JP2642933B2 - マルチノズルインクジエツトヘツド - Google Patents
マルチノズルインクジエツトヘツドInfo
- Publication number
- JP2642933B2 JP2642933B2 JP62176589A JP17658987A JP2642933B2 JP 2642933 B2 JP2642933 B2 JP 2642933B2 JP 62176589 A JP62176589 A JP 62176589A JP 17658987 A JP17658987 A JP 17658987A JP 2642933 B2 JP2642933 B2 JP 2642933B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rectifying element
- ink
- wiring group
- wiring
- wirings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 18
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 239000003205 fragrance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、記録媒体液の液滴を飛翔させて記録する、
液体噴射記録装置に用いられるマルチノズルインクジェ
ットヘッドに関する。
液体噴射記録装置に用いられるマルチノズルインクジェ
ットヘッドに関する。
［従来の技術］ 液体噴射記録法（インクジェット記録法）は、記録時
における騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいと
いう点で高速記録が可能であり、しかも、いわゆる定着
という特別な処理を必要とせず普通紙に記録が行なえる
点において、最近関心を集めている。
における騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいと
いう点で高速記録が可能であり、しかも、いわゆる定着
という特別な処理を必要とせず普通紙に記録が行なえる
点において、最近関心を集めている。
その中で例えば特開昭54−51837号公報、ドイツ特許
公開（DOLS）第2843064号に記載されている液体噴射記
録法は熱エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出の為
の原動力を得るという点において、他の液体噴射記録法
とは異なる特徴を有している。
公開（DOLS）第2843064号に記載されている液体噴射記
録法は熱エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出の為
の原動力を得るという点において、他の液体噴射記録法
とは異なる特徴を有している。
即ち、上記の公報に開示されている記録法は、熱エネ
ルギーの作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴なう
状態変化を起し、この状態変化に基づく作用力によっ
て、記録ヘッド部先端のオリフィスより液体（液滴）が
吐出されて飛翔的液滴が形成され、該液滴が被記録部材
に付着し、記録が行なわれるという特徴がある。
ルギーの作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴なう
状態変化を起し、この状態変化に基づく作用力によっ
て、記録ヘッド部先端のオリフィスより液体（液滴）が
吐出されて飛翔的液滴が形成され、該液滴が被記録部材
に付着し、記録が行なわれるという特徴がある。
殊に、DOLS第2843045号公報に開示されている液体噴
射記録法は、所謂オンデマンド記録法に極めて有効に適
用されるばかりでなく、記録ヘッド部をフルラインタイ
プで高密度マルチノズル化された記録ヘッドが容易に具
現化出来るので、高解像度、高品質の画像を高速で得ら
れるという特徴を有している。
射記録法は、所謂オンデマンド記録法に極めて有効に適
用されるばかりでなく、記録ヘッド部をフルラインタイ
プで高密度マルチノズル化された記録ヘッドが容易に具
現化出来るので、高解像度、高品質の画像を高速で得ら
れるという特徴を有している。
［発明が解決しようとする課題］ さて、この高密度マルチノズル記録ヘッドの特徴を最
大限に活用するには、例えばA4版紙に記憶ヘッドを走査
することなく記録できるように、いわゆる固定式一体型
フルマルチヘッド化する必要がある。然して、例えばA4
版短手方向、208mm巾に1mm当り16ノズルの記録ヘッドを
同一基板上に作成しようとすると、ノズル数は208×16
＝3328本にものぼり、1mm当り16本のノズルを208mmに渡
って無欠陥、しかも均一に製造することはかなりの高度
な製造技術を要する。そして3328本のノズルをオンデマ
ンドで制御する為に、駆動回路の出力段は、同数必要で
あり、例えば64出力の駆動用ICチップであれば合計52個
も必要である。しかも、52個の駆動用ICと各発熱体の取
り出し電極との接続は高密度且つ多数配線となる為この
実装に要するコストも膨大なものである。
大限に活用するには、例えばA4版紙に記憶ヘッドを走査
することなく記録できるように、いわゆる固定式一体型
