JPH1058716A - 記録液体噴出による記録装置および記録方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】ノズルから噴出した飛行液滴粒子同士が接触、
結合、衝突等が発生し記録分解能が低下するのを防止す
る構造とした記録装置の提供。 【解決手段】発熱部４と、ノズル１２と、記録液体供給
通路８と、半導体回路との組合せをノズル単位としたも
のを、半導体基板２上に複数備えたマルチノズル記録ヘ
ッドを有し、駆動信号により所要の半導体回路を介し所
要の発熱部を駆動し、記録液体に状態変化を発生させ、
所要のノズル１２より記録液体を噴出し、液滴粒子を記
録対象物へ飛行させる記録装置において、隣合うノズル
１２単位で交互の列となる位置に配置した複数の発熱抵
抗体からなる発熱部４と、発熱部４上部に、所定の角度
を持ち交互に異なる方向に向け形成した記録液体を噴出
させる複数のノズルとを配置したノズル列を複数備えた
マルチノズル記録ヘッド１を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、記録液体を加熱
し、熱エネルギーの作用によって、液滴粒子をノズルか
ら記録対象物へ噴出飛行させて、ノンインパクトで文字
・画像等を記録対象物に記録する記録液体噴出による記
録装置および記録方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ノンインパクト記録を行なう記録装置の
一つとして、記録液体を、記録ヘッドから熱エネルギー
の作用によって記録対象物へ噴出飛行させて記録する装
置が、すでに商品化されている。この周知の記録装置で
は、記録ヘッドに記録液体を噴出するノズルを複数設け
（マルチノズル記録ヘッド）、複数のノズルの所要のノ
ズルより記録液体を液滴粒子として噴出飛行させ、ノズ
ルに対向して設けた記録対象物、例えば記録紙上に、記
録液体を付着させ、所要数のドット状の記録とするもの
である。この記録装置に使用している記録ヘッドに関
し、液滴粒子を形成するノズルと記録液体の噴出への通
路と発熱体面との関係を提供し、長時間連続記録するこ
と、高密度マルチノズル化のための一部微細加工による
装置とすることについて、例えば特公昭６３−６３５６
号公報等に開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来技術の記録液体噴
出による記録装置および記録方法では、一般的に、超高
精細記録のために、記録密度を上げるほど、隣接する飛
行液滴粒子同士の接触、結合、衝突等が発生し、記録分
解能が低下するという問題がある。本発明は、この問題
を解決し、超高精細記録を達成するため、ノズル単位
で、発熱部の位置と所定角度を持たせたノズルの方向と
を、交互に変えて組み合わせ、ノズルから噴出した飛行
液滴粒子同士が接触、結合、衝突等が発生し記録分解能
が低下することを防止する構造としたマルチノズル記録
ヘッドを有する記録液体噴出による記録装置および記録
方法を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の記録液体噴出による記録装置は、記録液体
に熱エネルギーによる状態変化を発生させ、状態変化に
基づいてノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を記録
対象物へ飛行させる記録液体噴出による記録装置におい
て、隣合う前記ノズル単位で交互の列（または行）とな
る位置に配置した複数の前記発熱抵抗体からなる発熱部
と、前記発熱部上部に、所定の角度を持ち交互に異なる
方向に向け形成した記録液体を噴出させる複数の前記ノ
ズルとを配置したノズル列（または行）を複数備えたマ
ルチノズル記録ヘッドを有するものである。また、本発
明の記録液体噴出による記録装置は、少なくとも、記録
液体に熱エネルギーによる状態変化を発生させる発熱抵
抗体からなる発熱部と、該発熱部上部に設けた記録液体
を噴出させるノズルと、前記発熱部と前記ノズルへ記録
液体を供給する記録液体供給通路と、前記発熱部を駆動
信号により駆動する半導体回路との組合せをノズル単位
としたものを、半導体基板上に複数備えたマルチノズル
記録ヘッドを有するものであって、記録する文字・画像
等に応じた駆動信号により所要の前記半導体回路を介し
所要の前記発熱抵抗体からなる発熱部を駆動し、記録液
体に熱エネルギーによる状態変化を発生させ、状態変化
に基づいて各発熱部上部に設けた所要の前記ノズルより
記録液体を噴出し、液滴粒子を記録対象物へ飛行させる
記録液体噴出による記録装置において、隣合う前記ノズ
ル単位で交互の列（または行）となる位置に配置した複
数の前記発熱抵抗体からなる発熱部と、前記発熱部上部
に、所定の角度を持ち交互に異なる方向に向け形成した
記録液体を噴出させる複数の前記ノズルとを配置したノ
ズル列（または行）を複数備えたマルチノズル記録ヘッ
ドを有するものである。

