JPH0862158A - シールド部材を備えたｘ線装置 - Google Patents
シールド部材を備えたｘ線装置Info
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- JPH0862158A JPH0862158A JP6222538A JP22253894A JPH0862158A JP H0862158 A JPH0862158 A JP H0862158A JP 6222538 A JP6222538 A JP 6222538A JP 22253894 A JP22253894 A JP 22253894A JP H0862158 A JPH0862158 A JP H0862158A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｘ線装置において、シールド部材の所で発生
する散乱Ｘ線がＸ線検出器に到達することを防止して、
信頼性の高い測定結果を得られるようにする。 【構成】 単結晶試料３はシールド部材９及び１０によ
って真空に密閉され、さらに通路６を流れる液体窒素に
よって冷却される。シールド部材１０の外側には、天板
１４に吊り下げられた複数のＸ線遮蔽板１５が試料３を
中心として放射状に配置される。コリメータ４を通過し
たＸ線はシールド部材９，１０を通過して試料３へ照射
され、回折Ｘ線は再びシールド部材９，１０を通過して
蓄積性蛍光体５へ到達して、その内部にエネルギ潜像を
形成する。シールド部材９，１０のＸ線通過点Ｐ１〜Ｐ
４で発生する散乱Ｘ線は、軸線Ｌ１を中心として回転移
動する複数のＸ線遮蔽板１５によって遮蔽されて蓄積性
蛍光体５には達しない。
する散乱Ｘ線がＸ線検出器に到達することを防止して、
信頼性の高い測定結果を得られるようにする。 【構成】 単結晶試料３はシールド部材９及び１０によ
って真空に密閉され、さらに通路６を流れる液体窒素に
よって冷却される。シールド部材１０の外側には、天板
１４に吊り下げられた複数のＸ線遮蔽板１５が試料３を
中心として放射状に配置される。コリメータ４を通過し
たＸ線はシールド部材９，１０を通過して試料３へ照射
され、回折Ｘ線は再びシールド部材９，１０を通過して
蓄積性蛍光体５へ到達して、その内部にエネルギ潜像を
形成する。シールド部材９，１０のＸ線通過点Ｐ１〜Ｐ
４で発生する散乱Ｘ線は、軸線Ｌ１を中心として回転移
動する複数のＸ線遮蔽板１５によって遮蔽されて蓄積性
蛍光体５には達しない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線回折装置等といっ
たＸ線装置に関する。特に、試料のまわりの雰囲気を高
温、低温、真空等といった特殊雰囲気に保持するため
に、その試料をシールド部材で覆った状態でＸ線を用い
た測定を行うＸ線装置に関する。
たＸ線装置に関する。特に、試料のまわりの雰囲気を高
温、低温、真空等といった特殊雰囲気に保持するため
に、その試料をシールド部材で覆った状態でＸ線を用い
た測定を行うＸ線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線を用いた分析装置は産業界において
広く用いられている。この種のＸ線装置として、試料に
Ｘ線を照射し、その試料で回折したＸ線を一次元Ｘ線検
出器又は二次元Ｘ線検出器によって検出するものが知ら
れている。一次元Ｘ線検出器というのは、直線上の一定
範囲内でＸ線を検出できるＸ線検出器のことである。ま
た、二次元Ｘ線検出器というのは、平面上の一定範囲内
でＸ線を検出できるＸ線検出器のことである。また、こ
の種のＸ線装置において、高温又は低温環境下における
試料の状態を解析するために、試料をシールド部材で密
閉し、その密閉状態で試料にＸ線を照射し、さらに回折
Ｘ線を検出するようにした装置も知られている。
広く用いられている。この種のＸ線装置として、試料に
Ｘ線を照射し、その試料で回折したＸ線を一次元Ｘ線検
出器又は二次元Ｘ線検出器によって検出するものが知ら
れている。一次元Ｘ線検出器というのは、直線上の一定
範囲内でＸ線を検出できるＸ線検出器のことである。ま
た、二次元Ｘ線検出器というのは、平面上の一定範囲内
でＸ線を検出できるＸ線検出器のことである。また、こ
の種のＸ線装置において、高温又は低温環境下における
試料の状態を解析するために、試料をシールド部材で密
閉し、その密閉状態で試料にＸ線を照射し、さらに回折
Ｘ線を検出するようにした装置も知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、シール
ド部材を用いた従来のＸ線装置においては、Ｘ線源から
出て試料へ向かうＸ線がシールド部材を通過し、また、
試料で回折して一次元Ｘ線検出器又は二次元Ｘ線検出器
へ向かう回折Ｘ線がシールド部材を通過する。Ｘ線がシ
ールド部材を通過するときには、その通過点から散乱Ｘ
線が放射され、その散乱Ｘ線が一次元Ｘ線検出器又は二
次元Ｘ線検出器によって検出されるおそれがある。本来
検出されるべき試料からの回折Ｘ線以外に余分な散乱Ｘ
線がＸ線検出器によって検出されると、ノイズ成分が大
きくなるので、信頼性の高い測定を行うことができな
い。
ド部材を用いた従来のＸ線装置においては、Ｘ線源から
出て試料へ向かうＸ線がシールド部材を通過し、また、
試料で回折して一次元Ｘ線検出器又は二次元Ｘ線検出器
へ向かう回折Ｘ線がシールド部材を通過する。Ｘ線がシ
ールド部材を通過するときには、その通過点から散乱Ｘ
線が放射され、その散乱Ｘ線が一次元Ｘ線検出器又は二
次元Ｘ線検出器によって検出されるおそれがある。本来
検出されるべき試料からの回折Ｘ線以外に余分な散乱Ｘ
線がＸ線検出器によって検出されると、ノイズ成分が大
きくなるので、信頼性の高い測定を行うことができな
い。
【０００４】本発明は、上記の問題点を解消するために
なされたものであって、シールド部材を用いたＸ線装置
において、主にシールド部材の所で発生する散乱Ｘ線が
Ｘ線検出器に到達することを防止して、信頼性の高い測
定結果を得られるようにすることを目的とする。
なされたものであって、シールド部材を用いたＸ線装置
において、主にシールド部材の所で発生する散乱Ｘ線が
Ｘ線検出器に到達することを防止して、信頼性の高い測
定結果を得られるようにすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るＸ線装置は、試料のまわりをシールド
部材で覆った状態で試料にＸ線を照射し、試料で回折し
たＸ線を一次元Ｘ線検出手段又は二次元Ｘ線検出手段に
よって検出するＸ線装置において、少なくとも一次元Ｘ
線検出手段又は二次元Ｘ線検出手段とシールド部材との
間にＸ線遮蔽用スリット部材を配置し、そのＸ線遮蔽用
スリット部材をスリット移動手段によって移動させるこ
とを特徴とする。Ｘ線遮蔽用スリット部材は、複数のＸ
線遮蔽板を所定間隔をおいて並べることによって形成さ
れ、さらに、スリット移動手段は、各Ｘ線遮蔽板が試料
に対して平行移動又は試料を中心として回転するように
Ｘ線遮蔽用スリット部材を移動させる。
め、本発明に係るＸ線装置は、試料のまわりをシールド
部材で覆った状態で試料にＸ線を照射し、試料で回折し
たＸ線を一次元Ｘ線検出手段又は二次元Ｘ線検出手段に
よって検出するＸ線装置において、少なくとも一次元Ｘ
線検出手段又は二次元Ｘ線検出手段とシールド部材との
間にＸ線遮蔽用スリット部材を配置し、そのＸ線遮蔽用
スリット部材をスリット移動手段によって移動させるこ
とを特徴とする。Ｘ線遮蔽用スリット部材は、複数のＸ
線遮蔽板を所定間隔をおいて並べることによって形成さ
れ、さらに、スリット移動手段は、各Ｘ線遮蔽板が試料
に対して平行移動又は試料を中心として回転するように
Ｘ線遮蔽用スリット部材を移動させる。
【０００６】一次元Ｘ線検出手段というのは、直線上の
一定範囲内でＸ線を検出できるＸ線検出器のことであ
り、具体的には、いわゆるＰＳＰＣ（Position Sensiti
ve Proportional Counter ）が考えられる。二次元Ｘ線
検出手段というのは、平面上の一定範囲内でＸ線を検出
できるＸ線検出器のことであり、具体的には、Ｘ線感光
フィルム、蓄積性蛍光体等を用いることができる。
一定範囲内でＸ線を検出できるＸ線検出器のことであ
り、具体的には、いわゆるＰＳＰＣ（Position Sensiti
ve Proportional Counter ）が考えられる。二次元Ｘ線
検出手段というのは、平面上の一定範囲内でＸ線を検出
できるＸ線検出器のことであり、具体的には、Ｘ線感光
フィルム、蓄積性蛍光体等を用いることができる。
【０００７】Ｘ線遮蔽用スリット部材は、少なくとも一
次元Ｘ線検出手段又は二次元Ｘ線検出手段とシールド部
材との間に配置されていれば良いのであるが、望ましく
は、試料の全域を覆うような円環状に形成される。そし
て、Ｘ線遮蔽用スリット部材をこのように円環状に形成
した場合には、スリット移動手段は、そのＸ線遮蔽用ス
リット部材を試料を中心として一方向へ連続回転移動さ
せる。
次元Ｘ線検出手段又は二次元Ｘ線検出手段とシールド部
材との間に配置されていれば良いのであるが、望ましく
は、試料の全域を覆うような円環状に形成される。そし
て、Ｘ線遮蔽用スリット部材をこのように円環状に形成
した場合には、スリット移動手段は、そのＸ線遮蔽用ス
リット部材を試料を中心として一方向へ連続回転移動さ
せる。
【０００８】Ｘ線遮蔽用スリット部材を構成する各Ｘ線
遮蔽板は、望ましくは、試料を中心として放射状に並べ
られる。但し、絶対に放射状に並べなければならないと
いうことではなく、円環状の一部分に、各Ｘ線遮蔽板が
互いに平行に並べられた領域が含まれるような場合も考
えられる。
遮蔽板は、望ましくは、試料を中心として放射状に並べ
られる。但し、絶対に放射状に並べなければならないと
いうことではなく、円環状の一部分に、各Ｘ線遮蔽板が
互いに平行に並べられた領域が含まれるような場合も考
えられる。
【０００９】Ｘ線遮蔽用スリット部材の形状は種々に改
変できる。例えば、Ｘ線遮蔽用スリット部材をＸ線光路
を境としてその両側に分割し、それらのＸ線遮蔽用スリ
ット部材の間を通してコリメータをシールド部材の近く
まで延ばすことができる。コリメータは、Ｘ線源から出
て試料へ向かうＸ線を細い線束に成形するためのＸ線部
品である。またそれとは別に、Ｘ線遮蔽用スリット部材
のコリメータ側の所定角度範囲をＸ線遮蔽板を設けない
空間領域とし、その空間領域を通してコリメータをシー
ルド部材の近くまで延ばすことができる。この場合、上
記スリット移動手段は、Ｘ線遮蔽板がコリメータに当た
らない範囲でＸ線遮蔽用スリット部材を往復揺動回転移
動させる。
変できる。例えば、Ｘ線遮蔽用スリット部材をＸ線光路
を境としてその両側に分割し、それらのＸ線遮蔽用スリ
ット部材の間を通してコリメータをシールド部材の近く
まで延ばすことができる。コリメータは、Ｘ線源から出
て試料へ向かうＸ線を細い線束に成形するためのＸ線部
品である。またそれとは別に、Ｘ線遮蔽用スリット部材
のコリメータ側の所定角度範囲をＸ線遮蔽板を設けない
空間領域とし、その空間領域を通してコリメータをシー
ルド部材の近くまで延ばすことができる。この場合、上
記スリット移動手段は、Ｘ線遮蔽板がコリメータに当た
らない範囲でＸ線遮蔽用スリット部材を往復揺動回転移
動させる。
【００１０】
【作用】本発明のＸ線装置では、シールド部材とＸ線検
出手段との間に複数個のＸ線遮蔽板を所定間隔で配列し
たので、シールド部材の所で散乱Ｘ線が発生しても、そ
の散乱Ｘ線の進路はＸ線遮蔽板によって妨げられ、よっ
て、Ｘ線検出手段が散乱Ｘ線を検出することがなくな
る。これにより、Ｘ線検出手段のノイズ成分が低減され
る。また、Ｘ線遮蔽用スリット部材のＸ線遮蔽板を試料
に対して平行移動又は試料中心に対して回転させるよう
にしたので、試料で回折した回折Ｘ線は平均化されてＸ
線検出手段へ導かれ、確実に検出される。以上の相乗作
用により、Ｘ線検出手段には、ノイズレベルが低くて信
頼性の高い測定結果が得られる。
出手段との間に複数個のＸ線遮蔽板を所定間隔で配列し
たので、シールド部材の所で散乱Ｘ線が発生しても、そ
の散乱Ｘ線の進路はＸ線遮蔽板によって妨げられ、よっ
て、Ｘ線検出手段が散乱Ｘ線を検出することがなくな
る。これにより、Ｘ線検出手段のノイズ成分が低減され
る。また、Ｘ線遮蔽用スリット部材のＸ線遮蔽板を試料
に対して平行移動又は試料中心に対して回転させるよう
にしたので、試料で回折した回折Ｘ線は平均化されてＸ
線検出手段へ導かれ、確実に検出される。以上の相乗作
用により、Ｘ線検出手段には、ノイズレベルが低くて信
頼性の高い測定結果が得られる。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明をＸ線振動写真装置に適用し
た場合の実施例を示している。この装置は、ポイントフ
ォーカスのＸ線源１と、Ｘ線源１から放射されたＸ線か
ら特定波長のＸ線を取り出す、すなわち単色化する単結
晶モノクロメータ２と、単色化されたＸ線を細い線束に
成形して単結晶試料３へ導くコリメータ４と、そして二
次元Ｘ線検出手段の一つである方形状の蓄積性蛍光体５
とを有している。
た場合の実施例を示している。この装置は、ポイントフ
ォーカスのＸ線源１と、Ｘ線源１から放射されたＸ線か
ら特定波長のＸ線を取り出す、すなわち単色化する単結
晶モノクロメータ２と、単色化されたＸ線を細い線束に
成形して単結晶試料３へ導くコリメータ４と、そして二
次元Ｘ線検出手段の一つである方形状の蓄積性蛍光体５
とを有している。
【００１２】蓄積性蛍光体は、輝尽性蛍光体とも呼ばれ
るＸ線等の感応体のことであり、Ｘ線等をエネルギの形
で蓄積することができ、さらに、輝尽励起光の照射によ
りそのエネルギを外部に光として放出できる性質を有す
る物体である。つまり、蓄積性蛍光体にＸ線等の放射線
を照射すると、その照射された部分に対応する蓄積性蛍
光体内にエネルギが潜像として蓄積され、さらにその蓄
積性蛍光体にレーザ光等の輝尽励起光を照射すると上記
潜像エネルギが光となって外部へ放出される。
るＸ線等の感応体のことであり、Ｘ線等をエネルギの形
で蓄積することができ、さらに、輝尽励起光の照射によ
りそのエネルギを外部に光として放出できる性質を有す
る物体である。つまり、蓄積性蛍光体にＸ線等の放射線
を照射すると、その照射された部分に対応する蓄積性蛍
光体内にエネルギが潜像として蓄積され、さらにその蓄
積性蛍光体にレーザ光等の輝尽励起光を照射すると上記
潜像エネルギが光となって外部へ放出される。
【００１３】図２に示すように、試料３は、冷媒通路６
を備えた試料支持台７によって支持される。試料支持台
７には試料回転装置８が接続され、この試料回転装置８
によって駆動されて試料３が垂直軸線Ｌ１を中心として
所定の角度範囲、例えば１０°程度の角度範囲で矢印ω
のように往復揺動回転する。試料３は、内側シールド部
材９及び外側シールド部材１０から成る２重シールド構
造によって密閉されている。各シールド部材９及び１０
は、例えば、ステンレス、しんちゅう等によって円筒形
状に形成されていて、Ｘ線光路Ｒに相当する部分にＸ線
を透過可能な材料、例えばベリリウムによって形成され
たＸ線透過窓１１が設けられている。
を備えた試料支持台７によって支持される。試料支持台
７には試料回転装置８が接続され、この試料回転装置８
によって駆動されて試料３が垂直軸線Ｌ１を中心として
所定の角度範囲、例えば１０°程度の角度範囲で矢印ω
のように往復揺動回転する。試料３は、内側シールド部
材９及び外側シールド部材１０から成る２重シールド構
造によって密閉されている。各シールド部材９及び１０
は、例えば、ステンレス、しんちゅう等によって円筒形
状に形成されていて、Ｘ線光路Ｒに相当する部分にＸ線
を透過可能な材料、例えばベリリウムによって形成され
たＸ線透過窓１１が設けられている。
【００１４】内側シールド部材９の内部は排気ポンプ１
２によって排気されてほぼ真空状態に設定され、さらに
外側シールド部材１０の内部は他の排気ポンプ１３によ
って排気されてほぼ真空状態に設定される。また、冷媒
通路６には例えば液体窒素が流され、内側シールド部材
９の内部、すなわち試料３のまわりが冷却される。シー
ルド部材９及び１０によって試料３のまわりを真空状態
に維持するのは、主に、断熱によって試料３のまわりを
確実に冷却し、さらに、試料３のまわりの結露を防止す
るためである。なお、シールド構造は、上記のような２
重構造に限られず、３重又はそれ以上の多重構造とする
こともできる。また、真空状態にすることが目的であっ
て、断熱の必要性がない場合には、１重構造とすること
もできる。
２によって排気されてほぼ真空状態に設定され、さらに
外側シールド部材１０の内部は他の排気ポンプ１３によ
って排気されてほぼ真空状態に設定される。また、冷媒
通路６には例えば液体窒素が流され、内側シールド部材
９の内部、すなわち試料３のまわりが冷却される。シー
ルド部材９及び１０によって試料３のまわりを真空状態
に維持するのは、主に、断熱によって試料３のまわりを
確実に冷却し、さらに、試料３のまわりの結露を防止す
るためである。なお、シールド構造は、上記のような２
重構造に限られず、３重又はそれ以上の多重構造とする
こともできる。また、真空状態にすることが目的であっ
て、断熱の必要性がない場合には、１重構造とすること
もできる。
【００１５】外側シールド部材１０の外側には、Ｘ線遮
蔽用スリット部材１６が配設される。このＸ線遮蔽用ス
リット部材１６は、円盤状の天板１４に吊り下げられた
多数のＸ線遮蔽板１５を有している。これらのＸ線遮蔽
板１５は、例えばステンレス、アルミニウム等によって
形成されていて、それらの下端はリング形状の底板１７
によって結束されている。各Ｘ線遮蔽板１５を配列して
形成したＸ線遮蔽用スリット部材１６は、図３に示すよ
うに、試料３を中心とする円環状に形成され、そして、
各Ｘ線遮蔽板１５は、試料３を中心とした放射状に並べ
られている。
蔽用スリット部材１６が配設される。このＸ線遮蔽用ス
リット部材１６は、円盤状の天板１４に吊り下げられた
多数のＸ線遮蔽板１５を有している。これらのＸ線遮蔽
板１５は、例えばステンレス、アルミニウム等によって
形成されていて、それらの下端はリング形状の底板１７
によって結束されている。各Ｘ線遮蔽板１５を配列して
形成したＸ線遮蔽用スリット部材１６は、図３に示すよ
うに、試料３を中心とする円環状に形成され、そして、
各Ｘ線遮蔽板１５は、試料３を中心とした放射状に並べ
られている。
【００１６】図２において、Ｘ線遮蔽用スリット部材１
６の天板１４にはスリット移動装置１８が接続され、こ
のスリット移動装置１８によって駆動されて天板１４、
従って、各Ｘ線遮蔽板１５が図１及び図３に矢印Ａで示
すように、試料３を中心として一定方向へ連続回転す
る。図２において、外側シールド部材１０の右側面とＸ
線遮蔽板１５との間のＸ線光路上に、Ｘ線のダイレクト
ビームの進行を阻止するビームストッパ１９が配設され
る。
６の天板１４にはスリット移動装置１８が接続され、こ
のスリット移動装置１８によって駆動されて天板１４、
従って、各Ｘ線遮蔽板１５が図１及び図３に矢印Ａで示
すように、試料３を中心として一定方向へ連続回転す
る。図２において、外側シールド部材１０の右側面とＸ
線遮蔽板１５との間のＸ線光路上に、Ｘ線のダイレクト
ビームの進行を阻止するビームストッパ１９が配設され
る。
【００１７】以下、上記構成より成るＸ線装置について
その動作を説明する。
その動作を説明する。
【００１８】図２において、冷媒通路６に沿って液体窒
素が流されて単結晶試料３のまわりが冷却され、さらに
排気ポンプ１２及び１３によって内側シールド部材９及
び外側シールド部材１０の内部が排気されて真空状態に
設定される。この真空により、各シールド部材９，１０
の内部が外部から断熱されて試料３のまわりの低温状態
が確実に保持される。また、試料３のまわりに結露が生
じることが防止される。
素が流されて単結晶試料３のまわりが冷却され、さらに
排気ポンプ１２及び１３によって内側シールド部材９及
び外側シールド部材１０の内部が排気されて真空状態に
設定される。この真空により、各シールド部材９，１０
の内部が外部から断熱されて試料３のまわりの低温状態
が確実に保持される。また、試料３のまわりに結露が生
じることが防止される。
【００１９】図１において、Ｘ線源１から放射されたＸ
線、すなわち連続Ｘ線がモノクロメータ２によって単色
化されて所定波長のＸ線が取り出される。そのＸ線は、
コリメータ４によって細径の平行ビームに成形され、そ
の後、単結晶試料３に照射される。単結晶試料３は、試
料回転装置８によって駆動されて軸線Ｌ１を中心として
矢印ωのように所定角度範囲内で揺動回転しており、入
射Ｘ線との間で回折条件、いわゆるブラッグの回折条件
が満たされたときにＸ線の回折が生じる。この回折Ｘ線
は蓄積性蛍光体５に到達してその内部にエネルギ潜像を
蓄積する。試料３は所定角度範囲で揺動回転、すなわち
振動するので、回折Ｘ線は漏れなく検出される。回折Ｘ
線を検出した蓄積性蛍光体５は、その後、図示しない別
の処理ステージに持ち運ばれ、レーザ光の照射による読
み取り処理を受ける。
線、すなわち連続Ｘ線がモノクロメータ２によって単色
化されて所定波長のＸ線が取り出される。そのＸ線は、
コリメータ４によって細径の平行ビームに成形され、そ
の後、単結晶試料３に照射される。単結晶試料３は、試
料回転装置８によって駆動されて軸線Ｌ１を中心として
矢印ωのように所定角度範囲内で揺動回転しており、入
射Ｘ線との間で回折条件、いわゆるブラッグの回折条件
が満たされたときにＸ線の回折が生じる。この回折Ｘ線
は蓄積性蛍光体５に到達してその内部にエネルギ潜像を
蓄積する。試料３は所定角度範囲で揺動回転、すなわち
振動するので、回折Ｘ線は漏れなく検出される。回折Ｘ
線を検出した蓄積性蛍光体５は、その後、図示しない別
の処理ステージに持ち運ばれ、レーザ光の照射による読
み取り処理を受ける。
【００２０】上記のＸ線測定が行われている間、図３に
おいて、Ｘ線は外側シールド部材１０及び内側シールド
部材９を点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４の所で通過し、この
とき、それらの通過点から散乱Ｘ線が発生する。何等の
措置も講じられていない従来のＸ線装置では、これらの
散乱Ｘ線が蓄積性蛍光体５に到達して不要なノイズ成分
として残ってしまい、測定の信頼性を劣化させていた。
これに対し本実施例では、外側シールド部材１０のさら
に外側に複数のＸ線遮蔽板１５を配置したので、それら
のＸ線遮蔽板１５によって散乱Ｘ線の進行が阻止され、
それが蓄積性蛍光体５に到達することが防止される。
おいて、Ｘ線は外側シールド部材１０及び内側シールド
部材９を点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４の所で通過し、この
とき、それらの通過点から散乱Ｘ線が発生する。何等の
措置も講じられていない従来のＸ線装置では、これらの
散乱Ｘ線が蓄積性蛍光体５に到達して不要なノイズ成分
として残ってしまい、測定の信頼性を劣化させていた。
これに対し本実施例では、外側シールド部材１０のさら
に外側に複数のＸ線遮蔽板１５を配置したので、それら
のＸ線遮蔽板１５によって散乱Ｘ線の進行が阻止され、
それが蓄積性蛍光体５に到達することが防止される。
【００２１】一方、試料３で回折した回折Ｘ線は、各Ｘ
線遮蔽板１５の間に形成される空間を通って蓄積性蛍光
体５へ導かれ、その内部にエネルギ潜像を形成する。特
に、本実施例では、各Ｘ線遮蔽板１５が試料３を中心と
して放射状に配列されているので、回折Ｘ線は各Ｘ線遮
蔽板１５の間を正確に通過する。また、矢印Ａのように
各Ｘ線遮蔽板１５を一定方向へ連続回転させるので、回
折Ｘ線の進行がＸ線遮蔽板１５によって特定の位置で阻
止されることがなく、蓄積性蛍光体５内に平均化された
エネルギ潜像が得られる。
線遮蔽板１５の間に形成される空間を通って蓄積性蛍光
体５へ導かれ、その内部にエネルギ潜像を形成する。特
に、本実施例では、各Ｘ線遮蔽板１５が試料３を中心と
して放射状に配列されているので、回折Ｘ線は各Ｘ線遮
蔽板１５の間を正確に通過する。また、矢印Ａのように
各Ｘ線遮蔽板１５を一定方向へ連続回転させるので、回
折Ｘ線の進行がＸ線遮蔽板１５によって特定の位置で阻
止されることがなく、蓄積性蛍光体５内に平均化された
エネルギ潜像が得られる。
【００２２】試料３の右側において、外側シールド部材
１０とＸ線遮蔽用スリット部材１６との間に配設された
ビームストッパ１９は、Ｘ線のダイレクトビームがＸ線
遮蔽板１５及び蓄積性蛍光体５に照射されるのを防止す
る。特に、Ｘ線遮蔽板１５にダイレクトビームが当たる
のを防止することにより、そのＸ線遮蔽板１５から散乱
Ｘ線が発生することを防止できる。
１０とＸ線遮蔽用スリット部材１６との間に配設された
ビームストッパ１９は、Ｘ線のダイレクトビームがＸ線
遮蔽板１５及び蓄積性蛍光体５に照射されるのを防止す
る。特に、Ｘ線遮蔽板１５にダイレクトビームが当たる
のを防止することにより、そのＸ線遮蔽板１５から散乱
Ｘ線が発生することを防止できる。
【００２３】図４は、本発明に係るＸ線装置の他の実施
例を示している。この実施例が、図２に示した先の実施
例と異なる点は、Ｘ線遮蔽用スリット部材をＸ線光路Ｒ
を境としてその両側、すなわち図の上下両側に分割し
て、上側Ｘ線遮蔽用スリット部材１６ａ及び下側Ｘ線遮
蔽用スリット部材１６ｂの２個のＸ線遮蔽用スリット部
材を設け、それらのＸ線遮蔽用スリット部材１６ａ及び
１６ｂの間に形成される空間を通してコリメータ４を外
側シールド部材１０の近くまで延ばしたことである。上
下の各Ｘ線遮蔽用スリット部材１６ａ及び１６ｂは、そ
れぞれ、上側スリット移動装置１８ａ及び下側スリット
移動装置１８ｂによって個別に駆動される。もちろん、
適宜の駆動伝達系を用いることにより１個の駆動源によ
って各Ｘ線遮蔽用スリット部材１６ａ及び１６ｂを駆動
するように構成することもできる。本実施例によれば、
コリメータ４を外側シールド部材１０に近い位置まで延
ばしたことにより、コリメータ４から出たＸ線が空気に
よって散乱することを防止できる。
例を示している。この実施例が、図２に示した先の実施
例と異なる点は、Ｘ線遮蔽用スリット部材をＸ線光路Ｒ
を境としてその両側、すなわち図の上下両側に分割し
て、上側Ｘ線遮蔽用スリット部材１６ａ及び下側Ｘ線遮
蔽用スリット部材１６ｂの２個のＸ線遮蔽用スリット部
材を設け、それらのＸ線遮蔽用スリット部材１６ａ及び
１６ｂの間に形成される空間を通してコリメータ４を外
側シールド部材１０の近くまで延ばしたことである。上
下の各Ｘ線遮蔽用スリット部材１６ａ及び１６ｂは、そ
れぞれ、上側スリット移動装置１８ａ及び下側スリット
移動装置１８ｂによって個別に駆動される。もちろん、
適宜の駆動伝達系を用いることにより１個の駆動源によ
って各Ｘ線遮蔽用スリット部材１６ａ及び１６ｂを駆動
するように構成することもできる。本実施例によれば、
コリメータ４を外側シールド部材１０に近い位置まで延
ばしたことにより、コリメータ４から出たＸ線が空気に
よって散乱することを防止できる。
【００２４】図５は、本発明に係るＸ線装置のさらに他
の実施例を示している。この実施例が、図３に示した先
の実施例と異なる点は、Ｘ線遮蔽用スリット部材２６の
コリメータ４側の所定角度範囲δをＸ線遮蔽板１５を設
けない空間領域として設定し、その空間領域δを通して
コリメータ４を外側シールド部材１０の近くまで延ばし
たことである。またこの場合、Ｘ線遮蔽用スリット部材
２６は、矢印Ｂ−Ｂ’のように、コリメータ４に当たら
ない範囲で往復揺動回転する。この実施例でも、コリメ
ータ４を外側シールド部材１０に近い位置まで延ばした
ことにより、コリメータ４から出たＸ線が空気によって
散乱することを防止できる。
の実施例を示している。この実施例が、図３に示した先
の実施例と異なる点は、Ｘ線遮蔽用スリット部材２６の
コリメータ４側の所定角度範囲δをＸ線遮蔽板１５を設
けない空間領域として設定し、その空間領域δを通して
コリメータ４を外側シールド部材１０の近くまで延ばし
たことである。またこの場合、Ｘ線遮蔽用スリット部材
２６は、矢印Ｂ−Ｂ’のように、コリメータ４に当たら
ない範囲で往復揺動回転する。この実施例でも、コリメ
ータ４を外側シールド部材１０に近い位置まで延ばした
ことにより、コリメータ４から出たＸ線が空気によって
散乱することを防止できる。
【００２５】以上、好ましい実施例をあげて本発明を説
明したが、本発明はそれらの実施例に限定されるもので
はなく、請求の範囲に記載した技術的範囲内で種々に改
変できる。例えば本発明は、図１に示したようなＸ線振
動写真装置に適用する場合に限られず、任意のＸ線装置
に適用できる。また、Ｘ線検出器としては、蓄積性蛍光
体５以外の任意の二次元Ｘ線検出器、例えばＸ線感光フ
ィルム等を用いることができる。また、ＰＳＰＣ等の一
次元Ｘ線検出器を用いることもできる。
明したが、本発明はそれらの実施例に限定されるもので
はなく、請求の範囲に記載した技術的範囲内で種々に改
変できる。例えば本発明は、図１に示したようなＸ線振
動写真装置に適用する場合に限られず、任意のＸ線装置
に適用できる。また、Ｘ線検出器としては、蓄積性蛍光
体５以外の任意の二次元Ｘ線検出器、例えばＸ線感光フ
ィルム等を用いることができる。また、ＰＳＰＣ等の一
次元Ｘ線検出器を用いることもできる。
【００２６】ＰＳＰＣは、位置感応型Ｘ線検出器等とも
呼ばれていてそれ自体周知のＸ線検出器であるので、詳
しい説明は省略するが、基本的には図６に示すように、
Ｘ線取り込み用の窓２１を備えたケーシング２２の内部
に電極線２３を張設したものである。このＰＳＰＣで
は、Ｘ線源１から出て試料３で回折したＸ線が窓２１を
介してケーシング２２の内部へ取り込まれると、Ｘ線が
取り込まれた角度位置に対応した所の電極線２３に電荷
が誘導される。よって、その誘導された電荷をカウント
すると共にその角度位置を検出することにより、直線範
囲内でＸ線を検出する。
呼ばれていてそれ自体周知のＸ線検出器であるので、詳
しい説明は省略するが、基本的には図６に示すように、
Ｘ線取り込み用の窓２１を備えたケーシング２２の内部
に電極線２３を張設したものである。このＰＳＰＣで
は、Ｘ線源１から出て試料３で回折したＸ線が窓２１を
介してケーシング２２の内部へ取り込まれると、Ｘ線が
取り込まれた角度位置に対応した所の電極線２３に電荷
が誘導される。よって、その誘導された電荷をカウント
すると共にその角度位置を検出することにより、直線範
囲内でＸ線を検出する。
【００２７】図３に示す実施例では、複数のＸ線遮蔽板
１５が試料３を中心とする放射状に配列されている。し
かしながらＸ線遮蔽板１５は、必ずしも放射状に配列し
なければならないというものではなく、例えば、部分的
にはいくつかのＸ線遮蔽板１５が互いに平行に配列され
ていても良い。この場合でも、各Ｘ線遮蔽板１５は回転
移動又は揺動回転移動されるので、Ｘ線検出器５には常
に平均化された回折Ｘ線が供給され、よって、測定結果
にはそれほど悪影響は生じない。
１５が試料３を中心とする放射状に配列されている。し
かしながらＸ線遮蔽板１５は、必ずしも放射状に配列し
なければならないというものではなく、例えば、部分的
にはいくつかのＸ線遮蔽板１５が互いに平行に配列され
ていても良い。この場合でも、各Ｘ線遮蔽板１５は回転
移動又は揺動回転移動されるので、Ｘ線検出器５には常
に平均化された回折Ｘ線が供給され、よって、測定結果
にはそれほど悪影響は生じない。
【００２８】
【発明の効果】請求項１記載のＸ線装置によれば、少な
くともシールド部材とＸ線検出手段との間に、試料に対
して平行移動又は試料中心に対して回転するＸ線遮蔽板
を設けたので、シールド部材の所で発生する散乱Ｘ線が
Ｘ線検出手段に到達することをそのＸ線遮蔽板によって
防止でき、その結果、ノイズ成分が低くて信頼性の高い
Ｘ線回折像をＸ線検出手段上に得ることができる。
くともシールド部材とＸ線検出手段との間に、試料に対
して平行移動又は試料中心に対して回転するＸ線遮蔽板
を設けたので、シールド部材の所で発生する散乱Ｘ線が
Ｘ線検出手段に到達することをそのＸ線遮蔽板によって
防止でき、その結果、ノイズ成分が低くて信頼性の高い
Ｘ線回折像をＸ線検出手段上に得ることができる。
【００２９】請求項２記載のＸ線装置によれば、Ｘ線遮
蔽用スリット部材の形状及びその移動のさせ方を簡単に
することができる。
蔽用スリット部材の形状及びその移動のさせ方を簡単に
することができる。
【００３０】請求項３記載のＸ線装置によれば、散乱Ｘ
線の進行をＸ線遮蔽板によって効果的に阻止しつつ、し
かし試料で回折したＸ線はＸ線遮蔽板によって遮ること
なく確実にＸ線検出手段へ導くことができる。
線の進行をＸ線遮蔽板によって効果的に阻止しつつ、し
かし試料で回折したＸ線はＸ線遮蔽板によって遮ること
なく確実にＸ線検出手段へ導くことができる。
【００３１】請求項４及び請求項５記載のＸ線装置によ
れば、コリメータをできるだけシールド部材へ近付ける
ことにより、Ｘ線の空気散乱を可能な限り防止できる。
れば、コリメータをできるだけシールド部材へ近付ける
ことにより、Ｘ線の空気散乱を可能な限り防止できる。
【００３２】請求項６記載のＸ線装置は、いわゆるＸ線
振動写真法に本発明を適用した場合を想定している。シ
ールド部材とＸ線検出手段との間にＸ線遮蔽用スリット
部材を設け、さらにそれを試料に対して平行移動又は試
料中心に対して回転させるという構成をＸ線振動写真法
に採用すれば、ノイズ成分が低くて信頼性の高い測定結
果を得ることに関して特に有効である。
振動写真法に本発明を適用した場合を想定している。シ
ールド部材とＸ線検出手段との間にＸ線遮蔽用スリット
部材を設け、さらにそれを試料に対して平行移動又は試
料中心に対して回転させるという構成をＸ線振動写真法
に採用すれば、ノイズ成分が低くて信頼性の高い測定結
果を得ることに関して特に有効である。
【００３３】
【図１】本発明に係るＸ線装置の一実施例の全体を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】同Ｘ線装置の要部、特に試料のまわりの構造を
示す正面断面図である。
示す正面断面図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に従った平面断
面図である。
面図である。
【図４】本発明に係るＸ線装置の他の実施例の要部を示
す正面断面図である。
す正面断面図である。
【図５】本発明に係るＸ線装置のさらに他の実施例の要
部を示す平面断面図である。
部を示す平面断面図である。
【図６】Ｘ線検出手段の一実施例、特に一次元Ｘ線検出
手段の一実施例であるＰＳＰＣの概略を示す斜視図であ
る。
手段の一実施例であるＰＳＰＣの概略を示す斜視図であ
る。
１ Ｘ線源 ２ 単結晶モノクロメータ ３ 単結晶試料 ４ コリメータ ５ 蓄積性蛍光体（二次元Ｘ線検出手段） ６ 冷媒通路 ７ 試料支持台 ８ 試料回転装置 ９ 内側シールド部材 １０ 外側シールド部材 １１ Ｘ線通過用窓 １２，１３ 排気ポンプ １４ 天板 １５ Ｘ線遮蔽板 １６ Ｘ線遮蔽用スリット部材 １７ 底板 １８ スリット移動装置 １９ ビームストッパ
Claims (6)
- 【請求項１】 試料のまわりをシールド部材で覆った状
態で試料にＸ線を照射し、試料で回折したＸ線を一次元
Ｘ線検出手段又は二次元Ｘ線検出手段によって検出する
Ｘ線装置において、 少なくとも一次元Ｘ線検出手段又は二次元Ｘ線検出手段
とシールド部材との間に配置されていて、複数のＸ線遮
蔽板を所定間隔をおいて並べることによって形成された
Ｘ線遮蔽用スリット部材と、 各Ｘ線遮蔽板が試料に対して平行移動するようにＸ線遮
蔽用スリット部材を移動させるスリット移動手段とを有
することを特徴とするシールド部材を備えたＸ線装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のシールド部材を備えたＸ
線装置において、 上記複数のＸ線遮蔽板は試料を中心とする円環状に配列
され、そしてスリット移動手段は、それらのＸ線遮蔽板
を試料を中心として一方向へ連続回転移動させることを
特徴とするシールド部材を備えたＸ線装置。 - 【請求項３】 請求項２記載のシールド部材を備えたＸ
線装置において、Ｘ線遮蔽用スリット部材の各Ｘ線遮蔽
板は、試料を中心として放射状に並べられることを特徴
とするシールド部材を備えたＸ線装置。 - 【請求項４】 請求項２又は請求項３記載のシールド部
材を備えたＸ線装置において、試料へ向かうＸ線を細い
線束に成形するコリメータを有しており、Ｘ線遮蔽用ス
リット部材をＸ線光路を境としてその両側に分割し、そ
れらのＸ線遮蔽用スリット部材の間を通してコリメータ
をシールド部材の近くまで延ばすことを特徴とするシー
ルド部材を備えたＸ線装置。 - 【請求項５】 請求項２又は請求項３記載のシールド部
材を備えたＸ線装置において、試料へ向かうＸ線を細い
線束に成形するコリメータを有しており、Ｘ線遮蔽用ス
リット部材のコリメータ側の所定角度範囲をＸ線遮蔽板
を設けない空間領域とし、その空間領域を通してコリメ
ータをシールド部材の近くまで延ばし、上記スリット移
動手段はＸ線遮蔽板がコリメータに当たらない範囲でＸ
線遮蔽用スリット部材を往復揺動回転移動させることを
特徴とするシールド部材を備えたＸ線装置。 - 【請求項６】 試料のまわりをシールド部材で覆った状
態で試料にＸ線を照射し、試料で回折したＸ線を二次元
Ｘ線検出手段によって検出するＸ線装置において、 ポイントフォーカスのＸ線を照射するＸ線源と、 Ｘ線源から放射されたＸ線を単色化するモノクロメータ
と、 試料へ向かうＸ線を細い線束に成形するコリメータと、 試料を所定角度範囲で往復回転移動させる試料回転手段
と、 少なくとも二次元Ｘ線検出手段とシールド部材との間に
配置されていて、複数のＸ線遮蔽板を所定間隔をおいて
並べることによって形成されたＸ線遮蔽用スリット部材
と、 各Ｘ線遮蔽板が試料を中心として回転するようにＸ線遮
蔽用スリット部材を移動させるスリット移動手段とを有
することを特徴とするシールド部材を備えたＸ線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6222538A JPH0862158A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | シールド部材を備えたｘ線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6222538A JPH0862158A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | シールド部材を備えたｘ線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862158A true JPH0862158A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16784013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6222538A Pending JPH0862158A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | シールド部材を備えたｘ線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862158A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008048917A1 (de) | 2007-09-28 | 2009-04-30 | Rigaku Corp., Akishima-shi | Röntgendiffraktionsmessapparat mit einem optischen Debye-Scherrer-System und Röntgendiffraktionsmessverfahren für diesen Apparat |
| GB2521906A (en) * | 2013-11-25 | 2015-07-08 | Rigaku Denki Co Ltd | Optical axis adjustment device for x-ray analyzer |
| CN111007092A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-04-14 | 中国科学院化学研究所 | 低温xrd测试装置、测试设备、测试系统 |
-
1994
- 1994-08-24 JP JP6222538A patent/JPH0862158A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008048917A1 (de) | 2007-09-28 | 2009-04-30 | Rigaku Corp., Akishima-shi | Röntgendiffraktionsmessapparat mit einem optischen Debye-Scherrer-System und Röntgendiffraktionsmessverfahren für diesen Apparat |
| US7860217B2 (en) | 2007-09-28 | 2010-12-28 | Rigaku Corporation | X-ray diffraction measuring apparatus having debye-scherrer optical system therein, and an X-ray diffraction measuring method for the same |
| GB2521906A (en) * | 2013-11-25 | 2015-07-08 | Rigaku Denki Co Ltd | Optical axis adjustment device for x-ray analyzer |
| CN111007092A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-04-14 | 中国科学院化学研究所 | 低温xrd测试装置、测试设备、测试系统 |
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