フルマルチヘッド化する必要がある。然して、例えばA4
版短手方向、208mm巾に1mm当り16ノズルの記録ヘッドを
同一基板上に作成しようとすると、ノズル数は208×16
＝3328本にものぼり、1mm当り16本のノズルを208mmに渡
って無欠陥、しかも均一に製造することはかなりの高度
な製造技術を要する。そして3328本のノズルをオンデマ
ンドで制御する為に、駆動回路の出力段は、同数必要で
あり、例えば64出力の駆動用ICチップであれば合計52個
も必要である。しかも、52個の駆動用ICと各発熱体の取
り出し電極との接続は高密度且つ多数配線となる為この
実装に要するコストも膨大なものである。
そこで本発明は上述の如くの問題点に鑑みてなされた
もので、製造工程における歩留りを向上させ、実装の簡
素化と低密度化による大巾な実装コストの削減と、駆動
回路の大巾な削減による至って画期的な低コストの固定
式オンデマンド型マルチノズルインクジェットヘッドを
提供することを目的としている。
もので、製造工程における歩留りを向上させ、実装の簡
素化と低密度化による大巾な実装コストの削減と、駆動
回路の大巾な削減による至って画期的な低コストの固定
式オンデマンド型マルチノズルインクジェットヘッドを
提供することを目的としている。
さらに、製造コストを削減したヘッドを得ること、ま
た、製造コストを削減しても熱的に破壊を生じることな
く寿命の長いヘッドを提供することにある。
た、製造コストを削減しても熱的に破壊を生じることな
く寿命の長いヘッドを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 即ち本発明のマルチノズルインクジェットヘッドは、 第１の配線群と、 第２の配線群と、 ２次元的に複数配され、前記第１の配線群の配線と前
記第２の配線群の配線によって選択的に駆動されるよう
電気的に接続されると共に、アモルファスシリコンで構
成され順電流が流れたときのみ発熱する整流素子と、 前記整流素子に対応して２次元的に複数配され、該整
流素子と対向する側に配されたインクを吐出するための
吐出口と、を有し、 前記吐出されるインクと混ざり合わず、前記吐出され
るインクより低沸点の液体に対して前記整流素子が発生
した熱を作用させてインクを吐出する ことを特徴としている。
記第２の配線群の配線によって選択的に駆動されるよう
電気的に接続されると共に、アモルファスシリコンで構
成され順電流が流れたときのみ発熱する整流素子と、 前記整流素子に対応して２次元的に複数配され、該整
流素子と対向する側に配されたインクを吐出するための
吐出口と、を有し、 前記吐出されるインクと混ざり合わず、前記吐出され
るインクより低沸点の液体に対して前記整流素子が発生
した熱を作用させてインクを吐出する ことを特徴としている。
また、前記第１の配線群と前記第２の配線群とが斜め
に交差すること、前記吐出口は斜めに配列されることが
望ましい。
に交差すること、前記吐出口は斜めに配列されることが
望ましい。
［実施例］ 以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例であり、第２図は実施例の一
部破切した平面図である。第１図および第２図において
１は基板、２はオリフィスプレートである。また、３は
インクタンク、４は横線駆動用IC、５は縦線駆動用ICで
ある。基板１に設けられたS1〜S32は横配線（第２の配
線群）、I1〜I104は縦配線（第１の配線群）で、横配線
S1〜S32と縦配線I1〜I104は直角でない角θ（86.44de
g）で交差し、その交点にオリフィスプレート２に形成
したオリフィスσ１〜σ3328が２次元的に配置されてい
る。いまA4版短手方向の長さ208mmに16本/mmのフルマル
チノズルインクジェットヘッドを作成する場合、例え
ば、第２図のような横配線32本、縦配線104本の配線で
オリフィスが3328穴となる。各オリフィスσ１〜σ3328
は第２図に示す如く、斜めに配置されピッチP1は1/16m
m、ピッチP2は1mm程度がよい。この場合横配線の取り出
し密度は、１本/mmで縦配線の取り出し密度は0.5本/mm
となる。
部破切した平面図である。第１図および第２図において
１は基板、２はオリフィスプレートである。また、３は
インクタンク、４は横線駆動用IC、５は縦線駆動用ICで
ある。基板１に設けられたS1〜S32は横配線（第２の配
線群）、I1〜I104は縦配線（第１の配線群）で、横配線
S1〜S32と縦配線I1〜I104は直角でない角θ（86.44de
g）で交差し、その交点にオリフィスプレート２に形成
したオリフィスσ１〜σ3328が２次元的に配置されてい
る。いまA4版短手方向の長さ208mmに16本/mmのフルマル
チノズルインクジェットヘッドを作成する場合、例え
ば、第２図のような横配線32本、縦配線104本の配線で
オリフィスが3328穴となる。各オリフィスσ１〜σ3328
は第２図に示す如く、斜めに配置されピッチP1は1/16m
m、ピッチP2は1mm程度がよい。この場合横配線の取り出
し密度は、１本/mmで縦配線の取り出し密度は0.5本/mm
となる。
次に第３図に、第２図におけるヘッドの電気的等価回
路を示す。図中S1〜S32、I1〜I104は第２図の横配線、
縦配線それぞれに対応している。第３図中r1〜r3328は
