JPH11231805A - 表示装置 - Google Patents

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JPH11231805A
JPH11231805A JP2870698A JP2870698A JPH11231805A JP H11231805 A JPH11231805 A JP H11231805A JP 2870698 A JP2870698 A JP 2870698A JP 2870698 A JP2870698 A JP 2870698A JP H11231805 A JPH11231805 A JP H11231805A
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JP
Japan
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gate
tft
thin film
gate electrode
film transistor
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JP2870698A
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English (en)
Inventor
Yoji Matsuda
洋史 松田
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光する表示画素が発光すべき輝度で発光す
る表示装置を提供する。 【解決手段】 基板上に、陽極、陰極及び該両電極の間
に挟まれた発光素子層から成るEL素子と、ドレイン電
極がドレイン信号線に、ゲート電極がゲート信号線にそ
れぞれ接続された第1の薄膜トランジスタと、ソース電
極が前記陽極に、ドレイン電極が電源に、ゲート電極が
前記第1の薄膜トランジスタのソース電極に接続された
第2の薄膜トランジスタと、を備えて成る表示装置にお
いて、前記第1の薄膜トランジスタをダブルゲート構造
とする。これにより、第1のTFTのリーク電流を抑制
して第2のTFTのゲート電極の電位を一定に保つこと
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上にエレクト
ロルミネッセンス素子及び薄膜トランジスタを備えた表
示装置に関する。
【従来の技術】近年、エレクトロルミネッセンス(Elec
tro Luminescence:以下、「EL」と称する。)素子
を用いた表示装置が、CRTやLCDに代わる表示装置
として注目されており、例えば、そのEL素子を駆動さ
せるスイッチング素子として薄膜トランジスタ(Thin F
ilm Transistor:以下、「TFT」と称する。)を備え
た表示装置の研究開発も進められている。図4に、従来
のEL素子及びTFTを備えた表示装置の等価回路図を
示す。同図は、第1のTFT130、第2のTFT14
0及び有機EL素子160からなる表示装置の等価回路
図であり、第n行及び第n+1行のゲート信号線Gn,
Gn+1と第m列及び第m+1列のドレイン信号線D
m,Dm+1付近を示している。ゲート信号を供給する
ゲート信号線Gn,Gn+1とドレイン信号を供給する
ドレイン信号線Dm,Dm+1とが直交しており、両信
号線の交差点付近には、有機EL素子160及びこの有
機EL素子160を駆動するTFT130,140が設
けられている。スイッチング用のTFTである第1のT
FT130は、ゲート信号線Gn,Gn+1に接続され
ておりゲート信号が供給されるゲート電極131と、ド
レイン信号線Dm,Dm+1に接続されておりドレイン
信号が供給されるドレイン電極132と、第2のTFT
140のゲート電極141に接続されているソース電極
133とからなる。有機EL素子駆動用のTFTである
第2のTFT140は、第1のTFT130のソース電
極133に接続されているゲート電極141と、有機E
L素子160の陽極161に接続されたソース電極14
2と、有機EL素子160に供給される電源150に接
続されたドレイン電極143とから成る。また、有機E
L素子160は、ソース電極142に接続された陽極1
61と、コモン電極164に接続された陰極162、及
びこの陽極161と陰極162との間に挟まれた発光素
子層163から成る。なお、上述のTFTは、いずれも
ゲートが1つのシングルゲート構造である。ここで、図
4の等価回路図に示す回路の駆動方法について、図5に
示す各信号のタイミングチャートに基づいて説明する。
図5(a)は第n行の第1のTFT130のゲート電極
に供給される信号VG(n)1の、同(b)は第n+1行の
第1のTFT130のゲート電極に供給される信号VG
(n+1)1の、同(c)はドレイン信号線Dmのドレイン信
号VDの、同(d)は第n行の第2のTFT140のゲ
ート電極に供給される信号VG(n)2の、(e)は第n+
1行の第2のTFT140のゲート電極VG(n+1)2の信
号のそれぞれのタイミングチャートを示す。第n行のゲ
ート信号線Gnに注目して見ると、図5(a)に示すゲ
ート信号線Gnからのゲート信号VG(n)1がゲート電極
131に印加されると、第1のTFT130がオンにな
る。そのため、ドレイン信号線Dmから図5(c)に示
すドレイン信号がゲート電極141に供給され、ゲート
電極141の電位がドレイン信号線Dの電位と同電位に
なる。そしてゲート電極141に供給された電流値に相
当する電流が電源150から有機EL素子160に供給
される。それによって有機EL素子160は発光する。
【発明が解決しようとする課題】第1のTFT130が
オンの期間には、ドレイン信号線Dmの電位と同電位に
なるまで電流が流れてゲート電極141のゲート容量に
電荷が蓄積される。そして、第1のTFT130がオフ
になると、そのゲート容量に蓄積された電荷はその状態
を維持し、ゲート電位は、図5(d)の点線で示すよう
に言って位置になるはずである。しかしながら、上述の
従来の表示装置ではTFTのオフ時にリーク電流が流れ
るため、ドレイン信号VDが図5(c)に示すように1
水平期間(1H)毎に変化すると、ゲート電極141の
電位VG(n)2は、図5(d)の実線にに示すように変化
してしまい、一定値とならない。同様に、第n+1行の
ゲート信号線Gn+1についても、図5(e)に示すよ
うにゲート電極141の電位が一定でなくなる。即ち、
図5(d)の実線に示すように1)ドレイン信号線Dm
の電位がゲート電極141に供給された電位よりも低い
場合には、第1のTFT130を介してドレイン信号線
Dmにリーク電流が流れてゲート電極141の電位が低
下し、2)ドレイン信号線Dmの電位がゲート電極14
1に供給された電位よりも高い場合には第1のTFT1
30を介してゲート電極141にリーク電流が流れ電荷
が更に蓄積されてゲート電極141の電位が高くなる。
そうすると、1)の場合には、本来有機EL素子160
に流れるべき電流よりも大きい電流が流れることになり
有機EL素子の輝度が高くなってしまい、2)の場合に
は、逆に輝度が低くなってしまう。1)、2)いずれの
場合にも、第1のTFT130のリーク電流が大きい
と、発光する表示画素が発光すべき輝度で発光すること
が困難であるという欠点があった。また、有機EL素子
を発光させるために、ゲート電極141に電位が供給さ
れている間中、有機EL素子160に電流が供給される
ので、特に第2のTFT140は、TFTのチャネル部
における電界密度の集中が著しくなりTFTの劣化が生
じるという欠点もあった。そこで本発明は、上記の従来
の欠点に鑑みて為されたものであり、第1のTFT13
0のリーク電流を抑制して第2のTFT140のゲート
電極141の電位を一定に保つことにより、発光する表
示画素が発光すべき輝度で発光する表示装置を提供する
ことを目的とする。
【課題を解決するための手段】本発明の表示装置は、基
板上に、陽極、陰極及び該両電極の間に挟まれた発光素
子層から成るエレクトロルミネッセンス素子と、ドレイ
ン電極がドレイン信号線に、ゲート電極がゲート信号線
にそれぞれ接続された第1の薄膜トランジスタと、ソー
ス電極が前記陽極に、ドレイン電極が電源に、ゲート電
極が前記第1の薄膜トランジスタのソース電極に接続さ
れた第2の薄膜トランジスタと、を備えて成る表示装置
において、前記第1の薄膜トランジスタはダブルゲート
構造を有するものである。また、前記第1と第2のTF
Tのうち少なくともいずれか一方がLDD構造を有する
ものである。
【発明の実施の形態】本発明の表示装置について以下に
説明する。図1は、本発明の実施の形態の有機EL素子
及びTFTを備えた表示装置の1つの画素を示す断面図
である。同図に示す如く、表示画素1は、ガラスや合成
樹脂などから成る基板又は導電性を有する基板あるいは
半導体基板等の基板2上に、TFT及び有機EL素子を
順に積層形成して成る。ただし、基板2として導電性を
有する基板及び半導体基板を用いる場合には、これらの
基板2上にSiO2やSiNなどの絶縁膜を形成した上
にTFTを形成する。TFTは、本実施の形態において
は、第1及び第2のTFT30,40ともに、ゲート電
極を能動層3の上に設けたいわゆるトップゲート型のT
FTであり、能動層として多結晶シリコン(Poly-Silic
on、以下、「p−Si」と称する。)膜を用いている。
まず、スイッチング用のTFTである第1のTFT30
について説明する。基板2上にp−Si膜からなる能動
層を設け、この能動層上にはゲート絶縁膜7を介して2
つのゲート、即ちゲート31とゲート32が設けられて
おり、第1のTFT30はいわゆるダブルゲート構造を
有している。この各ゲート31,32の直下の能動層に
は、チャネル領域3、そのチャネル領域3の両側に不純
物を注入した領域4、更にこの領域4よりも不純物濃度
が高いソース領域5及びドレイン領域6を備えている。
こうして第1のTFT30はいわゆるLDD(Lightly
Doped Drain)構造を有している。この第1のTFT3
0の全面に層間絶縁膜8を設けた後、ソース領域5及び
ドレイン領域6に対応した位置のゲート絶縁膜7及び層
間絶縁膜8にコンタクトホール9を設ける。そしてAl
等の金属をそのコンタクトホール9に充填してソース領
域5とコンタクトしたソース電極10、及びドレイン領
域6とコンタクトしたドレイン電極11を形成する。こ
のドレイン電極11は、第2のTFT40のゲート41
に接続されている。また、層間絶縁膜8にコンタクトホ
ール12を設け、ソース電極10及びドレイン電極11
の形成と同時にゲート31,32を接続したゲート電極
13を形成する。このゲート電極13、ソース電極1
0、ドレイン電極11及び層間絶縁膜8の上には、平坦
化絶縁膜14が形成されている。次に、有機EL素子の
駆動用のTFTである第2のTFT40について説明す
る。第1のTFT40と同様に、基板2にp−Siから
なる能動層を設け、この能動層には、ゲート41直下に
チャネル領域3、そのチャネル領域3の両側に不純物を
注入した領域4、更に領域4より不純物濃度の高いソー
ス領域15及びドレイン領域16を形成する。その上に
はゲート絶縁膜7を介してゲート41を設ける。このよ
うに第2のTFT40はいわゆるLDD構造を有してい
る。ソース領域15は第1のTFT30形成と同時に形
成したゲート絶縁膜7及び層間絶縁膜8に設けたコンタ
クトホール17を介して有機EL素子60の陽極61に
接続されている。ゲート41は第1のTFT30のドレ
イン電極11と接続されている。また、ドレイン電極1
6は電源50に接続されている。有機EL素子60は、
一般的な構造であり、ITO(Indium Thin Oxide)等
の透明電極から成る陽極61、MTDATA(4,4'-bis
(3-methylphenylphenylamino)biphenyl)から成る第1
ホール輸送層、TPD(4,4',4"-tris(3-methylphenylp
henylamino)triphenylanine)からなる第2ホール輸送
層、キナクリドン(Quinacridone)誘導体を含むBeb
q2(10-ベンゾ〔h〕キノリノール−ベリリウム錯体)
から成る発光層及びBebq2から成る電子輸送層から
なる発光素子層63、マグネシウム・インジウム合金か
ら成る陰極62がこの順番で積層形成された構造であ
る。また有機EL素子は、陽極から注入されたホール
と、陰極から注入された電子とが発光層の内部で再結合
し、発光層を形成する有機分子を励起して励起子が生じ
る。この励起子が放射失活する過程で発光層から光が放
たれ、この光が透明な陽極から透明絶縁基板を介して外
部へ放出されて発光する。図2に、本発明の表示装置の
等価回路図を示し、図3に各信号のタイミングチャート
を示す。図2は、第1のTFT30、第2のTFT40
及び有機EL素子60からなる表示装置の等価回路図で
あり、第n行及び第n+1行のゲート信号線Gn,Gn
+1と第m列及び第m+1列のドレイン信号線Dm,D
m+1付近を示している。なお、図3において、(a)
は第n行の第1のTFTのゲート電極に供給される信号
VG(n)1の、(b)は第n+1行の第1のTFTのゲー
ト電極に供給される信号VG(n+1)1の、(c)は第m列
のドレイン信号VDの、(d)は第n行の第2のTFT
のゲート電極の信号VG(n)2の、(e)は第n+1行の
第2のTFTのゲート電極の信号VG(n+1)2のそれぞれ
のタイミングチャートを示す。図2に示す如く、ゲート
信号を供給するゲート信号線Gn,Gn+1と、ドレイ
ン信号を供給するドレイン信号線Dm,Dm+1との直
交部付近に、上述の第1のTFT30、40及び有機E
L素子60とから成る表示画素1が形成されている。第
n行のゲート信号線Gnに注目してみると、図3(a)
に示すようにゲート信号線Gnに接続されたゲート3
1,32にゲート信号が供給されると第1のTFT30
が1水平期間(1H)オン状態を保ちその後オフにな
る。そのオン状態になったとき図3(d)に示すように
ドレイン信号線Dmから図3(c)に示すドレイン信号
がソース電極34を介してゲート電極41に供給されゲ
ート電極41の電位がドレイン信号線Dmの電位と同電
位になる。こうしてゲート電極41に電位が供給される
と第2のTFT40がオン状態となり、ゲート電極41
の電流値に相当する電流が電源50からドレイン電極4
2及びソース電極43を介して有機EL素子60の陽極
61に供給される。そうして有機EL素子60が発光す
る。このように構成された表示画素1が基板2上にマト
リクス状に配置されることにより、表示装置が形成され
る。以上のように、本実施の形態では、第1のTFT3
0がダブルゲート構造及びLDD構造とを併せて有する
ので、第1のTFTのリーク電流を抑制することができ
るため、図3(c)に示すようにドレイン信号が1Hご
とに変化するのに追従して、図3(d)の点線で示す従
来のようにゲート電極41の電位が変化することなく、
実線で示したように電位を一定に保つことができる。同
様に、第n+1行のゲート信号線Gn+1についても、
図3(e)の実線で示すように、ゲート電極41の電位
を一定に保つことができる。即ち、発光する表示画素に
発光すべき電流を安定して有機EL素子に供給すること
ができる。なお言うまでもなく、第1のTFTがダブル
ゲート構造のみを有する場合でもリーク電流を抑制する
ことができる。また、第2のTFT40がLDD構造を
有しているので、チャネル端部に発生する電界密度の集
中を緩和できる。即ち、図3(d)のようにゲート電極
41に1フレーム期間一定の電位を保持し電流を供給し
て有機EL素子60を発光させてもTFTが劣化するこ
とを防止できる。従って、安定した表示を得ることがで
きるとともに信頼性の向上した表示装置を提供すること
ができる。なお、本実施の形態においては、第1及び第
2のTFT30,40ともに、ゲート電極を能動層3の
上に設けたいわゆるトップゲート型のTFTについて説
明したが、ゲート電極が能動層の下にあるいわゆるボト
ムゲート型TFTでも良い。また、能動層として多結晶
シリコン膜を用いたが、微結晶シリコン膜又は非晶質シ
リコンを用いても良い。
【発明の効果】本発明の表示装置は、第1のTFTはダ
ブルゲート構造を有するものであるので、第1のTFT
のリーク電流を抑制して第2のTFTのゲート電極の電
位を一定に保つことができ、発光する表示画素が発光す
べき輝度で発光する表示装置を得ることができる。ま
た、LDD構造を有するTFTを備えているので、リー
ク電流を抑制することができるとともに、チャネル端部
における電界密度を緩和できTFTの劣化を防ぎ信頼性
を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の表示装置の断面図である。
【図2】本発明の表示装置の等価回路図である。
【図3】本発明の表示装置の各信号のタイミングチャー
トである。
【図4】従来の表示装置の等価回路図である。
【図5】従来の表示装置の各信号のタイミングチャート
である。
【符号の説明】
1 表示画素 31、32、41 ゲート 30 第1のTFT 40 第2のTFT 50 電源 60 有機EL素子

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に、陽極、陰極及び該両電極の間
    に挟まれた発光素子層から成るエレクトロルミネッセン
    ス素子と、ドレイン電極がドレイン信号線に、ゲート電
    極がゲート信号線にそれぞれ接続された第1の薄膜トラ
    ンジスタと、ソース電極が前記陽極に、ドレイン電極が
    電源に、ゲート電極が前記第1の薄膜トランジスタのソ
    ース電極に接続された第2の薄膜トランジスタと、を備
    えて成る表示装置において、 前記第1の薄膜トランジスタはダブルゲート構造を有す
    ることを特徴とする表示装置。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2の薄膜トランジスタの
    うち少なくとも一方はLDD構造を有することを特徴と
    する請求項1記載の表示装置。
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