JP7316091B2 - 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 - Google Patents
電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7316091B2 JP7316091B2 JP2019088819A JP2019088819A JP7316091B2 JP 7316091 B2 JP7316091 B2 JP 7316091B2 JP 2019088819 A JP2019088819 A JP 2019088819A JP 2019088819 A JP2019088819 A JP 2019088819A JP 7316091 B2 JP7316091 B2 JP 7316091B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductor
- generator
- bias
- voltage
- electrically connected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 178
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 110
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 81
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 51
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims 1
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 110
- 230000008569 process Effects 0.000 description 26
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 23
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 12
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000005315 distribution function Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000001846 repelling effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000003292 diminished effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000012358 sourcing Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium(II) oxide Chemical compound [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3435—Applying energy to the substrate during sputtering
- C23C14/345—Applying energy to the substrate during sputtering using substrate bias
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3485—Sputtering using pulsed power to the target
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/08—Ion sources; Ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/248—Components associated with high voltage supply
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32137—Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
- H01J37/32146—Amplitude modulation, includes pulsing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32577—Electrical connecting means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3414—Targets
- H01J37/3426—Material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3438—Electrodes other than cathode
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3444—Associated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3464—Operating strategies
- H01J37/3467—Pulsed operation, e.g. HIPIMS
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
- H01L21/31116—Etching inorganic layers by chemical means by dry-etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3213—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer
- H01L21/32133—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only
- H01L21/32135—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only
- H01L21/32136—Physical or chemical etching of the layers, e.g. to produce a patterned layer from a pre-deposited extensive layer by chemical means only by vapour etching only using plasmas
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/334—Etching
- H01J2237/3341—Reactive etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/334—Etching
- H01J2237/3343—Problems associated with etching
- H01J2237/3348—Problems associated with etching control of ion bombardment energy
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H2242/00—Auxiliary systems
- H05H2242/20—Power circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
本明細書に記載の実施形態は、概して、半導体製造に使用されるプラズマ処理チャンバに関する。
高アスペクト比のフィーチャーを確実に生み出すことは、半導体デバイスの超大規模集積(VLSI)及び超超大規模集積(ULSI)の次世代に向けた重要な技術課題の1つである。高アスペクト比のフィーチャーを形成する1つの方法では、反応性イオンエッチング(RIE)プラズマ処理などのプラズマ支援エッチング処理を使用して、基板の材料層(例えば、誘電体層)に高アスペクト比の開口部を形成する。典型的なRIEプラズマ処理では、プラズマがRIE処理チャンバ内で形成され、プラズマからのイオンが基板の表面に向かって加速されて、基板の表面上に形成されたマスク層の下に配置された材料層に開口部を形成する。
(1)出力の両端の間に(すなわち、対地の)、実質的に一定な所定の正の電圧を、規則的に繰り返される所定の長さの時間間隔の間、所定の速度でその内部スイッチを繰り返し開閉することによって維持するナノ秒パルス発生器214。図2には、簡略化されているものの機能的に等価なナノ秒パルス発生器の概略図が示されている。図2のナノ秒パルス発生器は、最小限の構成要素の組み合わせへと単純化されているが、バイアス電極(チャッキング極204など)で所望のパルス電圧波形(波形500など)を確立する状況での役割を理解する上で重要である。これらの構成要素には、通常、内部電圧源、高反復速度スイッチ、及びフライバックダイオードが含まれている。実際のナノ秒パルス発生器は、任意の数の内部構成要素を備えてもよく、図2のものよりも複雑な電気回路を基礎にし得ることを理解する必要がある。同様に、図2の概略図には、ナノ秒パルス発生器の構成要素及びその電気回路の機能的に等価なもののみが描かれており、その範囲は基本原理を説明するために必要な範囲に限られており、その説明対象は、その動作、処理容積内でのプラズマとの相互作用、パルス電圧波形(波形500など)をバイアス電極(チャッキング極204など)で確立する際のその役割である。図2に示す概略図から推測できるように、スイッチS1は開(オフ)から閉(オン)の位置に移動すると、ナノ秒パルス発生器の出力をその内部電圧源に接続し、この内部電圧源はほぼ一定の出力電圧を生成する。実際、図3に示されるナノ秒パルス発生器の一実施例に関するより詳細で(しかし依然として簡略化されている)、等価な電気回路から分かるように、スイッチは実際には内部バッテリを昇圧出力トランスに接続している。この部分の詳細は、ナノ秒パルス発生器の動作と、バイアス電極(チャッキング極204など)でパルス電圧波形(波形500など)を確立する際のその機能の基本原理を理解する上で重要ではないが、重要な実用的意味を有しているので後に説明する。フライバックダイオードの目的は、これも別のスナバ回路で置き換えられ得るが、スイッチS1の開放によって引き起こされる可能性のある電圧スパイクを抑制、すなわち「スナブ」することであり、このスイッチS1の開放に続いて、誘導性要素に蓄積された磁気エネルギーが急速に放出されるからである。これらの誘導性要素には、(A)合成インダクタンスLtransmを有する伝送線路206などの外部導電体、及び(B)ナノ秒パルス発生器214と電流帰還出力ステージ215を接続し、合成インダクタンスLinternalを有する内部導電体を含むパルスバイアス発生器240の構成要素とが含まれる。磁気エネルギーは、時間間隔の間に誘導性要素に蓄積するが、この時、スイッチS1は閉位置に留まり、ナノ秒パルス発生器はシステムに電流を供給している。時間間隔の間のナノ秒パルス発生器の出力電圧V0の大きさVmは、スイッチS1が閉(オン)位置にあり、ほぼ一定の正の出力電圧(Vmに等しい)が維持されるとき、数キロボルト(例:0.1-10kV)にもなり得る。そのスイッチが閉(オン)位置に留まり、ほぼ一定の正の出力電圧が維持される間の時間間隔は、「パルス幅」τpと呼ばれ、数十ナノ秒(例えば10~100ns)の長さになり得る。同様に、スイッチが開(オフ)位置から閉(オン)位置に移行する間の時間間隔は、「立ち上がり時間」τriseと呼ばれ、数十ナノ秒(例えば、25~50ns)になり得る。スイッチが開位置から閉位置に移行すると、ナノ秒パルス発生器の出力電圧はVmに達するまで徐々に増加する。最後に、開(オフ)位置から閉(オン)位置(又はその逆)への連続する2回の移行の間の時間の長さは「周期」Tと呼ばれ、パルス反復周波数の逆数に等しく、例えばパルス反復周波数は400kHzにもなり得る。以下の点に注目する。(a)本明細書で提案するパルス電圧バイアス方式では、ナノ秒パルス発生器は、主として電荷注入器(電流源)として使用され、定電圧源としては使用されない。したがって、出力電圧の安定性に厳密な要件を課す必要はなく、スイッチが閉(オン)位置に留まっていても時間の経過とともに出力電圧は変動する可能性がある。(b)ナノ秒パルス発生器は基本的にはソース電源であるが、シンク電源ではなく、一方向にのみ電流を流す(つまり、例えばコンデンサの帯電は可能だが、放電はできない)。(c)スイッチが開(オフ)位置にあるとき、ナノ秒パルス発生器の出力の両端の間にかかる電圧V0は、内部電圧源によって制御されない。その代わりに、その内部構成要素と他の回路要素との相互作用によって決定される。(d)「ナノ秒パルス発生器」という名称は、それが低浮遊容量/インダクタンスで抵抗支配の負荷で動作している時に、その出力の両端の間に電圧波形を発生させており、この波形は、連続した、グランド基準での正の電圧パルスだと言える事実に由来している。
(2)一方の端215Bは接地され、他端215Aは、内部導電体を介してナノ秒パルス発生器の正の出力に接続されると共に、同時に外部導電体に接続されている電流帰還出力ステージ215。ナノ秒パルス発生器と電流帰還出力ステージ及び内部導電体との組み合わせを、本明細書では「パルスバイアス発生器」240と呼ぶ。それはソース電源及びシンク電源の両者であり、両方向に電流を流す。電流帰還出力ステージは、以下の要素で構成され得る。(a)抵抗、(b)直列に接続された抵抗とインダクタ、又は(c)並列コンデンサを含む電気要素のより複雑な組み合わせであり、正の電流がグランドに向かって流れることを可能にする組み合わせ。
(3)パルスバイアス発生器240の出力をチャッキング極に接続する外部導電体。パルスバイアス発生器240の出力端は点215Aであり、ここで、ナノ秒パルス発生器214の出力は内部導電体を介して電流帰還出力ステージ215に接続されている。外部導電体は以下のものを含んでもよい。(a)同軸伝送線路206、但し、同軸伝送線路206には、インダクタンスL_rigidを有する剛性同軸伝送線路と共に、それに直列に接続する、インダクタンスL_flexを有する可撓性同軸ケーブルが含まれてもよく、(b)絶縁された高電圧コロナ耐性フックアップ線、(c)裸線、(d)金属棒、(e)電気コネクタ、又は(f)(a)~(e)の電気要素の任意の組み合わせ。但し、内部導電体は、外部導電体と同じ基本要素を含み得る。チャッキング極は、通常、静電チャックに埋め込まれ、誘電体の薄層(例えば、厚さ約0.3mm)によってプラズマから分離された金属板である。チャッキング極は、図2に示されるESCアセンブリの静電チャック部分(すなわち、ESC基板支持体205)内に埋め込まれたバイアス電極204であり得る。伝送線路206などの外部導体、及びバイアス電極204は、いくらかの対地合成浮遊容量Csを有する。
I.基板に隣接する電子反発性カソードシース304(「プラズマシース」又は単に「シース」と呼ぶこともある)。カソードシースは、図3及び図6において、従来通りの3部回路要素によって表現され、この3部回路要素は以下を含む。(a)ダイオードDSH:これが開いたときにはシース崩壊を表現する。(b)電流源Ii(例えば、約0.5~5A):これはシースの存在下で基板に流れるイオン性電流を表す。(c)コンデンサCSH(たとえば、高アスペクト比の用途では約100~300pF):これは、バイアスサイクルの主要期間(約90%)、すなわちイオン性電流局面の間のシースを表現しており、この間にイオン加速及びエッチングが生じる。
II.図3及び図6において、単一の抵抗Rpl(例えば、約5~10オーム)によって表現されているバルクプラズマ305。
III.チャンバ壁で形成された電子反発性壁シース306。壁シースも同様に、図3及び図6において3部回路要素によって表現され、この3部回路要素は以下を含む。(a)ダイオードDw。(b)電流源Iiw(例えば、約5-10A):これは壁へのイオン性電流を表す。(c)コンデンサCw(例えば、約5~10nF):これは主にESC再帯電局面502(本文中で後述する)の間の壁シースを表現しており、この時、電子反発性カソードシースは存在せず、壁シースコンデンサは、ナノ秒パルス発生器によってESCを通って押し出される大電流によって帯電される。カソードシースは壁シースよりもはるかに厚く(高電圧のために)、壁面積の合計は基板面積よりもはるかに大きいので、Cw≫CSHとした。接地されている金属壁の内面は、誘電体の薄層で被覆されていると考えられ、図3及び図6では大きなコンデンサCcoat(例えば、約300~1000nF)によって表現されている。
(1)システムの浮遊コンデンサを帯電させてカソードシースを崩壊させる正の電圧急変化、すなわちシース崩壊局面501。この間は、シースコンデンサは放電され、基板電位は(図5Bに示されるように)局所プラズマ電位のレベルになる。シース崩壊局面501は、ESC再帯電局面502の間にプラズマからもたらされる電子によるチャックコンデンサの急速な再帯電を可能にする。局面501が続く間、スイッチS1(図6参照)は閉じられ、閉(オン)位置に留まる。その結果、ナノ秒パルス発生器(例えば、214)がその出力の両端の間にほぼ一定の正の電圧を維持し、システムに電流を供給することが可能になる。局面501の持続時間T1は、イオン性電流局面504の持続時間T4(以下に説明する)又は全体の周期Tよりもはるかに短く、典型的には数十ナノ秒のオーダーである(例えば、20~50ns)。これは、1つには、局面501の間のプラズマ電流が電子によって運ばれるためである。すなわち、電子の雲が基板に向かって移動し、徐々にイオン空間電荷を圧倒して、こうして、シース電圧降下がなくなるためである。もう1つには、電子速度はイオン速度よりもはるかに速いためであり、この速度差はこの2種間の質量比が非常に大きいことが原因である。
(2)ESC再帯電局面502の間のチャックコンデンサCeの再帯電。イオン性電流局面504(後述する)の間に基板表面に蓄積された全電荷と、電荷値は等しく、反対の極性を持つ電荷が急速に注入されたことによる。局面501の間のように、ナノ秒パルス発生器214は、その出力の両端の間にほぼ一定の正の電圧を維持する(スイッチS1はオン位置に留まる)。局面501と同様に、局面502の持続時間T2は、イオン性電流局面504の持続時間T4(後述する)又は全体の周期Tよりもはるかに短く、典型的には数十ナノ秒のオーダーである(例えば、30~80ns)。これは、局面502の間のプラズマ電流も電子によって運ばれるためである。すなわち、カソードシースが存在しない状況で、電子は基板に到達して表面電荷を蓄積させ、こうしてコンデンサCeが帯電する。
(3)処理チャンバの浮遊コンデンサを放電させ、シースを再形成し、シース形成局面503の間にシース電圧(VSH)の値を整える負の電圧急変化(VOUT)。図6のスイッチS1は、シース形成局面503の開始時に開き、誘導性要素は急速に(例えば、約10ナノ秒以内に)蓄積していた磁気エネルギーをチャックコンデンサCe及び浮遊コンデンサCsに放出する。誘導性要素には、インダクタンスLinternalによって表現されたパルスバイアス発生器240(例えば、内部導体)、及び回路600において309の符号が付されたインダクタンスLtransmによって表現された外部導体(例えば、伝送線路206)の内部構成要素が含まれてもよい。磁気エネルギー放出の間に、対応する電流は、フライバックダイオード、又は起こり得る電圧スパイクを抑制(すなわち「スナブ」)する同様の機能を有する別のスナバ回路を流れる。図7Bに示されるナノ秒パルス発生器出力電圧V0の時刻歴曲線から分かるように、磁気エネルギーの放出の間、ナノ秒パルス発生器(例えば、214)の内部電圧源は正の出力電圧を維持しない(スイッチS1はオフ位置に留まる)ため、一時的にマイナス数ボルトまで低下して、フライバックダイオードは電流を通すことができている。なお、フライバックダイオード(又は起こり得る電圧スパイクを「スナブ」する同様の機能を持つ別の構成要素)なしでは、磁気エネルギーは電気抵抗のある電流帰還出力ステージを通して放出される必要があり、その結果、抵抗の両端の間には非実際的な大きな負の電圧(例えば、-20kV、これはパルスバイアス発生器240の内部構成要素を損傷する可能性がある)が数ナノ秒の間、発生して、ゼロ付近に下落することにはならない。磁気エネルギーが放出され、Ltransmを通る電流が(Linternalを通るのと同様に)ゼロにまで低下した後、方向を逆にして、プラズマと浮遊コンデンサから電流帰還出力ステージを通ってグランドに流れる(フライバックダイオードは逆バイアスになっているので、自身を流れる電流を遮断する)。このようにして、浮遊コンデンサCsは放電し、シースコンデンサCSHは帯電する(すなわち、シースを再形成する)。シース形成の開始(CSHの帯電)は、図5Bにおいて明確な点として識別することができる。その点から、基板電位は局所プラズマ電位を下回って低下し始めるからである。局面501と同様に、局面503の持続時間T3は、イオン性電流局面504の持続時間T4(後述する)又は全体の周期Tよりもはるかに短く、典型的には100~300nsのオーダーである。これは、局面503の間のプラズマ電流も同様に電子によって運ばれるためである。すなわち、電子の雲は基板から遠ざかり、徐々にイオン空間電荷が露出して、こうしてシースが形成され、シース電圧降下が生じる。なお、以下の点に注意する必要がある。(1)T3は、主に浮遊容量、及び電流帰還出力ステージを構成する要素(例えば、抵抗)の値によって決定される。(2)負の電圧急変化VOUTと確立したシース電圧VSHは、Vm(局面501~502の間のナノ秒パルス発生器出力電圧の大きさ)、及び総パルス幅τtot=τrise+τp=T1+T2によって決定される。τtot(実際に制御されたパラメータ)がVOUTとVSHに与える影響を説明するために、局面502の間のT2及びバイアス電極電圧の増加ΔVs、2の両方が、主にVm及びイオン性電流Iiによって決定されることに言及しておく。したがって、Vm及びIiが与えられると、総パルス幅τtotがT1を左右し、順繰りに、T1が局面501の間の基板電圧の増加ΔVsub、1及びバイアス電極電圧の増加ΔVs、1≒ΔVsub、1を決定するので、VOUT=ΔVs、1+ΔVs、2、及びVSH≒ΔVsub、1が求まる。
(4)持続時間T4を有する長い(サイクル持続時間Tの約85~90%)イオン性電流局面504。この間、ナノ秒パルス発生器214は同様に出力の両端の間に正の電圧を維持せずに(スイッチS1はオフ位置に留まり)、イオン性電流は、プラズマから電流帰還出力ステージを通ってグランドへ流れる。イオン性電流は、基板表面に正の電荷を蓄積させて、シースコンデンサとチャックコンデンサを徐々に放電させ、こうしてシース電圧降下をゆっくりと減少させ、基板電位をゼロに近づける。これにより、図5Bに示す基板電圧波形510に電圧ドループΔVSHが生じる。このシース電圧ドループが生じるために、パルス電圧波形500は、上記の(1)~(3)に記載された次のサイクルへと移行しなければならなくなる。この次のサイクルの間に、ナノ秒パルス発生器214は、イオン性電流局面の間に蓄積された電荷を除去し(又は初期ESC電荷を回復させ)、所望のシース電圧VSHを再確立する。なお、表面電荷とシース電圧ドループは、電子反発性カソードシースとバルクプラズマからの不均衡な正味電流(イオン性電流に等しい)があるときにはいつでも蓄積する。前述のように、これは、バルクプラズマからのイオン性電流がバルクプラズマからの電子性電流と釣り合っていないためであり、この不釣り合いは、シース電界が電子を基板に寄せ付けないためである。したがって、表面電荷の蓄積及び電圧ドループの発生は、シース形成局面503の間にも生じており、この局面の開始当初から、シース電圧降下はゼロになっていない。
A.実用上の考慮事項
ΔVSH=IiT/(Ce+CSH) (1)、
ここで、Iiはシースを流れるイオン性電流である。この式は、イオン性電流はシースコンデンサCSHとチャックコンデンサCeの間で分割され、シース電圧を変えるためにはそれらを両方とも放電させる必要がある。上記の式を用いることで、本明細書で提案するパルス電圧バイアス方式の効果的な動作のための適切なパラメータの選択が可能になり、適用限界の決定も可能になる。
B.図2の詳細な説明:チャンバ図
Claims (32)
- 基板を処理する方法であって、
基板支持アセンブリ上に配置された基板の表面の上にプラズマを発生させる工程と、
発生器接続アセンブリを用いて導電体の発生器端に電気的に接続されたバイアス発生器を用いて、基板支持アセンブリ内に配置されたバイアス電極をバイアスする工程であって、導電体の電極端は、電極接続アセンブリを用いてバイアス電極に電気的に接続され、バイアス発生器を使用してバイアス電極にパルス電圧波形を確立し、パルス電圧波形は一連の反復サイクルを含んでいる工程とを含み、
一連の反復サイクルの各サイクル内の波形は、第1時間間隔の間に生じる第1部分と第2時間間隔の間に生じる第2部分とを有し、
正の電圧パルスは第1時間間隔の間にのみ存在し、
バイアス発生器は、
導電体の発生器端に電気的に接続されたパルス発生器と、
電流帰還出力ステージであって、電流帰還出力ステージの第1端は導電体に電気的に接続され、電流帰還出力ステージの第2端は電気的に接地されている電流帰還出力ステージとを備え、
第2時間間隔の少なくとも一部分の間、電流がバイアス電極から電流帰還出力ステージを通ってグランドへ流れている方法。 - 波形の第1部分は、シース電圧降下の回復をもたらす正の電圧パルスをさらに含み、第1時間間隔の終わりに、基板のプラズマ対向面の上にシースが形成されている、請求項1に記載の方法。
- 第1時間間隔は、200nsから400nsの間の持続時間を有している、請求項1に記載の方法。
- 第1時間間隔は、一連の反復サイクルのうちの1つのサイクルの持続時間の20%未満である、請求項1に記載の方法。
- 一連の反復サイクルのうちの1つのサイクルは、2マイクロ秒(μs)から3μsの間の持続時間を有している、請求項3に記載の方法。
- 正の電圧パルスは、0.1キロボルト(kV)から10kVの間である、請求項1に記載の方法。
- バイアス電極は、誘電体層によって基板支持アセンブリの基板支持面から離間し、バイアス電極と誘電体層とを含む平行板状構造は、5nFから50nFの間の実効容量を有している、請求項1に記載の方法。
- 電源接続アセンブリを用いて導電体の発生器端に電気的に接続されたチャック電源を用いてバイアス電極にDC電圧を印加する工程をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 電源接続アセンブリが、1Mオームを超える抵抗を有するブロッキング抵抗を備えている、請求項8に記載の方法。
- 導電体は、電気的に直列に接続された第1導電体及び第2導電体をさらに含み、第1導電体の一方の端はバイアス発生器の出力に電気的に接続され、第2導電体の一方の端はバイアス電極に電気的に接続されている、請求項1に記載の方法。
- 処理チャンバであって、
基板支持アセンブリの基板支持面から誘電体層によって分離されたバイアス電極を備える基板支持アセンブリと、
