JP2001052863A - 有機el素子の製造方法及び有機el素子 - Google Patents

有機el素子の製造方法及び有機el素子

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JP2001052863A JP11222644A JP22264499A JP2001052863A JP 2001052863 A JP2001052863 A JP 2001052863A JP 11222644 A JP11222644 A JP 11222644A JP 22264499 A JP22264499 A JP 22264499A JP 2001052863 A JP2001052863 A JP 2001052863A
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Junichi Ono
純一 小野
Taku Kamimura
卓 上村
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Sumitomo Wiring Systems Ltd
AutoNetworks Technologies Ltd
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Sumitomo Wiring Systems Ltd
AutoNetworks Technologies Ltd
Sumitomo Electric Industries Ltd
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10K50/00Organic light-emitting devices
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄型かつ軽量化が可能な構成で、ダークスポ
ットの発生を防止し得る有機EL素子を提供すること。 【解決手段】 有機EL素子の有機発光層4上に形成さ
れた金属電極層5上に、低融点の金属を蒸着する。その
蒸着された金属を溶融させて、金属電極層5のピンホー
ルを埋めるように当該金属電極層5を覆うシールド金属
層6を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、一対の電極間で
有機発光層を挟込んで電圧を印加することにより、その
有機発光層を発光させるようにした有機EL素子の製造
方法及び有機EL素子に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の有機EL素子として、図4に示
す構成のものが挙げられる。
【0003】この有機EL素子は、透明基板101上に
陽極及び引出し電極としての透明電極層102が形成さ
れ、その透明電極層102上に有機発光層104が形成
され、その有機発光層104上に陰極としての電極層1
05が形成されてなる。そして、上記透明電極層102
と電極層105間に電圧を印加して各電極層102,1
05から正孔及び電子を有機発光層104に注入して再
結合させることにより当該有機発光層104が発光する
ようになっている。
【0004】このような有機EL素子は、薄型かつ軽量
で、しかも、自発光によりコントラストの高い発光表示
が可能であるという利点がある。
【0005】ところで、このような有機EL素子が、そ
の電極層105を露出させたままの状態で空気中に放置
されると、空気中の水(水蒸気)、酸素により斑点状の
ダークスポット(非発光部)が発生、拡大してしまう。
【0006】これは、蒸着法等により形成された電極層
105には、ピンホール等の欠陥があるので、そこから
水、酸素等が電極層105内に侵入して、有機発光層1
04と電極層105間の剥離や、有機発光層104の変
質等が生じてしまうからであると考えられる。
【0007】そこで、有機EL素子を封止する構成が必
要となり、例えば、図4に示すものでは、金属或はガラ
ス製の封止部材106を、基板101に接着剤107を
介して接着し、その封止部材106内に電極層105を
封入した構成としている。
【0008】この種の有機EL素子の封止構造を開示し
た文献として、例えば、特開平11−121170号公
報が挙げられる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような有機EL素子では、基板101上に金属製やガラ
ス製の封止部材106を接着した構成となっているた
め、全体的な厚みが増し、また、重量も増大してしま
う。
【0010】これでは、薄型かつ軽量という有機EL素
子の本質的な特徴を損ってしまうことになる。
【0011】そこで、この発明は上述したような問題を
解決すべくなされたもので、必要に応じて薄型かつ軽量
化が可能な構成で、ダークスポットの発生を防止し得る
有機EL素子の製造方法及び有機EL素子を提供するこ
とを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明の請求項1記載の有機EL素子の製造方法
は、基板と、前記基板上に形成された第1の電極層と、
前記第1の電極層上に形成された有機発光層と、前記有
機発光層上に形成された第2の電極層とを備えた有機E
L素子の製造方法であって、前記第2の電極層上であっ
て少なくとも前記有機発光層の発光領域を覆う部分に金
属層を形成する成膜工程と、前記金属層を、その融点以
上に加熱した後冷却してシールド金属層を形成する工程
と、を含むものである。
【0013】なお、請求項2記載のように、前記成膜工
程で、蒸着法により前記金属層を形成するとよい。
【0014】また、かかる有機EL素子の製造方法は、
請求項3記載のように、前記第2の電極層が、蒸着法に
より形成されたものに適用するのが好適である。
【0015】さらに、請求項4記載のように、前記シー
ルド金属層の金属材料として、前記有機発光層を構成す
る材料のガラス転移温度又は融点よりも低い融点のもの
を用いるとよい。
【0016】また、請求項5記載のように、前記シール
ド金属層上を、保護部材で覆うようにするとよい。
【0017】さらに、上記課題を解決するため、この発
明の請求項6記載の記載の有機EL素子は、上述のいず
れかの方法により製造したものである。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、この発明にかかる一実施形
態の有機EL(Electro Luminescence)素子について説
明する。
【0019】この有機EL素子は、図1に示すように、
薄いガラス基板や透明樹脂基板等からなる透明基板1
と、その透明基板1上に表示領域にあわせてパターン形
成されたITO(インジュウム−チン−オキサイド)膜
等の透明性を有する材料からなる陽極及びその引出し電
極としての透明電極層(第1の電極層)2と、さらにそ
の上に形成された所定の有機材料からなる有機発光層4
と、さらにその上に面状に形成された陰極としての金属
電極層(第2の電極層)5と、その金属電極層5上に形
成されたシールド金属層6とを備える。
【0020】上記有機発光層4は、少なくとも有機発光
材料により形成された層を含む単層或は複数層構造を有
し、上記透明電極層2と金属電極層5間に電圧を印加し
て各電極層2,5から正孔及び電子を有機発光層4に注
入して再結合させることにより当該有機発光層4が発光
するようになっている。そして、この光が透明電極層2
及び透明基板1を透過して外部(図1の下方)に出射
し、もって外部から視認可能となるように構成される。
なお、有機発光層4が複数層構造である場合、その一部
の層が無機材料により形成されたものであってもよく、
例えば、後述する実施例1では電子注入層をフッ化リチ
ウムにより構成している。
【0021】なお、透明電極層2と有機発光層4間の所
定領域に絶縁層3が形成されており、発光を望まない領
域における有機発光層4の発光の防止が図られている。
【0022】また、シールド金属層6は、金属電極層5
上に形成された金属層を一端溶融させたものであり、例
えば、次の方法によって製造される。
【0023】まず、金属電極層5上に所定の金属材料に
より金属層を形成する。ここでの成膜方法としては、蒸
着法等が挙げられる。
【0024】次に、前記金属層をその金属材料の融点以
上で加熱する。すると、溶融した金属が金属電極層5の
ピンホール等の欠陥部分に流れ込む。
【0025】その後、金属層が自然冷却又は強制冷却さ
れると、一端溶融した金属層が金属電極層5の欠陥部分
を埋めた状態で固化し、これにより有機発光層4及び金
属電極層5をコーティングするシールド金属層6が形成
される。
【0026】以上のように構成された有機EL素子及び
その製造方法によると、金属電極層5のピンホール等の
欠陥を埋めるようにして有機発光層4及び金属電極層5
がシールド金属層6によりコーティングされるため、金
属電極層5への水や酸素等の侵入が防止される。従っ
て、図4に示す従来例のように金属或はガラス製の封止
部材106が不要となり、必要に応じて薄型かつ軽量化
が可能な構成で、ダークスポットの発生を防止できる。
【0027】特に、金属電極層5は、蒸着法により形成
されるのが一般的であり、そのように蒸着法により形成
した場合には金属電極層5にピンホール等の欠陥が生じ
易くなるので、金属電極層5を蒸着法により形成した有
機EL素子に好適である。
【0028】なお、有機発光層4の発光領域におけるダ
ークスポットが防止できれば十分なので、シールド金属
層6は、少なくとも有機発光層4の発光領域に形成され
ていればよく、必ずしも金属電極層5全体領域に形成さ
れている必要はない。
【0029】ところで、上記金属層を加熱するに際し
て、有機発光層4を構成する有機材料の融点又はガラス
転移温度以上の温度に加熱すると、その有機発光層4を
構成する各層の結晶構造が変化したり、また、それらの
層構造が破壊されてしまい、有機EL素子の機能を損う
ことになる。
【0030】これを防止するためには、シールド金属層
6の金属材料として、有機発光層4を構成する各材料の
ガラス転移温度又は融点よりも低い融点のものを用いる
必要がある。
【0031】このような低融点の金属としては、インジ
ュウムやガリウム、鉛、或は、インジュウムとガリウム
の合金やアルミニウムとガリウムの合金等の低融点の合
金を用いることができる。
【0032】また、製造後の有機EL素子の高温耐久性
を確保するためには、有機発光層4を構成する各材料の
ガラス転移温度又は融点よりも低い融点であって、その
範囲内で可能な限り高い融点の金属材料を用いることが
望ましい。
【0033】さらに、上記シールド金属層6を物理的ダ
メージから保護するため、図2に示すように、シールド
金属層6上を、保護部材7で覆うようにしてもよい。こ
の保護部材7としては、シールド金属層6に樹脂等のフ
ィルム、金属缶やガラス等の保護部材を貼付けたもの
や、シールド金属層6を樹脂やパラフィン等の保護層で
覆ったものを用いることができる。
【0034】<実施例>実施例として、実際に以下の実
施例1,実施例2の有機EL素子を製造し、そのダーク
スポット発生の防止効果を確かめた。
【0035】実施例1の有機EL素子は、次の方法によ
り製造した。
【0036】まず、70mm×30mmのサイズの透明基板1上
に周知のフォトリソグラフィーによるエッチング等によ
り、所定配線パターンの透明電極層(ITO)2及び所
定絶縁パターンの絶縁層3を形成した。
【0037】そして、これを界面活性剤,イソプロパノ
ール煮沸洗浄した後、ホール注入層、ホール輸送層、電
子輸送性発光層及び電子注入層からなる4層型の有機発
光層4を形成した。
【0038】即ち、陽極となる透明電極層2上に、銅フ
タロシアニンによる厚さ400オングストロームのホール
注入層を形成し、その上に、NPTA(トリフェニルア
ミン誘導体;下記化学式参照)による厚さ400オングス
トロームのホール輸送層を形成し、その上にジメチルキ
ナクリドンを0.4%添加したアルミキノリン錯体(Alq3)
による厚さ600オングストロームの電子輸送性発光層を
形成し、さらにその上に、フッ化リチウムによる厚さ10
オングストロームの電子注入層を形成した。
【0039】
【化1】
【0040】このように形成された有機発光層4の上
に、陰極として、アルミニウムによる厚さ1000オングス
トロームの金属電極層5を形成した。
【0041】なお、上記ホール注入層、ホール輸送層、
電子輸送性発光層及び電子注入層と金属電極層5は、そ
れぞれ抵抗加熱による真空蒸着法で成膜した。
【0042】その後、金属電極層5上であって有機発光
層4の発光領域を覆う部分に、インジュウムとガリウム
の合金を蒸着し、厚さ5000オングストロームの金属層を
形成した。
【0043】ここで、インジュウムとガリウムの合金と
して、上記有機発光層4を構成する各有機材料のガラス
転移温度又は融点を考慮して、次の原子比率のものを用
いた。
【0044】即ち、銅フタロシニアンのガラス転移温度
が200度以上で、NPTAのガラス転移温度が148
度で、アルミキノリン錯体のガラス転移温度が170度
であるので(無機材料であるフッ化リチウムについて
は、その融点は十分高い)、シールド金属層6を構成す
る金属材料としては融点が148度未満であることが必
要となる。そして、インジュウムとガリウムの合金にお
いて、その原子比率と融点との関係は、図3で示される
ようになる。ゆえに、融点が148度未満となる範囲で
あって、なるべく融点が高くなるような原子比率とし
て、インジュウムとガリウムとの原子比率が9:1とな
るもの(融点は約130度)を選択した。
【0045】このように金属層を形成した後、140度
の高温雰囲気下で3分間加熱し、その後冷却して、シー
ルド金属層6を形成した。
【0046】このように製造された有機EL素子を大気
中に1週間放置したが、ダークスポットの拡大は認めら
れなかった。
【0047】実施例2では、上記実施例2の同様の方法
で製造した有機EL素子のシールド金属層6上に、さら
に紫外線硬化性のエポキシ樹脂(スリーボンド社製30
25G)を塗布し、それに高圧水銀ランプにより紫外光
を照射(4000mj/cm2)して当該塗布されたエポキシ樹脂
の硬化を行い、シールド金属層6上に保護層7を形成し
た。
【0048】このように製造された有機EL素子を大気
中に1週間放置したが、ダークスポットの拡大は認めら
れなかった。
【0049】また、当該保護層7の表面を指で擦って
も、有機EL素子へのダメージは認められなかった。
【0050】なお、比較例として、シールド金属層6を
形成しない以外は、上記実施例1と同様の方法により製
造した有機EL素子について、ダークスポットの広がり
を実験した。
【0051】この場合、有機EL素子を大気中に1週間
放置しておくと、ダークスポットが発光面の80%に拡が
った。
【0052】この比較例と比較しても、上記実施例1,
実施例2の有機EL素子では、ダークスポット発生防止
効果に優れていることがわかる。
【0053】
【発明の効果】以上のように、この発明の請求項1〜3
記載の有機EL素子の製造方法によると、第2の電極層
上であって少なくとも有機発光層の発光領域を覆う部分
に金属層を形成する成膜工程と、当該金属層を、その融
点以上に加熱した後冷却してシールド金属層を形成する
工程と、を含んでいるため、第2の電極層のピンホール
等の欠陥を埋めるようにして有機発光層及び第2の電極
層がシールド金属層によりコーティングされる。従っ
て、従来のような金属或はガラス製の封止部材が不要と
なり、必要に応じて薄型かつ軽量化が可能な構成で、ダ
ークスポットの発生を防止できる。
【0054】さらに、請求項4記載のように、前記シー
ルド金属層の金属材料として、前記有機発光層を構成す
る材料のガラス転移温度又は融点よりも低い融点のもの
を用いると、有機発光層の破壊を防止できる。
【0055】また、請求項5記載のように、シールド金
属層上を、保護部材で覆うと、シールド金属層等を物理
的ダメージから保護することができる。
【0056】また、この発明の請求項6記載の有機EL
素子によると、第2の電極層上であって少なくとも前記
有機発光層の発光領域を覆う部分に、第2の電極層上に
形成された金属層が溶融されることにより形成されたシ
ールド金属層を備えることとなるため、第2の電極層の
ピンホール等の欠陥を埋めるようにして有機発光層及び
第2の電極層がシールド金属層によりコーティングされ
る。従って、従来のような金属或はガラス製の封止部材
が不要となり、必要に応じて薄型かつ軽量化が可能な構
成で、ダークスポットの発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明にかかる一実施形態の有機EL素子を
示す断面図である。
【図2】同上の有機EL素子の変形例を示す断面図であ
る。
【図3】インジュウム−ガリウム合金の原子比率と融点
との関係を示す図である。
【図4】従来の有機EL素子を示す断面図である。
【符号の説明】
1 透明基板 2 透明電極層 4 有機発光層 5 金属電極層 6 シールド金属層 7 保護部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小野 純一 愛知県名古屋市南区菊住1丁目7番10号 株式会社ハーネス総合技術研究所内 (72)発明者 上村 卓 大阪市此花区島屋1丁目1番3号 住友電 気工業株式会社内 Fターム(参考) 3K007 AB00 AB17 BB00 CA01 CA05 CB01 DA00 DB03 EB00 FA01

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、前記基板上に形成された第1の
    電極層と、前記第1の電極層上に形成された有機発光層
    と、前記有機発光層上に形成された第2の電極層とを備
    えた有機EL素子の製造方法であって、 前記第2の電極層上であって少なくとも前記有機発光層
    の発光領域を覆う部分に金属層を形成する成膜工程と、 前記金属層を、その融点以上に加熱した後冷却してシー
    ルド金属層を形成する工程と、 を含む有機EL素子の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記成膜工程で、蒸着法により前記金属
    層を形成する請求項1記載の有機EL素子の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記第2の電極層が、蒸着法により形成
    された請求項1又は2記載の有機EL素子の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記シールド金属層の金属材料として、
    前記有機発光層を構成する材料のガラス転移温度又は融
    点よりも低い融点のものを用いる請求項1〜3のいずれ
    かに記載の有機EL素子の製造方法。
  5. 【請求項5】 前記シールド金属層上を、保護部材で覆
    う請求項1〜4のいずれかに記載の有機EL素子の製造
    方法。
  6. 【請求項6】 請求項1〜5のいずれかに記載の製造方
    法によって製造された有機EL素子。
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