JP4566719B2 - 炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法、プラズマcvd成膜装置及びそのプラスチック容器 - Google Patents
炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法、プラズマcvd成膜装置及びそのプラスチック容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4566719B2 JP4566719B2 JP2004349551A JP2004349551A JP4566719B2 JP 4566719 B2 JP4566719 B2 JP 4566719B2 JP 2004349551 A JP2004349551 A JP 2004349551A JP 2004349551 A JP2004349551 A JP 2004349551A JP 4566719 B2 JP4566719 B2 JP 4566719B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plastic container
- gas
- mouth
- film
- carbon film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
まず、第1実施形態に係る成膜装置及び炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法について説明する。第1実施形態では、原料ガスとして、水素ガス、珪化炭化水素ガス又は珪化水素ガスの少なくともいずれか一種が炭化水素ガスに添加された混合ガスを使用し、混合ガスをプラスチック容器の内部にて吹き出させることを特徴とする。
まず、ベント(不図示)を開いて真空チャンバ6内を大気開放する。上部外部電極1から下部外部電極2を離した後、上部外部電極1の下方からプラスチック容器7を挿入し、再び、上部外部電極1に下部外部電極2を密接させる。これにより、真空チャンバ6にプラスチック容器7が収容された状態となる。このとき、プラスチック容器7の開口部分7aに原料ガス供給管9が挿入された状態となっている。
次いでベントを閉じたのち、排気ポンプ22を作動させ、真空バルブ21を開とすることにより、真空チャンバ6内の空気が排気される。そして真空チャンバ6内が必要な圧力、例えば5Paに到達するまで減圧される。これは、5Paを超える真空度で良いとすると容器内部ガスの不純物が多くなり過ぎるためである。
その後、原料ガス発生源16からマスフローコントローラー15によって流量制御されて送られた原料ガス(例えば、アセチレンガス)に、添加ガス発生源26からマスフローコントローラー27によって流量制御されて送られた添加ガス(例えば、HMDSO)を原料ガス供給管9の手前で混合する。そして、この混合ガスをプラスチック容器7の内部に向けて吹き出し口9aから吹き出させる。この原料ガスの供給量は、例えば500ml容量の容器を用いて添加ガスがHMDSOの場合、20〜200ml/minが好ましい。原料ガスの濃度が一定となり、制御されたガス流量と排気能力のバランスによって所定の成膜圧力、例えば5〜25Paで安定させる。
高周波供給電源12を動作させることによりマッチングボックス13を介してステンレスで作製された原料供給管9と外部電極3との間に高周波電圧が印加され、プラスチック容器7内に原料ガス系プラズマが発生する。このとき、マッチングボックス13は、原料供給管9と外部電極3のインピーダンスに、インダクタンスL、キャパシタンスCによって合わせている。これによって、プラスチック容器7の内表面にDLC膜が形成される。なお、高周波供給電源12の出力(例えば13.56MHz)は、500ml容器の場合、おおよそ200〜1000Wである。
高周波供給電源12からの高周波出力を停止し、さらに原料ガスの供給を停止する。この後、真空チャンバ6内の残留ガスを排気ポンプ22によって排気する。その後、真空バルブ21を閉じ、排気ポンプ22を停止する。この後、ベント(不図示)を開いて真空チャンバ6内を大気開放し、前述した成膜方法を繰り返すことにより、次のプラスチック容器内にDLC膜が成膜される。DLC膜の膜厚は、胴部平均で10〜80nmとなるように形成する。
第2実施形態に係る成膜装置及び炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法について説明する。第2実施形態では、原料ガスとして炭化水素ガスを使用し、炭化水素ガスをプラスチック容器の内部にて吹き出させ、且つ、水素ガス、珪化炭化水素ガス又は珪化水素ガスの少なくともいずれか一種を原料ガスの添加ガスとしてプラスチック容器の口部周辺の内壁に向けて吹き出させることを特徴とする。
原料ガス発生源16からマスフローコントローラー15によって流量制御されて送られた原料ガス(例えば、アセチレンガス)は、原料ガス供給管9によってプラスチック容器7の内部に吹き出し口9aから吹き出される。一方、添加ガス発生源26からマスフローコントローラー27によって流量制御されて送られた添加ガス(例えば、HMDSO)は添加ガス供給管11によって、口部周辺7bの内壁付近で吹き出し口11aから吹き出され、邪魔板11bによって多くの添加ガスが口部周辺7bの内壁に当たる。原料ガスの供給量は、20〜200ml/minが好ましい。原料ガスの濃度が一定となり、制御されたガス流量と排気能力のバランスによって所定の成膜圧力、例えば5〜25Paで安定させる。ここで、原料ガスと添加ガスとの混合比率は、第1実施形態の場合と同じである。
第1実施形態の場合と同様の操作でCVD膜が形成される。ここで、添加ガスを口部周辺7bの内壁に集中的に当てるため、第1実施形態では炭素膜に由来する着色が容器全体にわたって低減されるが、第2実施形態では口部周辺7bの内壁での過度の着色が防止された容器が得られる。ただし、プラスチック容器の口部周辺の内壁面を含むプラスチック容器の内表面の全面に炭素膜がコーティングされてなるため、未コーティング部がなく、特許文献3で示されるようなガスバリア性が極端に低下することもない。なお、着色の低減箇所を調整するため、邪魔板11bの取り付け角度や位置を調整しても良い。
図5は本実施形態に係るプラズマCVD成膜装置の第3実施形態を示す概略構成図である。図5においても真空チャンバ60については容器の鉛直方向の断面概略図である。図5に示したプラズマCVD成膜装置400は、マイクロ波を印加することにより、プラスチック容器7内の原料ガスをプラズマ化する装置である。図4に示したプラズマCVD成膜装置100との差異を中心に説明する。
(1)
酸素透過度
この容器の酸素透過度は、Modern Control社製 Oxtran 2/20を用いて、23℃、90%RHの条件にて測定し、窒素ガス置換開始から20時間後の測定値を記載した。
(2) 口部周辺の内壁における酸素透過度
口部の部分のみ(内壁面積約8cm2)を切除した略円筒形の開口した部分の片面側に金属板をあてがい、これをエポキシ系接着剤で接着し、シールしたものを用いて、(1)と同条件で測定した。
(3)膜厚
DLCの膜厚は、DLC膜の膜厚は、Veeco社DEKTAK3を用いて測定した。
(4)着色度
プラスチック容器の色の評価は着色度b*値を指標とした。b*値は、JISK 7105−1981の色差であり、三刺激値X,Y,Zから式(数1)で求まる。
日立製U-3500形自記分光光度計に同社製60Φ積分球付属装置(赤外可視近赤外用)を取り付けたものを用いた。検知器としては、超高感度光電子増倍管(R928:紫外可視用)と冷却型PbS(近赤外域用)を用いている。測定波長は、240nmから840nmの範囲で透過率を測定した。PET容器の透過率を測定することにより、DLC膜のみの透過率測定を算出することができるが、本実施例のb*値は、PET容器の吸収率も含めた形で算出したものをそのまま示している。なお、本発明におけるb*と目視による相関はおおよそ表1に示す通りである。未処理のPET容器のb*値は0.6〜1.0の範囲内にある。また、b*値が2以下のDLC膜は無色透明であると言え、b*値が4以下のDLC膜は肉眼では色が判別できる程度の極めて薄い着色となる。表2にb*値の差(Δb*値)と目視によるおおよその相関を示す。Δb*値により、着色の部位による差異が数値化できる。
原料ガスとしてアセチレンを80sccm、添加ガスとして水素ガスを100sccmとして、混合ガスを原料供給管9の吹き出し口9aからプラスチック容器7の内部に吹き出させた。吹き出し口9aのプラスチック容器の底からの高さを50mmとした。13.56MHzの高周波を出力600W、2秒間供給した。成膜圧力は33.3Paとした。成膜条件と評価結果を表3に示した。
原料ガス流量は一定として、添加ガス流量を変化させて、それ以外は試験1と同様にして試験2〜試験5を行なった。成膜条件及び評価結果を表3に示した。
未コーティングの場合、添加ガスを添加しなかった場合、また添加ガスとしてヘリウムガスを添加した場合について、それぞれの成膜条件及び評価結果を表4に示した。試験6〜試験12とする。
次に、原料ガスとしてアセチレンを80sccm、添加ガスとしてHMDSOを5sccmとして、それ以外は試験1と同様にして成膜を行った。成膜条件と評価結果を表5に示した。
原料ガス流量と添加ガス流量を変化させて、それ以外は試験1と同様にして試験14〜試験18を行なった。成膜条件及び評価結果を表5に示した。
2,下部外部電極
3,外部電極
4,絶縁部材
5,蓋体
6,60,真空チャンバ
7,プラスチック容器
7a,プラスチック容器の開口部分
7b,プラスチック容器の口部
8,O−リング
9,原料ガス供給管
9a,原料ガス供給管の吹き出し口
11,添加ガス供給管
11a,添加ガス供給管の吹き出し口
11b,邪魔板
12,高周波供給電源
13,マッチングボックス
15,27,65,マスフローコントローラー
16,原料ガス発生源
17,貫通孔
21,53,真空バルブ
22,54,排気ポンプ
23,排気系統
25,空間
26,添加ガス発生源
30,原料ガス供給手段
40,プラズマ発生手段
51,下部チャンバ
52,石英管
55,58,管
56,マイクロ波供給電源
57,プランジャスクルリュー
59,調整プランジャ
61,キャリアガス発生源
62,HMDSO容器
63,気化器
64,リボンヒーター
65,添加ガス供給手段
100,200,300,400, プラズマCVD成膜装置
Claims (9)
- プラスチック容器の内部に炭化水素系の原料ガスを供給し、該原料ガスをプラズマ化して前記プラスチック容器の内表面に炭素膜を成膜して炭素膜コーティングプラスチック容器を得る製造方法において、
前記原料ガスとして炭化水素ガスを使用し、該炭化水素ガスを前記プラスチック容器の内部にて吹き出させ、且つ、
水素ガス、珪化炭化水素ガス又は珪化水素ガスの少なくともいずれか一種を前記原料ガスの添加ガスとして前記プラスチック容器の口部周辺の内壁に向けて吹き出させることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。 - 前記炭化水素ガスに対して流量換算で3.75倍以上6.00倍以下の前記水素ガスを添加することを特徴とする請求項1記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
- 前記炭化水素ガスに対して流量換算で0.10倍以上0.20倍以下の前記珪化炭化水素ガス又は前記珪化水素ガスを添加することを特徴とする請求項1記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
- 高周波又はマイクロ波によって前記原料ガスをプラズマ化させることを特徴とする請求項1、2又は3記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法。
- 請求項1に記載の炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法で使用するプラズマCVD成膜装置であって、
プラスチック容器を収容する真空チャンバと、
前記プラスチック容器の内部に挿脱可能に配置され、前記プラスチック容器の内部へ原料ガスを供給する原料ガス供給管と、
前記プラスチック容器の内部に供給された前記原料ガスをプラズマ化させるプラズマ発生手段と、
前記真空チャンバを減圧する排気ポンプ手段と、
前記プラスチック容器の口部周辺の内壁に向けて添加ガスを吹き付ける添加ガス吹き付け手段と、
を有することを特徴とするプラスチック容器の内表面にCVD膜を成膜するプラズマCVD成膜装置。 - 前記プラズマ発生手段が、少なくとも、前記プラスチック容器の外側に配置された外部電極と、該外部電極に高周波を供給する高周波供給電源とを有し、且つ、前記原料ガス供給管が内部電極を兼ねることを特徴とする請求項5記載のプラスチック容器の内表面にCVD膜を成膜するプラズマCVD成膜装置。
- 前記プラズマ発生手段は、少なくとも、前記真空チャンバの内部にマイクロ波を供給するマイクロ波供給電源を有することを特徴とする請求項5記載のプラスチック容器の内表面にCVD膜を成膜するプラズマCVD成膜装置。
- プラスチック容器の口部周辺の内壁面を含む該プラスチック容器の内表面の全面に炭素膜がコーティングされてなり、且つ、前記プラスチック容器の口部周辺の、JISK 7105−1981に基づく着色度b*値が2以下であることを特徴とする炭素膜コーティングプラスチック容器。
- 前記プラスチック容器の口部周辺における酸素透過率が、未コーティングプラスチック容器の口部周辺での酸素透過率の二分の一以下であることを特徴とする請求項8記載の炭素膜コーティングプラスチック容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004349551A JP4566719B2 (ja) | 2004-12-02 | 2004-12-02 | 炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法、プラズマcvd成膜装置及びそのプラスチック容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004349551A JP4566719B2 (ja) | 2004-12-02 | 2004-12-02 | 炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法、プラズマcvd成膜装置及びそのプラスチック容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006160268A JP2006160268A (ja) | 2006-06-22 |
JP4566719B2 true JP4566719B2 (ja) | 2010-10-20 |
Family
ID=36662718
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004349551A Active JP4566719B2 (ja) | 2004-12-02 | 2004-12-02 | 炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法、プラズマcvd成膜装置及びそのプラスチック容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4566719B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4973081B2 (ja) * | 2006-09-14 | 2012-07-11 | 東洋製罐株式会社 | ポリ乳酸成形品の製造方法 |
EP3222749A1 (en) | 2009-05-13 | 2017-09-27 | SiO2 Medical Products, Inc. | Outgassing method for inspecting a coated surface |
US7985188B2 (en) | 2009-05-13 | 2011-07-26 | Cv Holdings Llc | Vessel, coating, inspection and processing apparatus |
WO2013170052A1 (en) | 2012-05-09 | 2013-11-14 | Sio2 Medical Products, Inc. | Saccharide protective coating for pharmaceutical package |
US9458536B2 (en) | 2009-07-02 | 2016-10-04 | Sio2 Medical Products, Inc. | PECVD coating methods for capped syringes, cartridges and other articles |
US11624115B2 (en) | 2010-05-12 | 2023-04-11 | Sio2 Medical Products, Inc. | Syringe with PECVD lubrication |
US9878101B2 (en) | 2010-11-12 | 2018-01-30 | Sio2 Medical Products, Inc. | Cyclic olefin polymer vessels and vessel coating methods |
US9272095B2 (en) | 2011-04-01 | 2016-03-01 | Sio2 Medical Products, Inc. | Vessels, contact surfaces, and coating and inspection apparatus and methods |
US9554968B2 (en) | 2013-03-11 | 2017-01-31 | Sio2 Medical Products, Inc. | Trilayer coated pharmaceutical packaging |
EP2776603B1 (en) | 2011-11-11 | 2019-03-06 | SiO2 Medical Products, Inc. | PASSIVATION, pH PROTECTIVE OR LUBRICITY COATING FOR PHARMACEUTICAL PACKAGE, COATING PROCESS AND APPARATUS |
US11116695B2 (en) | 2011-11-11 | 2021-09-14 | Sio2 Medical Products, Inc. | Blood sample collection tube |
CA2890066C (en) | 2012-11-01 | 2021-11-09 | Sio2 Medical Products, Inc. | Coating inspection method |
EP2920567B1 (en) | 2012-11-16 | 2020-08-19 | SiO2 Medical Products, Inc. | Method and apparatus for detecting rapid barrier coating integrity characteristics |
US9764093B2 (en) | 2012-11-30 | 2017-09-19 | Sio2 Medical Products, Inc. | Controlling the uniformity of PECVD deposition |
CN105705676B (zh) | 2012-11-30 | 2018-09-07 | Sio2医药产品公司 | 控制在医用注射器、药筒等上的pecvd沉积的均匀性 |
US20160015898A1 (en) | 2013-03-01 | 2016-01-21 | Sio2 Medical Products, Inc. | Plasma or cvd pre-treatment for lubricated pharmaceutical package, coating process and apparatus |
US9937099B2 (en) | 2013-03-11 | 2018-04-10 | Sio2 Medical Products, Inc. | Trilayer coated pharmaceutical packaging with low oxygen transmission rate |
US9863042B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-01-09 | Sio2 Medical Products, Inc. | PECVD lubricity vessel coating, coating process and apparatus providing different power levels in two phases |
EP3122917B1 (en) | 2014-03-28 | 2020-05-06 | SiO2 Medical Products, Inc. | Antistatic coatings for plastic vessels |
WO2017031354A2 (en) | 2015-08-18 | 2017-02-23 | Sio2 Medical Products, Inc. | Pharmaceutical and other packaging with low oxygen transmission rate |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001232714A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-28 | Hokkai Can Co Ltd | Dlc膜および炭素膜コーティングプラスチック容器 |
JP2002212728A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-07-31 | Daiei Seiko Kk | ダイヤモンドライクカーボン膜の製膜装置及び製膜方法 |
WO2003101847A1 (fr) * | 2002-05-28 | 2003-12-11 | Kirin Brewery Company, Limited | Contenant en matiere plastique revetu d'un film a depot cda (carbone analogue au diamant) et procede et appareil de fabrication de celui-ci |
JP2004218079A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-08-05 | Kirin Brewery Co Ltd | ガスバリア性薄膜コーティングプラスチック容器の製造装置及びその製造方法 |
-
2004
- 2004-12-02 JP JP2004349551A patent/JP4566719B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001232714A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-28 | Hokkai Can Co Ltd | Dlc膜および炭素膜コーティングプラスチック容器 |
JP2002212728A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-07-31 | Daiei Seiko Kk | ダイヤモンドライクカーボン膜の製膜装置及び製膜方法 |
WO2003101847A1 (fr) * | 2002-05-28 | 2003-12-11 | Kirin Brewery Company, Limited | Contenant en matiere plastique revetu d'un film a depot cda (carbone analogue au diamant) et procede et appareil de fabrication de celui-ci |
JP2004218079A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-08-05 | Kirin Brewery Co Ltd | ガスバリア性薄膜コーティングプラスチック容器の製造装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006160268A (ja) | 2006-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4566719B2 (ja) | 炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法、プラズマcvd成膜装置及びそのプラスチック容器 | |
JP4515280B2 (ja) | ガスバリア薄膜が成膜されたプラスチック容器の製造装置及びその製造方法 | |
JP4188315B2 (ja) | Dlc膜コーティングプラスチック容器及びその製造装置 | |
JP4146463B2 (ja) | バリヤ効果材料を被覆した容器、その製造方法および装置 | |
EP1852522B1 (en) | Vapor deposited film by plasma cvd method | |
JP4936764B2 (ja) | Dlc膜コーティング生分解性プラスチック容器又はフィルム及びその製造方法 | |
US20040149225A1 (en) | Process and apparatus for depositing plasma coating onto a container | |
KR100545908B1 (ko) | 장벽코팅 | |
JP4372833B1 (ja) | ガスバリア性薄膜コーティングプラスチック容器の製造方法 | |
JP4664658B2 (ja) | プラズマcvd成膜装置及びガスバリア性を有するプラスチック容器の製造方法 | |
JP4854983B2 (ja) | プラズマcvd成膜装置及びガスバリア性を有するプラスチック容器の製造方法 | |
JP4593357B2 (ja) | 口部着色が低減されたガスバリア性プラスチック容器の製造方法及びその容器 | |
AU2003241766B2 (en) | Device for manufacturing DLC film-coated plastic container | |
JP4997714B2 (ja) | プラスチック容器のプラズマ処理方法及び装置 | |
JP5273760B2 (ja) | プラスチック製容器 | |
JP4722667B2 (ja) | 反応室外でのプラズマ発生の抑制方法並びにガスバリア性プラスチック容器の製造方法及びその製造装置 | |
JP2006089073A (ja) | 内面被覆プラスチック容器及びその製造方法 | |
JP4945398B2 (ja) | 口部極薄炭素膜コーティングプラスチック容器の製造方法 | |
WO2005035825A1 (ja) | Cvd成膜装置及びcvd膜コーティングプラスチック容器の製造方法 | |
JP5566334B2 (ja) | ガスバリア性プラスチック成形体及びその製造方法 | |
JP5610345B2 (ja) | ガスバリア性を有するプラスチック容器の製造方法、小型容器用アダプター及び薄膜成膜装置 | |
JP4279127B2 (ja) | ガスバリア性薄膜コーティングプラスチック容器の製造装置及びその製造方法 | |
JP6859785B2 (ja) | プラスチックボトル | |
JP2006299332A (ja) | プラズマcvd成膜装置及びバリア性プラスチック容器の製造方法 | |
KR100976104B1 (ko) | Dlc막 코팅 플라스틱 용기의 제조 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070814 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070730 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070912 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070918 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070918 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100803 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100804 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4566719 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130813 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |