KR101417575B1 - 배터리 분리 방법 및 이를 이용한 배터리 제조방법 - Google Patents

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박귀일
황건태
정창규
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한국과학기술원
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Abstract

희생기판 상에 소자를 제조하는 단계;상기 소자 상에 금속층을적층하는 단계; 및 상기 금속층에 기계적 또는 열적 에너지를 가하여 상기 희생 기판의 일부를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 분리방법이 제공된다. 본 발명은 종래의 습식 식각 등의 공정을 통하여 희생기판으로부터 소자를 분리하는 방식이 아닌, 희생기판과 상기 금속층 사이의 응력 차이를 이용하여 소자를 분리한다. 따라서, 기계적인 방식으로 소자를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적이다. 더 나아가, 식각액으로 인한 소자의 손상을 미리 피할 수 있다는 장점이 있다.

Description

배터리 분리 방법 및 이를 이용한 배터리 제조방법{METHOD FOR SEPARATOMG NATTERY AND METHOD FOR MANUFACTURING BATTERY USING THE SAME}
본 발명은 배터리 분리 방법 및 이를 이용한 배터리 제조방법에관한 것으로, 보다 상세하게는 희생기판과 상기 금속층 사이의 응력 차이를 이용하여 소자를 분리하며, 이에 따라, 기계적인 방식으로 고상 박막 배터리 소자를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적인, 소자분리 방법 및 이를 이용한 배터리 제조방법에 관한 것이다.
현재 정보통신의 발달에 따라 새로운 형태의 고성능 유연 소자의 필요성이 대두되고 있다. 이러한 전자소자를 작동시키기 위해서는 고성능 반도체 소자와 더불어 에너지원을 공급하고 저장할수 있는 유연 에너지 소자 기술이 필요한데, 현재까지는 고온공정이 불가능한 플라스틱 기판의 한계에 의하여 고성능 에너지 저장 기술을 구현하는 것이 불가능하였다. 종래의 전기 소자는 딱딱한 실리콘 기판 에서 제조된 후 그 형태로 응용되고 있는데, 그 이유는 바로 이러한 소자들의 제조공정이 고온의 반도체 공정을 통하여 제조되기 때문이다. 하지만, 이러한 소자 기판의 한계는 압전소자, 이차전지 등의 응용 범위를 제한하는 문제가 있다.
특히 이러한 에너지 저장 소자 중 하나가 전지이다. 전지는 에너지 저장 소자로서, 외부의 전기 에너지를 화학 에너지의 형태로 바꾸어 저장해 두었다가 필요할 때에 전기를 만들어 내는데, 이러한 충전이 불가능한 일차전지와 충전가능한 이차전지로 구분된다. 이중 이차전지(이하 배터리)는 캐소드(양극), 애노드(음극) 및 상기 양극 및 음극 사이에 구비되는 전해질층으로 이루어진 구조이며, 현재 하이브리드 자동차, 소형 가전 제품 등에서 널리 사용되고 있으나, 상술한 바와 같이 플라스틱 기판상에 구현시킨 배터리는 상술한 문제, 즉, 고온의 공정을 견딜 수 없다는 문제 등으로 인하여 현재 개시되지 못하는 상황이다.더 나아가, 희생 기판으로부터 제조된 배터리는 화학적인 습식 방식으로 분리되는 경우, 물리적인 위치 변경이 일어나는데, 특히 미세한 크기로 플렉서블배터리를 제조하는 경우, 이러한 전사 공정시 발생하는 이차전지의 물리적 뒤틀림 또는 이동은 문제가 된다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 새로운 배터리 분리방법과 이에 기반한 배터리 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 희생기판 상에 배터리 소자를 제조하는 단계; 상기 배터리 소자 상에 금속층을 적층하는 단계; 및 상기 금속층에 기계적 또는 열적 에너지를 가하여 상기 희생 기판의 일부를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배터리 소자 분리방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 희생기판에는 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물을 포함하는 식각마스크층이 구비된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 분리되는 단계에 따라, 상기 희생기판의 일부층; 상기 희생기판의 일부층 상에 구비된 식각마스크층; 및 상기 식각마스크층 상에 구비된 배터리 소자가 얻어진다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 분리는 상기 희생기판의 잔류 압축응력과, 상기 금속층의 잔류 인장응력의 부조화에 의하여 진행된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 분리는 상기 희생기판의 수평 방향으로 진행된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 소자 분리방법은, 상기 희생 기판의 일부를 분리한 후, 상기 희생 기판의 일부를 화학적 식각 공정에 따라 제거하는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 희생기판은 실리콘 기판이며, 상기 금속층은 니켈층이다.
본 발명은 또한 실리콘 기판(100) 상에 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물을 포함하는 식각마스크층(200)을 적층하는 단계; 상기 식각마스크층(200) 상에 배터리(300)를 제조하는 단계; 상기 식각마스크층(200) 및 배터리(300) 상에 니켈층(400)을 적층하는 단계; 상기 니켈층(400)에 기계적 또는 열적 에너지를 인가하여 상기 실리콘 기판 내에 수평 방향으로 크랙을 발생시키는 단계; 상기 수평 방향으로의 크랙에 의하여 배터리(300) 및 니켈층(400)을 상기 실리콘 기판(100)으로부터 분리하는 단계; 및 상기 배터리(300) 하부에 잔류하는 일부 실리콘 기판(110)을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배터리 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수평 방향으로의 크랙은 실리콘 기판 상부로부터 10~15μm 두께에서 진행되며, 상기 배터리 제조방법은, 상기 배터리(300) 하부에 잔류하는 일부 실리콘 기판(110)을 제거하는 단계 후, 상기 니켈층을 제거하는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 배터리 제조방법은, 상기 니켈층을 제거하는 단계 후, 상기 식각마스크층(200) 상에 제조된 배터리(300)를 지지체 내로 밀봉시키는 단계를 더 포함한다.
본 발명은 또한 상술한 방법에 의하여 제조된 배터리를 제공하며, 특히 상기 배터리가 다층 구조를 이루는 다층 배터리를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 다층 배터리는 플렉서블 또는 딱딱한 기판 상에 상술한 배터리가 물리적으로 접합된 형태이며, 상기 다층 배터리는 복수 개의 단위 배터리로 이루어진 어레이 구조일 수 있다.
본 발명은 종래의 습식 식각 등의 공정을 통하여 희생기판으로부터 배터리 소자를 분리하는 방식이 아닌, 희생기판과 상기 금속층 사이의 응력 차이를 이용하여 배터리 소자를 분리한다. 따라서, 기계적인 방식으로 배터리를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적이다. 더 나아가, 식각액으로 인한 배터리 소자의 손상을 미리 피할 수 있다는 장점이 있다.
도 1 내지 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 배터리 제조방법의 단계별 평면도 및 단면도이다.
도 16은 본 발명에 따라 제조된 배터리가 복수의 다층 구조를 이루는 다층 배터리의 모식도이다.
도 17에서는 플렉서블 기판, 도 18에서는 딱딱한 기판에 상기 다층 박막 배터리가 제조된 예가 도시된 모식도이다.
도 19 및 20에서는 어레이 형태의 다층 박막 배터리가 각각 플렉서블 기판 및 딱딱한 기판에 제조된 예가 도시된 모식도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 각 실시예에 따른, 소자분리 방법에 대하여 설명하기로 한다.
이하의 실시 예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 상세한 설명이며, 본 발명의 권리 범위를 제한하는 것이 아님은 당연할 것이다. 따라서, 본 발명과 동일한 기능을 수행하는 균등한 발명 역시 본 발명의 권리 범위에 속할 것이다.
또한 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
본 발명의 희생기판 상에 통상의 방법으로 배터리, 압전 소자 등과 같은 전자소자를 제조한 후, 상기 소자 상에 금속층을 적층하고, 다시 상기 금속층에 기계적 또는 열적 에너지를 가하여 상기 희생 기판의 일부를 분리하는, 소자 분리방법을 제공한다.
본 발명의 기술적 특징은 금속층과 희생기판 사이의 응력 차이를 이용하여, 희생기판에 수평 방향 크랙을 발생시켜, 상기 희생기판에 통상의 방법으로 제조된 소자를 분리하는 것으로, 상기 소자 자체의 제조방법은 통상의 기술을 따른다. 여기에서 상기 응력의 차이는 금속층의 인장 응력과 희생기판의 압축 응력 간의 차이로서, 외부 에너지에 의하여 금속층이 늘어나는 힘과, 상기 금속층이 늘어나는 힘에 따라 응축되는 상기 희생기판이 이를 뒷받침하지 못함에 따라 크랙이 발생한다.
본 발명에 따르면, 기계적인 방식으로 소자를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적이다는 장점이 있는데, 이하 배터리를 소자로 사용한 실시예를 이용하여, 본 발명은 보다 상세히 설명한다.
도 1 내지 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 배터리 제조방법의 단계별 평면도 및 단면도이다.
도 1을 참조하면, 희생기판인 실리콘 기판(100)이 개시된다. 본 발명에서 상기 희생기판(100)은 추후 적층되는금속층과의 응력 편차를 제공하여 일부가 분리되는 분리층이 된다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 실리콘 기판(100)의 압축응력은 금속층의 인장응력과 부조화를 이루며, 이후 인가되는 외부 에너지에 의하여 실리콘 기판(100)은 수평 방향으로 크랙된다. 이러한 실리콘 기판의 크랙은 다음에 보다 상세히 설명된다. 특히 상기 금속층과 희생기판 사이의 응력차이에 따라 상기 크랙되는 기판의 두께가 조절, 제어되므로, 필요에 따라 분리되는 기판에 플렉서블 특성을 부여할 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 실리콘 기판(100) 상에 실리콘 산화물과 같은 식각마스크층(200)이 적층된다. 본 발명에서 상기 식각마스크층(200)은 추후 실리콘 기판(100)이 제거되는 경우, 소자를 지지하는 일종의 지지 기판이 되며, 아울러 크랙에 따라 분리되는 희생기판을 식각공정으로 제거하는 경우, 상기 식각마스크층은 상기 식각 공정에 대한 멈춤층으로 작용할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 식각마스크층은 실리콘 산화물이 아닌 실리콘 질화물이 사용될 수 있다.
도 3을 참조하면, 상기 식각마스크층(200) 상에 전극인 집전체(310)가 적층된다. 여기에서 집전체(310)는 박막 형태로 적층되며, 상기 집전체(310) 는 배터리에서 발생하는 전류를 수집(collect)하여 외부로 전달하는 기능을 수행하며, 백금(Pt), 알루미늄(Al), 구리(Cu)등과 같은 금속 재료를 사용한다.
도 4를 참조하면, 상기 집전체(310) 상에 양극(320)이 적층된다. 이때 상기 집전체(310)는 상기 양극(320)의 적층에도 불구하고, 일부가 외부로 노출되며, 이로써 배터리에서 생산된 전자는 상기 집전체(310)를 통하여 외부로 이동할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 사용된 리튬 배터리의 경우, 양극으로 LiCoO2, LiNiO2등의 층상계 소재, LiMn2O4등의 스핀넬계 소재, LiFePO4등의 올리빈계 소재, Li2FeSiO4 등의 실리케이트계소재와 같은 리튬산화물을 사용할 수 있다. 이후 상기 양극(320) 적층 후, 리튬산화물과 같은 고온 열처리를 통하여 물질의 결정화가 진행될 수 있다.
예를 들어 고속열처리공정(rapid thermal process)의 경우는 보통 300℃ 이상, 바람직하게는 500℃ 이상에서 10분 이상, 가열로(furnace)의 경우는 500℃ 이상에서 2시간 이상의 열처리가 진행된다. 본 발명이 적용되는 배터리에서, LiCoO2 물질의 결정화를 위한 고온 열처리 공정은 고성능의 고상 리튬 이온 전지에서 매우 중요한 공정인데, 이는 고상의 리튬 확산은 결정 결함에 의하여 방해 받으므로, 고순도의 결정성을 확보하는 것은 매우 중요하다. 또한 상기 희생기판은 상기 고온의 열처리 공정을 견뎌야 하므로 500℃ 이상의 용융점을 갖는 것이 바람직하다. 이후 상기 열처리 후 적층된 음극(340)위에 포장재(350)가 적층되며, 이로써 집전체-양극-전해질-음극-포장재로 이루어진 전지(300)이 실리콘 기판(100) 상에 제조된다(도 6 내지 7 참조).
도 8은 도 7과 같이 단일 배터리가 기판 상에 제조되는 방식과 달리, 기판 상에 제조된 배터리를 포토리쏘그래피-식각 공정을 이용, 패터닝하여, 어레이 형태의 복수개 단위 배터리(300)를 제조하는 예를 설명하는 도면이다.
도 9를 참조하면, 도 8에서의 배터리(300) 및 식각마스크층(200) 상에 금속층인니켈층(400)을 적층한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 니켈층(400) 적층은 스퍼터링이나 PVD 공정 등과 같은 통상의 반도체 공정을 통하여 수행될 수 있으며, 이 외에도 통상적인 금속 도포 방식에 따라서도 니켈(400)이 적층될 수 있으며, 이로써 배터리(300)는 니켈(400) 내에 삽입된 상태가 된다. 이때 상기 적층된 금속층인 니켈층(400)은 자체적인 잔류 인장응력을 가지고 있으므로, 도 10과 같이 외부의 물리적 충격 또는 열 에너지 인가 등에 의해 일정 방향으로 금이 가는 현상인 크랙이 발생한다.
도 10을 참조하면, 상기 잔류 인장응력을 가지는 금속층인 니켈층(400)에 기계적 에너지 또는 열 에너지를 인가한다. 그 결과, 니켈의 잔류 인장응력과 실리콘 기판의 잔류 압축응력의 부조화(mismatch) 또는 비대칭성 때문에 실리콘 기판 상부의 10~15㎛ 깊이에서 기판의 수평방향으로 크랙이 발생한다. 본 발명은 이와 같이 실리콘 기판의 잔류 압축응력과 상이한 인장응력을 갖는 금속층으로, 원하는 소자와 기판을 적층한 후, 외부로부터 에너지를 인가하여 크랙을 발생시켜, 소자를 분리한다. 특히 이러한 소자의 분리를 실리콘 기판 자체의 크랙을 이용하는 것이므로, 실리콘 기판 상에서 제조된 소자를 원형 그대로 분리, 전사시킬 수 있는 장점이 있다. 특히 상기 수평방향의 크랙 형성 높이는 금속층과 희생기판 사이의 응력차이에 따라 제어될 수 있으므로, 필요한 경우, 상기 하부 기판을 ?게 하여 플렉서블 특성을 실리콘과 같은 희생기판에 부여할 수 있다.
도 11을 참조하면, 상기 실리콘 기판과 접촉하는 금속층의잔류 인장응력의 부조화에 따라 실리콘 기판의 일부(110)가 실리콘 기판(100)으로부터 크랙되어 분리된다. 상기 분리되는 실리콘 기판 일부(110)의 두께는 약 10~15mm가 된다.
도 12를 참조하면, 상기 남아있는 일부 실리콘 기판(110)은 이후 화학적 식각 공정에 따라 제거된다. 예를 들어 실리콘 기판을 제거하기 위한 특정 식각액에 상기 일부 실리콘 기판(110)을 침지시키는 방식으로, 실리콘 기판을 제거할 수 있다. 이에 따라 하부의 식각마스크층(200) 상에 제조된 배터리(300)-니켈(400)이 제조된다.
도 13을 참조하면, 상기 식각마스크층(200) 상에 제조된 배터리(300)-니켈(400)을, 별도의 지지층(500)에 접착시킨다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 제1 지지층(500)은 폴리디메틸실록산(PDMS)을 포함하며, 상기 폴리디메틸실록산(PDMS) 상에는 별도의 접착층이 도포될 수 있다.
도 14를 참조하면, 상기 니켈층(400)은 통상의 화학적 식각 공정을 통하여 제거된다. 예를 들어 상기 니켈층(400)을 식각하기 위한 식각액에 상기 지지층(500)에 접합된 소자의 상부를 침지시켜 상기 니켈층(400)을 제거할 수 있다. 하지만, 이 외에도 통상적인 금속층 제거 방식에 따라 상기 니켈층(400)은 제거할 수 있으며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다.
도 15를 참조하면, 상기 제 1 지지층(500) 상에 또 다른 지지층(501)을 적층하여, 지지층(500, 501) 내에 배터리가 밀봉된 상태가 되게 한다. 이로써 플렉서블한지지층 내에 제조된 박막 형태의 배터리가 완성된다.
도 16은 본 발명에 따라 제조된 배터리가 복수의 다층 구조를 이루는 다층 배터리의 모식도이다.
도 16을 참조하면, 금속층과 실리콘 기판 상의 응력 차이로 인한 크랙 방식으로 분리된 박막 배터리(300)를 접착제(900)를 이용하여, 기판(1000) 상에 복수 층으로 적층한, 대용량 다층 박막 배터리의 제조가 가능하다는 것을 알 수 있다.
도 17에서는 플렉서블 기판, 도 18에서는 딱딱한 기판에 상기 다층 박막 배터리가 제조된 예가 도시된다.
도 19 및 20에서는 어레이 형태의 다층 박막 배터리가 각각 플렉서블 기판 및 딱딱한 기판에 제조된 예가 도시된다.
본 발명은 상술한 바와 같이 종래의 습식 식각 등의 공정을 통하여 희생기판으로부터 소자를 분리하는 방식이 아닌, 희생기판과 상기 금속층 사이의 응력 차이를 이용하여 소자를 분리한다. 따라서, 기계적인 방식으로 소자를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적이다. 더 나아가, 식각액으로 인한 소자의 손상을 미리 피할 수 있다는 장점이 있다.
이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥 상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 배터리 제조방법으로,
    실리콘 기판(100) 상에 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물을 포함하는 식각마스크층(200)을 적층하는 단계;
    상기 식각마스크층(200) 상에 배터리(300)를 제조하는 단계;
    상기 식각마스크층(200) 및 배터리(300) 상에 니켈층(400)을 적층하는 단계;
    상기 니켈층(400)에 기계적 또는 열적 에너지를 인가하여 상기 실리콘 기판 내에 수평 방향으로 크랙을 발생시키는 단계;
    상기 수평 방향으로의 크랙에 의하여 배터리(300) 및 니켈층(400)을 상기 실리콘 기판(100)으로부터 분리하는 단계;
    상기 배터리(300) 하부에 잔류하는 일부 실리콘 기판(110)을 제거하는 단계; 및
    상기 배터리(300) 하부에 잔류하는 상기 일부 실리콘 기판(110)을 제거한 후, 상기 니켈층을 제거하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 배터리 제조방법.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 수평 방향으로의 크랙은 실리콘 기판 상부로부터 10~15μm 두께에서 진행되는 것을 특징으로 하는 배터리 제조방법.
  10. 삭제
  11. 제 8항에 있어서, 상기 배터리 제조방법은,
    상기 니켈층을 제거하는 단계 후, 상기 식각마스크층(200) 상에 제조된 배터리(300)를 지지체 내로 밀봉시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배터리 제조방법.
  12. 제 8항, 제 9항 및 제 11항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 배터리.
  13. 제 12항에 따른 배터리가 다층 구조를 이루는 다층 배터리.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 다층 배터리는, 플렉서블 또는 딱딱한 기판 상에 물리적으로 접합된 형태인 것을 특징으로 하는 다층 배터리.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 다층 배터리는 복수 개의 단위 배터리로 이루어진 어레이 구조인 것을 특징으로 하는 다층 배터리.
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