【０００５】また、本発明の記録液体噴出による記録方
法は、少なくとも、記録液体に熱エネルギーによる状態
変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部と、該発熱
部上部に設けた記録液体を噴出させるノズルと、前記発
熱部と前記ノズルへ記録液体を供給する記録液体供給通
路と、前記発熱部を駆動信号により駆動する半導体回路
との組合せをノズル単位としたものを、半導体基板上に
複数備えたマルチノズル記録ヘッドを有するものであっ
て、記録する文字・画像等に応じた駆動信号により所要
の前記半導体回路を介し所要の前記発熱抵抗体からなる
発熱部を駆動し、記録液体に熱エネルギーによる状態変
化を発生させ、状態変化に基づいて各発熱部上部に設け
た所要の前記ノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を
記録対象物へ飛行させる記録液体噴出による記録方法に
おいて、隣合う前記ノズル単位で交互の列（または行）
となる位置に配置した複数の前記発熱抵抗体からなる発
熱部と、前記発熱部上部に、所定の角度を持ち交互に異
なる方向に向け形成した記録液体を噴出させる複数の前
記ノズルとを配置したノズル列（または行）を複数備え
たマルチノズル記録ヘッドを使用し、前記マルチノズル
記録ヘッドの前記ノズル列（または行）に、黒、シャ
ン、マゼンタ、イエローの４色の記録液体を供給して、
所要のノズルより４色の記録液体を噴出し、高解像度の
カラー合成記録を行なうようにしたものである。

【０００６】また、本発明の記録液体噴出による記録方
法は、少なくとも、記録液体に熱エネルギーによる状態
変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部と、該発熱
部上部に設けた記録液体を噴出させるノズルと、前記発
熱部と前記ノズルへ記録液体を供給する記録液体供給通
路と、前記発熱部を駆動信号により駆動する半導体回路
との組合せをノズル単位としたものを、半導体基板上に
複数備えたマルチノズル記録ヘッドを有するものであっ
て、記録する文字・画像等に応じた駆動信号により所要
の前記半導体回路を介し所要の前記発熱抵抗体からなる
発熱部を駆動し、記録液体に熱エネルギーによる状態変
化を発生させ、状態変化に基づいて各発熱部上部に設け
た所要の前記ノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を
記録対象物へ飛行させる記録液体噴出による記録方法に
おいて、隣合う前記ノズル単位で交互の列（または行）
となる位置に配置した複数の前記発熱抵抗体からなる発
熱部と、前記発熱部上部に、所定の角度を持ち交互に異
なる方向に向け形成した記録液体を噴出させる複数の前
記ノズルとを配置したノズル列（または行）を複数備え
たマルチノズル記録ヘッドを使用し、前記マルチノズル
記録ヘッドの前記ノズル列（または行）に、同一色の記
録液体を供給して、所要のノズルより同一色の記録液体
を噴出し、高解像度の合成記録を行なうようにしたもの
である。

