JP6374188B2 - 封止構造の形成方法、封止構造の製造装置、並びに有機el素子構造の製造方法、及びその製造装置 - Google Patents
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Description
12 素子積層部
13 封止構造
18 第1のバリア膜
19 有機膜
20 第2のバリア膜
Claims (8)
- 順に積層された第1の電極、有機化合物を含む発光部及び第2の電極からなる素子積層部の封止構造の形成方法であって、
前記素子積層部を、ALD法によって形成される無機材料の第1のバリア膜で覆う第1のバリア膜形成ステップと、
前記第1のバリア膜を、等方的な成膜手法によって形成される有機材料の有機膜で覆う有機膜形成ステップと、
前記有機膜を異方性エッチングによってエッチングして前記第1のバリア膜を露出させる有機膜エッチングステップと、
少なくとも前記第1のバリア膜を、前記第1のバリア膜を形成する無機材料と同一又は異なる無機材料の第2のバリア膜で覆う第2のバリア膜形成ステップとを有し、
前記第1のバリア膜、前記有機膜及び前記第2のバリア膜は封止構造を構成し、
前記封止構造の少なくとも端部において前記第1のバリア膜及び前記第2のバリア膜は密着することを特徴とする封止構造の形成方法。 - 前記有機膜エッチングステップにおいて、前記第1のバリア膜が露出したときに前記第1のバリア膜が前記素子積層部を保護することを特徴とする請求項1記載の封止構造の形成方法。
- 前記第1のバリア膜形成ステップの前に前記素子積層部の上には異物が存在し、
前記第1のバリア膜形成ステップにおいて前記異物は前記第1のバリア膜によって覆われることを特徴とする請求項1又は2記載の封止構造の形成方法。 - 前記有機膜エッチングステップでは、前記有機膜がその表面形状を維持したまま削られ、前記有機膜は前記異物の周りだけに残存して前記異物を保持することを特徴とする請求項3記載の封止構造の形成方法。
- 前記第2のバリア膜がALD法によって形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の封止構造の形成方法。
- 順に積層された第1の電極、有機化合物を含む発光部及び第2の電極からなる素子積層部の封止構造の製造装置であって、
前記素子積層部を、ALD法によって形成される無機材料の第1のバリア膜で覆い、 前記第1のバリア膜を、等方的な成膜手法によって形成される有機材料の有機膜で覆い、
前記有機膜を異方性エッチングによってエッチングして前記第1のバリア膜を露出させ、
少なくとも前記第1のバリア膜を、前記第1のバリア膜を形成する無機材料と同一又は異なる無機材料の第2のバリア膜で覆い、
前記第1のバリア膜、前記有機膜及び前記第2のバリア膜が構成する封止構造の少なくとも端部において前記第1のバリア膜及び前記第2のバリア膜を密着させることを特徴とする封止構造の製造装置。 - 順に積層された第1の電極、有機化合物を含む発光部及び第2の電極からなる素子積層部を有する有機EL素子構造の製造方法であって、
前記素子積層部を、ALD法によって形成される無機材料の第1のバリア膜で覆う第1のバリア膜形成ステップと、
前記第1のバリア膜を、等方的な成膜手法によって形成される有機材料の有機膜で覆う有機膜形成ステップと、
前記有機膜を異方性エッチングによってエッチングして前記第1のバリア膜を露出させる有機膜エッチングステップと、
少なくとも前記第1のバリア膜を、前記第1のバリア膜を形成する無機材料と同一又は異なる無機材料の第2のバリア膜で覆う第2のバリア膜形成ステップとを有し、
前記第1のバリア膜、前記有機膜及び前記第2のバリア膜は封止構造を構成し、
前記封止構造の少なくとも端部において前記第1のバリア膜及び前記第2のバリア膜は密着することを特徴とする有機EL素子構造の製造方法。 - 順に積層された第1の電極、有機化合物を含む発光部及び第2の電極からなる素子積層部を有する有機EL素子構造の製造装置であって、
前記素子積層部をALD法によって形成される無機材料の第1のバリア膜で覆い、
前記第1のバリア膜を等方的な成膜手法によって形成される有機材料の有機膜で覆い、 前記有機膜を異方性エッチングによってエッチングして前記第1のバリア膜を露出させ、
少なくとも前記第1のバリア膜を形成する無機材料と同一又は異なる無機材料の第2のバリア膜で覆い、
前記第1のバリア膜、前記有機膜及び前記第2のバリア膜が構成する封止構造の少なくとも端部において前記第1のバリア膜及び前記第2のバリア膜を密着させることを特徴とする有機EL素子構造の製造装置。
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