JP2009002805A - 小角広角x線測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線源Fから出たX線を試料Sに照射し試料Sから発生する散乱線を小角度領域内で検出器26によって検出する小角X線光学系と、試料Sと検出器26との間に設けられており試料Sから発生する散乱線を広角度領域内で検出する広角X線光学系7とを有する小角広角X線測定装置である。広角X線光学系7は、試料Sと検出器7との間のX線光路上に設けられており、X線像を可視光像に変換する蛍光体38と、蛍光板38上に形成された可視光像を反射する光反射体42と、光反射体42で反射した可視光像を検出する光検出器47とを有する。X線光路と交わる部分の蛍光体38及び光反射体42のそれぞれにX線用開口39,42が設けられ、その開口39,42は小角度領域の最大角度値を見込む開口径を有する。
【選択図】図2
Description
以下、本発明に係る小角広角X線測定装置を実施形態に基づいて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されないことはもちろんである。また、これ以降の説明では図面を参照するが、その図面では特徴的な部分を分かり易く示すために実際のものとは異なった比率で構成要素を示す場合がある。
2dsinθ=nλ
が満たされたときに、回折X線が発生する。なお、上式において「n」は反射次数である。
図6は、本発明に係る小角広角X線測定装置の他の実施形態を示している。この図は先の実施形態における図2に相当する構成を示している。図6において図2と同じ符号は同じ部材を示しており、それらの部材の説明は省略することにする。本実施形態では、図2に示した実施形態に対して広角X線光学系に改変を加えている。本実施形態で用いる広角X線光学系57は、図7に示すように、断面が方形状でない暗箱64を有している。この暗箱64には図5の実施形態の場合と同様に接続部45を介して検出部35が接続されている。検出部35内には2次元CCDセンサ47及び冷却装置48が設けられ、接続部45内には結像レンズ46が設けられている。
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
例えば、図2に示した実施形態では検出器プレート26によって小角散乱線を検出したが、図1に示すCCD検出器ユニット9を用いて小角散乱線を検出することもできる。
4.第2スリット部、 5.第3スリット部、 6.試料台、 7.広角X線光学系、
8.2次元検出器ユニット、 9.CCD検出器ユニット、 11.基台、
12.レール、 13a〜13c.減圧パス、 16.ハウジング、
17.X線取出し窓、 18.ロータターゲット、 19.フィラメント、
22.X線集光要素、 22a.第1ミラー、 22b.第2ミラー、
23〜25.スリット、 26.検出器プレート、 27.ダイレクトビームストッパ、
29.X線反射面、 30.重元素、 31.軽元素、 34.暗箱、 35.検出部、
36.蛍光層支持体、 37.蛍光層、 38.蛍光板、 39.X線開口、
40.遮光部材、 40a,40b.遮光部材、 42.光反射板、 43.X線開口、
44.X線開口、 45.接続部、 46.結像レンズ、 47.2次元CCDセンサ、
48.冷却装置、 57.広角X線光学系、59,60.X線開口、 64.暗箱、
67.蛍光層、 68.蛍光板、 A.データ取得不能領域、 d0.焦点サイズ、
F.X線焦点、 α.X線取出し角度、 X1.X線光軸
Claims (7)
- X線源から出射したX線を試料に照射すると共に該試料から発生する散乱線を小角度領域内でX線検出手段によって検出する小角X線光学系と、
前記試料と前記X線検出手段との間に設けられており該試料から発生する散乱線を広角度領域内で検出する広角X線光学系とを有し、
前記広角X線光学系は、
前記試料と前記X線検出手段との間のX線光路上に設けられており、X線像を可視光像に変換する蛍光体と、
該蛍光板上に形成された可視光像を反射する光反射体と、
該光反射体で反射した可視光像を検出する光検出手段と、を有し、
前記X線光路と交わる部分の前記蛍光体及び前記光反射体のそれぞれにX線用開口が設けられ、そのX線用開口は前記小角度領域の最大角度値を見込む開口径を有する
ことを特徴とする小角広角X線測定装置。 - 請求項1記載の小角広角X線測定装置において、
前記蛍光体及び前記光反射体を包囲する暗箱をさらに有し、
前記X線光路と交わる部分の前記暗箱にX線用開口が設けられ、そのX線用開口は前記小角度領域の最大角度値を見込む開口径を有する
ことを特徴とする小角広角X線測定装置。 - 請求項1又は請求項2記載の小角広角X線測定装置において、前記光検出手段は2次元CCD光センサであることを特徴とする小角広角X線測定装置。
- 請求項1から請求項3のいずれか1つに記載の小角広角X線測定装置において、
前記蛍光体は前記X線光軸に対して直角に配置され、前記光反射体は前記X線光軸に対して傾斜して配置されることを特徴とする小角広角X線測定装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1つに記載の小角広角X線測定装置において、
前記蛍光体は前記光反射体よりも前記試料に近い位置に配置されることを特徴とする小角広角X線測定装置。 - 請求項1から請求項5のいずれか1つに記載の小角広角X線測定装置において、
前記小角X線光学系は、
前記X線源からポイントフォーカスのX線を取出すX線発生装置と、
前記X線源と前記試料との間に配置されており前記X線源から取出されたX線を集光させるX線集光手段とを有する
ことを特徴とする小角広角X線測定装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか1つに記載の小角広角X線測定装置において、
前記X線源から前記X線検出手段に至るX線光路を減圧状態に保持する手段をさらに有し、
前記暗箱の内部も減圧状態に保持される
ことを特徴とする小角広角X線測定装置。
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