JPS58167924A - 走査型分光装置 - Google Patents
走査型分光装置Info
- Publication number
- JPS58167924A JPS58167924A JP5191782A JP5191782A JPS58167924A JP S58167924 A JPS58167924 A JP S58167924A JP 5191782 A JP5191782 A JP 5191782A JP 5191782 A JP5191782 A JP 5191782A JP S58167924 A JPS58167924 A JP S58167924A
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- Japan
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- peak
- spectroscope
- wavelength
- scanning
- spectrometer
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は適宜波長範囲を走査して元素の検出及び定量を
行う分光装置に関するもので、分光の対象は光、Ｘ線等
任意であって制限はないが、特にＸ線分光に適用して有
益なものであるっ分光分析で元素定量の精度を上げるに
は測定時間を長くする必要があるが波長走査型の分光装
置で元素のピークを検出しつ＼ピーク面積等の測定を行
う場合にはピークとピークとの間の波長走査に分析所要
時間の大部分を消費してしまい、分析精度を上げようと
すると大へん長時間を要することになる。他方製造現場
における品質管理、公害問題等に関連した環境管理、各
方面の研究施設等でする場合は長時間試料を電子照射し
ていると、特に有機試料等では試料が変質し、無機的試
料でも真空内残留ガスとか陰極からのスパッタリング等
で表面が汚染されて分析精度が低下すると云った問題が
あり、更に試料の微小領域のＸ線分光分析を行う場所に
は長時間にわたって安定に試料の同一点を電子照射する
と云うことは困難である等、分析精度を上げるために波
長走査速度を低くすると他の色々な経時的因子の影響が
大きく効いて来て分析の精度及び信頼性を低下させると
云った関係があって、分光分析において分析所要時間を
短縮すると云うことはきわめて重要な事項である。
行う分光装置に関するもので、分光の対象は光、Ｘ線等
任意であって制限はないが、特にＸ線分光に適用して有
益なものであるっ分光分析で元素定量の精度を上げるに
は測定時間を長くする必要があるが波長走査型の分光装
置で元素のピークを検出しつ＼ピーク面積等の測定を行
う場合にはピークとピークとの間の波長走査に分析所要
時間の大部分を消費してしまい、分析精度を上げようと
すると大へん長時間を要することになる。他方製造現場
における品質管理、公害問題等に関連した環境管理、各
方面の研究施設等でする場合は長時間試料を電子照射し
ていると、特に有機試料等では試料が変質し、無機的試
料でも真空内残留ガスとか陰極からのスパッタリング等
で表面が汚染されて分析精度が低下すると云った問題が
あり、更に試料の微小領域のＸ線分光分析を行う場所に
は長時間にわたって安定に試料の同一点を電子照射する
と云うことは困難である等、分析精度を上げるために波
長走査速度を低くすると他の色々な経時的因子の影響が
大きく効いて来て分析の精度及び信頼性を低下させると
云った関係があって、分光分析において分析所要時間を
短縮すると云うことはきわめて重要な事項である。
本発明は上述したような状況に鑑み、分光分析において
分析所要時間を短縮すると共に分析精度の向上を計るこ
とを目的としてなされた。この目的に沿って従来から既
に提案がなされている。その一つはピークが現れる位置
を予想しておき分光器の波長送りのプログラムを定めて
予想ピーク位置だけ低速走査を行い、その他の所は高速
走査するものであり、ピーク位置が予想できない場合に
は適用できない。もう一つは一つの分光器に波長送りの
方向に一定距離を距て＼２個の検出器を設けて一体的に
高速波長走査を行い、先行の検出器がピークを検出した
ら波長走査を低速に切換え、後行の検出器で定量測定を
行うと云う方式である。
分析所要時間を短縮すると共に分析精度の向上を計るこ
とを目的としてなされた。この目的に沿って従来から既
に提案がなされている。その一つはピークが現れる位置
を予想しておき分光器の波長送りのプログラムを定めて
予想ピーク位置だけ低速走査を行い、その他の所は高速
走査するものであり、ピーク位置が予想できない場合に
は適用できない。もう一つは一つの分光器に波長送りの
方向に一定距離を距て＼２個の検出器を設けて一体的に
高速波長走査を行い、先行の検出器がピークを検出した
ら波長走査を低速に切換え、後行の検出器で定量測定を
行うと云う方式である。
この方式では検出されたピークの幅の大小に関係なく、
各ピーク毎に一定の波長範囲を低速走査するので、なお
分析時間短縮の余地がある。その他に一つの分光器で一
つの検出器を用い、ピークの立上シを検出して波長走査
を低速に切換え同じ検出器で定量測定を行うと云う方法
がある。この方法ではピークの立上シを誤りなく検出す
るだめにピークのない所での走査速度を余シ速くするこ
とができず、全体として分析時間短縮の効果は比較て一
方の分光器を先行させ、ピーク検出、ピーク中心波長、
ピーク幅等のデータを得て他方の分光器に測定範囲の指
令を与えることにより波長走査の高速送シの範囲と低速
送シの範囲を合理的に設定するようにした分光装置を提
供するものである。
各ピーク毎に一定の波長範囲を低速走査するので、なお
分析時間短縮の余地がある。その他に一つの分光器で一
つの検出器を用い、ピークの立上シを検出して波長走査
を低速に切換え同じ検出器で定量測定を行うと云う方法
がある。この方法ではピークの立上シを誤りなく検出す
るだめにピークのない所での走査速度を余シ速くするこ
とができず、全体として分析時間短縮の効果は比較て一
方の分光器を先行させ、ピーク検出、ピーク中心波長、
ピーク幅等のデータを得て他方の分光器に測定範囲の指
令を与えることにより波長走査の高速送シの範囲と低速
送シの範囲を合理的に設定するようにした分光装置を提
供するものである。
Ｘ線分光分析装置では同時に複数種の元素の検出が可能
なように一つの試料照射電子光学系の周囲に複数のＸ線
分光器を配置する構成が一般化しており、本発明はこの
ようなＸ線分光分析装置に高速高精度の定量分析機能を
付与するものである。
なように一つの試料照射電子光学系の周囲に複数のＸ線
分光器を配置する構成が一般化しており、本発明はこの
ようなＸ線分光分析装置に高速高精度の定量分析機能を
付与するものである。
以下実施例によって本発明を説明する。
図は本発明の一実施例を示す。Ａ、Ｂは分光器、ｃｉ制
御装置である。分光器ＡのＸ線検出出力はピーク検出面
路Ｐに入力される。分光器ＢＯＸ線検出出力は信号処理
回路Ｓに入力される。制御装置Ｃは次のような制御動作
を行う。スタート操作によって分光器Ａを高速で始動さ
せ少し遅れて分光器Ｂを高速で始動する。この場合分光
器ＡとＢとは同速である必要はないが分光器ＢがＡを波
長値において追越すことがないように両者の速度を定め
ておく。ピーク検出回路Ｐからピーク検出信号が発せら
れると制御装置Ｃはそのときの分光器Ａの波長位置を検
知し、その波長値に予め定めである波長差を加算及び減
算して低速走査範囲を決定し、分光器Ｂがその走査範囲
の始点に到達したら分光器Ａ、 Ｂを共に低速走査に
切換え、信号処理回路Ｓで分光器Ｂの出力を処理させる
。信号処理はＸ線検出信号から計数率を求めＸ線強度信
号に変換するもので、Ｘ線強度信号は記録計メに入） 力される。記録計Ｘには制御回路Ｃから分光器Ｂの走査
と同期したＸ軸送り信号が送られており、分析結果が記
録される。分光器Ｂが低速走査範囲の終端に到達すると
制御回路Ｃは再び分光器Ａ。
御装置である。分光器ＡのＸ線検出出力はピーク検出面
路Ｐに入力される。分光器ＢＯＸ線検出出力は信号処理
回路Ｓに入力される。制御装置Ｃは次のような制御動作
を行う。スタート操作によって分光器Ａを高速で始動さ
せ少し遅れて分光器Ｂを高速で始動する。この場合分光
器ＡとＢとは同速である必要はないが分光器ＢがＡを波
長値において追越すことがないように両者の速度を定め
ておく。ピーク検出回路Ｐからピーク検出信号が発せら
れると制御装置Ｃはそのときの分光器Ａの波長位置を検
知し、その波長値に予め定めである波長差を加算及び減
算して低速走査範囲を決定し、分光器Ｂがその走査範囲
の始点に到達したら分光器Ａ、 Ｂを共に低速走査に
切換え、信号処理回路Ｓで分光器Ｂの出力を処理させる
。信号処理はＸ線検出信号から計数率を求めＸ線強度信
号に変換するもので、Ｘ線強度信号は記録計メに入） 力される。記録計Ｘには制御回路Ｃから分光器Ｂの走査
と同期したＸ軸送り信号が送られており、分析結果が記
録される。分光器Ｂが低速走査範囲の終端に到達すると
制御回路Ｃは再び分光器Ａ。
Ｂを高速走査に切換える。低速走査の期間中分光器Ａは
次のピーク検出動作に移るまで待機しているだけである
が、この期間を利用して分光器Ａによってバックグラウ
ンドの測定を行わせることができる。その他この期間中
の分光器Ａの利用法は任意である。
次のピーク検出動作に移るまで待機しているだけである
が、この期間を利用して分光器Ａによってバックグラウ
ンドの測定を行わせることができる。その他この期間中
の分光器Ａの利用法は任意である。
上の実施例では低速走査の範囲は検出されたピークの中
心波長に予め設定した波長差を加算することによって決
定しているが、分光器Ａの検出出力を解析してピーク幅
を求め、その幅に基いて低速波長範囲を設定するように
するとより合理的に走査の高速低速の切換えがなされ、
分析時間の有効使用率が高められる。つまシビークの立
上りの極〈近くまで高速走査で来ることが可能となる。
心波長に予め設定した波長差を加算することによって決
定しているが、分光器Ａの検出出力を解析してピーク幅
を求め、その幅に基いて低速波長範囲を設定するように
するとより合理的に走査の高速低速の切換えがなされ、
分析時間の有効使用率が高められる。つまシビークの立
上りの極〈近くまで高速走査で来ることが可能となる。
Claims (1)
- ２つの分光器とこれらの分光器の動作を制御する制御装
置とよりなシ、一方の分光器を先行させてピーク検出を
行い、この分光器により得られるピーク波長その他のデ
ータに基き、他方の分光器によシ上記検出されたピーク
の中心波長を含む所定波長範囲を低速走査して上記ピー
クに関し精密測定を行うよう上記制御装置の動作を設定
したことを特徴とする走査型分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5191782A JPS58167924A (ja) | 1982-03-29 | 1982-03-29 | 走査型分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5191782A JPS58167924A (ja) | 1982-03-29 | 1982-03-29 | 走査型分光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58167924A true JPS58167924A (ja) | 1983-10-04 |
Family
ID=12900219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5191782A Pending JPS58167924A (ja) | 1982-03-29 | 1982-03-29 | 走査型分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58167924A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388427A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-19 | Shimadzu Corp | 測定出力記録装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4931153A (ja) * | 1972-07-14 | 1974-03-20 | ||
| JPS5128792B2 (ja) * | 1971-10-08 | 1976-08-21 |
-
1982
- 1982-03-29 JP JP5191782A patent/JPS58167924A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5128792B2 (ja) * | 1971-10-08 | 1976-08-21 | ||
| JPS4931153A (ja) * | 1972-07-14 | 1974-03-20 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388427A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-19 | Shimadzu Corp | 測定出力記録装置 |
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