JP5366293B2 - 液晶滴下装置及び液晶滴下方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板に液晶を滴下する液晶滴下装置及び該液晶滴下装置での処理方法に関する。

従来から液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板に液晶を滴下する液晶滴下装置が用いられている。液晶は温度によって密度が変化し、高温の場合には密度が減少し、低温の場合には密度が増加するため、同一体積の液晶を滴下してもその重量が変化することがある。このため、液晶滴下装置においては、液晶の重量が定期的に測定される。

例えば、特許文献１に記載された技術では、基板を搭載するステージの横に電子天秤と、当該電子天秤上のカップとを配置している。そして、液晶が充填された容器と、当該容器内の液晶を先端から吐出するノズルとを含むヘッドを、基板に対する液晶滴下時には基板上に移動させて液晶を滴下し、液晶重量の測定時にはカップ上に移動させて液晶を滴下する。
特開２００７−７６１１号公報

しかしながら、上述した従来の液晶滴下装置では、ヘッドを基板上からカップ上まで移動させる間、カップに液晶を滴下する間、ヘッドをカップ上から基板上まで移動させる間には、基板に対する液晶の滴下が中断され、時間的な効率向上の妨げとなる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、基板に液晶を滴下する際の時間的な効率を向上させた液晶滴下装置を提供するものである。

本発明に係る液晶滴下装置は、基板を載置するステージに対して前記基板が搬入及び搬出され、前記搬入によってステージ上に載置された基板上にノズルから液晶を吐出させて滴下する液晶滴下装置において、
前記ノズルからの前記液晶の吐出量を測定する秤量器と、
前前記秤量器によって前記ノズルからの前記液晶の吐出量を測定し、測定した前記吐出量の適否を判定する滴下精度確認処理を実行する制御装置と、を有し、
前記制御装置は、前記滴下精度確認処理に要する期間が、前記液晶が滴下された基板を前記ステージ上から搬出し、新たな基板を前記ステージに搬入する搬出及び搬入動作に要する期間よりも長いときには、前記滴下精度確認処理を、複数回の前記搬出及び搬入動作の期間に分けて実行するように構成される。

本発明に係る液晶滴下方法は、基板を載置するステージに対して前記基板が搬入及び搬出され、前記搬入によってステージ上に載置された基板上にノズルから液晶を吐出させて滴下する液晶滴下方法において、
前記ノズルからの前記液晶の吐出量を測定し、測定した前記吐出量の適否を判定する滴下精度確認工程を有し、
前記滴下精度確認工程に要する期間が、前記液晶が滴下された基板を前記ステージ上から搬出し、新たな基板を前記ステージに搬入する搬出及び搬入動作に要する期間よりも長いときには、前記滴下精度確認工程を、複数回の前記搬出及び搬入動作の期間に分けて実行するように構成される。

本発明によれば、滴下精度確認に要する期間が、液晶が滴下された基板をステージ上から搬出し、新たな基板をステージに搬入する搬出及び搬入動作に要する期間よりも長いときには、滴下精度確認処理を、複数回の搬出及び搬入動作の期間に分けて実行するので、本来基板への液晶の滴下ができる期間において当該液晶滴下を中断させずに済み、基板に液晶を滴下する際の時間的な効率を向上させることができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。

図１は、本発明の実施形態に係る液晶滴下装置を適用した液晶滴下システムの平面図である。図１に示す液晶滴下システム１０は、液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板２００に液晶を滴下するものである。液晶滴下システム１０は、本発明の実施の形態に係る液晶滴下装置を構成する滴下ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４と、基板受け渡し機構３０と、搬送装置としての搬送ロボット４０とにより構成される。

液晶滴下の対象となるガラス基板２００は、基板受け渡し機構３０における上流端３２に配置される。搬送ロボット４０は、搬入機構及び搬出機構に対応し、基板受け渡し機構３０の延在方向（図１における方向Ａ）に移動可能であり、図１における方向Ｂに回転可能である。この搬送ロボット４０は、後述する制御装置１６０の制御によって、基板受け渡し機構３０における上流端３２に配置されたガラス基板２００を搬送し、滴下ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４におけるステージ（図１では図示せず）に随時搬入、搭載する。

滴下ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４は、ステージに載置されたガラス基板２００の表面に液晶を滴下する。液晶滴下は、搬送ロボット４０によるガラス基板２００の搬送等と比較して時間を要するため、これら滴下ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４が並列的に稼動することにより、時間短縮を図り、生産性を向上させることができる。

ガラス基板２００に液晶が滴下された後、搬送ロボット４０は、滴下ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４におけるステージに搭載された、液晶が滴下されたガラス基板２００を随時搬出し、基板受け渡し機構３０における下流端３４に配置する。このような一連の動作によって、ガラス基板２００の上面に液晶が滴下される。

図２（ａ）は、滴下ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４（以下、これら滴下ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４をまとめて、適宜「滴下ユニット２０」と称する）の構成を示す図である。

滴下ユニット２０は、液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板２００における、設定された位置に液晶２０１を滴下するものである。この滴下ユニット２０は、ガラス基板２００を搭載する搭載部１１０と、ガラス基板２００上の設定された位置に、設定された量（体積）の液晶２０１を滴下するヘッド１０１とを有する。ここで、ガラス基板２００には、その外周縁部に沿って内部に液晶を封入するためのシール剤２０２が塗布されている。ガラス基板２００上に液晶を滴下した後、当該ガラス基板２００と別のガラス基板を貼り合わせることによって、液晶表示パネルが製造される。この滴下ユニット２０は、制御装置１６０によって制御される。

搭載部１１０は、ステージ１１１、台座１１１ａ、移動装置１１２、秤量器としての電子天秤１４１及び計量用容器としてのカップ１４２を有する。ステージ１１１は、上面に、搬送ロボット４０によって搬入されるガラス基板２００を搭載する。このステージ１１１の下部には、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部及びθ軸駆動部を備えた移動装置１１２が取り付けられている。この移動装置１１２は、制御装置１６０の制御によってＸ方向、Ｙ方向に移動するとともに、θ方向に回転移動する。これにより、移動装置１１２上のステージ１１１がＸ方向、Ｙ方向に移動するとともに、θ方向に回転移動し、更には、ステージ１１１に搭載されたガラス基板２００がＸ方向、Ｙ方向に移動するとともに、θ方向に回転移動する。

ステージ１１１の端部には、台座１１１ａが取り付けられている。この台座１１１ａには、一回の滴下動作によって滴下される液晶２０１の重量を測定するための電子天秤１４１が配置され、当該電子天秤１４１には、カップ１４２が搭載される。

ヘッド１０１は、滴下部１２０、容器１４０及び移動装置１５０を有する。容器１４０には液晶２０１が充填されている。移動装置１５０は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、Ｚ軸駆動部を備え、制御装置１６０の制御によって、ヘッド１０１をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれに移動させる。この移動装置１５０によるヘッド１０１の移動と、上述した搭載部１１０内の移動装置１１２によるステージ１１１の移動とによって、ステージ１１１に搭載されたガラス基板２００とヘッド１０１とは互いに相対移動する。

滴下部１２０は、流路１３４によって容器１４０と接続される。この滴下部１２０は、取り出しポート１２１、備蓄室１２２、ノズル１２３、固定部１２４、回転軸１２６、回転部１２７、カム１２８及びプランジャ１３０を有する。

取り出しポート１２１は、流路１３４に接続され、当該流路１３４を介して、容器４０内に充填された液晶２０１を取り出す。備蓄室１２２は、この取り出された液晶２０１を一時的に蓄える。ノズル１２３は、備蓄室１２２内の液晶２０１を吐出する。

回転軸１２６は、モータ１２９に連結されて回転する。また、回転軸１２６の先端であって、モータ１２９との連結部位とは反対の側には、回転部１２７が接続される。この回転部１２７は、回転軸１２６の回転に伴って、下面が固定部１２４の上面と当接した状態で回転する。また、固定部１２４には、回転軸１２６の軸心を中心とする同一半径上であって、且つ、回転軸１２６を挟んで対向する位置に取出しポート１２１とノズル１２３が備えられている。２つのプランジャ１３０は、備蓄室１２２内に上下動自在に挿通され、上方に付勢された状態にあり、上部がカム１２８に当接している。これら２つのプランジャ１３０は、一方が取り出しポート１２１と上下に対向するときに、他方がノズル１２３と上下に対向するような位置関係で配置される。プランジャ１３０が上方に移動したときに、備蓄室１２２内に液晶２０１を収容する空間が形成される。カム１２８は、回転軸１２６を囲むように配置され、プランジャ１３０が取り出しポート１２１上を通過する間に、当該プランジャ１３０が下限から上限まで移動し、プランジャ１３０がノズル１２３上を通過する間に、当該プランジャ１３０が上限から下限まで移動するように、下面が凹凸形状となっている。

滴下部１２０における液晶２０１の滴下は、以下のようにして行われる。まず、回転部１２７が回転して、取り出しポート１２１上を一方のプランジャ１３０が通過する間に、当該プランジャ１３０が上限まで移動し、取り出しレポート１２１から備蓄室１２２内に液晶２０１を取り込む。備蓄室１２２の容積は、プランジャ１３０の移動量に比例するため、当該移動量を調整することで、備蓄室１２２ 内の液晶２０１の量が設定される。

次に、回転部１２７が回転して、液晶２０１を充填した備蓄室１２２がノズル１２３上を通過する間に、備蓄室１２２内のプランジャ１３０が下限まで移動する。これにより、それまで備蓄室１２２に充填されていた液晶２０１がプランジャ１３０によって押し出され、ノズル１２３の先端から吐出される。

このような構成の滴下ユニット２０は、搬送ロボット４０によってステージ１１１上に液晶２０１が滴下される前のガラス基板２００が供給載置されると、制御装置１６０によってモータ１２９、各移動装置１１２、１５０の駆動を制御して、ステージ１１１上に載置されたガラス基板２００に向けて液晶２０１を滴下する。ガラス基板２００への液晶２０１の滴下が終了すると、当該ガラス基板２００は、搬送ロボット４０によってステージ１１１上から取り出されて搬出される。

また、滴下ユニット２０は、一回の滴下動作によって滴下される液晶２０１の重量を測定し、その重量が所定範囲内であるか否かを判定する処理（液晶滴下精度確認処理）を行う。その場合には、制御装置１６０の制御によってカップ１４２の直上までノズル１２３を移動させ、この状態で、ノズル１２３からカップ１４２に向けて液晶２０１を、１回の滴下動作分だけ滴下させる。なお、この実施例において、１回の滴下動作とは、ガラス基板２００上においてシール剤２０２に囲まれる１つの領域内に対する液晶の滴下動作のことであり、その領域内に滴下される液晶の総重量を測定するものである。しかしながら、１回の滴下動作を、ノズル１２３からの液晶２０１の吐出１回分を含む所定回数分としてもよい。

本実施形態では、搬送ロボット４０によって、液晶２０１が滴下されたガラス基板２００がステージ１１１から搬出されて、液晶２０１が滴下されていない別のガラス基板２００がステージ１１１に搬入されるまでの期間内（例えば、３０秒間程度）に、液晶滴下精度確認処理が行われる。なお、搬送ロボット４０によってガラス基板２００がステージ１１１に対して搬出及び搬入されるときには、ステージ１１１が移動装置１１２によって搬送ロボット４０に対するガラス基板２００の受け渡し位置に位置付けられる。そこで、ステージ１１１が受け渡し位置に位置付けられた状態において、そのステージ１１１に搭載された電子天秤１４１のカップ１４２の真上にノズル１２３が位置付けられるように、制御装置１６０が移動装置１５０を制御してヘッド１０１を移動させる。

図３は、液晶滴下精度確認処理が行われる場合の滴下ユニット２０及び搬送ロボット４０の動作を示すフローチャートである。なお、初期状態において、滴下ユニット２０におけるステージ１１１には、液晶２０１が滴下される前の新たなガラス基板２００が搭載されているものとする。

滴下ユニット２０内のヘッド１０１は、制御装置１６０の制御に基づいて、ステージ１１１に載置されたガラス基板２００に向けて、ノズル１２３から液晶２０１を吐出させて滴下する（Ｓ１０１）。

ステージ１１１に載置されたガラス基板２００に対する液晶２０１の滴下が完了したならば、制御装置１６０は、今回の液晶２０１を滴下したガラス基板２００が、今回の生産ロットの最後のガラス基板２００であるか否かを判定する（Ｓ１０２）。今回のガラス基板２００が生産ロットの最後のガラス基板２００である（ＹＥＳ）場合、制御装置１６０は、搬送ロボット４０を制御して、ステージ１１１上の液晶２０１が滴下されたガラス基板２００を搬出（Ｓ１０３）し、生産（液晶２００の滴下処理）を終了して待機する。一方、今回のガラス基板２００が生産ロットの最後のガラス基板２００ではない（ＮＯ）場合、更に、制御装置１６０は、液晶滴下精度確認処理を継続中か否かの判定（Ｓ１０４：詳細は後述する。）の後、液晶２０１を滴下したガラス基板２００の枚数が所定枚数に達したか否かを判定する（Ｓ１０５）。例えば、所定枚数のガラス基板２００へ液晶２０１を滴下する毎に、液晶滴下精度確認処理を行う場合には、制御装置１６０は、自身が制御する搬送ロボット４０によるガラス基板２００の搬出及び搬入動作の回数や、ヘッド１０１による液晶２０１の滴下動作の回数に基づいて、液晶２０１を滴下したガラス基板２００の枚数を内蔵された計数器にてカウントし、その枚数が内蔵された記憶部にあらかじめ設定されている滴下処理枚数に達したか否かを判定する。なお、計数器によるカウント値は、液晶滴下精度確認処理が完了する毎にリセットさせるので、制御装置１６０は、今回の生産ロットについての生産開始以後の最初の液晶滴下精度確認処理の後、所定枚数（設定枚数）のガラス基板２００への滴下処理毎に液晶滴下精度確認処理を実行する。

液晶２０１を滴下したガラス基板２００の枚数が所定枚数に達していない場合、制御装置１６０は、搬送ロボット４０を制御し、ガラス基板２００の搬出を行わせる（Ｓ１０６）。搬送ロボット４０は、この制御に応じて、液晶２０１が滴下されたガラス基板２００をステージ１１１上から搬出する。液晶２０１が滴下されたガラス基板２００の搬出が完了したら、制御装置１６０は、搬送ロボット４０を制御し、液晶２０１が滴下されていない次のガラス基板２００をステージ１１１に搬入する動作を行わせる（Ｓ１０７）。

その後、制御装置１６０は、次のガラス基板２００のステージ１１１への搬入が完了すると、Ｓ１０１の工程に戻り、その動作を実行する。

一方、液晶２０１を滴下したガラス基板２００の枚数が所定枚数に達した場合には、制御装置１６０は、Ｓ１０６およびＳ１０７の工程からなる搬出及び搬入動作と、液晶滴下精度確認処理（Ｓ１０８）とを並行して行わせる。

すなわち、搬送ロボット４０による、ガラス基板２００の搬出及び搬入動作の期間内に、制御装置１６０は、液晶滴下精度確認処理として以下のａ〜ｃの動作を並行して実行する。
ａ．ヘッド１０１（ノズル１２３）をカップ１４２の上方に移動させ、ノズル１２３からカップ１４２に一回の滴下動作分の液晶２０１を滴下させ、その後、ヘッド１０１を予め設定されている待機位置に戻させる動作。
ｂ．カップ１４２内の液晶（１回の滴下動作分の液晶２０１）２０１の重量を測定し、測定した液晶２０１の重量が許容範囲内か否かを判定する動作。
ｃ．カップ１４２内の液晶２０１を廃棄する動作。
ここで、液晶２０１の重量の測定は、カップ１４２内に液晶２０１を滴下する前後での電子天秤１４１の測定値の差から求めることができる。また、カップ１４２内の液晶２０１の廃棄は、例えば、横転機構を介して電子天秤１４１の計量部上にカップ１４２を搭載しておき、カップ１４２を電子天秤１４１に隣接して配置した廃棄トレーに向けて横転させることにて行うことができる。

なおここで、前述の液晶滴下精度確認処理を完了させるに要する時間が、Ｓ１０６およびＳ１０７の工程に要する時間よりも長い場合が考えられる。そこで、この実施の形態においては、液晶滴下精度確認処理をａの動作とｂおよびｃの動作との２回に分割して実行するものとする。

すなわち、Ｓ１０５の工程の後の液晶滴下精度確認処理においては、ａの動作を行う。そして、Ｓ１０７の工程で次のガラス基板２００（ここでは、便宜上、このガラス基板を「１枚目のガラス基板２００」と称す。）が完了し、Ｓ１０１の工程でこの１枚目のガラス基板２００に対する液晶２０１の滴下が行われる。続くＳ１０２の工程で判定がＮＯであれば、次のＳ１０４の工程にて液晶滴下精度確認処理が継続中か否かが判定される。この場合、前回のＳ１０８の工程でａの動作が行われたので、液晶滴下精度確認処理は継続中である（ＹＥＳ）と判定され、Ｓ１０５の工程をとばして、Ｓ１０６およびＳ１０７の工程とＳ１０８の工程の並行処理へと進み、Ｓ１０８の工程にて、ｂおよびｃの動作を行う。なおここでのＳ１０６の工程では、１枚目のガラス基板２００の搬出が行われ、Ｓ１０７の工程では、１枚目のガラス基板２００に続く更に次のガラス基板（「２枚目のガラス基板２００」と称す。）が搬入される。

なお、ｂの動作で判定される許容範囲の情報は、例えば、制御装置１６０内のメモリ（図示せず）に記憶されており、制御装置１６０は、入力した測定値と、許容範囲の情報とを比較し、測定値が許容範囲内にあるか否かを判定する。そして、測定値が許容範囲よりも小さい場合には、プランジャ１３０の移動量を大きくする調整が行われ、備蓄室１２２ 内の液晶２０１の体積、換言すれば、ノズル１２３から吐出される液晶２０１の体積を大きくする。一方、測定値が許容範囲よりも大きい場合には、プランジャ１３０の移動量を小さくする調整が行われ、備蓄室１２２ 内の液晶２０１の体積、換言すれば、ノズル１２３から吐出される液晶２０１の体積を小さくする。これにより、液晶２０１が熱によって膨張や収縮が生じた場合や滴下部１２０に経時的な誤差が生じた場合においても、適切な量の液晶２０１を滴下することができる。なお、ｂの動作においてノズル１２３からの液晶２０１の吐出量を補正した場合、その後で、再度Ｓ１０８の工程を実行し、補正後の液晶２０１の吐出量の確認を行うとよい。

図４は、従来の液晶滴下精度確認処理が行われる場合のタイミングチャートであり、図５は、本実施形態において液晶滴下精度確認処理が行われる場合のタイミングチャートである。

図４に示すように、従来、液晶滴下精度確認処理を行うタイミングが到来したときには、液晶が滴下されたガラス基板が搬出され、次に、液晶が滴下されていないガラス基板（１枚目のガラス基板）が搬入された後に、液晶滴下精度確認処理が単独で行われ、更にその後に、ガラス基板への液晶滴下処理が行われていた。

一方、図５に示すように、本実施形態では、液晶２０１が滴下されたガラス基板２００が搬出され、次に、液晶２０１が滴下されていないガラス基板（１枚目のガラス基板）２００が搬入される期間内は、ヘッド１０１による液晶２０１の滴下を行うことができず、当該ヘッド１０１が未稼働であることに鑑み、その期間内にカップ１４２の上方へのヘッド１０１の移動、カップ１４２への液晶２０１の滴下、及び、ヘッド１０１の待機位置への移動（ａの動作）を行う。

そして、１枚目のガラス基板２００への液晶２０１の滴下が行われた後は、当該１枚目のガラス基板２００が搬出され、次に、液晶２０１が滴下されていないガラス基板（２枚目のガラス基板）２００が搬入される期間内に、カップ１４２内の液晶の重量測定、当該重量が許容範囲内であるか否かの判定（ｂの動作）、及び、カップ１４２内の液晶２０１の廃棄（ｃの動作）が行われる。従って、従来と比較して、ガラス基板２００への液晶２０１の滴下の中断時間が減り、時間的な効率を向上させることができる。

なお、上述した実施形態では、ガラス基板２００の搬出及び搬入の期間内に、カップ１４２の上方へのヘッド１０１の移動、カップ１４２への液晶２０１の滴下、及び、ヘッド１０１の待機位置への移動（ａの動作）を行い、その次のガラス基板２００の搬出及び搬入の期間内に、カップ１４２内の液晶の重量測定、当該重量が許容範囲内であるか否かの判定（ｂの動作）、及び、カップ１４２内の液晶２０１の廃棄（ｃの動作）を行うようにしたが、図６に示すように、一回のガラス基板２００の搬出及び搬入の期間内に、ａ〜ｃの動作を完了可能であれば、１回のガラス基板２００の搬出及び搬入の期間内にａ〜ｃの動作を行うようにしてもよい。

また、上述した実施の形態では、前記液晶滴下精度確認処理を、所定枚数のガラス基板２００への液晶２０１の滴下が完了する毎に行なうものとしたが、これに限られるものではなく、一枚のガラス基板２００への液晶２０１の滴下が完了する毎、すなわち、ガラス基板２００の搬出及び搬入動作の度に行なうようにしてもよい。

また、上述した実施形態では、ガラス基板２００の搬出及び搬入の期間内において、カップ１４２内の液晶の重量測定、及び、当該重量が許容範囲内であるか否かの判定の後に、カップ１４２内の液晶２０１の廃棄を行うようにしたが、ガラス基板２００に対する液晶２０１の滴下に支障がなければ、ガラス基板２００の搬出及び搬入の期間内に限定されるものではなく、Ｓ１０１の工程と並行して行うようにしてもよい。

また、カップ１４２内の液晶２０１の廃棄を行うｃの動作を、カップ１４２に液晶２０１が滴下される毎に行うものとしたが、これに限られるものではなく、複数回の滴下動作毎に廃棄を行うようにしてもよい。すなわち、カップ１４２内に貯留可能な液晶２０１の量（重量）の上限値を制御装置１６０の記憶装置に記憶させておき、電子天秤１４１による測定値から求めたカップ１４２内の液晶２０１の量（重量）が記憶された重量に到達したならば、カップ１４２内の液晶２０１を廃棄する動作を実行する。

また、廃棄手段を、カップ１４２を横転させる横転機構の例で説明したが、これに限られるものではなく、他の機構、例えば、吸引ポンプに接続された管をカップ１４２内に挿入して、カップ１４２内に貯留された液晶２０１を吸引して廃棄する吸引機構としてもよい。

また、ヘッド１０１が１つの例で説明したが、複数のヘッド１０１を備えた液晶滴下装置にも適用可能である。このような場合、上述のａ〜ｃの動作をヘッド１０１の数分だけ繰り返して行うこととなる。例えば、ヘッド１０１が４つで、上述の実施形態と同様に、ａ〜ｃの動作をａの動作とｂ、ｃの動作の２回に分けて実行する場合、Ｓ１０５の工程でＹＥＳの判定がなされた後、７枚のガラス基板２００に対する液晶２０１の滴下処理の間に４つのヘッド１０１についての液晶滴下精度確認処理が行われることとなる。

また、搬送装置としての搬送ロボット４０で、滴下ユニット２０に対するガラス基板２００の搬入および搬出を行う例で説明したが、搬入用の搬送ロボット（搬入機構）と搬出用の搬送ロボット（搬出機構）を専用に設けてもよい。

本発明に係る液晶滴下装置は、基板に液晶を滴下する際の時間的な効率を向上させることができ、液晶滴下装置として有用である。

本発明の実施形態に係る液晶滴下装置を適用した液晶滴下システムの平面図である。 本発明の実施形態に係る滴下ユニットの構成を示す図である。 液晶滴下精度確認処理が行われる場合の滴下ユニット及び搬送ロボットの動作を示す第１のフローチャートである。 従来の液晶滴下精度確認処理が行われる場合のタイミングチャートである。 本発明の実施形態において液晶滴下精度確認処理が行われる場合の第１のタイミングチャートである。 本発明の実施形態において液晶滴下精度確認処理が行われる場合の第２のタイミングチャートである。

符号の説明

１０ 液晶滴下システム
２０−１、２０−２、２０−３、２０−４ 滴下ユニット（液晶滴下装置）
３０ 基板受け渡し機構
３２ 上流端
３４ 下流端
４０ 搬送ロボット
１０１ ヘッド
１１０ 搭載部
１１１ ステージ
１１１ａ 台座
１１２ 移動装置
１２０ 滴下部
１２１ 取り出しポート
１２２ 備蓄室
１２３ ノズル
１２４ 固定部
１２６ 回転軸
１２７ 回転部
１２８ カム
１２９ モータ
１３０ プランジャ
１３４ 流路
１４０ 容器
１５０ 移動装置
１４１ 電子天秤
１４２ カップ
１６０ 制御装置
２００ ガラス基板
２０１ 液晶
２０２ シール剤

Claims (5)

1. 基板を載置するステージに対して前記基板が搬入及び搬出され、前記搬入によってステージ上に載置された基板上にノズルから液晶を吐出させて滴下する液晶滴下装置において、
   前記ノズルからの前記液晶の吐出量を測定する秤量器と、
   前記秤量器によって前記ノズルからの前記液晶の吐出量を測定し、測定した前記吐出量の適否を判定する滴下精度確認処理を実行する制御装置と、を有し、
   前記制御装置は、前記滴下精度確認処理に要する期間が、前記液晶が滴下された基板を前記ステージ上から搬出し、新たな基板を前記ステージに搬入する搬出及び搬入動作に要する期間よりも長いときには、前記滴下精度確認処理を、複数回の前記搬出及び搬入動作の期間に分けて実行することを特徴とする液晶滴下装置。
2. 前記秤量器は、前記ノズルから吐出された液晶を収容する計量用容器を有し、
   この計量用容器内に収容された前記液晶を廃棄する廃棄手段を備え、
   前記制御装置は、前記廃棄手段を制御して前記計量用容器内に収容された前記液晶を廃棄することを特徴とする請求項１に記載の液晶滴下装置。
3. 前記制御装置は、前記滴下精度確認処理での判定で前記吐出量が不適であると判定した場合に、前記ノズルから吐出させる前記液晶の量を補正することを特徴とする請求項１または２に記載の液晶滴下装置。
4. 基板を載置するステージに対して前記基板が搬入及び搬出され、前記搬入によってステージ上に載置された基板上にノズルから液晶を吐出させて滴下する液晶滴下方法において、
   前記ノズルからの前記液晶の吐出量を測定し、測定した前記吐出量の適否を判定する滴下精度確認工程を有し、
   前記滴下精度確認工程に要する期間が、前記液晶が滴下された基板を前記ステージ上から搬出し、新たな基板を前記ステージに搬入する搬出及び搬入動作に要する期間よりも長いときには、前記滴下精度確認工程を、複数回の前記搬出及び搬入動作の期間に分けて実行するようにしたことを特徴とする液晶滴下方法。
5. 前記滴下精度確認工程での判定で前記吐出量が不適であると判定した場合に、前記ノズルから吐出させる前記液晶の量を補正することを特徴とする請求項４に記載の液晶滴下方法。

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