RU2012153671A

RU2012153671A - Способы инспекции сосудов по выделению газов

Info

Publication number: RU2012153671A
Application number: RU2012153671/28A
Authority: RU
Inventors: Джон Т. ФЭЛТС; Томас Е. ФИСК; Роберт С. Абрамс; Джон Фергюсон; Джонатан Р. ФРИДМАН; Роберт Дж. ПАНГБОРН; Питер Дж. САГОНА
Original assignee: Си02 Медикал Продактс, Инк.
Priority date: 2010-05-12
Filing date: 2011-05-12
Publication date: 2014-06-20
Also published as: CN102917805A; US20100298738A1; US20130209766A1; JP2013526710A; CA2799213C; JP6196152B2; CN102884412A; CA2799220A1; CA2799220C; WO2011143329A3; SG185520A1; US7985188B2; CA2799213A1; EP2579996A2; WO2011143329A2; JP2013528117A; CN102917805B; NZ603471A; KR20130117648A; KR101895367B1

Abstract

1. Способ инспектирования продукта процесса покрытия, где покрытие было нанесено на поверхность подожки с образованием поверхности с покрытием, причем способ включает этапы:(а) обеспечения продукта как объекта инспекции;(c) измерения высвобождения по меньшей мере одной разновидности летучего вещества из объекта инспекции в газовое пространство вблизи поверхности с покрытием; и(d) сравнения результата этапа (с) с результатом этапа (с) для по меньшей мере одного эталонного объекта, измеренного при таких же тестовых условиях, таким образом определяя присутствие или отсутствие покрытия, и/или физическое и/или химическое свойство покрытия.2. Способ по п.1, где определено физическое и/или химическое свойство покрытия, которое выбрано из группы, состоящей из его барьерного эффекта, его натяжения смачивания и его композиции, и предпочтительно является его барьерным эффектом.3. Способ по п.1 или п.2, где этап (с) выполняют путем измерения массового расхода или объемного расхода по меньшей мере одной разновидности летучего вещества в газовом пространстве вблизи поверхности с покрытием.4. Способ по п.1, где:(i) эталонный объект представляет собой непокрытую подложку; или(ii) эталонный объект представляет собой подложку, покрытую эталонным покрытием.5. Способ по п.1, включающий в качестве дополнительного этапа между этапами (а) и (с) этап(b) изменения атмосферного давления в газовом пространстве вблизи поверхности с покрытием так, чтобы обеспечивалась разность давлений через поверхность с покрытием, и тогда может реализовываться более высокий массовый расход или объемный расход разновидности летучего вещества, чем без разности д

Claims

1. Способ инспектирования продукта процесса покрытия, где покрытие было нанесено на поверхность подожки с образованием поверхности с покрытием, причем способ включает этапы:

(а) обеспечения продукта как объекта инспекции;

(c) измерения высвобождения по меньшей мере одной разновидности летучего вещества из объекта инспекции в газовое пространство вблизи поверхности с покрытием; и

(d) сравнения результата этапа (с) с результатом этапа (с) для по меньшей мере одного эталонного объекта, измеренного при таких же тестовых условиях, таким образом определяя присутствие или отсутствие покрытия, и/или физическое и/или химическое свойство покрытия.

2. Способ по п.1, где определено физическое и/или химическое свойство покрытия, которое выбрано из группы, состоящей из его барьерного эффекта, его натяжения смачивания и его композиции, и предпочтительно является его барьерным эффектом.

3. Способ по п.1 или п.2, где этап (с) выполняют путем измерения массового расхода или объемного расхода по меньшей мере одной разновидности летучего вещества в газовом пространстве вблизи поверхности с покрытием.

4. Способ по п.1, где:

(i) эталонный объект представляет собой непокрытую подложку; или

(ii) эталонный объект представляет собой подложку, покрытую эталонным покрытием.

5. Способ по п.1, включающий в качестве дополнительного этапа между этапами (а) и (с) этап

(b) изменения атмосферного давления в газовом пространстве вблизи поверхности с покрытием так, чтобы обеспечивалась разность давлений через поверхность с покрытием, и тогда может реализовываться более высокий массовый расход или объемный расход разновидности летучего вещества, чем без разности давлений.

6. Способ по п.5, где измерение выполняют путем применения измерительной ячейки, помещенной между поверхностью подложки с покрытием и источником вакуума.

7. Способ по п.1, где разновидность летучего вещества представляет собой газ или пар, по меньшей мере, при тестовых условиях, предпочтительно выбранный из группы, состоящей из воздуха, азота, кислорода, двуокиси углерода, инертного газа, водяного пара, летучих компонентов покрытия, летучих компонентов подложки и их комбинации, более предпочтительно она представляет собой воздух, азот, кислород, двуокись углерода, аргон, водяной пар или их комбинацию.

8. Способ по п.1, где объект инспекции приведен в контакт с разновидностью летучего вещества на этапе (а), предпочтительно разновидностью летучего вещества, выбранного из группы, состоящей из воздуха, азота, кислорода, водяного пара, двуокиси углерода, аргона и их комбинации, для того, чтобы обеспечить адсорбцию или абсорбцию указанной разновидности летучего вещества на или в материал объекта инспекции; и где последующее высвобождение указанной разновидности летучего вещества из объекта инспекции измеряют на этапе (с) как часть измеренного общего выделения разновидностей летучих веществ.

9. Способ по п.1, где множество различных разновидностей летучих веществ измеряют на этапе (с), и где предпочтительно по существу все разновидности летучих веществ, высвобожденные из объекта инспекции, измеряют на этапе (с).

10. Способ по п.1, где подложка представляет собой полимерное соединение, предпочтительно представляет собой сложный полиэфир, полиолефин, циклический олефиновый сополимер, поликарбонат или их комбинацию.

11. Способ по п.10, где подложкой является СОС.

12. Способ по п.11, где разновидностью летучих соединений является двуокись углерода.

13. Способ по п.11, где разновидностью летучих соединений является аргон.

14. Способ по п.10, где подложкой является PET.

15. Способ по п.14, где разновидностью летучих соединений является вода.

16. Способ по п.1, где покрытие представляет собой покрытие, полученное с помощью PECVD из кремнийорганического предшественника.

17. Способ по п.1, где

(i) покрытие представляет собой барьерное покрытие, предпочтительно представляет собой слой SiO_x, где х равняется от приблизительно 1,5 до приблизительно 2,9; и/или

(ii) покрытие представляет собой покрытие, изменяющее смазывающую способность и/или поверхностное натяжение подложки с покрытием, предпочтительно представляет собой слой Si_wO_xC_yH_z, где w равняется 1, х равняется от приблизительно от 0,5 до 2,4, y равняется от приблизительно 0,6 до приблизительно 3, и z равняется от 2 до приблизительно 9.

18. Способ по п.1, где разновидность летучего вещества представляет собой разновидность летучего вещества, высвобождаемого из покрытия, предпочтительно представляет собой летучий компонент покрытия, и где инспекцию производят для определения присутствия, свойств и/или состава покрытия.

19. Способ по п.1, где разновидность летучего вещества представляет собой разновидность летучего вещества, высвобождаемого из покрытия, и где инспекцию производят для определения присутствия покрытия и/или барьерного эффекта покрытия.

20. Способ по п.1, где подложка представляет собой сосуд, имеющий стенку, на внутреннюю или внешнюю поверхность которой, по меньшей мере, частично наносят покрытие во время процесса нанесения покрытия, и где предпочтительно покрытие нанесено на внутреннюю поверхность стенки сосуда.

21. Способ по п.20, где разность давлений устанавливают между полостью сосуда и внешней стороной для того, чтобы измерить выделение разновидности летучего вещества из стенки сосуда с покрытием.

22. Способ по п.20 или 21, где разность давлений обеспечивают, по меньшей мере, частичным вакуумированием газового пространства в сосуде.

23. Способ по п.1, где условия, эффективные для распознания присутствия или отсутствия покрытия и/или для определения физического и/или химического свойства покрытия включают длительность теста менее одного часа, или менее одной минуты, или менее 50 секунд, или менее 40 секунд, или менее 30 секунд, или менее 20 секунд, или менее 15 секунд, или менее 10 секунд, или менее 8 секунд, или менее 6 секунд, или менее 4 секунд, или менее 3 секунд, или менее 2 секунд, или менее 1 секунды.

24. Способ по п.1, где скорость высвобождения разновидности летучего вещества изменена путем изменения окружающего давления, и/или температуры, и/или влажности, таким образом увеличивая разницу между эталонным объектом и объектом инспекции в отношении скорости высвобождения и/или типа измеряемой разновидности летучего вещества.

25. Способ по п.1, который применяют в качестве технологического контроля в линии для процесса покрытия для того, чтобы определить или устранить продукты с покрытием, которые не удовлетворяют установленному стандарту, или продукты с поврежденным покрытием.

26. Способ по п.1, где покрытие представляет собой PECVD-покрытие, выполненное в условиях вакуума, и где последующее измерение выделения газа проводят без нарушения вакуума, применяемого для PECVD.

27. Способ по п.1, где покрытие представляет собой PECVD-покрытие, выполненное в условиях вакуума, и где последующее измерение выделения газа проводят путем наполнения продукта с покрытием разновидностью летучего вещества после нанесения покрытия и последующего выполнения измерения выделившихся газов.

28. Способ по п.1, где измерение выполняют с применением методики измерения на основе микрокантилеверов.

29. Способ по п.28, где измерение выполняют путем

(i) (а) обеспечения по меньшей мере одного микрокантилевера, который имеет свойство в присутствии выделяемого материала двигаться или изменять форму на другую;

(b) воздействия на микрокантилевер выделяемым материалом при условиях, эффективных для того, чтобы заставить микрокантилевер двигаться или изменять форму на другую; и

(c) детектирования движения или иной формы предпочтительно посредством отражения энергетического падающего луча, например, лазерного луча, от части микрокантилевера, которая меняет форму, до и после того, как микрокантилевер подвергается выделению газа, и измерения полученного отклонения отраженного луча в точке, удаленной от кантилевера; или путем

(ii) (а) обеспечения по меньшей мере одного микрокантилевера, который резонирует на другой частоте в присутствии выделяемого материала;

(b) воздействия на микрокантилевер выделяемым материалом при условиях, эффективных для того, чтобы заставить микрокантилевер резонировать на другой частоте; и

(c) детектирования другой резонансной частоты, например, с помощью датчика гармонических колебаний.

30. Аппарат для осуществления способа по любому из пп.1-29.

31. Машиночитаемый носитель, на котором хранится компьютерная программа для инспекции продукта процесса покрытия поверхности, которая при выполнении процессором установки (20) технологической обработки сосудов предназначена для подачи команд процессору для управления установкой технологической обработки сосудов таким образом, чтобы она выполняла способ по любому из пп.1-29.

32. Программный элемент для инспекции продукта процесса покрытия поверхности, который при выполнении процессором установки (20) технологической обработки сосудов предназначен для подачи команд процессору для управления установкой технологической обработки сосудов таким образом, чтобы она выполняла способ по любому из пп.1-29.