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  1. ガラス基板上に、有機材料を有する第1の層を形成する第1の工程と、
    前記第1の層上に、絶縁性材料を有する第2の層を形成する第2の工程と、
    前記第2の層上に、トランジスタを形成する第3の工程と、
    前記トランジスタ上に、発光素子を形成する第4の工程と、
    前記発光素子上に、支持体を形成する第5の工程と、
    前記ガラス基板を剥離する第6の工程とを有し、
    前記第5の工程の前に、熱処理(ただし、レーザ照射処理を除く)を行う工程を有することを特徴とする発光装置の作製方法。
  2. ガラス基板上に、有機材料を有する第1の層を形成する第1の工程と、
    前記第1の層上に、絶縁性材料を有する第2の層を形成する第2の工程と、
    前記第2の層上に、トランジスタを形成する第3の工程と、
    前記トランジスタ上に、発光素子を形成する第4の工程と、
    前記発光素子上に、支持体を形成する第5の工程と、
    前記ガラス基板を剥離する第6の工程とを有し、
    前記第5の工程の前に、熱処理(ただし、レーザ照射処理を除く)を行う工程を有し、
    前記第6の工程の前に、前記トランジスタと電気的に接続されるFPCを貼り付ける工程を有することを特徴とする発光装置の作製方法。
  3. 請求項1又は請求項2において、
    前記発光素子は、陽極又は陰極を有し、
    前記陽極又は前記陰極は、接続配線を介して、前記FPCと電気的に接続されていることを特徴とする発光装置の作製方法。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
    前記支持体は、プラスチック、ガラス、金属、又はセラミックスを有することを特徴とする発光装置の作製方法。
  5. 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
    前記トランジスタは、半導体層と、ゲート電極とを有し、
    前記半導体層の上方に、前記ゲート電極が配置されていることを特徴とする発光装置の作製方法。
  6. 請求項1乃至請求項4のいずれか一において、
    前記トランジスタは、半導体層と、ゲート電極とを有し、
    前記半導体層の下方に、前記ゲート電極が配置されていることを特徴とする発光装置の作製方法。
  7. 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
    前記トランジスタは、結晶性を有する半導体層を有することを特徴とする発光装置の作製方法。
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Families Citing this family (136)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7245018B1 (en) 1999-06-22 2007-07-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Wiring material, semiconductor device provided with a wiring using the wiring material and method of manufacturing thereof
US6661096B1 (en) * 1999-06-29 2003-12-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Wiring material semiconductor device provided with a wiring using the wiring material and method of manufacturing thereof
TW564471B (en) 2001-07-16 2003-12-01 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and peeling off method and method of manufacturing semiconductor device
JP2003109773A (ja) * 2001-07-27 2003-04-11 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置、半導体装置およびそれらの作製方法
JP5057619B2 (ja) * 2001-08-01 2012-10-24 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
TW554398B (en) * 2001-08-10 2003-09-21 Semiconductor Energy Lab Method of peeling off and method of manufacturing semiconductor device
US7351300B2 (en) * 2001-08-22 2008-04-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Peeling method and method of manufacturing semiconductor device
TW594947B (en) 2001-10-30 2004-06-21 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and method of manufacturing the same
TWI264121B (en) * 2001-11-30 2006-10-11 Semiconductor Energy Lab A display device, a method of manufacturing a semiconductor device, and a method of manufacturing a display device
US6953735B2 (en) 2001-12-28 2005-10-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for fabricating a semiconductor device by transferring a layer to a support with curvature
JP3823870B2 (ja) * 2002-04-22 2006-09-20 セイコーエプソン株式会社 配線板の製造方法、および電子機器の製造方法
JP4052631B2 (ja) * 2002-05-17 2008-02-27 株式会社東芝 アクティブマトリクス型表示装置
TWI272641B (en) * 2002-07-16 2007-02-01 Semiconductor Energy Lab Method of manufacturing a semiconductor device
JP2004119016A (ja) * 2002-09-20 2004-04-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置
JP2004119015A (ja) * 2002-09-20 2004-04-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置およびその作製方法
JP2004140267A (ja) 2002-10-18 2004-05-13 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
WO2004040648A1 (ja) 2002-10-30 2004-05-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. 半導体装置および半導体装置の作製方法
WO2004040649A1 (ja) * 2002-11-01 2004-05-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. 半導体装置および半導体装置の作製方法
US20040099926A1 (en) * 2002-11-22 2004-05-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, display device, and light-emitting device, and methods of manufacturing the same
US6881975B2 (en) * 2002-12-17 2005-04-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and method of manufacturing the same
JP4554152B2 (ja) * 2002-12-19 2010-09-29 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体チップの作製方法
JP4101643B2 (ja) * 2002-12-26 2008-06-18 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
TWI330269B (en) * 2002-12-27 2010-09-11 Semiconductor Energy Lab Separating method
JP4373085B2 (ja) 2002-12-27 2009-11-25 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法、剥離方法及び転写方法
US7436050B2 (en) * 2003-01-22 2008-10-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device having a flexible printed circuit
JP2004247373A (ja) * 2003-02-12 2004-09-02 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置
US7973313B2 (en) 2003-02-24 2011-07-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Thin film integrated circuit device, IC label, container comprising the thin film integrated circuit, manufacturing method of the thin film integrated circuit device, manufacturing method of the container, and management method of product having the container
TWI222545B (en) * 2003-02-27 2004-10-21 Toppoly Optoelectronics Corp Method of transferring a thin film device onto a plastic sheet and method of forming a flexible liquid crystal display
JP4526771B2 (ja) 2003-03-14 2010-08-18 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
EP1482548B1 (en) * 2003-05-26 2016-04-13 Soitec A method of manufacturing a wafer
EP1528594B1 (en) 2003-10-28 2019-05-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing semiconductor device
US7768405B2 (en) * 2003-12-12 2010-08-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd Semiconductor device and manufacturing method thereof
TWI513489B (zh) * 2004-02-26 2015-12-21 Semiconductor Energy Lab 半導體裝置
JP4249063B2 (ja) * 2004-03-10 2009-04-02 富士フイルム株式会社 磁気転写用マスター担体および磁気転写装置並びに磁気転写方法
US7282380B2 (en) * 2004-03-25 2007-10-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing semiconductor device
JP4814498B2 (ja) * 2004-06-18 2011-11-16 シャープ株式会社 半導体基板の製造方法
US8350466B2 (en) 2004-09-17 2013-01-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and manufacturing method thereof
US7176543B2 (en) * 2005-01-26 2007-02-13 United Solar Ovonic Corp. Method of eliminating curl for devices on thin flexible substrates, and devices made thereby
US7307006B2 (en) * 2005-02-28 2007-12-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of manufacturing semiconductor device
US8049293B2 (en) * 2005-03-07 2011-11-01 Sony Corporation Solid-state image pickup device, electronic apparatus using such solid-state image pickup device and method of manufacturing solid-state image pickup device
KR20060101616A (ko) * 2005-03-21 2006-09-26 삼성전자주식회사 잉크젯 프린팅 시스템을 이용한 색필터 표시판 및 이를포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법
DE112006000654T5 (de) * 2005-03-22 2008-04-03 Sumitomo Chemical Co., Ltd. Freitragendes Substrat, Verfahren zur Herstellung desselben und Halbleiterleuchtvorrichtung
KR101241066B1 (ko) * 2005-05-20 2013-03-12 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 제조 방법
US8030132B2 (en) * 2005-05-31 2011-10-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing method of semiconductor device including peeling step
JP2007019318A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Sumitomo Chemical Co Ltd 半導体発光素子、半導体発光素子用基板の製造方法及び半導体発光素子の製造方法
JP5167580B2 (ja) * 2005-08-23 2013-03-21 日本電気株式会社 電子デバイス
WO2007037504A1 (ja) * 2005-09-29 2007-04-05 Sumitomo Chemical Company, Limited 3−5族窒化物半導体の製造方法及び発光素子の製造方法
JP4680850B2 (ja) 2005-11-16 2011-05-11 三星モバイルディスプレイ株式會社 薄膜トランジスタ及びその製造方法
US8173519B2 (en) 2006-03-03 2012-05-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing semiconductor device
US8048777B2 (en) 2006-09-29 2011-11-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing semiconductor device
US7713836B2 (en) * 2006-09-29 2010-05-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for forming conductive layer and substrate having the same, and method for manufacturing semiconductor device
TWI304719B (en) * 2006-10-25 2008-12-21 Phoenix Prec Technology Corp Circuit board structure having embedded compacitor and fabrication method thereof
JP4292424B2 (ja) * 2006-11-15 2009-07-08 セイコーエプソン株式会社 配線基板およびその製造方法、並びに電子機器
TWI334747B (en) * 2006-12-22 2010-12-11 Unimicron Technology Corp Circuit board structure having embedded electronic components
KR100838394B1 (ko) * 2007-01-03 2008-06-13 주식회사 하이닉스반도체 하드마스크층을 이용한 반도체소자의 식각 방법
US7759629B2 (en) * 2007-03-20 2010-07-20 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing a semiconductor device
EP1993127B1 (en) * 2007-05-18 2013-04-24 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing method of SOI substrate
JP2009141093A (ja) 2007-12-06 2009-06-25 Toshiba Corp 発光素子及び発光素子の製造方法
KR100947435B1 (ko) * 2008-03-25 2010-03-12 삼성모바일디스플레이주식회사 플렉서블 디스플레이 및 그 제조 방법
TWI410329B (zh) * 2009-03-09 2013-10-01 Ind Tech Res Inst 可撓式裝置的取下設備及其取下方法
JP5545970B2 (ja) * 2009-03-26 2014-07-09 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置及びその作製方法
CN101996943B (zh) * 2009-08-18 2013-12-04 展晶科技(深圳)有限公司 材料层分离方法
US9847243B2 (en) 2009-08-27 2017-12-19 Corning Incorporated Debonding a glass substrate from carrier using ultrasonic wave
JP2011108969A (ja) * 2009-11-20 2011-06-02 Hitachi Cable Ltd 太陽電池モジュールの製造方法、及び太陽電池用配線基板
KR102581069B1 (ko) 2010-02-05 2023-09-20 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법
JP5197666B2 (ja) * 2010-03-23 2013-05-15 株式会社東芝 有機発光装置、照明装置、表示装置及び有機発光装置の製造方法
JP5771968B2 (ja) * 2010-04-09 2015-09-02 住友電気工業株式会社 半導体デバイスの製造方法、エピ成長用積層支持基板およびデバイス用積層支持基板
KR20120026970A (ko) * 2010-09-10 2012-03-20 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 및 발광 장치
CN101980393A (zh) * 2010-09-21 2011-02-23 福建钧石能源有限公司 大面积柔性光电器件的制造方法
TWI433625B (zh) 2011-07-04 2014-04-01 Ind Tech Res Inst 軟性電子元件的製法
KR101863142B1 (ko) 2011-08-31 2018-05-31 엘지디스플레이 주식회사 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법
TWI442587B (zh) * 2011-11-11 2014-06-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 外殼面板及使用該外殼面板的電子設備
US9007818B2 (en) 2012-03-22 2015-04-14 Micron Technology, Inc. Memory cells, semiconductor device structures, systems including such cells, and methods of fabrication
US9054030B2 (en) 2012-06-19 2015-06-09 Micron Technology, Inc. Memory cells, semiconductor device structures, memory systems, and methods of fabrication
US8923038B2 (en) 2012-06-19 2014-12-30 Micron Technology, Inc. Memory cells, semiconductor device structures, memory systems, and methods of fabrication
US8916450B2 (en) 2012-08-02 2014-12-23 International Business Machines Corporation Method for improving quality of spalled material layers
US9636782B2 (en) 2012-11-28 2017-05-02 International Business Machines Corporation Wafer debonding using mid-wavelength infrared radiation ablation
US20140144593A1 (en) * 2012-11-28 2014-05-29 International Business Machiness Corporation Wafer debonding using long-wavelength infrared radiation ablation
US9666763B2 (en) 2012-11-30 2017-05-30 Corning Incorporated Glass sealing with transparent materials having transient absorption properties
CN103531722B (zh) * 2012-12-24 2016-01-20 Tcl集团股份有限公司 一种柔性显示器的制备方法
WO2014129519A1 (en) 2013-02-20 2014-08-28 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Peeling method, semiconductor device, and peeling apparatus
US9379315B2 (en) 2013-03-12 2016-06-28 Micron Technology, Inc. Memory cells, methods of fabrication, semiconductor device structures, and memory systems
CN103531715B (zh) * 2013-03-26 2016-03-02 Tcl集团股份有限公司 柔性光电器件衬底、柔性光电器件及制备方法
KR101866624B1 (ko) 2013-05-10 2018-06-11 코닝 인코포레이티드 저융점 유리 또는 흡수성 박막을 이용한 레이저 용접 투명 유리 시트
KR20140142026A (ko) * 2013-06-03 2014-12-11 삼성디스플레이 주식회사 기판 합착용 하부 필름, 기판 밀봉체 및 이들을 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
US9368714B2 (en) 2013-07-01 2016-06-14 Micron Technology, Inc. Memory cells, methods of operation and fabrication, semiconductor device structures, and memory systems
US9466787B2 (en) 2013-07-23 2016-10-11 Micron Technology, Inc. Memory cells, methods of fabrication, semiconductor device structures, memory systems, and electronic systems
TWI610374B (zh) 2013-08-01 2018-01-01 格芯公司 用於將搬運器晶圓接合至元件晶圓以及能以中段波長紅外光雷射燒蝕釋出之接著劑
CN109273622B (zh) 2013-08-06 2021-03-12 株式会社半导体能源研究所 剥离方法
TWI663722B (zh) 2013-09-06 2019-06-21 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. 發光裝置以及發光裝置的製造方法
US9461242B2 (en) 2013-09-13 2016-10-04 Micron Technology, Inc. Magnetic memory cells, methods of fabrication, semiconductor devices, memory systems, and electronic systems
US9608197B2 (en) 2013-09-18 2017-03-28 Micron Technology, Inc. Memory cells, methods of fabrication, and semiconductor devices
JP6513929B2 (ja) 2013-11-06 2019-05-15 株式会社半導体エネルギー研究所 剥離方法
CN104637852B (zh) * 2013-11-08 2018-10-19 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 一种柔性基板的剥离方法
KR102411905B1 (ko) 2013-12-02 2022-06-22 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치 및 그 제조방법
CN105793957B (zh) 2013-12-12 2019-05-03 株式会社半导体能源研究所 剥离方法及剥离装置
KR102215812B1 (ko) 2014-01-09 2021-02-17 삼성디스플레이 주식회사 소자 기판 제조 방법 및 상기 방법을 이용하여 제조한 표시 장치
DE112015000866T5 (de) 2014-02-19 2016-11-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Lichtemittierende Vorrichtung und Ablöseverfahren
US10454024B2 (en) 2014-02-28 2019-10-22 Micron Technology, Inc. Memory cells, methods of fabrication, and memory devices
KR102292148B1 (ko) 2014-03-13 2021-08-24 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치의 제작 방법, 및 전자 기기의 제작 방법
TWI764064B (zh) 2014-03-13 2022-05-11 日商半導體能源研究所股份有限公司 撓性裝置
US9281466B2 (en) 2014-04-09 2016-03-08 Micron Technology, Inc. Memory cells, semiconductor structures, semiconductor devices, and methods of fabrication
CN106465494B (zh) 2014-04-11 2019-01-22 株式会社半导体能源研究所 发光装置
US9269888B2 (en) 2014-04-18 2016-02-23 Micron Technology, Inc. Memory cells, methods of fabrication, and semiconductor devices
JP6727762B2 (ja) * 2014-05-30 2020-07-22 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置及び電子機器
TWI695525B (zh) 2014-07-25 2020-06-01 日商半導體能源研究所股份有限公司 剝離方法、發光裝置、模組以及電子裝置
US9349945B2 (en) 2014-10-16 2016-05-24 Micron Technology, Inc. Memory cells, semiconductor devices, and methods of fabrication
KR102512044B1 (ko) 2014-10-31 2023-03-20 코닝 인코포레이티드 레이저 용접 유리 패키지 및 그 제조 방법
US9515272B2 (en) * 2014-11-12 2016-12-06 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Display device manufacture using a sacrificial layer interposed between a carrier and a display device substrate
US9768377B2 (en) 2014-12-02 2017-09-19 Micron Technology, Inc. Magnetic cell structures, and methods of fabrication
US10439131B2 (en) 2015-01-15 2019-10-08 Micron Technology, Inc. Methods of forming semiconductor devices including tunnel barrier materials
CN104658990B (zh) * 2015-03-02 2017-05-17 京东方科技集团股份有限公司 一种封装件及其制备方法
JP6463664B2 (ja) * 2015-11-27 2019-02-06 信越化学工業株式会社 ウエハ加工体及びウエハ加工方法
CN108432345B (zh) 2015-12-28 2020-02-28 鸿海精密工业股份有限公司 有机el显示装置的制造方法
US10259207B2 (en) 2016-01-26 2019-04-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for forming separation starting point and separation method
US10586817B2 (en) 2016-03-24 2020-03-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device, manufacturing method thereof, and separation apparatus
US10185190B2 (en) 2016-05-11 2019-01-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device, module, and electronic device
US10522574B2 (en) 2016-05-16 2019-12-31 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing method of display device and manufacturing method of electronic device
WO2018020333A1 (en) 2016-07-29 2018-02-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Separation method, display device, display module, and electronic device
TWI753868B (zh) 2016-08-05 2022-02-01 日商半導體能源研究所股份有限公司 剝離方法、顯示裝置、顯示模組及電子裝置
TWI730017B (zh) 2016-08-09 2021-06-11 日商半導體能源研究所股份有限公司 顯示裝置的製造方法、顯示裝置、顯示模組及電子裝置
TW201808628A (zh) 2016-08-09 2018-03-16 Semiconductor Energy Lab 半導體裝置的製造方法
JP6981812B2 (ja) 2016-08-31 2021-12-17 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
WO2018042284A1 (en) 2016-08-31 2018-03-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for manufacturing semiconductor device
US10369664B2 (en) 2016-09-23 2019-08-06 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing method of semiconductor device
JP7143210B2 (ja) 2016-10-07 2022-09-28 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
US10553822B2 (en) 2017-03-31 2020-02-04 Sharp Kabushiki Kaisha Display device, display device production method, and display device production device
CN107845740B (zh) * 2017-10-23 2020-04-10 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种柔性基板的制备方法及柔性基板
JP6588186B1 (ja) * 2018-02-27 2019-10-09 堺ディスプレイプロダクト株式会社 フレキシブルoledデバイスの製造方法及び支持基板
WO2019167130A1 (ja) * 2018-02-27 2019-09-06 堺ディスプレイプロダクト株式会社 フレキシブルoledデバイス、その製造方法及び支持基板
CN108400088B (zh) * 2018-03-05 2021-07-20 大族激光科技产业集团股份有限公司 晶片结合及剥离的方法
CN108493334B (zh) * 2018-03-15 2020-06-30 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种薄膜异质结构的制备方法
FR3082997B1 (fr) * 2018-06-22 2020-10-02 Commissariat Energie Atomique Procede de transfert de couche(s) de materiau depuis un premier substrat sur un deuxieme substrat
KR102201148B1 (ko) 2018-11-15 2021-01-12 한국생산기술연구원 다공성 박막의 박리방법 및 그로부터 박리된 다공성 박막
KR102174928B1 (ko) * 2019-02-01 2020-11-05 레이저쎌 주식회사 멀티 빔 레이저 디본딩 장치 및 방법
CN110098225B (zh) * 2019-04-18 2021-06-01 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 柔性显示面板及其制备方法

Family Cites Families (97)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3322382A1 (de) * 1983-06-22 1985-01-10 Preh, Elektrofeinmechanische Werke Jakob Preh Nachf. Gmbh & Co, 8740 Bad Neustadt Verfahren zur herstellung von gedruckten schaltungen
JP2560376B2 (ja) 1988-01-20 1996-12-04 富士通株式会社 Mosトランジスタの製造方法
JPH02257618A (ja) * 1989-03-29 1990-10-18 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置及びその製造方法
US5206749A (en) 1990-12-31 1993-04-27 Kopin Corporation Liquid crystal display having essentially single crystal transistors pixels and driving circuits
US5258325A (en) 1990-12-31 1993-11-02 Kopin Corporation Method for manufacturing a semiconductor device using a circuit transfer film
US7075501B1 (en) 1990-12-31 2006-07-11 Kopin Corporation Head mounted display system
US5376561A (en) 1990-12-31 1994-12-27 Kopin Corporation High density electronic circuit modules
JP3410411B2 (ja) * 1991-03-18 2003-05-26 株式会社半導体エネルギー研究所 イメージセンサ及びその作製方法
JPH05243519A (ja) 1992-02-28 1993-09-21 Nec Corp 半導体メモリ装置
JP2821830B2 (ja) * 1992-05-14 1998-11-05 セイコーインスツルメンツ株式会社 半導体薄膜素子その応用装置および半導体薄膜素子の製造方法
JPH05313210A (ja) * 1992-05-14 1993-11-26 Ricoh Co Ltd 薄膜積層デバイス
JPH05347186A (ja) 1992-06-12 1993-12-27 Clarion Co Ltd エレクトロルミネセンス・ディスプレイ
JP3242452B2 (ja) * 1992-06-19 2001-12-25 三菱電機株式会社 薄膜太陽電池の製造方法
ATE173839T1 (de) * 1992-09-11 1998-12-15 Kopin Corp Farbfiltersystem fuer anzeigetafeln
US5781164A (en) * 1992-11-04 1998-07-14 Kopin Corporation Matrix display systems
JPH06280026A (ja) * 1993-03-24 1994-10-04 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 成膜装置及び成膜方法
KR100333153B1 (ko) 1993-09-07 2002-12-05 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체장치제작방법
JPH07109573A (ja) 1993-10-12 1995-04-25 Semiconductor Energy Lab Co Ltd ガラス基板および加熱処理方法
JPH07142570A (ja) 1993-11-12 1995-06-02 Ube Ind Ltd 複合半導体基板及びその製造方法
JPH07157393A (ja) * 1993-12-03 1995-06-20 Sumitomo Electric Ind Ltd 気相成長自立膜の製造方法及びその製造用基板装置
US5391257A (en) * 1993-12-10 1995-02-21 Rockwell International Corporation Method of transferring a thin film to an alternate substrate
JP3150840B2 (ja) 1994-03-11 2001-03-26 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
JP3698749B2 (ja) * 1995-01-11 2005-09-21 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶セルの作製方法およびその作製装置、液晶セルの生産システム
JP3364081B2 (ja) 1995-02-16 2003-01-08 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
US5757456A (en) 1995-03-10 1998-05-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display device and method of fabricating involving peeling circuits from one substrate and mounting on other
US5834327A (en) * 1995-03-18 1998-11-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for producing display device
JP4063896B2 (ja) * 1995-06-20 2008-03-19 株式会社半導体エネルギー研究所 有色シースルー光起電力装置
JP3203166B2 (ja) 1995-10-13 2001-08-27 シャープ株式会社 液晶表示素子製造用治具及びそれを用いた液晶表示素子の製造方法
DE19547691C1 (de) 1995-12-20 1997-04-24 Lohmann Therapie Syst Lts Verfahren zur Herstellung transdermaler therapeutischer Pflaster (TTS)
JP4619462B2 (ja) 1996-08-27 2011-01-26 セイコーエプソン株式会社 薄膜素子の転写方法
CN1495523A (zh) 1996-08-27 2004-05-12 ������������ʽ���� 转移方法和有源矩阵基板的制造方法
JP3809681B2 (ja) 1996-08-27 2006-08-16 セイコーエプソン株式会社 剥離方法
JP4619461B2 (ja) 1996-08-27 2011-01-26 セイコーエプソン株式会社 薄膜デバイスの転写方法、及びデバイスの製造方法
WO1998012750A1 (fr) * 1996-09-20 1998-03-26 Hitachi, Ltd. Composant de circuit integre a semi-conducteur
JPH10190032A (ja) * 1996-10-31 1998-07-21 Sony Corp 薄膜半導体素子およびその製造方法並びに製造装置
DE69728999T2 (de) * 1996-11-11 2005-04-28 Catalysts & Chemicals Industries Co. Ltd., Kawasaki Substratglättungsverfahren
USRE38466E1 (en) * 1996-11-12 2004-03-16 Seiko Epson Corporation Manufacturing method of active matrix substrate, active matrix substrate and liquid crystal display device
US6127199A (en) 1996-11-12 2000-10-03 Seiko Epson Corporation Manufacturing method of active matrix substrate, active matrix substrate and liquid crystal display device
ATE261612T1 (de) 1996-12-18 2004-03-15 Canon Kk Vefahren zum herstellen eines halbleiterartikels unter verwendung eines substrates mit einer porösen halbleiterschicht
CA2233096C (en) * 1997-03-26 2003-01-07 Canon Kabushiki Kaisha Substrate and production method thereof
US6033974A (en) * 1997-05-12 2000-03-07 Silicon Genesis Corporation Method for controlled cleaving process
WO1999001893A2 (de) * 1997-06-30 1999-01-14 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Verfahren zur herstellung von schichtartigen gebilden auf einem substrat, substrat sowie mittels des verfahrens hergestellte halbleiterbauelemente
JPH1126733A (ja) 1997-07-03 1999-01-29 Seiko Epson Corp 薄膜デバイスの転写方法、薄膜デバイス、薄膜集積回路装置,アクティブマトリクス基板、液晶表示装置および電子機器
JP3116085B2 (ja) * 1997-09-16 2000-12-11 東京農工大学長 半導体素子形成法
JP4439602B2 (ja) * 1997-09-29 2010-03-24 株式会社東芝 半導体装置の製造方法
JPH11135882A (ja) * 1997-10-28 1999-05-21 Sharp Corp 化合物半導体基板、及び化合物半導体基板の製造方法、並びに発光素子
JPH11160734A (ja) 1997-11-28 1999-06-18 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶電気光学装置
US6306729B1 (en) * 1997-12-26 2001-10-23 Canon Kabushiki Kaisha Semiconductor article and method of manufacturing the same
JPH11243209A (ja) * 1998-02-25 1999-09-07 Seiko Epson Corp 薄膜デバイスの転写方法、薄膜デバイス、薄膜集積回路装置、アクティブマトリクス基板、液晶表示装置および電子機器
JP3809733B2 (ja) * 1998-02-25 2006-08-16 セイコーエプソン株式会社 薄膜トランジスタの剥離方法
JP4126747B2 (ja) * 1998-02-27 2008-07-30 セイコーエプソン株式会社 3次元デバイスの製造方法
JP3697106B2 (ja) * 1998-05-15 2005-09-21 キヤノン株式会社 半導体基板の作製方法及び半導体薄膜の作製方法
JP3619058B2 (ja) * 1998-06-18 2005-02-09 キヤノン株式会社 半導体薄膜の製造方法
US6423614B1 (en) * 1998-06-30 2002-07-23 Intel Corporation Method of delaminating a thin film using non-thermal techniques
US6117797A (en) * 1998-09-03 2000-09-12 Micron Technology, Inc. Attachment method for heat sinks and devices involving removal of misplaced encapsulant
US6134049A (en) * 1998-09-25 2000-10-17 The Regents Of The University Of California Method to adjust multilayer film stress induced deformation of optics
US6268695B1 (en) 1998-12-16 2001-07-31 Battelle Memorial Institute Environmental barrier material for organic light emitting device and method of making
JP4549475B2 (ja) * 1999-02-12 2010-09-22 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置、電子機器、および半導体装置の作製方法
JP3809739B2 (ja) * 1999-02-17 2006-08-16 セイコーエプソン株式会社 フィルタ付き表示装置の製造方法
JP2001015721A (ja) * 1999-04-30 2001-01-19 Canon Inc 複合部材の分離方法及び薄膜の製造方法
US6664169B1 (en) * 1999-06-08 2003-12-16 Canon Kabushiki Kaisha Process for producing semiconductor member, process for producing solar cell, and anodizing apparatus
JP4224897B2 (ja) * 1999-07-13 2009-02-18 ソニー株式会社 光導波路の製造方法および光送受信装置の製造方法
US6452091B1 (en) * 1999-07-14 2002-09-17 Canon Kabushiki Kaisha Method of producing thin-film single-crystal device, solar cell module and method of producing the same
TW544727B (en) * 1999-08-13 2003-08-01 Semiconductor Energy Lab Method of manufacturing a semiconductor device
US6391220B1 (en) * 1999-08-18 2002-05-21 Fujitsu Limited, Inc. Methods for fabricating flexible circuit structures
JP2001085715A (ja) * 1999-09-09 2001-03-30 Canon Inc 半導体層の分離方法および太陽電池の製造方法
JP4467163B2 (ja) * 1999-09-28 2010-05-26 共同印刷株式会社 転写体およびそれを用いた透明導電層の形成方法
JP2001127301A (ja) * 1999-10-27 2001-05-11 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置および半導体装置の製造方法
JP2001166301A (ja) * 1999-12-06 2001-06-22 Seiko Epson Corp バックライト内蔵型液晶表示装置及びその製造方法
JP2001177101A (ja) * 1999-12-20 2001-06-29 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
JP4478268B2 (ja) * 1999-12-28 2010-06-09 セイコーエプソン株式会社 薄膜デバイスの製造方法
JP4472082B2 (ja) * 2000-01-07 2010-06-02 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
TW494447B (en) * 2000-02-01 2002-07-11 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP2001267578A (ja) * 2000-03-17 2001-09-28 Sony Corp 薄膜半導体装置及びその製造方法
US6492026B1 (en) * 2000-04-20 2002-12-10 Battelle Memorial Institute Smoothing and barrier layers on high Tg substrates
JP2002026182A (ja) * 2000-07-07 2002-01-25 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置の製造方法
SG148819A1 (en) * 2000-09-14 2009-01-29 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and manufacturing method thereof
US6774010B2 (en) * 2001-01-25 2004-08-10 International Business Machines Corporation Transferable device-containing layer for silicon-on-insulator applications
US6448152B1 (en) * 2001-02-20 2002-09-10 Silicon Genesis Corporation Method and system for generating a plurality of donor wafers and handle wafers prior to an order being placed by a customer
TW564471B (en) 2001-07-16 2003-12-01 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and peeling off method and method of manufacturing semiconductor device
US6814832B2 (en) * 2001-07-24 2004-11-09 Seiko Epson Corporation Method for transferring element, method for producing element, integrated circuit, circuit board, electro-optical device, IC card, and electronic appliance
JP2003109773A (ja) * 2001-07-27 2003-04-11 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置、半導体装置およびそれらの作製方法
JP5057619B2 (ja) * 2001-08-01 2012-10-24 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
JP4472238B2 (ja) * 2001-08-10 2010-06-02 株式会社半導体エネルギー研究所 剥離方法および半導体装置の作製方法
TW554398B (en) * 2001-08-10 2003-09-21 Semiconductor Energy Lab Method of peeling off and method of manufacturing semiconductor device
US7351300B2 (en) 2001-08-22 2008-04-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Peeling method and method of manufacturing semiconductor device
US6875671B2 (en) * 2001-09-12 2005-04-05 Reveo, Inc. Method of fabricating vertical integrated circuits
TW594947B (en) * 2001-10-30 2004-06-21 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and method of manufacturing the same
TWI264121B (en) * 2001-11-30 2006-10-11 Semiconductor Energy Lab A display device, a method of manufacturing a semiconductor device, and a method of manufacturing a display device
US6953735B2 (en) * 2001-12-28 2005-10-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for fabricating a semiconductor device by transferring a layer to a support with curvature
DE60325669D1 (de) * 2002-05-17 2009-02-26 Semiconductor Energy Lab Verfahren zum Transferieren eines Objekts und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
TWI272641B (en) * 2002-07-16 2007-02-01 Semiconductor Energy Lab Method of manufacturing a semiconductor device
WO2004040648A1 (ja) * 2002-10-30 2004-05-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. 半導体装置および半導体装置の作製方法
TWI330269B (en) * 2002-12-27 2010-09-11 Semiconductor Energy Lab Separating method
JP4373085B2 (ja) * 2002-12-27 2009-11-25 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法、剥離方法及び転写方法
US7052978B2 (en) * 2003-08-28 2006-05-30 Intel Corporation Arrangements incorporating laser-induced cleaving
KR100634528B1 (ko) * 2004-12-03 2006-10-16 삼성전자주식회사 단결정 실리콘 필름의 제조방법

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