JP2012083733A5 - 発光表示装置の作製方法 - Google Patents

Claims (3)

1. 基板上に、剥離層を形成し、
   前記剥離層上に、第１の導電層と、第２の導電層を形成し、
   前記第１の導電層と、前記第２の導電層上に、第１の絶縁層を形成し、
   前記第１の絶縁層上に、酸化物半導体層を形成し、
   前記第１の絶縁層と、前記酸化物半導体層とを同時にエッチングして、前記第１の絶縁層に第１の開口を形成し、前記酸化物半導体層に第２の開口を形成し、
   前記酸化物半導体層上に、第３の導電層と、第４の導電層と、第５の導電層と、第６の導電層とを形成し、
   前記第３の導電層と、前記第４の導電層と、前記第５の導電層と、前記第６の導電層との上に、第２の絶縁層を形成し、
   前記酸化物半導体層と、前記第２の絶縁層とを同時にエッチングして、前記酸化物半導体層に第３の開口を形成し、前記第２の絶縁層に第４の開口を形成し、
   前記第２の絶縁層上に、第７の導電層を形成し、
   前記第７の導電層の端部と重なる領域を有する、第３の絶縁層を形成する発光表示装置の作製方法であって、
   前記第１の開口は、前記第２の開口と重なり、
   前記第３の開口は、前記第４の開口と重なり、
   前記第１の導電層は、第１のトランジスタの第１のゲート電極として機能する領域を有し、
   前記第２の導電層は、第２のトランジスタの第２のゲート電極として機能する領域を有し、
   前記第３の導電層は、前記第１のトランジスタの第１のソース電極又は第１のドレイン電極の一方として機能する領域を有し、
   前記第４の導電層は、前記第１のトランジスタの第１のソース電極又は第１のドレイン電極の他方として機能する領域を有し、
   前記第５の導電層は、前記第２のトランジスタの第２のソース電極又は第２のドレイン電極の一方として機能する領域を有し、
   前記第６の導電層は、前記第２のトランジスタの第２のソース電極又は第２のドレイン電極の他方として機能する領域を有し、
   前記第７の導電層は、画素電極として機能する領域を有し、
   前記第２のゲート電極は、前記第１の開口及び前記第２の開口を介して、前記第１のソース電極又は前記第１のドレイン電極の他方と、電気的に接続され、
   前記画素電極は、前記第２のソース電極又は前記第２のドレイン電極の他方と、電気的に接続されていることを特徴とする発光表示装置の作製方法。
2. 基板上に、剥離層を形成し、
   前記剥離層上に、第１の導電層と、第２の導電層を形成し、
   前記第１の導電層と、前記第２の導電層上に、第１の絶縁層を形成し、
   前記第１の絶縁層上に、酸化物半導体層を形成し、
   前記第１の絶縁層と、前記酸化物半導体層とを同時にエッチングして、前記第１の絶縁層に第１の開口を形成し、前記酸化物半導体層に第２の開口を形成し、
   前記酸化物半導体層上に、第３の導電層と、第４の導電層と、第５の導電層と、第６の導電層とを形成し、
   前記第３の導電層と、前記第４の導電層と、前記第５の導電層と、前記第６の導電層との上に、第２の絶縁層を形成し、
   前記酸化物半導体層と、前記第２の絶縁層とを同時にエッチングして、前記酸化物半導体層に第３の開口を形成し、前記第２の絶縁層に第４の開口を形成し、
   前記第２の絶縁層上に、第７の導電層を形成し、
   前記第７の導電層の端部と重なる領域を有する、第３の絶縁層を形成し、
   前記第７の導電層及び前記第３の絶縁層上に、接着剤を用いて、支持基材を貼り合わせ、
   前記剥離層から、前記基板を剥離する発光表示装置の作製方法であって、
   前記第１の開口は、前記第２の開口と重なり、
   前記第３の開口は、前記第４の開口と重なり、
   前記第１の導電層は、第１のトランジスタの第１のゲート電極として機能する領域を有し、
   前記第２の導電層は、第２のトランジスタの第２のゲート電極として機能する領域を有し、
   前記第３の導電層は、前記第１のトランジスタの第１のソース電極又は第１のドレイン電極の一方として機能する領域を有し、
   前記第４の導電層は、前記第１のトランジスタの第１のソース電極又は第１のドレイン電極の他方として機能する領域を有し、
   前記第５の導電層は、前記第２のトランジスタの第２のソース電極又は第２のドレイン電極の一方として機能する領域を有し、
   前記第６の導電層は、前記第２のトランジスタの第２のソース電極又は第２のドレイン電極の他方として機能する領域を有し、
   前記第７の導電層は、画素電極として機能する領域を有し、
   前記第２のゲート電極は、前記第１の開口及び前記第２の開口を介して、前記第１のソース電極又は前記第１のドレイン電極の他方と、電気的に接続され、
   前記画素電極は、前記第２のソース電極又は前記第２のドレイン電極の他方と、電気的に接続されていることを特徴とする発光表示装置の作製方法。
3. 請求項２において、
   前記基板を剥離した後に、被剥離面に支持体を貼り合わせる工程を有し、
   前記支持体は、１．５［ＭＰａ・ｍ ^１／２ ］以上の破壊じん性値を有することを特徴とする発光表示装置の作製方法。