【０００７】本発明の作用について説明すると、本発明
の記録液体噴出による記録装置は、少なくとも、記録液
体に熱エネルギーによる状態変化を発生させる発熱抵抗
体からなる発熱部と、該発熱部上部に設けた記録液体を
噴出させるノズルと、前記発熱部と前記ノズルへ記録液
体を供給する記録液体供給通路と、前記発熱部を駆動信
号により駆動する半導体回路との組合せをノズル単位と
したものを、半導体基板上に複数備えたマルチノズル記
録ヘッドを有しており、記録する文字・画像等に応じた
駆動信号により所要の前記半導体回路を介し所要の前記
発熱抵抗体からなる発熱部を駆動し、記録液体に熱エネ
ルギーによる状態変化を発生させ、状態変化に基づいて
各発熱部上部に設けた所要の前記ノズルより記録液体を
噴出し、液滴粒子を記録対象物へ飛行させる記録液体噴
出による記録装置であって、隣合う前記ノズル単位で交
互の列（または行）となる位置に配置した複数の前記発
熱抵抗体からなる発熱部と、前記発熱部上部に、所定の
角度を持ち交互に異なる方向に向け形成した記録液体を
噴出させる複数の前記ノズルとを配置したノズル列（ま
たは行）を複数備えたマルチノズル記録ヘッドを使用
し、前記マルチノズル記録ヘッドの前記ノズル列（また
は行）に、記録液体を供給して、所要のノズルより記録
液体を噴出し、高解像度の合成記録を行なう。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の記録液体噴出による記録
装置について実施の形態を、図１、図２、図３を使用し
て説明する。図１は、本発明の記録液体噴出による記録
装置に使用する半導体基板上に形成したマルチノズル記
録ヘッドの基本構成を示す部分拡大図であり、記録液体
を噴出飛行させるための発熱部とノズルを中心とした図
である。図１において、１はマルチノズル記録ヘッド、
２は、マルチノズル記録ヘッド１が形成されている半導
体基板、４Ａ、４Ｂは発熱抵抗体からなる発熱部、８
Ａ、８Ｂは記録液体供給通路、９Ａ、９Ｂは発熱部真上
の通路、１２Ａ、１２Ｂは記録液体の噴出飛行方向を案
内するノズル、１３Ａ、１３Ｂは記録液体が噴出するノ
ズル端部、７は隔壁、１１は外壁を示す。

【０００９】マルチノズル記録ヘッド１において、ノズ
ル１２Ａで噴出飛行方向を案内されてノズル端部１３Ａ
から噴出する記録液体の飛行液滴粒子Ａと、ノズル１２
Ｂで噴出飛行方向を案内されてノズル端部１３Ｂから噴
出する記録液体の飛行液滴粒子Ｂとが、記録対象物、例
えば記録紙１００へ飛行する方向が、記録紙１００上
で、記録ドットの所要の列（または行）１０１Ａ、１０
１Ｂ・・・として配列されるように、Ａ符号列とＢ符号
列のノズル、発熱部、記録液体供給通路、半導体回路の
組合せからなるノズル単位（図１には、半導体回路の部
分は記載していない。）それぞれが、交互の所定位置に
列（または行）として配列されており、さらに、Ａ符号
列とＢ符号列のノズル単位の中のノズル１２Ａとノズル
１２Ｂとは、互いに逆方向に傾斜するように、それぞれ
所定の角度θを有している。

【００１０】そして、ノズル端部１３Ａ、１３Ｂから記
録紙１００の面までの直線距離をＬ１、ノズル１２Ａ、
１２Ｂを形成する外壁１１の有効部分の高さをＬ２と
し、Ａ符号列とＢ符号列との間の中心線上に記録列（ま
たは行）を形成するとすれば、Ａ符号列とＢ符号列との
間の中心線から、ノズル端部１３Ａ、１３Ｂの中心まで
の距離Ｇは、Ｇ＝Ｌ１ｔａｎθの位置に設けられてお
り、ノズル１２Ａ、１２Ｂは、Ａ符号列とＢ符号列とが
それぞれ交互に角度θで配列（または行）されているの
で、例えば、Ｌ１＝１ｍｍ、θ＝５°のとき、Ｇ＝８
７．４９μｍとなる。また、Ａ符号列とＢ符号列との間
の中心線から、ノズル１２Ａ、１２Ｂと連通する発熱部
真上の通路９Ａ、９Ｂとの連通部中心までの距離Ｇ’
は、Ｇ’＝（Ｌ１＋Ｌ２）ｔａｎθで与えられる。例え
ば、Ｌ１＝１ｍｍ、Ｌ２＝１．１ｍｍ、θ＝５°のと
き、Ｇ’＝９６．２４μｍとなる。

【００１１】本発明の記録液体噴出による記録装置に使
用するマルチノズル記録ヘッドは、上述のような構成で
あるから、超記録密度のマルチノズル記録ヘッドとする
ために、記録密度ピッチを上げ、従来に比べ、飛行液滴
粒子Ａと飛行液滴粒子Ｂとが近接するようにしても、記
録紙１００の面に到達するまでに、飛行液滴粒子同士の
混流が発生することが少なく、本発明の交互角度配列
（または行）による記録装置は、従来の１配列（または
行）の記録装置に比較して、基本的に２倍の記録密度を
実現可能となる。

【００１２】図２は、本発明の記録液体噴出による記録
装置に使用している、半導体基板上に半導体回路と一体
に形成したマルチノズル記録ヘッドの一部断面図（Ａ符
号列の１つのノズル単位が示されている。）である。図
２において、３は、半導体基板、例えばシリコン基板上
に形成された半導体回路、５Ａは、発熱部４Ａを駆動す
る駆動用共通電極、５Ｂは、発熱部４Ａを駆動する半導
体回路３のスイッチングトランジスタ３４に接続された
駆動用個別電極、４１は、発熱部４を構成する発熱抵抗
体膜、１４は記録液体共通供給通路、１５は記録液体個
別供給通路、さらに半導体回路３において、３１は駆動
回路、３５は記録信号回路、３２は駆動回路電極、３３
は内部配線、３６は、半導体回路３を絶縁する酸化膜絶
縁層、３７は、半導体回路３を保護する保護膜層を示
す。なお、前記図１の符号と同一のものは同一物である
ため、説明を省略する。

【００１３】マルチノズル記録ヘッド１において、例え
ばＳｉの半導体基板２は、Ｐ形の半導体で形成され、半
導体回路３を構成する駆動回路３１の最終段のスイッチ
ングトランジスタ３４はＮＰＮのトランジスタで形成さ
れている。また、スイッチングトランジスタ３４から出
力される駆動電流で加熱される発熱部４Ａの発熱抵抗体
は、例えばＴａ−Ｓｉ−Ｏ（タンタル−シリコン−酸素
三元合金）を使用することにより、空気中でのパルス加
熱によって絶縁性自己酸化被膜が形成され、特別の保護
膜層を設けなくても発熱抵抗体を保護するので、記録液
体中での発熱作用状態、記録液体中での放置状態、空気
中での放置状態のいずれにおいても安定なものとなって
いる。また、駆動回路電極３２はＡｌ（アルミニウ
ム）、酸化膜絶縁層３６はＳｉＯ₂ 、保護膜層３７はＣ
ＶＤ（化学蒸着）によるＳｉＯ₂ 膜とＰ−ＳｉＮ膜、駆
動用共通電極５Ａと駆動用個別電極５ＢはＮｉ膜で形成
されている。

【００１４】さらに、図３に、本発明の記録液体噴出に
よる記録装置に使用している半導体製造プロセスにより
形成したマルチノズル記録ヘッドの要部断面図および要
部拡大図を示す。図３において、１６は記録ヘッド取付
けフレーム台、１５は、個別の記録液体供給通路８に連
通する記録液体個別供給通路、１４は、複数の記録液体
個別供給通路１５に連通する記録液体共通供給通路、１
７は、記録液体共通供給通路１４に連通する記録液体フ
レーム内共通供給通路、１８は、記録液体フレーム内共
通供給通路１７に連通する記録液体タンクを示す。さら
に、図３には、記録液体の通路と記録液体が噴出するノ
ズルとの関係を理解しやすくするため、マルチノズル記
録ヘッド１の要部の拡大構成が示してあり、２１は、マ
ルチノズル記録ヘッド１を上面から見た複数のノズル１
２Ａ、１２Ｂの配置を示す要部、２２、２３は記録液体
供給通路８、記録液体個別供給通路１５等と発熱部４
Ａ、４Ｂとの関連配置を示す要部である。なお、前記図
１、図２の符号と同一のものは同一物であるため、説明
を省略する。

【００１５】図１、図２、図３に示す構成の中で、Ｓｉ
からなる半導体基板２内の記録液体共通供給通路１４と
記録液体個別供給通路１５とは、両面からのフォトエッ
チングにより形成される。さらに、半導体基板２上の駆
動回路電極３２、酸化膜絶縁層３６、保護膜層３７、駆
動用共通電極５Ａ、駆動用個別電極５Ｂは、膜質が形成
されている上に、耐水性フィルムレジストを接着し、記
録液体供給通路８と、半導体基板２内の記録液体個別供
給通路１５と記録液体共通供給通路１４の部分のレジス
トが除去されるように露光、現像した後、レジストを硬
化させて隔壁７とする。さらに、この上に、事前に、ノ
ズル端部１３Ａ、１３Ｂを持つ記録液体の噴出飛行方向
を案内するノズル１２Ａ、１２Ｂを、それぞれのＡ系列
とＢ系列とが、それぞれ交互に角度θだけ傾斜する列
（または行）として製造するには、外壁１１のプレー
ト、例えば感光性ガラスに、まず、Ａ系列の斜め露光を
行ない、外壁１１のプレートを製作し、つぎに、Ｂ系列
の斜め露光を行ない、外壁１１のプレートを製作するこ
とにより完成するもので、約５０〜１００μｍの厚さも
可能である。さらに、ノズル端部１３Ａ、１３Ｂを持つ
記録液体の噴出飛行方向を案内するノズル１２Ａ、１２
Ｂを、交互に所定角度だけ傾斜させた外壁１１のプレー
トは、半導体基板２のウエハと同じサイズの外壁１１の
プレートを、隔壁７が形成されている半導体基板２のウ
エハに位置合わせして接着し、各マルチノズル記録ヘッ
ド１毎に切り出し、記録ヘッド取付けフレーム台１６上
に取り付けている。

【００１６】このようにして製作されたマルチノズル記
録ヘッド１を有する記録液体噴出による記録装置におい
て、記録液体は、記録液体タンク１８から、それぞれが
連通している、記録液体フレーム内共通供給通路１７、
記録液体共通供給通路１４、記録液体個別供給通路１
５、記録液体供給通路８Ａ、８Ｂを経て、発熱部真上の
通路９Ａ、９Ｂとノズル１２Ａ、１２Ｂに充満し、記録
液体がノズル端部１３Ａ、１３Ｂから噴出しない程度
に、ノズル端部１３Ａ、１３Ｂにおける記録液体の表面
張力と、記録液体タンク１８からの供給圧力（図示しな
いポンプ等による。）とが、バランスされている。この
バランスされている状態において、マルチノズル記録ヘ
ッド１の発熱部４Ａ、４Ｂと電気的に接続されているそ
れぞれの半導体回路３に、記録する文字、画像等に応じ
た駆動信号が入力されると、発熱抵抗体からなる発熱部
４Ａ、４Ｂに駆動信号に応じた電流が流れ、発熱部４
Ａ、４Ｂが急速に発熱する。

【００１７】発熱抵抗体からなる発熱部４Ａ、４Ｂが発
熱することにより、熱エネルギーが記録液体に作用する
部分である発熱部４Ａ、４Ｂ上において記録液体に熱エ
ネルギーによる状態変化が発生し、記録液体が膨張し気
泡を発生する。この膨張した気泡は、発熱部真上の通路
９Ａ、９Ｂに充満し、記録液体は、記録液体供給通路８
Ａ、８Ｂからの記録液体の供給を完全に遮断するととも
に、ノズル１２Ａ、１２Ｂのノズル端部１３Ａ、１３Ｂ
にかけて充満していた記録液体を、一気に噴出して飛行
液滴粒子とし、記録対象物、例えば記録紙１００めがけ
て所定の噴出飛行方向へ飛行させる。記録紙１００に飛
行してきた記録液体の飛行液滴粒子は、記録紙１００に
付着し、文字、画像等を構成する記録ドットとなる。

【００１８】このような図１、図２、図３の構成におい
て、記録紙１００上に、マルチノズル記録ヘッド１の記
録群（列または行）として、Ａ符号列の記録密度６００
ｄｐｉ（記録ドットピッチ：４２．３３μｍ）とＢ符号
列の記録密度６００ｄｐｉとの組合せにより、ノズル列
（または行）に同一色の記録液体を供給することで、超
高記録密度１２００ｄｐｉ（記録ドットピッチ：２１．
１６７μｍ）の同一色の合成記録を構成することができ
る。また、４色カラーのマルチノズル記録ヘッドとする
場合は、図３の構成において、列（または行）を、４倍
の４列（または行）として、ノズル列（または行）に
黒、シャン、マゼンタ、イエローの４色の記録液体を供
給することで、高解像度のカラー合成記録を実現するこ
とができる。なお、記録液体を噴出飛行させるために必
要な熱エネルギーは、従来と比較して一桁以下の約２μ
Ｊ／ドットの低エネルギーである。なぜならば、発熱抵
抗体の保護膜を特別に設ける必要がないが、もし、保護
膜を設けた場合でも、０．０３μｍと極端に薄く、保護
膜のない場合と同レベルの熱エネルギー効率となってい
る。

【００１９】また、記録速度は、Ａ４サイズにおいて、
マルチノズル記録ヘッドの構成をラインヘッドとして構
成する場合、有効記録幅２１０ｍｍとし、ノズル４行構
成のマルチノズルで、約４０，０００マルチノズルとし
て構成され得る。なお、長尺ラインヘッドとする場合、
短いラインヘッドのものを、斜めの記録液体飛行技術に
より、つき合せ結合可能である。また、マルチノズル記
録ヘッドの構成をラインヘッドとしては、約４０，００
０マルチノズル（複数のノズル１２）を、半導体基板の
チップサイズは約１１５ｍｍ×約２０ｍｍを２個組み合
わせた形で、極めて小形に構成可能となる。また、記録
速度は、従来と比較し１〜２桁以上の、超記録ドット速
度１μｓｅｃ／ドットであり、同時記録すれば（熱エネ
ルギーが少ないため可能）、Ａ４サイズにおいて、約２
０ページ／秒以上の記録速度が容易である。

【００２０】

【発明の効果】本発明によれば、例えば、１２００ｄｐ
ｉ（ドットピッチ：２１．１６７μｍ／ドット）以上の
超高精細記録を達成するため、６００ｄｐｉ（ドットピ
ッチ：４２．３３３μｍ／ドット）のノズル群（列また
は行）を４群（列または行）でノズル単位として半導体
製造プロセスにより半導体基板上に構成したマルチノズ
ル記録ヘッドを有するものとし、約２０、０００ノズ
ル、１色記録で１２００ｄｐｉ、４色カラー記録で６０
０ｄｐｉを実現する記録液体噴出による記録装置および
記録方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用す
る半導体基板上に形成したマルチノズル記録ヘッドの基
本構成を示す部分拡大図。

【図２】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている、半導体基板上に半導体回路と一体に形成したマ
ルチノズル記録ヘッドの一部断面図。

【図３】本発明の記録液体噴出による記録装置に使用し
ている半導体製造プロセスにより形成したマルチノズル
記録ヘッドの要部断面図および要部拡大図。

【符号の説明】

１…マルチノズル記録ヘッド、２…半導体基板、３…半
導体回路、４…発熱部、５Ａ…駆動用共通電極、５Ｂ…
駆動用個別電極、７…隔壁、８…記録液体供給通路、９
…発熱部真上の通路、１１…外壁、１２…ノズル、１３
…ノズル端部、１４…記録液体共通供給通路、１５…記
録液体個別供給通路、１６…記録ヘッド取付けフレーム
台、１７…記録液体フレーム内共通供給通路、１８…記
録液体タンク、３１…駆動回路、３２…駆動回路電極、
３３…内部配線、３４…スイッチングトランジスタ、３
５…記録信号回路、３６…酸化膜絶縁層、３７…保護膜
層、４１…発熱抵抗体膜、１００…記録紙。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録液体に熱エネルギーによる状態変化
   を発生させ、状態変化に基づいてノズルより記録液体を
   噴出し、液滴粒子を記録対象物へ飛行させる記録液体噴
   出による記録装置において、 隣合う前記ノズル単位で交互の列（または行）となる位
   置に配置した複数の前記発熱抵抗体からなる発熱部と、 前記発熱部上部に、所定の角度を持ち交互に異なる方向
   に向け形成した記録液体を噴出させる複数の前記ノズル
   とを配置したノズル列（または行）を複数備えたマルチ
   ノズル記録ヘッドを有することを特徴とする記録液体噴
   出による記録装置。
2. 【請求項２】 少なくとも、記録液体に熱エネルギーに
   よる状態変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部
   と、該発熱部上部に設けた記録液体を噴出させるノズル
   と、前記発熱部と前記ノズルへ記録液体を供給する記録
   液体供給通路と、前記発熱部を駆動信号により駆動する
   半導体回路との組合せをノズル単位としたものを、半導
   体基板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを有する
   ものであって、 記録する文字・画像等に応じた駆動信号により所要の前
   記半導体回路を介し所要の前記発熱抵抗体からなる発熱
   部を駆動し、記録液体に熱エネルギーによる状態変化を
   発生させ、状態変化に基づいて各発熱部上部に設けた所
   要の前記ノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を記録
   対象物へ飛行させる記録液体噴出による記録装置におい
   て、 隣合う前記ノズル単位で交互の列（または行）となる位
   置に配置した複数の前記発熱抵抗体からなる発熱部と、 前記発熱部上部に、所定の角度を持ち交互に異なる方向
   に向け形成した記録液体を噴出させる複数の前記ノズル
   とを配置したノズル列（または行）を複数備えたマルチ
   ノズル記録ヘッドを有することを特徴とする記録液体噴
   出による記録装置。
3. 【請求項３】 少なくとも、記録液体に熱エネルギーに
   よる状態変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部
   と、該発熱部上部に設けた記録液体を噴出させるノズル
   と、前記発熱部と前記ノズルへ記録液体を供給する記録
   液体供給通路と、前記発熱部を駆動信号により駆動する
   半導体回路との組合せをノズル単位としたものを、半導
   体基板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを有する
   ものであって、 記録する文字・画像等に応じた駆動信号により所要の前
   記半導体回路を介し所要の前記発熱抵抗体からなる発熱
   部を駆動し、記録液体に熱エネルギーによる状態変化を
   発生させ、状態変化に基づいて各発熱部上部に設けた所
   要の前記ノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を記録
   対象物へ飛行させる記録液体噴出による記録方法におい
   て、 隣合う前記ノズル単位で交互の列（または行）となる位
   置に配置した複数の前記発熱抵抗体からなる発熱部と、 前記発熱部上部に、所定の角度を持ち交互に異なる方向
   に向け形成した記録液体を噴出させる複数の前記ノズル
   とを配置したノズル列（または行）を複数備えたマルチ
   ノズル記録ヘッドを使用し、 前記マルチノズル記録ヘッドの前記ノズル列（または
   行）に、黒、シャン、マゼンタ、イエローの４色の記録
   液体を供給して、所要のノズルより４色の記録液体を噴
   出し、高解像度のカラー合成記録を行なうようにしたこ
   とを特徴とする記録液体噴出による記録方法。
4. 【請求項４】 少なくとも、記録液体に熱エネルギーに
   よる状態変化を発生させる発熱抵抗体からなる発熱部
   と、該発熱部上部に設けた記録液体を噴出させるノズル
   と、前記発熱部と前記ノズルへ記録液体を供給する記録
   液体供給通路と、前記発熱部を駆動信号により駆動する
   半導体回路との組合せをノズル単位としたものを、半導
   体基板上に複数備えたマルチノズル記録ヘッドを有する
   ものであって、 記録する文字・画像等に応じた駆動信号により所要の前
   記半導体回路を介し所要の前記発熱抵抗体からなる発熱
   部を駆動し、記録液体に熱エネルギーによる状態変化を
   発生させ、状態変化に基づいて各発熱部上部に設けた所
   要の前記ノズルより記録液体を噴出し、液滴粒子を記録
   対象物へ飛行させる記録液体噴出による記録方法におい
   て、 隣合う前記ノズル単位で交互の列（または行）となる位
   置に配置した複数の前記発熱抵抗体からなる発熱部と、 前記発熱部上部に、所定の角度を持ち交互に異なる方向
   に向け形成した記録液体を噴出させる複数の前記ノズル
   とを配置したノズル列（または行）を複数備えたマルチ
   ノズル記録ヘッドを使用し、 前記マルチノズル記録ヘッドの前記ノズル列（または
   行）に、同一色の記録液体を供給して、所要のノズルよ
   り同一色の記録液体を噴出し、高解像度の合成記録を行
   なうようにしたことを特徴とする記録液体噴出による記
   録方法。