ｃ、Ｍ、Ｙ）の各ノズル群（列または行）のうち、Ｂの
ノズル群（列または行）の同一列（または行）に記録ド
ットピッチ４２．３３３μｍでノズルを配列したものを
基準位置としており、Ｃのノズル群（列または行）のノ
ズル位置は、基準位置から所定の間隔Ｌの位置より記録
ドット配列（または行）間隔の半分：２１．１６７μｍ
の位置だけさらに隣の同一列（または行）に、Ｂのノズ
ル群（列または行）のノズル位置と同一の記録ドットピ
ッチ４２．３３３μｍで配列されている。また、Ｍのノ
ズル群（列または行）のノズル位置は、基準位置から所
定の間隔２Ｌの位置の同一列（または行）に、Ｂのノズ
ル群（列または行）のノズル位置の行（または列）間２
１．１６７μｍの位置に記録ドットピッチ：４２．３３
３μｍで配列されている。また、Ｙのノズル群（列また
は行）のノズル位置は、基準位置から所定の間隔３Ｌの
位置より記録ドット配列（または行）間隔の半分：２
１．１６７μｍの位置だけさらに隣の同一列（または
行）に、Ｂのノズル群（列または行）のノズル位置パタ
ーンの行（または列）間：２１．１６７μｍの位置に記
録ドットピッチ：４２．３３３μｍで配列されている。

【００１７】このような構成の記録ヘッド１を有する記
録液体噴出による記録装置において、記録液体は、記録
液体タンク１８から、それぞれが連通している、記録液
体フレーム内共通供給通路１７、記録液体共通供給通路
１４、記録液体個別供給通路１５、記録液体供給通路８
を経て、発熱部真上の通路９とノズル１２に充満し、記
録液体がノズル端部１３から噴出しない程度に、ノズル
端部１３における記録液体の表面張力と、記録液体タン
ク１８からの供給圧力（図示しないポンプ等による。）
とが、バランスされている。このバランスされている状
態において、マルチノズル記録ヘッド１の発熱部４と電
気的に接続されている半導体回路３に、記録する文字、
画像等に応じた駆動信号が入力されると、発熱抵抗体か
らなる発熱部４に駆動信号に応じた電流が流れ、発熱部
４が急速に発熱する。

【００１８】発熱抵抗体からなる発熱部４が発熱するこ
とにより、熱エネルギーが記録液体に作用する部分であ
る発熱部４上において記録液体に熱エネルギーによる状
態変化が発生し、記録液体が膨張し気泡を発生する。こ
の膨張した気泡は、発熱部真上の通路９に充満し、記録
液体は、記録液体供給通路８からの記録液体の供給を完
全に遮断するとともに、発熱部真上の通路９からノズル
１２にかけて充満していた記録液体を、一気に噴出して
飛行液滴粒子とし、記録対象物めがけて所定の噴出飛行
方向へ飛行させる。記録対象物に飛行してきた記録液体
の飛行液滴粒子は、記録対象物に付着し、文字、画像等
を構成する付着した記録ドットとなる。

【００１９】〔実施の形態 ２〕本発明の記録液体噴出
による記録装置および記録方法の第２の実施の形態を、
図１、図６〜図８を使用して説明する。本発明の記録液
体噴出による記録装置の第２の実施の形態に使用してい
る半導体基板上に形成したマルチノズル記録ヘッドによ
る各ドット記録群（列または行）のドット位置パターン
と合成記録は、第１の実施の形態で使用した図１と同一
である。超高記録密度１２００ｄｐｉ（記録ドットピッ
チ：２１．１６７μｍ）以上を記録するのに好適なドッ
ト位置パターンと合成記録の例である。Ｂのドット２２
群（列または行）のドット位置パターンは、同一列（ま
たは行）に記録ドットピッチ：４２．３３３μｍで配列
されていて、他のドット記録群（列または行）の基準位
置としており、Ｃのドット２３群（列または行）のドッ
ト位置パターンは、基準位置から所定の間隔Ｌの位置よ
り記録ドット配列（または行）間隔の半分：２１．１６
７μｍの位置だけさらに隣の同一列（または行）に、Ｂ
のドット位置パターンと同一の記録ドットピッチ：４
２．３３３μｍで配列されている。

【００２０】また、Ｍのドット２４群（列または行）の
ドット位置パターンは、基準位置から所定の間隔２Ｌの
位置の同一列（または行）に、Ｂのドット位置パターン
の行（または列）間：２１．１６７μｍの位置に記録ド
ットピッチ：４２．３３３μｍで配列されており、Ｙの
ドット２５群（列または行）のドット位置パターンは、
基準位置から所定の間隔３Ｌの位置より記録ドット配列
（または行）間隔の半分：２１．１６７μｍの位置だけ
さらに隣の同一列（または行）で、Ｂのドット位置パタ
ーンの行（または列）間：２１．１６７μｍの位置に記
録ドットピッチ：４２．３３３μｍで配列されている。
ここで、前記Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙ各色のドット記録群のドッ
ト位置について、基準位置および所定の間隔Ｌ、２Ｌ、
３Ｌの位置からの距離をまとめてみると、Ｂのドット２
２群（列または行）のドット位置は、基準位置で距離
０、Ｃのドット２３群（列または行）のドット位置は、
所定の間隔Ｌの位置のさらに隣へ距離２１．１６７μ
ｍ、Ｍのドット２４群（列または行）のドット位置は、
所定の間隔２Ｌの位置の行間へ距離２１．１６７μｍ、
Ｙのドット２５群（列または行）のドット位置は、所定
の間隔３Ｌの位置のさらに隣へ距離２１．１６７μｍそ
して行間へ距離２１．１６７μｍ（言い替えると、４５
°隣へ２９．９３４μｍ。）となる。

【００２１】図６は、本発明の記録液体噴出による記録
装置に使用している半導体回路を一体化したマルチノズ
ル記録ヘッドの構成の一部を示す断面図である。図６に
おいて、１はマルチノズル記録ヘッド、２は例えばシリ
コン（Ｓｉ）からなる半導体基板、３は、半導体基板２
に設けた半導体回路、４は、発熱抵抗体からなる発熱
部、５ａは、発熱部４に駆動電流を供給する駆動用共通
電極、５ｂは、発熱部４に駆動電流を供給する駆動用個
別電極、６は配線電極、７は隔壁、８は記録液体供給通
路、９は発熱部真上の通路、１１は外壁、１２は記録液
体の噴出飛行方向を案内する所定角度θの傾斜を持つノ
ズル、１３はノズル端部、１５は記録液体個別供給通
路、１４は記録液体共通供給通路、さらに半導体回路３
において、３１は駆動回路、３５は記録信号回路、３２
は駆動回路電極、３４は、駆動回路３１のスイッチング
トランジスタ、３６は、半導体回路３を絶縁する酸化膜
絶縁層、３７は、半導体回路３を保護する保護膜層、４
１は、発熱部４を形成する発熱抵抗体膜を示している。

【００２２】記録液体の噴出飛行方向を案内するノズル
１２は、所定角度θの傾斜を持っている。この所定角度
θの傾斜は、前記Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙ各色のドット記録群の
ドット位置と、基準となる位置（基準位置および所定の
間隔Ｌ、２Ｌ、３Ｌの位置。）との距離に応じて決定さ
れる。このノズル１２が持つ所定角度θは、例えばノズ
ル端部１３と記録紙１００との間の距離をＬ１＝１ｍ
ｍ、ノズル１２を形成している外壁１１の厚さをＬ２＝
１００μｍとし、所定の位置のセンターに印字する場
合、所定の位置と基準となる位置との距離をＬ０とする
と、下記（１）式より算出できる。 Ｌ０＝（Ｌ１＋Ｌ２）ｍｍ×ｔａｎθ・・・・・・・・・・・（１） 上述の図１を使用して説明した距離について所定角度θ
を算出すると、Ｌ０＝２１．１６７μｍのとき、θ＝
１．１０２４°、Ｌ０＝２９．９３４μｍのとき、θ＝
１．５５８８°となる。したがって、所定角度θは、Ｂ
色のドット群については距離が０であるのでθ＝０（垂
直）、ＣおよびＭ色のドット群については距離が２１．
１６７μｍであるのでθ＝１．１０２４°、Ｙ色のドッ
ト群については距離が２９．９３４μｍであるのでθ＝
１．５５８８°となる。

【００２３】マルチノズル記録ヘッド１において、例え
ばＳｉの半導体基板２は、Ｐ形の半導体で形成され、半
導体回路３を構成する駆動回路３１の最終段のスイッチ
ングトランジスタ３４はＮＰＮのトランジスタで形成さ
れている。また、スイッチングトランジスタ３４から出
力される駆動電流で加熱される発熱部４の発熱抵抗体
は、例えばＴａ−Ｓｉ−Ｏ（タンタル−シリコン−酸素
三元合金）を使用することにより、空気中でのパルス加
熱によって絶縁性自己酸化被膜が形成され、特別の保護
膜層を設けなくても発熱抵抗体を保護するので、記録液
体中での発熱作用状態、記録液体中での放置状態、空気
中での放置状態のいずれにおいても安定なものとなって
いる。また、駆動回路電極３２はＡｌ（アルミニウ
ム）、酸化膜絶縁層３６はＳｉＯ₂ 、保護膜層３７はＣ
ＶＤ（化学蒸着）によるＳｉＯ₂ 膜とＰ−ＳｉＮ膜、駆
動用共通電極５ａと駆動用個別電極５ｂはＮｉ膜で形成
されている。

【００２４】さらに、図７に、本発明の記録液体噴出に
よる記録装置に使用している半導体製造プロセスにより
形成したマルチノズル記録ヘッドの要部断面図および要
部拡大図を示す。図７において、１６は記録ヘッド取付
けフレーム台、１５は、個別の記録液体供給通路８に連
通する記録液体個別供給通路、１４は、複数の記録液体
個別供給通路１５に連通する記録液体共通供給通路、１
７は、記録液体共通供給通路１４に連通する記録液体フ
レーム内共通供給通路、１８は、記録液体フレーム内共
通供給通路１７に連通する記録液体タンクを示す。ま
た、図７には、記録液体の通路と記録液体の噴出するノ
ズルとの関係を理解しやすくするため、記録ヘッド１の
要部の拡大構成が示してあり、４５は、記録ヘッド１を
上面から見た複数のノズル１２、ノズル端部１３の配置
を示す要部、４６、４７は、記録液体供給通路８、記録
液体個別供給通路１５等と発熱部４との関連配置を示す
要部である。なお、前記図６の符号と同一のものは同一
物であるため、説明を省略する。この発熱部４とノズル
１２と記録液体供給通路８との組合せをノズル単位とし
て、半導体回路３とともに半導体基板２上に複数備えた
マルチノズル記録ヘッド１の関連配置において、複数の
ノズル１２（例えば前記Ｃ、Ｙ色用のノズル。）は所定
角度θで傾斜しているため、要部４５に示すノズル端部
１３と要部４６に示す発熱部４との中心の位置関係が同
一線上にない。

【００２５】つぎに、図８に、本発明の記録液体噴出に
よる記録装置に使用している半導体プロセスにより形成
したマルチノズル記録ヘッド１の半導体基板２上に設け
られた半導体回路３、駆動用電極５、発熱部４、発熱部
真上の通路９と、例えば４色（Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）のノズ
ル群（列または行）のノズル１２、ノズル端部１３の位
置を示す。４色（Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙ）のノズル群（列また
は行）とも、ノズル１２の一端は発熱部４上部にあり、
言い替えるとノズル１２の発熱部真上の通路９との連通
する側は発熱部４とともにあり、記録ドットピッチ４
２．３３３μｍで配置されているが、ノズル１２のノズ
ル端部１３側の位置は、Ｂ、Ｃ、Ｍ、Ｙ各色ノズル群
（列または行）により異なっている。Ｂ色のノズル群
（列または行）は、ノズル１２の傾斜角度がθ＝０であ
り垂直であるので、発熱部４とともに同一部分上部にあ
り基準位置となっている。Ｃ色のノズル群（列または
行）は、ノズル１２の傾斜角度がθ＝１．１０２４°で
あり、基準位置から所定の間隔Ｌの位置から、さらに隣
の位置へ傾斜して配列されている。なお、所定の間隔ｅ
は、上述の（１）式の条件Ｌ１、Ｌ２により決定され
る。Ｍ色のノズル群（列または行）は、ノズル１２の傾
斜角度がθ＝１．１０２４°であり、基準位置から所定
の間隔２Ｌの位置から、同一列（または行）の位置へ傾
斜して配列されている。なお、所定の間隔ｆは、上述の
（１）式の条件Ｌ１、Ｌ２により決定される。Ｙ色のノ
ズル群（列または行）は、ノズル１２の傾斜角度がθ＝
１．５５８８°であり、基準位置から所定の間隔３Ｌの
位置から、さらに４５°隣の位置へ傾斜して配列されて
いる。なお、所定の間隔ｅ、ｆは、上述の（１）式の条
件Ｌ１、Ｌ２により決定される。

【００２６】つづいて、前記構成のマルチノズル記録ヘ
ッド１の半導体製造プロセスによる形成について、簡単
な説明をする。例えばＳｉの半導体基板２内の記録液体
個別供給通路１５と記録液体共通供給通路１４とを、両
面からフォトエッチングで形成する。さらに、半導体基
板２上に膜質形成されている駆動回路電極３２、酸化膜
絶縁層３６、保護膜層３７、駆動用共通電極５ａ、駆動
用個別電極５ｂの上に、耐水性フィルムレジストを接着
し、記録液体個別供給通路８と半導体基板２内の記録液
体個別供給通路１５および記録液体共通供給通路１４の
部分のレジストを除去するように露光、現像した後、レ
ジストを硬化させて隔壁７とする。つぎに、この上に、
厚さ約５０μｍの例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタ
レート）フィルムを紫外線硬化接着剤で接着し、外壁１
１とし、このＰＥＴフィルムの外壁１１に、記録液体の
噴出飛行方向を案内するノズル１２をドライエッチング
により形成している。なお、事前に、このノズル１２を
所定角度傾斜させて形成するには、外壁１１のプレート
に、例えば、感光性ガラスによるマスクを使用し斜め露
光して、外壁１１のプレートを製作することにより約５
０〜１００μｍの厚さも可能である。所定角度だけ傾斜
させたノズル１２を形成した外壁１１のプレートは、半
導体基板２のウエハと同じサイズの外壁１１のプレート
とし、隔壁７が形成されている半導体基板２のウエハに
位置合わせして接着し、マルチノズル記録ヘッド１毎に
切りだし、記録ヘッド取付けフレーム台１６上に取り付
けている。

【００２７】前記のように形成され、構成されているマ
ルチノズル記録ヘッド１を有する記録液体噴出による記
録装置において、記録液体は、記録液体タンク１８か
ら、それぞれが連通している、記録液体フレーム内共通
供給通路１７、記録液体共通供給通路１４、記録液体個
別供給通路１５、記録液体供給通路８を経て、発熱部真
上の通路９とノズル１２に充満し、記録液体がノズル端
部１３から噴出しない程度に、ノズル端部１３における
記録液体の表面張力と、記録液体タンク１８からの供給
圧力（図示しないポンプ等による。）とが、バランスさ
れている。このバランスされている状態において、マル
チノズル記録ヘッド１の発熱部４と電気的に接続されて
いる半導体回路３に、記録する文字、画像等に応じた駆
動信号が入力されると、発熱抵抗体からなる発熱部４に
駆動信号に応じた電流が流れ、発熱部４が急速に発熱す
る。

【００２８】発熱抵抗体からなる発熱部４が発熱するこ
とにより、熱エネルギーが記録液体に作用する部分であ
る発熱部４上において記録液体に熱エネルギーによる状
態変化が発生し、記録液体が膨張し気泡を発生する。こ
の膨張した気泡は、発熱部真上の通路９に充満し、記録
液体は、記録液体供給通路８からの記録液体の供給を完
全に遮断するとともに、発熱部真上の通路９からノズル
１２にかけて充満していた記録液体を、一気に噴出して
飛行液滴粒子とし、記録対象物めがけて所定の噴出飛行
方向へ飛行させる。記録対象物に飛行してきた記録液体
の飛行液滴粒子は、記録対象物に付着し、文字、画像等
を構成する付着した記録ドットとなる。

【００２９】このような図２〜図４および図６〜図８の
構成において、記録液体を同一色とし、超高記録密度１
２００ｄｐｉ以上とする場合は、半導体基板２上に、半
導体製造プロセスにて上述のマルチノズル記録ヘッド１
を記録ドットピッチ：２１．１６７μｍ以下で製造する
ことにより実現することができる。この場合、記録液体
を噴出飛行させるために必要な熱エネルギーは、従来と
比較して一桁以下の約２μＪ／ドットの低エネルギーと
なる。また、記録速度は、Ａ４サイズにおいて、マルチ
ノズル記録ヘッド１の構成をラインヘッドとして構成す
る場合、有効記録幅２１０ｍｍとし、マルチノズル（複
数のノズル１２）の４行構成で、約４０，０００マルチ
ノズルとして構成され得る。なお、長尺ラインヘッドと
する場合、短いラインヘッドのものを、斜めの記録液体
飛行技術により、つき合せ結合可能である。また、記録
速度は、従来と比較し１〜２桁以上の、超記録ドット速
度１μｓｅｃ／ドットであり、同時記録すれば（発熱エ
ネルギーが少ないため可能）、Ａ４サイズにおいて、約
５０ページ／秒以上の記録速度が容易である。

【００３０】また、本発明の構成において、４色カラー
として、超高記録密度６００ｄｐｉ以上を実現する場合
は、半導体基板上に半導体製造プロセスにて記録ドット
ピッチ４２．３３３μｍ以下とし、上述のマルチノズル
記録ヘッド１の構成が可能である。また、本発明によ
り、マルチノズル記録ヘッドのノズル群の列（または
行）を直角に設置し、記録紙を走行させたり、あるい
は、記録紙に対して、マルチノズル記録ヘッドのノズル
群の列（または行）を直角に配置して、マルチノズル記
録ヘッドを走行して記録する方法が可能となり、直角の
角度で、単純な構造で設置するために小形に安価で、記
録密度精度が正確に実現可能となる。さらに、ノズルの
配列位置の変更は予めノズルが形成された外壁の変更に
より行なうことができるので、各種形態のノズル配置に
対応することができる。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、例えば、１２００ｄｐ
ｉ（ドットピッチ：２１．１６７μｍ／ドット）以上の
超高精細記録を達成するため、６００ｄｐｉ（ドットピ
ッチ：４２．３３３μｍ／ドット）のノズル群（列また
は行）を４群（列または行）でノズル単位として半導体
製造プロセスにより半導体基板上に構成したマルチノズ
ル記録ヘッドを有するものとし、約２０、０００ノズ
ル、１色記録で１２００ｄｐｉ、４色カラー記録で６０
０ｄｐｉを実現する記録液体噴出による記録装置および
記録方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている半導体基板上に形成したマルチノズル記録ヘッド
によるドット記録群（列または行）のドット位置パター
ンと合成記録を示す図。

【図２】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている半導体回路を一体化したマルチノズル記録ヘッド
の構成の一部を示す断面図。

【図３】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている半導体製造プロセスにより形成したマルチノズル
記録ヘッドの要部断面図および要部拡大図。

【図４】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている半導体製造プロセスにより形成したマルチノズル
記録ヘッドの半導体基板上に設けられた半導体回路、発
熱部、駆動用電極、ノズル等の位置パターンを示す図。

【図５】従来の記録液体噴出による記録装置に使用して
いる半導体基板上に形成したマルチノズル記録ヘッドに
よるドット記録群（列または行）のドット位置パターン
と合成記録を示す図。

【図６】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている半導体回路を一体化したマルチノズル記録ヘッド
の構成の一部を示す断面図。

【図７】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている半導体製造プロセスにより形成したマルチノズル
記録ヘッドの要部断面図および要部拡大図。

【図８】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている半導体製造プロセスにより形成したマルチノズル
記録ヘッドの半導体基板上に設けられた半導体回路、発
熱部、駆動用電極、ノズル等の位置パターンを示す図。

【符号の説明】

１…マルチノズル記録ヘッド、２…半導体基板、３…半
導体回路、４…発熱部、５ａ…駆動用共通電極、５ｂ…
駆動用個別電極、６…配線電極、７…隔壁、８…記録液
体供給通路、９…発熱部真上の通路、１１…外壁、１２
…ノズル、１３…ノズル端部、１４…記録液体共通供給
通路、１５…記録液体個別供給通路、１６…記録ヘッド
取付けフレーム台、１７…記録液体フレーム内共通供給
通路、１８…記録液体タンク、２１、１００…記録紙、
２２…ブラックドット、２３…シャンドット、２４…マ
ゼンタドット、２５…イエロードット、２６…ブラック
ドット、２７…シャンドット、２８…マゼンタドット、
２９…イエロードット、３１…駆動回路、３２…駆動回
路電極、３４…スイッチングトランジスタ、３６…酸化
膜絶縁層、３７…保護膜層、４１…発熱抵抗体膜。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録液体供給通路と、発熱作用による熱
   エネルギーが記録液体に作用する部分である発熱抵抗体
   からなる複数の発熱部と、前記記録液体を所要方向へ噴
   出飛行させる複数の記録液体噴出飛行方向案内ノズルと
   を備えた記録ヘッドを有する記録液体噴出による記録装
   置において、 前記複数のノズルの液体噴出開口部は行と列で配列し、
   かつ、少なくともその各行と各列の一方は相互の位置を
   ずらして配置したことを特徴とする記録液体噴出による
   記録装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の記録液体噴出による記録
   装置において、前記ノズルの配列位置の変更は予めノズ
   ルが形成された外壁の変更により行なわれるようにした
   ことを特徴とする記録液体噴出による記録装置。
3. 【請求項３】 少なくとも、記録液体に熱エネルギーに
   よる状態変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部
   と、該発熱部上部に設けた記録液体を噴出させるノズル
   と、前記発熱部と前記ノズルとへ記録液体を供給する記
   録液体供給通路との組合せをノズル単位としたものを、
   前記発熱部を駆動信号により駆動する半導体回路ととも
   に半導体基板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを
   有するものであって、記録する文字・画像等に応じた駆
   動信号により複数の前記半導体回路を介し前記発熱部を
   駆動し、記録液体に熱エネルギーによる状態変化を発生
   させ、状態変化に基づいて各発熱部上部に設けたノズル
   より記録液体を噴出し、液滴粒子を記録対象物へ飛行さ
   せる記録液体噴出による記録装置において、 前記ノズル単位のノズル群（列または行）のノズル位置
   パターンの基本配置を４列（または行）とし、 同一列（または行）のノズル間隔は、所要ドット数／イ
   ンチ間隔、 ノズル群の基本配置４列（または行）の間隔は、ノズル
   群の１列（または行）を基準位置とし、他のノズル群の
   １列（または行）を基準位置から所定間隔のｎ倍、他の
   ノズル群の２列（または行）を基準位置から所定間隔の
   ｎ倍＋前記ノズル間隔の１／２、 ノズル位置は、他のノズル群の１列（または行）のノズ
   ル位置を基準位置のノズル群の１列（または行）と同位
   置、他のノズル群の２列（または行）のノズル位置を基
   準位置のノズル群の１列（または行）のノズル間の位置
   とした前記マルチノズル記録ヘッドを有することを特徴
   とする記録液体噴出による記録装置。
4. 【請求項４】 少なくとも、記録液体に熱エネルギーに
   よる状態変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部
   と、該発熱部上部に設けた記録液体を噴出させるノズル
   と、前記発熱部と前記ノズルとへ記録液体を供給する記
   録液体供給通路との組合せをノズル単位としたものを、
   前記発熱部を駆動信号により駆動する半導体回路ととも
   に半導体基板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを
   有し、記録する文字・画像等に応じた駆動信号により複
   数の前記半導体回路を介し前記発熱部を駆動し、記録液
   体に熱エネルギーによる状態変化を発生させ、状態変化
   に基づいて各発熱部上部に設けたノズルより記録液体を
   噴出し、液滴粒子を記録対象物へ飛行させる記録液体噴
   出による記録方法において、 前記ノズル単位のノズル群（列または行）のノズル位置
   パターンの基本配置を４列（または行）とし、 同一列（または行）のノズル間隔は、所要ドット数／イ
   ンチ間隔、 ノズル群の基本配置４列（または行）の間隔は、ノズル
