JP3842365B2 - 基板の組立て装置及び組立て方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶セル等の組み立て製造に好適な基板の組立て装置及び組立て方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーテレビジョン受像機や各種ＯＡ機器等では、一般に図１０に示すような構成からなる液晶表示器１が使用されている。すなわち、液晶表示器１は、表示面側からそれぞれガラス板状の第１偏光板１１、カラーフィルタ板１２、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）セル板１３及び第２偏光板１４、それに平板状のバックライト１５が順次組合わせ重ねられて構成されている。
【０００３】
とりわけ、カラーフィルタ板１２とＬＣＤセル板１３との２枚のガラス基板からなる液晶セルは、図１１に要部を拡大して示したように、液晶１３ａやスペーサ１３ｂを間に配置し、一方の基板（ＬＣＤセル板）１３の対向面の周縁部に塗布された熱シール剤１６を介して貼り合わされるよう構成されている。
【０００４】
その貼り合わせの際の２枚の基板１２，１３間の位置精度は、液晶表示器１の性能を直接左右するものであり、表示画面の一層の大型化や高精細化が要求される中で、より高精度な位置決め固定が要望されている。
【０００５】
従来の２枚の基板を組合わせ接着固定する装置は、熱シール剤１６を介して２枚の基板を重ね合わせた状態で仮に固定する工程と、その仮固定後に加熱・加圧によって最終的に接着固定する本固定の工程とからなり、そのうち前者の仮固定の工程は、図１２に示すように構成されていた。
【０００６】
すなわち、貼り合わせ固定されるカラーフィルタ板及びＬＣＤセル板からなる２枚の基板１２，１３には、位置合わせマークが周縁部に予め形成されているとともに、一方の基板１３面には熱シール剤１６が塗布されて、搬送されてくる （搬送工程Ａ）。
【０００７】
基板１３とともに、他方の基板１２も搬送を受け（搬送工程Ａ）、基板１２は吸着反転ロボットにより反転され（反転工程Ｂ）、上方から基板１３の熱シール剤１６上への重ね合わせにより貼り合わせが行われる（貼り合わせ工程Ｃ）。
【０００８】
貼り合わされた基板１２，１３は、図１３（ａ）に示した位置合わせ機構２により、基板１２，１３の各位置合わせマークを手掛かりに、位置合わせが行われ、その後図１３（ｂ）に示した剛体のプレス機構３による押圧により、両基板は仮固定された。
【０００９】
図１３（ａ）に示した位置合わせ機構２では、反転工程Ｂを経て重ねられた両基板１２，１３が下方の吸着プレート２１に吸着保持され、吸着プレート２１は、いわゆるＸ−Ｙ−θ移動回転機構２２に連結され、水平面のＸ−Ｙ方向、及びこれに垂直なＺ軸を中心に回転角（θ）方向にそれぞれ移動並びに回転可能に構成されている。
【００１０】
他方、上方には他の吸着プレート２３が矢印Ｚ方向に移動操作可能な上下移動手段２４に連結されていて、この上下移動手段２４により降下した吸着プレート２３によって、上方の基板１２は吸着保持されるように構成されている。
【００１１】
２つの基板１２，１３相互間の位置合わせ、すなわち調整（アライメント）は、上の吸着プレート２３に切り欠けられた孔から、ＣＣＤカメラ等による位置認識手段２５による各位置合わせマークの認識並びに位置検出により行われた。
【００１２】
すなわち、吸着プレート２３が基板１２を吸着保持した状態で、下方の基板１３は、位置認識手段２５による位置ずれ情報に基づき、Ｘ−Ｙ−θ移動回転機構２２により位置制御され、上方の基板１２に一致するよう微調整が行われた。
【００１３】
そこで、位置合わせ終了後は、基板１２は他の吸着プレート２３から解放され、重なり合った両基板１２，１３は、Ｘ−Ｙ−θ移動回転機構２２とともに搬送機構４により矢印Ｘ方向に搬送され、プレス機構３に受け渡される。
【００１４】
プレス機構３には、剛体のプレート３１ａを有する加圧手段３１が設けられ、両基板１２，１３に対し、上方から機械的圧力を加え、熱シール剤１６を押圧することで仮固定が行なわれた。仮固定された両基板１２，１３は、前述のように、その後加熱・加圧炉に搬送され本固定されて液晶セルが完成する。
【００１５】
