JP6832800B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6832800B2 JP6832800B2 JP2017121699A JP2017121699A JP6832800B2 JP 6832800 B2 JP6832800 B2 JP 6832800B2 JP 2017121699 A JP2017121699 A JP 2017121699A JP 2017121699 A JP2017121699 A JP 2017121699A JP 6832800 B2 JP6832800 B2 JP 6832800B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma processing
- frequency
- coil
- winding
- processing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 138
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 56
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 29
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 claims description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 230000008569 process Effects 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 16
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 3
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32577—Electrical connecting means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32715—Workpiece holder
- H01J37/32724—Temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32908—Utilities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67103—Apparatus for thermal treatment mainly by conduction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
- H01L21/6833—Details of electrostatic chucks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H1/00—Constructional details of impedance networks whose electrical mode of operation is not specified or applicable to more than one type of network
- H03H1/0007—Constructional details of impedance networks whose electrical mode of operation is not specified or applicable to more than one type of network of radio frequency interference filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2001—Maintaining constant desired temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/334—Etching
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
図1は、プラズマ処理装置の構成の一例を示す図である。実施形態に係るプラズマ処理装置1は、下部2周波印加方式の容量結合型プラズマエッチング装置として構成されており、たとえばアルミニウムまたはステンレス鋼等の金属製の円筒型のチャンバ(処理容器)10を有している。チャンバ10は接地されている。
次に、フィルタユニット54(IN),54(OUT)内の回路構成を説明する。図3は、サセプタに電力を供給する回路構成の一例を示す図である。図3には、サセプタ12に設けられる発熱体40に電力を供給するためのヒータ給電部の概略的な回路構成が示されている。本実施形態では、発熱体40の内側発熱線40(IN)および外側発熱線40(OUT)のそれぞれに対して、実質的に同一の回路構成を有する個別のヒータ給電部を接続し、内側発熱線40(IN)および外側発熱線40(OUT)の発熱量または発熱温度を独立に制御している。外側発熱線40(OUT)、および、内側発熱線40(IN)に対するヒータ給電部は、実質的に同一の回路構成であるため、以下の説明では、内側発熱線40(IN)に対するヒータ給電部の構成および作用について述べる。外側発熱線40(OUT)に対するヒータ給電部の構成および作用は、同様である。
λ=2π/(ω√(LC) ・・・・(1)
以上説明したように、本実施形態に係るプラズマ処理装置1は、プラズマ処理が行われるチャンバ10内の内側発熱線40(IN)および外側発熱線40に、内側発熱線40(IN)および外側発熱線40(OUT)を介して電気的に接続されるヒータ電源58(IN),58(OUT)を有する。プラズマ処理装置1は、内側発熱線40(IN)および外側発熱線40からヒータ電源58(IN),58(OUT)に向かって内側発熱線40(IN)および外側発熱線40(OUT)に入ってくるノイズを、内側発熱線40(IN)および外側発熱線40(OUT)上に設けたフィルタ102によって減衰または阻止している。フィルタ102は、空芯コイル104(1)と、外導体110と、可動子120とを有する。空芯コイル104は、一定の口径と一定のコイル長を有する。外導体110は、筒形とされ、空芯コイル104(1)を収容または包囲し、空芯コイル104(1)と組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する。可動子120は、フィルタ102(1)の周波数−インピーダンス特性において特定の1つまたは複数の並列共振周波数に高いまたは低い周波数領域側へシフトが生じる1つまたは複数の有効区間内に配置され、空芯コイル104(1)の各々の巻線ギャップを変更する。これにより、プラズマ処理装置1は、ノイズの周波数毎にフィルタを作り直す手間を軽減できる。
上記の実施形態では、ヒータ給電線等の電源線用のフィルタに本発明を適用した場合を例に説明した。しかし、本発明は、ヒータ給電線等の電源線用のフィルタに限定されるものでは決してなく、チャンバ内に設けられる所定の電気的部材とチャンバの外に設けられる電力系または信号系の外部回路とを電気的に接続する一対の線路または単一の線路上に設けられる任意のフィルタまたは伝送回路に適用可能である。
10 チャンバ
12 サセプタ(下部電極)
28 (プラズマ生成用)高周波電源
30 (イオン引き込み用)高周波電源
40(IN) 内側発熱線
40(OUT) 外側発熱線
54(IN),54(OUT) フィルタユニット
58(IN),58(OUT) ヒータ電源
75 制御部
75A プロセスコントローラ
75B ユーザインターフェース
75C 記憶部
100(1),100(2) 給電ライン
102,102(1),102(2) フィルタ
104(1),104(2) 空芯コイル
106(1),106(2) コンデンサ
110 外導体
120 可動子
Claims (11)
- プラズマ処理が行われる処理容器内の所定の電気的部材に線路を介して電気的に接続される電力系または信号系の外部回路を有し、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくるノイズを前記線路上に設けたフィルタによって減衰または阻止するプラズマ処理装置であって、
前記フィルタが、
一定の口径と一定のコイル長を有するコイルと、
前記コイルを収容または包囲し、前記コイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒形の外導体と、
前記コイルに対して前記コイルの長さ方向に存在する有効区間であって、前記コイルの巻線ギャップが変更されることで、前記フィルタの周波数−インピーダンス特性において特定の1つまたは複数の並列共振周波数に高いまたは低い周波数領域側へシフトが生じる1つまたは複数の前記有効区間内に配置され、前記コイルの巻線のターンごとに、それぞれ隣接するターンに対して巻線の周方向に対する配置位置を変えて設けられ、前記コイルの各々の巻線ギャップを変更する可動子と、
を有することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記可動子は、絶縁材質で形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記可動子は、前記コイルの巻線のターンごとに、巻線の周方向に対して所定の角度差で複数設けられ、ターンごとに同期して巻線ギャップを変更する動作を行う
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記可動子は、前記コイルの巻線のターンごとに、巻線の周方向に対して180°の角度差で2つ、または、巻線の周方向に対して120°の角度差で3つ設けられている
ことを特徴とする請求項3に記載のプラズマ処理装置。 - 前記可動子は、前記有効区間の両端となる巻線のターンにそれぞれ設けられている
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記可動子へ動力を伝達する動力伝達部は、セラミック系またはガラス系の材料で形成されている
ことを特徴とする請求項1から5の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - 前記プラズマ処理装置は、
前記可動子に直動機構を介して接続され、前記可動子を動作させる共に、前記可動子の位置の検出する動力部
をさらに有することを特徴とする請求項1から6の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - 前記プラズマ処理装置は、
前記ノイズの周波数、または、プラズマ処理で印加される交流電力の周波数に対応して、ノイズを減衰または阻止に適した並列共振周波数が生じる前記コイルの各々の巻線ギャップを示すギャップ情報を記憶した記憶部と、
前記記憶部に記憶されたギャップ情報に基づき、前記線路に入るノイズの周波数、または、プラズマ処理で印加される交流電力の周波数に対応した巻線ギャップとなるように前記可動子を制御する制御部と、
をさらに有することを特徴とする請求項1から7の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - 前記有効区間は、前記コイルにおいて、特定のN次(Nは自然数)の前記並列共振周波数に対してN個存在する
ことを特徴とする請求項1から8の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - 前記電気的部材は、プラズマ処理のために所定周波数の高周波を印加される高周波電極の内部または周囲に設けられる発熱体であり、
前記外部回路は、前記発熱体に発熱用の電力を供給するためのヒータ電源であり、
前記線路は、前記ヒータ電源と前記発熱体とを電気的に接続する給電ラインである、
ことを特徴とする請求項1から9の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。 - 前記電気的部材は、被処理基板を支持する載置台の中に設けられる高周波電極であり、
前記外部回路は、前記高周波電極にプラズマ処理に用いる高周波を供給するための高周波電源を含み、
前記線路上に、前記高周波電源とプラズマ負荷との間でインピーダンスの整合をとるための整合回路が設けられる、
ことを特徴とする請求項1から9の何れか1つに記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017121699A JP6832800B2 (ja) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | プラズマ処理装置 |
US16/012,959 US11011347B2 (en) | 2017-06-21 | 2018-06-20 | Plasma processing apparatus |
KR1020180070548A KR102580823B1 (ko) | 2017-06-21 | 2018-06-20 | 플라즈마 처리 장치 |
TW107121379A TWI791541B (zh) | 2017-06-21 | 2018-06-21 | 電漿處理裝置 |
CN202110199431.5A CN113013014A (zh) | 2017-06-21 | 2018-06-21 | 等离子体处理装置、基板处理装置以及滤波器装置 |
TW112100131A TW202318477A (zh) | 2017-06-21 | 2018-06-21 | 濾波器裝置、基板處理裝置及電漿處理裝置 |
CN201810645011.3A CN109104807B (zh) | 2017-06-21 | 2018-06-21 | 等离子体处理装置 |
US17/322,241 US11735392B2 (en) | 2017-06-21 | 2021-05-17 | Plasma processing apparatus |
KR1020230123191A KR20230136895A (ko) | 2017-06-21 | 2023-09-15 | 플라즈마 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017121699A JP6832800B2 (ja) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019009193A JP2019009193A (ja) | 2019-01-17 |
JP6832800B2 true JP6832800B2 (ja) | 2021-02-24 |
Family
ID=64692784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017121699A Active JP6832800B2 (ja) | 2017-06-21 | 2017-06-21 | プラズマ処理装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11011347B2 (ja) |
JP (1) | JP6832800B2 (ja) |
KR (2) | KR102580823B1 (ja) |
CN (2) | CN109104807B (ja) |
TW (2) | TWI791541B (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10555412B2 (en) | 2018-05-10 | 2020-02-04 | Applied Materials, Inc. | Method of controlling ion energy distribution using a pulse generator with a current-return output stage |
KR20210076154A (ko) | 2018-11-09 | 2021-06-23 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 프로세싱 챔버를 위한 라디오 주파수 필터 시스템 |