発生器接続アセンブリを使用して導電体の発生器端に電気的に接続されたバイアス発生器であって、導電体の電極端は、電極接続アセンブリを用いてバイアス電極に電気的に接続されているバイアス発生器とを備え、
バイアス発生器は、
導電体の発生器端に電気的に接続されたパルス発生器と、
電流帰還出力ステージであって、電流帰還出力ステージの第1端は導電体に電気的に接続され、電流帰還出力ステージの第2端は電気的に接地されている電流帰還出力ステージとを備え、
導電体は、電気的に直列に接続された第1導電体及び第2導電体を含み、第1導電体の一方の端は、発生器接続アセンブリを用いてバイアス発生器の出力に電気的に接続され、第2導電体の一方の端は、電極接続アセンブリを用いてバイアス電極に電気的に接続されている処理チャンバ。 - 基板支持アセンブリの基板支持面の上にプラズマを発生させるように構成された誘導結合プラズマ源又は容量結合プラズマ源をさらに備え、パルス発生器の電圧源は実質的に一定な定電圧源を備えている、請求項11に記載の処理チャンバ。
- 電源接続アセンブリを使用して導電体の発生器端に電気的に接続されたチャック電源をさらに備える、請求項11に記載の処理チャンバ。
- 電源接続アセンブリが、1Mオームを超える抵抗を有するブロッキング抵抗を備えている、請求項13に記載の処理チャンバ。
- バイアス電極と誘電体層とを含む平行板状構造は、5nFから50nFの間の実効容量を有している、請求項11に記載の処理チャンバ
- 誘電体層は、0.1mmから1mmの間の厚さを有している、請求項11に記載の処理チャンバ。
- 処理チャンバであって、
基板支持アセンブリの基板支持面から誘電体層によって分離されたバイアス電極を備える基板支持アセンブリと、
発生器接続アセンブリを使用して導電体の発生器端に電気的に接続されたバイアス発生器であって、導電体の電極端は、電極接続アセンブリを用いてバイアス電極に電気的に接続され、バイアス発生器は、
導電体の発生器端に電気的に接続されたパルス発生器と、
電流帰還出力ステージであって、
電流帰還出力ステージの第1端は導電体に電気的に接続され、
電流帰還出力ステージの第2端は電気的に接地されている電流帰還出力ステージとを備えているバイアス発生器と、
プロセッサによる実行時に基板を処理する方法を実行するための命令を格納したコンピュータ可読媒体であって、方法は、
基板支持アセンブリ上に配置された基板の表面の上にプラズマを発生させる工程と、
バイアス発生器を用いてバイアス電極をバイアスする工程であって、バイアス電極をバイアスする工程は、バイアス電極においてパルス電圧波形を確立し、パルス電圧波形は一連の反復サイクルを含み、一連の反復サイクルの各サイクル内の波形は、第1時間間隔の間に生じる第1部分と第2時間間隔の間に生じる第2部分とを有し、正の電圧パルスは第1時間間隔の間にのみ存在している工程とを含んでいるコンピュータ可読媒体とを備え、
導電体は、電気的に直列に接続された第1導電体及び第2導電体を含み、第1導電体の一方の端は、発生器接続アセンブリを用いてバイアス発生器の出力に電気的に接続され、第2導電体の一方の端は、電極接続アセンブリを用いてバイアス電極に電気的に接続されている処理チャンバ。 - 正の電圧パルスは、第1時間間隔の終わりに基板のプラズマ対向面の上に形成されたシース電圧降下の回復をもたらし、
第2時間間隔の少なくとも一部分の間、電流がバイアス電極から電流帰還出力ステージを通ってグランドへ流れている、請求項17に記載の処理チャンバ。 - 第1時間間隔は、200nsから400nsの間の持続時間を有している、請求項17に記載の処理チャンバ。
- 第1時間間隔は、一連の反復サイクルのうちの1つのサイクルの持続時間の20%未満である、請求項17に記載の処理チャンバ。
- 一連の反復サイクルのうちの1つのサイクルは、2μsから3μsの間の持続時間を有する周期を有している、請求項17に記載の処理チャンバ。
- パルス発生器の第1端が導電体の発生器端に電気的に接続され、パルス発生器の第2端は電気的に接地されている、請求項1に記載の方法。
- 発生器接続アセンブリが、コンデンサと、直列に接続されたコンデンサ及び導電体と、インダクタと、直列に接続されたインダクタ及び導電体とからなる群から選択される構成要素のうちの1つを備えている、請求項1に記載の方法。
- 電極接続アセンブリが、コンデンサと、直列に接続されたコンデンサ及び導電体と、インダクタと、直列に接続されたインダクタ及び導電体とからなる群から選択される構成要素のうちの1つを備えている、請求項1に記載の方法。
- 発生器接続アセンブリが、40nFから80nFの範囲の静電容量を有するコンデンサを備えている、請求項1に記載の方法。
- パルス発生器の第1端は導電体の発生器端に電気的に接続され、パルス発生器の第2端は電気的に接地されている、請求項11に記載の処理チャンバ。
- 発生器接続アセンブリが、コンデンサと、直列に接続されたコンデンサ及び導電体と、インダクタと、直列に接続されたインダクタ及び導電体とからなる群から選択される構成要素のうちの1つを備えている、請求項11に記載の処理チャンバ。
- 電極接続アセンブリが、コンデンサと、直列に接続されたコンデンサ及び導電体と、インダクタと、直列に接続されたインダクタ及び導電体とからなる群から選択される構成要素のうちの1つを備えている、請求項11に記載の処理チャンバ。
- パルス発生器の第1端は導電体の発生器端に電気的に接続され、パルス発生器の第2端は電気的に接地されている、請求項17に記載の処理チャンバ。
- 発生器接続アセンブリが、コンデンサと、直列に接続されたコンデンサ及び導電体と、インダクタと、直列に接続されたインダクタ及び導電体とからなる群から選択される構成要素のうちの1つを備えている、請求項17に記載の処理チャンバ。
- 電極接続アセンブリが、コンデンサと、直列に接続されたコンデンサ及び導電体と、インダクタと、直列に接続されたインダクタ及び導電体とからなる群から選択される構成要素のうちの1つを備えている、請求項17に記載の処理チャンバ。
- 発生器接続アセンブリが、40nFから80nFの範囲の静電容量を有するコンデンサを備えている、請求項17に記載の処理チャンバ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023115745A JP2023145535A (ja) | 2018-05-10 | 2023-07-14 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/976,728 | 2018-05-10 | ||
US15/976,728 US10555412B2 (en) | 2018-05-10 | 2018-05-10 | Method of controlling ion energy distribution using a pulse generator with a current-return output stage |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023115745A Division JP2023145535A (ja) | 2018-05-10 | 2023-07-14 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019197890A JP2019197890A (ja) | 2019-11-14 |
JP7316091B2 true JP7316091B2 (ja) | 2023-07-27 |
Family
ID=68165071
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019088882A Active JP7382155B2 (ja) | 2018-05-10 | 2019-05-09 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
JP2019088830A Active JP7372050B2 (ja) | 2018-05-10 | 2019-05-09 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
JP2019088819A Active JP7316091B2 (ja) | 2018-05-10 | 2019-05-09 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
JP2023115745A Pending JP2023145535A (ja) | 2018-05-10 | 2023-07-14 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019088882A Active JP7382155B2 (ja) | 2018-05-10 | 2019-05-09 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
JP2019088830A Active JP7372050B2 (ja) | 2018-05-10 | 2019-05-09 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023115745A Pending JP2023145535A (ja) | 2018-05-10 | 2023-07-14 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (5) | US10555412B2 (ja) |
JP (4) | JP7382155B2 (ja) |
KR (2) | KR20190129745A (ja) |
CN (2) | CN110473762B (ja) |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10978955B2 (en) | 2014-02-28 | 2021-04-13 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Nanosecond pulser bias compensation |
US10892140B2 (en) * | 2018-07-27 | 2021-01-12 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Nanosecond pulser bias compensation |
US10483089B2 (en) * | 2014-02-28 | 2019-11-19 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High voltage resistive output stage circuit |
US11004660B2 (en) * | 2018-11-30 | 2021-05-11 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Variable output impedance RF generator |
US11430635B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-08-30 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Precise plasma control system |
TW202329762A (zh) | 2017-11-17 | 2023-07-16 | 新加坡商Aes 全球公司 | 用於在空間域和時間域上控制基板上的電漿處理之系統和方法,及相關的電腦可讀取媒體 |
US10555412B2 (en) | 2018-05-10 | 2020-02-04 | Applied Materials, Inc. | Method of controlling ion energy distribution using a pulse generator with a current-return output stage |
CN110504149B (zh) * | 2018-05-17 | 2022-04-22 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 射频电源的脉冲调制系统及方法 |
JP6846387B2 (ja) * | 2018-06-22 | 2021-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
US11532457B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-12-20 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Precise plasma control system |
US11222767B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-01-11 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Nanosecond pulser bias compensation |
US11302518B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-04-12 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Efficient energy recovery in a nanosecond pulser circuit |
KR20230025034A (ko) | 2018-08-10 | 2023-02-21 | 이글 하버 테크놀로지스, 인코포레이티드 | RF 플라즈마 반응기용 플라즈마 시스(sheath) 제어 |
KR102509641B1 (ko) * | 2018-08-28 | 2023-03-16 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 챔버의 rf 센싱 장치 및 이를 포함하는 플라즈마 챔버 |
US11476145B2 (en) * | 2018-11-20 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Automatic ESC bias compensation when using pulsed DC bias |
JP7320608B2 (ja) | 2019-01-08 | 2023-08-03 | イーグル ハーバー テクノロジーズ,インク. | ナノ秒パルサー回路での効率的なエネルギー回収 |
CN113169026B (zh) * | 2019-01-22 | 2024-04-26 | 应用材料公司 | 用于控制脉冲电压波形的反馈回路 |
JP6960421B2 (ja) * | 2019-01-23 | 2021-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US11508554B2 (en) | 2019-01-24 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | High voltage filter assembly |
JP2022541004A (ja) | 2019-07-12 | 2022-09-21 | エーイーエス グローバル ホールディングス, プライベート リミテッド | 単一制御型スイッチを伴うバイアス供給装置 |
TWI778449B (zh) | 2019-11-15 | 2022-09-21 | 美商鷹港科技股份有限公司 | 高電壓脈衝電路 |
JP7285377B2 (ja) | 2019-12-24 | 2023-06-01 | イーグル ハーバー テクノロジーズ,インク. | プラズマシステム用ナノ秒パルサrf絶縁 |
JP7413095B2 (ja) * | 2020-03-13 | 2024-01-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
KR20230035114A (ko) | 2020-07-09 | 2023-03-10 | 이글 하버 테크놀로지스, 인코포레이티드 | 이온 전류 드룹 보상 |
US11189462B1 (en) * | 2020-07-21 | 2021-11-30 | Tokyo Electron Limited | Ion stratification using bias pulses of short duration |
US11848176B2 (en) | 2020-07-31 | 2023-12-19 | Applied Materials, Inc. | Plasma processing using pulsed-voltage and radio-frequency power |
US11798790B2 (en) * | 2020-11-16 | 2023-10-24 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11901157B2 (en) | 2020-11-16 | 2024-02-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11495470B1 (en) | 2021-04-16 | 2022-11-08 | Applied Materials, Inc. | Method of enhancing etching selectivity using a pulsed plasma |
US11948780B2 (en) | 2021-05-12 | 2024-04-02 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11791138B2 (en) | 2021-05-12 | 2023-10-17 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
JP2024519760A (ja) * | 2021-05-12 | 2024-05-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | プラズマ処理中の自動静電チャックバイアス補償 |
US11967483B2 (en) | 2021-06-02 | 2024-04-23 | Applied Materials, Inc. | Plasma excitation with ion energy control |
US11984306B2 (en) | 2021-06-09 | 2024-05-14 | Applied Materials, Inc. | Plasma chamber and chamber component cleaning methods |
US11810760B2 (en) | 2021-06-16 | 2023-11-07 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method of ion current compensation |
US11569066B2 (en) | 2021-06-23 | 2023-01-31 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage source for plasma processing applications |
US11776788B2 (en) | 2021-06-28 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage boost for substrate processing |
US11476090B1 (en) | 2021-08-24 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Voltage pulse time-domain multiplexing |
US11942309B2 (en) | 2022-01-26 | 2024-03-26 | Advanced Energy Industries, Inc. | Bias supply with resonant switching |
US11670487B1 (en) | 2022-01-26 | 2023-06-06 | Advanced Energy Industries, Inc. | Bias supply control and data processing |
US11972924B2 (en) | 2022-06-08 | 2024-04-30 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage source for plasma processing applications |
US11978613B2 (en) | 2022-09-01 | 2024-05-07 | Advanced Energy Industries, Inc. | Transition control in a bias supply |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012104382A (ja) | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法並びにプラズマ処理のバイアス電圧決定方法 |
JP2012216608A (ja) | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理方法 |
JP2015534212A (ja) | 2012-08-28 | 2015-11-26 | アドバンスト・エナジー・インダストリーズ・インコーポレイテッドAdvanced Energy Industries, Inc. | 切り替えモードイオンエネルギー分布システムを制御する方法 |
Family Cites Families (556)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4070589A (en) | 1976-10-29 | 1978-01-24 | The Singer Company | High speed-high voltage switching with low power consumption |
US4340462A (en) | 1981-02-13 | 1982-07-20 | Lam Research Corporation | Adjustable electrode plasma processing chamber |
US4504895A (en) | 1982-11-03 | 1985-03-12 | General Electric Company | Regulated dc-dc converter using a resonating transformer |
US4464223A (en) * | 1983-10-03 | 1984-08-07 | Tegal Corp. | Plasma reactor apparatus and method |
JPS60126832A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-06 | Hitachi Ltd | ドライエツチング方法および装置 |
US4585516A (en) | 1985-03-04 | 1986-04-29 | Tegal Corporation | Variable duty cycle, multiple frequency, plasma reactor |
US4683529A (en) | 1986-11-12 | 1987-07-28 | Zytec Corporation | Switching power supply with automatic power factor correction |
KR970003885B1 (ko) | 1987-12-25 | 1997-03-22 | 도오교오 에레구토론 가부시끼 가이샤 | 에칭 방법 및 그 장치 |
US4992919A (en) | 1989-12-29 | 1991-02-12 | Lee Chu Quon | Parallel resonant converter with zero voltage switching |
US5099697A (en) | 1990-04-02 | 1992-03-31 | Agar Corporation Ltd. | Two and three-phase flow measurement |
US5140510A (en) | 1991-03-04 | 1992-08-18 | Motorola, Inc. | Constant frequency power converter |
US5418707A (en) | 1992-04-13 | 1995-05-23 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | High voltage dc-dc converter with dynamic voltage regulation and decoupling during load-generated arcs |
US5286297A (en) | 1992-06-24 | 1994-02-15 | Texas Instruments Incorporated | Multi-electrode plasma processing apparatus |
KR100324792B1 (ko) | 1993-03-31 | 2002-06-20 | 히가시 데쓰로 | 플라즈마처리장치 |
US5662770A (en) | 1993-04-16 | 1997-09-02 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for improving etch uniformity in remote source plasma reactors with powered wafer chucks |
JP2748213B2 (ja) | 1993-05-24 | 1998-05-06 | 日本レーザ電子株式会社 | プラズマ製膜装置 |
US5449410A (en) | 1993-07-28 | 1995-09-12 | Applied Materials, Inc. | Plasma processing apparatus |
KR100302167B1 (ko) | 1993-11-05 | 2001-11-22 | 히가시 데쓰로 | 플라즈마처리장치및플라즈마처리방법 |
US5451846A (en) | 1993-12-14 | 1995-09-19 | Aeg Automation Systems Corporation | Low current compensation control for thyristor armature power supply |
