JP7182839B2 - 軸方向に可変の側壁テーパーを有するビアを備えたシリカ含有基板、およびその形成方法 - Google Patents
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-
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-
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Description
シリカ、第一面、および該第一面と反対の第2面を含む基板を加工する方法において、
レーザビームを使用して、前記第一面から前記第二面まで前記基板を通る損傷軌跡を形成する工程であって、該損傷軌跡が、
前記第一面に近接した第1の高度に変更されたセグメント、
前記第二面に近接した第2の高度に変更されたセグメント、および
該第1の高度に変更されたセグメントと該第2の高度に変更されたセグメントの間に配置された最小に変更されたセグメント、
を含むように、該損傷軌跡に沿った該基板の変更のレベルは、該第一面から始まり該基板の中身に向かう第1の方向に減少し、該基板の変更のレベルは、該第二面から始まり該基板の中身に向かう第2の方向に減少する、工程、および
エッチング液を使用して、前記基板をエッチングして、前記第一面での第1の直径、前記第二面での第2の直径、および該第一面と該第二面の間の胴部の直径を有するビア胴部を有するビアを形成する工程であって、該胴部の直径は、該第1の直径より小さく、該第2の直径より小さい、工程、
を有してなる方法。
前記損傷軌跡の最小に変更されたセグメントが、前記レーザビームによって変更されている、実施形態1に記載の方法。
前記損傷軌跡の最小に変更されたセグメント内の前記基板の少なくとも一部が、前記レーザビームによって変更されていない、実施形態1または2に記載の方法。
前記基板が少なくとも75モル%のシリカを含む、実施形態1から3いずれか1つに記載の方法。
前記基板が少なくとも90モル%のシリカを含む、実施形態1から3いずれか1つに記載の方法。
前記基板が少なくとも99モル%のシリカを含む、実施形態1から3いずれか1つに記載の方法。
前記基板が、故意ではなくドープされたシリカを含む、実施形態1から3いずれか1つに記載の方法。
前記基板の厚さが、50μm以上かつ1mm以下である、実施形態1から7いずれか1つに記載の方法。
前記胴部の直径が、前記第1の直径および前記第2の直径の各々の少なくとも50%である、実施形態1から8いずれか1つに記載の方法。
前記ビアが砂時計の形状を有する、実施形態1から9いずれか1つに記載の方法。
前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該二面の他方よりも近く位置している、実施形態1から10いずれか1つに記載の方法。
前記第1の直径および前記第2の直径が5μm以上である、実施形態1から11いずれか1つに記載の方法。
前記基板の第一面が、前記レーザビームを放出するレーザ源に面しており、
前記胴部の直径と前記第1の直径との間の比が、35%以上かつ45%以下である、実施形態1から12いずれか1つに記載の方法。
前記ビアが、縦軸、内壁、前記第一面と前記ビア胴部との間に位置する第1のテーパー領域、および前記第二面と該ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域を含み、
前記第1のテーパー領域が、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有し、
前記第2のテーパー領域が、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する、実施形態1から13いずれか1つに記載の方法。
前記第1の角度が前記第2の角度と等しい、実施形態14に記載の方法。
前記第1の角度が前記第2の角度と異なる、実施形態14に記載の方法。
前記レーザビームが、
前記損傷軌跡が、前記最小に変更されたセグメントと前記第2の高度に変更されたセグメントとの間に位置する追加の最小に変更されたセグメントを含み、
前記追加の最小に変更されたセグメントの変更のレベルが、前記第1の高度に変更されたセグメントおよび前記第2の高度に変更されたセグメントの変更のレベルよりも小さい、ように作動される、実施形態1から16いずれか1つに記載の方法。
前記ビアが、
縦軸、
内壁、
前記第一面に近接して位置する第1のテーパー領域であって、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有する第1のテーパー領域、
前記第1のテーパー領域と前記ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域であって、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する第2のテーパー領域、
前記ビア胴部に隣接する第3のテーパー領域であって、該第3のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第3の角度を有する第3のテーパー領域、および
前記第3のテーパー領域と前記第二面との間に位置する第4のテーパー領域であって、該第4のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第4の角度を有する第4のテーパー領域、
を含み、
前記第2の角度および前記第3の角度の各々が、前記第1の角度および前記第4の角度より小さい、実施形態1から17いずれか1つに記載の方法。
前記第1の角度および前記第4の角度が異なる、実施形態18に記載の方法。
前記第1の角度および前記第4の角度の各々が、5度以下である、実施形態19に記載の方法。
前記第2の角度および前記第3の角度が異なる、実施形態18に記載の方法。
前記第1の角度、前記第2の角度、前記第3の角度、および前記第4の角度の各々が、該第1の角度、該第2の角度、該第3の角度、および該第4の角度の他のものと異なる、実施形態18に記載の方法。
前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該第二面の他方よりも近く位置している、実施形態18から22いずれか1つに記載の方法。
前記レーザビームが、前記基板の中身を通って位置決めされたレーザビーム焦線に集束されるパルスレーザビームを含み、
前記レーザビーム集線が、前記基板内に多光子誘発吸収を生じ、該多光子誘発吸収が、該レーザビーム集線に沿って該基板内に材料の変更を生じ、それによって、前記損傷軌跡が形成される、実施形態1から23いずれか1つに記載の方法。
前記パルスレーザビームが複数のレーザビームサブパルスを含み、該複数のレーザビームサブパルスの個々のレーザビームサブパルスが、ある時間間隔だけ隔てられている、実施形態24に記載の方法。
前記複数のレーザビームバーストが、10未満の個々のレーザビームサブパルスを含む、実施形態25に記載の方法。
前記複数のレーザビームバーストが、5以下の個々のレーザビームサブパルスを含む、実施形態25に記載の方法。
前記レーザビームの前記レーザビーム集線が、前記基板の第一面および第二面に近い該基板を、該基板の第一面および第二面からさらに離れた領域よりも強力に変更する、実施形態24から27いずれか1つに記載の方法。
前記レーザビーム集線の最大強度が、前記損傷軌跡の所望の線に沿って、前記第一面と前記第二面の間の中点に位置している、実施形態24から28いずれか1つに記載の方法。
前記レーザビーム集線の最大強度が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該二面の他方よりも近く位置している、実施形態24から28いずれか1つに記載の方法。
前記レーザビームを使用して、前記損傷軌跡を形成しながら、前記第一面および第二面の1つ以上の温度を調節する工程をさらに含む、実施形態1から30いずれか1つに記載の方法。
前記レーザビームが準非回折ビームである、実施形態1から31いずれか1つに記載の方法。
前記レーザビームのエネルギーが、前記基板を変更するための閾値より高い、実施形態1から32いずれか1つに記載の方法。
前記レーザビームのエネルギーが、前記基板を変更するための閾値より75パーセント未満大きい、実施形態33に記載の方法。
前記レーザビームのエネルギーが、前記基板を変更するための閾値より10パーセント未満大きい、実施形態34に記載の方法。
前記レーザビーム集線が、該レーザビーム集線の中心領域よりも、該レーザビーム集線の第1の端部および該レーザビーム集線の第2の端部で大きい強度を有するように、前記レーザビームを作動させる工程をさらに含む、実施形態24から28いずれか1つに記載の方法。
前記エッチング液がフッ化水素酸を含む、実施形態1から36いずれか1つに記載の方法。
前記エッチング液が、20体積%のフッ化水素酸および12体積%の塩化水素酸を含む、実施形態37に記載の方法。
前記基板のエッチング工程後、前記ビアを電気メッキする工程をさらに含む、実施形態1から38いずれか1つに記載の方法。
物品において、
シリカ含有基板であって、75モル%以上のシリカ、第一面、該第一面と反対の第2面、および該第一面から該第二面に向かって該シリカ含有基板を通って延在するビアを含み、該ビアは、
前記第一面での第1の直径、
前記第二面での第2の直径、および
前記第一面と前記第二面の間のビア胴部において、胴部の直径であって、該胴部の直径と、前記第1の直径および前記第2の直径の各々との間の比が75%以下であるように該第1の直径および該第2の直径より小さい胴部の直径を有するビア胴部、
を有する、シリカ含有基板、
を備えた物品。
前記シリカ含有基板が少なくとも90モル%のシリカを含む、実施形態40に記載の物品。
前記シリカ含有基板が少なくとも99モル%のシリカを含む、実施形態40に記載の物品。
前記シリカ含有基板が、故意ではなくドープされたシリカを含む、実施形態40に記載の物品。
前記シリカ含有基板の厚さが、50μm以上かつ1mm以下である、実施形態40から43いずれか1つに記載の物品。
前記胴部の直径が、前記第1の直径および前記第2の直径の各々の少なくとも50%である、実施形態40から44いずれか1つに記載の物品。
前記ビアが砂時計の形状を有する、実施形態40から45いずれか1つに記載の物品。
前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該二面の他方よりも近く位置している、実施形態40から46いずれか1つに記載の物品。
前記第1の直径および前記第2の直径の各々が、5μm以上かつ100μm以下である、実施形態40から47いずれか1つに記載の物品。
前記胴部の直径と前記第1の直径との間の比が、35%以上かつ45%以下である、実施形態40から48いずれか1つに記載の物品。
前記ビアが、縦軸、内壁、前記第一面と前記ビア胴部との間に位置する第1のテーパー領域、および前記第二面と該ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域を含み、
前記第1のテーパー領域が、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有し、
前記第2のテーパー領域が、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する、実施形態40から49いずれか1つに記載の物品。
前記第1の角度が前記第2の角度と等しい、実施形態50に記載の物品。
前記第1の角度が前記第2の角度と異なる、実施形態50に記載の物品。
前記ビアが、
縦軸、
内壁、
前記第一面に近接して位置する第1のテーパー領域であって、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有する第1のテーパー領域、
前記第1のテーパー領域と前記ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域であって、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する第2のテーパー領域、
前記ビア胴部に隣接する第3のテーパー領域であって、該第3のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第3の角度を有する第3のテーパー領域、および
前記第3のテーパー領域と前記第二面との間に位置する第4のテーパー領域であって、該第4のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第4の角度を有する第4のテーパー領域、
を含み、
前記第2の角度および前記第3の角度の各々が、前記第1の角度および前記第4の角度より小さい、実施形態40から49いずれか1つに記載の物品。
前記第1の角度および前記第4の角度が異なる、実施形態53に記載の物品。
前記第1の角度および前記第4の角度の各々が、5度以下である、実施形態54に記載の物品。
前記第2の角度および前記第3の角度が異なる、実施形態53に記載の物品。
前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該第二面の他方よりも近く位置している、実施形態53から56いずれか1つに記載の物品。
前記ビアが、導電性材料で電気メッキされている、実施形態40から57いずれか1つに記載の物品。
前記シリカ含有基板を貫通する複数のビアをさらに含む、実施形態40から58いずれか1つに記載の物品。
電子デバイスにおいて、
シリカ含有基板であって、75モル%以上のシリカ、第一面、該第一面と反対の第2面、および該第一面から該第二面に向かって該シリカ含有基板を通って延在するビアを含み、該ビアは、
前記第一面での第1の直径、
前記第二面での第2の直径、および
前記第一面と前記第二面の間のビア胴部において、胴部の直径であって、該胴部の直径と、前記第1の直径および前記第2の直径の各々との間の比が75%以下であるように該第1の直径および該第2の直径より小さい胴部の直径を有するビア胴部、
を有する、シリカ含有基板、および
前記シリカ含有基板に結合された半導体素子であって、前記ビアに電気的に結合されている半導体素子、
を備えた電子デバイス。
前記シリカ含有基板が少なくとも90モル%のシリカを含む、実施形態60に記載の電子デバイス。
前記シリカ含有基板が少なくとも99モル%のシリカを含む、実施形態60に記載の電子デバイス。
前記シリカ含有基板が、故意ではなくドープされたシリカを含む、実施形態60に記載の電子デバイス。
前記シリカ含有基板の厚さが、50μm以上かつ1mm以下である、実施形態60から63いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記胴部の直径が、前記第1の直径および前記第2の直径の各々の少なくとも50%である、実施形態60から64いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記ビアが砂時計の形状を有する、実施形態60から65いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該二面の他方よりも近く位置している、実施形態60から66いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記第1の直径および前記第2の直径の各々が、5μm以上かつ100μm以下である、実施形態60から67いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記胴部の直径と前記第1の直径との間の比が、35%以上かつ45%以下である、実施形態60から68いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記ビアが、縦軸、内壁、前記第一面と前記ビア胴部との間に位置する第1のテーパー領域、および前記第二面と該ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域を含み、
前記第1のテーパー領域が、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有し、
前記第2のテーパー領域が、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する、実施形態60から69いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記第1の角度が前記第2の角度と等しい、実施形態70に記載の電子デバイス。
前記第1の角度が前記第2の角度と異なる、実施形態70に記載の電子デバイス。
前記ビアが、
縦軸、
内壁、
前記第一面に近接して位置する第1のテーパー領域であって、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有する第1のテーパー領域、
前記第1のテーパー領域と前記ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域であって、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する第2のテーパー領域、
前記ビア胴部に隣接する第3のテーパー領域であって、該第3のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第3の角度を有する第3のテーパー領域、および
前記第3のテーパー領域と前記第二面との間に位置する第4のテーパー領域であって、該第4のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第4の角度を有する第4のテーパー領域、
を含み、
前記第2の角度および前記第3の角度の各々が、前記第1の角度および前記第4の角度より小さい、実施形態60から69いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記第1の角度および前記第4の角度が異なる、実施形態73に記載の電子デバイス。
前記第1の角度および前記第4の角度の各々が、5度以下である、実施形態74に記載の電子デバイス。
前記第2の角度および前記第3の角度が異なる、実施形態73に記載の電子デバイス。
前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該第二面の他方よりも近く位置している、実施形態73に記載の電子デバイス。
前記ビアが、導電性材料で電気メッキされている、実施形態60から77いずれか1つに記載の電子デバイス。
前記シリカ含有基板を貫通する複数のビアをさらに含む、実施形態60から78いずれか1つに記載の電子デバイス。
シリカ含有基板であって、75モル%以上のシリカ、第一面、該第一面と反対の第2面、および該第一面から該第二面まで該シリカ含有基板を貫通する損傷軌跡を含み、該損傷軌跡が、
前記第一面に近接した第1の高度に変更されたセグメント、
前記第二面に近接した第2の高度に変更されたセグメント、および
該第1の高度に変更されたセグメントと該第2の高度に変更されたセグメントの間に配置された最小に変更されたセグメント、
を含むように、該損傷軌跡に沿った該シリカ含有基板の変更のレベルは、該第一面から始まり該シリカ含有基板の中身に向かう第1の方向に減少し、該シリカ含有基板の変更のレベルは、該第二面から始まり該シリカ含有基板の中身に向かう第2の方向に減少する、シリカ含有基板。
前記シリカ含有基板が少なくとも75モル%のシリカを含む、実施形態80に記載のシリカ含有基板。
前記シリカ含有基板が少なくとも90モル%のシリカを含む、実施形態80に記載のシリカ含有基板。
前記シリカ含有基板が、故意ではなくドープされたシリカを含む、実施形態80に記載のシリカ含有基板。
前記シリカ含有基板の厚さが、50μm以上かつ1mm以下である、実施形態80から83いずれか1つに記載のシリカ含有基板。
物品において、
シリカ含有基板であって、75モル%以上のシリカ、第一面、該第一面と反対の第2面、および該第一面から該第二面に向かって該シリカ含有基板を通って延在するビアを含み、該ビアは、
前記第一面での第1の直径、
前記第二面での第2の直径、および
前記第一面と前記第二面の間のビア胴部において、胴部の直径であって、該胴部の直径と、前記シリカ含有基板の厚さの半分に対する前記第1の直径と胴部の直径との間の差の比が1/15以上であるように該第1の直径および該第2の直径より小さい胴部の直径を有するビア胴部、
を有する、シリカ含有基板、
を備えた物品。
前記シリカ含有基板が少なくとも90モル%のシリカを含む、実施形態85に記載の物品。
前記シリカ含有基板が少なくとも99モル%のシリカを含む、実施形態85に記載の物品。
前記シリカ含有基板が、故意ではなくドープされたシリカを含む、実施形態85に記載の物品。
前記シリカ含有基板の厚さが、50μm以上かつ1mm以下である、実施形態85から88いずれか1つに記載の物品。
前記胴部の直径が、前記第1の直径および前記第2の直径の各々の少なくとも50%である、実施形態85から89いずれか1つに記載の物品。
前記ビアが砂時計の形状を有する、実施形態85から90いずれか1つに記載の物品。
前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該二面の他方よりも近く位置している、実施形態85から91いずれか1つに記載の物品。
前記第1の直径および前記第2の直径の各々が、5μm以上かつ100μm以下である、実施形態85から92いずれか1つに記載の物品。
前記胴部の直径と前記第1の直径との間の比が、35%以上かつ45%以下である、実施形態85から93いずれか1つに記載の物品。
前記ビアが、縦軸、内壁、前記第一面と前記ビア胴部との間に位置する第1のテーパー領域、および前記第二面と該ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域を含み、
前記第1のテーパー領域が、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有し、
前記第2のテーパー領域が、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する、実施形態85から94いずれか1つに記載の物品。
前記第1の角度が前記第2の角度と等しい、実施形態95に記載の物品。
前記第1の角度が前記第2の角度と異なる、実施形態95に記載の物品。
前記ビアが、
縦軸、
内壁、
前記第一面に近接して位置する第1のテーパー領域であって、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有する第1のテーパー領域、
前記第1のテーパー領域と前記ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域であって、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する第2のテーパー領域、
前記ビア胴部に隣接する第3のテーパー領域であって、該第3のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第3の角度を有する第3のテーパー領域、および
前記第3のテーパー領域と前記第二面との間に位置する第4のテーパー領域であって、該第4のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第4の角度を有する第4のテーパー領域、
を含み、
前記第2の角度および前記第3の角度の各々が、前記第1の角度および前記第4の角度より小さい、実施形態85に記載の物品。
前記第1の角度および前記第4の角度が異なる、実施形態98に記載の物品。
前記第1の角度および前記第4の角度の各々が、5度以下である、実施形態99に記載の物品。
前記第2の角度および前記第3の角度が異なる、実施形態100に記載の物品。
前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該第二面の他方よりも近く位置している、実施形態98から101いずれか1つに記載の物品。
前記ビアが、導電性材料で電気メッキされている、実施形態98から102いずれか1つに記載の物品。
前記シリカ含有基板を貫通する複数のビアをさらに含む、実施形態98から103いずれか1つに記載の物品。
102、402 第一面
104、404 第二面
110、410、410’、410”、510 ビア
111 内壁
112、512 第1のテーパー領域
113、513 第2のテーパー領域
115 第1のパイロット孔
117 第2のパイロット孔
118、518 第3のテーパー領域
119、519 第4のテーパー領域
120、120’、120” 損傷軌跡
120A 第1の変更セグメント
120B 第2の変更セグメント
120C 第3の変更セグメント
120D 第4の変更セグメント
150 レーザビーム
200 電子デバイス
201 第1の電気部品
203 第2の電気部品
302a パルスレーザビーム
302b レーザビーム集線
306 光学素子
D1 第1の直径
D2 第2の直径
Dw 胴部の直径
Claims (8)
- シリカ、第一面、および該第一面と反対の第二面を含む基板を加工する方法において、
レーザビームを使用して、前記第一面から前記第二面まで前記基板を通る損傷軌跡を形成する工程であって、該損傷軌跡が、
前記第一面に近接した第1の高度に変更されたセグメント、
前記第二面に近接した第2の高度に変更されたセグメント、および
該第1の高度に変更されたセグメントと該第2の高度に変更されたセグメントの間に配置された最小に変更されたセグメント、
を含むように、該損傷軌跡に沿った該基板の変更のレベルは、該第一面から始まり該基板の中身に向かう第1の方向に減少し、該基板の変更のレベルは、該第二面から始まり該基板の中身に向かう第2の方向に減少する、工程、および
エッチング液を使用して、前記基板をエッチングして、前記第一面での第1の直径、前記第二面での第2の直径、および該第一面と該第二面の間の胴部の直径を有するビア胴部を有するビアを形成する工程であって、該胴部の直径は、該第1の直径より小さく、該第2の直径より小さい、工程、
を有してなり、
前記ビアが、
縦軸、
内壁、
前記第一面に近接して位置する第1のテーパー領域であって、該第1のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第1の角度を有する第1のテーパー領域、
前記第1のテーパー領域と前記ビア胴部との間に位置する第2のテーパー領域であって、該第2のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第2の角度を有する第2のテーパー領域、
前記ビア胴部に隣接する第3のテーパー領域であって、該第3のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第3の角度を有する第3のテーパー領域、および
前記第3のテーパー領域と前記第二面との間に位置する第4のテーパー領域であって、該第4のテーパー領域内の内壁と前記縦軸との間で測定された第4の角度を有する第4のテーパー領域、
を含み、
前記第2の角度および前記第3の角度の各々が、前記第1の角度および前記第4の角度より大きい、方法。 - 前記基板が少なくとも75モル%のシリカを含む、請求項1記載の方法。
- 前記ビア胴部が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該二面の他方よりも近く位置している、請求項1または2記載の方法。
- 前記レーザビームが、
前記損傷軌跡が、前記最小に変更されたセグメントと前記第2の高度に変更されたセグメントとの間に位置する追加の最小に変更されたセグメントを含み、
前記追加の最小に変更されたセグメントの変更のレベルが、前記第1の高度に変更されたセグメントおよび前記第2の高度に変更されたセグメントの変更のレベルよりも小さい、ように作動される、請求項1から3いずれ1項記載の方法。 - 前記レーザビームが、前記基板の中身を通って位置決めされたレーザビーム焦線に集束されるパルスレーザビームを含み、
前記レーザビーム焦線が、前記基板内に多光子誘発吸収を生じ、該多光子誘発吸収が、該レーザビーム焦線に沿って該基板内に材料の変更を生じ、それによって、前記損傷軌跡が形成される、請求項1から4いずれか1項記載の方法。 - 前記レーザビーム焦線の最大強度が、前記第一面および前記第二面の一方に、該第一面または該二面の他方よりも近く位置している、請求項5記載の方法。
- 前記レーザビームを使用して、前記損傷軌跡を形成しながら、前記第一面および第二面の1つ以上の温度を調節する工程をさらに含む、請求項5または6記載の方法。
- 前記レーザビーム焦線が、該レーザビーム焦線の中心領域よりも、該レーザビーム焦線の第1の端部および該レーザビーム焦線の第2の端部で大きい強度を有するように、前記レーザビームを作動させる工程をさらに含む、請求項5記載の方法。
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