JPH05175706A - 誘電体フィルタ及びその特性調整方法 - Google Patents
誘電体フィルタ及びその特性調整方法Info
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- JPH05175706A JPH05175706A JP33838891A JP33838891A JPH05175706A JP H05175706 A JPH05175706 A JP H05175706A JP 33838891 A JP33838891 A JP 33838891A JP 33838891 A JP33838891 A JP 33838891A JP H05175706 A JPH05175706 A JP H05175706A
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- winding coil
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィルタ特性の調整を容易に行うことのでき
る誘電体フィルタ及びその特性調整方法を提供する。 【構成】 巻線コイルL1,L2を用いた誘電体フィル
タ1において、前記巻線コイルL1,L2を所定の巻線
間隔を有する粗巻巻線コイルで構成した。
る誘電体フィルタ及びその特性調整方法を提供する。 【構成】 巻線コイルL1,L2を用いた誘電体フィル
タ1において、前記巻線コイルL1,L2を所定の巻線
間隔を有する粗巻巻線コイルで構成した。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フィルタの回路素子と
して巻線コイルを用いた誘電体フィルタ及びその特性調
整方法に関するものである。
して巻線コイルを用いた誘電体フィルタ及びその特性調
整方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、整合回路や結合線路部等のインダ
クタンスとして密巻巻線コイルを用いた誘電体フィルタ
が知られている。
クタンスとして密巻巻線コイルを用いた誘電体フィルタ
が知られている。
【0003】例えば、図11に示す、1/4波長誘電体
同軸共振器θとコンデンサCとの直列回路S11〜S1
3を、マイクロストリップライン等からなる1/4波長
の伝送線路D1,D2で縦属接続した3段構成のバンド
エリミネーションフィルタ(以下、BEFという)10
においては、前記伝送線路D1,D2を、図12に示す
2個のコンデンサCpと1個のインダクタンスLsから
なるπ形LC等価回路に置換し、該インダクタンスLs
を密巻巻線コイルで構成したものが知られている。
同軸共振器θとコンデンサCとの直列回路S11〜S1
3を、マイクロストリップライン等からなる1/4波長
の伝送線路D1,D2で縦属接続した3段構成のバンド
エリミネーションフィルタ(以下、BEFという)10
においては、前記伝送線路D1,D2を、図12に示す
2個のコンデンサCpと1個のインダクタンスLsから
なるπ形LC等価回路に置換し、該インダクタンスLs
を密巻巻線コイルで構成したものが知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記密巻巻
線コイルを用いたBEF10においては、該巻線コイル
のインダクタンス値を変化させてフィルタ特性の調整は
行われてなく、このため、巻線コイルのインダクタンス
値のバラツキがフィルタ特性に影響し、フィルタ特性の
バラツキを大きくしていた。
線コイルを用いたBEF10においては、該巻線コイル
のインダクタンス値を変化させてフィルタ特性の調整は
行われてなく、このため、巻線コイルのインダクタンス
値のバラツキがフィルタ特性に影響し、フィルタ特性の
バラツキを大きくしていた。
【0005】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、フィルタ特性の調整を容易に行うことのできる
誘電体フィルタ及びその特性調整方法を提供することを
目的とする。
であり、フィルタ特性の調整を容易に行うことのできる
誘電体フィルタ及びその特性調整方法を提供することを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1記載の発明は、密巻巻線コイルを用いた誘
電体フィルタの特性調整方法において、前記密巻巻線コ
イルに隙間を設け、該密巻巻線コイルのインダクタンス
値を小さい値に変化させてフィルタ特性の調整を行うよ
うにしたものである。
に、請求項1記載の発明は、密巻巻線コイルを用いた誘
電体フィルタの特性調整方法において、前記密巻巻線コ
イルに隙間を設け、該密巻巻線コイルのインダクタンス
値を小さい値に変化させてフィルタ特性の調整を行うよ
うにしたものである。
【0007】また、請求項2記載の発明は、巻線コイル
を用いた誘電体フィルタにおいて、前記巻線コイルを所
定の巻線間隔を有する粗巻巻線コイルで構成したもので
ある。
を用いた誘電体フィルタにおいて、前記巻線コイルを所
定の巻線間隔を有する粗巻巻線コイルで構成したもので
ある。
【0008】また、請求項3記載の発明は、前記粗巻巻
線コイルの巻線間隔を変化させてフィルタ特性の調整を
行うようにしたものである。
線コイルの巻線間隔を変化させてフィルタ特性の調整を
行うようにしたものである。
【0009】
【作用】請求項1記載の発明によれば、誘電体フィルタ
は、密巻巻線コイルに隙間を設け、該密巻巻線コイルの
インダクタンス値を小さい値に変化させてフィルタ特性
の調整が行われる。
は、密巻巻線コイルに隙間を設け、該密巻巻線コイルの
インダクタンス値を小さい値に変化させてフィルタ特性
の調整が行われる。
【0010】また、請求項2及び3記載の発明によれ
ば、粗巻巻線コイルの巻線間隔を広くすることにより該
巻線コイルのインダクタンス値は小さい値に変化し、巻
線間隔を狭くすことにより巻線コイルのインダクタンス
値は大きい値に変化する。
ば、粗巻巻線コイルの巻線間隔を広くすることにより該
巻線コイルのインダクタンス値は小さい値に変化し、巻
線間隔を狭くすことにより巻線コイルのインダクタンス
値は大きい値に変化する。
【0011】従って、誘電体フィルタのフィルタ特性
は、前記粗巻巻線コイルのインダクタンス値を大小いず
れの方向にも変化させて調整される。
は、前記粗巻巻線コイルのインダクタンス値を大小いず
れの方向にも変化させて調整される。
【0012】
【実施例】図1は、本発明に係る誘電体フィルタの一実
施例の回路構成を示す図である。同図に示す誘電体フィ
ルタ1は、誘電体同軸共振器θiとコンデンサCiとを
直列接続してなる3個の直接回路Si(i=1〜3)を
コイルL1及びL2を介して縦属接続するとともに、各
接続点a〜cとアース間にそれぞれコンデンサC4〜C
6を接続した3段構成のBEFである。なお、P1は、
信号が入力される入力端、P2は、信号が出力される出
力端である。
施例の回路構成を示す図である。同図に示す誘電体フィ
ルタ1は、誘電体同軸共振器θiとコンデンサCiとを
直列接続してなる3個の直接回路Si(i=1〜3)を
コイルL1及びL2を介して縦属接続するとともに、各
接続点a〜cとアース間にそれぞれコンデンサC4〜C
6を接続した3段構成のBEFである。なお、P1は、
信号が入力される入力端、P2は、信号が出力される出
力端である。
【0013】上記誘電体同軸共振器θ1〜θ3は、例え
ばセラミックス等からなる筒状の誘電体の外周面、内周
面及び一方端面が銀や銅等の導電材料で被覆された、終
端ショートの1/4波長の同軸共振器で構成されてい
る。また、前記コンデンサC1〜C6は、例えば周知の
チップコンデンサで構成される。
ばセラミックス等からなる筒状の誘電体の外周面、内周
面及び一方端面が銀や銅等の導電材料で被覆された、終
端ショートの1/4波長の同軸共振器で構成されてい
る。また、前記コンデンサC1〜C6は、例えば周知の
チップコンデンサで構成される。
【0014】また、前記コイルL1及びL2は、図2に
示す、絶縁体3で被覆された金属線4を巻線間隔を設け
ずに螺旋状に捲回した密巻の巻線コイル2により構成さ
れ、そのインダクタンス値は、所望の値よりも大きい値
に設定されている。
示す、絶縁体3で被覆された金属線4を巻線間隔を設け
ずに螺旋状に捲回した密巻の巻線コイル2により構成さ
れ、そのインダクタンス値は、所望の値よりも大きい値
に設定されている。
【0015】なお、巻線コイル2は、左巻、右巻のいず
れでもよく、巻線21の形状も円形に限られず、三角、
四角等の矩形その他、任意の形状にすることができる。
れでもよく、巻線21の形状も円形に限られず、三角、
四角等の矩形その他、任意の形状にすることができる。
【0016】更に巻線コイル2の両リード線部22,2
3の引出方向についても特に限定はなく、取付位置との
関係で軸方向(図中、左右方向)又は軸に対する垂直方
向のいずれにも引き出すことができ、両リード線部2
2,23を同一方向にも互いに反対方向にも引き出すこ
とができる。また、巻線コイル2は空心コイルでもよ
く、棒状の磁性体に金属線4を捲回したものであっても
よい。
3の引出方向についても特に限定はなく、取付位置との
関係で軸方向(図中、左右方向)又は軸に対する垂直方
向のいずれにも引き出すことができ、両リード線部2
2,23を同一方向にも互いに反対方向にも引き出すこ
とができる。また、巻線コイル2は空心コイルでもよ
く、棒状の磁性体に金属線4を捲回したものであっても
よい。
【0017】上記構成において、誘電体フィルタ1のフ
ィルタ特性、例えば阻止帯域や減衰量等の特性は、前記
巻線コイル2の巻線21間に隙間を生じさせて微調整さ
れている。すなわち、巻線コイル2の巻線21を適当に
割り、巻線21間に隙間を設けることにより該巻線コイ
ル2のインダクタンス値を所望の値に小さく変化させて
フィルタ特性が微調整されている。
ィルタ特性、例えば阻止帯域や減衰量等の特性は、前記
巻線コイル2の巻線21間に隙間を生じさせて微調整さ
れている。すなわち、巻線コイル2の巻線21を適当に
割り、巻線21間に隙間を設けることにより該巻線コイ
ル2のインダクタンス値を所望の値に小さく変化させて
フィルタ特性が微調整されている。
【0018】図3及び図4は、上記フィルタ特性の調整
方法を説明するための図である。図3は、結合基板5に
巻線コイル2を搭載した状態を示す要部側面図であり、
図4は、該巻線コイル2を割った状態を示す図である。
なお、図示はしないが、コンデンサC1〜C6も前記結
合基板5上に構成され、該結合基板5と前記誘電体同軸
共振器θ1〜θ3とを組み合わせることにより誘電体フ
ィルタ1が構成されるようになっている。
方法を説明するための図である。図3は、結合基板5に
巻線コイル2を搭載した状態を示す要部側面図であり、
図4は、該巻線コイル2を割った状態を示す図である。
なお、図示はしないが、コンデンサC1〜C6も前記結
合基板5上に構成され、該結合基板5と前記誘電体同軸
共振器θ1〜θ3とを組み合わせることにより誘電体フ
ィルタ1が構成されるようになっている。
【0019】誘電体フィルタ1が組み立てられ、フィル
タ特性が未調整の状態では、巻線コイル2は、図3に示
すように密巻の状態にある。この状態では、巻線コイル
2のインダクタンス値が所望の値よりも大きくなってい
るので、フィルタ特性、例えば阻止帯域の中心周波数
は、目標値よりも大きい値(又は小さい値)にずれてい
る。
タ特性が未調整の状態では、巻線コイル2は、図3に示
すように密巻の状態にある。この状態では、巻線コイル
2のインダクタンス値が所望の値よりも大きくなってい
るので、フィルタ特性、例えば阻止帯域の中心周波数
は、目標値よりも大きい値(又は小さい値)にずれてい
る。
【0020】次に、前記巻線コイル2の巻線21をピン
セット等で割り、図4に示すようにコイル内の磁束の漏
れが大きくなるように巻線21間に隙間21aを生じさ
せる。これにより巻線コイル2のインダクタンス値が減
少し、上記阻止帯域の中心周波数は、目標値に近づくよ
うに変化する。従って、前記巻線コイル2の巻線21間
の隙間量を適当に調節することにより上記阻止帯域の中
心周波数は目標値に微調整される。
セット等で割り、図4に示すようにコイル内の磁束の漏
れが大きくなるように巻線21間に隙間21aを生じさ
せる。これにより巻線コイル2のインダクタンス値が減
少し、上記阻止帯域の中心周波数は、目標値に近づくよ
うに変化する。従って、前記巻線コイル2の巻線21間
の隙間量を適当に調節することにより上記阻止帯域の中
心周波数は目標値に微調整される。
【0021】なお、フィルタ特性として周波数を例に説
明したが、フィルタの通過特性や減衰特性についても同
様に調整することができる。
明したが、フィルタの通過特性や減衰特性についても同
様に調整することができる。
【0022】ところで、上記実施例では、密巻の巻線コ
イル2を用いているので、巻線コイル2のインダクタン
ス値を小さくする方向でしかフィルタ特性の調整をする
ことができないが、粗巻の巻線コイル2を用いることに
より巻線コイル2のインダクタンス値を大きくする方向
と小さくする方向の両方向に変化させてフィルタ特性の
調整をすることが可能となる。
イル2を用いているので、巻線コイル2のインダクタン
ス値を小さくする方向でしかフィルタ特性の調整をする
ことができないが、粗巻の巻線コイル2を用いることに
より巻線コイル2のインダクタンス値を大きくする方向
と小さくする方向の両方向に変化させてフィルタ特性の
調整をすることが可能となる。
【0023】図5は、粗巻の巻線コイルの一例を示す側
面図である。また、図6は、同巻線コイルの平面図であ
る。
面図である。また、図6は、同巻線コイルの平面図であ
る。
【0024】図5に示す巻線コイル2′は、絶縁体3で
被覆された金属線4を巻線21間に間隔dを設けて螺旋
状に捲回したものである。前記巻線コイル2′の各巻線
21間の間隔dは、適当な寸法であればよく、巻線コイ
ル2′を側面から見たときの各巻線間隔をd1,d3,
……,d(2n−1)とし(図5参照)、巻線コイル