   群の１列（または行）を基準位置とし、他のノズル群の
   １列（または行）を基準位置から所定間隔のｎ倍、他の
   ノズル群の２列（または行）を基準位置から所定間隔の
   ｎ倍＋前記ノズル間隔の１／２、 ノズル位置は、他のノズル群の１列（または行）のノズ
   ル位置を基準位置のノズル群の１列（または行）と同位
   置、他のノズル群の２列（または行）のノズル位置を基
   準位置のノズル群の１列（または行）のノズル間の位置
   とした前記マルチノズル記録ヘッドを使用し、 前記マルチノズル記録ヘッドのすべてのノズル群に同一
   色の記録液体を供給して、所要のノズルより同一色の記
   録液体を噴出し、高解像度の合成記録を行なうようにし
   たことを特徴とする記録液体噴出による記録方法。
5. 【請求項５】 少なくとも、記録液体に熱エネルギーに
   よる状態変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部
   と、該発熱部上部に設けた記録液体を噴出させるノズル
   と、前記発熱部と前記ノズルとへ記録液体を供給する記
   録液体供給通路との組合せをノズル単位としたものを、
   前記発熱部を駆動信号により駆動する半導体回路ととも
   に半導体基板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを
   有し、記録する文字・画像等に応じた駆動信号により複
   数の前記半導体回路を介し前記発熱部を駆動し、記録液
   体に熱エネルギーによる状態変化を発生させ、状態変化
   に基づいて各発熱部上部に設けたノズルより記録液体を
   噴出し、液滴粒子を記録対象物へ飛行させる記録液体噴
   出による記録方法において、 前記ノズル単位のノズル群（列または行）のノズル位置
   パターンの基本配置を４列（または行）とし、 同一列（または行）のノズル間隔は、所要ドット数／イ
   ンチ間隔、 ノズル群の基本配置４列（または行）の間隔は、ノズル
   群の１列（または行）を基準位置とし、他のノズル群の
   １列（または行）を基準位置から所定間隔のｎ倍、他の
   ノズル群の２列（または行）を基準位置から所定間隔の
   ｎ倍＋前記ノズル間隔の１／２、 ノズル位置は、他のノズル群の１列（または行）のノズ
   ル位置を基準位置のノズル群の１列（または行）と同位
   置、他のノズル群の２列（または行）のノズル位置を基
   準位置のノズル群の１列（または行）のノズル間の位置
   とした前記マルチノズル記録ヘッドを使用し、 前記マルチノズル記録ヘッドのノズル群に、黒（Ｂ）、
   シャン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の４色
   の記録液体を供給して、所要のノズルより４色の記録液
   体を噴出し、高解像度のカラー合成記録を行なうように
   したことを特徴とする記録液体噴出による記録方法。
6. 【請求項６】 少なくとも、記録液体に熱エネルギーに
   よる状態変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部
   と、該発熱部上部に設けた記録液体を噴出させるノズル
   と、前記発熱部と前記ノズルとへ記録液体を供給する記
   録液体供給通路との組合せをノズル単位としたものを、
   前記発熱部を駆動信号により駆動する半導体回路ととも
   に半導体基板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを
   有するものであって、記録する文字・画像等に応じた駆
   動信号により所要の前記半導体回路を介し所要の前記発
   熱部を駆動し、記録液体に熱エネルギーによる状態変化
   を発生させ、状態変化に基づいて各発熱部上部に設けた
   所要のノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を記録対
   象物へ飛行させる記録液体噴出による記録装置におい
   て、 前記ノズル単位の前記発熱部群（列または行）の発熱部
   位置パターンの基本配置を４列（または行）とし、 同一列（または行）の前記発熱部間隔は、所要ドット数
   ／インチ間隔、 前記発熱部群の基本配置４列（または行）の間隔は、発
   熱部群の１列（または行）を基準位置とし、他の発熱部
   群の３列（または行）のそれぞれを基準位置から所定間
   隔のｎ倍、 ノズルは、すべて前記発熱部上部に一端を有し、発熱部
   群の基準位置の１列（または行）の発熱部上部のノズル
   は垂直、他の３列（または行）の発熱部上部のノズル
   は、それぞれ所定の方向へ、所要角度θの傾斜となるよ
   うに配置した前記マルチノズル記録ヘッドを有すること
   を特徴とする記録液体噴出による記録装置。