JP6487123B2 - 有機el表示装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図2から図5を参照して、本発明の実施形態1によるOLED表示装置の構造および製造方法を説明する。
実施形態1によるOLED表示装置の製造方法は、例えば、以下の工程を包含する。複数の引出し配線30Aのそれぞれの少なくとも一部に、線幅方向に平行な断面の形状における側面のテーパー角が90°未満である順テーパー側面部分を露出された2つの側面の少なくとも最下部に形成する。次に、アクティブ領域R1に選択的に第1無機バリア層12Aを形成した後、チャンバー内に蒸気または霧状のアクリルモノマーを供給し、第1無機バリア層12A上でアクリルモノマーを凝縮させる工程において、複数の引出し配線30Aのそれぞれの順テーパー側面部分を有する部分の上には、アクリルモノマーを存在させないように、アクリルモノマーを凝縮させる。凝縮されたアクリルモノマーに光(例えば紫外線)を照射することによってアクリル樹脂からなる有機バリア層14を形成する。
2 :バックプレーン(回路)
3 :有機EL素子
4 :偏光板
10、10A、10B、10C、10D :薄膜封止構造(TFE構造)
12、12A、12B、12C、12D :第1無機バリア層(SiN層)
14、14A、14B、14D :有機バリア層(アクリル樹脂層)
14Da :有機バリア層の開口部
14Db :有機バリア層の中実部
14Ds :有機バリア層の表面(アッシング後)
14Dsa :有機バリア層の表面(アッシング前)
16A、16B、16C、16D :第2無機バリア層(SiN層)
16Dc :欠陥
16Dd :凹部
20 :素子基板
26 :アクリルモノマー
26p :アクリルモノマーの蒸気または霧状のアクリルモノマー
100、100A :有機EL表示装置
Claims (14)
- フレキシブル基板と、前記フレキシブル基板上に形成された複数のTFTと、それぞれが前記複数のTFTのいずれかに接続された複数のゲートバスラインおよび複数のソースバスラインと、それぞれが前記複数のTFTのいずれかに接続された複数の有機EL素子と、前記複数の有機EL素子が配置されているアクティブ領域の外側の周辺領域に配置された複数の端子と、前記複数の端子と前記複数のゲートバスラインまたは前記複数のソースバスラインのいずれかとを接続する複数の引出し配線と、前記複数の有機EL素子の上および前記複数の引出し配線の前記アクティブ領域側の部分の上に形成された薄膜封止構造とを有し、
前記薄膜封止構造は、第1無機バリア層と、前記第1無機バリア層に接する有機バリア層と、前記有機バリア層に接する第2無機バリア層とを有し、
前記複数の引出し配線のそれぞれは、少なくとも一部に、線幅方向に平行な断面の形状における側面のテーパー角が90°未満である順テーパー側面部分を前記第1無機バリア層に接する2つの側面の少なくとも最下部に有し、
前記薄膜封止構造は、前記有機バリア層が存在せず、前記第1無機バリア層と前記第2無機バリア層とが直接接触している無機バリア層接合部を有し、
前記順テーパー側面部分を有する、前記複数の引出し配線のそれぞれの部分の上には、前記無機バリア層接合部が形成されており、前記無機バリア層接合部は、前記アクティブ領域を完全に包囲している、有機EL表示装置。 - 前記複数の端子のそれぞれは、側面のテーパー角が90°未満である順テーパー側面部分を露出された全ての側面の少なくとも最下部に有する、請求項1に記載の有機EL表示装置。
- 前記順テーパー側面部分のテーパー角は85°以下である、請求項1または2に記載の有機EL表示装置。
- 前記順テーパー側面部分の前記フレキシブル基板の法線方向の長さは50nm以上である、請求項1から3のいずれかに記載の有機EL表示装置。
- 前記有機バリア層が存在せず、前記第1無機バリア層と前記第2無機バリア層とが直接接触している、前記複数の引出し配線の前記それぞれの部分の長さは、0.01mm以上0.1mm以下である、請求項1から4のいずれかに記載の有機EL表示装置。
- 前記複数のゲートバスラインおよび前記複数のソースバスラインの線幅方向に平行な断面の形状における側面のテーパー角は85°超である、請求項1から5のいずれかに記載の有機EL表示装置。
- 前記有機バリア層は平坦部には実質的に存在しない、請求項1から6のいずれかに記載の有機EL表示装置。
- 前記有機バリア層は、平坦部上に開口部を有し、平坦部上に存在している有機バリア層の面積は、前記開口部の面積よりも大きい、請求項1から6のいずれかに記載の有機EL表示装置。
- 前記有機バリア層の下地表面は、前記アクティブ領域を実質的に包囲するバンクを有し、
前記バンクは、幅に沿った断面の形状における側面のテーパー角が90°未満である順テーパー側面部分を前記第1無機バリア層に接する2つの側面の少なくとも最下部に有し、
前記複数の引出し配線のそれぞれの前記バンク上に位置する部分は、前記順テーパー側面部分を有し、
前記バンクの上には前記有機バリア層が存在せず、前記第1無機バリア層と前記第2無機バリア層とが直接接触している、請求項8に記載の有機EL表示装置。 - 請求項1から7のいずれかに記載の有機EL表示装置の製造方法であって、
前記複数の有機EL素子が形成されたフレキシブル基板の前記アクティブ領域に選択的に前記第1無機バリア層を形成する工程Aと、
前記工程Aの後で、前記フレキシブル基板をチャンバー内に配置し、前記チャンバー内に蒸気または霧状の光硬化性樹脂を供給する工程と、
前記第1無機バリア層上で前記光硬化性樹脂を凝縮させる工程であって、前記順テーパー側面部分を有する、前記複数の引出し配線のそれぞれの部分の上には、前記光硬化性樹脂を存在させないように、前記光硬化性樹脂を凝縮させる工程Bと、
前記工程Bの後に、凝縮された前記光硬化性樹脂に光を照射することによって、光硬化樹脂からなる前記有機バリア層を形成する工程と
を包含する、製造方法。 - 請求項1から9のいずれかに記載の有機EL表示装置の製造方法であって、
前記複数の有機EL素子が形成されたフレキシブル基板の前記アクティブ領域に選択的に前記第1無機バリア層を形成する工程Aと、
前記工程Aの後で、前記フレキシブル基板をチャンバー内に配置し、前記チャンバー内に蒸気または霧状の光硬化性樹脂を供給する工程と、
前記第1無機バリア層上で前記光硬化性樹脂を凝縮させ、液状の膜を形成する工程と、
前記光硬化性樹脂の前記液状の膜に光を照射することによって、光硬化樹脂層を形成する工程と、
前記光硬化樹脂層を部分的にアッシングすることによって、前記有機バリア層を形成する工程と
を包含する、製造方法。 - 前記複数のゲートバスライン、前記複数のソースバスライン、前記複数の引出し配線および前記複数の端子をドライエッチングプロセスを用いて形成する工程を包含する、請求項10または11に記載の製造方法。
- 前記複数の引出し配線を形成する工程は、多階調マスクを用いるフォトリソグラフィ工程によって、前記順テーパー側面部分を有する部分を形成する工程を包含する、請求項10から12のいずれかに記載の製造方法。
- 前記光硬化性樹脂はアクリルモノマーを含む、請求項10から13のいずれかに記載の製造方法。
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