2′を上側から見たときの各巻線間隔をd2,d4,…
…,d(2n)とすると(図6参照)、例えばd1=d
2=d3=……=d(2n−1)=d(2n)やd1≠
d2≠……≠d(2n−1)≠d(2n)にしてもよ
く、或いは、d1=d3=……=d(2n−1),d2
=d4=……=d(2n)にしてもよい。
被覆された金属線4を巻線21間に間隔dを設けて螺旋
状に捲回したものである。前記巻線コイル2′の各巻線
21間の間隔dは、適当な寸法であればよく、巻線コイ
ル2′を側面から見たときの各巻線間隔をd1,d3,
……,d(2n−1)とし(図5参照)、巻線コイル
2′を上側から見たときの各巻線間隔をd2,d4,…
…,d(2n)とすると(図6参照)、例えばd1=d
2=d3=……=d(2n−1)=d(2n)やd1≠
d2≠……≠d(2n−1)≠d(2n)にしてもよ
く、或いは、d1=d3=……=d(2n−1),d2
=d4=……=d(2n)にしてもよい。
【0025】また、巻線コイル2′の捲回方向や巻線2
1の形状は、上述した密巻の巻線コイル2と同様に、上
記のものに限定されるものではない。また、巻線コイル
2′の両リード線部22,23の引出方向についても特
に限定はない。
1の形状は、上述した密巻の巻線コイル2と同様に、上
記のものに限定されるものではない。また、巻線コイル
2′の両リード線部22,23の引出方向についても特
に限定はない。
【0026】上記のように粗巻の巻線コイル2′は、巻
線21間に適当な間隔dが設けられているので、各巻線
間隔dを広狭両方向に変化させることにより該巻線コイ
ル2′のインダクタンス値を大小いずれの方向にも変化
させることができる。従って、巻線コイル2′のインダ
クタンス値を大小自在に変化させることにより誘電体フ
ィルタ1のフィルタ特性を極めて容易に調整することが
できる。
線21間に適当な間隔dが設けられているので、各巻線
間隔dを広狭両方向に変化させることにより該巻線コイ
ル2′のインダクタンス値を大小いずれの方向にも変化
させることができる。従って、巻線コイル2′のインダ
クタンス値を大小自在に変化させることにより誘電体フ
ィルタ1のフィルタ特性を極めて容易に調整することが
できる。
【0027】図7、図8及び図9は、粗巻の巻線コイル
2′を用いた誘電体フィルタ1のフィルタ特性の調整方
法を説明するための図である。
2′を用いた誘電体フィルタ1のフィルタ特性の調整方
法を説明するための図である。
【0028】図7は、粗巻の巻線コイル2′のインダク
タンス値を小さい値に変化させる方法を示す図であり、
図8及び図9は、該巻線コイル2′のインダクタンス値
を大きい値に変化させる方法を示す図である。
タンス値を小さい値に変化させる方法を示す図であり、
図8及び図9は、該巻線コイル2′のインダクタンス値
を大きい値に変化させる方法を示す図である。
【0029】粗巻の巻線コイル2′のインダクタンス値
を小さい値に変化させるときは、上記密巻の巻線コイル
2′のときと同様に、巻線21を割って巻線間隔dを広
くしたり、或いは、図7(b)に示すように巻線21を
全体的に矢印A方向にねじり、各巻線21の巻線間隔d
を広くすることにより行われる。
を小さい値に変化させるときは、上記密巻の巻線コイル
2′のときと同様に、巻線21を割って巻線間隔dを広
くしたり、或いは、図7(b)に示すように巻線21を
全体的に矢印A方向にねじり、各巻線21の巻線間隔d
を広くすることにより行われる。
【0030】一方、粗巻の巻線コイル2′のインダクタ
ンス値を大きい値に変化させるときは、図8(b)に示
すように各巻線21を一方端に寄せて(B方向に寄せ
て)巻線間隔dを狭めるか、或いは、図9(b)に示す
ように各巻線21を中央の巻線21c側に寄せて(C方
向に寄せて)巻線間間隔dを狭めるように変形させる。
ンス値を大きい値に変化させるときは、図8(b)に示
すように各巻線21を一方端に寄せて(B方向に寄せ
て)巻線間隔dを狭めるか、或いは、図9(b)に示す
ように各巻線21を中央の巻線21c側に寄せて(C方
向に寄せて)巻線間間隔dを狭めるように変形させる。
【0031】なお、密巻巻線コイル2又は粗巻巻線コイ
ル2′のインダクタンス値を小さくする方法として、図
10に示すように巻線21を割った後、一部の巻線21
を上方に引っ張り上げるようにしてもよい。
ル2′のインダクタンス値を小さくする方法として、図
10に示すように巻線21を割った後、一部の巻線21
を上方に引っ張り上げるようにしてもよい。
【0032】また、前記巻線間隔dの広狭の調整は、巻
線コイル2の一部の巻線間隔dを変化させて行うように
してもよい。
線コイル2の一部の巻線間隔dを変化させて行うように
してもよい。
【0033】上記のように巻線コイル2(又は2′)を
用いた誘電体フィルタ1の当該巻線コイル2(又は
2′)を変形させ、巻線コイル2(又は2′)のインダ
クタンス値を変化させてフィルタ特性を調整するように
したので、フィルタ特性の調整作業が簡単かつ容易にな
り、調整時間の短縮や生産コストの低減を図ることがで
きる。
用いた誘電体フィルタ1の当該巻線コイル2(又は
2′)を変形させ、巻線コイル2(又は2′)のインダ
クタンス値を変化させてフィルタ特性を調整するように
したので、フィルタ特性の調整作業が簡単かつ容易にな
り、調整時間の短縮や生産コストの低減を図ることがで
きる。
【0034】なお、上記実施例は、BEFを例に説明し
たが、本発明は、構成素子としてインダクタンスを有す
るBPF、LPF等の他のフィルタ回路にも適用するこ
とができる。
たが、本発明は、構成素子としてインダクタンスを有す
るBPF、LPF等の他のフィルタ回路にも適用するこ
とができる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
密巻巻線コイルを用いた誘電体フィルタの特性調整方法
において、前記密巻巻線コイルに隙間を設け、該密巻巻
線コイルのインダクタンス値を小さい値に変化させてフ
ィルタ特性の調整を行うようにしたので、フィルタ特性
の調整作業が簡単かつ容易になり、調整時間の短縮や生
産コストの低減を図ることができる。
密巻巻線コイルを用いた誘電体フィルタの特性調整方法
において、前記密巻巻線コイルに隙間を設け、該密巻巻
線コイルのインダクタンス値を小さい値に変化させてフ
ィルタ特性の調整を行うようにしたので、フィルタ特性
の調整作業が簡単かつ容易になり、調整時間の短縮や生
産コストの低減を図ることができる。
【0036】また、巻線コイルを用いた誘電体フィルタ
において、前記巻線コイルを所定の巻線間隔を有する粗
巻巻線コイルにし、該巻線コイルの巻線間隔を変化させ
て巻線コイルのインダクタンス値を大きくしたり、小さ
くしたりすることができるようにしたので、フィルタ特
性の調整をより簡単に行うことができる。
において、前記巻線コイルを所定の巻線間隔を有する粗
巻巻線コイルにし、該巻線コイルの巻線間隔を変化させ
て巻線コイルのインダクタンス値を大きくしたり、小さ
くしたりすることができるようにしたので、フィルタ特
性の調整をより簡単に行うことができる。
【図1】本発明に係る誘電体フィルタの一実施例を示す
回路構成図である。
回路構成図である。
【図2】密巻の巻線コイルの一例を示す側面図である。
【図3】結合基板に密巻の巻線コイルを搭載した状態を
示す要部側面図である。
示す要部側面図である。
【図4】前記密巻の巻線コイルの巻線を割った状態を示
す図である。
す図である。
【図5】粗巻の巻線コイルの一例を示す側面図である。
【図6】前記粗巻の巻線コイルの平面図である。
【図7】粗巻の巻線コイルのインダクタンス値を小さい
値に変化させる方法を示す図である。(a)は変化前の
状態を示し、(b)は、変化後の状態を示す図である。
値に変化させる方法を示す図である。(a)は変化前の
状態を示し、(b)は、変化後の状態を示す図である。
【図8】粗巻の巻線コイルのインダクタンス値を大きい
値に変化させる方法を示す図である。(a)は変化前の
状態を示し、(b)は、変化後の状態を示す図である。
値に変化させる方法を示す図である。(a)は変化前の
状態を示し、(b)は、変化後の状態を示す図である。
【図9】粗巻の巻線コイルのインダクタンス値を大きい
値に変化させる他の方法を示す図である。(a)は変化
前の状態を示し、(b)は、変化後の状態を示す図であ
る。
値に変化させる他の方法を示す図である。(a)は変化
前の状態を示し、(b)は、変化後の状態を示す図であ
る。
【図10】巻線コイルのインダクタンス値を小さい値に
変化させる他の方法を示す図である。
変化させる他の方法を示す図である。
【図11】従来のBEFの回路構成の一例を示す図であ
る。
る。
【図12】1/4波長伝送線路の等価回路を示す図であ
る。
る。
1 誘電体フィルタ 2,2′ 巻線コイル 3 絶縁体 4 金属線 5 結合基板 21 巻線 22,23 リード線部 C1〜C6 コンデンサ L1,L2 コイル θ1〜θ3 誘電体同軸共振器 S1〜S3 直列回路 P1 入力端 P2 出力端
Claims (3)
- 【請求項1】 密巻巻線コイルを用いた誘電体フィルタ
の特性調整方法において、前記密巻巻線コイルに隙間を
設け、該密巻巻線コイルのインダクタンス値を小さい値
に変化させてフィルタ特性の調整を行うことを特徴とす
る誘電体フィルタの特性調整方法。 - 【請求項2】 巻線コイルを用いた誘電体フィルタにお
いて、前記巻線コイルは、所定の巻線間隔を有する粗巻
巻線コイルであることを特徴とする誘電体フィルタ。 - 【請求項3】 前記粗巻巻線コイルの巻線間隔を変化さ
せてフィルタ特性の調整を行うことを特徴とする請求項
2記載の誘電体フィルタの特性調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33838891A JPH05175706A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 誘電体フィルタ及びその特性調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33838891A JPH05175706A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 誘電体フィルタ及びその特性調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05175706A true JPH05175706A (ja) | 1993-07-13 |
Family
ID=18317689
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33838891A Pending JPH05175706A (ja) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | 誘電体フィルタ及びその特性調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05175706A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015186116A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 株式会社日立国際電気 | 帯域通過フィルタ |
CN113013014A (zh) * | 2017-06-21 | 2021-06-22 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置、基板处理装置以及滤波器装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0318104A (ja) * | 1989-06-15 | 1991-01-25 | Nomura Denki Kk | 同軸型誘電体共振装置及びそのインダクタンス調整方法 |
JPH03254201A (ja) * | 1990-03-03 | 1991-11-13 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 誘電体帯域阻止フィルタ |
-
1991
- 1991-12-20 JP JP33838891A patent/JPH05175706A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0318104A (ja) * | 1989-06-15 | 1991-01-25 | Nomura Denki Kk | 同軸型誘電体共振装置及びそのインダクタンス調整方法 |
JPH03254201A (ja) * | 1990-03-03 | 1991-11-13 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 誘電体帯域阻止フィルタ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015186116A (ja) * | 2014-03-25 | 2015-10-22 | 株式会社日立国際電気 | 帯域通過フィルタ |
CN113013014A (zh) * | 2017-06-21 | 2021-06-22 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理装置、基板处理装置以及滤波器装置 |
US20210280385A1 (en) * | 2017-06-21 | 2021-09-09 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
US11735392B2 (en) * | 2017-06-21 | 2023-08-22 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
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