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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Röntgendiffraktionsmessapparat
zur Analyse pulverförmiger Kristalle oder dergleichen durch
die Verwendung von Röntgenstrahlung, und insbesondere bezieht sich
die Erfindung auf einen Röntgendiffraktionsmessapparat
mit einem optischen Debye-Scherrer-System und ebenfalls auf ein
Verfahren zur Messung der Röntgenstrahlbeugung mit diesem
Apparat.
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Allgemein
sind bereits verschiedene Arten von Röntgendiffraktionsmessapparaten
bekannt, die ein optisches Debye-Scherrer-System enthalten zur Analyse
von pulverförmigen Kristallen durch Messen der Beugungsringe
(d. h. Debye-Ringe), die von einer solchen Probe in einer abgewinkelten
Richtung um die Probe herum erhalten werden können, während diese
mit monochromatischer Röntgenstrahlung bestrahlt wird.
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Bei
einem solchen Röntgendiffraktionsmessapparat, der ein optisches
Debye-Scherrer-System aufweist, ist die Hintergrundrauschkomponente
groß aufgrund exzessiver Röntgenstreuung, wie
z. B. Streustrahlung, inelastische Streuung, Fluoreszenzröntgenstrahlen,
etc., die innerhalb des Apparats auftreten und die durch einen Röntgendetektor
erfasst werden oder durch andere Strahlung als Röntgenstrahlung,
die von der Probe gestreut wird und von Natur aus miterfasst wird,
wodurch ein Hintergrund groß wird, während das
P/B-Verhältnis (Peak/Background Ratio) klein wird. Aus
diesem Grund ist es üblich, in solchen Messapparaten, wie
aus der
japanischen Offenlegungsschrift
Nr. Hei 8-62158 (1996) und der
japanischen Offenlegungsschrift 2003-149348
(2003) bekannt ist, eine Analyseeinheit anzuwenden, die
aus Schlitzen besteht, die fächerartig oder radial verteilt
sind oder einen schwenkbaren oder oszillierenden Analysator zu verwenden,
der parallel zueinander angeordnete Schlitzanalyseeinheiten winkelmäßig
um einen Mittelpunkt der Probe verschwenkt.
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KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER
ERFINDUNG
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Bei
diesem herkömmlichen Verfahren, welches weiter unten detaillierter
beschrieben wird, führt die oben erwähnte Analyseeinheit,
die den Hintergrund reduzieren soll, zu einer Abschattung der Streustrahlung
(z. B. der Beugungsröntgenstrahlung), was zu einem Herabsenken
der Intensität der Messstrahlung führt. Ebenfalls
treten andere Probleme auf, z. B. eine Steigerung des Winkelfehlers
aufgrund der Verschiebung oder der Abweichung der Montageposition
der Probe auf dem Apparat und ferner eine bemerkenswerte Absenkung
der Auflösungsstärke aufgrund der Größe
der Probe, usw.
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Gemäß der
vorliegenden Erfindung, die gemacht wurde unter Würdigung
der Probleme, die bei herkömmlichen oben erwähnten
Apparaten auftreten, ist es zur Lösung der bei herkömmlichen
Apparaten auftretenden Probleme, insbesondere in einem Röntgendiffraktionsmessapparat
mit einem optischen Debye-Scherrer-System, eine Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, einen Röntgendiffraktionsmessapparat mit einem
optischen Debye-Scherrer-System anzugeben, der es ermöglicht,
ein Absenken der Messkraft oder der Strahlungsintensität aufgrund
der Abschattung (z. B. Abschirmung) bei einem herkömmlichen
Analysegerät zu vermeiden, indem eine Absenkung der Messstärke
oder der Strahlungsintensität verhindert wird, und ferner
ei nen Fehler in der Winkelausrichtung zu vermeiden, der auftritt durch
eine Verschiebung oder Abweichung in der Lage der Probe im Apparat,
ohne dass die Auflösung aufgrund der Größe
der Probe verringert wird. Ferner ist es Aufgabe der vorliegenden
Erfindung, ein Verfahren zur Röntgendiffraktionsmessung
für einen solchen Apparat anzugeben.
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Zur
Lösung der oben angegebenen Aufgabe wird erfindungsgemäß ein
Röntgendiffraktionsmessapparat angegeben, der mit einem
optischen Debye-Scherrer-System versehen ist, mit: Mitteln zur Erzeugung
charakteristischer Röntgenstrahlung zur Bestrahlung einer
zu messenden Probe, einem Röntgenstrahlungsdetektor, der
um die Probe herum angeordnet ist, und mit Fokussierungsmitteln,
die zwischen der Probe und dem Röntgenstrahlungsdetektor
angeordnet sind, zum Sammeln von von der Probe über einen
vorbestimmten Winkel in Umfangsrichtung um die Probe gestreuter
Röntgenstrahlung, wodurch die Strahlung auf den Röntgenstrahlungsdetektor
gelenkt wird.
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Ebenfalls
ist es erfindungsgemäß bevorzugt, dass bei dem
mit einem optischen Debye-Scherrer-System versehenen, oben beschriebenen
Röntgendiffraktionsmessapparat eine Mehrzahl von Fokussierungsmitteln
auf einer Stirnseite der Röntgenstrahlungsdetektoren befestigt
ist, oder dass die Fokussierungsmittel beweglich auf einer Stirnseite
der Röntgenstrahlungsdetektoren befestigt sind oder dass
die Fokussierungsmittel mit einem Spiegel versehen sind, der aus
künstlichen Mehrfachschichten mit einer parabolischen Oberfläche
hergestellt ist. Ferner ist es bevorzugt, dass der Röntgenstrahlungsdetektor
einen zweidimensionalen Detektor aufweist, wie zum Beispiel einen
für Röntgenstrahlung empfindlichen Film, eine
Abbildungsplatte, einen zweidimensionalen CCD-Detektor, usw., oder
dass der Röntgen strahlungsdetektor ein eindimensionaler
Detektor, wie z. B. ein PSD (Position Sensitive Detector) oder dergleichen,
ist.
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Ferner
wird ebenfalls zur Lösung der oben erwähnten Aufgabe
erfindungsgemäß ein Verfahren zur Messung von
Röntgendiffraktion mit einem optischen Debye-Scherrer-System
angegeben, mit folgenden Schritten: Abstrahlen einer charakteristischen
Röntgenstrahlung, die von einer Strahlungsquelle erzeugt
wird, Erfassen der gestreuten Röntgenstrahlung, die durch
Bestrahlen einer Probe mit Röntgenstrahlung erhalten wird,
Erfassen der Streustrahlung über einen vorbestimmten Winkel
um die Probe herum und Erhalten eines Debye-Rings durch Erfassen
der gestreuten Röntgenstrahlung an einer vorbestimmten
Stelle auf den Röntgenstrahlungsdetektormitteln, die in
Umfangsrichtung um die Probe herum angeordnet sind.
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Erfindungsgemäß und
vorzugsweise wird bei dem oben erläuterten Verfahren zur
Messung von Röntgendiffraktion für ein optisches
Debye-Scherrer-System die gestreute Röntgenstrahlung durch
einen Spiegel gesammelt, der aus künstlichen Mehrfachschichten
hergestellt ist und einen vorbestimmten Winkel um die Probe abdeckt
und der an einer vorbestimmten Stelle auf den Röntgenstrahlendetektor
strahlt, der um die Probe herum angeordnet ist.
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Wie
sich aus dem Obenstehenden ergibt ist es erfindungsgemäß möglich,
bedeutend bessere Ergebnisse zu erzielen, zum Beispiel einen Röntgendiffraktionsmessapparat
anzugeben mit einem optischen Debye-Scherrer-System und eine Röntgendiffraktionsmessmethode
für diesen Apparat, mit denen die Verringerung der gestreuten
Röntgenstrahlung vermieden wird (z. B. die Röntgenbeugungsstrahlung),
die aufgrund der Abschattung (z. B. Abschirmung) eintritt, wodurch
ein Absinken der Messstärke oder der Strahlungsintensität
vermieden wird sowie eine Beeinträchtigung der Messauflösung
verhindert wird, ohne dass die Auflösung in Abhängigkeit
von der Größe der Probe verringert wird.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
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Diese
und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung
werden durch die folgende detaillierte Beschreibung in Zusammenschau
mit der beigefügten Zeichnung deutlicher, worin zeigen:
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1A und 1B Ansichten
einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen
Röntgendiffraktionsmessapparats mit optischem Debye-Scherrer-System
zur Erläuterung eines Streifenmusters (z. B. Debye-Ringe),
die mit diesem Apparat erhalten werden;
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2 eine
Ansicht zur Erläuterung des Prinzips einer Analyseeinheit,
die einen aus künstlichen Mehrfachschichten hergestellten
Spiegel innerhalb des erfindungsgemäßen Röntgendiffraktionsmessapparates
gemäß der oben erwähnten Ausführungsform
verwendet;
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3 eine
Ansicht zur Erläuterung der Vermeidung schlechter Einflüsse
aufgrund eines Positionsfehlers bei der Anbringung einer Probe innerhalb der
Analyseeinheit mit dem oben erwähnten Spiegel aus künstlichen
Mehrfachschichten;
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4 zeigt
ein Beispiel des detaillierten Aufbaus des Röntgenstrahlendiffraktionsmessapparates mit
dem optischen Debye-Scherrer-System gemäß einer
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
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5 ein
anderes Beispiel des detaillierten Aufbaus des Röntgendiffraktionsmessapparates
mit optischem Debye-Scherrer-System nach einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung;
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6 zeigt
eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Röntgendiffraktionsmessapparates mit optischem Debye-Scherrer-System;
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die 7A und 7B Ansichten
zur Erläuterung einer Abschattung (z. B. Abschirmung) innerhalb
der Analyseeinheit mit Hilfe von fächerförmigen Schlitzen
und parallelen Schlitzen gemäß dem Stand der Technik;
und
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die 8A und 8B Ansichten
zur Erläuterung eines Winkelfehlers aufgrund der Stelle,
an der die Probe angebracht ist, innerhalb einer Analyseeinheit
mit fächerförmigen Schlitzen und parallelen Schlitzen
nach dem Stand der Technik.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
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Im
Folgenden werden Ausführungsbeispiele der vorliegenden
Erfindung mit Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher
erläutert.
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Als
erstes zeigt 1A eine Übersicht über den
Aufbau eines Röntgendiffraktionsmessapparats mit optischem
Debye-Scherrer-System gemäß einer Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung, wobei monochromatische charakteristische
Röntgenstrahlung von einer Röntgenstrahlungsquelle 10,
z. B. bestehend aus einer Röntgenröhre, auf eine
Probe S einer polykristallinen Substanz gestrahlt wird, nachdem
die Strahlung in einen parallelen Strahl vorbestimmten Durchmessers
durch einen Kollimator 20 gebündelt wurde. Als
Ergebnis wird die gesendete Röntgenstrahlung über
einen vorbestimmten Winkel 2θ um die Probe S herum gestreut,
da die Röntgenstrahlung durch die Probe S aus einer polykristallinen Substanz
gebeugt wird, wodurch die gebeugte Strahlung auf einen Röntgenstrahlungsdetektor 30 gestrahlt
wird, der einen Röntgenfilm aufweist, der zylinderförmig
auf der Peripherie des Detektors um die Probe S herum, etc., angeordnet
ist. Als Ergebnis, wie in 1B gezeigt,
können auf dem Röntgenfilm 30 streifenförmige
Muster (z. B. die Debye-Ringe) an vorbestimmten Stellungen (oder
Winkeln) auf dessen beiden Seiten um eine Mitte der Strahlungsrichtung der
Röntgenstrahlen (2θ = 0°) erhalten werden.
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Bei
der oben beschriebenen Analyseeinheit nach dem Stand der Technik
mit fächerartig oder radial verteilten Schlitzen, wie in
den 7A und 7B sowie 8A und 8B gezeigt
ist, erfolgt eine Abschattung (oder Abschirmung) des gestreuten
Strahls (z. B. die gebeugte Röntgenstrahlung) durch die
Analyseeinheit und es tritt ebenfalls ein Winkelfehler an der Stelle
auf, wo die Probe montiert ist, wobei beide Effekte groß sind
und die Auflösung aufgrund der Größe
der Probe bemerkenswert verringert wird.
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7A zeigt
die Analyseeinheit, welche fächerartige Schlitze aufweist,
und wie man aus der Figur entnimmt, wird ein Teil der gestreuten
Röntgenstrahlung durch einen Schlitz abgeschattet, der
fächerartig durch eine Metallfolie aufgeteilt ist. Insbesondere
wenn eine Identifizierung oder eine Strukturanalyse an einem Pulverkristallmaterial
durchgeführt wird, wird die Röntgenstreustrahlung
in Abhängigkeit von der Probe groß und dies verringert
zum Beispiel die Messeffizienz, d. h. es wird eine bemerkenswerte Reduktion
der Messstärke oder der Intensität erzeugt. 7B zeigt
die Analyseeinheit mit parallelen Schlitzen, wobei auch hier eine
Reduzierung der Messauflösung erfolgt, insbesondere wenn
die Intensität der gebeugten Röntgenstrahlen groß ist.
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Ferner
zeigt 8A eine Analyseeinheit mit fächerförmigen
Schlitzen, insbesondere wenn eine Positionsverschiebung erfolgt,
z. B. wenn die Probe formgepresst ist, wobei, wie man in der Figur
erkennt, ein Teil der gestreuten Röntgenstrahlung durch
die Metallfolie des Schlitzes abgeschirmt wird; und dies reduziert
die Messeffizienz und die Messstärke oder -intensität.
Zusätzlich zeigt 8B die
Analyseeinheit mit parallelen Schlitzen, insbesondere wenn eine Positionsverschiebung
auftritt, d. h., wenn die Probe formgepresst ist und eine Verschiebung
im Beobachtungswinkel auftritt.
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Wie
in der beigefügten
2 zu sehen
ist, wird erfindungsgemäß anstelle der Analyseeinheit mit
fächerförmigen Schlitzen oder mit parallelen Schlitzen
in der Metallfolie gemäß dem oben erwähnten
Stand der Technik ein Spiegel
100 aus künstlichen
Mehrschichtfolien mit einer parabolischen Oberfläche verwendet.
Dieser Spiegel
100 ist, wie in dem
japanischen Patent Nr. 3721305 zum
Beispiel beschrieben ist, ein vielschichtiger oder ein geneigter vielschichtiger
Bragg-Röntgenstrahlenreflexionsspiegel auf der parabolischen
Oberfläche, wodurch ein einfallender Röntgenstrahl
(z. B. der gestreute Röntgenstrahl aufgrund der Beugung
in der Probe) fokussiert wird, und diese parabolische Oberfläche reflektiert
den Röntgenstrahl nur, wenn die folgende Bragg-Gleichung
erfüllt ist:
nλ =
2dsin (θ) (Gleichung
1),wobei n ein Grad der Reflexion, λ die
Wellenlänge der einfallenden Strahlung (z. B. Röntgenstrahlung),
d ein vorbestimmter Schichtabstand oder Gitterabstand der Bragg-Struktur
ist und θ ein Einfallswinkel.
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Da
der Spiegel 100 aus künstlichen Mehrschichten
in der Lage ist, Energie der einfallenden Röntgenstrahlung
aufzulösen, ist es mög lich, eine Rauschkomponente
zu löschen (oder herauszuschneiden), d. h. überschüssige
Röntgenstreustrahlung, die nicht die von der Probe gebeugte
Röntgenstrahlung ist, wie z. B. die oben erwähnte
Streustrahlung, inelastische Streustrahlung, Fluoreszenz, etc., wodurch
die Winkelauflösung verbessert wird.
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Mit
der Analyseeinheit, die den oben erwähnten Spiegel 100 verwendet,
der z. B. aus künstlichen Vielfachschichten hergestellt
ist und eine parabolische Oberfläche aufweist, wird erfindungsgemäß die durch
die Beugung in der Probe S gestreute Röntgenstrahlung auf
die Bragg'sche Röntgenstrahlungsreflexionsoberfläche
auf der parabolischen Oberfläche des Spiegels 100 fokussiert,
der die Probe S umgebend angeordnet ist, und die Strahlung trifft
auf den Röntgenstrahlungsfilm 30, der die Röntgenstrahlungserfassungsmittel
bildet, um diesen Röntgenstrahlungsfilm zu belichten und
somit die Stärke oder Intensität der Röntgenstrahlung
zu erfassen. Hier ist es jedoch vorzuziehen, dass die Bragg'sche
Röntgenstrahlenreflexionsoberfläche auf der parabolischen
Oberfläche des Spiegels 100 so ausgebildet ist,
dass sie einen Bereich abdeckt, der einer vorbestimmten Auflösung
entspricht, die erforderlich ist (z. B. eine Halbbreite "w" des
gebeugten Strahls), indem die Breite (Wmax)
der gestreuten Röntgenstrahlung, die von der Probe S erhalten
wird, berücksichtigt wird. Als Ergebnis, wie man in der
Figur erkennt, kann die gestreute Röntgenstrahlung, die
eine vorbestimmte Breite aufweist, an die Stelle gelangen, die um
einen vorbestimmten Winkel in der Reflexionsrichtung auf dem Röntgenfilm
verschoben ist (z. B. 2θ + α in 1B).
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Zusätzlich
ist es mit der Analyseeinheit, die den oben erwähnten Spiegel 100 verwendet,
der z. B. aus künstlichen Mehrfachschichten hergestellt
ist und eine parabolische Oberfläche aufweist, erfindungsgemäß möglich,
wie man in 3 erkennt, die von der Probe
S erhaltene gestreute Röntgenstrahlung zu erhalten, indem
diese auf eine vorbestimmte Stelle des Röntgenfilms (z.
B. 2θ + α) fokussiert wird, selbst wenn die Position
der Probe S sich von der Stelle bewegt, wo sie montiert sein sollte
(z. B. durch Verschiebung).
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Wie
oben erwähnt, ist es mit der oben erwähnten Analyseeinheit,
die beispielsweise die künstlichen Mehrfachschichten aufweist
und eine parabolische Oberfläche hat, gemäß der
Erfindung möglich, eine Verminderung der Messstärke
oder -intensität zu verhindern, indem die gestreute Röntgenstrahlung
(z. B. die gebeugte Röntgenstrahlung) wegen der Abschattung
(oder Abschirmung) durch die Analyseeinheit vermindert wird, und
ferner ist es ebenfalls möglich, einen mit einem optischen
Debye-Scherrer-System ausgerüsteten Röntgendiffraktionsapparat
zu erhalten, dessen Auflösungsstärke sich nicht
in Abhängigkeit von der Größe der Probe vermindert.
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Im
Folgenden wird der genauere Aufbau des erfindungsgemäßen
Röntgendiffraktionsmessapparats geschildert, dessen Prinzip
oben erläutert wurde, mit Bezug auf die beigefügten 4 und 5.
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Zuerst
zeigt 4 die Analyseeinheit, die den Spiegel 100 verwendet,
der aus dem künstlichen Mehrfachschichtsystem besteht,
welches oben erwähnt wurde, der um die Probe S verschwenkbar (oder
drehbar) ist, wie die Pfeile in der Figur anzeigen, wobei der oben
erwähnte Spiegel 100 an einem Ausschnittsbereich 51 befestigt
ist, der in einem Teil des aus Metall hergestellten Drehteils 50 (z.
B. einer Röntgenstrahlungsschutzwand) geformt ist, wobei das
Drehteil halbkreisförmig geformt ist und die Probe S umgibt.
Mit diesem Röntgenstrahlungsdiffraktionsmessapparat wird
die gestreute Röntgenstrahlung, die von der Probe S erhalten
wird, erfasst, indem sie auf die vorbestimmte Stelle auf dem Röntgenfilm
(z. B. 2θ + α) fokussiert wird, während
das Drehteil 50 (z. B. die Röntgenstrahlungsschutzwand 50) über
einen vorbestimmten Winkel gedreht wird, angetrieben von z. B. einem
in der Figur nicht gezeigten Elektromotor oder dergleichen, wodurch
es möglich ist, Debye-Ringe zu erhalten, die einen Fehler
(oder eine Verschiebung) des Ortes beinhalten, wo die Probe angeordnet
ist, ohne die Messstärke oder -intensität und/oder
die Auflösungskraft zu verringern.
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Ferner
zeigt 5 den Aufbau des Röntgendiffraktionsmessapparats
mit daran befestigten Spiegeln 100, die jeweils aus dem
künstlichen Mehrschichtsystem aufgebaut sind, von denen
mehrere vorhanden sind und um die Probe S zentriert sind. Wie man
in der Figur erkennt, sind die Mehrzahl der Spiegel 100,
die jeweils aus den künstlichen Mehrfachschichten bestehen,
so montiert, dass sie die Probe S umgeben, wodurch es möglich
wird, den Schwenkbereich klein zu halten.
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Obwohl
bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel die Verwendung
eines Röntgenfilms 30 als Beispiel eines Teils
des Röntgenstrahlendetektors beschrieben wurde, ist die
vorliegende Erfindung nicht auf dessen Verwendung beschränkt
und es ist ebenfalls möglich, den Detektor als zweidimensionalen
Detektor in Zylinderform zu konstruieren mit einer bildformenden
Platte, einem zweidimensionalen CCD-Detektor, etc. Ferner, da Daten
aus der Nähe der Aquatorialebene der Röntgenbeugungs-Debye-Ringe
verwendet werden, ist es ebenfalls möglich, einen eindimensionalen
Detektor anstelle des oben erwähnten zweidimensionalen
Detektors zu verwenden.
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Ferner,
als eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung
ist es ebenfalls möglich, anstelle der Analyseeinheit mit
dem fächerförmigen Schlitz, wie er oben beschrieben
wurde (z. B. der fächerförmige Schlitz mit dem
darauf angeordneten Spiegel 100 aus künstlichem
Mehrfachschichten darauf), eine Analyseeinheit zu verwenden, bei
der der Spiegel 100 mit dem künstlichen Mehrschichtsystem plat tenförmig
gestaltet ist; und diese Analyseeinheit ist dann mit einer Mehrzahl
von Spiegeln konstruiert, die fächerartig angeordnet sind
(beispielsweise ein mehrschichtiger Spiegel 200 mit einer
Mehrzahl von Spiegeln), wodurch die Erfassungseffizienz gesteigert
wird.
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Es
ist möglich, das Obenstehende bei einer Hochgeschwindigkeitsmessung
in einem TDI-Modus anzuwenden, wobei der eindimensionale (oder der zweidimensionale)
Detektor verwendet wird. Bei dem in 6 gezeigten
Beispiel wird (1) der Spiegel 200 hergestellt, indem die
Mehrfachschichtspiegel 200 und ein Detektorelement 30' als
eine Einheit (siehe Bezugszeichen 300 in 6)
kombiniert werden, (2) ein CCD oder ein SSD als Detektor 30' verwendet und
(3) eine Messung durchgeführt während eines Durchscannens
in Drehrichtung (siehe den Pfeil in der Figur), während
die in 6 gezeigte Kombination beibehalten wird. Ferner
ist es mit dem in 6 gezeigten Beispiel möglich,
eine Messeffizienz zu erzielen, die ungefähr dreimal so
groß ist, indem die oben erwähnte Hochgeschwindigkeitsmessung durchgeführt
wird und diese Messeffizienz kann noch weiter gesteigert werden
in Abhängigkeit von der Anzahl der Kombinationen der Spiegel
und der Kristalle.
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Im
Folgenden werden Details der oben erwähnten Hochgeschwindigkeitsmessung
erläutert. Zwei (2) Sätze Detektoren werden nach
hinten und nach vorne um einen Winkel Δθ jeweils
bezüglich der Lage eines zentralen Detektors versetzt angeordnet (einschließlich
des Spiegels) (z. B. um 2θ). Wenn die Messung bei einem
Mittenwinkel von 2θ0 durchgeführt
wird, sind die Daten des Detektors 2θ0,
2θ0 + Δθ und
2θ0 – Δθ und
diese werden akkumuliert (oder addiert) zu Stärke- oder
Intensitätsdaten an den jeweiligen Positionen. Danach,
nach Änderung des Winkels 2θ um einen beliebigen
Winkelschritt, wird die Messung durchgeführt. Als ein Ergebnis,
wenn sich der Messschritt aus einer Division des Abstands zwischen
den Detektoren durch eine ganze Zahl (z. B. Δθ)
ergibt, bedeutet dies, dass die Messung an jedem Winkel dreimal
durchgeführt wird. Das bedeutet, dass die Messung bei einem
Scan-Durchgang dreimal effizienter erfolgen kann.
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Während
verschiedene Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung
gezeigt und beschrieben wurden, sollte verstanden werden, dass die
offenbarten Ausführungsformen Änderungen und Modifikationen
unterliegen können, ohne den Schutzbereich der Erfindung
zu verlassen. Es ist daher nicht beabsichtigt, sich auf die obenstehend
gezeigten und beschriebenen Details festzulegen, sondern es sollen alle Änderungen
und Modifikationen mit umfasst sein, die in den Schutzbereich der
beigefügten Ansprüche fallen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 8-62158 [0003]
- - JP 2003-149348 [0003]
- - JP 3721305 [0025]