JPH116806A - 線状ｘ線検出器を備えたｘ線回折装置 - Google Patents
線状ｘ線検出器を備えたｘ線回折装置Info
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- JPH116806A JPH116806A JP9175206A JP17520697A JPH116806A JP H116806 A JPH116806 A JP H116806A JP 9175206 A JP9175206 A JP 9175206A JP 17520697 A JP17520697 A JP 17520697A JP H116806 A JPH116806 A JP H116806A
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- linear
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 特定の試料に対してＸ線カウンタを固定させ
て行う試料限定測定及び連続Ｘ線回折図形を得ることを
目標としてＸ線カウンタを走査回転移動させて行う連続
高分解能測定の両方を自由に選択して行うことができる
Ｘ線回折装置を提供する。 【解決手段】 線状範囲内で位置分解能を備えたＣＣＤ
Ｘ線検出器７と、検出器機能切替え装置６とを有するＸ
線回折装置である。機能切替え装置６は、ＣＣＤ検出器
７の位置を次の２つの位置、すなわち回折Ｘ線のデバイ
環Ｑの接線方向をＸ線検出範囲とする零次元測定位置Ｐ
と、デバイ環Ｑの半径方向をＸ線検出範囲とする一次元
測定位置Ｌとの間で検出器７の位置を切り替える。零次
元測定位置Ｐに置かれたＣＣＤ検出器７は、２θ回転し
ながらＸ線強度を検出し、一次元測定位置Ｌに置かれた
検出器７は固定状態でＸ線強度を検出する。
て行う試料限定測定及び連続Ｘ線回折図形を得ることを
目標としてＸ線カウンタを走査回転移動させて行う連続
高分解能測定の両方を自由に選択して行うことができる
Ｘ線回折装置を提供する。 【解決手段】 線状範囲内で位置分解能を備えたＣＣＤ
Ｘ線検出器７と、検出器機能切替え装置６とを有するＸ
線回折装置である。機能切替え装置６は、ＣＣＤ検出器
７の位置を次の２つの位置、すなわち回折Ｘ線のデバイ
環Ｑの接線方向をＸ線検出範囲とする零次元測定位置Ｐ
と、デバイ環Ｑの半径方向をＸ線検出範囲とする一次元
測定位置Ｌとの間で検出器７の位置を切り替える。零次
元測定位置Ｐに置かれたＣＣＤ検出器７は、２θ回転し
ながらＸ線強度を検出し、一次元測定位置Ｌに置かれた
検出器７は固定状態でＸ線強度を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料にＸ線を照射
し、その試料で回折した回折Ｘ線の強度をＸ線検出器に
よって検出するようにしたＸ線回折装置に関する。
し、その試料で回折した回折Ｘ線の強度をＸ線検出器に
よって検出するようにしたＸ線回折装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折装置においては、通常、測定対
象である試料にＸ線を照射し、そのときに試料で回折し
たＸ線、すなわち回折Ｘ線のＸ線強度をＸ線検出器によ
って検出する。このＸ線回折装置に用いられるＸ線検出
器として、いわゆる点状Ｘ線検出器及び線状Ｘ線検出器
が知られている。
象である試料にＸ線を照射し、そのときに試料で回折し
たＸ線、すなわち回折Ｘ線のＸ線強度をＸ線検出器によ
って検出する。このＸ線回折装置に用いられるＸ線検出
器として、いわゆる点状Ｘ線検出器及び線状Ｘ線検出器
が知られている。
【０００３】点状Ｘ線検出器というのは、シンチレーシ
ョン計数管（ＳＣ）や、比例計数管（Proportional Cou
nter：ＰＣ）等といった計数管のように、適宜の面積の
Ｘ線取込み用開口から取り込んだＸ線の全体の強度を検
出するものであり、Ｘ線取込み用開口のどの位置にどの
くらいのＸ線が取り込まれたかを検出することはできな
い。すなわち、Ｘ線取込み範囲内に関する位置分解能は
有していない。
ョン計数管（ＳＣ）や、比例計数管（Proportional Cou
nter：ＰＣ）等といった計数管のように、適宜の面積の
Ｘ線取込み用開口から取り込んだＸ線の全体の強度を検
出するものであり、Ｘ線取込み用開口のどの位置にどの
くらいのＸ線が取り込まれたかを検出することはできな
い。すなわち、Ｘ線取込み範囲内に関する位置分解能は
有していない。
【０００４】この点状Ｘ線検出器を用いてＸ線回折測定
を行う場合には、試料にＸ線を照射しながらその試料を
中心としてＸ線検出器を適宜の角度範囲で走査回転さ
せ、各走査回転位置すなわち試料からの回折Ｘ線に関す
る異なった各回折角度位置におけるＸ線強度を順次に測
定する。この走査移動方式のＸ線回折測定によれば、分
解能の高い測定結果を得ることができ、さらにＸ線検出
器の走査角度範囲を広く設定することにより広い回折角
度範囲にわたる回折Ｘ線図形、いわゆるストリップチャ
ートを得ることができる。しかしながら、Ｘ線検出器を
走査回転させなければならないので、所定範囲のＸ線回
折測定を行うために長時間を要する。
を行う場合には、試料にＸ線を照射しながらその試料を
中心としてＸ線検出器を適宜の角度範囲で走査回転さ
せ、各走査回転位置すなわち試料からの回折Ｘ線に関す
る異なった各回折角度位置におけるＸ線強度を順次に測
定する。この走査移動方式のＸ線回折測定によれば、分
解能の高い測定結果を得ることができ、さらにＸ線検出
器の走査角度範囲を広く設定することにより広い回折角
度範囲にわたる回折Ｘ線図形、いわゆるストリップチャ
ートを得ることができる。しかしながら、Ｘ線検出器を
走査回転させなければならないので、所定範囲のＸ線回
折測定を行うために長時間を要する。
【０００５】一方、上記の線状Ｘ線検出器というのは、
ＰＳＰＣ（Position Sensitive Proportional Counte
r：位置感応型Ｘ線計数管）や、ＣＣＤ（Charge Couple
d Device）検出器等といった検出器のように、直線上の
広い範囲内でＸ線を取り込むことができ、その範囲内の
どの位置にＸ線が取り込まれたか及びそのＸ線の強度が
いくつであるかを同時に検出できる機能、すなわち位置
分解能を持ったＸ線検出器である。
ＰＳＰＣ（Position Sensitive Proportional Counte
r：位置感応型Ｘ線計数管）や、ＣＣＤ（Charge Couple
d Device）検出器等といった検出器のように、直線上の
広い範囲内でＸ線を取り込むことができ、その範囲内の
どの位置にＸ線が取り込まれたか及びそのＸ線の強度が
いくつであるかを同時に検出できる機能、すなわち位置
分解能を持ったＸ線検出器である。
【０００６】この線状Ｘ線検出器を用いてＸ線回折測定
を行う場合には、測定対象である試料についての既知の
回折角度位置にそのＸ線検出器の中心を位置設定して固
定し、その固定状態のままで試料からの回折Ｘ線を取り
込んでその回折Ｘ線の回折角度及びそのＸ線強度を検出
する。この線状Ｘ線検出器を用いたＸ線回折測定によれ
ば、比較的広い範囲内でＸ線回折角度の測定及びＸ線強
度の測定の両方をほぼ同時に短時間内で行うことができ
るが、測定結果のＳ／Ｎ比が上記の走査移動方式のＸ線
回折測定に比べて劣るという欠点がある。
を行う場合には、測定対象である試料についての既知の
回折角度位置にそのＸ線検出器の中心を位置設定して固
定し、その固定状態のままで試料からの回折Ｘ線を取り
込んでその回折Ｘ線の回折角度及びそのＸ線強度を検出
する。この線状Ｘ線検出器を用いたＸ線回折測定によれ
ば、比較的広い範囲内でＸ線回折角度の測定及びＸ線強
度の測定の両方をほぼ同時に短時間内で行うことができ
るが、測定結果のＳ／Ｎ比が上記の走査移動方式のＸ線
回折測定に比べて劣るという欠点がある。
【０００７】Ｘ線回折装置を用いて行われるＸ線回折測
定には非常に多くの種類があり、例えば、回折角度が既
知である特定試料に関する結晶格子構造を観察する場合
のように、それ程広い範囲の回折Ｘ線を検出する必要も
なく、また、分解能をそれ程要求されないＸ線回折測定
（すなわち、試料限定測定）や、ストリップチャートの
ような連続チャートを高分解能で得たい場合（すなわ
ち、連続高分解能測定）等がある。
定には非常に多くの種類があり、例えば、回折角度が既
知である特定試料に関する結晶格子構造を観察する場合
のように、それ程広い範囲の回折Ｘ線を検出する必要も
なく、また、分解能をそれ程要求されないＸ線回折測定
（すなわち、試料限定測定）や、ストリップチャートの
ような連続チャートを高分解能で得たい場合（すなわ
ち、連続高分解能測定）等がある。
【０００８】従来、上記の試料限定測定を行う場合に
は、線状Ｘ線検出器を用いたＸ線回折測定が広く用いら
れ、一方、連続高分解能測定を行う場合には、点状Ｘ線
検出器を用いたＸ線回折測定が広く用いられている。し
かしながら、両方の種類のＸ線回折測定を自由に選択し
て行うことができるＸ線回折装置は未だ提案されていな
い。
は、線状Ｘ線検出器を用いたＸ線回折測定が広く用いら
れ、一方、連続高分解能測定を行う場合には、点状Ｘ線
検出器を用いたＸ線回折測定が広く用いられている。し
かしながら、両方の種類のＸ線回折測定を自由に選択し
て行うことができるＸ線回折装置は未だ提案されていな
い。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点に鑑みて成されたものであって、試料限定測定及び連
続高分解能測定の両方を自由に選択して行うことのでき
るＸ線回折装置を提供することを目的とする。
点に鑑みて成されたものであって、試料限定測定及び連
続高分解能測定の両方を自由に選択して行うことのでき
るＸ線回折装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項１記載のＸ線回折装置は、線状範囲内で位置
分解能を備えた線状Ｘ線検出器と、その線状Ｘ線検出器
の配設位置を切り替える検出器機能切替え手段とを有し
ている。そして、その検出器機能切替え手段は、回折Ｘ
線のデバイ環の接線方向をＸ線検出範囲とする零次元測
定位置と、回折Ｘ線のデバイ環の半径方向をＸ線検出範
囲とする一次元測定位置との間で、上記線状Ｘ線検出器
の配設位置を切り替える。
め、請求項１記載のＸ線回折装置は、線状範囲内で位置
分解能を備えた線状Ｘ線検出器と、その線状Ｘ線検出器
の配設位置を切り替える検出器機能切替え手段とを有し
ている。そして、その検出器機能切替え手段は、回折Ｘ
線のデバイ環の接線方向をＸ線検出範囲とする零次元測
定位置と、回折Ｘ線のデバイ環の半径方向をＸ線検出範
囲とする一次元測定位置との間で、上記線状Ｘ線検出器
の配設位置を切り替える。
【００１１】また、請求項２記載のＸ線回折装置は、回
折Ｘ線のデバイ環の接線方向をＸ線検出範囲とする零次
元測定用の線状Ｘ線検出器と、回折Ｘ線のデバイ環の半
径方向をＸ線検出範囲とする一次元測定用の線状Ｘ線検
出器との２つのＸ線検出器を有する。
折Ｘ線のデバイ環の接線方向をＸ線検出範囲とする零次
元測定用の線状Ｘ線検出器と、回折Ｘ線のデバイ環の半
径方向をＸ線検出範囲とする一次元測定用の線状Ｘ線検
出器との２つのＸ線検出器を有する。
【００１２】線状Ｘ線検出器というのは、直線に沿った
広い範囲内でＸ線を取り込むことができ、その取り込ん
だＸ線に関してその取込み位置及びＸ線強度の両方を同
時に検出できる能力を持ったＸ線検出器のことである。
この線状Ｘ線検出器は、例えば、ＰＳＰＣ（Positon Se
nsitive Proportional Counter：位置感応型Ｘ線計数
管）や、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）検出器等を
用いて構成できる。
広い範囲内でＸ線を取り込むことができ、その取り込ん
だＸ線に関してその取込み位置及びＸ線強度の両方を同
時に検出できる能力を持ったＸ線検出器のことである。
この線状Ｘ線検出器は、例えば、ＰＳＰＣ（Positon Se
nsitive Proportional Counter：位置感応型Ｘ線計数
管）や、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）検出器等を
用いて構成できる。
【００１３】ＰＳＰＣは、例えば、図３に示すような構
成を有するものであり、Ｘ線取込み口３１を備えたケー
シング３２の内部にアノード線３３、カソード線３４及
び信号線３５を有している。試料３６で回折したＸ線、
すなわち回折Ｘ線ＲがＸ線取込み口３１を通してケーシ
ング３２の内部に入るとカソード線３３に電荷が誘導さ
れ、その電荷に応じた電気パルス信号が信号線３５の両
端に現れる。そのパルス信号を測定することによりＸ線
強度が検出される。また、信号線３５の両端に現れるパ
ルス信号は、長さ方向ｘの距離に比例した時間差を有し
ている。従って、信号線３５の両端に生じるパルス信号
の時間差を測定することにより、長さ方向ｘにおけるＸ
線入射位置を知ることができる。つまり、ＰＳＰＣは、
アノード線３３等が張設された直線状の範囲内におい
て、長さ方向ｘすなわち回折角度２θ（ａ）から回折角
度２θ（ｂ）の範囲内の各位置において、ケーシング３
２内に入射した各Ｘ線の強度及び角度位置を同時に検出
できる。
成を有するものであり、Ｘ線取込み口３１を備えたケー
シング３２の内部にアノード線３３、カソード線３４及
び信号線３５を有している。試料３６で回折したＸ線、
すなわち回折Ｘ線ＲがＸ線取込み口３１を通してケーシ
ング３２の内部に入るとカソード線３３に電荷が誘導さ
れ、その電荷に応じた電気パルス信号が信号線３５の両
端に現れる。そのパルス信号を測定することによりＸ線
強度が検出される。また、信号線３５の両端に現れるパ
ルス信号は、長さ方向ｘの距離に比例した時間差を有し
ている。従って、信号線３５の両端に生じるパルス信号
の時間差を測定することにより、長さ方向ｘにおけるＸ
線入射位置を知ることができる。つまり、ＰＳＰＣは、
アノード線３３等が張設された直線状の範囲内におい
て、長さ方向ｘすなわち回折角度２θ（ａ）から回折角
度２θ（ｂ）の範囲内の各位置において、ケーシング３
２内に入射した各Ｘ線の強度及び角度位置を同時に検出
できる。
【００１４】ＣＣＤ検出器は、電荷結合素子とも呼ばれ
る、それ自体周知の電子素子であるＣＣＤを用いたＸ線
検出器である。ＣＣＤは、例えば、シリコン基板上に酸
化膜絶縁層を介して電極アレイを直線状に並べることに
よって形成され、これらの電極アレイがＸ線取込み口に
相当する。電極アレイを構成する個々の電極に対応する
位置にＸ線が当たると当該電極の下に電荷が蓄積され、
さらに電極と基板との間に電圧を次々に与えることによ
って、蓄積された電荷を転送してゆくものである。
る、それ自体周知の電子素子であるＣＣＤを用いたＸ線
検出器である。ＣＣＤは、例えば、シリコン基板上に酸
化膜絶縁層を介して電極アレイを直線状に並べることに
よって形成され、これらの電極アレイがＸ線取込み口に
相当する。電極アレイを構成する個々の電極に対応する
位置にＸ線が当たると当該電極の下に電荷が蓄積され、
さらに電極と基板との間に電圧を次々に与えることによ
って、蓄積された電荷を転送してゆくものである。
【００１５】請求項１記載のＸ線回折装置では、試料限
定測定を行う場合、線状Ｘ線検出器は測定対象である試
料に関して既知である回折角度を中心としてデバイ環の
半径方向をＸ線検出範囲とする一次元測定位置に配置さ
れる。この位置でＸ線検出器を固定した状態で試料にＸ
線が照射され、そして回折Ｘ線の回折角度（２θ）及び
その強度が線状Ｘ線検出器に固有の広い回折角度範囲内
で短時間内に検出される。一方、連続高分解能測定を行
う場合、線状Ｘ線検出器はデバイ環の接線方向をＸ線検
出範囲とする零次元測定位置に配置される。この場合、
Ｘ線検出器は、Ｘ線回折測定が行われる間、試料のまわ
りに回転走査移動して試料に関する各回折角度位置にお
ける回折Ｘ線強度を検出する。
定測定を行う場合、線状Ｘ線検出器は測定対象である試
料に関して既知である回折角度を中心としてデバイ環の
半径方向をＸ線検出範囲とする一次元測定位置に配置さ
れる。この位置でＸ線検出器を固定した状態で試料にＸ
線が照射され、そして回折Ｘ線の回折角度（２θ）及び
その強度が線状Ｘ線検出器に固有の広い回折角度範囲内
で短時間内に検出される。一方、連続高分解能測定を行
う場合、線状Ｘ線検出器はデバイ環の接線方向をＸ線検
出範囲とする零次元測定位置に配置される。この場合、
Ｘ線検出器は、Ｘ線回折測定が行われる間、試料のまわ
りに回転走査移動して試料に関する各回折角度位置にお
ける回折Ｘ線強度を検出する。
【００１６】請求項２記載のＸ線回折装置では、試料限
定測定を行う場合には、デバイ環の半径方向をＸ線検出
範囲とする一次元測定用の線状Ｘ線検出器が使用され
る。一方、連続高分解能測定を行う場合には、デバイ環
の接線方向をＸ線検出範囲とする零次元測定用の線状Ｘ
線検出器が使用される。
定測定を行う場合には、デバイ環の半径方向をＸ線検出
範囲とする一次元測定用の線状Ｘ線検出器が使用され
る。一方、連続高分解能測定を行う場合には、デバイ環
の接線方向をＸ線検出範囲とする零次元測定用の線状Ｘ
線検出器が使用される。
【００１７】
（第１実施形態）図１は、請求項１に記載のＸ線回折装
置の一実施形態を示している。このＸ線回折装置は、Ｘ
線を発生するＸ線焦点Ｆを内蔵したＸ線管１と、測定対
象である試料２を支持したθ回転台３と、そしてθ回転
台３の回転軸ωと同軸である２θ回転台４とを有してい
る。２θ回転台４の側部には検出器アーム５が固着さ
れ、その検出器アーム５の上に検出器機能切替え装置６
が設けられ、さらにその検出器機能切替え装置６の出力
軸にＣＣＤ検出器７が固着されている。
置の一実施形態を示している。このＸ線回折装置は、Ｘ
線を発生するＸ線焦点Ｆを内蔵したＸ線管１と、測定対
象である試料２を支持したθ回転台３と、そしてθ回転
台３の回転軸ωと同軸である２θ回転台４とを有してい
る。２θ回転台４の側部には検出器アーム５が固着さ
れ、その検出器アーム５の上に検出器機能切替え装置６
が設けられ、さらにその検出器機能切替え装置６の出力
軸にＣＣＤ検出器７が固着されている。
【００１８】このＣＣＤ検出器７には、長手方向に直線
状に並べられた電極アレイに対応してＸ線取込み口８が
形成されている。検出器機能切替え装置６は、公知の回
転駆動機構を内蔵しており、その回転駆動機構によって
駆動されることによりＣＣＤ検出器７は、実線で示す零
次元測定位置Ｐと、鎖線で示す一次元測定位置Ｌとの間
で９０゜回転して位置変位する。ＣＣＤ検出器７がこの
零次元測定位置Ｐに配置されたとき、Ｘ線取込み口８は
試料２で回折した回折Ｘ線が呈するデバイ環Ｑの接線方
向に沿って延びる位置、すなわち接線方向をＸ線検出範
囲とする位置をとる。また、ＣＣＤ検出器７が一次元測
定位置Ｌに配置されたとき、Ｘ線取込み口８はデバイ環
Ｑの半径方向に沿って延びる位置、すなわち半径方向を
Ｘ線検出範囲とする位置をとる。
状に並べられた電極アレイに対応してＸ線取込み口８が
形成されている。検出器機能切替え装置６は、公知の回
転駆動機構を内蔵しており、その回転駆動機構によって
駆動されることによりＣＣＤ検出器７は、実線で示す零
次元測定位置Ｐと、鎖線で示す一次元測定位置Ｌとの間
で９０゜回転して位置変位する。ＣＣＤ検出器７がこの
零次元測定位置Ｐに配置されたとき、Ｘ線取込み口８は
試料２で回折した回折Ｘ線が呈するデバイ環Ｑの接線方
向に沿って延びる位置、すなわち接線方向をＸ線検出範
囲とする位置をとる。また、ＣＣＤ検出器７が一次元測
定位置Ｌに配置されたとき、Ｘ線取込み口８はデバイ環
Ｑの半径方向に沿って延びる位置、すなわち半径方向を
Ｘ線検出範囲とする位置をとる。
【００１９】ＣＣＤ検出器７の出力端子にはＸ線強度演
算器１６が接続されている。このＸ線強度演算器１６
は、Ｘ線回折測定制御装置１５からの指令に従って、回
折角度分析モード及びＸ線強度モードの２つの異なった
演算モードを実行する。回折角度分析モードとは、ＣＣ
Ｄ検出器７のＸ線取込み口８、すなわち電極アレイを構
成する各電極に対応するＸ線強度を個々に独立して検出
する。一方、Ｘ線強度モードとは、各電極に対応するＸ
線強度を平均化して１つのＸ線強度として演算するモー
ドである。
算器１６が接続されている。このＸ線強度演算器１６
は、Ｘ線回折測定制御装置１５からの指令に従って、回
折角度分析モード及びＸ線強度モードの２つの異なった
演算モードを実行する。回折角度分析モードとは、ＣＣ
Ｄ検出器７のＸ線取込み口８、すなわち電極アレイを構
成する各電極に対応するＸ線強度を個々に独立して検出
する。一方、Ｘ線強度モードとは、各電極に対応するＸ
線強度を平均化して１つのＸ線強度として演算するモー
ドである。
【００２０】Ｘ線管１と試料２との間には発散防止スリ
ット９が配置され、試料２とＣＣＤ検出器７との間には
受光スリット１０及び散乱線防止スリット１１が配置さ
れている。発散防止スリット９は、Ｘ線焦点Ｆから発散
するＸ線ビームの水平方向の発散を抑制してそのＸ線ビ
ームを試料２へ導くように作用する。また、受光スリッ
ト１０は、試料２で回折するＸ線の収束点に設けられて
いて、収束した回折Ｘ線ビームを通過させると共に不要
なＸ線の通過を防止する。散乱線防止スリット１１は、
受光スリット１０の所又はその他の所から発生した散乱
Ｘ線がＣＣＤ検出器７に取り込まれるのを防止する。
ット９が配置され、試料２とＣＣＤ検出器７との間には
受光スリット１０及び散乱線防止スリット１１が配置さ
れている。発散防止スリット９は、Ｘ線焦点Ｆから発散
するＸ線ビームの水平方向の発散を抑制してそのＸ線ビ
ームを試料２へ導くように作用する。また、受光スリッ
ト１０は、試料２で回折するＸ線の収束点に設けられて
いて、収束した回折Ｘ線ビームを通過させると共に不要
なＸ線の通過を防止する。散乱線防止スリット１１は、
受光スリット１０の所又はその他の所から発生した散乱
Ｘ線がＣＣＤ検出器７に取り込まれるのを防止する。
【００２１】受光スリット１０及び散乱線防止スリット
１１は、スリット移送装置１２によって駆動されて、回
折Ｘ線の光軸に臨出するＸ線抑制位置と、そこから退避
する退避位置との間で移動する。スリット移送装置１２
はＸ線回折測定制御装置１５からの指令によって動作し
て各スリット１０，１１をＸ線抑制位置又は退避位置の
いずれかの位置に配置する。また、θ回転台３にはθ回
転機構１３が付設され、２θ回転台４には２θ回転機構
１４が付設される。これらの各回転機構１３，１４は、
Ｘ線回折測定制御装置１５からの指令によって動作す
る。
１１は、スリット移送装置１２によって駆動されて、回
折Ｘ線の光軸に臨出するＸ線抑制位置と、そこから退避
する退避位置との間で移動する。スリット移送装置１２
はＸ線回折測定制御装置１５からの指令によって動作し
て各スリット１０，１１をＸ線抑制位置又は退避位置の
いずれかの位置に配置する。また、θ回転台３にはθ回
転機構１３が付設され、２θ回転台４には２θ回転機構
１４が付設される。これらの各回転機構１３，１４は、
Ｘ線回折測定制御装置１５からの指令によって動作す
る。
【００２２】以下、上記構成より成るＸ線回折装置の動
作について説明する。 （試料限定測定）まず、測定対象である試料２が特定種
類のものに限定されていて、その試料２の結晶構造の良
否等を観察する場合のように、それ程広い範囲の回折Ｘ
線を検出する必要もなく、また、分解能をそれ程要求さ
れないＸ線回折測定を考える。この場合には各機器を以
下のように設定する。
作について説明する。 （試料限定測定）まず、測定対象である試料２が特定種
類のものに限定されていて、その試料２の結晶構造の良
否等を観察する場合のように、それ程広い範囲の回折Ｘ
線を検出する必要もなく、また、分解能をそれ程要求さ
れないＸ線回折測定を考える。この場合には各機器を以
下のように設定する。
【００２３】（１）ＣＣＤ検出器７：検出器機能切替え
装置６を作動してＣＣＤ検出器７を一次元測定位置Ｌ
（鎖線）にセットする。 （２）Ｘ線強度演算器１６：その演算モードを、回折角
度ごとのＸ線強度を測定できる回折角度分析モードに設
定する。 （３）受光スリット１０及び散乱線防止スリット１１：
スリット移送装置１２を作動して受光スリット１０及び
散乱線防止スリット１１をＸ線光路から退避させてお
く。
装置６を作動してＣＣＤ検出器７を一次元測定位置Ｌ
（鎖線）にセットする。 （２）Ｘ線強度演算器１６：その演算モードを、回折角
度ごとのＸ線強度を測定できる回折角度分析モードに設
定する。 （３）受光スリット１０及び散乱線防止スリット１１：
スリット移送装置１２を作動して受光スリット１０及び
散乱線防止スリット１１をＸ線光路から退避させてお
く。
【００２４】この測定の場合、試料２のＸ線回折角度が
既知であり、よって、２θ回転機構１４を作動してＣＣ
Ｄ検出器７の中心をその既知のＸ線回折角度に合わせ、
さらにθ回転機構１３を作動して、Ｘ線焦点Ｆから出射
するＸ線の試料２への入射角度を回折を生じる所定角度
に合わせる。
既知であり、よって、２θ回転機構１４を作動してＣＣ
Ｄ検出器７の中心をその既知のＸ線回折角度に合わせ、
さらにθ回転機構１３を作動して、Ｘ線焦点Ｆから出射
するＸ線の試料２への入射角度を回折を生じる所定角度
に合わせる。
【００２５】以上の設定が終了した後、Ｘ線焦点Ｆから
Ｘ線を出射してそれを試料２に照射してそこで回折さ
せ、その回折Ｘ線を一次元測定位置ＬにセットしたＣＣ
Ｄ検出器７によって検出する。Ｘ線強度演算器１６はＣ
ＣＤ検出器７の各電極に対応するＸ線強度、すなわち異
なる回折角度におけるＸ線強度を個別に演算する。この
演算結果により、回折角度に関するＸ線強度分布が求め
られ、その分布から試料２の結晶構造や組成物の存在量
等が観察される。
Ｘ線を出射してそれを試料２に照射してそこで回折さ
せ、その回折Ｘ線を一次元測定位置ＬにセットしたＣＣ
Ｄ検出器７によって検出する。Ｘ線強度演算器１６はＣ
ＣＤ検出器７の各電極に対応するＸ線強度、すなわち異
なる回折角度におけるＸ線強度を個別に演算する。この
演算結果により、回折角度に関するＸ線強度分布が求め
られ、その分布から試料２の結晶構造や組成物の存在量
等が観察される。
【００２６】（連続高分解能測定）ストリップチャート
等といった連続チャートを得たい場合には、以下のよう
にして連続高分解能測定が行われる。この場合には各機
器を以下のように設定する。 （１）ＣＣＤ検出器７：検出器機能切替え装置６を作動
してＣＣＤ検出器７を零次元測定位置Ｐ（実線）にセッ
トする。 （２）Ｘ線強度演算器１６：その演算モードを、所定範
囲内にある各電極に対応したＸ線強度を積算するＸ線強
度モードに設定する。 （３）受光スリット１０及び散乱線防止スリット１１：
スリット移送装置１２を作動して受光スリット１０及び
散乱線防止スリット１１をＸ線光路上に臨出させてお
く。
等といった連続チャートを得たい場合には、以下のよう
にして連続高分解能測定が行われる。この場合には各機
器を以下のように設定する。 （１）ＣＣＤ検出器７：検出器機能切替え装置６を作動
してＣＣＤ検出器７を零次元測定位置Ｐ（実線）にセッ
トする。 （２）Ｘ線強度演算器１６：その演算モードを、所定範
囲内にある各電極に対応したＸ線強度を積算するＸ線強
度モードに設定する。 （３）受光スリット１０及び散乱線防止スリット１１：
スリット移送装置１２を作動して受光スリット１０及び
散乱線防止スリット１１をＸ線光路上に臨出させてお
く。
【００２７】この測定においては、θ回転機構１３によ
ってθ回転台３、すなわち試料２を試料軸ωを中心とし
て所定の回転速度で連続的又は間欠的に回転、いわゆる
θ回転させる。そして同時に、２θ回転機構１４によっ
て２θ回転台４、すなわちＣＣＤ検出器７を試料軸線ω
を中心としてθ回転の２倍の回転速度で同じ方向へ連続
的又は間欠的に回転、いわゆる２θ回転させる。
ってθ回転台３、すなわち試料２を試料軸ωを中心とし
て所定の回転速度で連続的又は間欠的に回転、いわゆる
θ回転させる。そして同時に、２θ回転機構１４によっ
て２θ回転台４、すなわちＣＣＤ検出器７を試料軸線ω
を中心としてθ回転の２倍の回転速度で同じ方向へ連続
的又は間欠的に回転、いわゆる２θ回転させる。
【００２８】零次元測定位置Ｐに置かれたＣＣＤ検出器
７及びＸ線強度モードに設定されたＸ線強度演算器１６
は、２θ回転の各角度位置、すなわちＸ線回折角度Ｒ
（２θ）の各角度位置におけるＸ線強度を検出する。こ
の場合のＸ線強度値は、ＣＣＤ検出器７の各電極に対応
するＸ線取込み位置に入射したＸ線の強度を積算した値
である。検出された各回折角度におけるＸ線強度をグラ
フ上に表すことにより目標とするストリップチャートが
求められる。
７及びＸ線強度モードに設定されたＸ線強度演算器１６
は、２θ回転の各角度位置、すなわちＸ線回折角度Ｒ
（２θ）の各角度位置におけるＸ線強度を検出する。こ
の場合のＸ線強度値は、ＣＣＤ検出器７の各電極に対応
するＸ線取込み位置に入射したＸ線の強度を積算した値
である。検出された各回折角度におけるＸ線強度をグラ
フ上に表すことにより目標とするストリップチャートが
求められる。
【００２９】（第２実施形態）図２は、請求項２に記載
のＸ線回折装置の一実施形態を示している。この実施形
態が図１に示した先の実施形態と異なる点は、図１にお
いて１個のＣＣＤ検出器７を用意してそれを検出器機能
切替え装置６によって零次元測定位置Ｐと一次元測定位
置Ｌとの間で切り替えるのに代えて、図２に示すよう
に、回折Ｘ線のデバイ環Ｑの接線方向をＸ線検出範囲と
するように配置された零次元測定用ＣＣＤ検出器１７ａ
及びデバイ環Ｑの半径方向をＸ線検出範囲とするように
配置された一次元測定用ＣＣＤ検出器１７ｂの２個のＣ
ＣＤ検出器を検出器アーム５の上に配設したことであ
る。
のＸ線回折装置の一実施形態を示している。この実施形
態が図１に示した先の実施形態と異なる点は、図１にお
いて１個のＣＣＤ検出器７を用意してそれを検出器機能
切替え装置６によって零次元測定位置Ｐと一次元測定位
置Ｌとの間で切り替えるのに代えて、図２に示すよう
に、回折Ｘ線のデバイ環Ｑの接線方向をＸ線検出範囲と
するように配置された零次元測定用ＣＣＤ検出器１７ａ
及びデバイ環Ｑの半径方向をＸ線検出範囲とするように
配置された一次元測定用ＣＣＤ検出器１７ｂの２個のＣ
ＣＤ検出器を検出器アーム５の上に配設したことであ
る。
【００３０】特定試料に対して試料限定測定を行う場合
には、検出器アーム５を試料軸線ωを中心として回転さ
せて一次元測定用ＣＣＤ検出器１７ｂの中心を特定試料
の回折角度に合わせる。その後の測定処理は図１の実施
形態の場合と同じである。一方、ストリップチャートを
得ることを目標とした連続高分解能測定を行う場合に
は、検出器アーム５を回転させて零次元測定用ＣＣＤ検
出器１７ａを回折Ｘ線の光路上に配置する。その後に行
われる試料２のθ回転及びＣＣＤ検出器１７ａの２θ回
転による測定は図１の実施形態の場合と同じである。
には、検出器アーム５を試料軸線ωを中心として回転さ
せて一次元測定用ＣＣＤ検出器１７ｂの中心を特定試料
の回折角度に合わせる。その後の測定処理は図１の実施
形態の場合と同じである。一方、ストリップチャートを
得ることを目標とした連続高分解能測定を行う場合に
は、検出器アーム５を回転させて零次元測定用ＣＣＤ検
出器１７ａを回折Ｘ線の光路上に配置する。その後に行
われる試料２のθ回転及びＣＣＤ検出器１７ａの２θ回
転による測定は図１の実施形態の場合と同じである。
【００３１】以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を
説明したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるも
のではなく、請求の範囲に記載した技術的範囲内で種々
に改変できる。例えば、線状Ｘ線検出器としては、線状
範囲内で位置分解能を備えたＸ線検出器でありさえすれ
ば、ＣＣＤ検出器以外にＰＳＰＣその他の任意のＸ線検
出器を用いることができる。また、試料を支持する構造
並びに試料及びＸ線検出器を試料軸線のまわりに回転さ
せるための構造は図１及び図２に示した構造に限定され
ることなく任意の構造を採用できる。
説明したが、本発明はそれらの実施形態に限定されるも
のではなく、請求の範囲に記載した技術的範囲内で種々
に改変できる。例えば、線状Ｘ線検出器としては、線状
範囲内で位置分解能を備えたＸ線検出器でありさえすれ
ば、ＣＣＤ検出器以外にＰＳＰＣその他の任意のＸ線検
出器を用いることができる。また、試料を支持する構造
並びに試料及びＸ線検出器を試料軸線のまわりに回転さ
せるための構造は図１及び図２に示した構造に限定され
ることなく任意の構造を採用できる。
【００３２】
【発明の効果】請求項１及び請求項２記載のＸ線回折装
置によれば、１つのＸ線回折装置によって、Ｘ線回折角
度が既知である特定試料に対して行う試料限定測定及び
ストリップチャート等を得ることを目標として行われる
連続高分解能測定の両方を自由に選択して行うことがで
きる。
置によれば、１つのＸ線回折装置によって、Ｘ線回折角
度が既知である特定試料に対して行う試料限定測定及び
ストリップチャート等を得ることを目標として行われる
連続高分解能測定の両方を自由に選択して行うことがで
きる。
【００３３】
【図１】本発明に係るＸ線回折装置の一実施形態を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】本発明に係るＸ線回折装置の他の一実施形態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図３】線状Ｘ線検出器の一実施形態であるＰＳＰＣの
一例を示す斜視図である。
一例を示す斜視図である。
１ Ｘ線管 ２ 試料 ３ θ回転台 ４ ２θ回転台 ５ 検出器アーム ６ 検出器機能切替え装置 ７ ＣＣＤ検出器 ８ Ｘ線取込み口（電極アレイ） １７ａ 零次元測定用ＣＣＤ検出器 １７ｂ 一次元測定用ＣＣＤ検出器 Ｑ 回折Ｘ線のデバイ環 Ｌ ＣＣＤ検出器の一次元測定位置 Ｐ ＣＣＤ検出器の零次元測定位置 Ｆ Ｘ線焦点
Claims (3)
- 【請求項１】 試料にＸ線を照射し、その試料で回折し
た回折Ｘ線の強度をＸ線検出器によって検出するように
したＸ線回折装置において、 線状範囲内で位置分解能を備えた線状Ｘ線検出器と、 その線状Ｘ線検出器の配設位置を切り替える検出器機能
切替え手段とを有し、 その検出器機能切替え手段は、回折Ｘ線のデバイ環の接
線方向をＸ線検出範囲とする零次元測定位置と、回折Ｘ
線のデバイ環の半径方向をＸ線検出範囲とする一次元測
定位置との間で、上記線状Ｘ線検出器の配設位置を切り
替えることを特徴とする線状Ｘ線検出器を備えたＸ線回
折装置。 - 【請求項２】 試料にＸ線を照射し、その試料で回折し
た回折Ｘ線の強度をＸ線検出器によって検出するように
したＸ線回折装置において、 回折Ｘ線のデバイ環の接線方向をＸ線検出範囲とする零
次元測定用の線状Ｘ線検出器と、 回折Ｘ線のデバイ環の半径方向をＸ線検出範囲とする一
次元測定用の線状Ｘ線検出器とを有することを特徴とす
る線状Ｘ線検出器を備えたＸ線回折装置。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の線状Ｘ線検
出器を備えたＸ線回折装置において、線状Ｘ線検出器は
ＣＣＤ（Charge Coupled Device ）検出器を有すること
を特徴とする線状Ｘ線検出器を備えたＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9175206A JPH116806A (ja) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | 線状ｘ線検出器を備えたｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9175206A JPH116806A (ja) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | 線状ｘ線検出器を備えたｘ線回折装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH116806A true JPH116806A (ja) | 1999-01-12 |
Family
ID=15992157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9175206A Pending JPH116806A (ja) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | 線状ｘ線検出器を備えたｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH116806A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6798863B2 (en) * | 2001-05-29 | 2004-09-28 | Sii Nanotechnology Inc. | Combined x-ray analysis apparatus |
| KR100467237B1 (ko) * | 2001-12-07 | 2005-01-24 | 한국수력원자력 주식회사 | Ｃｃｄ 영상 소자만을 이용한 감마／ｘ선원 탐지장치 및그 방법 |
| EP1510811A1 (de) * | 2003-08-30 | 2005-03-02 | Bruker AXS GmbH | Aufnahme eines zweidimensionalen Beugungsmusters durch Rotation eines eindimensional ortsauflösenden Detektors |
| EP1653226A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-03 | Bruker AXS, Inc. | Scanning line detector for two-dimensional x-ray diffractometer |
| JP2009085659A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Rigaku Corp | デバイシェラー光学系を備えたｘ線回折測定装置とそのためのｘ線回折測定方法 |
| JP2014211328A (ja) * | 2013-04-17 | 2014-11-13 | 株式会社リガク | Ｘ線回折装置、ｘ線回折測定方法および制御プログラム |
| US9417195B2 (en) | 2010-07-30 | 2016-08-16 | Rigaku Corporation | Method and its apparatus for x-ray diffraction |
-
1997
- 1997-06-16 JP JP9175206A patent/JPH116806A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6798863B2 (en) * | 2001-05-29 | 2004-09-28 | Sii Nanotechnology Inc. | Combined x-ray analysis apparatus |
| KR100467237B1 (ko) * | 2001-12-07 | 2005-01-24 | 한국수력원자력 주식회사 | Ｃｃｄ 영상 소자만을 이용한 감마／ｘ선원 탐지장치 및그 방법 |
| EP1510811A1 (de) * | 2003-08-30 | 2005-03-02 | Bruker AXS GmbH | Aufnahme eines zweidimensionalen Beugungsmusters durch Rotation eines eindimensional ortsauflösenden Detektors |
| EP1653226A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-03 | Bruker AXS, Inc. | Scanning line detector for two-dimensional x-ray diffractometer |
| US7190762B2 (en) | 2004-10-29 | 2007-03-13 | Broker Axs, Inc | Scanning line detector for two-dimensional x-ray diffractometer |
| JP2009085659A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Rigaku Corp | デバイシェラー光学系を備えたｘ線回折測定装置とそのためのｘ線回折測定方法 |
| US9417195B2 (en) | 2010-07-30 | 2016-08-16 | Rigaku Corporation | Method and its apparatus for x-ray diffraction |
| JP2014211328A (ja) * | 2013-04-17 | 2014-11-13 | 株式会社リガク | Ｘ線回折装置、ｘ線回折測定方法および制御プログラム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050104 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050202 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050601 |