US5565036A (en) | 1994-01-19 | 1996-10-15 | Tel America, Inc. | Apparatus and method for igniting plasma in a process module |
TW299559B (ja) | 1994-04-20 | 1997-03-01 | Tokyo Electron Co Ltd | |
US5651865A (en) * | 1994-06-17 | 1997-07-29 | Eni | Preferential sputtering of insulators from conductive targets |
US5554959A (en) | 1994-10-25 | 1996-09-10 | Vac-Com, Inc. | Linear power amplifier with a pulse density modulated switching power supply |
US5716534A (en) | 1994-12-05 | 1998-02-10 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing method and plasma etching method |
US6133557A (en) | 1995-01-31 | 2000-10-17 | Kyocera Corporation | Wafer holding member |
JP3778299B2 (ja) | 1995-02-07 | 2006-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法 |
JP3292270B2 (ja) | 1995-02-27 | 2002-06-17 | 富士通株式会社 | 静電吸着装置 |
JPH08264509A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-11 | Hitachi Ltd | 表面処理方法および表面処理装置 |
JP3085151B2 (ja) * | 1995-07-13 | 2000-09-04 | 株式会社日立製作所 | プラズマ処理方法および装置 |
US5597438A (en) | 1995-09-14 | 1997-01-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Etch chamber having three independently controlled electrodes |
JPH09129621A (ja) * | 1995-09-28 | 1997-05-16 | Applied Materials Inc | パルス波形バイアス電力 |
US6253704B1 (en) | 1995-10-13 | 2001-07-03 | Mattson Technology, Inc. | Apparatus and method for pulsed plasma processing of a semiconductor substrate |
JPH09129612A (ja) | 1995-10-26 | 1997-05-16 | Tokyo Electron Ltd | エッチングガス及びエッチング方法 |
US6902683B1 (en) * | 1996-03-01 | 2005-06-07 | Hitachi, Ltd. | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
IT1289479B1 (it) | 1996-01-26 | 1998-10-15 | Schlafhorst & Co W | Disposizione circuitale di trasformazione di tensione per la alimentazione energetica di un utilizzatore elettrico di elevata |
US6252354B1 (en) | 1996-11-04 | 2001-06-26 | Applied Materials, Inc. | RF tuning method for an RF plasma reactor using frequency servoing and power, voltage, current or DI/DT control |
US5770023A (en) | 1996-02-12 | 1998-06-23 | Eni A Division Of Astec America, Inc. | Etch process employing asymmetric bipolar pulsed DC |
TW335517B (en) | 1996-03-01 | 1998-07-01 | Hitachi Ltd | Apparatus and method for processing plasma |
US6055150A (en) | 1996-05-02 | 2000-04-25 | Applied Materials, Inc. | Multi-electrode electrostatic chuck having fuses in hollow cavities |
US5948704A (en) | 1996-06-05 | 1999-09-07 | Lam Research Corporation | High flow vacuum chamber including equipment modules such as a plasma generating source, vacuum pumping arrangement and/or cantilevered substrate support |
JP3319285B2 (ja) * | 1996-06-05 | 2002-08-26 | 株式会社日立製作所 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP3220383B2 (ja) | 1996-07-23 | 2001-10-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びその方法 |
JP3122618B2 (ja) | 1996-08-23 | 2001-01-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US6214162B1 (en) | 1996-09-27 | 2001-04-10 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
JP3220394B2 (ja) | 1996-09-27 | 2001-10-22 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US5882424A (en) | 1997-01-21 | 1999-03-16 | Applied Materials, Inc. | Plasma cleaning of a CVD or etch reactor using a low or mixed frequency excitation field |
US5830330A (en) | 1997-05-22 | 1998-11-03 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for low pressure sputtering |
JP3599564B2 (ja) | 1998-06-25 | 2004-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | イオン流形成方法及び装置 |
US6051114A (en) | 1997-06-23 | 2000-04-18 | Applied Materials, Inc. | Use of pulsed-DC wafer bias for filling vias/trenches with metal in HDP physical vapor deposition |
US5933314A (en) | 1997-06-27 | 1999-08-03 | Lam Research Corp. | Method and an apparatus for offsetting plasma bias voltage in bi-polar electro-static chucks |
JPH1125894A (ja) | 1997-06-30 | 1999-01-29 | Shinku Device:Kk | プラズマイオンシャワー試料処理装置とその方法 |
US6187685B1 (en) | 1997-08-01 | 2001-02-13 | Surface Technology Systems Limited | Method and apparatus for etching a substrate |
CN1299226C (zh) | 1997-09-17 | 2007-02-07 | 东京电子株式会社 | 用于监视和控制气体等离子体处理的系统和方法 |
CN1103655C (zh) | 1997-10-15 | 2003-03-26 | 东京电子株式会社 | 应用等离子体密度梯度来产生粒子流的装置和方法 |
US6098568A (en) | 1997-12-01 | 2000-08-08 | Applied Materials, Inc. | Mixed frequency CVD apparatus |
US6043607A (en) | 1997-12-16 | 2000-03-28 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for exciting a plasma in a semiconductor wafer processing system using a complex RF waveform |
US6198616B1 (en) | 1998-04-03 | 2001-03-06 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for supplying a chucking voltage to an electrostatic chuck within a semiconductor wafer processing system |
US6126778A (en) | 1998-07-22 | 2000-10-03 | Micron Technology, Inc. | Beat frequency modulation for plasma generation |
US6355992B1 (en) | 1998-08-11 | 2002-03-12 | Utron Inc. | High voltage pulse generator |
EP1119033A4 (en) | 1998-09-18 | 2004-11-17 | Tokyo Electron Ltd | PLASMA PROCESSING |
US6125025A (en) | 1998-09-30 | 2000-09-26 | Lam Research Corporation | Electrostatic dechucking method and apparatus for dielectric workpieces in vacuum processors |
US7583492B2 (en) | 1998-09-30 | 2009-09-01 | Lam Research Corporation | Method of determining the correct average bias compensation voltage during a plasma process |
US7218503B2 (en) | 1998-09-30 | 2007-05-15 | Lam Research Corporation | Method of determining the correct average bias compensation voltage during a plasma process |
US6117279A (en) | 1998-11-12 | 2000-09-12 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for increasing the metal ion fraction in ionized physical vapor deposition |
US6849154B2 (en) | 1998-11-27 | 2005-02-01 | Tokyo Electron Limited | Plasma etching apparatus |
JP2000173982A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-06-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP3357313B2 (ja) | 1999-03-11 | 2002-12-16 | 住友特殊金属株式会社 | 薄膜磁気ヘッド、薄膜磁気ヘッド用基板、および薄膜磁気ヘッド用基板の製造方法 |
JP2000269196A (ja) | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Toshiba Corp | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
US6099697A (en) | 1999-04-13 | 2000-08-08 | Applied Materials, Inc. | Method of and apparatus for restoring a support surface in a semiconductor wafer processing system |
WO2000063459A1 (en) | 1999-04-17 | 2000-10-26 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and apparatus for deposition of diamond like carbon |
US6273958B2 (en) | 1999-06-09 | 2001-08-14 | Applied Materials, Inc. | Substrate support for plasma processing |
CN1241316C (zh) | 1999-07-13 | 2006-02-08 | 东京电子株式会社 | 产生感性耦合的等离子的射频电源 |
KR20020046276A (ko) | 1999-08-02 | 2002-06-20 | 로버트 엠. 포터 | 이온 소스를 이용하는 박막 퇴적 시스템의 개선된 전자방출 표면 |
US6232236B1 (en) | 1999-08-03 | 2001-05-15 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlling plasma uniformity in a semiconductor wafer processing system |
DE19937859C2 (de) | 1999-08-13 | 2003-06-18 | Huettinger Elektronik Gmbh | Elektrische Versorgungseinheit für Plasmaanlagen |
ATE420454T1 (de) | 1999-08-17 | 2009-01-15 | Tokyo Electron Ltd | Gepulstes plasmabehandlungsverfahren und vorrichtung |
JP4578651B2 (ja) * | 1999-09-13 | 2010-11-10 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置、プラズマエッチング方法 |
US6818103B1 (en) | 1999-10-15 | 2004-11-16 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and apparatus for substrate biasing in multiple electrode sputtering systems |
JP4021601B2 (ja) | 1999-10-29 | 2007-12-12 | 株式会社東芝 | スパッタ装置および成膜方法 |
US6201208B1 (en) | 1999-11-04 | 2001-03-13 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method and apparatus for plasma processing with control of ion energy distribution at the substrates |
AU2001224729A1 (en) | 2000-01-10 | 2001-07-24 | Tokyo Electron Limited | Segmented electrode assembly and method for plasma processing |
US20030079983A1 (en) | 2000-02-25 | 2003-05-01 | Maolin Long | Multi-zone RF electrode for field/plasma uniformity control in capacitive plasma sources |
TW507256B (en) | 2000-03-13 | 2002-10-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Discharge plasma generating method, discharge plasma generating apparatus, semiconductor device fabrication method, and semiconductor device fabrication apparatus |
JP4718093B2 (ja) | 2000-03-28 | 2011-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 複合セグメント電極に供給される電力を制御するための方法並びにシステム |
JP4454781B2 (ja) | 2000-04-18 | 2010-04-21 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP3851057B2 (ja) | 2000-04-21 | 2006-11-29 | シャープ株式会社 | 画像形成装置 |
EP1211725A4 (en) | 2000-05-10 | 2003-02-26 | Ibiden Co Ltd | ELECTROSTATIC CHUCK |
JP4559595B2 (ja) | 2000-07-17 | 2010-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の載置装置及びプラズマ処理装置 |
JP4590031B2 (ja) | 2000-07-26 | 2010-12-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の載置機構 |
US6483731B1 (en) | 2000-07-31 | 2002-11-19 | Vanner, Inc. | Alexander topology resonance energy conversion and inversion circuit utilizing a series capacitance multi-voltage resonance section |
US7183177B2 (en) | 2000-08-11 | 2007-02-27 | Applied Materials, Inc. | Silicon-on-insulator wafer transfer method using surface activation plasma immersion ion implantation for wafer-to-wafer adhesion enhancement |
TW506234B (en) | 2000-09-18 | 2002-10-11 | Tokyo Electron Ltd | Tunable focus ring for plasma processing |
JP4612947B2 (ja) | 2000-09-29 | 2011-01-12 | 日立プラズマディスプレイ株式会社 | 容量性負荷駆動回路およびそれを用いたプラズマディスプレイ装置 |
KR100378187B1 (ko) | 2000-11-09 | 2003-03-29 | 삼성전자주식회사 | 정전척을 구비한 웨이퍼 지지대 및 이를 이용한 웨이퍼 디척킹 방법 |
JP3897582B2 (ja) | 2000-12-12 | 2007-03-28 | キヤノン株式会社 | 真空処理方法、真空処理装置、半導体装置の製造方法および半導体装置 |
JP2002198355A (ja) | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
WO2002054835A2 (en) | 2001-01-08 | 2002-07-11 | Tokyo Electron Limited | Addition of power at selected harmonics of plasma processor drive frequency |
WO2002059954A1 (fr) | 2001-01-25 | 2002-08-01 | Tokyo Electron Limited | Appareil de gravure par plasma et procede de gravure par plasma |
US6777037B2 (en) * | 2001-02-21 | 2004-08-17 | Hitachi, Ltd. | Plasma processing method and apparatus |
US6741446B2 (en) | 2001-03-30 | 2004-05-25 | Lam Research Corporation | Vacuum plasma processor and method of operating same |
JP2002299322A (ja) | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Toshiba Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP2002313899A (ja) | 2001-04-11 | 2002-10-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 基板保持構造体および基板処理装置 |
US7146260B2 (en) | 2001-04-24 | 2006-12-05 | Medius, Inc. | Method and apparatus for dynamic configuration of multiprocessor system |
DK1253216T3 (da) | 2001-04-27 | 2004-03-22 | Europ Economic Community | Fremgangsmåde og apparat til sekventiel plasmabehandling |
JP4819244B2 (ja) | 2001-05-15 | 2011-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
SE525231C2 (sv) | 2001-06-14 | 2005-01-11 | Chemfilt R & D Ab | Förfarande och anordning för att alstra plasma |
DE10136259A1 (de) | 2001-07-25 | 2003-02-20 | Oce Printing Systems Gmbh | Verfahren und Einrichtung zum Steuern eines Druckprozesses bei hoher Farbdichte |
US20030029859A1 (en) | 2001-08-08 | 2003-02-13 | Applied Materials, Inc. | Lamphead for a rapid thermal processing chamber |
WO2003019618A2 (en) * | 2001-08-27 | 2003-03-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma treating apparatus and plasma treating method |
DE10151703B4 (de) | 2001-10-19 | 2004-12-09 | OCé PRINTING SYSTEMS GMBH | Vorrichtung und Verfahren zum Erfassen der Beschaffenheit einer Tonerteilchenschicht in einem Drucker oder Kopierer |
TWI282658B (en) | 2001-10-23 | 2007-06-11 | Delta Electronics Inc | A parallel connection system of DC/AC voltage converter |
ATE557418T1 (de) | 2001-10-31 | 2012-05-15 | Tokyo Electron Ltd | Verfahren zum ätzen von merkmalen mit hohem streckungsverhältnis |
JP4129855B2 (ja) | 2001-12-13 | 2008-08-06 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
DE10161743B4 (de) | 2001-12-15 | 2004-08-05 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Hochfrequenzanregungsanordnung |
US6768621B2 (en) | 2002-01-18 | 2004-07-27 | Solectria Corporation | Contactor feedback and precharge/discharge circuit |
