JP5772827B2 - インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材およびその製造方法 - Google Patents
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Description
そして、発明者らの検討によりTiO2含有石英ガラス基材の側面の粗さやうねりが大きい場合、下記の問題が生じることがわかった。
(ii)TiO2含有石英ガラス基材の側面のうねりが大きいと、側面を研磨する際に用いた研磨砥粒(微粒子)が付着しやすく、(i)と同じ問題が生じる。また、インプリント法によってインプリントモールドの反転パターン(転写パターン)を基板の表面に転写する際に、モールドの側面を治具等に当接させて位置あわせしようとしても、側面のうねりによって位置がずれてしまう。そのため、インプリント法によって基板の表面に転写された凹凸パターンの位置もずれてしまう。
本発明のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材中のTiO2濃度は、3〜12質量%であることが好ましい、
本発明のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材においては、ストリエによって生じる応力の最大値と最小値との差(Δσ)が、0.23MPa以下であることが好ましい。
本発明のインプリントモールド用TiO 2 含有石英ガラス基材中のハロゲン濃度は、50質量ppm未満であることが好ましい。
本発明のインプリントモールド用TiO 2 含有石英ガラス基材においては、波長300〜700nmの領域における厚さ1mmあたりの内部透過率T 300〜700 が、70%以上であることが好ましく、波長400〜700nmの領域における厚さ1mmあたりの内部透過率T 400〜700 が、80%以上であることが好ましく、波長300〜3000nmの領域における厚さ1mmあたりの内部透過率T 300〜3000 が、70%以上であることが好ましい。
本発明のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の製造方法においては、前記TiO2含有石英ガラス基材が、前記主表面と前記側面との間に介在する面取り面を有する場合、TiO2含有石英ガラス基材の側面とともに面取り面を研磨することによって、前記面取り面の算術平均粗さ(Ra)を1nm以下とすることが好ましい。
本発明のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の製造方法によれば、インプリントモールドとして用いた際に、インプリント法によって基板の表面に転写される凹凸パターンの欠陥や位置ズレを抑制できるインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材を製造できる。
図1は、本発明のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の一例を示す周縁付近の断面図である。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10は、2つの主表面12と、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10の周縁に形成される側面14と、主表面12と側面14との間に介在する2つの面取り面16とを有する。
側面14の算術平均粗さ(Ra)は、1nm以下であり、0.7nm以下が好ましく、0.5nm以下がより好ましい。算術平均粗さ(Ra)が1nm以下であれば、側面14を研磨する際に用いた研磨砥粒等の微粒子が側面14に付着しにくい。また、側面にPVAスポンジを用いた擦り洗浄を行うことによって主表面に不具合を生じることなく微粒子を除去することが可能である。
算術平均粗さ(Ra)は、JIS B 0601:2001に規定される算術平均粗さ(Ra)であり、1μm×1μmの領域について原子間力顕微鏡(AFM)を用いて表面粗さを測定し、その結果から算出する。
側面14の、10μmから1mmの波長領域の凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)は、10nm以下であり、7nm以下が好ましく、5nm以下がより好ましい。凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)は側面14のうねりの指標であり、凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)が10nm以下であれば、側面14を研磨する際に用いた研磨砥粒等の微粒子が側面14に付着しにくく、側面にPVAスポンジを用いた擦り洗浄を行うことによって主表面に不具合を生じることなく微粒子を除去することが可能である。また、インプリントモールドとした際に、側面14のうねりが原因となる位置ズレが生じにくい。
面取り面16の算術平均粗さ(Ra)は、1nm以下が好ましく、0.7nm以下がより好ましく、0.5nm以下がさらに好ましい。算術平均粗さ(Ra)が1nm以下であれば、面取り面16を研磨する際に用いた研磨砥粒等の微粒子が面取り面16に付着しにくい。また、側面にPVAスポンジを用いた擦り洗浄を行うことによって主表面に不具合を生じることなく微粒子を除去することが可能である。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10(100質量%)中のTiO2濃度は、3〜12質量%が好ましい。インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10はインプリントモールド用基材として用いられるため、温度変化に対する寸法安定性が要求される。TiO2濃度が3〜12質量%であれば、室温付近における熱膨張係数を小さくできる。室温付近における熱膨張係数をほぼゼロとするためには、TiO2濃度は、5〜9質量%がより好ましく、6〜8質量%がさらに好ましい。
TiO2濃度は、蛍光X線分析法において、ファンダメンタルパラメーター(FP)法を用いて測定する。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10中のTi3+濃度は、平均で、100質量ppm以下が好ましく、70質量ppm以下がより好ましく、20質量ppm以下がさらに好ましく、10質量ppm以下が特に好ましい。Ti3+濃度は、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラスの着色、特に内部透過率T300〜700に影響する。Ti3+濃度が100質量ppm以下であれば、茶色の着色が抑えられ、その結果、内部透過率T300〜700の低下が抑えられ、透明性が良好となる。
出力:4mW、
変調磁場:100KHz、0.2mT、
測定温度:室温、
ESR種積分範囲:332〜368mT、
感度校正:一定量のMn2+/MgOのピーク高さにて実施。
測定はサンプル主表面の中心点を通る任意のライン上で端から端まで10mmおきに行う。Ti3+濃度の最大値と最小値の差をΔTi3+とし、Ti3+濃度の平均値で除することでΔTi3+/Ti3+を求める。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10中のOH濃度は、600質量ppm未満が好ましく、400質量ppm以下がより好ましく、200質量ppm以下がさらに好ましく、100質量ppm以下が特に好ましい。OH濃度が600質量ppm未満であれば、OH基に起因する吸収による近赤外域における光透過率の低下が抑えられ、T300〜3000が80%未満となりにくい。
赤外分光光度計による測定を行い、波長2.7μmでの吸収ピークからOH濃度を求める(J.P.Williams et.al.、Ceramic Bulletin、55(5)、524、1976)。該方法による検出限界は0.1質量ppmである。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10中のハロゲン濃度は、50質量ppm未満が好ましく、20質量ppm以下がより好ましく、1質量ppm以下がさらに好ましく、0.1質量ppm以下が特に好ましい。ハロゲン濃度が50質量ppm未満であれば、Ti3+濃度が増加しにくくなるため、茶色の着色が起こりにくくなる。その結果、T300〜700の低下が抑えられ、透明性が損なわれない。
塩素濃度は、サンプルを水酸化ナトリウム溶液に加熱溶解し、陽イオン除去フィルタでろ過した溶解液について、イオンクロマトグラフ分析法にて塩素イオン濃度を定量分析することによって求める。
フッ素濃度は、フッ素イオン電極法によって求める。具体的には、日本化学会誌、1972(2)、350に記載された方法にしたがって、サンプルを無水炭酸ナトリウムに加熱融解し、得られた融液に蒸留水および塩酸(体積比で1:1)を加えて試料液を調製し、試料液の起電力をフッ素イオン選択性電極および比較電極としてラジオメータトレーディング社製No.945−220およびNo.945−468をそれぞれ用いてラジオメータによって測定し、フッ素イオン標準溶液を用いてあらかじめ作成した検量線に基づいて、フッ素濃度を求める。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10の、波長300〜700nmの領域における厚さ1mmあたりの内部透過率T300〜700は、70%以上が好ましく、80%以上がより好ましく、85%以上がさらに好ましい。光インプリント法では、紫外光照射によって光硬化性樹脂を硬化させるため、紫外光透過率が高い方が好ましい。
分光光度計を用いて、サンプル(鏡面研磨されたインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材)の透過率を測定する。厚さ1mmあたりの内部透過率は、同じ程度の鏡面研磨を施した厚さの異なるサンプル、たとえば、厚さ2mmのサンプルと厚さ1mmのサンプルの透過率を測定し、透過率を吸光度に変換した後、厚さ2mmのサンプルの吸光度から厚さ1mmのサンプルの吸光度を引くことで、厚さ1mmあたりの吸光度を求め、再度透過率に変換することで求める。
内部透過率の測定波長域における厚さ1mmのサンプルの透過率を吸光度に変換し、前記石英ガラスの波長2000nm付近での吸光度を引く。吸光度の差を再度透過率に変換して内部透過率とする。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10の、ストリエによって生じる応力の標準偏差(dev[σ])は、0.05MPa以下が好ましく、0.04MPa以下がより好ましく、0.03MPa以下がさらに好ましい。通常、後述するスート法で製造されるガラス体は、3方向ストリエフリーといわれ、ストリエが見られないが、スート法で製造されるガラス体であってもドーパント(TiO2等)を含む場合には、ストリエが見られる可能性がある。ストリエが存在すると、研磨しても粗さやうねりの小さい表面が得られにくい。また、同様の理由から、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10の、ストリエによって生じる応力における最大値と最小値との差(Δσ)は、0.23MPa以下が好ましく、0.2MPa以下がより好ましく、0.15MPa以下がさらに好ましい。
まず、複屈折顕微鏡を用いて1mm×1mm程度の領域を測定することでサンプルのレタデーションを求め、下式(1)から応力のプロファイルを求める。
Δ=C×F×n×d ・・・(1)。
ここで、Δは、レタデーションであり、Cは、光弾性定数であり、Fは、応力であり、nは屈折率であり、dは、サンプルの厚さである。
ついで、応力のプロファイルから、応力の標準偏差(dev[σ])、応力における最大値と最小値との差(Δσ)を求める。
具体的には、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10からスライスによってサンプルを切り取り、さらに研磨を行うことによって、30mm×30mm×0.5mmの板状のサンプルを得る。複屈折顕微鏡にて、サンプルの30mm×30mmの面にヘリウムネオンレーザ光を垂直にあて、脈理が充分に観察可能な倍率に拡大して、面内のレタデーション分布を調べ、応力分布に換算する。脈理のピッチが細かい場合は、サンプルの厚さを薄くする必要がある。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10の、15〜35℃における熱膨張係数C15〜35は、0±200ppb/℃の範囲内にあることが好ましい。インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10は、インプリントモールド用基材として用いられるため、温度変化に対する寸法安定性、より具体的には、インプリント法の際に、該モールドが経験し得る温度領域における温度変化に対する寸法安定性に優れることが要求される。ここで、インプリントモールドが経験し得る温度領域は、インプリント法の種類によって異なる。光インプリント法では、紫外光照射によって光硬化性樹脂を硬化させるため、該モールドが経験し得る温度領域は基本的には室温付近である。ただし、紫外光照射によって該モールドの温度が局所的に上昇する場合がある。紫外光照射による局所的な温度上昇を考慮して、該モールドが経験し得る温度領域を15〜35℃とする。C15〜35は、0±100ppb/℃の範囲内にあることがより好ましく、0±50ppb/℃の範囲内にあることがさらに好ましく、0±30ppb/℃の範囲内にあることが特に好ましい。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10は、転写パターンを形成する側の主表面から深さ10μmまでの領域における仮想温度分布が±30℃以内のものが好ましく、該仮想温度分布が±20℃以内のものがより好ましく、該仮想温度分布が±10℃以内のものがさらに好ましい。該仮想温度分布が±30℃以内であれば、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10の主表面にエッチングによって転写パターンを形成する際のエッチング速度のばらつきが抑えられる。
(i)仮想温度が未知のサンプルを用意する。該サンプルは、鏡面研磨されたインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10である。
(ii)仮想温度が既知で、かつ前記サンプルと組成が同じガラス体であって、仮想温度が異なる複数種類のガラス体を用意する。該ガラス体の表面は、鏡面研磨しておく。
(iii)赤外分光計(Nikolet社製Magna760)を用いて、前記(ii)のガラス体の表面の赤外反射スペクトルを取得する。反射スペクトルは、256回以上スキャンさせた平均値とする。得られた赤外反射スペクトルにおいて、約1120cm−1付近に観察されるピークがガラスのSi−O−Si結合による伸縮振動に起因するピークであり、ピーク位置は仮想温度に依存する。仮想温度が異なる複数種類のガラス体について得られた該ピーク位置と仮想温度との関係を示す検量線を作成する。
(iv)前記(i)のサンプルについて、前記(iii)と同じ条件にて赤外反射スペクトルを取得する。得られた赤外反射スペクトルにおいて、約1120cm−1付近に観察されるSi−O−Si結合による伸縮振動に起因するピークの位置を正確に求める。該ピーク位置を検量線に照らし合わせて、仮想温度を求める。
まず、前記の方法で表面の仮想温度を求める、ついで、10質量%フッ酸溶液に30秒間〜1分間浸漬し、前後の質量減少量を求める。質量減少量から下式(2)によって、エッチングされた深さを求める。
(エッチングされた深さ)=(質量減少量)/((密度)×(表面積)) ・・・(2)。
また、前記の方法でエッチングして現れた表面の仮想温度を求め、その深さにおける仮想温度とする。その後、再度10質量%フッ酸溶液に30秒間〜1分間浸漬し、深さと仮想温度を求める。これを繰り返して10μmを超える直前までの操作によって得られた仮想温度の値の中で最大値と最小値を決定しその差を、表面から深さ10μmまでの領域における仮想温度分布とする。
以上説明したインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10にあっては、側面14の算術平均粗さ(Ra)が1nm以下であり、側面14の、10μmから1mmの波長領域の凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)が10nm以下であるため、側面14を研磨する際に用いた研磨砥粒等の微粒子が側面に付着しにくい。また、側面にPVAスポンジを用いた擦り洗浄を行うことによって主表面に不具合を生じることなく微粒子を除去することが可能である。その結果、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材10の側面14が擦れた際に微粒子が発生しにくくなり、側面研磨後の主表面研磨時に主表面に回り込み主表面にスクラッチを発生させる、バッチ式洗浄時に主表面に回り込み再付着する、といった不具合の発生を抑制できることによって、インプリント法によって基板の表面に転写される凹凸パターンにおける、微粒子、スクラッチが原因となって生じる欠陥が抑えられる。また、前記二乗平均平方根(MSFR_rms)が10nm以下であるため、インプリントモールドとした際に、側面14のうねりが原因となる位置ズレが生じにくい。その結果、インプリント法によって基板の表面に転写される凹凸パターンの位置ズレも抑えられる。
本発明のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の製造方法は、(I)ストリエによって生じる応力の標準偏差(dev[σ])が0.05MPa以下、および/または(II)ストリエによって生じる応力の最大値と最小値との差(Δσ)が0.23MPa以下の、未研磨のTiO2含有石英ガラス基材の側面を研磨することによって、側面の算術平均粗さ(Ra)を1nm以下とし、側面の、10μmから1mmの波長領域の凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)を10nm以下とする方法である。
インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材(以下、TiO2−SiO2ガラス基材とも記す。)の製造方法としては、下記工程(a)〜(f)を有する方法が挙げられる。
(b)前記多孔質TiO2−SiO2ガラス体を緻密化温度まで昇温してTiO2−SiO2緻密体を得る工程。
(c)前記TiO2−SiO2緻密体を透明ガラス化温度まで昇温して透明TiO2−SiO2ガラス体を得る工程。
(d)必要に応じて前記透明TiO2−SiO2ガラス体を軟化点以上に加熱して成形し、成形TiO2−SiO2ガラス体を得る工程。
(e)前記工程(c)で得られた透明TiO2−SiO2ガラス体または前記工程(d)で得られた成形TiO2−SiO2ガラス体をアニール処理する工程。
(f)前記工程(e)で得られたTiO2−SiO2ガラス体に、切断、切削、研磨等の機械加工を行うことにより、所定の形状を有するTiO2−SiO2ガラス基材を得る工程。
スート法によって、ガラス形成原料であるSiO2前駆体およびTiO2前駆体を火炎加水分解または熱分解させて得られるTiO2−SiO2ガラス微粒子(スート)を、ある一定速度で、軸を中心として回転する堆積用基材に堆積、成長させて多孔質TiO2−SiO2ガラス体を形成させる。
スート法としては、MCVD法、OVD法、VAD法等が挙げられ、大量生産性に優れる、堆積用基材の大きさ等の製造条件を調整することによって大面積の面内において組成の均一なガラス体が得られる、等の点から、VAD法が好ましい。
SiO2前駆体としては、ハロゲン化ケイ素化合物、アルコキシシランが挙げられる。
TiO2前駆体としては、ハロゲン化チタン化合物、アルコキシチタンが挙げられる。
アルコキシシランとしては、下式(3)で表わされる化合物が挙げられる。
RnSi(OR)4−n ・・・(3)。
ただし、Rは、炭素数1〜4のアルキル基であり、nは、0〜3の整数であり、複数のRにおいて、一部のRが異なっていてもよい。
アルコキシチタンとしては、下式(4)で表わされる化合物が挙げられる。
RnTi(OR)4−n ・・・(4)。
ただし、Rは、炭素数1〜4のアルキル基であり、nは0〜3の整数であり、複数のRにおいて、一部のRが異なっていてもよい。
堆積用基材としては、石英ガラス製の種棒(たとえば、日本国特公昭63−24937号公報に記載された種棒)が挙げられる。また、棒状に限らず、板状の堆積用基材を用いてもよい。
工程(a)で得られた多孔質TiO2−SiO2ガラス体を不活性ガス雰囲気中または減圧雰囲気下で緻密化温度まで昇温して、TiO2−SiO2緻密体を得る。
緻密化温度とは、光学顕微鏡で空隙が確認できなくなるまで多孔質TiO2−SiO2ガラス体を緻密化できる温度を意味する。
緻密化温度は、1250〜1550℃が好ましく、1350〜1450℃がより好ましい。
不活性ガスとしては、ヘリウムが好ましい。
雰囲気の圧力は、10000〜200000Paが好ましい。本明細書におけるPaは、ゲージ圧ではなく絶対圧を意味する。
また、工程(b)においては、TiO2−SiO2緻密体の均質性が上がる点から、多孔質TiO2−SiO2ガラス体を不活性ガス雰囲気下、室温または緻密化温度未満の温度にて保持した後に、緻密化温度まで昇温することが好ましい。
工程(b)で得られたTiO2−SiO2緻密体を、透明ガラス化温度まで昇温して、透明TiO2−SiO2ガラス体を得る。
透明ガラス化温度とは、光学顕微鏡で結晶が確認できなくなり、透明なガラスが得られる温度を意味する。
透明ガラス化温度は、1350〜1750℃が好ましく、1400〜1700℃がより好ましい。
雰囲気としては、不活性ガス(ヘリウム、アルゴン等)の100%の雰囲気、または不活性ガス(ヘリウム、アルゴン等)を主成分とする雰囲気が好ましい。
雰囲気の圧力は、減圧または常圧が好ましい。減圧の場合は13000Pa以下が好ましい。
工程(c)で得られた透明TiO2−SiO2ガラス体を、型に入れて軟化点以上の温度に加熱して所望の形状に成形し、成形TiO2−SiO2ガラス体を得る。
成形温度は、1500〜1800℃が好ましい。成形温度が1500℃以上であれば、透明TiO2−SiO2ガラス体の粘度が低くなり、自重変形しやすい。また、SiO2の結晶相であるクリストバライトの成長またはTiO2の結晶相であるルチルもしくはアナターゼの成長が抑えられ、いわゆる失透が生じにくい。成形温度が1800℃以下であれば、SiO2の昇華が抑えられる。
また、工程(c)および工程(d)を連続的に、または同時に行ってもよい。
また、工程(c)で得られた透明TiO2−SiO2ガラス体が充分に大きい場合は、つぎの工程(d)を行わずに工程(c)で得られた透明TiO2−SiO2ガラス体を所定の寸法に切り出すことで、成形TiO2−SiO2ガラス体としてもよい。
工程(d)の代わりにまたは工程(d)の後、工程(e)よりも前に、下記の工程(d')を行ってもよい。
(d')前記工程(c)で得られた透明TiO2−SiO2ガラス体または前記工程(d)で得られた成形TiO2−SiO2ガラス体を、T1+400℃以上の温度で20時間以上加熱する工程。
T1は、工程(e)で得られるTiO2−SiO2ガラス体の徐冷点(℃)である。徐冷点とは、ガラスの粘性ηが1013dPa・sとなる温度を意味する。徐冷点は、下記のように求める。
JIS R 3103−2:2001に準拠する方法でビームベンディング法によりガラスの粘性を測定し、粘性ηが1013dPa・sとなる温度を徐冷点とする。
ストリエとは、TiO2−SiO2ガラス体の組成上の不均一(組成分布)である。ストリエを有するTiO2−SiO2ガラス体にはTiO2濃度の異なる部位が存在することになる。TiO2濃度が高い部位は、熱膨張係数(CTE)が負になるため、工程(e)における降温過程の際に、TiO2濃度が高い部位が膨張する傾向がある。この際、TiO2濃度が高い部位に隣接してTiO2濃度が低い部位が存在すると、TiO2濃度が高い部位の膨張が妨げられて圧縮応力が加わることとなる。その結果、TiO2−SiO2ガラス体には応力の分布が生じることとなる。本明細書において、このような応力の分布のことを「ストリエによって生じる応力の分布」という。
工程(d)または(d')を行うことによって、ついで行われる工程(e)を経て製造されるTiO2−SiO2ガラス体におけるストリエによって生じる応力の分布が、インプリントモールド用基材として用いる上で問題とならないレベルまで低減される。
また、工程(c)およびまたは工程(d)と、工程(d')とを連続的に、または同時に行ってもよい。
工程(c)で得られた透明TiO2−SiO2ガラス体、工程(d)で得られた成形TiO2−SiO2ガラス体、または工程(d’)で得られたTiO2−SiO2ガラス体を、1100℃以上の温度に昇温した後、100℃/hr以下の平均降温速度で700℃以下の温度まで降温するアニール処理を行い、TiO2−SiO2ガラス体の仮想温度を制御する。
また、700℃以下の温度まで降温した後は放冷できる。なお、雰囲気は特に限定されない。
工程(e)で得られたTiO2−SiO2ガラス体に、切断、切削、研磨等の機械加工を行うことにより、所定の形状を有するTiO2−SiO2ガラス基材を得る。本発明においては、少なくとも研磨を行う。
研磨工程はその研磨面の仕上がり状況に応じて2回以上の工程に分けて行うことが好ましい。最終研磨工程においては、研磨剤としてコロイダルシリカを用いることが好ましい。
以上説明した本発明のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の製造方法にあっては、(I)ストリエによって生じる応力の標準偏差(dev[σ])が0.05MPa以下、および/または(II)ストリエによって生じる応力の最大値と最小値との差(Δσ)が0.23MPa以下、すなわちストリエの小さいTiO2含有石英ガラス基材の側面を研磨しているため、側面の算術平均粗さ(Ra)を1nm以下とし、側面の、10μmから1mmの波長領域の凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)を10nm以下とすることができる。
また、研磨砥粒を含む研磨液を供給しながら、研磨用のブラシ毛が突設された研磨ブラシとTiO2含有石英ガラス基材とを相対的に移動させて、TiO2含有石英ガラス基材の側面を研磨することによって、側面の算術平均粗さ(Ra)を1nm以下とし、側面の、10μmから1mmの波長領域の凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)を10nm以下とすることができる。
インプリントモールドは、本発明のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の主表面に、エッチングによって転写パターンを形成することによって製造できる。
転写パターンは、目的とする微細な凹凸パターンの反転パターンであり、複数の微細な凸部および/または凹部からなる。
エッチング方法としては、ドライエッチングが好ましく、具体的には、SF6による反応性イオンエッチングが好ましい。
例1、2は実施例であり、例3は比較例である。
(工程(a))
ガラス形成原料であるTiCl4およびSiCl4を、それぞれガス化させた後に混合し、酸水素火炎中で加熱加水分解(火炎加水分解)させることで得られるTiO2−SiO2ガラス微粒子を堆積用基材に堆積、成長させて、多孔質TiO2−SiO2ガラス体を形成した。
得られた多孔質TiO2−SiO2ガラス体はそのままではハンドリングしにくいため、堆積用基材に堆積させたままの状態で、大気中、1200℃にて4時間保持した後、堆積用基材から外した。
得られた多孔質TiO2−SiO2ガラス体を、減圧下にて1450℃で4時間保持して、TiO2−SiO2緻密体を得た。
得られたTiO2−SiO2緻密体を、カーボン型に入れて1680℃にて4時間保持することによって透明TiO2−SiO2ガラス体を得た。
得られた透明TiO2−SiO2ガラス体を、再度カーボン型に入れて、1700℃にて4時間保持することによって成形TiO2−SiO2ガラス体を得た。
得られた成形TiO2−SiO2ガラス体を、そのまま炉内で1000℃まで10℃/hrで冷却した後、1000℃で3時間保持し、950℃まで10℃/hrで冷却した後、950℃で72時間保持し、900℃まで5℃/hrで冷却した後、900℃で72時間保持した後、700℃まで100℃/hrで冷却し、その後室温まで放冷してTiO2−SiO2ガラス体を得た。
得られたTiO2−SiO2ガラス体について、TiO2濃度、Ti3+濃度、ΔTi3+/Ti3+、OH濃度、ハロゲン濃度、内部透過率、応力、熱膨張係数を、上述の方法にて求めた。結果を表1および表2に示す。なお、工程(e)で得られたTiO2−SiO2についてのデータは、後述の工程(f)における切断、切削、研磨等によって変化することはない。
得られたTiO2−SiO2ガラス体を、内周刃スライサーを用いて縦約153.0mm×横約153.0mm×厚さ約6.75mmの板状に切断し、未研磨のTiO2−SiO2ガラス板を作製した。
該TiO2−SiO2ガラス板に、市販のNC面取り機を用い、#120のダイアモンド砥石によって、縦、横の外形寸法が約152mmで面取り幅が0.2〜0.4mmになるように、面取り加工を施した。20B両面ラップ機(スピードファム社製)を用い、研磨材である#400のSiCによって、厚さが約6.50mmになるまで、TiO2−SiO2ガラス板の主表面を研磨した。
2次ポリシュとして、20B両面ポリシュ機を用い、研磨材である平均粒径1.0umの酸化セリウムを主成分とするスラリによって、主表面を約10μm研磨した。
3次ポリシュとして、別の研磨機を用いて最終研磨を行った。最終研磨においては、研磨剤としてコロイダルシリカ(フジミコーポレーション製、コンポール20)を用いた。
研磨後のTiO2−SiO2ガラス板を、第一槽目を硫酸と過酸化水素水の熱溶液、第三槽目を中性界面活性剤溶液とした多段式自動洗浄機を用いて洗浄した。
得られたTiO2−SiO2ガラス基材について、仮想温度分布、側面の算術平均粗さ、凹凸の二乗平均平方根、面取り面の算術平均粗さを、上述の方法にて求めた。結果を表3に示す。
振動試験後、収納ケースをクリーンルーム内で開封し、取り出したTiO2−SiO2ガラス基材について、欠陥検査装置(レーザーテック社製、M1320)を用いて主表面における付着異物による欠陥個数を測定し、下記の基準にて評価する。結果を表3に示す。
A:振動試験前後で欠陥個数にほとんど差は認められない。
B:振動試験前に比べ振動試験後の欠陥個数が明らかに増加した。
工程(f)のTiO2−SiO2ガラス板の側面および面取り面の研磨をロール状の支持体に外周方向に向けてブラシが突設された研磨ブラシを用い、TiO2−SiO2ガラス板を主表面に垂直な軸を回転軸として回転させ、回転させたロール状ブラシに接触させることによって行う以外は、例1と同様にしてTiO2−SiO2ガラス基材を得る。結果を表1〜3に示す。
ガラス体の作製方法において、工程(e)を実施しないこと以外は、例1と同様にしてTiO2−SiO2ガラス基材を得る。結果を表1〜3に示す。
本出願は、2010年7月12日出願の、日本特許出願2010−157811に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
12 主表面
14 側面
16 面取り面
Claims (13)
- 主表面と側面とを有する、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材であって、
前記側面の算術平均粗さ(Ra)が、1nm以下であり、
前記側面の、10μmから1mmの波長領域の凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)が、10nm以下である、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材。 - 前記主表面と前記側面との間に介在する面取り面を有し、
前記面取り面の算術平均粗さ(Ra)が、1nm以下である、請求項1に記載のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材。 - TiO2濃度が、3〜12質量%である、請求項1または2に記載のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材。
- ストリエによって生じる応力の標準偏差(dev[σ])が、0.05MPa以下である、請求項1〜3のいずれかに記載のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材。
- ストリエによって生じる応力の最大値と最小値との差(Δσ)が、0.23MPa以下である、請求項1〜4のいずれかに記載のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材。
- ハロゲン濃度が、50質量ppm未満である、請求項1〜5のいずれかに記載のインプリントモールド用TiO 2 含有石英ガラス基材。
- 波長300〜700nmの領域における厚さ1mmあたりの内部透過率T 300〜700 が、70%以上である、請求項1〜6のいずれかに記載のインプリントモールド用TiO 2 含有石英ガラス基材。
- 波長300〜3000nmの領域における厚さ1mmあたりの内部透過率T 300〜3000 が、70%以上である、請求項1〜7のいずれかに記載のインプリントモールド用TiO 2 含有石英ガラス基材。
- 波長400〜700nmの領域における厚さ1mmあたりの内部透過率T 400〜700 が、80%以上である、請求項1〜8のいずれかに記載のインプリントモールド用TiO 2 含有石英ガラス基材。
- 主表面と側面とを有する、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材を製造する方法であって、
ストリエによって生じる応力の標準偏差(dev[σ])が0.05MPa以下のTiO2含有石英ガラス基材の側面を研磨することによって、
前記側面の算術平均粗さ(Ra)を1nm以下とし、
前記側面の、10μmから1mmの波長領域の凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)を10nm以下とする、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の製造方法。 - 主表面と側面とを有する、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材を製造する方法であって、
ストリエによって生じる応力の最大値と最小値との差(Δσ)が0.23MPa以下のTiO2含有石英ガラス基材の側面を研磨することによって、
前記側面の算術平均粗さ(Ra)を1nm以下とし、
前記側面の、10μmから1mmの波長領域の凹凸の二乗平均平方根(MSFR_rms)を10nm以下とする、インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の製造方法。 - 研磨砥粒を含む研磨液を供給しながら、研磨用のブラシ毛が突設された研磨ブラシと前記TiO2含有石英ガラス基材とを相対的に移動させて、前記TiO2含有石英ガラス基材の側面を研磨する、請求項10または11に記載のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の製造方法。
- 前記TiO2含有石英ガラス基材が、前記主表面と前記側面との間に介在する面取り面を有し、
TiO2含有石英ガラス基材の側面とともに面取り面を研磨することによって、
前記面取り面の算術平均粗さ(Ra)を1nm以下とする、請求項10〜12のいずれかに記載のインプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材の製造方法。
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Families Citing this family (42)
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---|---|---|---|---|
WO2011096368A1 (ja) * | 2010-02-03 | 2011-08-11 | 旭硝子株式会社 | 微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法 |
JP5935453B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-06-15 | 大日本印刷株式会社 | 基板の製造方法、および、ナノインプリントリソグラフィ用テンプレートの製造方法 |
WO2014079478A1 (en) | 2012-11-20 | 2014-05-30 | Light In Light Srl | High speed laser processing of transparent materials |
EP2754524B1 (de) | 2013-01-15 | 2015-11-25 | Corning Laser Technologies GmbH | Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie |
EP2781296B1 (de) | 2013-03-21 | 2020-10-21 | Corning Laser Technologies GmbH | Vorrichtung und verfahren zum ausschneiden von konturen aus flächigen substraten mittels laser |
US9676167B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-06-13 | Corning Incorporated | Laser processing of sapphire substrate and related applications |
US10442719B2 (en) | 2013-12-17 | 2019-10-15 | Corning Incorporated | Edge chamfering methods |
WO2015113026A2 (en) * | 2014-01-27 | 2015-07-30 | Corning Incorporated | Edge chamfering by mechanically processing laser cut glass |
US11556039B2 (en) | 2013-12-17 | 2023-01-17 | Corning Incorporated | Electrochromic coated glass articles and methods for laser processing the same |
US9815730B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-11-14 | Corning Incorporated | Processing 3D shaped transparent brittle substrate |
US9850160B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-12-26 | Corning Incorporated | Laser cutting of display glass compositions |
US10293436B2 (en) | 2013-12-17 | 2019-05-21 | Corning Incorporated | Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom |
US20150165560A1 (en) | 2013-12-17 | 2015-06-18 | Corning Incorporated | Laser processing of slots and holes |
US9701563B2 (en) | 2013-12-17 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Laser cut composite glass article and method of cutting |
TWI730945B (zh) | 2014-07-08 | 2021-06-21 | 美商康寧公司 | 用於雷射處理材料的方法與設備 |
US10611667B2 (en) | 2014-07-14 | 2020-04-07 | Corning Incorporated | Method and system for forming perforations |
EP3169477B1 (en) * | 2014-07-14 | 2020-01-29 | Corning Incorporated | System for and method of processing transparent materials using laser beam focal lines adjustable in length and diameter |
US10335902B2 (en) | 2014-07-14 | 2019-07-02 | Corning Incorporated | Method and system for arresting crack propagation |
US10526234B2 (en) | 2014-07-14 | 2020-01-07 | Corning Incorporated | Interface block; system for and method of cutting a substrate being transparent within a range of wavelengths using such interface block |
JP6398902B2 (ja) * | 2014-08-19 | 2018-10-03 | 信越化学工業株式会社 | インプリント・リソグラフィ用角形基板及びその製造方法 |
US10047001B2 (en) | 2014-12-04 | 2018-08-14 | Corning Incorporated | Glass cutting systems and methods using non-diffracting laser beams |
JP2016113356A (ja) * | 2014-12-12 | 2016-06-23 | 旭硝子株式会社 | 予備研磨されたガラス基板表面を仕上げ加工する方法 |
WO2016115017A1 (en) | 2015-01-12 | 2016-07-21 | Corning Incorporated | Laser cutting of thermally tempered substrates using the multi photon absorption method |
US11773004B2 (en) | 2015-03-24 | 2023-10-03 | Corning Incorporated | Laser cutting and processing of display glass compositions |
CN107666983B (zh) | 2015-03-27 | 2020-10-02 | 康宁股份有限公司 | 可透气窗及其制造方法 |
CN107835794A (zh) | 2015-07-10 | 2018-03-23 | 康宁股份有限公司 | 在挠性基材板中连续制造孔的方法和与此相关的产品 |
SG11201809797PA (en) | 2016-05-06 | 2018-12-28 | Corning Inc | Laser cutting and removal of contoured shapes from transparent substrates |
US10410883B2 (en) | 2016-06-01 | 2019-09-10 | Corning Incorporated | Articles and methods of forming vias in substrates |
US10794679B2 (en) | 2016-06-29 | 2020-10-06 | Corning Incorporated | Method and system for measuring geometric parameters of through holes |
KR20190035805A (ko) | 2016-07-29 | 2019-04-03 | 코닝 인코포레이티드 | 레이저 처리를 위한 장치 및 방법 |
JP6763359B2 (ja) * | 2016-08-25 | 2020-09-30 | 信越化学工業株式会社 | 角型ガラス基板及びその製造方法 |
JP2019532908A (ja) | 2016-08-30 | 2019-11-14 | コーニング インコーポレイテッド | 強度マッピング光学システムによる材料のレーザー切断 |
CN113399816B (zh) | 2016-09-30 | 2023-05-16 | 康宁股份有限公司 | 使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法 |
WO2018081031A1 (en) | 2016-10-24 | 2018-05-03 | Corning Incorporated | Substrate processing station for laser-based machining of sheet-like glass substrates |
US10752534B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-08-25 | Corning Incorporated | Apparatuses and methods for laser processing laminate workpiece stacks |
JP6822084B2 (ja) * | 2016-11-10 | 2021-01-27 | Agc株式会社 | 半導体用ガラス基板及び非貫通穴を有する半導体用ガラス基板の製造方法 |
US10688599B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-06-23 | Corning Incorporated | Apparatus and methods for laser processing transparent workpieces using phase shifted focal lines |
US11078112B2 (en) | 2017-05-25 | 2021-08-03 | Corning Incorporated | Silica-containing substrates with vias having an axially variable sidewall taper and methods for forming the same |
US10580725B2 (en) | 2017-05-25 | 2020-03-03 | Corning Incorporated | Articles having vias with geometry attributes and methods for fabricating the same |
US10626040B2 (en) | 2017-06-15 | 2020-04-21 | Corning Incorporated | Articles capable of individual singulation |
US11554984B2 (en) | 2018-02-22 | 2023-01-17 | Corning Incorporated | Alkali-free borosilicate glasses with low post-HF etch roughness |
JP7122997B2 (ja) * | 2019-04-05 | 2022-08-22 | 信越石英株式会社 | 紫外線吸収性に優れたチタン含有石英ガラス及びその製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11109607A (ja) * | 1998-08-10 | 1999-04-23 | Hoya Corp | 電子デバイス用ガラス基板及びその製造方法 |
JP2005519349A (ja) * | 2002-03-05 | 2005-06-30 | コーニング インコーポレイテッド | 低ストリエーション極紫外光光学素子 |
JP2006306674A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | ナノインプリントスタンパー用シリカ・チタニアガラス |
JP2008303100A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ナノインプリントモールド用チタニアドープ石英ガラス |
JP2009013048A (ja) * | 2007-06-06 | 2009-01-22 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ナノインプリントモールド用チタニアドープ石英ガラス |
WO2009101949A1 (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Tohoku University | シリカ・チタニアガラス及びその製造方法、線膨張係数測定方法 |
WO2009116348A1 (ja) * | 2008-03-18 | 2009-09-24 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク |
JP2010502538A (ja) * | 2006-09-05 | 2010-01-28 | 旭硝子株式会社 | 石英ガラス基板およびその製造方法 |
JP2010087188A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toshiba Corp | 転写原版の製造方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP2010135732A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-06-17 | Asahi Glass Co Ltd | Euvマスクブランクス用基板 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5367204B2 (ja) * | 2003-04-03 | 2013-12-11 | 旭硝子株式会社 | TiO2を含有するシリカガラスおよびEUVリソグラフィ用光学部材 |
KR100618602B1 (ko) * | 2003-05-23 | 2006-09-06 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 광학시트 제조방법 및 광학시트 |
JP4979941B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2012-07-18 | Hoya株式会社 | マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法 |
JP2008132699A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 表面形状転写樹脂シートの製造方法 |
JP4863168B2 (ja) * | 2007-04-17 | 2012-01-25 | 日本電気硝子株式会社 | フラットパネルディスプレイ用ガラス基板およびその製造方法 |
WO2009034954A1 (ja) * | 2007-09-13 | 2009-03-19 | Asahi Glass Co., Ltd. | TiO2含有石英ガラス基板 |
JP5551602B2 (ja) * | 2007-11-01 | 2014-07-16 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | マスター型複製方法 |
WO2009107858A1 (en) * | 2008-02-26 | 2009-09-03 | Asahi Glass Co., Ltd. | Tio2-containing silica glass and optical member for euv lithography using high energy densities as well as special temperature controlled process for its manufacture |
KR20120104970A (ko) * | 2009-12-04 | 2012-09-24 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 임프린트 몰드용 석영계 유리 기재의 제조 방법 및 임프린트 몰드의 제조 방법 |
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2014
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11109607A (ja) * | 1998-08-10 | 1999-04-23 | Hoya Corp | 電子デバイス用ガラス基板及びその製造方法 |
JP2005519349A (ja) * | 2002-03-05 | 2005-06-30 | コーニング インコーポレイテッド | 低ストリエーション極紫外光光学素子 |
JP2006306674A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | ナノインプリントスタンパー用シリカ・チタニアガラス |
JP2010502538A (ja) * | 2006-09-05 | 2010-01-28 | 旭硝子株式会社 | 石英ガラス基板およびその製造方法 |
JP2008303100A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ナノインプリントモールド用チタニアドープ石英ガラス |
JP2009013048A (ja) * | 2007-06-06 | 2009-01-22 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ナノインプリントモールド用チタニアドープ石英ガラス |
WO2009101949A1 (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Tohoku University | シリカ・チタニアガラス及びその製造方法、線膨張係数測定方法 |
WO2009116348A1 (ja) * | 2008-03-18 | 2009-09-24 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク |
JP2010135732A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-06-17 | Asahi Glass Co Ltd | Euvマスクブランクス用基板 |
JP2010087188A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Toshiba Corp | 転写原版の製造方法、及び半導体装置の製造方法 |
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