JP2012118545A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 基板上方に、トランジスタを形成し、
   前記トランジスタ上方に、第１の絶縁層を形成し、
   前記第１の絶縁層上方に、第１の電極を形成し、
   前記第１の絶縁層及び前記第１の電極上方に、珪素を有する絶縁膜を形成し、
   前記珪素を有する絶縁膜をエッチングし、前記第１の電極の端部を覆う領域を有する第２の絶縁層を形成し、
   前記第１の電極及び前記第２の絶縁層上方に、有機物を有する層を形成し、
   前記有機物を有する層上方に、第２の電極を形成する表示装置の作製方法であって、
   前記珪素を有する絶縁膜のエッチングは、ウェットエッチング法を用いて行い、
   前記第２の絶縁層の端部は、テーパー形状を有することを特徴とする表示装置の作製方法。
2. 基板上方に、トランジスタ及び第１の配線を形成し、
   前記トランジスタ及び前記第１の配線上方に、第１の絶縁層を形成し、
   前記第１の絶縁層上方に、第１の電極と、第２の配線と、を形成し、
   前記第１の絶縁層、前記第１の電極、及び前記第２の配線上方に、珪素を有する絶縁膜を形成し、
   前記珪素を有する絶縁膜をエッチングし、前記第１の電極の端部を覆う領域及び前記第２の配線の端部を覆う領域を有する第２の絶縁層を形成し、
   前記第１の電極及び前記第２の絶縁層上方に、有機物を有する層を形成し、
   前記有機物を有する層上方に、第２の電極を形成し、
   前記第２の配線、前記第２の絶縁層、及び前記第２の電極上方に、第３の電極を形成する表示装置の作製方法であって、
   前記珪素を有する絶縁膜のエッチングは、ウェットエッチング法を用いて行い、
   前記第２の絶縁層の端部は、テーパー形状を有し、
   前記第３の電極は、前記第２の配線と電気的に接続され、
   前記第２の配線は、前記第１の配線と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置の作製方法。
3. 請求項１乃至３のいずれか一項において、
   前記第２の絶縁層の端部は、角度が１０°以上６０°以下のテーパー形状を有することを特徴とする表示装置の作製方法。