なお、従来の基板の組立て装置では、基板１２は吸着反転ロボットによる反転操作により基板１３への重ね合わせが行われたが、その吸着反転ロボットによる反転操作は、基板１２を裏面から剛体の吸着プレートで保持して反転させ、下方の基板１３へ重ね合わせるものであった。
【００１６】
このようにして組立て製造された液晶セルによる表示器では、表示画面の大きさが１５インチ程度の大きさで、基準値に対し、±２０μｍ程度の精度で、両基板１２，１３間の位置合わせが可能とされた。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来の基板の組立て装置は、反転重ね合わせ機構と、位置合わせ機構と、プレス機構との組み合わせで構成され、基板間の位置合わせ調整は相当の粘度を有する熱シール剤を介して行われた。
【００１８】
ところで、シール剤を介して２枚の基板が重ねられるとき、両基板が傾きつつ重ねられると、シール剤に偏加重が加わり、シール剤の中に気泡が発生し、いわゆる泡かみ現象による不良基板を生成した。
【００１９】
特に、従来の反転重ね合わせ機構では、上方の基板が剛体の吸着プレートで保持されて重ね合わされたが、機械的な回転操作が加わることもあり、剛体プレートに吸着保持された基板と下方の基板との間に良好な平行面を形成することは容易でなく、泡かみによる不良がしばしば発生した。
【００２０】
また、従来の基板の組立て装置では、位置合わせ機構で一旦位置決めされた２枚の基板を、次のプレス機構まで搬送して仮固定を行うものであったから、せっかく位置合わせされた２枚の基板間が、搬送時の振動や加圧手段による加圧操作でずれが生じやすく、所定の位置精度が得られにくいという欠点があった。
【００２１】
大型化と高精細化が求められる液晶表示装置では、高品質で製造上の歩留まりが良く、かつ２枚の基板間の高度の位置精度も、基準値に対し従来の±２０μｍ程度から、最近では±３μｍ程度に収まるよう、基板組立ての装置の改善が要望されていた。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明による基板の組立て装置及び組立て方法は、上記課題を解決するためになされたもので、第１の発明は、基板の組立て装置において、それぞれ位置合わせマークを有し、少なくともいずれか一方の基板面に塗布されたシール剤を介して、対向して貼り合わされる２枚の基板と、この２枚の基板のうち少なくとも一方の基板を弾性部材を介して吸着保持し、押圧することによってシール剤を介して他方の基板と貼り合わす貼り合わせ機構と、この貼り合わせ機構によって貼り合わされた前記２枚の基板を載置する透光性の吸着プレートと、この吸着プレートの下方から吸着プレートを介して、前記２枚の基板の各前記位置合わせマークを認識する位置認識手段と、この位置認識手段による基板の相対位置の認識に基づき、前記基板中央部を吸着保持して前記２枚の基板の相対位置を位置補正する位置補正手段と、この位置補正手段により位置補正された前記基板の主面周縁部におよび前記吸着プレートに当接して、前記２枚の基板の周縁部を覆うパッドと、このパッドにより覆われた空間と排気手段とを接続する吸排パイプと、を有する加圧手段とを具備する組立装置である。
【００２３】
このように、第１の発明では、貼り合わせ機構において、弾性部材を介して重ね合わせ、押圧するので、仮に両基板間の平行がくずれ、若干の傾きを有してシール剤を押圧することになっても、弾性部材がそのずれによる押圧力の偏りを吸収し補正するので、両基板に対してほぼ均一な押圧力を加えることができる。
【００２４】
また、前記透光性プレートを介して２枚の基板の各位置合わせマークを認識する位置認識手段を設けたので、両基板の位置合わせ及び加圧の操作を、両基板を何等搬送移動させることなく同じ位置で行うことが可能となり、構成が小形化されるとともに、位置ずれが回避され精度良い液晶セルを製造することができる。
【００２５】
第２の発明は、基板の組立て方法において、それぞれ位置合わせマークを有し、少なくともいずれか一方の基板面に塗布されたシール剤を介して、対向して貼り合わされる２枚の基板が搬送される搬送工程と、この搬送工程で搬送された前記２枚の基板のうち少なくとも一方の基板を弾性部材を介して吸着保持し、押圧することによってシール剤を介して他方の基板と貼り合わす貼り合わせ工程と、この貼り合わせ工程で貼り合わされた前記２枚の基板を、透光性の吸着プレート上に吸着保持する保持工程と、前記吸着プレートを介して認識された前記２枚の基板の位置合わせマークの認識結果に基づき、前記２枚の基板の相対位置を位置補正する位置補正工程と、この位置補正工程により位置補正された前記基板の主面周縁部におよび前記吸着プレートに当接して、前記２枚の基板の周縁部を覆うパッドと、このパッドにより覆われた空間と排気手段とを接続する吸排パイプとを有する加圧手段によって、前記基板に加圧する加圧工程とを具備する組立方法である。
【００２６】
この第２の発明によれば、貼り合わせ工程において、弾性部材を介して２枚の基板を押圧するので、第１の発明による作用と同様に、押圧力の偏りも弾性部材が吸収し補正し、両基板に対して均等な押圧力を加えることができる。
【００２７】
また、２枚の基板の相対位置を位置補正する位置補正工程では、透光性プレートを使用した位置合わせを行うので、装置の小形化を実現し、また位置ずれの少ない高品質な液晶セルを製造することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による基板の組立て装置及び組立て方法の一実施の形態を、図１ないし図９を参照して以下詳細に説明する。なお、図１０ないし図１３に示した従来の構成と同一構成には同一符号を付して、詳細な説明は省略する。
【００２９】
まず、液晶セル用基板のシール剤としては、従来から熱シール剤が使用されているが、一般に熱シール剤は比較的粘度が高く堅いので、位置決め調整すなわちアライメント時の作業がやりにくいという性質がある。そこで、本発明者は、熱シール剤の採用に加え、粘度が比較的低く柔らかく、仮固定時の位置合わせがやり易い紫外線硬化型のシール剤の使用をも考慮した基板の組立て装置及び組立て方法を発明した。
【００３０】
この実施の形態による基板の組立て装置は、図１の分解斜視図に示した構成、及び図２に示した組立て工程からなるものであるが、組合わせ固定の対象である基板１２，１３は、従来と同様に、それぞれ位置合わせマークを有し、基板１３側には、ここでは紫外線硬化型のシール剤１７が塗布され、図１に示した供給ロボットＡ１により搬送供給されるものとする。
【００３１】
そこで、まず貼り合わせ機構では、吸着反転ロボットにより基板１２の裏面を、吸着保持された状態で反転（Ｂ）され、基板１３のシール剤１７の上に載置され押圧（Ｃ）される。
【００３２】
図１に示す吸着反転ロボットＢ１のアーム先端部は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に拡大して示すように、基板１３に塗布されたシール剤１７の内側の位置に弾性部材５１を設け、この弾性部材５１を介して基板１２を吸着保持し、吸着保持した弾性部材５１を介して、基板１３のシール剤１７上に重ねるよう動作する。なお、図３（ｂ）のマーク１２ａ，１２ｂは、基板１２に形成された位置合わせマークを示し、１８は基板１３を載置したプレート基板を示す。
【００３３】
このように、貼り合わせ機構において、シール剤１７内側の弾性部材５１を介して２枚の基板１２，１３を押圧するので、仮に両基板１２，１３間が傾き、若干の平行ずれを有してシール剤１７を押圧することになっても、弾性部材５１がそのずれにより生じる押圧力の偏りを吸収して補正し、均一な押圧力が得られるよう作動する。この結果、両基板１２，１３は片当りが解消され、均一な押圧力を受けつつ重ね合わせが行われるので、シール剤１７に気泡が生じるような不具合の発生は軽減される。
【００３４】
このようにして、貼り合わされた２枚の基板１２，１３は、図４及び図５に示した位置合わせ及び加圧機構６に搬送される。すなわち、図４は位置合わせ及び加圧機構６の正面図、また図５は外観状態を示した要部の分解斜視図である。
【００３５】
すなわち、シール剤１７を介して重ねられた２枚の基板１２，１３は、供給ロボットＡ１によって位置合わせ及び加圧機構６に搬入され、まず図４において、上下動可能な受取り・受け渡しピン６１上に載置される。受取り・受け渡しピン６１上の２枚の基板１２，１３は、受取り・受け渡しピン６１の下降操作によって、基台６２上に固定された透明な石英からなる吸着プレート６３、すなわち透光性プレート上に受け渡され載置される。
【００３６】
吸着プレート６３上に載置された基板１２の上には、吸着ヘッド６４が配置され、吸着ヘッド６４はＸ−Ｙ−θ移動回転機構６５に結合され、Ｘ−Ｙ−θ移動回転機構６５はさらにＺ軸（矢印Ｚ）方向に上下動可能な上下移動手段６６に連結されている。従って、吸着ヘッド６４が降下し、シール剤１７を介して基板１３に重なった基板１２を吸着保持して、水平面内での移動及び回転調整が可能に構成されている。
【００３７】
一方、２枚の基板１２、１３に設けられた位置合わせマークの相対位置は、ＣＣＤカメラ等からなる下方の位置認識手段６７が、吸着プレート６３を透過して撮像することにより認識される。この位置認識手段６７を通して、２枚の基板１２，１３間の位置ずれを補正するように、Ｘ−Ｙ−θ移動回転機構６５が作動し上方の基板１２は位置調整される。
【００３８】
このようにして、液晶セル組み立て用のガラス板からなる２枚の基板１２，１３は、高精度な貼り合わせが可能であるが、この実施の形態では、その位置あわせマークとして、図６に示すように、各基板１２，１３の左右両縁に、２組の十字マークを形成した位置合わせマーク１２ａ，１２ｂ及び１３ａ，１３ｂを採用した。
【００３９】
図６では、各基板１２，１３の位置合わせマーク１２ａ及び１３ａをその右側に拡大して示しているが、各２組の十字マーク１２ａａ，１２ａｂ及び１３ａａ，１３ａｂは、図示のように、それぞれ対角方向略４５度の２カ所にそれぞれオフセットさせて配置した。この結果、基板１２，１３を互いに重ね合わせたとき、図７（ａ）及び（ｂ）に示したように、ガラス板の透光部を介して互いに重なることなく相互位置が認識できる。
【００４０】
２組の十字マーク１２ａａ，１２ａｂ及び１３ａａ，１３ａｂは、基板１２，１３が互いにずれて位置した場合、図７（ａ）に示すように、それぞれの組の位置合わせマーク１２ａ，１２ｂ及び１３ａ，１３ｂの各中心位置１２ａｐ，１３ａｐは、横方向にｘ、縦方向にｙの長さの位置ずれが生ずる。
【００４１】
従って、図４及び図５に示した位置認識手段６７による撮像映像による各位置合わせマーク１２ａ，１２ｂ及び１３ａ，１３ｂの認識と、位置検出とに基づき、各基板の２個の位置合わせマーク１２ａ，１３ａ（及び１２ｂ，１３ｂ）の中心位置１２ａｐ，１３ａｐ（及び１２ｂｐ，１３ｂｐ）間のずれがなくなるようにＸ−Ｙ−θ移動回転機構６５を制御し、両基板１２，１３間の位置調整が行われる。
【００４２】
この実施の形態によれば、両基板１２，１３の位置決め調整を、位置合わせマーク１２ａ，１２ｂ，及び１３ａ，１３ｂにおける各２組の十字マーク１２ａａ，１２ａｂ及び１３ａａ，１３ａｂの間の中心位置１２ａｐ，１３ａｐ（及び１２ｂｐ，１３ｂｐ）の算出処理により行うもので、マーク同士の重ね合わせによるものではないから、マークの線幅や形状の崩れ等の影響をうけることが少なく、より高精度な位置決めが可能となる。
【００４３】
このようにして、位置認識手段６７及びＸ−Ｙ−θ移動回転機構６５による、位置合わせマーク１２ａ，１２ｂ及び１３ａ，１３ｂに基づく位置合わせにより、予め設定された規定値内に入るよう位置補正動作を繰り返し、図７（ｂ）に示すように、中心位置１２ａｐ，１３ａｐがほぼ一致した状態で、位置あわせ補正が完了する。このようにして、自動的に高精度の位置決めが行なわれることから、高精細の液晶セルを組立ることができる。
【００４４】
次に、２枚の基板１２、１３は位置が一致した状態で、図４に示すように、加圧手段６８のパッド６８ａが矢印Ｚ１方向に降下し、２枚の基板１２，１３の周縁部を覆うように構成した。すなわち、加圧手段６８のパッド６８ａは、図８ （ａ）の断面図、及びその断面図のＸ−Ｘ線から矢印方向を見た図８（ｂ）の平面図にそれぞれ拡大して示したように、２枚の基板１２，１３を載置した吸着プレート６３の上面と、上側基板１２の上面との間の空間と、２枚の基板１２，１３の周縁部とを覆うように構成されている。従って、パッド６８ａにより封鎖した吸着プレート６３の上面と上側基板１３の上面との間の空間は、吸排パイプ６８ｂを介して図示しない真空ポンプ、すなわち排気手段に接続される。
【００４５】
