KR20100067326A - 나노 공간분해능을 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치 - Google Patents

나노 공간분해능을 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치 Download PDF

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KR20100067326A
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Abstract

본 발명은 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT; COMPUTED TOMOGRAPHY) 장치에 관한 것으로, 세포 및 미소 조직과 같은 바이오 시료 혹은 반도체 칩과 같은 산업용 고체 시료의 두께를 100㎛ 이하로 제한하면서 존 플레이트(zone plate)와 같이 100배 이상의 배율을 가지는 회절 광학소자로 시료를 통과한 X-선을 100배 이상의 고배율로 확대, 집광하여 생성한 2차원 영상으로부터 100nm 이하의 나노 공간분해능를 갖는 3차원 영상을 얻을 수 있다.
본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치를 이용하면, 종래의 원뿔형 광원부를 포함하는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치(100)로는 관찰이 불가능한 두께 100㎛ 이하의 바이오 시료 및 산업용 고체 시료의 3차원 영상을 100nm 이하의 나노 공간분해능으로 얻을 수 있으며, 그 결과 시료의 내부 구조물(예컨대, 반도체 칩의 내부 단락 등) 검사에 매우 유용하다.
컴퓨터 단층 촬영, CT, 모세관 광학소자, 회절 광학소자, 다층박막 거울

Description

나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치{COMPUTED TOMOGRAPHY SYSTEM OF NANO-SPATIAL RESOLUTION}
본 발명은 컴퓨터 단층 촬영(CT; COMPUTED TOMOGRAPHY) 장치에 관한 것이며, 더욱 상세히는 두께 100㎛ 이하인 시료에 대해 공간분해능이 100nm 이하인 3차원 컴퓨터 단층 촬영(CT) 영상을 얻기 위한 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치에 관한 것이다.
컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치는 대상 물체에 대한 3차원 영상을 얻을 수 있는 촬영 장치로, 주로 인체의 병변 발견을 위한 3차원 영상 획득용으로 많이 사용될 뿐만 아니라 동물 실험 등에도 많이 사용된다.
도 1은 병원 등에서 널리 사용되는 종래의 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치(100)를 나타낸 실시예로, 원뿔형 광원부(110)와 영상 검출기(120), 및 영상 처리기(130)를 포함하여 구성되며, 3차원 영상을 얻는 방식에 따라 시료 회전형과 상기 광원부(110)와 영상 검출기(120)가 일체형이 되어 회전하는 겐트리(granty) 회전형으로 나눌 수 있다.
상기 원뿔형 광원부(110)는 X-선 튜브 광원을 이용해서 X-선을 발생하여 시 료(S)에 원뿔모양으로 조사한다.
상기 영상 검출기(120)는 상기 시료(S)를 투과하는 X-선을 검출하여 시료(S)의 2차원 영상을 생성하며, 통상적으로 CCD 카메라, CMOS 카메라, 평판(Flat-Panel) 검출기 등이 사용된다.
상기 영상 처리기(130)는 상기 영상 검출기(120)에서 생성한 2차원 영상들을 원뿔형 빔(Cone-beam) 영상 재구성 알고리즘을 사용하여 재구성하여 3차원 영상을 생성한다.
상기와 같이 구성되는 종래의 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치(100)는 예컨대, 상기 시료(S)를 1°간격으로 360번 회전시키면서 상기 영상 검출기(120)가 360개의 2차원 영상을 생성하거나, 혹은 상기 원뿔형 광원부(110)와 상기 영상 검출기(120)가 일체형이 1°간격으로 360번 회전하면서 상기 영상 검출기(120)가 360개의 2차원 영상을 생성하며, 이와 같이 생성한 2차원 영상들은 상기 영상 처리기(130)가 원뿔형 빔(Cone-beam) 영상 재구성 알고리즘을 사용하여 재구성함에 따라 3차원 영상으로 생성된다.
상기와 같이 병원 등에서 널리 사용되는 종래의 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치(100)는 병변의 정확한 발견을 위해, 얻어진 3차원 영상에 대한 높은 공간분해능이 요구되는데, 이러한 3차원 영상에 대한 공간분해능은 상기 원뿔형 광원부(110)의 광원 크기와 상기 영상 검출기(120)의 픽셀 크기에 의존한다.
실제로, 상기 원뿔형 광원부(110)의 광원 스폿(spot)의 크기가 유한한 상태에서 시료의 영상 흐림(blurring) 정도는 광원의 크기에 비례하므로 상기 원뿔형 광원부(110)의 광원 크기를 줄일수록 상기 3차원 영상에 대한 높은 공간분해능을 얻을 수 있으며, 또한 상기 영상 검출기(120)의 픽셀 크기를 줄일수록 상기 3차원 영상에 대한 높은 공간분해능을 얻을 수 있다.
상기와 같이 상기 3차원 영상의 공간분해능을 향상시키기 위하여 상기 원뿔형 광원부(110)의 광원 크기를 줄이는 경우, X-선 튜브 광원에서 발생되는 광자(photon)의 수가 적어지고 상기 영상 검출기(120)가 영상을 얻기 위한 노출시간이 길어지게 되는 단점이 있으며, 특히 X-선 튜브 광원의 스폿 크기를 수 마이크로미터(㎛) 이하로 줄이기가 어렵기 때문에 상기 3차원 영상의 공간분해능을 1㎛ 이하로 설정 하기는 현실적으로 매우 어렵다.
또한, 상기와 같이 상기 3차원 영상의 공간분해능을 향상시키기 위하여 상기 영상 검출기(120)의 픽셀 크기를 줄이는 경우, 상기 영상 검출기(120)의 픽셀 크기는 검출효율 및 노이즈 발생 등의 이유로 수 마이크로미터(㎛) 이하로 줄이는 데 한계가 있다. 이러한 한계를 극복하기 위해, 상기 영상 검출기(120)의 픽셀 크기를 줄이는 대신에 배율을 높임(10배 이상으로 높이는 것이 현실적으로 매우 어려움)으로써 상기 영상 검출기(120)의 픽셀 크기를 줄이는 효과를 얻을 수 있으나, 상기 영상 검출기(120)의 배율이 증가하면 영상의 흐림(blurring)이 발생하여 공간분해능이 저하된다.
따라서, 상기와 같은 원뿔형 광원부(110)를 포함하는 종래의 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치(100)로는 1㎛ 이하의 공간분해능를 갖는 3차원 영상을 얻기가 거의 불가능하다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 세포 및 미소 조직과 같은 바이오 시료 혹은 반도체 칩과 같은 산업용 고체 시료의 두께를 100㎛ 이하로 제한하면서 존 플레이트(zone plate)와 같이 100배 이상의 배율을 가지는 회절 광학소자로 시료를 통과한 X-선을 100배 이상의 고배율로 확대, 집광하여 생성한 2차원 영상으로부터 100nm 이하의 나노 공간분해능를 갖는 3차원 영상을 얻을 수 있는 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치의 실시예는, X-선 튜브 광원을 이용해서 X-선을 발생하는 광원부와; 상기 광원부로부터 일정 각도로 방출되는 X-선을 수직 또는 수평 방향으로 제한하는 콜리메이터(collimator); 브래그(Bragg) 반사조건에 따른 특정 브래그 각도로 정렬된 다층박막 거울을 이용하여 상기 콜리메이터를 통과한 다색의 빔(polychromatic beam)을 포함하는 X-선을 반사시켜 단색 특성 X-선(characteristic x-ray)만을 추출하는 모노크로메이터(monochromator); 상기 모노크로메이터에서 추출되는 단색 특성 X-선을 집광하여 시료에 조사하는 모세관 광학소자(capillary optic); 상기 모세관 광학소자의 앞단에 설치되어 상기 모세관 광학소자의 내부 벽에 반사되지 않고 직접 통과하는 X-선을 방지하는 스토퍼(stoper); 병진, 기울임 및 회전이 가능한 스테이지 위에 장착된 모세관이나 시료 홀더에 관찰하려는 시료를 고정하는 시료 스테이지; 상기 시료 스테이지에 고정된 시료를 통과한 단색 특성 X-선을 검출하여 생성할 시료의 2차원 영상을 특정 배 율로 확대할 수 있도록 상기 시료를 통과한 단색 특성 X-선을 확대하여 집광하는 회절 광학소자; 상기 회절 광학소자에서 확대된 단색 특성 X-선을 검출하여 2차원 영상을 생성하는 영상 검출부; 및 상기 영상 검출부에서 생성한 2차원 영상들을 평행 빔(parallel beam) 영상 재구성 알고리즘을 사용하여 재구성하여 3차원 영상을 생성하는 영상 처리부;로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치를 이용하면, 종래의 원뿔형 광원부를 포함하는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치(100)로는 관찰이 불가능한 두께 100㎛ 이하의 바이오 시료 및 산업용 고체 시료의 3차원 영상을 100nm 이하의 나노 공간분해능으로 얻을 수 있으며, 그 결과 시료의 내부 구조물(예컨대, 반도체 칩의 내부 단락 등) 검사에 매우 유용하다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 2와 도 3을 참조하면, 광원부(210)는 X-선 튜브 광원을 이용해서 X-선을 발생한다.
상기 광원부(210)는 바이오 시료 및 산업용 시료 관찰을 효과적으로 하기 위해서 5∼10keV 사이에서 특성방사선을 가지는 타깃 물질을 선택하는 것이 바람직하며, 상기 타깃 물질로는 크롬(CrKα, 5.4keV), 구리(CuKα, 8.0keV), 텅스텐(WLα, 8.4keV) 등을 선택하는 것이 바람직하다.
콜리메이터(220)는 상기 광원부(210)로부터 일정 각도로 방출되는 X-선을 수직 또는 수평 방향으로 제한하며, 수백 마이크로미터(㎛)의 슬릿폭을 갖는다.
모노크로메이터(230)는 브래그 반사조건에 따른 특정 브래그 각도로 정렬된 다층박막 거울을 이용하여 상기 콜리메이터(220)를 통과한 다색의 빔을 포함하는 X-선을 반사시켜 단색 특성 X-선만을 추출한다. 참고로, 브래그 반사조건 λ=2dsinθ(여기서 d는 두께 주기이고, θ는 입사각, λ는 X-선 파장)를 이용하면 높은 반사 효율로 상기 단색 특성 X-선만을 추출하기 위해 상기 다층박막 거울의 평균 두께 주기 및 다층박막을 구성하고 있는 층의 균일성을 계산하여 상기 다층박막 거울을 특정 브래그 각도로 정렬할 수 있다. 예컨대, 상기 콜리메이터(220)를 통과한 다색의 빔을 포함하는 8.4 keV의 X-선을 효과적으로 반사시켜 단색 특성 X-선만을 추출하기 위해서 상기 다층박막 거울의 두께 주기는 5.65nm, 브래그 각도는 0.8°로 설정할 수 있다.
모세관 광학소자(240)는 상기 모노크로메이터(230)에서 추출되는 단색 특성 X-선을 집광하여 시료(S)에 조사한다.
상기 모세관 광학소자(240)는 그 직경이 대략 200㎛ 내외가 되면 상기의 단색 특성 X-선이 전반사되도록 설계하는 것이 바람직하며, 그 길이는 사용하고자 하는 X-선의 에너지에 따라서 달라질 수 있으나 대략 120mm 정도로 설계하는 것이 바람직하다.
상기 모세관 광학소자(240)는 용융점이 낮은 파이렉스 글래스(Pyrex glass)로 만드는 것이 바람직하고, X-선을 시료(S)에 조사하기 위해 타원 형상을 갖는 것 이 바람직하다.
스토퍼(stoper; 240a)는 상기 모세관 광학소자(240)의 내부 벽에 반사되지 않고 직접 통과하는 X-선을 방지하기 위하여 상기 모세관 광학소자(240)의 앞단에 설치되며, 금(Au), 니켈(Ni) 등의 금속재로 된 것이다.
시료 스테이지(250,250a)는 병진, 기울임 및 회전이 가능한 스테이지(251) 위에 장착된 모세관(252)이나 시료 홀더(252a)에 관찰하려는 시료(S)를 고정한다.
상기 스테이지(251)로는 각도 조절 및 회전 오차가 매우 작은 에어베어링 스테이지를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 모세관(252)은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 바이오 시료(S)(예컨대, 세포 및 미소 조직)를 넣도록 되어 있고, 상기 모세관(252)의 두께는 대략 100㎛를 넘지 않도록 제작해야 하며, 큰 바이오 시료(S)에 대해서는 직접적으로 적용할 수 없고 100㎛ 이하로 쪼개어서 여러번 관찰해야 한다는 단점이 있다.
상기 시료 홀더(252a)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 흘러내리지 않는 산업용 고체 시료(S)(예, 반도체 칩)를 올려 놓도록 되어 있고, 상기 시료 홀더(252a)에 올려 놓아지는 시료(S)의 두께는 100㎛가 넘지 않도록 사전에 준비를 해야 한다.
상기 시료 스테이지(250,250a)는 X-선을 장시간 시료(S)에 조사하면 시료(S)에 축적되는 X-선의 선량(dose)때문에 시료(S)의 온도가 올라가거나 구조 변형이 올 수가 있다. 따라서, 바이오 시료(S)를 사용할 때는 특정 온도(예컨대, 4℃)를 유지하기 위한 온도조절 장치 또는 크라이오 장치(cryo-system)를 사용하는 것이 바람직하다.
회절 광학소자(260)는 상기 시료 스테이지(250,250a)에 고정된 시료(S)를 통과한 단색 특성 X-선을 검출하여 생성할 시료(S)의 2차원 영상을 특정 배율로 확대할 수 있도록 상기 시료(S)를 통과한 단색 특성 X-선을 확대하여 집광한다.
상기 회절 광학소자(260)로는 상기 2차원 영상을 고배율(예컨대, 100배 이상)로 확대하기 위하여 존 플레이트(zone plate)를 사용하는 것이 바람직하며, 현재 기술 수준에서 100배 이상의 배율을 가지는 X-선 광학소자는 존 플레이트가 유일하다. 참고로, 100nm 이상의 3차원 영상의 공간분해능을 보장하기 위하여 2차원 영상의 공간분해능은 이보다 더 좋은 80nm 정도가 바람직한데, 이와 같이 2차원 영상의 공간분해능을 80nm 정도로 보장하려면 상기 존 플레이트의 최 외곽폭은 대략 50nm로 설정하는 것이 요구되고, 회절 효율을 높이기 위하여 종횡비(aspect ratio)는 10 이상인 것이 요구된다. 또한, 상기 존 플레이트를 설계할 때, 본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치가 실험실 규모의 크기를 갖도록 하기 위하여 초점길이를 조절할 필요가 있으며, 이 초점길이는 10mm 이하가 되도록 하는 것이 바람직하다.
영상 검출부(270)는 상기 회절 광학소자(260)에서 확대된 단색 특성 X-선을 검출하여 2차원 영상을 생성하며, 2차원 디지털 영상 생성이 가능한 픽셀 기반의 CCD 카메라, CMOS 카메라를 사용하는 것이 바람직하다. 참고로, 상기 픽셀 기반의 CCD 카메라나 CMOS 카메라의 픽셀 개수는 2,048×2,048 이상이고, 검출 유효 면적은 24mm×24mm 이상이 바람직하다.
상기 영상 검출부(270)의 픽셀 크기와 검출 유효 면적에 따라 상기 회절 광 학소자(260)의 배율이 조절될 수 있다.
영상 처리기(280)는 상기 영상 검출부(270)에서 생성한 2차원 영상들을 평행 빔(parallel beam) 영상 재구성 알고리즘을 사용하여 재구성하여 3차원 영상을 생성한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치(200)는 다음과 같이 작동한다.
도 2에 나타낸 본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치와 도 3에 나타낸 본 발명에 따른 또 다른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치는 시료(S)의 종류에 따라 이 시료(S)를 상기 시료 스테이지(250,250a)에 고정하는 수단이 서로 다른 점 이외에 나머지의 구성은 서로 동일하다.
즉, 도 2에서는 상기 시료 스테이지(250)의 모세관(252)에 바이오 시료(S)(예컨대, 세포 및 미소 조직)를 고정한 상태를 나타내고, 도 3에서는 상기 시료 스테이지(250a)의 시료 홀더(252a)에 흘러내리지 않는 산업용 고체 시료(S)(예, 반도체 칩)를 고정한 상태를 나타낸다.
상기와 같이 시료 스테이지(250,250a)에 바이오 시료(S)(예컨대, 세포 및 미소 조직) 혹은 산업용 고체 시료(S)(예, 반도체 칩)를 고정한 상태에서, 상기 광원부(210)가 X-선을 발생하면 상기 콜리메이터(220)가 상기 광원부(210)로부터 일정 각도로 방출되는 X-선을 수직 또는 수평 방향으로 제한하여 상기 모노크로메이터(230)로 전달한다.
이에 따라서, 상기 모노크로메이터(230)는 브래그 반사조건에 따른 특정 브래그 각도로 정렬된 다층박막 거울을 이용하여 상기 콜리메이터(220)를 통과한 다색의 빔을 포함하는 X-선을 반사시켜 단색 특성 X-선만을 추출하여 상기 모세관 광학소자(240)로 전달한다.
이때, 상기 단색 특성 X-선은 상기 모세관 광학소자(240)의 앞단에 위치한 상기 스토퍼(240a)에 의해 상기 모세관 광학소자(240)의 내부 벽에 반사되면서 집광된다.
이어서, 상기 모세관 광학소자(240)에 의해 집광되는 단색 특성 X-선은 상기 시료 스테이지(250,250a)에 고정된 상기 바이오 시료(S)(예컨대, 세포 및 미소 조직) 혹은 산업용 고체 시료(S)(예, 반도체 칩)에 조사되며, 이때 상기 시료(S)를 통과한 단색 특성 X-선은 상기 회절 광학소자(260)에 의해 특정 배율(예컨대, 100배 이상)로 확대되어 상기 영상 검출기(270)로 집광된다.
이에 따라서, 상기 영상 검출부(270)는 상기 회절 광학소자(260)에서 확대된 단색 특성 X-선을 검출하여 2차원 영상을 생성하여 상기 영상 처리기(280)로 전달하며, 상기 영상 처리기(280)는 상기 영상 검출부(270)에서 생성한 2차원 영상들을 평행 빔(parallel beam) 영상 재구성 알고리즘을 사용하여 재구성하여 3차원 영상을 생성한다.
예컨대, 상기 시료 스테이지(250,250a)에 고정된 시료(S)가 1°간격으로 360번 회전할 때마다 상기 영상 검출부(270)는 상기 회절 광학소자(260)에서 확대된 단색 특성 X-선을 검출하여 2차원 영상을 생성하게 되는데, 상기 영상 처리기(280) 는 상기 영상 검출기(120)가 생성한 360개의 2차원 영상을 평행 빔(parallel beam) 영상 재구성 알고리즘을 사용하여 재구성하여 3차원 영상을 생성한다.
이상에서 설명한 본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치는 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있는 범위까지 그 기술적 정신이 있다.
도 1은 종래의 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치의 실시예.
도 2는 본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치의 실시예.
도 3은 본 발명에 따른 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치의 다른 실시예.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치 110: 원뿔형 광원부
120: 영상 검출기 130: 영상 처리기
200: 컴퓨터 단층 촬영(CT) 장치 210: 광원부
220: 콜리메이터 230: 모노크로메이터
240: 모세관 광학소자 240a: 스토퍼
250,250a: 시료 스테이지 251: 스테이지
252: 모세관 252a: 시료 홀더
260: 회절 광학소자 270: 영상 검출부
280: 영상 처리부 S: 시료

Claims (3)

  1. X-선 튜브 광원을 이용해서 X-선을 발생하는 광원부(210)와;
    상기 광원부(210)로부터 일정 각도로 방출되는 X-선을 수직 또는 수평 방향으로 제한하는 콜리메이터(collimator; 220);
    브래그(Bragg) 반사조건에 따른 특정 브래그 각도로 정렬된 다층박막 거울을 이용하여 상기 콜리메이터(220)를 통과한 다색의 빔(polychromatic beam)을 포함하는 X-선을 반사시켜 단색 특성 X-선(characteristic x-ray)만을 추출하는 모노크로메이터(monochromator; 230);
    상기 모노크로메이터(230)에서 추출되는 단색 특성 X-선을 집광하여 시료(S)에 조사하는 모세관 광학소자(capillary optic; 240);
    상기 모세관 광학소자(240)의 앞단에 설치되어 상기 모세관 광학소자(240)의 내부 벽에 반사되지 않고 직접 통과하는 X-선을 방지하는 스토퍼(stoper; 240a);
    병진, 기울임 및 회전이 가능한 스테이지(251) 위에 장착된 모세관(252)이나 시료 홀더(252a)에 관찰하려는 시료(S)를 고정하는 시료 스테이지(250,250a);
    상기 시료 스테이지(250,250a)에 고정된 시료(S)를 통과한 단색 특성 X-선을 검출하여 생성할 시료(S)의 2차원 영상을 특정 배율로 확대할 수 있도록 상기 시료(S)를 통과한 단색 특성 X-선을 확대하여 집광하는 회절 광학소자(260);
    상기 회절 광학소자(260)에서 확대된 단색 특성 X-선을 검출하여 2차원 영상을 생성하는 영상 검출부(270); 및
    상기 영상 검출부(270)에서 생성한 2차원 영상들을 평행 빔(parallel beam) 영상 재구성 알고리즘을 사용하여 재구성하여 3차원 영상을 생성하는 영상 처리부(280);
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 회절 광학소자(260)는 존 플레이트(zone plate)인 것을 특징으로 하는 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 시료 스테이지(250,250a)의 상기 모세관(252)에는 바이오 시료(S)가 넣어져 고정되고, 상기 시료 홀더(252a)에는 산업용 고체 시료(S)가 올려져 고정되는 것을 특징으로 하는 나노 공간분해능를 갖는 컴퓨터 단층 촬영 장치.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8958619B2 (en) 2011-07-22 2015-02-17 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of reconstructing tomograms from polychromatic X-ray transmission image and image processing apparatus using the same
US9255959B2 (en) 2012-09-06 2016-02-09 Samsung Electronics Co., Ltd. Test apparatus for semiconductor package
CN107560909A (zh) * 2017-09-08 2018-01-09 南京理工大学 基于局域电化学刻蚀的制备x射线纳米ct金属微试样的装置

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CN107560909B (zh) * 2017-09-08 2023-10-13 南京理工大学 基于局域电化学刻蚀的制备x射线纳米ct金属微试样的装置

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