JP6560452B2 - 有機el表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
2 :バックプレーン(回路)
3 :有機EL素子
4 :偏光板
10 :薄膜封止構造(TFE構造)
12 :第1無機バリア層(SiN層)
14 :有機バリア層(アクリル樹脂層)
14a :有機バリア層の開口部
14b :有機バリア層の中実部
14s :有機バリア層の表面(アッシング後)
14sa :有機バリア層の表面(アッシング前)
16 :第2無機バリア層(SiN層)
16c :欠陥
16d :凹部
20 :素子基板
26 :アクリルモノマー
26p :アクリルモノマーの蒸気または霧状アクリルモノマー
100 :有機EL表示装置
Claims (5)
- フレキシブル基板上に形成された有機EL素子と、
前記有機EL素子上に形成された薄膜封止構造とを有し、
前記薄膜封止構造は、第1無機バリア層と、前記第1無機バリア層に接する有機バリア層と、前記有機バリア層に接する第2無機バリア層とを有し、
前記第1無機バリア層の表面は平坦部を有し、
前記有機バリア層は、少なくとも前記平坦部上の一部に存在しており、かつ、前記有機バリア層の表面は酸化されており、
前記有機バリア層は、前記平坦部上に開口部を有し、前記平坦部上に存在している前記有機バリア層の面積は、前記開口部の面積よりも大きい、有機EL表示装置。 - 前記平坦部上に存在している前記有機バリア層の厚さは10nm以上である、請求項1に記載の有機EL表示装置。
- 前記有機バリア層の前記平坦部上における最大厚さは200nm未満である、請求項1または2に記載の有機EL表示装置。
- 前記第1および第2無機バリア層は、厚さが200nm以上1000nm以下のSiN層である、請求項1から3のいずれかに記載の有機EL表示装置。
- 請求項1から4のいずれかに記載の有機EL表示装置の製造方法であって、
前記第1無機バリア層が形成された有機EL素子をチャンバー内に用意する工程と、
前記チャンバー内に蒸気または霧状のアクリルモノマーを供給する工程と、
前記第1無機バリア層上でアクリルモノマーを凝縮させ、液状の膜を形成する工程と、
前記アクリルモノマーの前記液状の膜に紫外線を照射することによって、アクリル樹脂層を形成する工程と、
前記アクリル樹脂層を部分的にアッシングすることによって、前記有機バリア層を形成する工程と
を包含し、
前記有機バリア層を形成する工程は、前記平坦部上に形成された前記アクリル樹脂層の50%超が残存するようにアッシングする工程を包含する、有機EL表示装置の製造方法。
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