液滴を飛翔させる為の発熱素子で、d1〜d3328は例えばP
N接合をもった整流素子である。本発明の整流素子は発
熱素子を兼ねている。この回路から横配線S1〜S32が縦
配線I1〜I104よりも高電圧になる交点の発熱素子ｒのみ
が発熱する。すなわち、縦配線に画像情報電圧Ｖ
IN（Ｎ＝１‥‥104）を印加し、横配線の電圧レベルを
順に走査することによって時分割駆動による印字を行な
うことができる。
路を示す。図中S1〜S32、I1〜I104は第２図の横配線、
縦配線それぞれに対応している。第３図中r1〜r3328は
液滴を飛翔させる為の発熱素子で、d1〜d3328は例えばP
N接合をもった整流素子である。本発明の整流素子は発
熱素子を兼ねている。この回路から横配線S1〜S32が縦
配線I1〜I104よりも高電圧になる交点の発熱素子ｒのみ
が発熱する。すなわち、縦配線に画像情報電圧Ｖ
IN（Ｎ＝１‥‥104）を印加し、横配線の電圧レベルを
順に走査することによって時分割駆動による印字を行な
うことができる。
第４図は飛翔した液滴により、記録される位置を示し
たもので、ある任意のＮ行の液滴は図の様になり（１）
〜（32）は１つの縦配線Ｉにより時分割で記録される。
たもので、ある任意のＮ行の液滴は図の様になり（１）
〜（32）は１つの縦配線Ｉにより時分割で記録される。
第５図にはこのヘッドを駆動するタイミング図を示し
た。第５図中、S1〜S32は横配線の時間的変化を示し、
図中Ｆは被記録物（この場合紙）の送り速度のタイミン
グを示している。第５図中I1〜I104は縦配線の画像情報
電圧ＶIN（Ｎ＝１‥‥104）を示し、第５図中ＮはＮ行
目の情報であることを示している。
た。第５図中、S1〜S32は横配線の時間的変化を示し、
図中Ｆは被記録物（この場合紙）の送り速度のタイミン
グを示している。第５図中I1〜I104は縦配線の画像情報
電圧ＶIN（Ｎ＝１‥‥104）を示し、第５図中ＮはＮ行
目の情報であることを示している。
次に第６図（Ｉ）、（II）に液滴噴射部の拡大図を示
した。第６図中（Ｉ）は基板面を上から見た図で、（I
I）はその断面図である。１はガラス基板、２はオリフ
ィスプレート、I,Sはそれぞれ縦配線、横配線である。
尚、縦配線１および横配線Ｓは通常アルミニウム（Al）
を使用し、厚さは5000Å程度である。同図中６はＰ型ア
モルファスシリコン、７はＮ型アモルファスシリコンで
あり、それぞれプラズマCVD法等により成膜する。6,7に
よりPN接合が構成されるので縦配線Ｉから横配線Ｓへの
電流は流れず、横配線Ｓから縦配線Ｉへの電流のみが流
れる。このとき整流素子の順方向の抵抗を10Ω程度とす
ると、縦配線Ｉと横配線Ｓ間に10V程度の順電圧を印化
することにより整流素子が発熱し、オリフィスσより液
滴が吐出する。すなわち整流素子が発熱素子としての役
割を兼ねることができる。
した。第６図中（Ｉ）は基板面を上から見た図で、（I
I）はその断面図である。１はガラス基板、２はオリフ
ィスプレート、I,Sはそれぞれ縦配線、横配線である。
尚、縦配線１および横配線Ｓは通常アルミニウム（Al）
を使用し、厚さは5000Å程度である。同図中６はＰ型ア
モルファスシリコン、７はＮ型アモルファスシリコンで
あり、それぞれプラズマCVD法等により成膜する。6,7に
よりPN接合が構成されるので縦配線Ｉから横配線Ｓへの
電流は流れず、横配線Ｓから縦配線Ｉへの電流のみが流
れる。このとき整流素子の順方向の抵抗を10Ω程度とす
ると、縦配線Ｉと横配線Ｓ間に10V程度の順電圧を印化
することにより整流素子が発熱し、オリフィスσより液
滴が吐出する。すなわち整流素子が発熱素子としての役
割を兼ねることができる。
整流素子（この場合アモルファスシリコンのPN接合）
をヒーターとして兼用すると構造が非常に簡単で最も安
価なヘッドが作成できる。しかしａ−Siは熱に弱く、自
己発熱により整流機能を失ってしまう。そこで低温度で
沸騰する液体を発泡させ、その泡のエネルギーを用いて
インクを吐出させる方法にすることによりヒーター寿命
が延びた。
をヒーターとして兼用すると構造が非常に簡単で最も安
価なヘッドが作成できる。しかしａ−Siは熱に弱く、自
己発熱により整流機能を失ってしまう。そこで低温度で
沸騰する液体を発泡させ、その泡のエネルギーを用いて
インクを吐出させる方法にすることによりヒーター寿命
が延びた。
第７図にインク吐出の様子を示した。図中（Ｉ）〜
（III）の１はガラス基板、２はオリフィスプレート、
1,Sはそれぞれ縦配線、横配線である。６はＰ型ａ−S
i、７はＮ型ａ−Siである。
（III）の１はガラス基板、２はオリフィスプレート、
1,Sはそれぞれ縦配線、横配線である。６はＰ型ａ−S
i、７はＮ型ａ−Siである。
Ｘはフッ素系不活性液体で沸点は56℃、比重は1.68で
ある。Ｙは記録用インクで水系のものを用いる。非加熱
時（Ｉ）に示した様に比重の違いによりX.Y液は互いに
混ざり合う事はない（吐出芳香は重力に反する方向に限
る。）。
ある。Ｙは記録用インクで水系のものを用いる。非加熱
時（Ｉ）に示した様に比重の違いによりX.Y液は互いに
混ざり合う事はない（吐出芳香は重力に反する方向に限
る。）。
次にPN接合に対し順方向のパルス状電圧を印加すると
整流素子が急激に発熱し、図中（II）の様にフッ素系不
活性液体の泡Ａが発生し、その泡の力によりインクＹが
