JP2015099802A5 - - Google Patents
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Claims (3)
- 半導体膜と、
前記半導体膜上の第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上の第1の導電膜と、
前記第1の導電膜上の第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上の第2の導電膜と、
前記第2の導電膜上の第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜上の第3の導電膜と、
前記第3の導電膜上の第4の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜上の第5の絶縁膜と、
前記第3の導電膜上及び前記第4の絶縁膜上のEL層と、
前記EL層上の第4の導電膜と、
を有し、
前記第1の導電膜は、前記第1の絶縁膜を介して前記半導体膜と重なる部分を有し、
前記第2の導電膜は、前記半導体膜と電気的に接続されており、
前記第3の絶縁膜は、第1の有機樹脂を有し、
前記第3の絶縁膜は、コンタクトホールを有し、
前記第3の導電膜は、前記コンタクトホールを介して前記第2の導電膜と電気的に接続されており、
前記第3の導電膜は、前記コンタクトホールと重ならない第1の部分を有し、
前記第3の導電膜は、前記コンタクトホールと重なる第2の部分を有し、
前記コンタクトホールは、前記第2の部分及び前記第4の絶縁膜によって充填されており、
前記コンタクトホールにおける前記第4の絶縁膜の表面は、前記第1の部分の表面よりも盛り上がった部分を有し、
前記第4の絶縁膜は、第2の有機樹脂を有し、
前記第5の絶縁膜は、前記第2の有機樹脂を有し、
前記第4の絶縁膜は、前記第5の絶縁膜と接せず、
前記第5の絶縁膜は、前記第3の絶縁膜と接する部分を有し、
画素部において、前記EL層及び前記第4の導電膜は、前記第3の絶縁膜と接しないことを特徴とする自発光装置。 - 半導体膜と、
前記半導体膜上の第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上の第1の導電膜と、
前記第1の導電膜上の第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上の第2の導電膜と、
前記第2の導電膜上の第3の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜上の第3の導電膜と、
前記第3の導電膜上の第4の絶縁膜と、
前記第3の絶縁膜上の第5の絶縁膜と、
前記第3の導電膜上及び前記第4の絶縁膜上のEL層と、
前記EL層上の第4の導電膜と、
前記第4の導電膜上の第6の絶縁膜と、
を有し、
前記第1の導電膜は、前記第1の絶縁膜を介して前記半導体膜と重なる部分を有し、
前記第2の導電膜は、前記半導体膜と電気的に接続されており、
前記第3の絶縁膜は、第1の有機樹脂を有し、
前記第3の絶縁膜は、コンタクトホールを有し、
前記第3の導電膜は、前記コンタクトホールを介して前記第2の導電膜と電気的に接続されており、
前記第3の導電膜は、前記コンタクトホールと重ならない第1の部分を有し、
前記第3の導電膜は、前記コンタクトホールと重なる第2の部分を有し、
前記コンタクトホールは、前記第2の部分及び前記第4の絶縁膜によって充填されており、
前記コンタクトホールにおける前記第4の絶縁膜の表面は、前記第1の部分の表面よりも盛り上がった部分を有し、
前記第4の絶縁膜は、第2の有機樹脂を有し、
前記第5の絶縁膜は、前記第2の有機樹脂を有し、
前記第4の絶縁膜は、前記第5の絶縁膜と接せず、
前記第5の絶縁膜は、前記第3の絶縁膜と接する部分を有し、
画素部において、前記EL層および前記第4の導電膜は、前記第3の絶縁膜と接しないことを特徴とする自発光装置。 - 請求項2において、
前記第6の絶縁膜は窒化珪素膜であることを特徴とする自発光装置。
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