JP4024053B2 (ja) | 2002-02-08 | 2007-12-19 | キヤノンアネルバ株式会社 | 高周波プラズマ処理方法及び高周波プラズマ処理装置 |
US6760213B2 (en) | 2002-03-04 | 2004-07-06 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electrostatic chuck and method of treating substrate using electrostatic chuck |
DE10211609B4 (de) | 2002-03-12 | 2009-01-08 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Verfahren und Leistungsverstärker zur Erzeugung von sinusförmigen Hochfrequenzsignalen zum Betreiben einer Last |
KR100511854B1 (ko) | 2002-06-18 | 2005-09-02 | 아네르바 가부시키가이샤 | 정전 흡착 장치 |
US6830650B2 (en) | 2002-07-12 | 2004-12-14 | Advanced Energy Industries, Inc. | Wafer probe for measuring plasma and surface characteristics in plasma processing environments |
US6808607B2 (en) | 2002-09-25 | 2004-10-26 | Advanced Energy Industries, Inc. | High peak power plasma pulsed supply with arc handling |
US7147759B2 (en) | 2002-09-30 | 2006-12-12 | Zond, Inc. | High-power pulsed magnetron sputtering |
US20040066601A1 (en) | 2002-10-04 | 2004-04-08 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Electrode configuration for retaining cooling gas on electrostatic wafer clamp |
DE10250229B4 (de) | 2002-10-29 | 2004-08-05 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Leistungsregelung für Hochfrequenzverstärker |
US6896775B2 (en) | 2002-10-29 | 2005-05-24 | Zond, Inc. | High-power pulsed magnetically enhanced plasma processing |
JP4323232B2 (ja) | 2002-12-04 | 2009-09-02 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 静電吸着方法、静電吸着装置及び貼り合せ装置 |
US7206189B2 (en) | 2002-12-20 | 2007-04-17 | Advanced Energy Technology Inc. | Composite electrode and current collectors and processes for making the same |
US6830595B2 (en) | 2002-12-20 | 2004-12-14 | Advanced Energy Technology Inc. | Method of making composite electrode and current collectors |
DE10306347A1 (de) | 2003-02-15 | 2004-08-26 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Leistungszufuhrregeleinheit |
DE10312549B3 (de) | 2003-03-21 | 2004-08-26 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Gasentladungsprozess-Spannungsversorgungseinheit |
US7126808B2 (en) | 2003-04-01 | 2006-10-24 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Wafer platen equipped with electrostatic clamp, wafer backside gas cooling, and high voltage operation capability for plasma doping |
JP4354243B2 (ja) | 2003-04-21 | 2009-10-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の昇降機構及び処理装置 |
JP4031732B2 (ja) | 2003-05-26 | 2008-01-09 | 京セラ株式会社 | 静電チャック |
US7625460B2 (en) | 2003-08-01 | 2009-12-01 | Micron Technology, Inc. | Multifrequency plasma reactor |
DE10336881B4 (de) | 2003-08-11 | 2008-05-15 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Hochfrequenzanregungsanordnung mit einer Begrenzungsschaltung |
US6902646B2 (en) | 2003-08-14 | 2005-06-07 | Advanced Energy Industries, Inc. | Sensor array for measuring plasma characteristics in plasma processing environments |
JP4418193B2 (ja) | 2003-08-22 | 2010-02-17 | 東京エレクトロン株式会社 | パーティクル除去装置及びパーティクル除去方法及びプラズマ処理装置 |
DE10341717A1 (de) | 2003-09-10 | 2005-05-25 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Anordnung für n Verbraucher elektrischer Energie, von denen m Verbraucher gleichzeitig mit Energie versorgt werden |
US7115185B1 (en) | 2003-09-16 | 2006-10-03 | Advanced Energy Industries, Inc. | Pulsed excitation of inductively coupled plasma sources |
US9771648B2 (en) | 2004-08-13 | 2017-09-26 | Zond, Inc. | Method of ionized physical vapor deposition sputter coating high aspect-ratio structures |
JP4644128B2 (ja) | 2003-11-28 | 2011-03-02 | 株式会社アドバンテスト | デジタルqp検波装置、該装置を備えたスペクトラムアナライザ、およびデジタルqp検波方法 |
US7645341B2 (en) | 2003-12-23 | 2010-01-12 | Lam Research Corporation | Showerhead electrode assembly for plasma processing apparatuses |
US7379309B2 (en) | 2004-01-14 | 2008-05-27 | Vanner, Inc. | High-frequency DC-DC converter control |
US7095179B2 (en) | 2004-02-22 | 2006-08-22 | Zond, Inc. | Methods and apparatus for generating strongly-ionized plasmas with ionizational instabilities |
US7663319B2 (en) | 2004-02-22 | 2010-02-16 | Zond, Inc. | Methods and apparatus for generating strongly-ionized plasmas with ionizational instabilities |
US9123508B2 (en) | 2004-02-22 | 2015-09-01 | Zond, Llc | Apparatus and method for sputtering hard coatings |
US7700474B2 (en) | 2006-04-07 | 2010-04-20 | Tokyo Electron Limited | Barrier deposition using ionized physical vapor deposition (iPVD) |
DE102004024805B4 (de) | 2004-05-17 | 2015-11-12 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Verfahren und Regelanordnung zur Regelung der Ausgangsleistung einer HF-Verstärkeranordnung |
JP4401867B2 (ja) | 2004-05-20 | 2010-01-20 | 株式会社沖データ | 画像形成装置 |
US7988816B2 (en) | 2004-06-21 | 2011-08-02 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and method |
US7740704B2 (en) | 2004-06-25 | 2010-06-22 | Tokyo Electron Limited | High rate atomic layer deposition apparatus and method of using |
JP2006011174A (ja) | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Ricoh Co Ltd | 記録体異常発生予測装置、定着装置および画像形成装置 |
US20060040499A1 (en) | 2004-08-20 | 2006-02-23 | Steve Walther | In situ surface contaminant removal for ion implanting |
DE102004044797B4 (de) | 2004-09-16 | 2008-02-07 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Anregungsanordnung für Induktionsöfen |
EP2477207A3 (en) | 2004-09-24 | 2014-09-03 | Zond, Inc. | Apparatus for generating high-current electrical discharges |
US7601246B2 (en) | 2004-09-29 | 2009-10-13 | Lam Research Corporation | Methods of sputtering a protective coating on a semiconductor substrate |
US7244311B2 (en) | 2004-10-13 | 2007-07-17 | Lam Research Corporation | Heat transfer system for improved semiconductor processing uniformity |
SE0402644D0 (sv) | 2004-11-02 | 2004-11-02 | Biocell Ab | Method and apparatus for producing electric discharges |
CN101278385B (zh) | 2004-11-04 | 2011-10-12 | 株式会社爱发科 | 静电吸盘装置 |
US20060130767A1 (en) | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Applied Materials, Inc. | Purged vacuum chuck with proximity pins |
KR101089096B1 (ko) | 2004-12-28 | 2011-12-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 노광장치용 척 |
US20060171848A1 (en) | 2005-01-31 | 2006-08-03 | Advanced Energy Industries, Inc. | Diagnostic plasma sensors for endpoint and end-of-life detection |
KR100649508B1 (ko) | 2005-02-02 | 2006-11-27 | 권오영 | 하이브리드 전원시스템 |
EP1691481B1 (de) | 2005-02-12 | 2014-04-02 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Amplitudenmodulator |
PL1701376T3 (pl) | 2005-03-10 | 2007-04-30 | Huettinger Elektronik Gmbh Co Kg | Próżniowy generator plazmowy |
US7535688B2 (en) | 2005-03-25 | 2009-05-19 | Tokyo Electron Limited | Method for electrically discharging substrate, substrate processing apparatus and program |
US7586099B2 (en) | 2005-03-30 | 2009-09-08 | Huettinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Vacuum plasma generator |
US7305311B2 (en) | 2005-04-22 | 2007-12-04 | Advanced Energy Industries, Inc. | Arc detection and handling in radio frequency power applications |
CN101053283A (zh) | 2005-05-13 | 2007-10-10 | 松下电器产业株式会社 | 电介质阻挡放电灯点灯装置 |
US20060278521A1 (en) | 2005-06-14 | 2006-12-14 | Stowell Michael W | System and method for controlling ion density and energy using modulated power signals |
AR057882A1 (es) | 2005-11-09 | 2007-12-26 | Novartis Ag | Compuestos de accion doble de bloqueadores del receptor de angiotensina e inhibidores de endopeptidasa neutra |
JP4418424B2 (ja) | 2005-11-21 | 2010-02-17 | 日本リライアンス株式会社 | 交流電源装置およびその装置におけるアーク抑制方法 |
US20070114981A1 (en) | 2005-11-21 | 2007-05-24 | Square D Company | Switching power supply system with pre-regulator for circuit or personnel protection devices |
JP4827081B2 (ja) | 2005-12-28 | 2011-11-30 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
EP1982400A4 (en) | 2006-01-23 | 2014-08-13 | Audera Internat Sales Inc | POWER SUPPLY FOR LIMITED POWER SOURCES AND AUDIOVER AMPLIFIERS WITH A POWER SUPPLY |
US7872292B2 (en) | 2006-02-21 | 2011-01-18 | United Microelectronics Corp. | Capacitance dielectric layer and capacitor |
US7713430B2 (en) * | 2006-02-23 | 2010-05-11 | Micron Technology, Inc. | Using positive DC offset of bias RF to neutralize charge build-up of etch features |
EP1837893A1 (de) | 2006-03-25 | 2007-09-26 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | Messeeinrichtung eines HF-Plasmasystems |
JP4597894B2 (ja) | 2006-03-31 | 2010-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置台および基板処理装置 |
US7588667B2 (en) | 2006-04-07 | 2009-09-15 | Tokyo Electron Limited | Depositing rhuthenium films using ionized physical vapor deposition (IPVD) |
GB2437080B (en) | 2006-04-11 | 2011-10-12 | Hauzer Techno Coating Bv | A vacuum treatment apparatus, a bias power supply and a method of operating a vacuum treatment apparatus |
US7692936B2 (en) | 2006-05-05 | 2010-04-06 | Huettinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Medium frequency power generator |
JP4887913B2 (ja) | 2006-06-02 | 2012-02-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
US7777152B2 (en) | 2006-06-13 | 2010-08-17 | Applied Materials, Inc. | High AC current high RF power AC-RF decoupling filter for plasma reactor heated electrostatic chuck |
US8083961B2 (en) | 2006-07-31 | 2011-12-27 | Tokyo Electron Limited | Method and system for controlling the uniformity of a ballistic electron beam by RF modulation |
JP2008041993A (ja) | 2006-08-08 | 2008-02-21 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 静電チャック |
EP1912266A1 (en) | 2006-10-10 | 2008-04-16 | STMicroelectronics S.r.l. | Method of forming phase change memory devices in a pulsed DC deposition chamber |
JP5171010B2 (ja) | 2006-10-27 | 2013-03-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 電源装置およびそれを用いたマイクロ波発生装置およびコンピュータプログラム |
DE102006052060B4 (de) | 2006-11-04 | 2009-11-26 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Verfahren und Anordnung zur Anregung einer Gaslaseranordnung |
DE102006052061B4 (de) | 2006-11-04 | 2009-04-23 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Verfahren zur Ansteuerung von zumindest zwei HF-Leistungsgeneratoren |
US20080106842A1 (en) | 2006-11-06 | 2008-05-08 | Tokyo Electron Limited | Mounting device, plasma processing apparatus and plasma processing method |
JP4864661B2 (ja) | 2006-11-22 | 2012-02-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 太陽電池の製造方法及び太陽電池の製造装置 |
EP1926122B1 (de) | 2006-11-23 | 2009-11-11 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | Verfahren zum Erkennen einer Bogenentladung in einem Plasmaprozess und Bogenentladungserkennungsvorrichtung |
US7795817B2 (en) | 2006-11-24 | 2010-09-14 | Huettinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Controlled plasma power supply |
KR101312292B1 (ko) | 2006-12-11 | 2013-09-27 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 플라즈마 처리장치의 기판 파손 방지장치 및 그 방법 |
US8435389B2 (en) | 2006-12-12 | 2013-05-07 | Oc Oerlikon Balzers Ag | RF substrate bias with high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) |
US8422193B2 (en) | 2006-12-19 | 2013-04-16 | Axcelis Technologies, Inc. | Annulus clamping and backside gas cooled electrostatic chuck |
JP5252613B2 (ja) | 2006-12-25 | 2013-07-31 | 国立大学法人東北大学 | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
US20080160212A1 (en) | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Bon-Woong Koo | Method and apparatuses for providing electrical contact for plasma processing applications |
US7718538B2 (en) | 2007-02-21 | 2010-05-18 | Applied Materials, Inc. | Pulsed-plasma system with pulsed sample bias for etching semiconductor substrates |
US8217299B2 (en) | 2007-02-22 | 2012-07-10 | Advanced Energy Industries, Inc. | Arc recovery without over-voltage for plasma chamber power supplies using a shunt switch |
DE102007009070A1 (de) | 2007-02-23 | 2008-08-28 | OCé PRINTING SYSTEMS GMBH | Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen eines elektrischen Potentials sowie von elektrischen Ladungen ein einem Drucker oder Kopierer |
EP1978542B1 (de) | 2007-03-08 | 2010-12-29 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zum Unterdrücken von Bogenentladungen beim Betreiben eines Plasmaprozesses |
