JP2010134466A5 - 液晶表示装置の作製方法 - Google Patents

Claims (5)

1. 基板上に金属層を形成する工程と、
   前記金属層上に酸化物層を形成する工程と、
   前記酸化物層上に絶縁層を形成する工程と、
   前記絶縁層上に素子を含む層を形成する工程と、
   人間の手又は前記素子を引き剥がす装置を用いることにより、前記酸化物層の層内または界面において前記素子を前記基板から剥離する工程と、
   シール材を用いて前記素子を含む層上に支持体を貼り合わせ、前記素子を含む層と前記支持体との間に液晶を充填する工程とを有することを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
2. 請求項１において、前記支持体は、可撓性を有することを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
3. 請求項１または請求項２において、前記金属層として、タングステンを用いることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
4. 請求項１乃至３のいずれか一において、前記金属層に代えて窒化物層または窒化金属層を形成することを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
5. 請求項１乃至４のいずれか一において、前記酸化物層として、酸化シリコン材料もしくは酸化金属材料からなる単層、またはこれらの積層を用いることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。