DE8227494U1 - Vorrichtung zur messung der intensitaet eines laserstrahls - Google Patents
Vorrichtung zur messung der intensitaet eines laserstrahlsInfo
- Publication number
- DE8227494U1 DE8227494U1 DE19828227494 DE8227494U DE8227494U1 DE 8227494 U1 DE8227494 U1 DE 8227494U1 DE 19828227494 DE19828227494 DE 19828227494 DE 8227494 U DE8227494 U DE 8227494U DE 8227494 U1 DE8227494 U1 DE 8227494U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- rod
- shaped element
- reflector
- laser beam
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000004091 panning Methods 0.000 description 1
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Beschreibung
Die Neuerung betrifft eine Vorrichtung zur Messung der Intensität eines Laserstrahls, mit einer einen Laserstrahl
aussendenden Quelle, einem im Strahlengang des Laserstrahls zumindest einen Teil des Querschnitts des Laserstrahls erfassenden
Reflektor, wobei der Reflektor an einem Reflektorträger angeordnet ist, und einer im Bereich der reflektierten
Strahlen angeordneten Strahlen-Meßeinrichtung.
Bei der Anwendung von Laserstrahlen, insbesondere von solchen
mit großer Leistung, beim Bearbeiten von Materialien, z.B. Schneiden, Schweißen und Oberflächenbehandlung, sind
solche Werte wie die Intensitätsverteilung des Strahls und seine Größe am Ort der Wechselwirkung mit dem Material
wichtige Parameter. Solche Parameter werden benötigt, wenn bspw. eine qualitative Überprüfung des bearbeiteten Probestücks
durchgeführt werden soll.
Bekannte Meß-Vorrichtungen verwenden z.B. Metallfolien,
Platten aus Asbest oder Karton, auf die der Laserstrahl gerichtet wird. Das so erzeugte Loch gibt aber nur die
Stelle einer einzigen Isotherme im behandelten Material an. Diese bekannten Meßvorrichtungen sind zwar sehr einfach,
aber auch sehr ungenau, zumal die Stelle dieser Isotherme
noch von beziehungslosen veränderlichen Größen wie der Laserleistung, der Einstrahlzeit, der Dicke des verwendeten
Materials, der Reflektivität der Oberfläche usw. abhängt.
Anordnungen, die mehrere Isothermen messen, und die dabei photographische Techniken anwenden, sind ebenfalls bekannt.
Es treten hier jedoch Probleme auf, die mit der Definition des Strahldurchmessers zusammenhängen, insbesondere bei
nicht-gaußschen Verteilungen.
Es sind auch Vorrichtungen bekannt, bei denen mit Hilfe einer (Schwing-)Blende Aus- oder Abschnitte des Laserstrahls
in den Meßdetektor gelenkt wurden. Deren Schlitz muß einerseits hinreichend breit sein, um genügend Energie durchzulassen
um den Meßdetektor anzutreiben, aber hinreichend eng, um eine angemessene Auflösung zu erzielen. Das führt
zu dem Problem, das Signal auseinanderzuziehen, um eine Energie-Verteilung zu erhalten.
Es ist auch schon bekannt, eine Nipkow-Scheibe, die eine
Folge von kleinen öffnungen durch den Strahl abtastet, das Energie-Profil in verschiedenen Abschnitten fühlen zu
lassen. Dadurch werden Probleme der Ausrichtung vermindert.
Bei all den bisher bekannten Anordnungen wird der Strahl von der Meßvorrichtung zum größten Teil absorbiert, eine
Messung während der Bearbeitung eines Werkstückes mit dem Laserstrahl ist nicht mehr möglich.
Die Neuerung schafft eine einfache, und damit auch einfach zu bedienende, aber dennoch sehr genaue und empfindliche
Vorrichtung der angegebenen Gattung, zur Messung der Intensität eines Laserstrahles.
Dies wird neuerungsgemäß dadurch erreicht, daß der Reflektor mindestens ein stabförmiges Element mit beliebigem
Querschnitt ist.
■ ■ · · t
>ΙΙ· *
ti ·· »
Die neuerungsgemäße Vorrichtung hat insbesondere folgende Vorteile:
Die örtliche Intensitätsverteilung im Strahl,- über einen gewissen Streifen des Strahles, kann dadurch gemessen
werden, daß bei einer bestimmten Größe der Meßeinrichtung nur ein diesem Streifen entsprechender Teil des Strahles
die Meßeinrichtung trifft. Ferner kann der nicht durch das stabförmige Element abgeschirmte Teil
des Strahles weiter seine Aufgabe, z.B. die Bearbeitung eines Werkstückes, erfüllen.
Somit kann also die Intensitätsverteilung im Strahl, die sich z.B. dadurch ändert, daß reflektierte Strahlung
vom Werkstück in den Laser gelangt, oder daß der Laser nach längerer Bearbeitung durch thermische Einwirkung
seine Intensitätsverteilung ändert, während der Bearbeitung gemessen werden, was z.B. bei der Rückwirkung durch
das Werkstück sonst gar nicht möglich wäre. Bei einer Prüfung der Leistungsverteilung im Strahl mit herkömmliehe
Mitteln wird nämlich bisher zunächst die Bearbeitung unterbrochen. Dabei kühlt sich der Laser ab und die
darauf folgende Messung der Strahlintensität mit den bisherigen langwierigen und umständlichen Methoden ergibt
durch die Zeitdauer und damit das Abkühlen des Lasers ein falsches Bild.
Die zeitliche Verteilung kann durch Belassen des stabförmigen Elementes an einem vorgegebenen Ort im Strahlquerschnitt
verfolgt werden.
30
30
Die vorliegende Intensitätsmeßvorrichtung arbeitet in einem sehr großen Meßbereich, bspw. herab bis zu 50 Watt/
cm , ein oberer Grenzwert wurde noch nicht aufgefunden,
2
wobei ein 50 kW/cm -Laser verwendet wurde. Das Auflösungsvermögen der Anordnung liegt bei ungefähr 0,02 mm Strahlstärke.
wobei ein 50 kW/cm -Laser verwendet wurde. Das Auflösungsvermögen der Anordnung liegt bei ungefähr 0,02 mm Strahlstärke.
Bevorzugt beträgt die Erstreckung des stabförmigen Elementes
quer zur Strahlrichtung und senkrecht zur Längserstreckung des stabförmigen Elementes 0,5-50% des Strahldurchmessers.
An sich werden z.B. bei einem Stab mit kreisförmigem Querschnitt die Strahlgröße und die Auflösung
in der zum Stab und zum Strahl senkrechten Richtung nicht durch den Radius r des Stabes begrenzt, wenn der Abstand
der Meßeinrichtung, L, sehr groß gegenüber den sonstigen wesentlichen Größen ist. Ein kleineres stabförmiges EIement
hat aber den Vorteil, daß die Messung am Strahl in einem Teilbereich ohne Beeinträchtigung des restlichen
Querschnittes durchgeführt werden kann, und somit die Messung auch während des tatsächlichen Arbeitsbetriebes
des Lasers durchgeführt werden kann. Es ist erreichbar, daß unter 1% der Leistung des Strahls durch die Messung
verlorengeht. ~*
Bevorzugt erstreckt das stabförmige Element sich in einer zur Strahlrichtung im wesentlichen senkrechten Ebene.
Dies hat vor allem bei nicht-parallelen Bündeln den Vorteil, daß die Verhältnisse im jeweils gemessenen Querschnitt
des Strahles nicht noch von der sonst unterschiedlichen Lage des stabförmigen Elementes im Strahlverlauf
abhängen.
Bevorzugt ist das stabförmige Element als Stab mit kreisförmigem Querschnitt ausgebildet. Dies hat insbesondere
den Vorteil, daß das stabförmige Element sehr einfach herzustellen ist. Bspw. kann ein, vorzugsweise poliertes,
Drahtstück verwendet werden. Ferner sind dabei die geometrischen Verhältnisse besonders übersichtlich, wie noch
dargelegt werden wird.
Bevorzugt ist der Reflektorträger eine, bevorzugt mit ihrer Fläche in einer zur Strahlrichtung senkrechten
Ebene liegende, drehbare - bevorzugt in dieser Ebene Scheibe, an der das mindestens eine stabförmige Element
angebracht ist, wobei zumindest ein Teil seiner Länge den Scheibenrand überragt. Dies hat insbesondere den
Vorteil, daß das stabförmige Element auf einfache Weise in den Laserstrahl einbringbar und wieder daraus entfernbar
ist. Insbesondere kann das bei einem geeigneten Antrieb für die Scheibe mit hoher Frequenz, bspw. 50/sek.
geschehen. Zweckmäßig ist das stabförmige Element radial auf der Scheibe angebracht. Das stabförmige Element kann
aus der Ebene der Scheibe heraus geneigt sein, bevorzugt unter 45°.
In einer alternativen bevorzugten Ausführungsform ist
am Reflektorträger zumindest ein Ende des stabförmigen Elementes befestigt, und wird der Reflektorträger auf einer
Geraden derart geführt, daß das stabförmige Element den
Strahl, bei einer Bewegung des Reflektorträgers auf der Geraden, vorzugsweise senkrecht zur Strahlrichtung, schneidet.
Mit dieser Lösung ist es zwar schwieriger, hohe Frequenzen des stabförmigen Elementes oder mehrerer stabförmiger
Elemente beim Durchgang durch den Strahl zu erreichen. Sie hat jedoch den Vorteil, daß das stabförmige
Element während des Durchganges durch den Strahl seine Richtung zum Strahl auch nicht nur geringfügig ändert.
Besonders bevorzugt sind mehrere der stabförmigen Elemente vorgesehen. Dadurch ist es möglich, mehrere Stellen
des Laserstrahls gleichzeitia zu messen oder bspw. bei
gleicher Drehfrequenz der die Elemente tragenden Scheibe eine entsprechend höhere Meßfrequenz zu erreichen. Dabei
können die stabförmigen Elemente bspw. in der Art sich, zumindest in der Projektion auf die Scheibenebene,
radial erstreckender Speichen angeordnet sein, vorzugsweise
mit konstantem Winkelabstand.
Besonders bevorzugt ist der Reflektorträger parallel zum
Laserstrahl verschieblich geführt. Dies ist besonders vorteilhaft, wenn der Strahl entlang des Strahlenganges
an mehreren Stellen untersucht werden soll, und insbe-
5 sondere dann, wenn bspw., wie bevorzugt, eine Linse im
Strahlengang angeordnet ist. Dann kann mit Hilfe der Meßvorrichtung bspw. die Dicke des (endlichen) Strahlquerschnitts
im Brennpunkt der Linse untersucht werden. Zweckmäßig ist dabei die Meßeinrichtung starr mit dem
10 Reflektorträger verbunden, so daß das Verhältnis stabförmiges
Element/Heßeinrichtung unverändert bleibt und sichergestellt ist, daß bei allen Verschiebungen vom
Element reflektiertes Licht die Meßeinrichtung trifft.
15 Besonders bevorzugt ist der Reflektorträger zusammen
mit der Strahlungs-Meßeinrichtung um den Laserstrahl schwenkbar.
Mit der neuerungsgemäßen Meßvorrichtung wird der zu un-
20 tersuchende Laserstrahl in Streifen über seine ganze
p Breite im Strahlquerschnitt untersucht. Durch Schwenken
I des Reflektorträgers und damit des Stabes kann die Ori-
I entierung dieser Streifen im Strahlquerschnitt geändert
% werden und somit aus den Meßwerten letztendlich ein zwei-
j| 25 dimensionales Profil der Intensitätsverteilung im Laser-
\, strahl gewonnen werden.
[; Besonders bevorzugt sind, bei einem Stab mit kreisförmi-
I gem Querschnitt, bei den Abmessungen die Bedingungen L
>> D,
I 30 L» r und L i>
W eingehalten, wobei L den Abstand Stab/ p Meßeinrichtung, D den Strahldurchmesser, r den Radius des
|j Stabes und W die Ausdehnung des Detektors senkrecht zur
§ Stabrichtung und senkrecht zum reflektierten Strahl bedeu-
,; ten. Durch die Einhaltung dieser Bedingungen wird insbe-
■.·■· 35 sondere sichergestellt, daß auch bei dickeren Stäben den-
I - 10 -
- 10 -
noch die Auflösung, d.h. die Feinheit der jeweils gemessenen
Streifen des Strahlquerschnittes, nicht leidet.
Nachfolgend wird die Neuerung anhand einer besonders bevorzugten
Ausführungsform unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen, auf die bezüglich der Offenbarung
besonders verwiesen wird, noch näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine neuerungsgeiräße Vorrichtung, bei der
ein starrer Draht, der eine drehbare Schei
be überragt, als reflektierender Stab verwendet
ist;
Fig. 2 eine schematische, die geometrischen Zusammenhänge
erläuternde Querschnittsdarstel
lung, in Strahlrichtung und senkrecht zur Staberstreckung geschnitten; und
Fig. 3 ein Beispiel einer mit Hilfe von Messungen mit der neuerungsgemäßen Anordnung erschlos
senen Intensitätsverteilung in einem Laserstrahl.
Ein aus einer (nicht gezeigten) Quelle austretender paralleler
Laserstrahl 1 wird durch eine Linse 2 im Brennpunkt der Linse fokussiert. Auf einer durch einen Motor 3 antreibbaren
Scheibe 4 ist ein Stab 5 angebracht. Die Drehachse des Motors und der Scheibe ist parallel zur Richtung des
Strahles 1 angeordnet. Als Stab dient eine vollkommen gerade, polierte runde Stahlnadel mit 1 mm Radius. Der
Stab 5 ist radial auf der Scheibe 4 angebracht und überragt die Scheibe um 40 mm. Motor 3 und Scheibe 4 sind
parallel zum Strahl 1 verschieblich (nicht gezeigt) und im vorliegenden Falle so angeordnet, daß der Stab den
Strahl im Brennpunkt der Linse 2 schneidet. Der vom Stab
- 11 -
5 in die Richtung des geeignet angeordneten Meßinstrumentes 7 reflektierte Strahlanteil 6 wird vom Meßinstrument ausgewertet
und die entsprechenden elektrischen Impulse werden über eine Verbindungsleitung 8 ggfs. über einen Breitbandverstärker
an ein Anzeige- und/oder Aufzeichnungsgerät (z.B. Speicheroszillograph) (nicht gezeigt) gegeben.
Somit kann während der Bearbeitung der Verlauf der Intensität im Laserstrahl ständig neben der Bearbeitungsstation
auf einem Oszillographen kontrolliert werden. Die vom Oszillographen aufgezeichnete Kurve der Intensitätsverteilung
kann in einem Kleinrechner gespeichert werden. Bspw. kann jegliche Abweichung der Intensitätsverteilung
um 10% von der einmal gespeicherten Kurve durch ein automatisches
Anzeigegerät gemeldet werden. Dadurch ist eine ausgezeichnete Qualitätssicherung bei der Materialbearbeitung
zu erreichen. Das Meßinstrument 7 befindet sich in einer senkrecht zur Scheibe 4 liegenden, den Strahl 1
enthaltenden Ebene. Die Meßfläche blickt auf die Schnittstelle von Strahl und Stab, im vorliegenden Fall unter
120° zur Strahlrichtung.
Der nicht vom Stab 5 reflektierte und damit abgelenkte Anteil des Strahles 1 gelangt zu einer Strahlungssenke 9
und wird dort im rein experimentellen Fall entweder weiter ausgewertet oder vernichtet. Sonst ist 9 bspw. das zu
bearbeitende Werkstück.
Das Meßinstrument 7 ist nach einmaliger Justierung der Anordnung fest mit dem Motor 3 und damit der Scheibe 4 und dem
Stab 5 verbunden und wird ggfs. mit diesen verschoben. Im bevorzugten Ausführungsbeispiel beträgt der Abstand L der Meßeinrichtung
7 vom Strahl 60 mm, der Winkel der Normale
- 12
auf der Meßeinrichtung zur Strahlrichtung 120°, die Erstreckung
der Meßeinrichtung in Richtung senkrecht zur Staberstreckung, W (s. Fig. 2) 5 mm, die gleich der
Breite des Meßeinrichtungsfensters, B, ist. Mit diesen Abmessungen und einem Radius des Drahtes r = 1 mm ist
eine Auflösung, bspw. bei der Messung der Strahlausdehnung am Brennpunkt, von 0,02 mm möglich.
Die Gesamtanordnung aus Motor 3, Scheibe 4, Stab 5 und
Meßeinrichtung 7 ist um die Strahlmitte als Achse schwenkbar (nicht gezeigt).
Die Linse 2 in Fig. 1 ist nicht unbedingter Bestandteil der Meßanordnung. Die Anordnung kann ebenso ohne Linse
die Intensitätsverteilung vom einfallenden Strahl 1 messen. Die Linse kann ebenso hinter der Meßanordnung
angebracht werden um den Strahl nach der Messung auf das Werkstück zwecks Bearbeitung deselben zu fokussieren.
Fig. 2 dient zur näheren Erläuterung der geometrischen Bedingungen und damit der Wirkungsweise der neuerungsgemäßen
Anordnung. Das sich drehende, d.h. in Richtung des Pfeiles A geschwenkte, Drahtstück weist einen Radius
r auf, der vom Mittelpunkt 0 bis zum Schnittpunkt S des Stabes 5 mit der in Fig. 2 oberen Kante des Parallelstrahls
1 gezeichnet ist. Der Durchmesser des Strahls 1 ist mit D bezeichnet. Es sei angemerkt, daß der Querschnitt
des Stabes 5 aus Gründen der Klarheit hier nicht schraffiert gezeichnet wurde.
Bei der aus Fig. 2 ersichtlichen Anordnung wird nun der Teil des reflektierten Strahles 6, der einen konstanten
Winkel θ (60° im Ausführungsbeispiel) zum Radius r = OS
- 13 -
- 13 -
hat, von der Meßeinrichtung 7 gefühlt. Die Auflösung wird aber durch den Abweichungswinkel 2 Θ, der die
Weite W der wirksamen Detektorfläche einschließt, begrenzt. Dies wird wie folgt abgeschätzt:
χ = r.sin θ
woraus sich rein mathematisch ergibt
de 1
10
dx r · cos θ
und somit
/x = r · cos θ / θ
:j wegen L^W ergibt sich
Ι /θ = W/2L
und somit
W-r /x = · cos Θ.
Wenn B die Breite des Detektorfensters ist, ist das
Ausgangssignal, wenn sich der Stab an der Stelle χ befindet der durchschnittlichen Strahlleistung über
eine Fläche, die durch B · /x gegeben ist, proportional. Es ergibt sich mit den schon angegebenen Werten ein
Wert /x = 0,02 mm.
tilt· - · - · ■· (·
11 · · * · ■ · fl* I
I« t · 4· til»·!
- 14 -
Fig. 3 zeigt das Querschnittsprofil der Intensität eines Laserstrahles an einem Punkt nach einer Linse,
wo der Strahl einen Durchmesser von 2 mm hat. Dabei ist ein mögliches Muster angegeben, das die nicht
gezeigte Intensitätsverteilung bei einem Durchgang des Stabes in einer Richtung bewirkt haben könnte.
Die dunklen, mit H bezeichneten Stellen sind Punkte großer Intensität, die hellen, mit N bezeichneten
Bereiche sind niedriger Intensität.
Eine typische Rotationsgeschwindigkeit für die Scheibe ist 50/s, ein typischer Abstand des Schnittbereiches
des Strahls mit dem Stab vom Drehpunkt der Scheibe ist 65 mm, die zeitliche Auflösung reicht bis 1 ns.
Claims (10)
1. Vorrichtung zur Messung der Intensität eines Laserstrahls,
mit
einer einen Laserstrahl (1) aussendenden Quelle, einem im Strahlengang des Laserstrahls zumindest
einen Teil des Querschnitts des Laserstrahls erfassenden Reflektor (5) , wobei der Reflektor an einem
Reflektorträger (4) angeordnet ist, und einer im Bereich der reflektierten Strahlen
(6) angeordneten Strahlungs-Meßeinrichtung (7), dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektor mindestens ein stabförmiges Element
(5) mit beliebigem Querschnitt ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erstreckung des stabförmigen Elementes (5)
quer zur Strahlrichtung und senkrecht zur Längser-
Streckung des stabförmigen Elements zwischen 0,5-50%
des Strahldurchmessers beträgt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das stabförmige Element sich in einer zur Strahlrichtung im wesentlichen senkrechten Ebene
erstreckt -
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch
gekennzeichnet, daß das stabförmige Element als Stab (5) mit kreisförmigem Querschnitt ausgebildet
ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet,
daß der Reflektorträger eine, bevorzugt mit ihrer Fläche in einer zur Strahlrichtung
senkrechten Ebene liegende, drehbare - bevorzugt in dieser Ebene - Scheibe (4) ist, an der das mindestens
eine stabförmige Element (5) angebracht ist, wobei zumindest ein Teil seiner (5) Länge den Scheibenrand
überragt.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß am Reflektorträger zumindest
ein Ende des stabförmigen Elementes befestigt ist und der Reflektorträger auf einer Geraden derart
geführt wird, daß das stabförmige Element den Strahl, bei einer Bewegung des Reflektorträgers auf der Geraden,
vorzugsweise senkrecht zur Strahlrichtung, schneidet.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere der stabförmigen
Elemente vorgesehen sind.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
It ·· · I ti Il Il Il
— 3 —
dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektorträger (4) parallel zum Laserstrahl verschieblich geführt ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektorträger (4)
zusammen mit der Strahlungs-Meßeinrichtung (7) um den Laserstrahl (1) schwenkbar ist.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4-9, dadurch gekennzeichnet, daß folgende Bedingungen eingehalten
sind:
L » D, LJfc· r und L » W
wobei L den Abstand Stab/Meßeinrichtung D den Strahldurchmesser
r den Stabhalbmesser
r den Stabhalbmesser
und W die Ausdehnung der Meßeinrichtung senkrecht zur Stabrichtung bedeuten.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19828227494 DE8227494U1 (de) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Vorrichtung zur messung der intensitaet eines laserstrahls |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19828227494 DE8227494U1 (de) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Vorrichtung zur messung der intensitaet eines laserstrahls |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE8227494U1 true DE8227494U1 (de) | 1983-02-17 |
Family
ID=6744152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19828227494 Expired DE8227494U1 (de) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | Vorrichtung zur messung der intensitaet eines laserstrahls |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE8227494U1 (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3510937A1 (de) * | 1985-03-26 | 1986-10-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Laserstrahlmessvorrichtung fuer hochleistungslaser |
DE3532047A1 (de) * | 1985-09-09 | 1987-03-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Einrichtung zum erfassen der radialen intensitaetsverteilung einer laserstrahlung |
DE3623409A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Bias Forschung & Entwicklung | Verfahren zur ueberwachung des bearbeitungsprozesses mit einer hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem laser, und bearbeitungsoptik zur durchfuehrung desselben |
US4848902A (en) * | 1987-02-26 | 1989-07-18 | Erwin Strigl | Device for measuring the intensity profile of a laser beam |
DE3841244A1 (de) * | 1988-12-07 | 1990-06-13 | Erwin Strigl | Vorrichtung zum messen des intensitaetsprofils eines infrarot-laserstrahles |
DE3903943A1 (de) * | 1989-02-10 | 1990-08-16 | Gustav Prof Dipl Ing Schweiger | Verfahren und vorrichtungen zur untersuchung der relativen strahlungsflussdichte elektromagnetischer strahlen insbesonders zur bestimmung des radius gaussscher laserstrahlen |
WO2003064983A1 (en) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Advanced Laser Solutions Limited | Method and apparatus for monitoring light beams |
DE102010053323B3 (de) * | 2010-12-02 | 2012-05-24 | Xtreme Technologies Gmbh | Verfahren zur räumlich aufgelösten Messung von Parametern in einem Querschnitt eines Strahlenbündels energiereicher Strahlung mit hoher Intensität |
-
1982
- 1982-09-30 DE DE19828227494 patent/DE8227494U1/de not_active Expired
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3510937A1 (de) * | 1985-03-26 | 1986-10-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Laserstrahlmessvorrichtung fuer hochleistungslaser |
DE3532047A1 (de) * | 1985-09-09 | 1987-03-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Einrichtung zum erfassen der radialen intensitaetsverteilung einer laserstrahlung |
DE3623409A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Bias Forschung & Entwicklung | Verfahren zur ueberwachung des bearbeitungsprozesses mit einer hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem laser, und bearbeitungsoptik zur durchfuehrung desselben |
US4848902A (en) * | 1987-02-26 | 1989-07-18 | Erwin Strigl | Device for measuring the intensity profile of a laser beam |
DE3841244A1 (de) * | 1988-12-07 | 1990-06-13 | Erwin Strigl | Vorrichtung zum messen des intensitaetsprofils eines infrarot-laserstrahles |
DE3903943A1 (de) * | 1989-02-10 | 1990-08-16 | Gustav Prof Dipl Ing Schweiger | Verfahren und vorrichtungen zur untersuchung der relativen strahlungsflussdichte elektromagnetischer strahlen insbesonders zur bestimmung des radius gaussscher laserstrahlen |
WO2003064983A1 (en) * | 2002-01-29 | 2003-08-07 | Advanced Laser Solutions Limited | Method and apparatus for monitoring light beams |
US7138622B2 (en) | 2002-01-29 | 2006-11-21 | Advanced Laser Solutions Limited | Method and apparatus for monitoring light beams |
DE102010053323B3 (de) * | 2010-12-02 | 2012-05-24 | Xtreme Technologies Gmbh | Verfahren zur räumlich aufgelösten Messung von Parametern in einem Querschnitt eines Strahlenbündels energiereicher Strahlung mit hoher Intensität |
US8686372B2 (en) | 2010-12-02 | 2014-04-01 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Method for the spatially resolved measurement of parameters in a cross section of a beam bundle of high-energy radiation of high intensity |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4004627C2 (de) | Verfahren zur Bestimmung von Materialeigenschaften polymerer Werkstoffe und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE2256736A1 (de) | Verfahren zur automatischen oberflaechenprofilmessung und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE3045336A1 (de) | "messvorrichtung zum feststellen bestimmter ausgewaehlter eigenschaften einer bewegten bahn" | |
DE2211049B2 (de) | Vorrichtung zum auslesen eines plattenfoermigen informationstraegers, der in optischer form kodierte bild- und/oder tonsignale enthaelt | |
DE2428123A1 (de) | Anordnung zum nachweisen von fehlstellen mittels abtastung durch einen laserstrahl | |
DE2714397A1 (de) | Verfahren und vorrichtung fuer messungen an duennen filmen mit spiegelnden oberflaechen unter verwendung von infrarotstrahlung | |
DE1473742A1 (de) | Vorrichtung zum Ermitteln von Fehlstellen | |
DE3734438C2 (de) | ||
DE8227494U1 (de) | Vorrichtung zur messung der intensitaet eines laserstrahls | |
DE4200869A1 (de) | Infrarot mikroskop-spektrometer | |
DE68907924T2 (de) | Röntgenstrahlvorrichtung, ausgestattet mit einem Strahlungsbereich-Monitor. | |
DE1497525A1 (de) | Vertikale Multireflexionszelle mit zurueckkehrendem Buendel fuer Spektroskopie mittels innerer Reflexion | |
DE3507299A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur steuerung von schweissprozessen durch analyse der intensitaet des beim schweissen erzeugten lichtes | |
DE1772024B1 (de) | Spaltblendenanordnung fuer einen spektralapparat | |
DE2015606B2 (de) | Vorrichtung zum pruefen eines bandfoermigen materials | |
DE3876452T2 (de) | Optisches system fuer lasermarkierung. | |
DE102008048917A1 (de) | Röntgendiffraktionsmessapparat mit einem optischen Debye-Scherrer-System und Röntgendiffraktionsmessverfahren für diesen Apparat | |
DE4006622C2 (de) | Vorrichtung zum Überwachen von mit Laserstrahlung bearbeiteten Werkstücken | |
DE2625951C3 (de) | Vorrichtung zum Nachweis von Kristalldefekten | |
DE10125454A1 (de) | Gerät zur Röntgenanalyse mit einem Mehrschichtspiegel und einem Ausgangskollimator | |
DE69108993T2 (de) | Vorrichtung zur kontinuierlichen Analyse und Impuls-Analyse der Energieverteilung eines Leistungslaserstrahls und Vorrichtung zum Ausrichten dieses Strahls. | |
CH623272A5 (de) | ||
DE8203330U1 (de) | Meßvorrichtung zur Ermittlung von Oberflächenfehlern an mechanischen Teilen, insbesondere an Teilen mit gekrümmter Oberfläche | |
DE2718711C2 (de) | ||
DE2320937C3 (de) | Optische Vorrichtung zum Aufnehmen der Lichtabsorption in einem Objekt, das außerdem einen veränderlichen Brechungskoeffizienten aufweist |