EP1968188B1 (de) | 2007-03-09 | 2012-08-08 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG | Klasse-D Verstärkeranordnung |
US8055203B2 (en) | 2007-03-14 | 2011-11-08 | Mks Instruments, Inc. | Multipoint voltage and current probe system |
JP4903610B2 (ja) | 2007-03-27 | 2012-03-28 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
KR100855002B1 (ko) | 2007-05-23 | 2008-08-28 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 이온 주입시스템 |
JP5018244B2 (ja) | 2007-05-30 | 2012-09-05 | 住友大阪セメント株式会社 | 静電チャック |
US7758764B2 (en) | 2007-06-28 | 2010-07-20 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for substrate processing |
US20090004836A1 (en) | 2007-06-29 | 2009-01-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Plasma doping with enhanced charge neutralization |
DE112007003667A5 (de) | 2007-07-23 | 2010-07-01 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Plasmaversorgungseinrichtung |
KR20090024866A (ko) | 2007-09-05 | 2009-03-10 | 주식회사 코미코 | 기판 지지유닛 및 이를 갖는 기판 가공 장치 |
JP4607930B2 (ja) | 2007-09-14 | 2011-01-05 | 株式会社東芝 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
US8140292B2 (en) | 2007-09-18 | 2012-03-20 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method and system for controlling a voltage waveform |
JP5301812B2 (ja) | 2007-11-14 | 2013-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US8133359B2 (en) | 2007-11-16 | 2012-03-13 | Advanced Energy Industries, Inc. | Methods and apparatus for sputtering deposition using direct current |
US9039871B2 (en) | 2007-11-16 | 2015-05-26 | Advanced Energy Industries, Inc. | Methods and apparatus for applying periodic voltage using direct current |
KR20100095560A (ko) | 2007-11-26 | 2010-08-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 미소 구조체 검사 장치 및 미소 구조체 검사 방법 |
US8609546B2 (en) | 2007-11-29 | 2013-12-17 | Lam Research Corporation | Pulsed bias plasma process to control microloading |
JP5224837B2 (ja) | 2008-02-01 | 2013-07-03 | 株式会社東芝 | 基板のプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
KR101659095B1 (ko) | 2008-02-08 | 2016-09-22 | 램 리써치 코포레이션 | 측방향 벨로우 및 비접촉 입자 밀봉을 포함하는 조정가능한 갭이 용량적으로 커플링되는 rf 플라즈마 반응기 |
DE102008012089B4 (de) | 2008-02-29 | 2015-06-11 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Verfahren zum Ansteuern einer Vollbrücke, und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens |
US7858533B2 (en) | 2008-03-06 | 2010-12-28 | Tokyo Electron Limited | Method for curing a porous low dielectric constant dielectric film |
US7977256B2 (en) | 2008-03-06 | 2011-07-12 | Tokyo Electron Limited | Method for removing a pore-generating material from an uncured low-k dielectric film |
US20090236214A1 (en) | 2008-03-20 | 2009-09-24 | Karthik Janakiraman | Tunable ground planes in plasma chambers |
US8391025B2 (en) | 2008-05-02 | 2013-03-05 | Advanced Energy Industries, Inc. | Preemptive protection for a power convertor |
US7791912B2 (en) | 2008-05-02 | 2010-09-07 | Advanced Energy Industries, Inc. | Protection method, system and apparatus for a power converter |
US8018164B2 (en) * | 2008-05-29 | 2011-09-13 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor with high speed plasma load impedance tuning by modulation of different unmatched frequency sources |
JP5429772B2 (ja) | 2008-06-30 | 2014-02-26 | 株式会社アルバック | 電源装置 |
US8460567B2 (en) | 2008-07-01 | 2013-06-11 | Tokyo Electron Limited | Method and system for etching a MEM device |
US8221582B2 (en) | 2008-07-07 | 2012-07-17 | Lam Research Corporation | Clamped monolithic showerhead electrode |
US20100018648A1 (en) | 2008-07-23 | 2010-01-28 | Applied Marterials, Inc. | Workpiece support for a plasma reactor with controlled apportionment of rf power to a process kit ring |
US8895942B2 (en) | 2008-09-16 | 2014-11-25 | Tokyo Electron Limited | Dielectric treatment module using scanning IR radiation source |
JP5295833B2 (ja) | 2008-09-24 | 2013-09-18 | 株式会社東芝 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP5270310B2 (ja) | 2008-11-13 | 2013-08-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電チャック及び基板処理装置 |
US8313664B2 (en) | 2008-11-21 | 2012-11-20 | Applied Materials, Inc. | Efficient and accurate method for real-time prediction of the self-bias voltage of a wafer and feedback control of ESC voltage in plasma processing chamber |
JP5295748B2 (ja) | 2008-12-18 | 2013-09-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 構成部品の洗浄方法及び記憶媒体 |
US7825719B2 (en) | 2008-12-29 | 2010-11-02 | Advanced Energy Industries, Inc. | System and method for wideband phase-adjustable common excitation |
US8137345B2 (en) | 2009-01-05 | 2012-03-20 | Peak Surgical, Inc. | Electrosurgical devices for tonsillectomy and adenoidectomy |
CN102282916A (zh) | 2009-01-13 | 2011-12-14 | 里巴贝鲁株式会社 | 等离子体生成装置及方法 |
JP5221403B2 (ja) | 2009-01-26 | 2013-06-26 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置および記憶媒体 |
US9254168B2 (en) | 2009-02-02 | 2016-02-09 | Medtronic Advanced Energy Llc | Electro-thermotherapy of tissue using penetrating microelectrode array |
US8383001B2 (en) | 2009-02-20 | 2013-02-26 | Tokyo Electron Limited | Plasma etching method, plasma etching apparatus and storage medium |
DE102009001355B4 (de) | 2009-03-05 | 2015-01-22 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Impedanzanpassungsschaltung und Verfahren zur Impedanzanpassung |
US8313612B2 (en) | 2009-03-24 | 2012-11-20 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for reduction of voltage potential spike during dechucking |
US8382999B2 (en) | 2009-03-26 | 2013-02-26 | Applied Materials, Inc. | Pulsed plasma high aspect ratio dielectric process |
JP5395491B2 (ja) | 2009-03-31 | 2014-01-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
CN101872733B (zh) | 2009-04-24 | 2012-06-27 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 感测和移除被加工半导体工艺件的残余电荷的系统和方法 |
JP5227245B2 (ja) | 2009-04-28 | 2013-07-03 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US11615941B2 (en) | 2009-05-01 | 2023-03-28 | Advanced Energy Industries, Inc. | System, method, and apparatus for controlling ion energy distribution in plasma processing systems |
US9435029B2 (en) | 2010-08-29 | 2016-09-06 | Advanced Energy Industries, Inc. | Wafer chucking system for advanced plasma ion energy processing systems |
US9767988B2 (en) | 2010-08-29 | 2017-09-19 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method of controlling the switched mode ion energy distribution system |
US9287092B2 (en) | 2009-05-01 | 2016-03-15 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and apparatus for controlling ion energy distribution |
US9287086B2 (en) | 2010-04-26 | 2016-03-15 | Advanced Energy Industries, Inc. | System, method and apparatus for controlling ion energy distribution |
JP5357639B2 (ja) | 2009-06-24 | 2013-12-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
US8716984B2 (en) | 2009-06-29 | 2014-05-06 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and apparatus for modifying the sensitivity of an electrical generator to a nonlinear load |
JP5496568B2 (ja) | 2009-08-04 | 2014-05-21 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP4932942B2 (ja) | 2009-08-07 | 2012-05-16 | 株式会社京三製作所 | パルス変調高周波電力制御方法およびパルス変調高周波電源装置 |
US8404598B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-03-26 | Applied Materials, Inc. | Synchronized radio frequency pulsing for plasma etching |
SG169960A1 (en) | 2009-09-18 | 2011-04-29 | Lam Res Corp | Clamped monolithic showerhead electrode |
JP5960384B2 (ja) | 2009-10-26 | 2016-08-02 | 新光電気工業株式会社 | 静電チャック用基板及び静電チャック |
KR101757922B1 (ko) | 2009-10-27 | 2017-07-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 장치 |
US9313872B2 (en) * | 2009-10-27 | 2016-04-12 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
US8501631B2 (en) | 2009-11-19 | 2013-08-06 | Lam Research Corporation | Plasma processing system control based on RF voltage |
US8270141B2 (en) | 2009-11-20 | 2012-09-18 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck with reduced arcing |
US8284580B2 (en) | 2009-12-10 | 2012-10-09 | Emerson Electric Co. | Power supply discontinuous input voltage extender |
KR101286242B1 (ko) | 2009-12-14 | 2013-07-15 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 제조 방법 |
DE102009054987A1 (de) | 2009-12-18 | 2011-06-22 | HÜTTINGER Elektronik GmbH + Co. KG, 79111 | Verfahren zur Erzeugung von Wechselstromleistung |
US20110177694A1 (en) | 2010-01-15 | 2011-07-21 | Tokyo Electron Limited | Switchable Neutral Beam Source |
US8658541B2 (en) | 2010-01-15 | 2014-02-25 | Applied Materials, Inc. | Method of controlling trench microloading using plasma pulsing |
US9373521B2 (en) | 2010-02-24 | 2016-06-21 | Tokyo Electron Limited | Etching processing method |
JP5632626B2 (ja) | 2010-03-04 | 2014-11-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 自動整合装置及びプラズマ処理装置 |
EP2544616B1 (en) | 2010-03-11 | 2017-09-06 | Medtronic Advanced Energy LLC | Bipolar electrosurgical cutter with position insensitive return electrode contact |
US9309594B2 (en) | 2010-04-26 | 2016-04-12 | Advanced Energy Industries, Inc. | System, method and apparatus for controlling ion energy distribution of a projected plasma |
JP5660804B2 (ja) | 2010-04-30 | 2015-01-28 | 東京エレクトロン株式会社 | カーボンナノチューブの形成方法及びカーボンナノチューブ成膜装置 |
US8361906B2 (en) | 2010-05-20 | 2013-01-29 | Applied Materials, Inc. | Ultra high selectivity ashable hard mask film |
US8852347B2 (en) | 2010-06-11 | 2014-10-07 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for chemical vapor deposition control |
US9139910B2 (en) | 2010-06-11 | 2015-09-22 | Tokyo Electron Limited | Method for chemical vapor deposition control |
JP5558224B2 (ja) | 2010-06-23 | 2014-07-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法 |
US20120000421A1 (en) | 2010-07-02 | 2012-01-05 | Varian Semicondutor Equipment Associates, Inc. | Control apparatus for plasma immersion ion implantation of a dielectric substrate |
DE102010031568B4 (de) | 2010-07-20 | 2014-12-11 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Arclöschanordnung und Verfahren zum Löschen von Arcs |
US9728429B2 (en) | 2010-07-27 | 2017-08-08 | Lam Research Corporation | Parasitic plasma prevention in plasma processing chambers |
US20130059448A1 (en) | 2011-09-07 | 2013-03-07 | Lam Research Corporation | Pulsed Plasma Chamber in Dual Chamber Configuration |
US8828883B2 (en) | 2010-08-24 | 2014-09-09 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatuses for energetic neutral flux generation for processing a substrate |
US9362089B2 (en) | 2010-08-29 | 2016-06-07 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method of controlling the switched mode ion energy distribution system |
EP4226935A3 (en) | 2010-08-31 | 2023-09-06 | Theraclone Sciences, Inc. | Human immunodeficiency virus (hiv)-neutralizing antibodies |
JP5820661B2 (ja) | 2010-09-14 | 2015-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波照射装置 |
JP5172928B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2013-03-27 | 株式会社東芝 | 基板処理方法および基板処理装置 |
US20120088371A1 (en) | 2010-10-07 | 2012-04-12 | Applied Materials, Inc. | Methods for etching substrates using pulsed dc voltage |
DE102010048809A1 (de) | 2010-10-20 | 2012-04-26 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | Leistungsversorgungssystem für eine Plasmaanwendung und/oder eine Induktionserwärmungsanwendung |
DE102010048810A1 (de) | 2010-10-20 | 2012-04-26 | Hüttinger Elektronik Gmbh + Co. Kg | System zur Bedienung mehrerer Plasma- und/oder Induktionserwärmungsprozesse |
US9123762B2 (en) | 2010-10-22 | 2015-09-01 | Applied Materials, Inc. | Substrate support with symmetrical feed structure |
US8757603B2 (en) | 2010-10-22 | 2014-06-24 | Applied Materials, Inc. | Low force substrate lift |
JP5689283B2 (ja) | 2010-11-02 | 2015-03-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及びその方法を実行するプログラムを記憶する記憶媒体 |
EP2463890A1 (en) | 2010-12-08 | 2012-06-13 | Applied Materials, Inc. | Generating plasmas in pulsed power systems |
US10283321B2 (en) | 2011-01-18 | 2019-05-07 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing system and methods using capacitively coupled plasma |
US8809199B2 (en) | 2011-02-12 | 2014-08-19 | Tokyo Electron Limited | Method of etching features in silicon nitride films |