US11476145B2 (en) | 2018-11-20 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Automatic ESC bias compensation when using pulsed DC bias |
KR20210107716A (ko) | 2019-01-22 | 2021-09-01 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 펄스 전압 파형을 제어하기 위한 피드백 루프 |
US11508554B2 (en) | 2019-01-24 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | High voltage filter assembly |
JP6995073B2 (ja) * | 2019-03-12 | 2022-01-14 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法、プログラム |
KR102183258B1 (ko) * | 2019-04-18 | 2020-11-26 | 주식회사 티씨케이 | SiC 소재 및 이의 제조방법 |
KR102278082B1 (ko) * | 2019-05-22 | 2021-07-19 | 세메스 주식회사 | 필터 유닛과 그를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
US11239056B2 (en) * | 2019-07-29 | 2022-02-01 | Advanced Energy Industries, Inc. | Multiplexed power generator output with channel offsets for pulsed driving of multiple loads |
KR102593142B1 (ko) | 2020-05-19 | 2023-10-25 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 그의 페라이트 코어 온도 제어 방법 |
US11462388B2 (en) | 2020-07-31 | 2022-10-04 | Applied Materials, Inc. | Plasma processing assembly using pulsed-voltage and radio-frequency power |
US11361940B2 (en) * | 2020-10-13 | 2022-06-14 | Applied Materials, Inc. | Push-pull power supply for multi-mesh processing chambers |
US11901157B2 (en) | 2020-11-16 | 2024-02-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11798790B2 (en) | 2020-11-16 | 2023-10-24 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
CN112689376B (zh) * | 2021-03-15 | 2021-06-18 | 四川大学 | 一种采用压电材料的微波等离子体射流激发装置 |
US11495470B1 (en) | 2021-04-16 | 2022-11-08 | Applied Materials, Inc. | Method of enhancing etching selectivity using a pulsed plasma |
US11948780B2 (en) | 2021-05-12 | 2024-04-02 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11791138B2 (en) | 2021-05-12 | 2023-10-17 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11967483B2 (en) | 2021-06-02 | 2024-04-23 | Applied Materials, Inc. | Plasma excitation with ion energy control |
US11984306B2 (en) | 2021-06-09 | 2024-05-14 | Applied Materials, Inc. | Plasma chamber and chamber component cleaning methods |
US11810760B2 (en) | 2021-06-16 | 2023-11-07 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method of ion current compensation |
US11569066B2 (en) | 2021-06-23 | 2023-01-31 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage source for plasma processing applications |
US11776788B2 (en) | 2021-06-28 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage boost for substrate processing |
US11476090B1 (en) | 2021-08-24 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Voltage pulse time-domain multiplexing |
US11972924B2 (en) | 2022-06-08 | 2024-04-30 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage source for plasma processing applications |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4570135A (en) * | 1982-02-22 | 1986-02-11 | Elmec Corporation | Delay line |
JPS6350108A (ja) * | 1986-08-19 | 1988-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Lcフイルタ |
JP2577599B2 (ja) * | 1988-03-10 | 1997-02-05 | ティーディーケイ株式会社 | ラインフィルタの製造方法 |
JPH05175706A (ja) * | 1991-12-20 | 1993-07-13 | Murata Mfg Co Ltd | 誘電体フィルタ及びその特性調整方法 |
JP2605752Y2 (ja) * | 1992-06-01 | 2000-08-07 | 船井電機株式会社 | Lcフィルタ |
FR2747252A1 (fr) * | 1996-04-03 | 1997-10-10 | Philips Electronics Nv | Appareil comprenant au moins un dispositif d'inductance reglable |
JP2000133542A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Sony Corp | 可変インダクタ治具 |
JP2001160522A (ja) * | 1999-12-02 | 2001-06-12 | Mitsubishi Electric Corp | 空芯コイル及び空芯コイル付き回路基板の製造方法 |
KR200250402Y1 (ko) * | 2001-06-18 | 2001-11-16 | (주)창화디지트로닉스 | 고감도 자기 감응 장치 |
JP3846881B2 (ja) * | 2003-04-04 | 2006-11-15 | 日本エー・エス・エム株式会社 | プラズマ処理装置及びシリコン酸化膜を形成する方法 |
JP5007499B2 (ja) * | 2005-10-21 | 2012-08-22 | 株式会社村田製作所 | ノイズフィルタアレイ |
US7777152B2 (en) * | 2006-06-13 | 2010-08-17 | Applied Materials, Inc. | High AC current high RF power AC-RF decoupling filter for plasma reactor heated electrostatic chuck |
WO2011082238A1 (en) * | 2009-12-29 | 2011-07-07 | Synventive Molding Solutions, Inc. | Heating apparatus for fluid flow channel |
US8883024B2 (en) * | 2010-10-18 | 2014-11-11 | Tokyo Electron Limited | Using vacuum ultra-violet (VUV) data in radio frequency (RF) sources |
CN102487572B (zh) * | 2010-12-02 | 2015-06-24 | 理想能源设备(上海)有限公司 | 等离子加工装置 |
CN202231892U (zh) * | 2011-09-14 | 2012-05-23 | 周久健 | 电感线圈位移式调节物料管加热的自动调温系统 |
CN202535319U (zh) * | 2012-03-29 | 2012-11-14 | 东莞美信科技有限公司 | 网络信号滤波器 |
JP6001932B2 (ja) * | 2012-06-19 | 2016-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びフィルタユニット |
JP6081292B2 (ja) * | 2012-10-19 | 2017-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP2014090337A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 帯域可変フィルタ |
US9401264B2 (en) * | 2013-10-01 | 2016-07-26 | Lam Research Corporation | Control of impedance of RF delivery path |
JP5765400B2 (ja) * | 2013-03-15 | 2015-08-19 | Tdk株式会社 | コモンモードフィルタ |
JP6050722B2 (ja) * | 2013-05-24 | 2016-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びフィルタユニット |
JP6218650B2 (ja) | 2014-03-11 | 2017-10-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP6560909B2 (ja) * | 2015-01-19 | 2019-08-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 |
JP2017101761A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | テクノエクセル株式会社 | 電磁弁制御装置および電磁弁システム |
CN206040428U (zh) * | 2016-07-11 | 2017-03-22 | 梅州市成就电子科技有限公司 | 一种贴片电感空芯线圈绕线装置 |
-
2017
- 2017-06-21 JP JP2017121699A patent/JP6832800B2/ja active Active
-
2018
- 2018-06-20 KR KR1020180070548A patent/KR102580823B1/ko active IP Right Grant
- 2018-06-20 US US16/012,959 patent/US11011347B2/en active Active
- 2018-06-21 CN CN201810645011.3A patent/CN109104807B/zh active Active
- 2018-06-21 CN CN202110199431.5A patent/CN113013014A/zh active Pending
- 2018-06-21 TW TW107121379A patent/TWI791541B/zh active
- 2018-06-21 TW TW112100131A patent/TW202318477A/zh unknown
-
2021
- 2021-05-17 US US17/322,241 patent/US11735392B2/en active Active
-
2023
- 2023-09-15 KR KR1020230123191A patent/KR20230136895A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20180138543A (ko) | 2018-12-31 |
CN113013014A (zh) | 2021-06-22 |
US11735392B2 (en) | 2023-08-22 |
CN109104807A (zh) | 2018-12-28 |
TW201906504A (zh) | 2019-02-01 |
JP2019009193A (ja) | 2019-01-17 |
TWI791541B (zh) | 2023-02-11 |
US20210280385A1 (en) | 2021-09-09 |
KR102580823B1 (ko) | 2023-09-19 |
US20180374672A1 (en) | 2018-12-27 |
TW202318477A (zh) | 2023-05-01 |
US11011347B2 (en) | 2021-05-18 |
CN109104807B (zh) | 2021-03-05 |
KR20230136895A (ko) | 2023-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6832800B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP6027374B2 (ja) | プラズマ処理装置及びフィルタユニット | |
TWI472267B (zh) | Plasma processing device | |
JP5042661B2 (ja) | プラズマ処理装置及びフィルタユニット | |
JP5643062B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP6050722B2 (ja) | プラズマ処理装置及びフィルタユニット | |
JP6081292B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
WO2013190805A1 (ja) | プラズマ処理装置及びフィルタユニット | |
JP6138581B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5734353B2 (ja) | プラズマ処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6832800 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |