JP2009085659A - デバイシェラー光学系を備えたx線回折測定装置とそのためのx線回折測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被測定試料Sに照射する特性X線を発生するX線源10と;試料を中心に取り囲んで配置されたX線フィルム30と;試料とX線フィルムとの間に配置され、試料からの散乱X線を、当該試料を中心に所定の角度で集めてX線フィルムの所定の位置に照射する放物面を有する人工多層膜からなるミラー100を備えたデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置により、散乱X線を、当該試料を中心に所定の角度で集め、当該試料を中心に取り囲んで配置されたX線フィルム上にデバイ環を得る。
【選択図】 図2
Description
まず、添付の図1(A)は、本発明の一実施の形態になるデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置の外観構成を示しており、例えば、X線管からなるX線源10から出射された単色化された特性X線は、コリメータ20において所定の径の平行線にされた後、多結晶体試料Sに照射される。その結果、この照射X線は、当該多結晶体試料Sによる回折X線として、当該試料を中心として、所定の角度2θで散乱され、当該試料Sを中心にしてその周囲に円筒状に配置されたX線フィルムなどから構成されるX線検出手段30に照射される。その結果、添付の図1(B)にも示すように、X線フィルム30上には、X線の照射方向(2θ=0°)を中心にして、その両側において、所定の位置(角度)に、縞状のパターン(即ち、デバイ環)が得られる。
nλ=2dsin(θ) (式1)
但し、ここで、n=反射次数、λ=入射放射線(X線)の波長、d=ブラッグ構造の層設定間隔又は結晶の格子面間隔、θ=入射角。
Claims (9)
- 被測定試料に照射する特性X線を発生する手段と;
当該試料を中心に取り囲んで配置されたX線検出手段と;
前記試料と前記X線検出手段との間に配置され、当該試料からの散乱X線を、当該試料を中心に、周方向の所定の角度で集めて前記X線検出手段に照射する集光手段とを備えたことを特徴とするデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置。 - 前記請求項1に記載したX線回折測定装置において、前記集光手段を、前記X線検出手段の前面に複数取り付けたことを特徴とするデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置。
- 前記請求項1に記載したX線回折測定装置において、前記集光手段を、前記X線検出手段の前面において移動可能に取り付けたことを特徴とするデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置。
- 前記請求項1〜3のいずれか一に記載したX線回折測定装置において、前記集光手段を、放物面を有する人工多層膜からなるミラーにより形成したことを特徴とするデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置。
- 前記請求項1に記載したX線回折測定装置において、前記X線検出手段を、1次元又は2次元検出器で構成したことを特徴とするデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置。
- 前記請求項5に記載したX線回折測定装置において、前記X線検出手段を構成する2次元検出器を、X線感光フィルム、イメージングプレート、CCD2次元検出器、PSD1次元検出器の少なくとも1つにより構成したことを特徴とするデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置。
- 前記請求項1又は請求項3に記載したX線回折測定装置において、前記X線検出手段を、1次元検出器で構成したことを特徴とするデバイシェラー光学系を備えたX線回折測定装置。
- 発生する特性X線を被測定試料に照射し、当該X線の照射により得られる散乱X線を、当該試料を中心に所定の角度で集め、当該試料を中心に取り囲んで周方向に配置されたX線検出手段の所定の位置に照射することによりデバイ環を得ることを特徴とするデバイシェラー光学系のためのX線回折測定方法。
- 前記請求項8に記載したX線回折測定方法において、放物面を有する人工多層膜からなるミラーにより、当該試料を中心に所定の角度で集めて当該試料を中心に取り囲んで配置されたX線検出手段の所定の位置に照射することを特徴とするデバイシェラー光学系のためのX線回折測定方法。
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