US20130344702A1 (en) | 2011-03-04 | 2013-12-26 | Tokyo Electron Limited | Method of etching silicon nitride films |
US8884525B2 (en) | 2011-03-22 | 2014-11-11 | Advanced Energy Industries, Inc. | Remote plasma source generating a disc-shaped plasma |
US9263241B2 (en) | 2011-05-10 | 2016-02-16 | Advanced Energy Industries, Inc. | Current threshold response mode for arc management |
WO2012170364A1 (en) | 2011-06-10 | 2012-12-13 | Medtronic, Inc. | Wire electrode devices for tonsillectomy and adenoidectomy |
EP2541584B1 (en) | 2011-06-27 | 2018-08-08 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Generating a highly ionized plasma in a plasma chamber |
US8735291B2 (en) | 2011-08-25 | 2014-05-27 | Tokyo Electron Limited | Method for etching high-k dielectric using pulsed bias power |
US8399366B1 (en) | 2011-08-25 | 2013-03-19 | Tokyo Electron Limited | Method of depositing highly conformal amorphous carbon films over raised features |
TWI646869B (zh) | 2011-10-05 | 2019-01-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 對稱電漿處理腔室 |
US9399812B2 (en) | 2011-10-11 | 2016-07-26 | Applied Materials, Inc. | Methods of preventing plasma induced damage during substrate processing |
US9666414B2 (en) | 2011-10-27 | 2017-05-30 | Applied Materials, Inc. | Process chamber for etching low k and other dielectric films |
JP5977509B2 (ja) | 2011-12-09 | 2016-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP5867701B2 (ja) | 2011-12-15 | 2016-02-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP5808012B2 (ja) * | 2011-12-27 | 2015-11-10 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US8963377B2 (en) | 2012-01-09 | 2015-02-24 | Eagle Harbor Technologies Inc. | Efficient IGBT switching |
WO2013114882A1 (ja) | 2012-02-01 | 2013-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 |
CN104106127B (zh) | 2012-02-09 | 2016-08-17 | 东京毅力科创株式会社 | 半导体制造装置的制造方法和半导体制造装置 |
US9922802B2 (en) | 2012-02-20 | 2018-03-20 | Tokyo Electron Limited | Power supply system, plasma etching apparatus, and plasma etching method |
US9368329B2 (en) | 2012-02-22 | 2016-06-14 | Lam Research Corporation | Methods and apparatus for synchronizing RF pulses in a plasma processing system |
US9228878B2 (en) | 2012-03-19 | 2016-01-05 | Advanced Energy Industries, Inc. | Dual beam non-contact displacement sensor |
WO2013146920A1 (ja) | 2012-03-30 | 2013-10-03 | 東レ株式会社 | 連続発酵による化学品の製造方法および連続発酵装置 |
US9293928B2 (en) | 2013-04-23 | 2016-03-22 | Kevin Alexander | System and method for a dynamically configurable power distribution control and management system |
JP6359236B2 (ja) | 2012-05-07 | 2018-07-18 | トーカロ株式会社 | 静電チャック |
US9404176B2 (en) | 2012-06-05 | 2016-08-02 | Applied Materials, Inc. | Substrate support with radio frequency (RF) return path |
JP5921964B2 (ja) | 2012-06-11 | 2016-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプローブ装置 |
JP5534365B2 (ja) | 2012-06-18 | 2014-06-25 | 株式会社京三製作所 | 高周波電力供給装置、及び反射波電力制御方法 |
US9530618B2 (en) | 2012-07-06 | 2016-12-27 | Infineon Technologies Ag | Plasma system, chuck and method of making a semiconductor device |
US9865893B2 (en) | 2012-07-27 | 2018-01-09 | Lockheed Martin Advanced Energy Storage, Llc | Electrochemical energy storage systems and methods featuring optimal membrane systems |
US9373517B2 (en) | 2012-08-02 | 2016-06-21 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing with DC assisted RF power for improved control |
EP2885248B1 (en) | 2012-08-15 | 2018-08-22 | Lockheed Martin Energy, LLC | High solubility iron hexacyanides |
US9210790B2 (en) | 2012-08-28 | 2015-12-08 | Advanced Energy Industries, Inc. | Systems and methods for calibrating a switched mode ion energy distribution system |
US9685297B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-06-20 | Advanced Energy Industries, Inc. | Systems and methods for monitoring faults, anomalies, and other characteristics of a switched mode ion energy distribution system |
KR101909571B1 (ko) | 2012-08-28 | 2018-10-19 | 어드밴스드 에너지 인더스트리즈 인코포레이티드 | 넓은 다이내믹 레인지 이온 에너지 바이어스 제어; 고속 이온 에너지 스위칭; 이온 에너지 제어와 펄스동작 바이어스 서플라이; 및 가상 전면 패널 |
JP6027374B2 (ja) | 2012-09-12 | 2016-11-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びフィルタユニット |
US20140077611A1 (en) | 2012-09-14 | 2014-03-20 | Henry Todd Young | Capacitor bank, laminated bus, and power supply apparatus |
JP6207880B2 (ja) | 2012-09-26 | 2017-10-04 | 東芝メモリ株式会社 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
US8916056B2 (en) | 2012-10-11 | 2014-12-23 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Biasing system for a plasma processing apparatus |
US20140109886A1 (en) | 2012-10-22 | 2014-04-24 | Transient Plasma Systems, Inc. | Pulsed power systems and methods |
US9287098B2 (en) | 2012-11-01 | 2016-03-15 | Advanced Energy Industries, Inc. | Charge removal from electrodes in unipolar sputtering system |
WO2014069559A1 (ja) | 2012-11-01 | 2014-05-08 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
US9129776B2 (en) | 2012-11-01 | 2015-09-08 | Advanced Energy Industries, Inc. | Differing boost voltages applied to two or more anodeless electrodes for plasma processing |
US9226380B2 (en) | 2012-11-01 | 2015-12-29 | Advanced Energy Industries, Inc. | Adjustable non-dissipative voltage boosting snubber network |
US10049948B2 (en) | 2012-11-30 | 2018-08-14 | Lam Research Corporation | Power switching system for ESC with array of thermal control elements |
US8941969B2 (en) | 2012-12-21 | 2015-01-27 | Applied Materials, Inc. | Single-body electrostatic chuck |
JP6099995B2 (ja) | 2013-01-24 | 2017-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 試験装置 |
EP2770083B1 (en) | 2013-02-20 | 2015-11-18 | University of West Bohemia in Pilsen | High-rate reactive sputtering of dielectric stoichiometric films |
US9536713B2 (en) | 2013-02-27 | 2017-01-03 | Advanced Energy Industries, Inc. | Reliable plasma ignition and reignition |
JP6165886B2 (ja) | 2013-02-28 | 2017-07-19 | 株式会社日立製作所 | 動的ストレージサービスレベル・モニタリングの管理システムおよび方法 |
KR102064914B1 (ko) | 2013-03-06 | 2020-01-10 | 삼성전자주식회사 | 식각 공정 장치 및 식각 공정 방법 |
WO2014164910A1 (en) | 2013-03-12 | 2014-10-09 | Applied Materials, Inc. | Multi zone heating and cooling esc for plasma process chamber |
WO2014164300A1 (en) | 2013-03-13 | 2014-10-09 | Applied Materials, Inc | Pulsed pc plasma etching process and apparatus |
WO2014159144A1 (en) | 2013-03-13 | 2014-10-02 | Applied Materials, Inc | Uv-assisted reactive ion etch for copper |
US9209032B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-12-08 | Tokyo Electron Limited | Electric pressure systems for control of plasma properties and uniformity |
US20140263182A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Tokyo Electron Limited | Dc pulse etcher |
US20140263181A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Jaeyoung Park | Method and apparatus for generating highly repetitive pulsed plasmas |
US8889534B1 (en) | 2013-05-29 | 2014-11-18 | Tokyo Electron Limited | Solid state source introduction of dopants and additives for a plasma doping process |
EP3005220B1 (en) | 2013-06-04 | 2019-09-04 | Eagle Harbor Technologies Inc. | Analog integrator system and method |
US9460894B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-10-04 | Lam Research Corporation | Controlling ion energy within a plasma chamber |
US9711335B2 (en) | 2013-07-17 | 2017-07-18 | Advanced Energy Industries, Inc. | System and method for balancing consumption of targets in pulsed dual magnetron sputtering (DMS) processes |
JP6441927B2 (ja) | 2013-08-06 | 2018-12-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 局部的に加熱されるマルチゾーン式の基板支持体 |
JP2015037091A (ja) | 2013-08-12 | 2015-02-23 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
US9655221B2 (en) | 2013-08-19 | 2017-05-16 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High frequency, repetitive, compact toroid-generation for radiation production |
US9053908B2 (en) * | 2013-09-19 | 2015-06-09 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for controlling substrate DC-bias and ion energy and angular distribution during substrate etching |
DE102013110883B3 (de) | 2013-10-01 | 2015-01-15 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung einer Entladung in einem Plasmaprozess |
US9721802B2 (en) | 2013-10-03 | 2017-08-01 | Applied Materials, Inc. | LED based optical source coupled with plasma source |
JP6162016B2 (ja) | 2013-10-09 | 2017-07-12 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US20150111394A1 (en) | 2013-10-23 | 2015-04-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Mechanisms for forming uniform film on semiconductor substrate |
JP6100672B2 (ja) | 2013-10-25 | 2017-03-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度制御機構、温度制御方法及び基板処理装置 |
JP6312405B2 (ja) | 2013-11-05 | 2018-04-18 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP6374647B2 (ja) | 2013-11-05 | 2018-08-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
KR102152811B1 (ko) | 2013-11-06 | 2020-09-07 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Dc 바이어스 변조에 의한 입자 발생 억제기 |
US9318304B2 (en) | 2013-11-11 | 2016-04-19 | Applied Materials, Inc. | Frequency tuning for dual level radio frequency (RF) pulsing |
US10892140B2 (en) | 2018-07-27 | 2021-01-12 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Nanosecond pulser bias compensation |
US11539352B2 (en) | 2013-11-14 | 2022-12-27 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Transformer resonant converter |
US10978955B2 (en) | 2014-02-28 | 2021-04-13 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Nanosecond pulser bias compensation |
US9960763B2 (en) | 2013-11-14 | 2018-05-01 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High voltage nanosecond pulser |
US10020800B2 (en) | 2013-11-14 | 2018-07-10 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High voltage nanosecond pulser with variable pulse width and pulse repetition frequency |
DE102013226537B4 (de) | 2013-12-18 | 2022-12-29 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Leistungsversorgungssystem mit mehreren Verstärkerpfaden sowie Verfahren zur Anregung eines Plasmas |
US9853579B2 (en) | 2013-12-18 | 2017-12-26 | Applied Materials, Inc. | Rotatable heated electrostatic chuck |
DE102013226511B4 (de) | 2013-12-18 | 2016-12-15 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Leistungsversorgungssystem und Verfahren zur Erzeugung einer Leistung |
US9101038B2 (en) | 2013-12-20 | 2015-08-04 | Lam Research Corporation | Electrostatic chuck including declamping electrode and method of declamping |
CN104752134B (zh) | 2013-12-29 | 2017-02-15 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种反应腔室及等离子体加工设备 |
JP2017507477A (ja) | 2014-01-08 | 2017-03-16 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | アモルファスカーボンフィルムの中へのイオン注入による高エッチング選択性ハードマスク材料の開発 |
US10790816B2 (en) | 2014-01-27 | 2020-09-29 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Solid-state replacement for tube-based modulators |
JP2015162266A (ja) | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
US10483089B2 (en) | 2014-02-28 | 2019-11-19 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High voltage resistive output stage circuit |
WO2015131199A1 (en) | 2014-02-28 | 2015-09-03 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Galvanically isolated output variable pulse generator disclosure |
WO2015134398A1 (en) | 2014-03-02 | 2015-09-11 | Tokyo Electron Limited | METHOD OF ENHANCING HIGH-k FILM NUCLEATION RATE AND ELECTRICAL MOBILITY IN A SEMICONDUCTOR DEVICE BY MICROWAVE PLASMA TREATMENT |
US9472410B2 (en) | 2014-03-05 | 2016-10-18 | Applied Materials, Inc. | Pixelated capacitance controlled ESC |
WO2015148490A1 (en) | 2014-03-24 | 2015-10-01 | Advanced Energy Industries, Inc. | System and method for control of high efficiency generator source impedance |
KR102222902B1 (ko) | 2014-05-12 | 2021-03-05 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 장비 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조 방법 |
JP2017143085A (ja) | 2014-06-23 | 2017-08-17 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェン膜を有する被処理体を処理する方法 |
US9544987B2 (en) | 2014-06-30 | 2017-01-10 | Advanced Energy Industries, Inc. | Frequency tuning for pulsed radio frequency plasma processing |
WO2016002547A1 (ja) | 2014-07-02 | 2016-01-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
US10121641B2 (en) | 2014-07-21 | 2018-11-06 | Lam Research Corporation | Large dynamic range RF voltage sensor and method for voltage mode RF bias application of plasma processing systems |
WO2016014138A1 (en) | 2014-07-23 | 2016-01-28 | Applied Materials, Inc. | Tunable temperature controlled substrate support assembly |
KR20160022458A (ko) | 2014-08-19 | 2016-03-02 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 장비 및 이의 동작 방법 |
JP6435135B2 (ja) | 2014-08-26 | 2018-12-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP6315809B2 (ja) | 2014-08-28 | 2018-04-25 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
US10115567B2 (en) | 2014-09-17 | 2018-10-30 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
JP6373160B2 (ja) | 2014-10-15 | 2018-08-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP6400425B2 (ja) | 2014-10-15 | 2018-10-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 多層膜をエッチングする方法 |
DE102014115139A1 (de) | 2014-10-17 | 2016-04-21 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Verfahren und Vorrichtung zur Überspannungsbegrenzung einer Wechselspannungserzeugungsanordnung |
US10102321B2 (en) * | 2014-10-24 | 2018-10-16 | Lam Research Corporation | System, method and apparatus for refining radio frequency transmission system models |
US9666447B2 (en) | 2014-10-28 | 2017-05-30 | Tokyo Electron Limited | Method for selectivity enhancement during dry plasma etching |
JP6320282B2 (ja) | 2014-12-05 | 2018-05-09 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
EP3035365A1 (en) | 2014-12-19 | 2016-06-22 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Method of detecting an arc occurring during the power supply of a plasma process, control unit for a plasma power supply, and plasma power supply |
WO2016104098A1 (ja) | 2014-12-25 | 2016-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
US20170263478A1 (en) | 2015-01-16 | 2017-09-14 | Lam Research Corporation | Detection System for Tunable/Replaceable Edge Coupling Ring |
US9673059B2 (en) | 2015-02-02 | 2017-06-06 | Tokyo Electron Limited | Method for increasing pattern density in self-aligned patterning integration schemes |
EP3054472A1 (en) | 2015-02-03 | 2016-08-10 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Arc treatment device and method therefor |
DE102015202317A1 (de) | 2015-02-10 | 2016-08-11 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Leistungsversorgungssystem für einen Plasmaprozess mit redundanter Leistungsversorgung |
US9576816B2 (en) | 2015-02-13 | 2017-02-21 | Tokyo Electron Limited | Method for roughness improvement and selectivity enhancement during arc layer etch using hydrogen |
WO2016131061A1 (en) | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Tokyo Electron Limited | Method for roughness improvement and selectivity enhancement during arc layer etch |
US9607843B2 (en) | 2015-02-13 | 2017-03-28 | Tokyo Electron Limited | Method for roughness improvement and selectivity enhancement during arc layer etch via adjustment of carbon-fluorine content |
US9530667B2 (en) | 2015-02-13 | 2016-12-27 | Tokyo Electron Limited | Method for roughness improvement and selectivity enhancement during arc layer etch using carbon |
JP6396822B2 (ja) | 2015-02-16 | 2018-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置のサセプタの電位を制御する方法 |
US9525412B2 (en) | 2015-02-18 | 2016-12-20 | Reno Technologies, Inc. | Switching circuit |
US9306533B1 (en) | 2015-02-20 | 2016-04-05 | Reno Technologies, Inc. | RF impedance matching network |
JP6449674B2 (ja) | 2015-02-23 | 2019-01-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP6424120B2 (ja) | 2015-03-23 | 2018-11-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 電源システム、プラズマ処理装置及び電源制御方法 |
US9799494B2 (en) | 2015-04-03 | 2017-10-24 | Tokyo Electron Limited | Energetic negative ion impact ionization plasma |
US9786503B2 (en) | 2015-04-08 | 2017-10-10 | Tokyo Electron Limited | Method for increasing pattern density in self-aligned patterning schemes without using hard masks |
JP6449091B2 (ja) | 2015-04-20 | 2019-01-09 | 東京エレクトロン株式会社 | スリップリング、支持機構及びプラズマ処理装置 |
JP6498022B2 (ja) | 2015-04-22 | 2019-04-10 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング処理方法 |
US9812305B2 (en) | 2015-04-27 | 2017-11-07 | Advanced Energy Industries, Inc. | Rate enhanced pulsed DC sputtering system |
US9865471B2 (en) | 2015-04-30 | 2018-01-09 | Tokyo Electron Limited | Etching method and etching apparatus |
US10017857B2 (en) | 2015-05-02 | 2018-07-10 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for controlling plasma near the edge of a substrate |
US11542927B2 (en) | 2015-05-04 | 2023-01-03 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Low pressure dielectric barrier discharge plasma thruster |
JP2016225439A (ja) | 2015-05-29 | 2016-12-28 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及び基板剥離検知方法 |
US10063062B2 (en) | 2015-06-18 | 2018-08-28 | Tokyo Electron Limited | Method of detecting plasma discharge in a plasma processing system |
US10249498B2 (en) | 2015-06-19 | 2019-04-02 | Tokyo Electron Limited | Method for using heated substrates for process chemistry control |
US9922806B2 (en) | 2015-06-23 | 2018-03-20 | Tokyo Electron Limited | Etching method and plasma processing apparatus |
US10163610B2 (en) | 2015-07-13 | 2018-12-25 | Lam Research Corporation | Extreme edge sheath and wafer profile tuning through edge-localized ion trajectory control and plasma operation |
US10373811B2 (en) | 2015-07-24 | 2019-08-06 | Aes Global Holdings, Pte. Ltd | Systems and methods for single magnetron sputtering |
US9761459B2 (en) | 2015-08-05 | 2017-09-12 | Lam Research Corporation | Systems and methods for reverse pulsing |
US9620376B2 (en) | 2015-08-19 | 2017-04-11 | Lam Research Corporation | Self limiting lateral atomic layer etch |
US9984858B2 (en) | 2015-09-04 | 2018-05-29 | Lam Research Corporation | ALE smoothness: in and outside semiconductor industry |
SG10201607880PA (en) | 2015-09-25 | 2017-04-27 | Tokyo Electron Ltd | METHOD FOR FORMING TiON FILM |
US9978606B2 (en) | 2015-10-02 | 2018-05-22 | Applied Materials, Inc. | Methods for atomic level resolution and plasma processing control |
US9741539B2 (en) | 2015-10-05 | 2017-08-22 | Applied Materials, Inc. | RF power delivery regulation for processing substrates |
US10192751B2 (en) | 2015-10-15 | 2019-01-29 | Lam Research Corporation | Systems and methods for ultrahigh selective nitride etch |
US10124492B2 (en) | 2015-10-22 | 2018-11-13 | Lam Research Corporation | Automated replacement of consumable parts using end effectors interfacing with plasma processing system |
US10062599B2 (en) | 2015-10-22 | 2018-08-28 | Lam Research Corporation | Automated replacement of consumable parts using interfacing chambers |
US20170115657A1 (en) | 2015-10-22 | 2017-04-27 | Lam Research Corporation | Systems for Removing and Replacing Consumable Parts from a Semiconductor Process Module in Situ |
US9881820B2 (en) | 2015-10-22 | 2018-01-30 | Lam Research Corporation | Front opening ring pod |
EP3975207B1 (en) | 2015-11-30 | 2023-12-20 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High voltage transformer |
JP6604833B2 (ja) | 2015-12-03 | 2019-11-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法 |
JP2019504481A (ja) | 2015-12-07 | 2019-02-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 静電チャックを使用した基板の固定と開放のための方法及び装置 |
US9997374B2 (en) | 2015-12-18 | 2018-06-12 | Tokyo Electron Limited | Etching method |
JP6385915B2 (ja) | 2015-12-22 | 2018-09-05 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
US9601319B1 (en) | 2016-01-07 | 2017-03-21 | Lam Research Corporation | Systems and methods for eliminating flourine residue in a substrate processing chamber using a plasma-based process |
US10651015B2 (en) | 2016-02-12 | 2020-05-12 | Lam Research Corporation | Variable depth edge ring for etch uniformity control |
US10699878B2 (en) | 2016-02-12 | 2020-06-30 | Lam Research Corporation | Chamber member of a plasma source and pedestal with radially outward positioned lift pins for translation of a substrate c-ring |
US10438833B2 (en) | 2016-02-16 | 2019-10-08 | Lam Research Corporation | Wafer lift ring system for wafer transfer |
US9577516B1 (en) | 2016-02-18 | 2017-02-21 | Advanced Energy Industries, Inc. | Apparatus for controlled overshoot in a RF generator |
US9966231B2 (en) | 2016-02-29 | 2018-05-08 | Lam Research Corporation | Direct current pulsing plasma systems |
JP6392266B2 (ja) | 2016-03-22 | 2018-09-19 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
US10672596B2 (en) | 2016-03-28 | 2020-06-02 | Tokyo Electron Limited | Ionized physical vapor deposition (IPVD) apparatus and method for an inductively coupled plasma sweeping source |
US20170287791A1 (en) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | Tokyo Electron Limited | Controlling dry etch process characteristics using waferless dry clean optical emission spectroscopy |
US10269566B2 (en) | 2016-04-29 | 2019-04-23 | Lam Research Corporation | Etching substrates using ale and selective deposition |
KR20170127724A (ko) | 2016-05-12 | 2017-11-22 | 삼성전자주식회사 | 플라즈마 처리 장치 |
US10304668B2 (en) | 2016-05-24 | 2019-05-28 | Tokyo Electron Limited | Localized process control using a plasma system |
US10340123B2 (en) | 2016-05-26 | 2019-07-02 | Tokyo Electron Limited | Multi-frequency power modulation for etching high aspect ratio features |
JP6689674B2 (ja) | 2016-05-30 | 2020-04-28 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
US20170358431A1 (en) | 2016-06-13 | 2017-12-14 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for controlling a voltage waveform at a substrate during plasma processing |
WO2017223118A1 (en) | 2016-06-21 | 2017-12-28 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High voltage pre-pulsing |
US11430635B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-08-30 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Precise plasma control system |
US11004660B2 (en) | 2018-11-30 | 2021-05-11 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Variable output impedance RF generator |
US10903047B2 (en) | 2018-07-27 | 2021-01-26 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Precise plasma control system |
US9852889B1 (en) | 2016-06-22 | 2017-12-26 | Lam Research Corporation | Systems and methods for controlling directionality of ions in an edge region by using an electrode within a coupling ring |
US10438797B2 (en) | 2016-09-06 | 2019-10-08 | Tokyo Electron Limited | Method of quasi atomic layer etching |
TWI680496B (zh) | 2016-09-13 | 2019-12-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 高壓縮/拉伸的翹曲晶圓上的厚鎢硬遮罩膜沉積 |
JP2018046179A (ja) | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 株式会社東芝 | 静電チャック及び半導体製造装置 |
US10320373B2 (en) | 2016-10-11 | 2019-06-11 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | RF production using nonlinear semiconductor junction capacitance |
US9872373B1 (en) * | 2016-10-25 | 2018-01-16 | Applied Materials, Inc. | Smart multi-level RF pulsing methods |
JP2018078515A (ja) | 2016-11-11 | 2018-05-17 | 東京エレクトロン株式会社 | フィルタ装置及びプラズマ処理装置 |
US10312048B2 (en) | 2016-12-12 | 2019-06-04 | Applied Materials, Inc. | Creating ion energy distribution functions (IEDF) |
EP3563646A4 (en) | 2016-12-30 | 2020-01-22 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | INDUCTIVE HIGH VOLTAGE ADDER |
US20180190501A1 (en) | 2017-01-05 | 2018-07-05 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
US10242845B2 (en) * | 2017-01-17 | 2019-03-26 | Lam Research Corporation | Near-substrate supplemental plasma density generation with low bias voltage within inductively coupled plasma processing chamber |
US20180218905A1 (en) | 2017-02-02 | 2018-08-02 | Applied Materials, Inc. | Applying equalized plasma coupling design for mura free susceptor |
US10373804B2 (en) | 2017-02-03 | 2019-08-06 | Applied Materials, Inc. | System for tunable workpiece biasing in a plasma reactor |
EP4266579A3 (en) | 2017-02-07 | 2023-12-27 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Transformer resonant converter |
