JP3094826B2 - 液晶パネルの貼り合わせ方法および装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルの組み立て
工程において、透明基板と透明基板または透明基板と半
導体基板を光硬化型の接着剤で貼り合わせる液晶パネル
の貼り合わせ方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶画面には透過型と反射型がある。透
過型液晶画面は、液晶パネルとそれを制御するドライバ
および液晶パネルを裏面から照明するバックライトから
構成されている。液晶パネルは液晶を封入し、それに掛
ける電圧を制御することによりバックライトからの光を
透過させたり遮光したりして、画面を表示させる。この
場合、液晶パネルは２枚のガラス基板から構成されてい
る。

【０００３】一方、反射型液晶画面は、バックライトを
使用せずに室内光を利用するもので、片方の基板が光を
反射する鏡面を有する半導体基板等で構成されている。
液晶パネルに入射した室内光はガラス基板、液晶層を通
過した後、前記反射鏡面で反射され、再び液晶層、ガラ
ス基板を通過して画面を表示させる。反射型液晶画面
は、バックライトを使用しないために、消費電力が少な
いという利点を持つ。

【０００４】最近ではコストダウンのためにガラス基板
の代わりに樹脂基板を用いることも行われている。通
常、液晶パネルを構成する２枚の基板の一方（ガラス基
板、樹脂基板もしくは半導体基板）には液晶を駆動する
ための駆動素子、例えば、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）
や透明導電膜で形成された液晶駆動用電極が形成されて
いる。

【０００５】他方のガラス基板（または樹脂基板）には
ブラックマトリックスと呼ばれる遮光膜、およびカラー
液晶パネルの場合はカラーフィルタ等が形成されてい
る。ブラックマトリックスは例えば、クロム蒸着膜や黒
色の樹脂等で形成されており、画像の表示に関係のない
液晶以外の部分、すなわち液晶駆動素子や配線の部分等
からバックライトまたは反射鏡面からの光が漏れて画像
を乱さないように目隠しの役割をする。

【０００６】図１３は上記した液晶パネル（カラー液晶
パネル）の一例を示す図であり、同図において、１０１
はカラーフィルタ基板、１０２はＴＦＴ基板、１０３は
ＴＦＴ素子（薄膜トランジスタ）、１０４はブラックマ
トリックス、１０５は散布スペーサ、１０６は配向膜、
１０７はシール剤、１０８は表示ＩＴＯ電極である。な
お、同図は理解を容易にするため、横方向を縦方向に比
べて縮尺して示している。

【０００７】液晶パネルの製造工程では、上記２枚のガ
ラス基板を別々に製作した後、接着剤（図１３における
シール剤１０７）で貼り合わせる。この時、２枚のガラ
ス基板の間に、スペーサと呼ばれる球状の微粒子（図１
３におけるスペーサ１０５）を噴霧して２枚のガラス基
板の間に液晶を注入する隙間（ギャップ）を形成する。
液晶が漏れないようにするためのシールは前記の接着剤
が兼用する。すなわち、接着剤は画面表示部分を囲むよ
うに細い線状に塗布される。その線の幅は１〜１．５ｍ
ｍ程度である。

【０００８】図１４はガラス基板上に接着剤（シール
剤）を塗布した状態を示す図であり、同図に示すよう
に、通常、ガラス基板上には複数（同図では４面）の製
品が搭載されている。そして、各製品を囲むように接着
剤が塗布され、その一部に接着後、液晶を注入するため
の注入口が設けられる。ガラス基板の４隅には、必要に
応じて仮止め用に接着剤が塗布され、２枚のガラス基板
を仮止め用に接着剤により仮止めした後に、２枚のガラ
ス基板が貼り合わされる。

【０００９】２枚の基板を貼り合わせるとき、前記のブ
ラックマトリックスが正しく前記遮光したい部分と重な
るように、２枚の基板の位置合わせを行う。さらに、隙
間（ギャップ）が基板全面に渡って均一になるように、
２枚の基板が相対的に接近する方向に圧力を掛けながら
接着剤を硬化させる。上記した２枚の基板を貼り合わせ
る方法として、従来から下記(1) のように２枚の基板を
仮止めしたのち接着剤を本硬化させる方法、あるいは、
下記(2) のように仮止めなしに接着剤を本硬化させる方
法が提案されている。 (1) 仮止めを行った後に接着剤を本硬化させる方法 基板に、図１４に示したように、熱硬化型接着剤を塗布
するとともにその４隅に仮止め用接着剤を塗布する。つ
いで、２枚の基板の位置合わせを行ったのち、加熱ある
いは紫外線等の光を照射して、仮止め用接着剤により２
枚の基板を仮止めする。

【００１０】上記した仮止め装置としては、例えば、図
１５に示す装置を用いることができる。基板（ワークと
いう）の仮止めをするには、同図に示すように、２枚の
ワーク１、１’をワークステージ２０２とワークステー
ジ２０３に真空吸着等により固定して、２枚のワーク
１，１’を約０．５ｍｍ程度の間隔に接近させる。そし
て、アライメント用光源２０６より導光ファイバ２０４
を介してアライメント光を照射して、光学的顕微鏡とＣ
ＣＤ等の受像素子から構成されるアライメント・ユニッ
ト４によりワーク１，１’の対向する面に印されたアラ
イメント・マークＡＭを受像し、アライメント・マーク
ＡＭをモニタ２０５上に表示させる（同図には図示して
いないが、アライメント・ユニット４は少なくとも２箇
所に設けられている）。

【００１１】ついで、Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ移動機構２０１に
より一方のワーク１’をＸ，Ｙ，θ（Ｘは同図の左右方
向、Ｙは紙面に対して垂直方向、θはＸ，Ｙ平面に垂直
な軸を中心とした回転）方向に移動させ、２枚のワーク
のアライメント・マークＡＭを一致させる。次に、ワー
ク１’をＺ軸（同図の上下方向）方向に移動させ、２枚
のワークが相対的に接近する方向に圧力を掛けながら、
ワークステージ２０２とワークステージ２０３に組み込
まれたヒータ等によりワーク１、１’を加熱して仮止め
用接着剤を硬化させる。

【００１２】ついで、仮止めされた２枚の基板（ワー
ク）を複数枚重ね合わせて、加熱炉等に入れ、基板の隙
間（ギャップ）が基板全面に渡って均一になるように、
２枚の基板が相対的に接近する方向にさらに大きな圧力
を掛けながら加熱して接着剤を本硬化させる。 (2) 仮止めなしに接着剤を本硬化させる方法。

【００１３】ワークに、図１４に示したように、熱硬化
型接着剤を塗布する。ついで、図１５と同様な装置を用
い、２枚のワーク１、１’をワークステージ２０２とワ
ークステージ２０３に真空吸着等により固定して、ワー
ク１’をＺ軸（同図の上下方向）方向に移動させ、２枚
のワーク１、１’をスペーサを挟んで接触させる。そし
て、(1) と同様、アライメント用光源２０６よりアライ
メント光を照射して、アライメント・ユニット４により
ワーク１、１’に印されたアライメント・マークＡＭを
受像し、アライメント・マークＡＭをモニタ２０５上に
表示させる。

【００１４】ついで、Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ移動機構２０１に
より一方のワーク１’をＸ，Ｙ，θ方向に移動させ、２
枚のワーク１、１’のアライメント・マークＡＭを一致
させる。次に、その状態で、２枚のワーク１、１’を相
対的に接近する方向に加圧して、ワークステージ２０２
とワークステージ２０３に組み込まれたヒータによりワ
ーク１、１’を加熱して熱硬化型の接着剤を本硬化させ
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上記した(1) の方法
は、次のような問題点を持っている。 (a) 仮止めをする工程と、接着剤を本硬化させる工程の
２工程を必要とし、工程が複雑となる。特に、仮止め時
に基板に加える圧力の大きさより、本硬化時に基板に加
える圧力の方が大きいので、通常、仮止め用の装置によ
りそのまま本硬化することはできず、本硬化させる際、
仮止めした基板を本硬化用の加熱炉等に移し、更に大き
な圧力を掛けながら基板を加熱する必要があり、工程が
複雑になるとともに、人手を要する。 (b) 仮止め時、２枚の基板の位置合わせをするため、基
板間の距離を所定量（例えば０．５ｍｍ程度）離してお
く必要があるが、２枚の基板上のアライメント・マーク
を同時に観察するためにアライメント・ユニットの顕微
鏡の焦点深度を深くすると、アライメント・ユニットの
顕微鏡の倍率または解像力を上げることができず、高精
度のアライメントができない。

【００１６】最近の液晶パネルにおいては、２μｍ程度
のアライメント精度が要求されるようになってきている
が、この方法では３〜５μｍ程度の精度しか得られな
い。(1) の方法は、上記のような問題点を持っており、
このため、仮止めなしに本硬化させる前記(2) の方法が
提案されている。しかしながら、前記(2) の方法におい
ては、次のような問題点がある。

【００１７】すなわち、位置合わせを行うために、接触
した状態で２枚の基板のＸＹ方向の位置を微調する必要
があり、基板間に配置されたスペーサが基板表面でこす
れて、基板にキズが付いたり、基板上の素子を破壊させ
る危険がある。なお、基板にキズがつかないように、
(2) の方法において、前記(1) のように０．５ｍｍ程度
基板を離して位置合わせを行うことも可能であるが、こ
の場合には(1) と同様、アライメント精度が低下する。

【００１８】さらに、上記(1) ，(2) の方法において
は、熱硬化型の接着剤を使用して、基板を貼り合わせて
いるが、この方法では接着剤を硬化させるために高い温
度処理を行うため、基板の熱膨張により接着・硬化中に
２枚の基板がずれてしまい、製品不良の原因となること
がある。このため、最近では、光硬化性の接着剤を使用
して、熱を掛けずに光で硬化させる接着技術が開発さ
れ、使用されるようになってきた。

【００１９】上記(1) ，(2) において、光硬化型の接着
剤を用いる場合には、加熱する代わりに接着剤が塗布さ
れた位置に紫外線等の光を照射して硬化させる。接着剤
を光で硬化させる場合、照射する光の強度が強い程短時
間で硬化を完了させることができ、このため、強い紫外
線強度が得られる高圧水銀灯やメタルハライドランプ等
を光源として、接着剤に紫外線を照射する。

【００２０】ところが、上記した(1) ，(2) の方法にお
いて、紫外線等の光を照射して光硬化型の接着剤を硬化
させるためには、一方のワークステージに、真空吸着手
段等の基板を固定する機構と、基板に光を照射するため
の光透過部分とを設ける必要があり、ワークステージの
構造が複雑化するといった問題点があった。本発明は上
記した従来技術の問題点を考慮してなされたものであっ
て、本発明の第１の目的は、仮止め工程を省略すること
ができ、また、基板にキズがついたり、基板上の素子を
破壊させることなく液晶パネルを貼り合わせることがで
きる液晶パネルの貼り合わせ方法および装置を提供する
ことである。

【００２１】本発明の第２の目的は、基板の位置合わせ
を高精度に行うことができる液晶パネルの貼り合わせ方
法および装置を提供することである。本発明の第３の目
的は、光硬化型の接着剤を用いて、基板を加熱すること
なく接着剤を硬化させることができる構造が簡単な液晶
パネルの貼り合わせ装置を提供することである。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１の発明は、透明基板と透明基板ま
たは透明基板と半導体基板とを光硬化型の接着剤で貼り
合わせる液晶パネルの貼り合わせ方法において、ワーク
ステージおよび光透過窓部に２枚の基板のそれぞれを保
持させ、上記２枚の基板により接着剤を挟持した後、２
枚の基板間に散布されたスペーサの直径よりも大きく、
かつ、上記接着剤が剥離または分断されない範囲の間隙
を持って２枚の基板を平行に位置させ、該状態で２枚の
基板の相対的位置の位置合わせを行い、次に、２枚の基
板をスペーサを挟んで接触させ、２枚の基板が相対的に
接近する方向に加圧し、接着剤に光を照射して接着剤を
硬化させるようにしたものである。

【００２３】本発明の請求項２の発明は、透明基板と透
明基板または透明基板と半導体基板とを光硬化型の接着
剤で貼り合わせる液晶パネルの貼り合わせ方法におい
て、上記２枚の基板同士が接触しない状態で、ワークス
テージおよび光透過窓部にそれぞれの基板を保持させ、
一方の基板に塗布された接着剤が他方の基板に接触しな
い範囲に上記２枚の基板を略平行に接近させ、該状態で
上記２枚の基板の相対的位置の粗位置合わせを行い、次
に２枚の基板をスペーサを挟んで接触させて平行状態に
すると共に、上記接着剤が２枚の基板間に挟持された状
態とし、次に上記平行状態を保持しつつ、上記スペーサ
の直径よりも大きく、かつ、接着剤が剥離または分断さ
れない範囲の間隙を持って２枚の基板を位置させ、該状
態で２枚の基板の相対的位置の微位置合わせを行い、そ
の後、再度２枚の基板をスペーサを挟んで接触させ、２
枚の基板が相対的に接近する方向に加圧し、上記接着剤
に光を照射して接着剤を硬化させるようにしたものであ
る。

【００２４】本発明の請求項３の発明は、請求項２の発
明において、２枚の基板がスペーサを挟んで実質的にそ
れ以上移動ができなくなった時点から上記２枚の基板が
接触する方向の力を吸収して変位し始める調整機構を、
上記ワークステージまたは光透過窓部に少なくとも３つ
設け、上記２枚の基板をスペーサを挟んで接触する方向
に、上記ワークステージおよび／または光透過窓部を移
動させ、２枚の基板がスペーサを挟んで接触しても、な
お、当該移動を続け、全ての上記調整機構がそれぞれ所
定量の変位をしたときに、上記ワークステージおよび／
または光透過窓部の移動を停止させ、各々の調整機構に
おいて、その時の変位状態を保持させることにより、２
枚の基板をスペーサを挟んで接触させて平行状態とし、
その後、所定の距離だけワークステージおよび／または
光透過窓部を上記移動方向とは反対方向に移動させるこ
とにより、上記スペーサの直径よりも大きく、かつ、前
記接着剤が剥離または分断されない範囲の間隙を持って
２枚の基板を平行に位置させるようにしたものである。

【００２５】本発明の請求項４の発明は、請求項２また
は請求項３の発明において、上記粗位置合わせおよび微
位置合わせが、上記２枚の基板上の対向した基板面にそ
れぞれ設けたアライメント・マークを顕微鏡で検出する
ことにより行うようにしたものである。本発明の請求項
５の発明は、請求項４の発明において、上記微位置合わ
せにおける顕微鏡の倍率を、上記粗位置合わせにおける
顕微鏡の倍率より高くしたものである。

【００２６】本発明の請求項６の発明は、光を放射する
光照射部と、透明基板または半導体基板を保持するワー
クステージと、透明基板を保持し、上記光照射部からの
光を該透明基板または上記透明基板または半導体基板に
塗布された接着剤に照射するための光透過窓を有する光
透過窓部と、上記ワークステージまたは光透過窓部を回
転および水平垂直方向に移動させる移動機構と、上記透
明基板と透明基板または透明基板と半導体基板が相対的
に接近する方向に圧力をかける加圧手段と、上記透明基
板と透明基板または透明基板と半導体基板の相対位置を
所定の位置関係に合わせるための位置合わせ機構と、上
記各機構を制御する制御部とを備えた液晶パネルの貼り
合わせ装置において、上記制御部が、上記移動機構によ
りワークステージまたは光透過窓部を垂直方向に移動さ
せ、上記２枚の基板により接着剤を挟持した後、２枚の
基板を基板間に散布されたスペーサの直径よりも大き
く、かつ、上記接着剤が剥離または分断されない範囲の
間隙を持って平行に位置させ、該状態で上記位置合わせ
機構により２枚の基板の相対的位置の位置合わせを行う
ように構成したものである。

【００２７】本発明の請求項７の発明は、請求項６の発
明において、光透過窓部の周辺部に支持板とストッパを
設け、光透過窓部に上記基板を載置して該支持板とスト
ッパにより基板を挟持することにより基板を光透過窓部
に保持させ、光透過窓部の下方に設けた光照射部からの
光を上記光透過窓部を介して基板に照射して、上記接着
剤を硬化させるように構成したものである。

【００２８】本発明の請求項８の発明は、請求項６また
は請求項７の発明において、光照射部からの光を出射端
に導く導光ファイバと、上記出射端を上記基板に塗布さ
れた接着剤に対し相対的に移動させる移動機構を設け、
前記接着剤に対し光を相対的に移動させながら照射し
て、接着剤を硬化させるように構成したものである。本
発明の請求項９の発明は、請求項６，７または請求項８
の発明において、ワークステージと光透過窓部とを相対
的に接近させる方向に力を加えることにより、上記基板
に圧力をかける加圧手段を設けたものである。

【００２９】本発明の請求項１０の発明は、請求項６，
７または請求項８の発明において、上記基板にエアを吹
きつけることにより上記基板に圧力をかける加圧手段を
設けたものである。本発明の請求項１１の発明は、請求
項６，７，８，９または請求項１０の発明において、透
明基板と透明基板または透明基板と半導体基板を平行に
かつ一定の間隔で設定する間隙設定機構を設け、上記間
隙設定機構をワークステージまたは光透過窓部に設けら
れた少なくとも３つの調整機構から構成し、上記調整機
構に、当該調整機構が所望量だけ変位したことを検出す
る検出手段と、その時に変位状態を保持する保持手段と
を具備させ、上記移動機構を駆動して、上記ワークステ
ージまたは光透過窓部を上記２枚の基板がスペーサを挟
んで接触する方向に移動させた場合において、２枚の基
板がスペーサを挟んで接触した後もなお継続して上記移
動機構を当該方向に駆動した場合に、２枚の基板がスペ
ーサを挟んで接触し実質的にそれ以上移動できなくなっ
た時点から、上記調整機構が上記移動機構からの駆動力
を吸収して変位し始めるようにしたものである。

【００３０】本発明の請求項１２の発明は、請求項６，
７，８，９，１０または請求項１１の発明において、上
記位置合わせ機構を光学的顕微鏡とし、光学的顕微鏡に
倍率切り換え機構を設けたものである。

【００３１】

【作用】本発明の請求項１の発明においては、ワークス
テージおよび光透過窓部に２枚の基板のそれぞれを保持
させ、２枚の基板間に散布されたスペーサの直径よりも
大きく、かつ、接着剤が剥離または分断されない範囲の
間隙を持って２枚の基板を平行に位置させ、該状態で２
枚の基板の相対的位置の位置合わせを行い、次に、２枚
の基板をスペーサを挟んで接触させ、２枚の基板が相対
的に接近する方向に加圧し、接着剤に光を照射して接着
剤を硬化させるようにしたので、基板にキズがついた
り、基板上の素子を破壊させることなく、液晶パネルを
貼り合わせることができる。また、仮止め工程を省略し
て、一工程で高精度に液晶パネルを貼り合わせることが
できる。

【００３２】本発明の請求項２の発明においては、一方
の基板に塗布された接着剤が他方の基板に接触しない範
囲に上記２枚の基板を略平行に接近させ、該状態で上記
２枚の基板の相対的位置の粗位置合わせを行い、次に２
枚の基板をスペーサを挟んで接触させて平行状態とし、
平行状態を保持しつつ、上記スペーサの直径よりも大き
く、かつ、接着剤が剥離または分断されない範囲の間隙
を持って２枚の基板を位置させ、該状態で２枚の基板の
相対的位置の微位置合わせを行うようにしたので、請求
項１の発明と同様、仮止めすることなく、また、基板に
キズがついたり、基板上の素子を破壊させることなく、
液晶パネルを貼り合わせることができる。

【００３３】また、予め粗位置合わせを行ったのち微位
置合わせを行っているので、微位置合わせ時に２枚の基
板を接触させたとき、基板の位置が大きくずれることが
ない。さらに、簡単な操作で２枚の基板を平行に、か
つ、所望の間隙に設定することができる。本発明の請求
項３の発明においては、請求項２の発明において、２枚
の基板がスペーサを挟んで実質的にそれ以上移動ができ
なくなった時点から上記２枚の基板が接触する方向の力
を吸収して変位し始める調整機構を、上記ワークステー
ジまたは光透過窓部に少なくとも３つ設けたので、簡単
な機構を付加するだけで、２枚の基板を平行に、かつ、
所望の間隙に設定することが可能となる。

【００３４】本発明の請求項４の発明においては、請求
項２または請求項３の発明において、上記２枚の基板上
の対向した基板面にそれぞれ設けたアライメント・マー
クを顕微鏡で検出することにより上記粗位置合わせおよ
び微位置合わせを行うようにしたので、高精度な位置合
わせを行うことができる。本発明の請求項５の発明にお
いては、請求項４の発明において、上記微位置合わせに
おける顕微鏡の倍率を、上記粗位置合わせにおける顕微
鏡の倍率より高くしたので、微位置合わせを高精度に行
うことができる。

【００３５】本発明の請求項６の発明においては、移動
機構によりワークステージまたは光透過窓部を垂直方向
に移動させ、２枚の基板を基板間に散布されたスペーサ
の直径よりも大きく、かつ、接着剤が剥離または分断さ
れない範囲の間隙を持って平行に位置させ、該状態で上
記位置合わせ機構により２枚の基板の相対的位置の位置
合わせを行うようにしたので、請求項１の発明と同様、
基板にキズがついたり、基板上の素子を破壊させること
なく、液晶パネルを貼り合わせることができる。また、
仮止め工程を省略して、一工程で高精度に液晶パネルを
貼り合わせることができる。

【００３６】本発明の請求項７の発明においては、請求
項６の発明において、光透過窓部の周辺部に支持板とス
トッパを設けて基板を挟持し、光透過窓部の下方に設け
た光照射部からの光を上記光透過窓部を介して基板に照
射するようにしたので、光透過窓部に真空吸着手段等の
機構を設けることなく基板を保持することができ、光透
過部の構成を簡単にすることができる。

【００３７】本発明の請求項８の発明においては、請求
項６または請求項７の発明において、光照射部からの光
を出射端に導く導光ファイバと、上記出射端を上記基板
に塗布された接着剤に対し相対的に移動させる移動機構
を設けたので、光の利用率を大幅に向上させることがで
き、小さな出力のランプで効果的に接着剤を硬化させる
ことができる。また、光のスポットが接着剤から外れる
ことがないので、不所望な部分に光が照射され、劣化等
を起こす危険もない。

【００３８】本発明の請求項９の発明においては、請求
項６，７または請求項８の発明において、ワークステー
ジと光透過窓部とを相対的に接近させる方向に力を加
え、上記基板を加圧するようにしたので、外部に簡単な
機構を付加するだけで基板を加圧することができる。本
発明の請求項１０の発明においては、請求項６，７また
は請求項８の発明において、上記基板にエアを吹きつけ
ることにより基板を加圧するようにしたので、基板を均
一に加圧することができ、また、基板を加圧するために
ワークステージを移動させる必要もない。

【００３９】本発明の請求項１１の発明においては、請
求項６，７，８，９または請求項１０の発明において、
透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板を平行
にかつ一定の間隔で設定する間隙設定機構を設け、上記
間隙設定機構をワークステージまたは光透過窓部に設け
られた少なくとも３つの調整機構から構成し、上記調整
機構に、当該調整機構が所望量だけ変位したことを検出
する検出手段と、その時に変位状態を保持する保持手段
とを具備させたので、請求項３の発明と同様、２枚の基
板を平行に、かつ、所望の間隙に設定することが可能と
なる。

【００４０】本発明の請求項１２の発明においては、請
求項６，７，８，９，１０または請求項１１の発明にお
いて、上記位置合わせ機構を光学的顕微鏡とし、光学的
顕微鏡に倍率切り換え機構を設けたので、粗位置合わせ
と微位置合わせ時、それぞれの精度に応じた適切な倍率
に設定することができる。

【００４１】

【実施例】図１は本発明の第１の実施例の構成を示す図
である。同図において、１、１’はワークであり、ワー
ク１、１’の対向する面にはアライメント・マークＡＭ
が印されている。２はワークステージ、３は光透過窓部
であり、ワークステージ２にはエア吸入管２ａが設けら
れエア吸入管２ａは図示しない真空源に接続されてお
り、ワーク１はエア吸入管２ａを介して供給される真空
によりワークステージに吸着固定される。

【００４２】また、ワークステージ２はθステージ２０
ａに取り付けられ、θステージ２０ａはベアリング等を
介してＸステージ２０ｂに対して回転可能に取り付けら
れ、Ｘステージ２０ｂはリニアガイドを介してＹステー
ジ２０ｃに対して移動可能に取り付けられている。さら
に、Ｙステージ２０ｃはリニアガイドを介してＺステー
ジ２０ｄ対して移動可能に取り付けられ、Ｚステージ２
０ｄはベース２１ｂに対して移動可能に取り付けられて
いる。

【００４３】そして、後述するようにワークの位置合わ
せ時、上記θステージ２０ａは図示しない駆動機構によ
りＸステージ２０ｂ上で回転駆動され、Ｘステージ２０
ｂ、Ｙステージ２０ｃ、Ｚステージ２０ｄは図示しない
駆動機構により、それぞれＸ軸方向（図１において紙面
の前後方向）、Ｙ軸方向（図１において左右方向）、Ｚ
軸方向（図１において上下方向）に駆動される。また、
ベース２１ｂには油圧等により作動する加圧機構２２が
取り付けられており、ワーク１、１’の接着剤硬化時、
加圧機構２２によりベース２１ｂを下方向に押し、ワー
ク１、１’を加圧する。

【００４４】一方、光透過窓部３には支持板５とストッ
パ６が設けられており、ワーク１’は支持板５とストッ
パ６により光透過窓部３に固定される。さらに、光透過
窓部３には光透過窓３ａが設けられ、下方から照射され
る紫外線等の光は光透過窓３ａを介してワーク１，１’
に照射される。図２は、上記支持板５と光透過窓３ａの
取り付け構造を示す図であり、同図（ｂ）に示すよう
に、支持板５は、例えば、光透過窓３ａの周辺の２辺に
取り付けられ、それらと対向する辺にストッパ６が取り
付けられている。また、石英ガラス等で構成される光透
過窓３ａは窓固定板３ｃにより光透過窓部３に取り付け
られている。

【００４５】そして、支持板５はバネ５ａによりストッ
パ６の方向に付勢され、ワーク１’は支持板５とストッ
パ６により挟持され、光透過窓部３上に固定される。ま
た、必要に応じて同図（ａ）に示すように、支持板５の
下面側に、エア吸入管３ｂの開口を設け、ワーク１’を
支持板５とストッパ６により挟持したのち、エア吸入管
３ｂより空気を吸入して真空吸着により支持板５を固定
することにより、振動等によりワーク１’が移動しない
ようにすることができる。

【００４６】図１に戻り、光透過窓部３はギャップ調整
機構７の一方端に取り付けられており、ギャップ調整機
構７の他端はベース２１ａに取り付けられている。そし
て、後述するように、光透過窓部３が加圧機構２２ある
いはＺステージ２０ｄにより下方に押されたとき、ギャ
ップ調整機構７の上端部が下方に移動し、ワーク１、
１’間の間隙（ギャップ）を平行にかつ一定に設定す
る。

【００４７】４は光学的顕微鏡とＣＣＤ等の受像素子か
ら構成されるアライメント・ユニットであり、同図に示
すように少なくとも２か所に設けられ、アライメント・
ユニット４によりワーク１、１’に印されたアライメン
ト・マークＡＭを受像してワーク１、１’の位置合わせ
を行う。また、アライメント・ユニット４は同図の矢印
方向に移動可能に取り付けられており、位置合わせ時同
図の位置に前進し、光照射時、同図の位置から後退す
る。

【００４８】アライメント・ユニット４は異なった倍率
の画像を受像できるように高倍率と低倍率の光学的顕微
鏡と２個のＣＣＤを備えており、後述するように、アラ
イメント・ユニットの倍率を切り換えて、粗位置合わせ
と微位置合わせを行う。図３（ａ）は上記アライメント
・ユニットの構造を示す図であり、図示しない光源が放
射する光は光ファイバ４ｊ→ハーフミラー４ｃ→ミラー
４ａを介してワーク１、１’上に印されたアライメント
・マーク上に照射され、反射光がアライメント・ユニッ
トに入射する。

【００４９】アライメント・ユニット４に入射した光は
ミラー４ａ→レンズ４ｂ→ハーフミラー４ｃ→ハーフ
ミラー４ｄ→レンズ４ｆを介してＣＣＤ４ｈで受像され
るとともに、ミラー４ａ→レンズ４ｂ→ハーフミラー
４ｃ→ハーフミラー４ｄ→ハーフミラー４ｅ→レンズ４
ｇを介してＣＣＤ４ｉで受像される。上記との光学
系の倍率は異なっており、例えば、ＣＣＤ４ｈで受像さ
れる画像の方がＣＣＤ４ｉで受像される画像より倍率が
高い。そして、上記粗位置合わせ時には、倍率の低い光
学系のＣＣＤ出力が利用され、上記微位置合わせ時に
は、倍率の高い光学系のＣＣＤ出力が利用される。

【００５０】なお、アライメント・ユニット４の倍率を
切り換える機構としては、図３（ａ）のほか、図３
（ｂ）に示すように、倍率の異なったレンズ４ｂ，４
ｂ’を取り付けたタレット４ｋを設け、タレット４ｋを
回転させてレンズを切り換えるように構成することもで
きる。図４は、上記ギャップ調整機構７とアライメント
・ユニット４の取り付け構造を示す図であり、同図に示
すように、ギャップ調整機構７は光透過窓部３の４隅に
取り付けられており、ギャップ調整機構７の他方端はベ
ース２１ａに取り付けられている。また、ギャップ調整
機構７の間にアライメント・ユニットが同図矢印方向に
移動可能に取り付けられている。

【００５１】なお、同図では４隅にギャップ調整機構を
取り付けた例を示したが、この内、少なくとも３隅のギ
ャップ調整機構が機能すればよく、他の一つは光透過窓
部３をベース２１ａに対して移動可能に支持する支持部
材でよい。図１に戻り、８は紫外線等の光を放射する高
圧水銀灯やメタルハライドランプ等のランプ、９はミラ
ーであり、ランプ８が放射する光はミラー９で集光され
光透過窓３ａを介してワーク１、１’に照射される。

【００５２】３１は上記したＸ，Ｙ，Ｚ，θステージ２
０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ａ、加圧機構２２、アライ
メント・ユニット４、ギャップ調整機構７等を制御する
制御部、３２はアライメント・ユニット４により受像さ
れたアライメント・マークを表示するモニタである。図
５は上記したギャップ調整機構７の構造の一例を示す分
解斜視図、図６、図７は上記したギャップ調整機構の動
作を説明する図であり、同図により、本実施例のギャッ
プ調整機構の構造および動作を説明する。

【００５３】なお、図６（ａ）、図７（ａ）は図５にお
いてギャップ調整機構をＸ方向から見た断面図、図６
（ｂ）、図７（ｂ）は図５においてギャップ調整機構を
Ｙ方向から見た断面図を示しており、各図の（ａ）と
（ｂ）は同一の状態を示している。図５において、３は
光透過窓部、７ａはＶ字受けであり、Ｖ字受け７ａは光
透過窓部３下面に埋設され、剛球７ｂを介してボール受
け７ｄとつながる。このボール受け７ｄの中央部には上
記剛球７ｂに対応した円錐状の凹部７ｃが設けられてい
る。このため、光透過窓部３が上から押されたとき、光
透過窓部３はＶ字受けの溝の方向のみに自由に動くこと
ができる。

【００５４】また、光透過窓部３とボール受け７ｄは引
っ張りバネ７ｇにより互いに引き合っており、光透過窓
部３をベース２１ｂ方向に支持している。ボール受け７
ｄの下方にはシャフト７ｅがつながり、このシャフト７
ｅはガイド部材であるスプライン７ｆを介してケーシン
グ７ｈに至り、ケーシング７ｈを貫通した後、板状の弾
性体である板バネ７ｊに連結されている。

【００５５】シャフト７ｅはスプライン７ｆ内を摺動
し、スプライン７ｆによりシャフト７ｅの動きを上下方
向にのみ規制する。ケーシング７ｈの内部のシャフト７
ｅの周囲には、シャフト７ｅに力を及ぼす圧縮コイルバ
ネ７ｉが設けられている。板バネ７ｊは保持手段である
吸着ブロック７ｋに挟まれており、その一部に凸部７ｍ
が設けられている。そして、吸着ブロック７ｋには、こ
の凸部７ｍの位置を検出するセンサ７ｎが設けられてい
る。センサ７ｎは、例えば、発光部と受光部から構成さ
れる光学センサであり、凸部７ｍによる光の遮断を検出
して出力を発生する。また、上記吸着ブロック７ｋには
板バネ７ｊを吸着して保持する真空吸着路が設けられて
いる。

【００５６】本実施例のギャップ調整機構は上記構成を
備えており、前記加圧機構２２あるいはＺステージ２０
ｄによりワークステージ２を下方に移動させてワークス
テージ２に固定されたワーク１と光透過窓部３に固定さ
れたワーク１’を接触させたのち、ワークステージ２を
さらに下降させ、ワーク１、１’がそれ以上相対的に移
動できない位置まで来ると、その駆動力を吸収するよう
に圧縮コイルバネ７ｉが圧縮をはじめる〔図６（ａ）
（ｂ）参照〕。

【００５７】そして、ワークステージ２がさらに下方に
移動すると、ワーク１の全面が完全に光透過窓部３のワ
ーク１’に接触するようになる。このとき、各ギャップ
調整機構７における圧縮コイルバネ７ｉの圧縮量は必ず
しも一致していない。この圧縮により、板バネ７ｊの吸
着ブロック７ｋに対する相対位置が変化し、板バネ７ｊ
に設けられた凸部７ｍも移動し、センサ７ｎによりこの
移動が検出される〔図７（ａ）（ｂ）参照〕。

【００５８】上記のように、ワークステージ２が下降す
ることにより光透過窓部３に設けられた各ギャップ調整
機構７が変位すると、センサ７ｎが出力を発生し、この
出力は前記した制御部３１に送られる。そして、全ての
ギャップ調整機構７のセンサ７ｎが出力を発生すると、
制御部３１は加圧機構２２あるいはＺステージ２０ｄの
下方向の移動を停止させ、各ギャップ調整機構７の吸着
ブロック７ｋに設けられた真空吸着路７ｐよりエアを吸
入して板バネ７ｊを吸着し、ギャップ調整機構７の圧縮
コイル７ｉの圧縮状態を保持させる。

【００５９】これにより、ワーク１、１’は平行状態に
セットされるので、この状態でワークステージ２を上昇
させると、ワークステージ２と光透過窓部３に固定され
たワーク１、１’を平行に、かつ、そのギャップを一定
にすることができる。なお、上記実施例においては、ギ
ャップ調整装置７の変位量を板バネに取り付けた凸部に
より検出しているが、変位量を検出する手段としてはそ
の他の周知な手段を用いることができる。

【００６０】また、上記実施例においては、真空吸着に
より板バネ７ｊの位置を保持しているが、ギャップ調整
機構の変位量を保持する手段としては、電気的手段を用
いるなど、その他の周知な手段を用いることができる。
次に図１に示した第１の実施例の装置による液晶パネル
の貼り合わせ工程について説明する。 (a) 図示しない駆動機構によりＺステージ２０ｄを駆動
してワークステージ２を上方に移動させ、ワークステー
ジ２の予め定められた位置に一方のワーク１を取り付
け、エア吸入管２ａよりエアを吸入してワーク１をワー
クステージに固定する。また、光透過窓部３の上に他方
のワーク１’を載置して、支持板５とストッパ６により
ワークを挟持したのち、光透過窓部３に設けられたエア
吸入管３ｂ（図２参照）よりエアを吸入して支持板５を
固定する。 (b) Ｚステージ２０ｄを駆動して、ワークステージ２を
下方に移動させ、ワークステージ２に固定されたワーク
１と光透過窓部３に固定されたワーク１を０．２ｍｍ〜
０．３ｍｍ程度まで接近させる。 (c) アライメント・ユニット４に照明光を導入し、ワー
ク１、１’上に印されたアライメント・マークＡＭを受
像する。この場合、アライメント・ユニットの焦点深度
は０．３〜０．５ｍｍに設定され、また、倍率の低い光
学系によりアライメント・マークＡＭが受像される（例
えば、倍率は×３程度に設定されＣＣＤ４ｉによりアラ
イメント・マークＡＭが受像される）。

【００６１】アライメント・ユニット４により受像され
たアライメント・マークＡＭの画像は制御部３１に送ら
れ、モニタ３２に表示される。制御部３１はワーク１の
アライメント・マークＡＭとワーク１’のアライメント
・マークＡＭの位置が一致するように、θステージ２０
ａ、Ｘステージ２０ｂ、Ｙステージ２０ｃを駆動して、
ワークステージ２の位置を制御し、粗位置合わせを行
う。これにより、最大±３μｍ程度の精度でアライメン
トされる。 (d) Ｚステージ２０ｄを駆動して、ワークステージ２を
下方に移動させ、ワークステージ２に固定されたワーク
１とワーク１’を接触させ、さらにワークステージ２を
下方に移動させる。なお、このとき、ワーク１、１’は
前記したスペーサを介して接触し、ワーク１間の距離は
５μｍ〜１５μｍとなる。 (e) ワークステージ２をさらに下方に移動させ、ギャッ
プ調整機構７の全てのセンサ７ｎが出力を発生すると、
ワークステージ２の下方への移動を停止し、前記したよ
うにギャップ調整機構７の真空吸着機能を作動させて、
ギャップ調整機構７の圧縮コイル７ｉの圧縮状態を保持
させる。これによりワーク１とワーク１’は平行状態に
保持される。

【００６２】この状態で、Ｚステージ２０ｄを駆動して
ワークステージ２を上方に移動させ、ワーク１とワーク
１’の間隔をスペーサの直径より大きく、かつ、接着剤
が剥離または分断されない間隙に設定する。この間隙は
通常、２０μｍ〜３０μｍである。 (f) アライメント・ユニット４に照明光を導入し、ワー
ク１、１’上に印されたアライメント・マークＡＭを受
像する。この場合、アライメント・ユニットの焦点深度
は３０μｍ程度に設定され、また、倍率の高い光学系に
よりアライメント・マークＡＭが受像される（例えば、
倍率は×１０〜×３０程度に設定されＣＣＤ４ｈにより
アライメント・マークＡＭが受像される）。

【００６３】アライメント・ユニット４により受像され
たアライメント・マークＡＭの画像は制御部３１に送ら
れ、モニタ３２に表示される。制御部３１はワーク１の
アライメント・マークＡＭとワーク１’のアライメント
・マークＡＭの位置が一致するように、θステージ２０
ａ、Ｘステージ２０ｂ、Ｙステージ２０ｃを駆動して、
ワークステージ２の位置を制御し、微位置合わせを行
う。これにより、約±１μｍ程度の精度でアライメント
される。

【００６４】なお、上記(c) ，(f) におけるアライメン
ト操作は上記のように制御部３１による自動的なアライ
メントを行う外、作業者がモニタ３２を観察しながら上
記Ｘ，Ｙ，Ｚ，θステージを手動で操作してマニュアル
・アライメントを行うこともできる。 (g) Ｚステージ２０ｄを駆動してワークステージ２を下
方に移動させてワーク１、１’を接触させ、加圧機構２
２に油圧等を供給してワーク１、１’を所定の圧力で加
圧する。ついで、ランプ８から光透過窓３ａを介して光
をワーク１，１’に照射し、ワーク１，１’に塗布され
た光硬化型接着剤を硬化させる。 (h) 接着剤の硬化後、ワーク１、１’への加圧を停止
し、ワークステージ２を上昇させ接着済のワーク１、
１’を取り出す。

【００６５】以上のように、本実施例においては、２枚
のワークを接近させて粗位置合わせを行い、ついで、２
枚のワークを接触させて平行状態にしたのち、該平行状
態を維持しつつ２枚のワークをスペーサの直径より大き
く、かつ、接着剤が剥離または分断されない間隙にセッ
トし、２枚のワークの位置合わせを行っているので、仮
止めすることなく、高精度な位置合わせを行い液晶基板
を貼り合わせることができる。また、その際、基板にキ
ズがついたり基板上の素子を破壊させることがない。

【００６６】さらに、光硬化型の接着剤を用いて、基板
を加熱することなく接着剤を硬化させることができるの
で、基板の熱膨張により接着・硬化中に２枚の基板がず
れてしまい、製品不良の原因となることがない。またさ
らに、光透過窓部に光透過窓を設けて、基板の下方から
光を照射しているので、支持板により基板を挟持するだ
けで基板を光透過窓部に固定することができ、加工が比
較的困難な石英ガラス等からなる光透過窓に真空吸着機
構等を設ける必要がなく、光透過窓部の構造を簡単にす
ることができる。

【００６７】図８は本発明の第２の実施例を示す図であ
り、本実施例は、出射端移動機構と導光ファイバを用い
てワーク上の接着剤が塗布された位置のみに紫外線等の
光を照射するように構成したものである。同図におい
て、４０は出射端移動機構、５１は紫外線等の光を照射
する光照射部、５２は光照射部５１からの光を導く導光
ファイバ、５３は出射端であり、出射端５３には導光フ
ァイバ５２から導かれた光を集光するレンズが設けられ
ている。

【００６８】その他の構成は図１に示した第１の実施例
と同様で同一のものには同一の符号が付されおり、図１
に示したθステージ２０ａ、Ｘステージ２０ｂ、Ｙステ
ージ２０ｃ、Ｚステージ２０ｄ等は図８ではＸ，Ｙ，
Ｚ，θステージ駆動機構２０として示されている。ま
た、制御部３１の記憶手段（図示せず）にはワーク１、
１’上のアライメント・マークＡＭの位置に対する接着
剤の塗布位置を示す塗布位置情報、出射端の移動速度を
示す速度制御情報等が記憶されており、制御部３１は上
記情報に基づき上記出射端移動機構４０により出射端５
３の位置を制御する。

【００６９】図９は上記した出射端移動機構４０の一例
を示す図であり、同図において、５３は前記した出射端
であり、出射端５３には導光ファイバ５２が取り付けら
れており導光ファイバ５２には前記した光照射部５１か
ら光が導入される。また、上記出射端５３に対向して前
記した光透過窓３ａが配置されている。４１はフレー
ム、４２は上記出射端５３が取り付けられたＸ軸アーム
であり、Ｘ軸アーム４２はボールネジ４３ｃと係合して
おり、ボールネジ４３ｃはさらにカップリング４３ｂを
介してＸ軸駆動モータ４３ａに結合されている。

【００７０】このため、Ｘ軸駆動モータ４３ａが回転す
るとボールネジ４３ｃが回転し、Ｘ軸アーム４２はＸ軸
方向に移動する。また、Ｘ軸駆動モータ４３ａ、カップ
リング４３ｂ、ボールネジ４３ｃはＹ軸アーム４４に支
持されており、Ｙ軸アーム４４は第１および第２のガイ
ド部材４６，４７に設けられたガイドレール４６ａ，４
７ａに沿って移動可能の取り付けられている。さらに、
ガイド部材４６，４７はフレーム４１に固定されてい
る。そして、Ｙ軸アームの一方端はボールネジ４５ｃに
係合し、ボールネジ４５ｃはさらにカップリング４５ｂ
を介してＹ軸駆動モータ４５ａに結合されている。

【００７１】このため、Ｙ軸駆動モータ４５ａが回転す
るとボールネジ４５ｃが回転し、Ｙ軸アーム４４、すな
わち、出射端５３はＹ軸方向に移動する。したがって、
Ｘ軸駆動モータ４３ａ、Ｙ軸駆動モータ４５ａを駆動す
ることにより、出射端５３をＸ軸アーム４２、Ｙ軸アー
ム４４の可動範囲内の任意の位置に移動させることがで
きる（なお、上記した出射端、出射端移動機構等の構成
および動作については、必要なら先に出願した特願平６
−３０５９１０号を参照されたい）。

【００７２】次に図８に示した第２の実施例の装置によ
る液晶パネルの貼り合わせ工程について説明する。 (a) 前記した第１の実施例の(a) 〜(f) と同様に、ワー
ク１、１’をワークステージ２と光透過窓部３に固定し
たのち、ワーク１、１’の粗位置合わせ、微位置合わせ
を行う。 (b) ワークステージ２を下方に移動させてワーク１、
１’を接触させ、加圧機構２２に油圧等を供給してワー
ク１、１’を所定の圧力で加圧する。 (c) 制御部３１には、前記したようにアライメント・マ
ークＡＭの位置に対する接着剤塗布位置情報、移動原点
情報、移動原点に対する光照射開始位置までの相対位置
情報、速度制御情報等が記憶されており、制御部３１は
これらの情報に基づき、出射端移動機構４０を駆動して
出射端５３を移動原点に移動させたのち、ワーク１、
１’上の光照射開始位置に移動させる。 (d) 制御部３１は光照射部５１のシャッタ５１ａを開
き、光照射部５１が放射する光を導光ファイバ５２に導
入し、出射端５３からワーク１の接着剤塗布部分に光を
照射する。また、必要に応じて光学フィルタ５１ｂによ
り照射される光の波長範囲を選定する。 (e) 制御部３１は上記接着剤塗布位置情報と、速度制御
情報を読み出しながら、出射端５３をワーク１、１’の
接着剤の塗布箇所に沿って上記速度制御情報により指示
される速度で移動させ、出射端５３から放出される光を
接着剤の塗布箇所に照射し、光硬化型接着剤を硬化させ
る。

【００７３】そして、接着剤への１回目の照射が終わり
出射端５３が光照射開始位置まで戻ると、必要に応じ
て、上記と同様に出射端５３を接着剤に沿って移動させ
２回目以降の照射を行う。 (f) 接着剤の全ての塗布部分への照射が終了すると、制
御部３１は光照射部５１からの光の照射を停止し、出射
端移動機構４０による出射端５３の移動を停止させる。 (g) 接着剤の硬化後、ワーク１、１’への加圧を停止
し、ワークステージ２を上昇させ、接着済のワーク１、
１’を取り出す。

【００７４】以上のように、本実施例においては、第１
の実施例と同様な効果が得られるとともに、出射端を接
着剤の塗布位置に沿って移動させ、接着剤に光を照射し
ているので、光の利用率を大幅に向上させることがで
き、小さな出力のランプで効果的に接着剤を硬化させる
ことができる。また、光のスポットが接着剤から外れる
ことがないので、不所望な部分に光が照射され、劣化等
を起こす危険もない。

【００７５】また、接着剤の硬化に必要な光の照射量を
複数回に分けて照射することにより良好なギャップ均一
性を維持しながら液晶パネルを貼り合わせることができ
る。特に、出射端の移動速度を制御することにより光の
照射量を制御することができ、接着剤の特性に応じた最
適な光の照射を行うことができる。なお、上記実施例に
おいては、出射端の移動速度により接着剤への光の照射
量を制御しているが、光照射部が放射する光の強度を減
光フィルタ等により変化させても、同様に接着剤に照射
される光の照射量を制御することができる。

【００７６】また、上記実施例においては、制御部に接
着剤塗布位置情報を記憶させておき、該位置情報により
出射端の位置を制御しているが、出射端にセンサを取り
付け、該センサにより接着剤の塗布位置を検出しなが
ら、接着剤に沿って出射端を移動させることもできる。
図１０は本発明の第３の実施例を示す図であり、本実施
例はギャップ調整機構を設ける代わりにレーザ干渉計を
設け、レーザ干渉計によりワーク１、１’間の間隙を測
定してワーク１、１’を平行に設定する実施例を示して
いる。

【００７７】同図において、３３はレーザ干渉計であ
り、レーザ干渉計３３はワークステージ２上に少なくと
も３か所以上設けられ、ワークステージ２に設けられた
穴３３ａを介してワーク１、１’にレーザ光を照射し、
その反射光を受光してワーク１、１’間の間隙を測定す
る。また、本実施例においては、光透過窓部３とベース
２１ａにギャップ調整機構が設けられておらず、光透過
窓部がベース２１ａに直接固定されている。

【００７８】上記点を除き、その他の構成は第１、第２
の実施例と同様であり、第１、第２の実施例に示したも
のと同一のものには同一の符号が付されている。次に本
実施例による液晶パネルの貼り合わせ工程について説明
する。 (a) ワークステージ２の予め定められた位置に一方のワ
ーク１を取り付け、真空によりワーク１をワークステー
ジに固定する。また、光透過窓部３の上に他方のワーク
１’を載置して、支持板５とストッパ６により固定す
る。 (b) Ｚステージ２０ｄを駆動して、ワークステージ２を
下方に移動させ、ワーク１、１’を０．２ｍｍ〜０．３
ｍｍ程度まで接近させる。 (c) アライメント・ユニット４によりアライメント・マ
ークＡＭを観察し、ワーク１のアライメント・マークＡ
Ｍとワーク１’のアライメント・マークＡＭの位置が一
致するように、ワークステージ２の位置を制御し、粗位
置合わせを行う。これにより、最大±３μｍ程度の精度
でアライメントされる。 (d) レーザ干渉計３３でワーク１、１’間の間隙を計測
し、ワーク１、１’間の平行度を保ちながらワークステ
ージ２を下方に移動させ、ワーク１とワーク１’の間隙
をスペーサの直径より大きく、かつ、接着剤が剥離また
は分断されない間隙、例えば、２０μｍ〜３０μｍに設
定する。 (e) ワーク１のアライメント・マークＡＭとワーク１’
のアライメント・マークＡＭの位置が一致するように、
ワークステージ２の位置を制御し、微位置合わせを行
う。これにより、約±１μｍ程度の精度でアライメント
される。 (f) ワークステージ２を下方に移動させてワーク１、
１’を接触させ、加圧機構２２に油圧等を供給してワー
ク１、１’を所定の圧力で加圧する。ついで、第１の実
施例のようにランプから光をワーク上に一括照射する
か、あるいは、第２の実施例のように導光ファイバによ
り接着剤の塗布箇所に光を照射して、ワーク１，１’に
塗布された光硬化型接着剤を硬化させる。 (g) 接着剤の硬化後、ワーク１、１’への加圧を停止
し、ワークステージ２を上昇させ接着済のワーク１、
１’を取り出す。

【００７９】以上のように本実施例においては、レーザ
干渉計を設け、ワーク１、１’間の間隙を測定している
ので、ギャップ調整機構を設けることなくワーク１、
１’間の間隙を平行にかつ一定の間隙に設定することが
できる。図１１は本発明の第４の実施例を示す図であ
り、本実施例は、エアによりワークの加圧を行うように
構成するとともに、Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ移動機構を光透過窓
部側に設けたものである。

【００８０】図１１において、１、１’はワーク、２は
ワークステージ、３は光透過窓部であり、ワークステー
ジ２にはエア吸入／供給管２ｂが設けられ、エア吸入／
供給管２ｂはエア吸入／供給口２ｃを介して図示しない
真空源およびコンプレッサに接続されている。そして、
ワーク１をワークステージ２に固定する際には、上記エ
ア吸入／供給口２ｃを真空源に接続して真空によりワー
ク１を固定し、ワーク１を加圧する際には、上記エア吸
入／供給口２ｃをコンプレッサに接続して、コンプレッ
サからエアを供給してエアによりワーク１を加圧する。
また、ワークステージ２とベース２１ｂ間には前記図
５、図６、図７に示したギャップ調整機構が設けられて
いる。

【００８１】なお、本実施例において、ギャップ調整機
構は第１の実施例とは上下を逆にして取り付けられてい
る（図５において、吸着ブロック７ｋがベース２１ｂに
取り付けられる）。一方、光透過窓部３には支持板５と
ストッパ６が設けられており、ワーク１’は、第１〜第
３の実施例と同様、支持板５とストッパ６により光透過
窓部３に固定される。さらに、光透過窓部３には光透過
窓３ａが設けられ、下方から照射される紫外線等の光は
光透過窓３ａを介してワーク１，１’に照射される。

【００８２】また、光透過窓部３はＸ，Ｙ，θ移動機構
２３とＺ軸移動機構２４が設けられており、ワークの位
置合わせ時等において、光透過窓部３は、Ｘ，Ｙ，θ移
動機構２３とＺ軸移動機構２４によりＸ，Ｙ，Ｚ，θ方
向に駆動される。図１２は上記Ｘ，Ｙ，θ移動機構２３
とＺ軸移動機構２４の一例を示す図であり、同図（ａ）
は光透過窓部とＸ，Ｙ，Ｚ，θ移動機構を側面から見た
図、同図（ｂ）は光透過窓部とＸ，Ｙ，Ｚ，θ移動機構
を上面から見た図を示している。

【００８３】同図（ａ）に示すように、ベース２１ａに
はＺ軸駆動部２４ｂが取り付けられており、Ｚ軸駆動部
２４ｂによりカム２４ｃが同図の矢印方向に駆動され
る。また、カム２４ｃ上にはローラ２４ｄを介してＺス
テージ２４ａが上下方向に移動可能に載置されており、
Ｚ軸駆動部２４ｂによりカム２４ｃが同図矢印方向に移
動すると、Ｚステージ２４ａは上下方向に動く。

【００８４】また、Ｚステージ２４ａ上には同図（ｂ）
に示すようにＸ軸駆動部２３ａ、２３ａ’とＹ軸駆動部
２３ｄが取り付けられており、Ｘ軸駆動部２３ａ、２３
ａ’とＹ軸駆動部２３ｄによりローラ２３ｂ、２３
ｂ’、２３ｅが同図矢印方向に駆動される。一方、光透
過窓部３はベアリング等により、Ｚステージ２４ａ上で
Ｘ，Ｙ軸方向に移動可能にかつ回転可能に取り付けられ
ており、光透過窓部３は図示しないバネ等により同図
（ｂ）の下方向および左方向に付勢されている。また、
光透過窓部３にはＸ軸被駆動部材２３ｃ，２３ｃ’、Ｙ
軸被駆動部材２３ｆが取り付けられ、上記ローラ２３
ｂ、２３ｂ’、２３ｅと接している。

【００８５】そして、光透過窓部３をＸ軸方向に移動さ
せる場合には、Ｙ軸駆動部２３ｄを駆動せずに、Ｘ軸駆
動部２３ａ、２３ａ’を駆動して、ローラ２３ｂ，２３
ｂ’を同図（ｂ）の矢印方向に移動させる。これによ
り、光透過窓部３は同図（ｂ）の上下方向に移動する。
また、光透過窓部３をＹ軸方向に移動させる場合には、
Ｘ軸駆動部２３ａ、２３ａ’を駆動せずに、Ｙ軸駆動部
２３ｄを駆動して、ローラ２３ｅを同図（ｂ）の矢印方
向に移動させる。これにより、光透過窓部３は同図
（ｂ）において左右方向に移動する。

【００８６】さらに、光透過窓部３を時計方向（反時計
方向）に回転させる場合には、Ｘ軸駆動部２３ａ、２３
ａ’、Ｙ軸駆動部２３ｄを駆動して、Ｘ軸駆動部２３
ａ’のローラ２３ｂ’を同図（ａ）の上方向（下方向）
に移動させ、Ｙ軸駆動部２３ｄのローラ２３ｅを右方向
（左方向）に移動させ、また、Ｘ軸駆動部２３ａのロー
ラ２３ｂを下方向（上方向）に移動させる。

【００８７】図１１に戻り、４はアライメント・ユニッ
トであり、第１〜第３の実施例と同様、アライメント・
ユニット４によりワーク１、１’に印されたアライメン
ト・マークＡＭを観察してワーク１、１’の粗位置合わ
せと微位置合わせを行う。８は紫外線等の光を放射する
高圧水銀灯やメタルハライドランプ等のランプ、９はミ
ラーであり、ランプ８が放射する光はミラー９で集光さ
れ光透過窓３ａを介してワーク１、１’に照射される。

【００８８】次に本実施例による液晶パネルの貼り合わ
せ工程について説明する。 (a) Ｚ軸移動機構２４により光透過窓部３を下方に移動
させ、ワークステージ２の予め定められた位置に一方の
ワーク１を取り付け、エア吸入／供給管２ｂよりエアを
吸入してワーク１をワークステージに固定する。また、
光透過窓部３の上に他方のワーク１’を載置して、支持
板５とストッパ６によりワークを挟持し固定する。 (b) Ｚ軸移動機構２４により、光透過窓部３を上方に移
動させ、ワークステージ２に固定されたワーク１と光透
過窓部３に固定されたワーク１を０．２ｍｍ〜０．３ｍ
ｍ程度まで接近させる。 (c) アライメント・ユニット４に照明光を導入し、第１
〜第３の実施例と同様、Ｘ，Ｙ，θ軸駆動機構２３によ
りワークステージ２の位置を制御し、粗位置合わせを行
う。これにより、最大±３μｍ程度の精度でアライメン
トされる。 (d) Ｚ軸移動機構２４により、光透過窓部３を上方に移
動させ、ワークステージ２に固定されたワーク１とワー
ク１’を接触させる。そして、さらに光透過窓部３を上
方に移動させ、ギャップ調整機構７の全てのセンサ７ｎ
が出力を発生すると、ワークステージ２の上方への移動
を停止し、ワーク１とワーク１’を平行状態に保持す
る。

【００８９】この状態で、Ｚ軸移動機構２４を駆動して
光透過窓部３を下方に移動させ、ワーク１とワーク１’
の間隔をスペーサの直径より大きく、かつ、接着剤が剥
離または分断されない間隙である、２０μｍ〜３０μｍ
に設定する。 (e) アライメント・ユニット４に照明光を導入し、ワー
ク１、１’上に印されたアライメント・マークＡＭを受
像し、第１〜第３の実施例と同様、Ｘ，Ｙ，θ軸駆動機
構２３によりワークステージ２の位置を制御し、微位置
合わせを行う。これにより、約±１μｍ程度の精度でア
ライメントされる。 (f) Ｚ軸移動機構２４を駆動して光透過窓部３を上方に
移動させてワーク１、１’を接触させる。

【００９０】ついで、コンプレッサからエア吸入／供給
口２ｃにエアを供給して、エア吸入／供給管２ｂを介し
てワーク１の上面にエアを供給し、ワーク１、１’を所
定の圧力で加圧する。ついて、ランプ８から光透過窓３
ａを介して光をワーク１，１’に照射し、ワーク１，
１’に塗布された光硬化型接着剤を硬化させる。 (h) 接着剤の硬化後、ワーク１、１’への加圧を停止
し、光透過窓部３を下降させ接着済のワーク１、１’を
取り出す。

【００９１】以上のように、本実施例においては、第１
の実施例と同様な効果が得られるとともに、ワークステ
ージにエアの吸入／供給管を設け、エアによりワークを
加圧しているので、第１〜第３の実施例に示したような
加圧機構を設けることなく、ワークを加圧することがで
きる。なお、上記第４の実施例では、ランプ８によりワ
ークに光を一括照射しているが、前記第２の実施例に示
したように、導光ファイバによりワーク上の接着剤塗布
箇所のみに光を照射するように構成してもよい。

【００９２】また、上記第４の実施例では、ギャップ調
整機構をワークステージ側に取り付け、Ｘ，Ｙ，θ移動
機構とＺ軸移動機構を光透過窓部側に設けているが、第
１〜第３の実施例のように、Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ移動機構を
ワークステージ側に設け、ギャップ調整機構を光透過窓
部側に取り付けてもよい。同様に、第１〜第３の実施例
において、上記第４の実施例のように、ギャップ調整機
構をワークステージ側に取り付け、Ｘ，Ｙ，θ移動機構
とＺ軸移動機構を光透過窓部側に設けることもできる。

【００９３】さらに、上記第１〜第４の実施例におい
て、ランプ８、ミラー９から構成される光照射部、ある
いは光照射部５１および出射端５３を上方に設け、それ
に対応させて光透過窓部３、ワークステージ２、Ｘ，
Ｙ，Ｚ，θ移動機構等を上下逆に配置してもよい。

【００９４】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては次
の効果を得ることができる。 (1) ワークステージおよび光透過窓部に２枚の基板のそ
れぞれを保持させ、上記２枚の基板により接着剤を挟持
した後、２枚の基板間に散布されたスペーサの直径より
も大きく、かつ、上記接着剤が剥離または分断されない
範囲の間隙を持って２枚の基板を平行に位置させ、該状
態で２枚の基板の相対的位置の位置合わせを行い、次
に、２枚の基板をスペーサを挟んで接触させ、２枚の基
板が相対的に接近する方向に加圧し、接着剤に光を照射
して接着剤を硬化させるようにしたので、基板にキズが
ついたり、基板上の素子を破壊させることなく、液晶パ
ネルを貼り合わせることができる。また、仮止め工程を
省略して、一工程で高精度に液晶パネルを貼り合わせる
ことができる。 (2) 一方の基板に塗布された接着剤が他方の基板に接触
しない範囲に上記２枚の基板を略平行に接近させ、該状
態で上記２枚の基板の相対的位置の粗位置合わせを行
い、次に２枚の基板をスペーサを挟んで接触させて平行
状態とし、上記２枚の基板により接着剤を挟持した後、
平行状態を保持しつつ、上記スペーサの直径よりも大き
く、かつ、上記接着剤が剥離または分断されない範囲の
間隙を持って２枚の基板を位置させ、該状態で２枚の基
板の相対的位置の微位置合わせを行うことにより、微位
置合わせ時に２枚の基板を接触させたとき、基板の位置
が大きくずれることがない。さらに、簡単な操作で２枚
の基板を平行に、かつ、所望の間隙に設定することがで
きる。 (3) ２枚の基板がスペーサを挟んで実質的にそれ以上移
動ができなくなった時点から上記２枚の基板が接触する
方向の力を吸収して変位し始める調整機構を、上記ワー
クステージまたは光透過窓部に少なくとも３つ設けるこ
とにより、簡単な機構を付加するだけで、２枚の基板を
平行に、かつ、所望の間隙に設定することが可能とな
る。 (4) 上記２枚の基板上の対向した基板面にそれぞれ設け
たアライメント・マークを顕微鏡で検出して粗位置合わ
せおよび微位置合わせを行うことにより、高精度な位置
合わせを行うことができる。

【００９５】また、上記顕微鏡に倍率切り換え機構を設
けることにより、粗位置合わせと微位置合わせ時、それ
ぞれの精度に応じた適切な倍率に設定することができ、
微位置合わせを高精度に行うことができる。 (5) 光透過窓部の周辺部に支持板とストッパを設けて基
板を挟持し、光透過窓部の下方に設けた光照射部からの
光を上記光透過窓部を介して基板に照射することによ
り、光透過窓部に基板を固定するための真空吸着手段等
の機構を設けることなく基板を保持することができ、光
透過部の構成を簡単にすることができる。 (6) 光照射部からの光を出射端に導く導光ファイバと、
上記出射端を上記基板に塗布された接着剤に対し相対的
に移動させる移動機構を設けることにより、光の利用率
を大幅に向上させることができ、小さな出力のランプで
効果的に接着剤を硬化させることができる。また、光の
スポットが接着剤から外れることがないので、不所望な
部分に光が照射され、劣化等を起こす危険もない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。

【図２】支持板と光透過窓の取り付け構造を示す図であ
る。

【図３】アライメント・ユニットの構造を示す図であ
る。

【図４】ギャップ調整機構とアライメント・ユニットの
取り付け構造を示す図である。

【図５】ギャップ調整機構の構造の一例を示す分解斜視
図である。

【図６】ギャップ調整機構の動作を説明する図である。

【図７】ギャップ調整機構の動作を説明する図である。

【図８】本発明の第２の実施例を示す図である。

【図９】出射端移動機構の一例を示す図である。

【図１０】本発明の第３の実施例を示す図である。

【図１１】本発明の第４の実施例を示す図である。

【図１２】第４の実施例におけるＸ，Ｙ，θ，Ｚ軸移動
機構の一例を示す図である。

【図１３】液晶パネル（カラー液晶パネル）の一例を示
す図である。

【図１４】ガラス基板上に接着剤（シール剤）を塗布し
た状態を示す図である。

【図１５】従来の仮止め装置の一例を示す図である。

【符号の説明】 １，１’ ワーク ２ ワークステージ ２ａ エア吸入管 ２ｂ エア吸入／供給管 ２ｃ エア吸入／供給口 ３ 光透過窓部 ３ａ 光透過窓 ３ｂ エア吸入管 ３ｃ 窓固定板 ４ アライメント・ユニット ５ 支持板 ６ ストッパ ７ ギャップ調整ユニット ７ａ Ｖ字受け ７ｂ 剛球 ７ｃ 凹部 ７ｄ ボール受け ７ｅ シャフト ７ｆ スプライン ７ｇ 引っ張りバネ ７ｈ ケーシング ７ｉ 圧縮コイルバネ ７ｊ 板バネ ７ｋ 吸着ブロック ７ｍ 板バネ凸部 ７ｎ センサ ７ｐ 真空吸着路 ８ ランプ ９ ミラー ２０ Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ移動機構 ２０ａ θステージ ２０ｂ Ｘステージ ２０ｃ Ｙステージ ２０ｄ Ｚステージ ２１ａ，２１ｂ ベース ２２ 加圧機構 ２３ Ｘ，Ｙ，θ移動機構 ２４ Ｚ軸移動機構 ２４ｂ Ｚ軸駆動部 ２４ｃ カム ２４ｄ ローラ ２４ａ Ｚステージ ２３ａ，２３ａ’ Ｘ軸駆動部 ２３ｄ Ｙ軸駆動部 ２３ｂ，２３ｂ’，２３ｅローラ ２３ｃ，２３ｃ’ Ｘ軸被駆動部材 ２３ｆ Ｙ軸被駆動部材 ３１ 制御部 ３２ モニタ ３３ レーザ干渉計 ４０ 出射端移動機構 ４１ フレーム ４２ Ｘ軸アーム ４３ａ Ｘ軸駆動モータ ４３ｃ，４５ｃ ボールネジ ４３ｂ，４５ｂ カップリング ４４ Ｙ軸アーム ４５ａ Ｙ軸駆動モータ ４６，４７ ガイド部材 ４６ａ，４７ａ ガイドレール ５１ 光照射部 ５２ 導光ファイバ ５３ 出射端 ＡＭ アライメント・マーク

Claims (12)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板と透明基板または透明基板と半
   導体基板とを光硬化型の接着剤で貼り合わせる液晶パネ
   ルの貼り合わせ方法において、 ワークステージおよび光透過窓部に２枚の基板のそれぞ
   れを保持させ、上記２枚の基板により接着剤を挟持した後、 ２枚の基板
   間に散布されたスペーサの直径よりも大きく、かつ、上
   記接着剤が剥離または分断されない範囲の間隙を持って
   ２枚の基板を平行に位置させ、該状態で２枚の基板の相
   対的位置の位置合わせを行い、 次に、２枚の基板をスペーサを挟んで接触させ、２枚の
   基板が相対的に接近する方向に加圧し、上記接着剤に光
   を照射して接着剤を硬化させることを特徴とする液晶パ
   ネルの貼り合わせ方法。
2. 【請求項２】 透明基板と透明基板または透明基板と半
   導体基板とを光硬化型の接着剤で貼り合わせる液晶パネ
   ルの貼り合わせ方法において、 上記２枚の基板同士が接触しない状態で、ワークステー
   ジおよび光透過窓部にそれぞれの基板を保持させ、 一方の基板に塗布された接着剤が他方の基板に接触しな
   い範囲に上記２枚の基板を略平行に接近させ、該状態で
   上記２枚の基板の相対的位置の粗位置合わせを行い、 次に２枚の基板をスペーサを挟んで接触させて平行状態
   にすると共に、上記接着剤が２枚の基板間に挟持された
   状態とし、 次に上記平行状態を保持しつつ、上記スペーサの直径よ
   りも大きく、かつ、上記接着剤が剥離または分断されな
   い範囲の間隙を持って２枚の基板を位置させ、該状態で
   ２枚の基板の相対的位置の微位置合わせを行い、 その後、再度２枚の基板をスペーサを挟んで接触させ、
   ２枚の基板が相対的に接近する方向に加圧し、上記接着
   剤に光を照射して接着剤を硬化させることを特徴とする
   液晶パネルの貼り合わせ方法。
3. 【請求項３】 ２枚の基板がスペーサを挟んで実質的に
   それ以上移動ができなくなった時点から上記２枚の基板
   が接触する方向の力を吸収して変位し始める調整機構
   を、上記ワークステージまたは光透過窓部に少なくとも
   ３つ設け、 上記２枚の基板をスペーサを挟んで接触する方向に、上
   記ワークステージおよび／または光透過窓部を移動さ
   せ、 ２枚の基板がスペーサを挟んで接触しても、なお、当該
   移動を続け、 全ての上記調整機構がそれぞれ所定量の変位をしたとき
   に、上記ワークステージおよび／または光透過窓部の移
   動を停止させ、各々の調整機構において、その時の変位
   状態を保持させることにより、２枚の基板をスペーサを
   挟んで接触させて平行状態とし、 その後、所定の距離だけワークステージおよび／または
   光透過窓部を上記移動方向とは反対方向に移動させるこ
   とにより、上記スペーサの直径よりも大きく、かつ、前
   記接着剤が剥離または分断されない範囲の間隙を持って
   ２枚の基板を平行に位置させることを特徴とする請求項
   ２の液晶パネルの貼り合わせ方法。
4. 【請求項４】 上記粗位置合わせおよび微位置合わせ
   が、上記２枚の基板上の対向した基板面にそれぞれ設け
   たアライメント・マークを顕微鏡で検出することにより
   行うことを特徴とする請求項２または請求項３の液晶パ
   ネルの貼り合わせ方法。
5. 【請求項５】 上記微位置合わせにおける顕微鏡の倍率
   が、上記粗位置合わせにおける顕微鏡の倍率より高いこ
   とを特徴とする請求項４の液晶パネルの貼り合わせ方
   法。
6. 【請求項６】 光を放射する光照射部と、 透明基板または半導体基板を保持するワークステージ
   と、 透明基板を保持し、上記光照射部からの光を該透明基板
   または上記透明基板または半導体基板に塗布された接着
   剤に照射するための光透過窓を有する光透過窓部と、 上記ワークステージまたは光透過窓部を回転および水平
   垂直方向に移動させる移動機構と、 上記透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板が
   相対的に接近する方向に圧力をかける加圧手段と、 上記透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板の
   相対位置を所定の位置関係に合わせるための位置合わせ
   機構と、 上記各機構を制御する制御部とを備えた液晶パネルの貼
   り合わせ装置において、 上記制御部は、上記移動機構によりワークステージまた
   は光透過窓部を垂直方向に移動させ、上記２枚の基板に
   より上記接着剤を挟持した後、２枚の基板を基板間に散
   布されたスペーサの直径よりも大きく、かつ、上記接着
   剤が剥離または分断されない範囲の間隙を持って平行に
   位置させ、該状態で上記位置合わせ機構により２枚の基
   板の相対的位置の位置合わせを行うことを特徴とする液
   晶パネルの貼り合わせ装置。
7. 【請求項７】 光透過窓部の周辺部に支持板とストッパ
   を設け、光透過窓部に上記基板を載置して該支持板とス
   トッパにより基板を挟持することにより基板を光透過窓
   部に保持させ、 光透過窓部の下方に設けた光照射部からの光を上記光透
   過窓部を介して基板に照射して、上記接着剤を硬化させ
   ることを特徴とする請求項６の液晶パネルの貼り合わせ
   装置。
8. 【請求項８】 光照射部からの光を出射端に導く導光フ
   ァイバと、 上記出射端を上記基板に塗布された接着剤に対し相対的
   に移動させる移動機構を設け、前記 接着剤に対し光を相対的に移動させながら照射して
   接着剤を硬化させることを特徴とする請求項６または請
   求項７の液晶パネルの貼り合わせ装置。
9. 【請求項９】 ワークステージと光透過窓部とを相対的
   に接近させる方向に力を加えることにより、上記基板に
   圧力をかける加圧手段を設けたことを特徴とする請求項
   ６，７または請求項８の液晶パネルの貼り合わせ装置。
10. 【請求項１０】 上記基板にエアを吹きつけることによ
    り上記基板に圧力をかける加圧手段を設けたことを特徴
    とする請求項６，７または請求項８の液晶パネルの貼り
    合わせ装置。
11. 【請求項１１】 透明基板と透明基板または透明基板と
    半導体基板を平行にかつ一定の間隔で設定する間隙設定
    機構を備え、 上記間隙設定機構はワークステージまたは光透過窓部に
    設けられた少なくとも３つの調整機構からなり、 上記調整機構は、当該調整機構が、所望量だけ変位した
    ことを検出する検出手段と、その時の変位状態を保持す
    る保持手段とを含み、 上記移動機構を駆動して、上記ワークステージまたは光
    透過窓部を上記２枚の基板がスペーサを挟んで接触する
    方向に移動させた場合において、 ２枚の基板がスペーサを挟んで接触した後もなお継続し
    て上記移動機構を当該方向に駆動した場合に、２枚の基
    板がスペーサを挟んで接触し実質的にそれ以上移動でき
    なくなった時点から、上記移動機構からの駆動力を吸収
    して変位し始めるものであることを特徴とする請求項
    ６，７，８，９または請求項１０の液晶パネルの貼り合
    わせ装置。
12. 【請求項１２】 上記位置合わせ機構は光学的顕微鏡で
    あって、倍率切り換え機構を具備することを特徴とする
    請求項６，７，８，９，１０または請求項１１の液晶パ
    ネルの貼り合わせ装置。