吸着プレート６３の上面と上側基板１２の上面との間の空間が密閉された状態で、シール剤１７に設けられた液晶注入口１７ａを吸排パイプ６８ｂの開口部に対向位置される。従って、上下基板１２，１３間の空間は液晶注入口１７ａを介して排気され、上下基板１２，１３間の空間を減圧させることから、両基板１２，１３は相対的に外部の大気圧を受け、加圧され圧接されるよう機能する。これにより、両基板１２，１３間の間隔が短くなる。
【００４６】
このように、位置認識手段６７による基板１２，１３の相対位置の認識と位置検出に基づき位置補正が行われ、相対位置が一致した状態で加圧手段６８により圧縮されるので、両基板１２，１３間の間隔（ギャップ）５μｍに対し、±１μｍ以内の精度を確保することができた。
【００４７】
この加圧手段６８により、シール剤１７を介して圧接状態となった２枚の基板１２、１３は、図４に示すように、吸着プレート６３の下方に位置して設けた紫外線照射手段６９によるシール剤１７への全面照射により、シール剤１７を硬化させ仮固定することができる。
【００４８】
紫外線照射により、両基板１２，１３の仮固定が完了し、その後に吸着パッド６８ａに接続された真空ポンプを、排気から吸入に転換させることによって、上側基板１２の吸着保持は解放され、これとともに上下移動手段６６による吸着ヘッド６４及び加圧手段６８の上昇操作と、受取り・受け渡しピン６１の上昇により両基板１２，１３は吸着プレート６３面から解放され、供給ロボットＡ１により次の本固定工程へと搬送移動される。
【００４９】
以上詳述したように、この発明による基板の組立て装置及び方法によれば、シール剤１７を介して固定される２枚の基板１２，１３が、基板１３の下方から透明な吸着プレート６３を介して吸着保持され、その透明プレート６３を介して各基板１２，１３の位置合わせマーク１２ａ，１２ｂ及び１３ａ，１３ｂを認識し、各基板１２，１３間の位置が一致するよう位置調整し、一致した状態で、加圧されまた必要に応じ紫外線照射による固定を可能とするものであり、位置ずれの極めて少ない液晶セルを製造することができる。
【００５０】
なお、上記実施の形態では、シール剤１７として紫外線硬化型を採用するものとして説明したが、紫外線硬化型に代え熱硬化型のシール剤１６を採用しても良い。
【００５１】
また、上記実施の形態では、単一の組立て装置を説明したが、実際に製造ラインを構成するときには、供給ロボットＡ１による搬送路を中心に、両側に装置を配置し、製造工程の効率化を実現することができる。
【００５２】
すなわち、図９はこの実施の形態による組立て装置を２台併設した製造ラインを示した平面図で、供給ロボットＡ１による基板１２，１３の搬送路７を中央に２つの基板の組立て装置７１，７２を配置して構成した。
【００５３】
この結果、例えば一方の基板の組立て装置７１を熱硬化型のシール剤１６による装置とし、他方（装置７２）を紫外線硬化型のシール剤１７による組立て装置で構成し、搬送路７と基板１２，１３の供給を共有化することで、製造ラインのコンパクト化と、製造工程の短縮化が可能となる。
【００５４】
いずれにしても、本発明装置及び方法によれば、貼り合わせ機構において、弾性部材を介して重ね合わされる２枚の基板を押圧するので、弾性部材が基板に対する押圧力の偏りを吸収し補正するので、両基板に対して均一な押圧力を加えることができる。
【００５５】
また、２枚の基板を透光性プレートを介して吸着保持する保持手段を備え、この保持手段の下方に位置認識手段を設けたので、構成が小形化されるとともに、位置ずれのない高精度な基板の組立てが可能となる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明は、基板の組立て装置及び組立て方法において、一方の基板を弾性部材を介して他方の基板に重ねるように構成したので、シール剤に対しほぼ均一な押圧力を加えることができ、シール剤での気泡の発生を軽減させ、高精度の組立て基板を得ることができる。
【００５７】
また、２枚の基板の位置調整と固定操作を、基板を移動させることなく同時に実施できるので、基板間のずれの発生が大幅に減少し、装置の小形化と製造効率を向上させることができ、実用上の効果大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による基板の組立て装置の一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す装置の工程図である。
【図３】図１に示す装置の貼り合わせ機構の拡大説明図である。
【図４】図１に示す装置の位置合わせ及び加圧機構の正面図である。
【図５】図４に示す機構の斜視図である。
【図６】図１に示す装置の基板を示す平面図である。
【図７】図６に示す基板の位置マークによる位置合わせを示す説明図である。
【図８】図８（ａ）は図１に示す装置の加圧機構の要部拡大断面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＸ−Ｘから矢印方向を見た平面図である。
【図９】本発明装置を適用した製造ラインの構成図である。
【図１０】液晶表示器の構成を示す分解斜視図である。
【図１１】図１０に示す液晶表示器の要部を示す一部断面図である。
【図１２】従来の基板の組立て装置の工程図である。
【図１３】従来の基板の組立て装置の位置合わせ機構及びプレス機構を示す正面図である。
【符号の説明】
１ 液晶表示器
１２ 基板（カラーフィルタ板）
１３ 基板（ＬＣＤセル板）
１３ａ 液晶
１３ｂ スペーサ
１６，１７ シール剤
２ 位置合わせ機構
１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ 位置合わせマーク
１２ａｐ，１３ａｐ 中心位置
２１、２４、６３ 吸着プレート
２３、６６ 上下移動手段
２２、６５ Ｘ−Ｙ−θ移動回転機構
２５、６７ 位置認識手段
３ プレス機構
３１、６８ 加圧手段
４ 搬送機構
６ 位置合わせ及び加圧機構
６１ 受取り・受け渡しピン
６２ 基台
６４ 吸着ヘッド
６７ 位置認識手段
６９ 紫外線照射手段
Ａ１ 供給ロボット

Claims (4)

1. それぞれ位置合わせマークを有し、少なくともいずれか一方の基板面に塗布されたシール剤を介して、対向して貼り合わされる２枚の基板のうち少なくとも一方の基板を弾性部材を介して吸着保持し、押圧することによって前記シール剤を介して他方の基板と貼り合わせる貼り合わせ機構と、
   この貼り合わせ機構によって貼り合わされた前記２枚の基板が載置され吸着保持される透光性の吸着プレートと、
   この吸着プレートの下方から吸着プレートを介して、前記２枚の基板の各前記位置合わせマークを認識する位置認識手段と、
   この位置認識手段による前記２枚の基板の相対位置の認識に基づき、前記吸着プレートにより吸着されていない側の前記基板を吸着保持して前記２枚の基板の相対位置を位置補正する位置補正手段と、
   この位置補正手段により位置補正された前記基板の主面周縁部におよび前記吸着プレートに当接して、前記２枚の基板の周縁部を覆うパッドと、このパッドにより覆われた空間と排気手段とを接続する吸排パイプと、を有する加圧手段と、
   を具備することを特徴とする基板の組立て装置。
2. 前記排気手段により貼り合わされた前記２枚の基板間のシール剤に、前記吸着プレートを介して紫外線を照射する紫外線照射手段を具備したことを特徴とする請求項１記載の基板の組立て装置。
3. それぞれ位置合わせマークを有し、少なくともいずれか一方の基板面に塗布されたシール剤を介して対向して貼り合わされる２枚の基板を搬送する搬送工程と、
   この搬送工程で搬送された前記２枚の基板のうち少なくとも一方の基板を弾性部材を介して吸着保持し、押圧することによって前記シール剤を介して他方の基板と貼り合わす貼り合わせ工程と、
   この貼り合わせ工程で貼り合わされた前記２枚の基板を、透光性の吸着プレート上に吸着保持する保持工程と、
   前記吸着プレートを介して認識された前記２枚の基板の位置合わせマークの認識結果に基づき、前記２枚の基板の相対位置を位置補正する位置補正工程と、
   この位置補正工程により位置補正された前記基板の主面周縁部におよび前記吸着プレートに当接して、前記２枚の基板の周縁部を覆うパッドと、このパッドにより覆われた空間と排気手段とを接続する吸排パイプとを有する加圧手段によって、前記基板に加圧する加圧工程と、
   を具備することを特徴とする基板の組立て方法。
4. 前記加圧工程ののち、前記シール剤に、前記吸着プレートを介して紫外線を照射する紫外線照射工程を付加したことを特徴とする請求項３記載の基板の組立て方法。

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