US10923379B2 (en) | 2017-02-15 | 2021-02-16 | Lam Research Corporation | Methods for controlling clamping of insulator-type substrate on electrostatic-type substrate support structure |
KR20190121864A (ko) | 2017-03-17 | 2019-10-28 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 에칭 메트릭 향상을 위한 표면 개질 제어 |
EP3586441B1 (en) | 2017-03-31 | 2020-10-21 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High voltage resistive output stage circuit |
US10879044B2 (en) * | 2017-04-07 | 2020-12-29 | Lam Research Corporation | Auxiliary circuit in RF matching network for frequency tuning assisted dual-level pulsing |
JP7029340B2 (ja) | 2017-04-25 | 2022-03-03 | 東京エレクトロン株式会社 | フィルタ装置及びプラズマ処理装置 |
EP3396698A1 (en) | 2017-04-27 | 2018-10-31 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Power converter unit, plasma processing equipment and method of controlling several plasma processes |
EP3396699A1 (en) | 2017-04-27 | 2018-10-31 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Power converter unit, plasma processing equipment and method of controlling several plasma processes |
EP3396700A1 (en) | 2017-04-27 | 2018-10-31 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Power converter unit, plasma processing equipment and method of controlling several plasma processes |
US10666198B2 (en) | 2017-05-09 | 2020-05-26 | Eagle Harbor Technologies, Inc | Efficient high power microwave generation using recirculating pulses |
US10460916B2 (en) | 2017-05-15 | 2019-10-29 | Applied Materials, Inc. | Real time monitoring with closed loop chucking force control |
CN110945709B (zh) | 2017-05-30 | 2023-08-15 | 泰坦先进能源解决方案公司 | 电池寿命估计和容量恢复 |
US11289355B2 (en) | 2017-06-02 | 2022-03-29 | Lam Research Corporation | Electrostatic chuck for use in semiconductor processing |
JP6826955B2 (ja) | 2017-06-14 | 2021-02-10 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JP6832800B2 (ja) | 2017-06-21 | 2021-02-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP6865128B2 (ja) | 2017-07-19 | 2021-04-28 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
TWI788390B (zh) | 2017-08-10 | 2023-01-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於電漿處理的分佈式電極陣列 |
TWI806772B (zh) | 2017-08-17 | 2023-06-21 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 工業製造設備中特性的即時感測裝置和方法 |
JP7045152B2 (ja) | 2017-08-18 | 2022-03-31 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
KR102208429B1 (ko) | 2017-08-25 | 2021-01-29 | 이글 하버 테크놀로지스, 인코포레이티드 | 나노초 펄스를 이용한 임의의 파형 발생 |
US10714372B2 (en) | 2017-09-20 | 2020-07-14 | Applied Materials, Inc. | System for coupling a voltage to portions of a substrate |
US10763150B2 (en) | 2017-09-20 | 2020-09-01 | Applied Materials, Inc. | System for coupling a voltage to spatially segmented portions of the wafer with variable voltage |
US10510575B2 (en) | 2017-09-20 | 2019-12-17 | Applied Materials, Inc. | Substrate support with multiple embedded electrodes |
US10904996B2 (en) | 2017-09-20 | 2021-01-26 | Applied Materials, Inc. | Substrate support with electrically floating power supply |
US10811296B2 (en) | 2017-09-20 | 2020-10-20 | Applied Materials, Inc. | Substrate support with dual embedded electrodes |
KR102361417B1 (ko) | 2017-09-26 | 2022-02-09 | 어드밴스드 에너지 인더스트리즈 인코포레이티드 | 플라즈마 점화를 위한 시스템 및 방법 |
WO2019087977A1 (ja) | 2017-10-30 | 2019-05-09 | 日本碍子株式会社 | 静電チャック及びその製法 |
KR102387008B1 (ko) | 2017-11-06 | 2022-04-18 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 정전 척 어셈블리, 정전 척 및 포커스 링 |
KR20200074961A (ko) | 2017-11-16 | 2020-06-25 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 동기화된 신호 변조를 통한 플라즈마 공정 시스템 |
TW202329762A (zh) | 2017-11-17 | 2023-07-16 | 新加坡商Aes 全球公司 | 用於在空間域和時間域上控制基板上的電漿處理之系統和方法,及相關的電腦可讀取媒體 |
EP3711080B1 (en) | 2017-11-17 | 2023-06-21 | AES Global Holdings, Pte. Ltd. | Synchronized pulsing of plasma processing source and substrate bias |
TWI767088B (zh) | 2017-11-17 | 2022-06-11 | 新加坡商Aes全球公司 | 電漿處理系統,用於調變其中的電源的控制方法及相關的電漿處理控制系統 |
JP7033441B2 (ja) | 2017-12-01 | 2022-03-10 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US10811267B2 (en) | 2017-12-21 | 2020-10-20 | Micron Technology, Inc. | Methods of processing semiconductor device structures and related systems |
WO2019143474A1 (en) | 2018-01-18 | 2019-07-25 | Applied Materials, Inc. | Etching apparatus and methods |
US10269540B1 (en) | 2018-01-25 | 2019-04-23 | Advanced Energy Industries, Inc. | Impedance matching system and method of operating the same |
US11848177B2 (en) | 2018-02-23 | 2023-12-19 | Lam Research Corporation | Multi-plate electrostatic chucks with ceramic baseplates |
CN112313509A (zh) | 2018-03-08 | 2021-02-02 | 鹰港科技有限公司 | 用于结构的无损评价的精密涡流传感器 |
US11456160B2 (en) | 2018-03-26 | 2022-09-27 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
DE102018204587B4 (de) | 2018-03-26 | 2019-10-24 | TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG | Verfahren zur Zündung eines Plasmas in einer Plasmakammer und Zündschaltung |
JP7055054B2 (ja) | 2018-04-11 | 2022-04-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、プラズマ制御方法、及びプラズマ制御プログラム |
JP7061922B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-05-02 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP6910320B2 (ja) | 2018-05-01 | 2021-07-28 | 東京エレクトロン株式会社 | マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 |
CN117612918A (zh) | 2018-05-03 | 2024-02-27 | 应用材料公司 | 用于基座的rf接地配置 |
JP7061511B2 (ja) | 2018-05-10 | 2022-04-28 | 東京エレクトロン株式会社 | フィルタ装置及びプラズマ処理装置 |
US10555412B2 (en) | 2018-05-10 | 2020-02-04 | Applied Materials, Inc. | Method of controlling ion energy distribution using a pulse generator with a current-return output stage |
JP7126381B2 (ja) | 2018-05-21 | 2022-08-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
JP6846384B2 (ja) | 2018-06-12 | 2021-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の高周波電源を制御する方法 |
US10916409B2 (en) | 2018-06-18 | 2021-02-09 | Lam Research Corporation | Active control of radial etch uniformity |
JP7175239B2 (ja) | 2018-06-22 | 2022-11-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 制御方法、プラズマ処理装置、プログラム及び記憶媒体 |
JP6846387B2 (ja) | 2018-06-22 | 2021-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
US11011351B2 (en) | 2018-07-13 | 2021-05-18 | Lam Research Corporation | Monoenergetic ion generation for controlled etch |
JP7175114B2 (ja) | 2018-07-19 | 2022-11-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び電極部材 |
US11222767B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-01-11 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Nanosecond pulser bias compensation |
JP7079686B2 (ja) | 2018-07-27 | 2022-06-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法及び成膜装置 |
JP7186032B2 (ja) | 2018-07-27 | 2022-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
US11302518B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-04-12 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Efficient energy recovery in a nanosecond pulser circuit |
US10607814B2 (en) | 2018-08-10 | 2020-03-31 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | High voltage switch with isolated power |
US11532457B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-12-20 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Precise plasma control system |
JP7306886B2 (ja) | 2018-07-30 | 2023-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 制御方法及びプラズマ処理装置 |
KR20230025034A (ko) | 2018-08-10 | 2023-02-21 | 이글 하버 테크놀로지스, 인코포레이티드 | RF 플라즈마 반응기용 플라즈마 시스(sheath) 제어 |
US20200058469A1 (en) | 2018-08-14 | 2020-02-20 | Tokyo Electron Limited | Systems and methods of control for plasma processing |
US11688586B2 (en) | 2018-08-30 | 2023-06-27 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for plasma processing |
WO2020101734A1 (en) | 2018-11-14 | 2020-05-22 | Advanced Energy Industries, Inc. | Additive synthesis of interleaved switch mode power stages for minimal delay in set point tracking |
US11476145B2 (en) | 2018-11-20 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Automatic ESC bias compensation when using pulsed DC bias |
US11289310B2 (en) | 2018-11-21 | 2022-03-29 | Applied Materials, Inc. | Circuits for edge ring control in shaped DC pulsed plasma process device |
US10720305B2 (en) | 2018-12-21 | 2020-07-21 | Advanced Energy Industries, Inc. | Plasma delivery system for modulated plasma systems |
JP7320608B2 (ja) | 2019-01-08 | 2023-08-03 | イーグル ハーバー テクノロジーズ,インク. | ナノ秒パルサー回路での効率的なエネルギー回収 |
CN113169026B (zh) | 2019-01-22 | 2024-04-26 | 应用材料公司 | 用于控制脉冲电压波形的反馈回路 |
US11508554B2 (en) | 2019-01-24 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | High voltage filter assembly |
CN111524782B (zh) | 2019-02-05 | 2023-07-25 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置 |
EP3977616A4 (en) | 2019-05-24 | 2023-06-14 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | KLYSTRON ATTACK CIRCUIT |
WO2021003319A1 (en) | 2019-07-02 | 2021-01-07 | Eagle Harbor Technologies. Inc | Nanosecond pulser rf isolation |
JP2022541004A (ja) | 2019-07-12 | 2022-09-21 | エーイーエス グローバル ホールディングス, プライベート リミテッド | 単一制御型スイッチを伴うバイアス供給装置 |
WO2021062223A1 (en) | 2019-09-25 | 2021-04-01 | Eagle Harbor Technologies, Inc. | Nonlinear transmission line high voltage pulse sharpening with energy recovery |
TWI778449B (zh) | 2019-11-15 | 2022-09-21 | 美商鷹港科技股份有限公司 | 高電壓脈衝電路 |
JP7285377B2 (ja) | 2019-12-24 | 2023-06-01 | イーグル ハーバー テクノロジーズ,インク. | プラズマシステム用ナノ秒パルサrf絶縁 |
-
2018
- 2018-05-10 US US15/976,728 patent/US10555412B2/en active Active
-
2019
- 2019-04-25 US US16/394,841 patent/US10448494B1/en active Active
- 2019-04-25 US US16/394,860 patent/US10448495B1/en active Active
- 2019-05-09 KR KR1020190054386A patent/KR20190129745A/ko active Search and Examination
- 2019-05-09 JP JP2019088882A patent/JP7382155B2/ja active Active
- 2019-05-09 JP JP2019088830A patent/JP7372050B2/ja active Active
- 2019-05-09 JP JP2019088819A patent/JP7316091B2/ja active Active
- 2019-05-10 CN CN201910392379.8A patent/CN110473762B/zh active Active
- 2019-05-10 CN CN202410192697.0A patent/CN118016500A/zh active Pending
- 2019-05-28 KR KR1020190062687A patent/KR20190129773A/ko active Search and Examination
-
2020
- 2020-01-09 US US16/738,697 patent/US10791617B2/en active Active
- 2020-07-20 US US16/933,311 patent/US11284500B2/en active Active
-
2023
- 2023-07-14 JP JP2023115745A patent/JP2023145535A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012104382A (ja) | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法並びにプラズマ処理のバイアス電圧決定方法 |
JP2012216608A (ja) | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理方法 |
JP2015534212A (ja) | 2012-08-28 | 2015-11-26 | アドバンスト・エナジー・インダストリーズ・インコーポレイテッドAdvanced Energy Industries, Inc. | 切り替えモードイオンエネルギー分布システムを制御する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10555412B2 (en) | 2020-02-04 |
US20190350072A1 (en) | 2019-11-14 |
TW201948006A (zh) | 2019-12-16 |
US11284500B2 (en) | 2022-03-22 |
JP7372050B2 (ja) | 2023-10-31 |
JP2023145535A (ja) | 2023-10-11 |
CN118016500A (zh) | 2024-05-10 |
US10448494B1 (en) | 2019-10-15 |
JP2019197890A (ja) | 2019-11-14 |
JP2019197891A (ja) | 2019-11-14 |
KR20190129773A (ko) | 2019-11-20 |
US10791617B2 (en) | 2020-09-29 |
KR20190129745A (ko) | 2019-11-20 |
CN110473762A (zh) | 2019-11-19 |
US20200352017A1 (en) | 2020-11-05 |
US10448495B1 (en) | 2019-10-15 |
CN110473762B (zh) | 2024-03-05 |
JP2019197892A (ja) | 2019-11-14 |
JP7382155B2 (ja) | 2023-11-16 |
US20200154556A1 (en) | 2020-05-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7316091B2 (ja) | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 | |
CN113169026B (zh) | 用于控制脉冲电压波形的反馈回路 | |
US11462388B2 (en) | Plasma processing assembly using pulsed-voltage and radio-frequency power | |
JP2023544472A (ja) | 電圧パルスの時間領域多重化 | |
TW202301913A (zh) | 離子電流補償的設備及方法 | |
KR20230026506A (ko) | 기판 프로세싱을 위한 펄스식 전압 부스트 | |
TWI838371B (zh) | 處理基板的處理腔室與方法 | |
TWI835163B (zh) | 用於基板處理的脈衝電壓增壓 | |
TWI838453B (zh) | 用於控制脈衝電壓波形的反饋迴路 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220502 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230630 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230704 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230714 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7316091 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |