DE3444270A1

DE3444270A1 - Vorrichtung zum messen der dicke duenner schichten

Info

Publication number: DE3444270A1
Application number: DE19843444270
Authority: DE
Inventors: Terence D.T. Reading Berkshire Latter
Original assignee: Helmut Fischer GmbH and Co
Current assignee: Helmut Fischer GmbH and Co
Priority date: 1984-12-05
Filing date: 1984-12-05
Publication date: 1986-06-05
Also published as: US4648107A; DE3444270C2

Description

I 344A270

PATENTANWALT DIPLi-ING. ULRICH KINKELIN 7032 Sindelfingen - auf dem Goldberg - Weimarer Str. 32/34 Telefon 07031/86501

Telex 726509 rose d

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12. November 1984

Firma Helmut Fischer GmbH & Co., Institut für Elektronik und Messtechnik, Industriestrasse 21, 7032 Sindelfingen

VORRICHTUNG ZUM MESSEN DER DICKE DÜNNER SCHICHTEN

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäss dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.

Solche Vorrichtungen sind z.B. aus der deutschen Offenlegungsschrift 32 39 379 bekannt. Dort wird eine Blendenvorrichtung 49 aus Glas verwendet. Diese Blendenvorrichtung 49 muss die bei der Montage ihr gegebene Konfiguration behalten. Sie würde schon lange vor ihrer Zerstörung unbrauchbar, z.B. wenn die geometrische Längsachse 32 der Roentgenstrahlung nicht mehr mit demjenigen Teil der optischen Achse 87 zusammenfallen würde, der vom Spiegel 46 zur Deckung mit der geometrischen Längsachse 32 gebracht wird. Auch wäre es schlecht, wenn die aus der Offenlegungschrift bekannte Durchgangsbohrung 58, 59, 61, 62, 63 nicht mehr parallel zur geometrischen Längsachse 32 verlaufen würde. Es wäre auch schlecht, wenn der Glaskörper 49 zerkratzt würde, weil man dann den von der dortigen Lichtquelle 94 beleuchteten Bereich nicht mehr so gut sehen könnte usw.

Die bekannte Vorrichtung beschreibt eine Anordnung, bei der der Glaskörper 49 deshalb nicht Gefahren ausgesetzt ist, weil dort die Schicht 93 auf ein Durchgangs-

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loch 22 aufgelegt wird und damit der Messgegenstand den Glaskörper 49 nie berühren kann.

Es gibt jedoch Messvorrichtungen dieser Art, bei denen der zu messende Gegenstand aufgrund der Schwerkraft oder mit plastischen Materialien auf der Oberseite eines Tisches gehalten liegt. Nachdem man das Messobjekt auf den Tisch gebracht hat, wird dieser Tisch in einem Gehäuse hochgefahren, bis das Messobjekt von unten herkommend den richtigen Abstand zum Glaskörper 49 hat. Von der Offenlegungsschrift 32 39 379 aus gesehen, stehen solche Messvorrichtuhgen auf dem Kopf. Der hauptsächlich und über grosse Strecken bewegliche Teil ist dabei ein Tisch, auf dem das Messobjekt liegt. Die auf dem Tisch liegenden Messobjekte können unterschiedlich hoch sein. Misst man hohe Messobjekte, dann müsste der Tisch in einem grösseren Abstand vom Glaskörper 49 stoppen als bei flachen Messobjekten.

Wie bei den meisten Messvorrichtungen dieser Art wird auch hier der Tisch nicht von Hand bewegt. Vielmehr werden die Bewegungen motorisch über Software gesteuert.

Ähnlich wie bei Mikroskopen muss man aber die Feineinstellung von Hand unter der Kontrolle des Auges durchführen. Die Messobjekte können sehr unterschiedlich gross sein, wie z.B. wenige zehntel Millimeter dicke Folien bis zu Brillengestellen und sie können sehr leicht als auch sehr schwer sein. Ein Gramm schwere Gegenstände sind auf diesem Gebiet der Technik z.B. als schwer anzusehen.

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Wird der Tisch aufgrund irgendwelcher Fehler zu hoch gefahren, dann kann der Gegenstand die Blendenvorrichtung in Gestalt des Glaskörpers berühren und Kratzer verursachen oder sogar so gegen die Blendenvorrichtung gedruckt werden, dass ihre Geometrie später nicht mehr stimmt oder sie gar zerstört wird.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Sicherheitsvorrichtung anzugeben, die sowohl billig ist als auch zuverlässig die Blendenvorrichtung schützt, als auch das Messergebnis nicht oder nur vorhersagbar, beeinflusst, sowie es dem Konstrukteur gestattet, den seitherigen Aufbau solcher Vorrichtungen beizubehalten, so dass ein Umdenken des Bedienungspersonais nicht notwendig ist.

Erfindungsgemäss wird diese Aufgabe durch die aus dem kennzeichnenden Teil des Hauptanspruchs ersichtlichen Merkmale gelöst.

Selbstverständlich ist die Periodizität im Hinblick auf die Bewegungsgeschwindigkeit der Tischvorrichtung gross. Sind die Messobjekte genügend leicht, dann werden sie einfach von der Tischvorrichtung gewischt. Der Tisch selbst kann dann auf das Signal eines Mikroschalters hin gebremst werden, welche letzteres insofern einfach ist, als ja die Tischkonfiguration sich nie ändert, wohl aber die Konfiguration der Messobjekte. Es ist wesentlich besser, die Messobjete von der Tischvorrichtung zu wischen, als Gefahr für die Blendenvorrichtung aufkommen zu lassen. Die Messgegenstände können z.B. die Form einer zylindrischen Nadel von weniger als 0,5 mm Durchmesser besitzen, auf deren Stirnfläche die Schicht gemessen werden muss. Die geringste Berührung des Blendenschiebers würde durch die hohe Flächenpressung zu dessen Zerstörung führen.

Durch die Merkmale des Anspruchs 2 erreicht man, dass man bei manchen Messobjekten diese nicht vom Tisch wischt, sondern die Tischvorrichtung zum Stillstand bringt. Dies

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ist eine Lösung für solche Fälle, in denen das Messobjektiv so schwer ist, dass es den Stab entweder ganz stoppt oder zunächst beim Streifen des Stabs am Messobjekt diesen teilweise Stoppt. Solche Verhältnisse hat man bei schweren Messobjekten oder bei solchen leichten Messobjekten, die mit plastischer Masse auf der Tischvorrichtung fixiert sind.

Durch die Merkmale des Anspruchs 3 erreicht man, dass der Stab nur eine Sekundär- £ strahlung abgibt, die das Messergebnis nicht verfälscht. An sich könnte man aber

auch elektronisch in der Software diejenige Zeitspanne ausblenden, während der der Stab durch den Roentgenstrahl läuft.

Um möglichst wenig Sekundärstrahlung zu haben, könnte man den Stab aus Kohlenstoff machen, der eine Ordnungszahl von 6 hat. Ein solcher Stab müsste jedoch angefertigt werden, er ist zerbrechlich und müsste relativ dick sein, damit er selbsttragend ist. Mit einer Ordnungszahl von 12 wäre Magnesium auch keine schlechte Wahl. Wegen der allgemeinen Verfügbarkeit dürfte jedoch Aluminium, gemäss dem Anspruch 4, am besten sein.

Eine Vorrichtung gemäss Anspruch 5 ist preislich nicht mehr zu unterbieten, denn dies ist ein Massenartikel, der schon von sich aus ungefähr diejenige Länge hat, die man hier benötigt, den es in unterschiedlichen Durchmessern gibt und an der überhaupt keine Nacharbeit notwendig ist; Selbst wenn sich die Stricknadel verbiegen sollte, kann man sie wieder leicht geradebiegen. Durch die Eloxalschicht ist die Aluminiumstricknadel von Haus aus schon nach aussen hin geschützt und braucht insofern auch nicht nachgearbeitet zu werden und da die Eloxalschicht eine Verbindung zwischen Sauerstoff und Aluminium ist, hat man effektiv eine noch

niedrigere Ordnungszahl in diesem Schichtbereich als das Aluminium hat. Solche Stäbe, insbesondere wenn es Stricknadeln sind, nehmen einen so geringen Sektor der 360° Kreisfläche ein, dass sie die Messgenauigkeit nicht beeinflussen und dieser Einfluss auch nicht berücksichtigt werden muss. Man kann so leichte Stäbe mit relativ hoher Drehzahl laufen lassen und bekommt trotzdem keine Unwuchtprobleme.

Man könnte den Stab auch translatorisch unterhalb der Blendenvorrichtung bewegen. Dann müsste man ihn aber an einem hin- und hergehenden Lager befestigen. Wenn er jedoch an einer Welle drehbar ist, dann erhält man automatisch die Periodizität und ausserdem hat man damit eine ganz einfache Sorte von Lagerung. Da die Blendenvorrichtung selbst senkrecht zum Roentgenstrahl steht, hat man durch die Merkmale des Anspruchs 6 überall die gleiche Abstandssicherheit.

Durch die Merkmale des Anspruchs 7 verdoppelt man die Frequenz der Überwachung· und schliesst Unwuchtprobleme zuverlässig aus.

Durch die Merkmale des Anspruchs 8 kann man zugleich auch das Zählrohr schützen, das ja die zurückgestreute Strahlung durch ein sehr dünnes zerbrechliches Fenster empfängt. Man schützt damit also sowohl das Zählrohr als auch die Blendenvorrichtung.

Durch die Merkmale des Anspruchs 9 muss der Stab zwar einen grösseren Radius bestreichen. Die dadurch notwendige Verlängerung des Stabs wiegt jedoch den Schutz der Fassung bei weitem auf, denn würde z.B. die Fassung bleibend deformiert, dann würde auch die Blendenvorrichtung - ohne sie zu zerstören, bleibend desorientiert.

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Durch die Merkmale des Anspruchs 10 erhält man sowohl einen einfachen Antrieb der Welle als auch hat man auf einfache Weise die Kraft in der Hand, bis zu der der Stab stehenbleiben soll, bzw. das Messobjekt von der Tischvorrichtung wischen solle. Ausserdem kann man die erhöhte Stromaufnahme des Elektromotors bei Abbremsung und/oder Stoppen leicht als Signal verwenden.

Durch die Merkmale des Anspruchs 11 braucht die Auswerteschaltung der Stromaufnähme des Elektromotors keine so genauen Schwellenwerte zu haben, denn es ist ja in der Praxis auch damit zu rechnen, dass die Bewegungsvorrichtung bei Alterung im Laufe der Zeit von selbst mehr Strom aufnimmt. Es ist auch zu bedenken, dass der Elektromotor bei den auf dem Markt befindlichen Typen an sich viel zu schnell laufen würde und deshalb ein Elektromotor mit Reduktionsgetriebe zu verwenden ist. Drehzahlen von 50 bis 60 Hz wären viel zu hoch, denn leichte Messobjekte dürfen ja nicht aufgrund von Luftturbulenzen aufgewirbelt werden. Da die Tischvorrichtung ohnehin wegen ihrer Feineinstellbarkeit nur langsam bewegt werden kann, reichen relativ niedere Periodizitäten des Stabs.

Durch die Merkmale des Anspruchs 12 erreicht man, dass von der Tischvorrichtung gewischte Messobjekte nicht in das Innere des Geräts fallen, sondern auf der Abdeckfläche wieder eingesammelt werden können.

Nachfolgend wird ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 einen Querschnitt durch das Gehäuse, indem sich die Vorrichtung

in Seitenansicht befindet,

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Fig. 2 eine Ansicht ähnlich Fig. 1, jedoch mit teilweise geschnittener

Vorrichtung, ohne Gehäuse und in vergrössertem Maßstab, Fig. 3 eine detailliertere perspektivische Untersicht von Fig. 2 samt

abgebrochenem Gehäuse,
Fig. 4 ein Detail aus der Befestigung des Stabs in noch grösserem Maßstab

und
Fig. 5 ein Blockschaltbild zur Erläuterung der elektrischen Verarbeitung

der Sicherheitssignale.

Zur leichteren Orientierung sind einige Bezugszeichen beibehalten worden, die solche Teile betreffen, wie sie auch aus der deutschen Offenlegungsschrift 32 39 bekanntgeworden sind, nämlich die geometrische Längsachse 32, die Roentgenröhre 33, das Kugelkücken 41, der Spiegel 46, der Glaskörper 49, die optische Achse 87 und das Proportionalzählrohr 97, die mit gleicher Funktion und prinzipiell gleicher Anordnung gleichen Aufgaben dienen. Die in der Offenlegungsschrift beschriebene Lichtquelle 94 ist auch bei der Erfindung vorhanden, jedoch nicht gezeichnet.

Ein Gehäuse 11 ist rundum geschlossen und kann von der Bedienungsseite her durch eine Beschickungsklappe geöffnet werden. Durch diese hindurch kann ein Messobjekt 13 auf einen Tisch 14 gelegt werden, wenn dieser in seiner unteren Position ist. Der Tisch 14 hat eine ebene Oberseite 16, die auch waagerecht liegt. Über nicht dargestellte Antriebe kann der Tisch 14, gemäss dem Pfeil 17, in die Plus-Z- und die Minus-Z-Richtung verfahren werden. Auch in die Plus- und Minus-X-Richtung, sowie die Plus- und Minus-Y-Richtung kann der Tisch 14 verfahren werden, was durch die Pfeile 18 und 19 in Fig. 3 symbolisiert ist. Das Messobjekt 13 hat in der Seitenansicht gesehen, den Umriss eines Kabelschuhs. Die geometrische Längsachse 32 geht durch ihn hindurch.

Im Gehäuse 11 ist auch ein Haupt 21 vorgesehen, das relativ zum Gehäuse 11 und zum Tisch 14 unbeweglich ist. Im Haupt 21 sind hier nicht interessierende elektrische Schaltungen, Antriebe usw. vorgesehen. Fest an der Unterseite des Haupts 21 befestigt sind die Roentgenröhre 33, ein abschirmendes Bleirohr 22, das hier die Funktion des Durchgangsloches 34 aus der Offenlegungsschrift hat, koaxial mit der Längsachse 32 das Kugelkücken 41, den 45°-Spiegel 46 und darunter in einer Fassung 23 den Glaskörper 49.

Selbstverständlich kann der ,Glaskörper 49 wie im Stand der Technik bewegt werden, sofern es notwendig ist, die diversen Durchgangsbohrungen zum Fluchten zu bringen. Dicht an den besonders aus Fig. 2 gut ersichtlichen, kompakten Block ist das Proportionalzählrohr 97 hauptfest angebaut, so dass sein Fenster 24 möglichst viel vom Messobjekt 13 zurückgestreute Sekundärstrahlung auffangen kann. Der untere Scheitel 26 des Proportionalzählrohrs 97 liegt jedoch ein wenig höher als die Unterseite 27 des Glaskörpers 49. Der Glaskörper 49 hat Durchgangsbohrungen, von denen gemäss Fig. 2 die Durchgangsbohrung 61 mit der geometrischen Längsachse 32 fluchtet.

Gemäss Fig. 2 direkt rechts neben dem Proportionalzählrohr 97 ist an der Unterseite des Haupts 21 starr ein Elektromotor 28 befestigt, der eine geometrische Längsachse 29 hat. Er zeigt ein mit ihm einstückiges Untersetzungsgetriebe 31 an, dessen Abtriebswelle 34 gemäss ihrer geometrischen Längsachse 36 senkrecht zu eier Unterseite 27 und damit auch senkrecht zur Oberseite 37 des Tisches 14 steht. Legt die Software oder eine Bedienungsperson an die Klemmen 38, 39 eine Betriebsspannung Ug, dann läuft der Motor 28 und die Abtriebswelle 34 dreht sich gemäss dem Pfeil 42. Die Drehzahl liegt dabei im Hertz-Bereich. Unten an der

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Abtriebswelle 34 ist e|ne Klemmscheibe 43 starr und senkrecht zur Längsachse befestigt. Sie hat eine von unten randoffene Fassungsnyt. Diese Fassungsnut 44 steht mit ihrem Boden 47 senkrecht zur Längsachse 36 oder - was das gleiche ist parallel zur Unterseite 27 des Glaskörpers 49. Die Fassungsnut 44 fasst eine Stricknadel 48, die kreiszylindrischen Querschnitt hat, der - wie bei Stricknadeln üblich - erst im Endbereich in eine verletzungssichere, stumpfe Kegelspitze ausläuft. Die Fassungsnut 44 ist so flach, dass wegen des Durchmessers der Stricknadel 48 deren unterer Scheitelbereich 51 unterhalb der Unterseite 52 der Klemmscheibe 43 liegt. Beiderseits der Fassungsnut 44 sind in Gewinde-Sacklochbohrungen Senkkopfschrauben 53 von unten eingeschraubt. Die kegelige Unterseite der Köpfe der Senkkopfschrauben 53 halten die Stricknadel 48 in der Fassungsnut 44 und da sie die Stricknadel 48 erheblich oberhalb ihres Scheitelbereichs 51 tangieren, liegt auch die Stirnfläche der Köpfe der Senkkopfschrauben 53 gemäss Fig. 4 oberhalb der durch den Scheitelbereich 51 definierten Ebene.

Auf der Niveauebene der Oberseite 16 ist mit dem Tisch 14 auf- und abbeweglich ein lediglich in Fig. 1 schematisch dargestelltes horizontales Abdeckblech 54 vorgesehen. An der Unterseite des Haupts 21 ist ein Mikroschalter 56 befestigt, der mit dem Abdeckblech 54 zusammenwirkt und schaltet, wenn - z.B. ohne das Messobjekt 13 - das Abdeckblech 54 zu weit nach Plus-Z gefahren worden ist.

Im Betrieb bestreicht die Stricknadel 48 einen Kreis. Stösst sie .gegen ein Messobjekt, dann steigt der Strom im Vor-Widerstand 57. Parallel zum Vor-Widerstand 57 liegt ein Komparator 58. Dieser müsste jedoch viel zu nahe beieinanderliegende Schwellenwerte haben, wenn man die kleinsten Stromänderungen im Vor-Widerstand 57 ausnutzen würde. Bei einem Untersetzungsgetriebe, wie es z.B. beim

Ausführungsbeispiel verwendet wird, können solche Stromschwankungen schon dadurch entstehen, dass nicht alle Räder absolut rund laufen. In diesem Bereich der Empfindlichkeit, der vom Komparator 58 mit industriell vertretbaren Massnahmen nicht bestrichen werden kann, fegt man mit der Stricknadel 48 die Messobjekte 13 von der Oberseite 37, so dass sie gegebenenfalls auf dem Abdeckblech 54 landen.

Bei schwereren Messobjekten 13 streift die Stricknadel 48 kurzzeitig an den Mess-Objekten 13, und zwar immer stärker, je mehr der Tisch 14 in die Plus-Z-Richtung gefahren wird. Dabei entstehen dann am Vor-Widerstand 57 solche Spannungsänderungen, die auch ein handelsüblicher Komparator 58 verarbeiten kann. Vollends kann er natürlich diejenigen Spannungssprünge am Vor-Widerstand 57 ausnutzen, die entstehen, wenn die Stricknadel 48 ganz stehen bleibt.

Bei Spannungssprüngen am Vor-Widerstand 57, die vom Komparator 58 auswertbar sind, gibt dieser auf der Leitung 62 ein Ausgangssignal an ein ODER-Tor 63 . Dieses Ausgangssignal wird über eine Leitung 64 sowohl einem Mikroprozessor als auch an eine Schaltvorrichtung 66 geschickt. Der Mikroprozessor gibt dann über ■ die Leitung 67 ein entsprechendes Signal an die Schaltvorrichtung 66 und an der Leitung 68 entsteht dann ein Stop-Signal für alle Achsen plus X, minus X, plus Y minus Y und plus Z.

Lediglich minus Z bleibt frei, so dass der Tisch 14 nur noch abwärts bewegt werden kann.

Zum ODER-Tor 63 führt auch eine Leitung 69, in der der Mikroschalter 56 liegt, der durch das Abdeckblech 54 betätigt wird. Da ein Signal des Mikroschalters 56

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die gleiche Wirkung auf das ODER-Tor 63 hat, wie das Ausgangssignal des Komparators 58, sind auch die Folgen gleich.

Bei dem Messen der Dicke dünner Schichten nach dem Roentgen Fluoreszenzprinzip ist bekannt, dass Stoffe mit einer Ordnungszahl unter 20 nicht gemessen werden können. Dies bedeutet, dass der Stab aus einem dieser Stoffe, wie z.B. Magnesium oder Aluminium sein kann, aber auch aus einer mechanisch stabilen Verbindung sein kann, wie z.B. anorganisches Glas oder organisches Glas. Dies bezieht sich auf die Primärstrahlung_; Was die Sekundärstrahlung aus dem Messobjekt 13 anlangt, so wird diese auf jeden Fall durch den Stab abgeschattet, ganz gleichgültig aus welchem Material er auch ist. Dies bedeutet, dass der Stab schmal sein muss, damit die Dauer der Abschattung möglichst kurz ist; Wenn man seine Dicke so hält, dass das Messergebnis um 1% oder weniger verfälscht ist, dann kann man dies ohne weiteres zulassen, weil bei dieser Art Messungen das Messergebnis ohnehin nur eine mathematisch statistische Funktion ist. Mit einem Aluminiumdraht, wie dies eine Stricknadel darstellt, erreicht man diese Bedingungen ohne weiteres. Femer muss der Stab auch genügend steif sein, und zwar einerseits, damit er nicht durchhängt und damit aussen tiefer liegt als in der Mitte. Ausserdem muss er auch deshalb steif sein, dass er kleinere Messobjekte tatsächlich von der Oberseite 37 fegen kann und andererseits bei schweren Messobjekten sich elastisch oder plastisch abbiegt, wenn er auf das Messobjekt trifft und das Messobjekt dann trotzdem liegen bleibt.

Claims

PATENTANWALT DIPL.-ING. ULRICH KINKELIN Sindelfingen - auf dem Goldberg - Weimarer Str. 32/34 Telefon 07031/86501 Telex 726509 rose d 14. November 1984 12 401 Patentansprüche :

1. Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten nach dem Roentgen-Fluoreszenz-Prinzip

mit einer Tischvorrichtung als Träger für die Messgegenstände mit einer Blendenvorrichtung für die primären Roentgenstrahlen mit einem Zählrohr für die vom Messgegenstarid ausgesandten Roentgenstrahlen und mit einem Roentgenstrahl-Erzeuger

wobei die Tischvorrichtung zumindest senkrecht zur Blendenvorrichtung in Richtung des ausgesandten Roentgenstrahls durch eine Bewegungsvorrichtung bewegbar ist
dadurch gekennzeichnet, dass

unterhalb der Blendenvorrichtung im Sicherheitsabstand von dieser und etwa senkrecht zum Roentgenstrahl ein Stab sich befindet, der durch seine Lagervorrichtung periodisch bewegbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine die Bewegung des Stabs auswertende Auswertevorrichtung vorgesehen ist, die im Falle des zumindest teilweisen Stillstands des Stabs ein Signal abgibt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab aus einem Material niederer Ordnungszahl ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab im wesentlichen aus Aluminium besteht.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab eine Alifninium-Stricknadel ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lagervorrichtung eine Welle umfasst, die etwa senkrecht zur Blendenvorrichtung steht.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab etwa in seiner Mitte mit der Welle verbunden ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle von der Blendenvorrichtung aus gesehen jenseits des Zählrohrs vorgesehen ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Stab auch den Raum unter der Fassung der Blendenvorrichtung bestreicht.

10. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle die Rotationswelle eines Elektromotors ist.

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11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsenergie auf einem, Niveau liegt, bei dem auf der Tischvorrichtung liegende Gegenstände den Stab nicht stoppen, schwere diese aber stoppen.

12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im nicht von dem Stab überstrichenen Bereich eine Abdeckfläche vorhanden ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dicke des Stabs im Vergleich zur überstrichenen Fläche gering ist.

14. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsgeschwindigkeit des Stabs gross ist im Vergleich zur Bewegungsgeschwindigkeit der Tischvorrichtung.