JP5779430B2 - 封止膜及びその形成方法並びに電気装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
この薄膜リチウム二次電池101は、全固体型のもので、図10に示すように、正極集電体層104に接続された正極層103が基板102上に形成され、この正極層103上に固体電解質層105が形成されている。
さらに、このような構成を有する電池本体部を覆うように封止層110が設けられている。
しかし、この従来技術の場合、第1の封止層111を構成するアクリル樹脂と、第2の封止層112を構成するアルミナとは密着性が悪く、第2の封止層112が剥離しやすく、ひいては封止能力が低下するという問題があった。
本発明では、この封止膜上に、アルミナからなる無機層と、ポリ尿素又はポリウレタンからなる密着性高分子有機層が積層されている場合にも効果的である。
また、この封止膜上に、アルミナからなる無機層と、アクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層とが積層されている場合にも効果的である。
さらに、この封止膜上に、アクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層と、当該アクリル樹脂からなる高分子有機層の両側の面に形成されたポリ尿素からなる密着性高分子有機層と、当該密着性高分子有機層上に形成されたアルミナからなる無機層とが積層されている場合にも効果的である。
一方、本発明は、高分子有機層と無機層とが積層されデバイス部を封止する封止膜を有する電気装置であって、前記デバイス部上に、上述したいずれかの封止膜が設けられているものである。
本発明は、前記デバイス部が、薄膜リチウム二次電池の電池本体部である場合には特に効果的である。
他方、本発明は、上述した封止膜を形成する方法であって、真空中で異なる原料モノマーを蒸発させて前記封止対象物上の前記無機層上に堆積させ、当該無機層上において当該異なる原料モノマーを重合反応させることにより前記下地高分子有機層を形成する下地高分子有機層形成工程と、前記平滑化高分子有機層の原料となるモノマーを気化させて前記下地高分子有機層上に噴霧して凝集堆積させ、当該下地高分子有機層上の当該モノマーに対して紫外線を照射して硬化させることにより前記平滑化高分子有機層を形成する平滑化高分子有機層形成工程とを有する封止膜形成方法である。
また、本発明は、上述した電気装置を製造する方法であって、真空中で異なる原料モノマーを蒸発させて前記デバイス部上の前記無機層上に堆積させ、当該無機層上において当該異なる原料モノマーを重合反応させることにより前記下地高分子有機層を形成する下地高分子有機層形成工程と、前記平滑化高分子有機層の原料となるモノマーを気化させて前記下地高分子有機層上に噴霧して凝集堆積させ、当該下地高分子有機層上の当該モノマーに対して紫外線を照射して硬化させることにより前記平滑化高分子有機層を形成する平滑化高分子有機層形成工程とを有する工程によって前記封止膜を形成する電気装置の製造方法である。
この拡散層は、下地高分子有機層と強固に密着しており、しかも、アルミナからなる無機層とポリ尿素又はポリウレタンからなる下地高分子有機層との密着性は強固であるから、結果として、無機層と平滑化高分子有機層との密着性が大幅に向上する。
本発明において、上述した封止膜上に、アルミナからなる無機層と、ポリ尿素又はポリウレタンからなる密着性高分子有機層が積層されている場合、又はアルミナからなる無機層と、アクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層とが積層されている場合には、封止膜の全体的な封止能力を更に向上させることができる。
本発明において、上述した封止膜上に、アクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層と、当該アクリル樹脂からなる高分子有機層の両側の面に形成されたポリ尿素からなる密着性高分子有機層と、当該密着性高分子有機層上に形成されたアルミナからなる無機層とが積層されている場合には、有機層と無機層の密着性が非常に高く、しかも封止能力の優れた封止膜が得られる。
そして、このような封止膜を薄膜リチウム二次電池のデバイス部即ち電池本体部上に設けることにより、高分子有機層と高分子無機層との密着性が高い封止膜によって充電・放電の際に膨張・収縮する電池本体部に対して確実に封止を行うことができ、信頼性を向上させることができる。
一方、本発明方法によれば、上述した密着性の高い有機・無機積層封止膜を効率良く形成することができる。
図1は、本発明に係る封止膜を形成する封止膜形成装置の構成を示す平面図である。
図1に示すように、この封止膜形成装置1は、基板8を搬送するための搬送室2を有し、この搬送室2内には、基板搬送ロボット2Aが設けられている。
なお、これら仕込み/取出室3、平滑化高分子有機層形成室4、下地高分子有機層形成室5、無機層形成室9は、図示しない真空排気系に接続されている。
図2に示すように、本実施の形態の平滑化高分子有機層形成室4は、後述するアクリルモノマーを気化する気化部30と、UV硬化部40とを有している。なお、本発明においてはアクリルモノマーの他、メタアクリルモノマーも用いることができる。
ここで、気化器32は、図示しないアクリル供給源から液状のアクリルモノマー6を導入するためのアクリル導入路33が、例えば気化器32の上面中央部から気化器32を貫通するように設けられ、本体部31内部に設けられたアクリル放出口34を介して液状のアクリルモノマー6を本体部31内に導くように構成されている。
そして、気化器32のアクリル導入路33を取り囲むようにガス拡散空間36がガス導入路35と連通して形成され、ガス拡散空間36の上記アクリル放出口34側には、例えばアクリル放出口34を取り囲むようにリング状のガス放出口37が設けられている。
この蒸気輸送管39は、UV硬化部40に向って引き回され、複数(本実施の形態では二つ)の分岐管39a、39bによって分岐して霧状アクリルモノマー6SをUV硬化部40に輸送するように構成されている。
一方、アクリルモノマー噴霧部42は、例えば平板状の部材からなるもので、上述した透光部材44の周囲に、霧状アクリルモノマー6Sを導入する複数(本実施の形態では二つ)のモノマー導入口42a、42bが設けられている。
さらに、アクリルモノマー噴霧部42の例えば下部には、上記霧状アクリルモノマー6Sの流路45に連通されたアクリルモノマー放出口46が複数(図中では二つのみ示す)設けられている。
なお、不要になったアクリルモノマーは、排液ポンプ49によって回収されるように構成されている。
図3に示すように、本実施の形態の下地高分子有機層形成室5は、真空槽51と、真空槽51内に配置され、基板8が配置されるステージ52と、ステージの表面52aと対向する位置に配置された放出容器53と、内部に異なる原料モノマーが配置される第一、第二の材料容器54A、54Bと、第一、第二の材料容器の内部空間を放出容器53の内部空間に連通させる第一、第二の配管55A、55Bとを有している。
第一、第二の配管55A、55Bには、開閉可能な第一、第二のバルブ55a、55bが取り付けられている。
図4に示すように、本実施の形態の無機層形成室9は、真空槽61と、真空槽61内に配置され、表面62aに基板8が配置されるステージ62と、ステージ62の表面62aと対向する位置にステージ62の表面62aと平行に配置されたバッキングプレート63と、バッキングプレート63に電気的に接続された電源装置64と、真空槽61内にスパッタガスを導入するスパッタガス源65と、磁石装置66とを有している。
バッキングプレート63は、絶縁部材67を介して真空槽61の壁面に取り付けられて支持されており、真空槽61とは電気的に絶縁されている。
そして、バッキングプレート63のステージ62の表面62aと対向する面には、アルミナ(Al2O3)からなるターゲット68が配置されている。
磁石装置66には、磁石回転装置69が取り付けられている。
本実施の形態の薄膜リチウム二次電池50は、全固体型のもので、図6に示すように、基板8上に、電池本体部であるデバイス部20が形成されて構成されている。
基板8上には、正極集電体層21に電気的に接続された正極層22が形成され、この正極層22上に、固体電解質層23が形成されている。
正極層22は、例えばコバルト酸リチウム(LiCoO2)からなるもので、例えばコバルト酸リチウムのターゲット(図示せず)を用いてスパッタリング法によって作成することができる。
固体電解質層23上には、リチウム(Li)からなる負極層24が形成されている。
図6に示すように、リチウムからなる負極層24には、凹凸部24aやパーティクル26(本明細書では「凹凸部分」と総称する。)が存在している。
以下、本発明の封止膜の形成方法の実施の形態を、図3〜図6並びに図7(a)〜(d)を参照して説明する。
図1に示す搬送ロボット2Aにより、デバイス部20を形成した基板8を無機層形成室9の真空槽61内に搬入する(図4参照)。
図4に示すように、真空槽61内に搬入された基板8を、成膜すべき表面(ここではデバイス部20の表面)が露出するように、ステージ62の表面62aに配置する。
スパッタガス源65から真空槽61内にスパッタガス(ここではArガス)を導入する。
本実施の形態では、無機層15を形成した基板8を真空槽51内にを搬入する前に、予め第一、第二のバルブ55a、55bを閉状態にしておく。
第一の材料容器54A内に、第一の原料モノマーを収容しておくとともに、第二の材料容器54B内に、第二の原料モノマーを収容しておく。
具体的には、例えば、下記化学式(1)で示される化合物である1,3−ビス(イソシアナートメチル)シクロヘキサンからなる脂環族イソシアナート材料と、下記化学式(2)で示される化合物である1,12−ジアミノドデカンからなる脂肪族アミン材料を用いることができる。
図3に示すように、真空槽51内に搬入された基板8を、成膜すべき表面(ここでは無機層15の表面)が露出するように、ステージ52の表面52aに配置する。
本工程は、減圧下で行う。この場合、図5(a)に示すように、無機層15及び下地高分子有機層11が形成された基板8を、UV硬化部40のステージ41上に配置しておく。
このような材料としては、下記化学式(7)で示されるネオペンチルグリコールジアクリレートを好適に用いることができる。
上述したように、平滑化高分子有機層12を形成する際には、下地高分子有機層11上に霧状アクリルモノマー6Sを噴霧して供給する。この霧状アクリルモノマー6Sの供給中に、図8(a)に示すように、下地高分子有機層11上に凝集した液状のアクリルモノマー6が、下地高分子有機層11のポリ尿素中に拡散する。
また、本例によれば、デバイス部20上の凹凸部分をアクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層12によってある程度埋め込んだ後、成膜対象物に対し膜の付き回りの良い蒸着重合による密着性高分子有機層11aを積層させることから、少ない積層数でデバイス部20上の凹凸部分を完全に埋め込むことができる。
このような構成によれば、有機層と無機層の密着性が非常に高く、しかも封止能力の優れた封止膜10Cが得られる。
例えば、上記実施の形態においては、アクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層を図2に示す構成の成膜装置を用いたが、本発明はこれに限られず、例えばアクリルモノマーの塗布及びUV硬化によって平滑化高分子有機層を形成することもできる。
また、本発明は薄膜リチウム二次電池の封止膜のみならず、例えば、有機EL装置の封止膜にも適用することができる。
ガラス基板上に、スパッタリングによって厚さ50nmのアルミナ膜(無機層)を形成し、次に、原料モノマーとして、1,3−ビス(イソシアナートメチル)シクロヘキサンと1,12−ジアミノドデカンを用い、蒸着重合法によって厚さ500nmのポリ尿素膜(下地高分子有機層)をアルミナ膜上に形成した。
ガラス基板上に、スパッタリングによって厚さ50nmのアルミナ膜を形成し、次に、実施例と同一の方法によって、厚さ3μmのアクリル樹脂膜をポリ尿素膜上に形成し、比較例のサンプルを作成した。
ガラス基板上に、スパッタリングによって厚さ50nmのアルミナ膜を形成し、次に、実施例と同一の方法によって、厚さ50nmのポリ尿素膜をアルミナ膜上に形成し、参考例のサンプルを作成した。
実施例、比較例及び参考例のサンプルについて、下地の無機層(アルミナ膜)に対する高分子有機層の密着性を碁盤目テープ試験によって評価した。
この場合、碁盤目の数は100個とし、切り傷の方向は直交方向とした。
これに対し、実施例の場合、ポリ尿素膜とアクリル樹脂膜の界面で剥離したものが生じたが、全サンプル数に対して10%以下であった。これは、アルミナ膜とアクリル樹脂膜との間に、蒸着重合法によるポリ尿素膜を介在させることによって、アルミナ膜に対するアクリル樹脂膜の密着性が飛躍的に向上しているものと考えられる。
以上の結果より、本発明の効果を実証することができた。
11…下地高分子有機層
12…平滑化高分子有機層
15…無機層
20…デバイス部(封止対象物)
Claims (8)
- 封止対象物上に形成されたアルミナからなる無機層と、
前記無機層上に形成されたポリ尿素又はポリウレタンからなる下地高分子有機層と、
前記下地高分子有機層上に形成され、当該封止対象物の凹凸部分を平滑化するためのアクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層とを有し、
前記下地高分子有機層が、前記平滑化高分子有機層の原料となるモノマーを当該下地高分子有機層中に拡散させる性質を有する材料からなる封止膜。 - 請求項1記載の封止膜上に、アルミナからなる無機層と、ポリ尿素又はポリウレタンからなる密着性高分子有機層が積層されている封止膜。
- 請求項1記載の封止膜上に、アルミナからなる無機層と、アクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層とが積層されている封止膜。
- 請求項1記載の封止膜上に、アクリル樹脂からなる平滑化高分子有機層と、当該アクリル樹脂からなる高分子有機層の両側の面に形成されたポリ尿素からなる密着性高分子有機層と、当該密着性高分子有機層上に形成されたアルミナからなる無機層とが積層されている封止膜。
- 高分子有機層と無機層とが積層されデバイス部を封止する封止膜を有する電気装置であって、
前記デバイス部上に、請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の封止膜が設けられている電気装置。 - 前記デバイス部が、薄膜リチウム二次電池の電池本体部である請求項5記載の電気装置。
- 請求項1記載の封止膜を形成する方法であって、
真空中で異なる原料モノマーを蒸発させて前記封止対象物上の前記無機層上に堆積させ、当該無機層上において当該異なる原料モノマーを重合反応させることにより前記下地高分子有機層を形成する下地高分子有機層形成工程と、
前記平滑化高分子有機層の原料となるモノマーを気化させて前記下地高分子有機層上に噴霧して凝集堆積させ、当該下地高分子有機層上の当該モノマーに対して紫外線を照射して硬化させることにより前記平滑化高分子有機層を形成する平滑化高分子有機層形成工程とを有する封止膜形成方法。 - 請求項5記載の電気装置を製造する方法であって、
真空中で異なる原料モノマーを蒸発させて前記デバイス部上の前記無機層上に堆積させ、当該無機層上において当該異なる原料モノマーを重合反応させることにより前記下地高分子有機層を形成する下地高分子有機層形成工程と、
前記平滑化高分子有機層の原料となるモノマーを気化させて前記下地高分子有機層上に噴霧して凝集堆積させ、当該下地高分子有機層上の当該モノマーに対して紫外線を照射して硬化させることにより前記平滑化高分子有機層を形成する平滑化高分子有機層形成工程とを有する工程によって前記封止膜を形成する電気装置の製造方法。
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