液滴Ｂとなってオリフィスより吐出する。次に整流素子
が冷却するにつれ泡Ａは消滅し、通常状態にもどる（図
中（III））。
整流素子が急激に発熱し、図中（II）の様にフッ素系不
活性液体の泡Ａが発生し、その泡の力によりインクＹが
液滴Ｂとなってオリフィスより吐出する。次に整流素子
が冷却するにつれ泡Ａは消滅し、通常状態にもどる（図
中（III））。
これは泡発生液体の沸点が低いのでａ−Siが熱で破壊
されることはない。本実施例では基板にガラスを用い、
整流素子にアモルファスシリコンを用いたが、これは長
尺低コスト化に対して最も有効な材料と言える。しかし
さらに高密度化、高効率化に対しては、基板に石英ガラ
ス、整流素子にポリシリコンあるいは基板にSiウェハ、
整流素子にクリスタルシリコンを用いることも可能であ
る。
されることはない。本実施例では基板にガラスを用い、
整流素子にアモルファスシリコンを用いたが、これは長
尺低コスト化に対して最も有効な材料と言える。しかし
さらに高密度化、高効率化に対しては、基板に石英ガラ
ス、整流素子にポリシリコンあるいは基板にSiウェハ、
整流素子にクリスタルシリコンを用いることも可能であ
る。
［発明の効果］ 以上に説明した通り、本発明によれば複数の縦配線と
複数の横配線を設け、これらの配線間に、順電流導通に
より発熱する整流素子を設けたので、欠陥の無いヘッド
を容易に製造できる効果がある。また、発熱素子と整流
素子とを兼ねさせることで、発熱素子を容易に２次元配
置することができ、高速記録を達成することが可能なイ
ンクジェットヘッドを提供することができる。また、被
記録部分の送り速度に同期した時分割駆動ができるの
で、駆動用ICおよび実装のコストを大幅に低減できる効
果がある。実施例においては横配線を32本、縦配線を10
4本としているので、実装は合計136ヶ所で駆動用ICは13
6bit分でよく実装コストも低い。また同じ総ノズル数
（3328本）で横配線、縦配線の本数を、それぞれ64本、
52本とすれば駆動用ICは116bit分でよく、さらに低コス
ト化も可能である。
複数の横配線を設け、これらの配線間に、順電流導通に
より発熱する整流素子を設けたので、欠陥の無いヘッド
を容易に製造できる効果がある。また、発熱素子と整流
素子とを兼ねさせることで、発熱素子を容易に２次元配
置することができ、高速記録を達成することが可能なイ
ンクジェットヘッドを提供することができる。また、被
記録部分の送り速度に同期した時分割駆動ができるの
で、駆動用ICおよび実装のコストを大幅に低減できる効
果がある。実施例においては横配線を32本、縦配線を10
4本としているので、実装は合計136ヶ所で駆動用ICは13
6bit分でよく実装コストも低い。また同じ総ノズル数
（3328本）で横配線、縦配線の本数を、それぞれ64本、
52本とすれば駆動用ICは116bit分でよく、さらに低コス
ト化も可能である。
特に本発明においては整流素子にアモルファスシリコ
ンを用い、この整流素子自体が順電流によって発熱する
発熱体を兼ねているので構造が非常に簡略化されると共
に、ガラス基板上等に低温プロセスで作成できるため安
価なヘッドを提供することができる。さらに、整流素子
が発熱した熱が与えられる液体は吐出することができ、
上述のような安価な構成のヘッドであっても寿命の長い
ヘッドを提供することができる。
ンを用い、この整流素子自体が順電流によって発熱する
発熱体を兼ねているので構造が非常に簡略化されると共
に、ガラス基板上等に低温プロセスで作成できるため安
価なヘッドを提供することができる。さらに、整流素子
が発熱した熱が与えられる液体は吐出することができ、
上述のような安価な構成のヘッドであっても寿命の長い
ヘッドを提供することができる。
第１図は本発明の実施例であり、第２図は第１図の一部
を破切した平面図、第３図は同じく実施例の一部を電気
的等価回路で示した図、第４図は実施例で飛翔した液滴
の位置を示す図、第５図は実施例の時分割駆動のタイミ
ング図、第６図は実施例の縦配線と横配線の交点部分を
示す図である。また、第７図（Ｉ）乃至（III）はイン
ク吐出の様子を示す断面図である。 １……基板、２……オリフィスプレート、ｄ……整流素
子、ｒ……発熱素子、Ｉ……縦配線、Ｓ……横配線、３
……インクタンク、４……横線駆動用IC、５……縦線駆
動用IC、Ａ……泡、Ｂ……液滴、Ｘ……不活性液体、Ｙ
……記録用インク、６……Ｐ型アモルファスシリコン、
７……Ｎ型アルモファスシリコン。
を破切した平面図、第３図は同じく実施例の一部を電気
的等価回路で示した図、第４図は実施例で飛翔した液滴
の位置を示す図、第５図は実施例の時分割駆動のタイミ
ング図、第６図は実施例の縦配線と横配線の交点部分を
示す図である。また、第７図（Ｉ）乃至（III）はイン
ク吐出の様子を示す断面図である。 １……基板、２……オリフィスプレート、ｄ……整流素
子、ｒ……発熱素子、Ｉ……縦配線、Ｓ……横配線、３
……インクタンク、４……横線駆動用IC、５……縦線駆
動用IC、Ａ……泡、Ｂ……液滴、Ｘ……不活性液体、Ｙ
……記録用インク、６……Ｐ型アモルファスシリコン、
７……Ｎ型アルモファスシリコン。
フロントページの続き (72)発明者 川瀬 俊光 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (72)発明者 春日山 幸夫 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−266253（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−153662（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−36679（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】第１の配線群と、 第２の配線群と、 ２次元的に複数配され、前記第１の配線群の配線と前記
第２の配線群の配線によって選択的に駆動されるよう電
気的に接続されると共に、アモルファスシリコンで構成
され順電流が流れたときのみ発熱する整流素子と、 前記整流素子に対応して２次元的に複数配され、該整流
素子と対向する側に配されたインクを吐出するための吐
出口と、を有し、 前記吐出されるインクと混ざり合わず、前記吐出される
インクより低沸点の液体に対して前記整流素子が発生し
た熱を作用させてインクを吐出する ことを特徴とするマルチノズルインクジェットヘッド。 - 【請求項２】前記第１の配線群と、前記第２の配線群と
が斜めに交差している特許請求の範囲第１項に記載のマ
ルチノズルインクジェットヘッド。 - 【請求項３】前記吐出口は斜めに配列されている特許請
求の範囲第１項に記載のマルチノズルインクジェットヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62176589A JP2642933B2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | マルチノズルインクジエツトヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62176589A JP2642933B2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | マルチノズルインクジエツトヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6420151A JPS6420151A (en) | 1989-01-24 |
| JP2642933B2 true JP2642933B2 (ja) | 1997-08-20 |
Family
ID=16016206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62176589A Expired - Fee Related JP2642933B2 (ja) | 1987-07-15 | 1987-07-15 | マルチノズルインクジエツトヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2642933B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6120135A (en) * | 1997-07-03 | 2000-09-19 | Lexmark International, Inc. | Printhead having heating element conductors arranged in spaced apart planes and including heating elements having a substantially constant cross-sectional area in the direction of current flow |
| JP2001071499A (ja) | 1998-09-30 | 2001-03-21 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドとこれを備えるインクジェット装置およびインクジェット記録方法 |
| US6629757B1 (en) | 1999-06-07 | 2003-10-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Recording head, substrate therefor, and recording apparatus |
| US6634730B2 (en) | 2000-03-28 | 2003-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink-jet printhead, printing apparatus having said printhead, and method of driving said printhead |
| US6557975B2 (en) | 2000-08-04 | 2003-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, ink jet recording apparatus, and ink jet recording method |
| US6634737B2 (en) | 2000-08-04 | 2003-10-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus |
| US6582061B2 (en) | 2000-08-04 | 2003-06-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5736679A (en) * | 1980-08-13 | 1982-02-27 | Ricoh Co Ltd | Thermal head |
| JPS58153662A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-12 | Ricoh Co Ltd | インクジエツト記録装置 |
| JPH0729426B2 (ja) * | 1985-05-21 | 1995-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録方法 |
-
1987
- 1987-07-15 JP JP62176589A patent/JP2642933B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6420151A (en) | 1989-01-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6491377B1 (en) | High print quality printhead | |
| TW562746B (en) | Compact high-performance, high-density ink jet printhead | |
| EP0370817B1 (en) | Thermal ink jet printer having printhead transducers with multilevel interconnections | |
| US4985710A (en) | Buttable subunits for pagewidth "Roofshooter" printheads | |
| JP3176134B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド用半導体チップ、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JP2009029116A (ja) | インクジェット記録ヘッド用基板およびインクジェット記録ヘッド | |
| JPH05147217A (ja) | サーマルインクジエツト駆動装置の設計／レイアウト | |
| JP2642933B2 (ja) | マルチノズルインクジエツトヘツド | |
| US7530666B2 (en) | Liquid discharge head, liquid discharge recording apparatus and liquid discharge recording method | |
| US6902257B2 (en) | Fluid injection head structure and method for manufacturing the same | |
| JP3200098B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JP3387749B2 (ja) | 記録ヘッド及びその記録ヘッドを用いた記録装置 | |
| JP2705930B2 (ja) | マルチノズルインクジエツトヘツド | |
| JP2008168630A (ja) | 記録ヘッド用基板、記録ヘッド、および記録装置 | |
| JP2006231857A (ja) | インクジェット記録方法 | |
| US20080122896A1 (en) | Inkjet printhead with backside power return conductor | |
| US6557975B2 (en) | Ink jet recording head, ink jet recording apparatus, and ink jet recording method | |
| JPS63247052A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| JP2004122757A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの駆動方法、並びにインクジェット記録ヘッド用基板 | |
| JPH1058716A (ja) | 記録液体噴出による記録装置および記録方法 | |
| JP2003136726A (ja) | 記録ヘッド | |
| JPH01130951A (ja) | マルチノズルインクジェット記録ヘッド | |
| JPH1058715A (ja) | 記録液体噴出による記録装置および記録方法 | |
| US20080084456A1 (en) | Array printhead with three terminal switching elements | |
| JP3046061B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよび該記録ヘッドを用いる記録装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |