JP6050722B2 - プラズマ処理装置及びフィルタユニット - Google Patents
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Description
[プラズマ処理装置全体の構成]
[フィルタユニット内の回路構成]
[フィルタユニット内の物理的構造]
[フィルタユニットの作用]
λ=2π/(ω√(LC) ・・・・(1)
一般的な分布定数線路(特に同軸線路)では線路の中心が棒状の円筒導体であるのに対して、このフィルタユニット54(IN)では円筒状の空芯ソレノイドコイルを中心導体にしている点が異なる。単位長さあたりのインダクタンスLは主にこの円筒状コイルに起因するインダクタンスが支配的になると考えられる。一方、単位長さあたりの静電容量は、コイル表面と外導体がなすコンデンサの静電容量Cで規定される。したがって、このフィルタユニット54(IN)においても、単位長さあたりのインダクタンスおよび静電容量をそれぞれL,Cとしたときに、特性インピーダンスZo=√(L/C)で与えられる分布定数線路が形成されていると考えることができる。
L2=N2×μ×t×ln(b/a)/2π ・・・・(1)
ただし、Nは巻数、μは透磁率、tは厚さ(高さ)、aは内半径、bは外半径である。
fPL=1/2π√L2(C2K+C2F) ・・・・(2)
[空芯ソレノイドコイルに関する別の実施例]
[プラズマ処理装置に関する別の実施例]
[別の実施形態又は変形例]
12 サセプタ(下部電極)
28 (プラズマ生成用)高周波電源
30 (イオン引き込み用)高周波電源
40(IN) 内側の発熱線
40(OUT) 外側の発熱線
54(IN),54(OUT) フィルタユニット
58(IN),58(OUT) ヒータ電源
80A,80B 給電ライン
82 筺体(外導体)
84A,84B フィルタ
AL1,BL1 空芯ソレノイドコイル
AC1,BC1 コンデンサ
AL2,BL2 トロイダルコイル
AC2,BC2 コンデンサ
86 棒状櫛歯部材
98 板状櫛歯部材
M,M1〜M3 櫛歯
J コイルチューブ
Claims (20)
- プラズマ処理が行われる処理容器内の所定の電気的部材に線路を介して電気的に接続される電力系または信号系の外部回路を有し、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる周波数の異なる複数の高周波のノイズを前記線路上に設けたフィルタによって減衰させ、または阻止するプラズマ処理装置であって、
前記フィルタが、
前記複数の高周波のノイズの中で、周波数の最も低い高周波を除く1つまたは複数の高周波のノイズを遮断するために、前記電気的部材側から見て初段に設けられる空芯ソレノイドコイルと、
前記空芯ソレノイドコイルの巻線間に周回方向の複数箇所で局所的に入っている絶縁性の櫛歯と、
前記周波数の最も低い高周波のノイズを遮断するために、前記空芯ソレノイドコイルと直列に接続されるコア入りコイルと、
少なくとも前記空芯ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記空芯ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒状の導体と
を有する、プラズマ処理装置。 - 前記空芯ソレノイドコイルが、軸方向において、巻線ピッチの異なる第1および第2の区間を有し、
前記櫛歯が、前記第1および第2の区間の巻線ピッチをそれぞれ規定する第1および第2の櫛歯ピッチを有する、
請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1の区間の巻線ピッチは、前記第2の区間の巻線ピッチの2倍以上または1/2以下である、請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の区間の長さは、前記第2の区間の長さの1/5以上で5倍以下である、請求項2または請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- プラズマ処理が行われる処理容器内の所定の電気的部材に線路を介して電気的に接続される電力系または信号系の外部回路を有し、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる周波数の異なる複数の高周波のノイズを前記線路上に設けたフィルタによって減衰させ、または阻止するプラズマ処理装置であって、
前記フィルタが、
前記複数の高周波のノイズの中で、周波数の最も低い高周波を除く1つまたは複数の高周波のノイズを遮断するために、前記電気的部材側から見て初段に設けられる空芯ソレノイドコイルと、
前記空芯ソレノイドコイルの第1の区間で巻線間に周回方向の複数箇所で局所的に入っている絶縁性の櫛歯と、
前記空芯ソレノイドコイルの第2の区間で巻線間を周回方向の全域で塞ぐコイルチューブと、
前記周波数の最も低い高周波のノイズを遮断するために、前記空芯ソレノイドコイルと直列に接続されるコア入りコイルと、
少なくとも前記空芯ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記空芯ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒状の導体と
を有する、プラズマ処理装置。 - 前記櫛歯は、前記空芯ソレノイドコイルの外周面に隣接して設けられ、コイル軸方向において前記空芯ソレノイドコイルと平行に延びる複数本の絶縁体からなる棒状部材の内側面に形成されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記櫛歯は、前記空芯ソレノイドコイルの内周面に隣接して設けられ、コイル軸方向において前記空芯ソレノイドコイルと平行に延びる複数本の絶縁体からなる棒状部材の外側面に形成されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記櫛歯は、前記空芯ソレノイドコイルの中に設けられ、コイル半径方向では前記空芯ソレノイドコイルの内周面に当たるように放射状に延び、コイル軸方向では前記空芯ソレノイドコイルと平行に延びる複数枚の絶縁体からなる板状部材の外側端面に形成されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- プラズマ処理が行われる処理容器内の所定の電気的部材に線路を介して電気的に接続される電力系または信号系の外部回路を有し、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる周波数の異なる複数の高周波のノイズを前記線路上に設けたフィルタによって減衰させ、または阻止するプラズマ処理装置であって、
前記フィルタが、
前記複数の高周波のノイズの中で、周波数の最も低い高周波を除く1つまたは複数の高周波のノイズを遮断するために、前記電気的部材側から見て初段に設けられる空芯ソレノイドコイルと、
前記空芯ソレノイドコイルの第2の区間で巻線間を周回方向の全域で塞ぐ第1の比誘電率を有する第1のコイルチューブと、
前記空芯ソレノイドコイルの第2の区間で巻線間を周回方向の全域で塞ぐ第2の比誘電率を有する第2のコイルチューブと、
前記周波数の最も低い高周波のノイズを遮断するために、前記空芯ソレノイドコイルと直列に接続されるコア入りコイルと、
少なくとも前記空芯ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記空芯ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒状の導体と
を有する、プラズマ処理装置。 - 前記第1の比誘電率は、前記第2の比誘電率の2倍以上または1/2以下である、請求項9に記載のプラズマ処理装置。
- 前記空芯ソレノイドコイルと前記コア入りコイルとの間の接続点と前記筒状導体との間に電気的に接続される第1のコンデンサを有する、請求項1〜10のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記コア入りコイルの前記外部回路側の端子と前記筒状導体との間に電気的に接続される第2のコンデンサを有する、請求項1〜11のいずれか一項記載のプラズマ処理装置。
- 前記コア入りコイルは、トロイダルコイルである、請求項1〜12のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記トロイダルコイルにおいて、トロイダルコアの内半径をa、外半径をb、厚さをtとすると、t≧2(b−a)である、請求項13に記載のプラズマ処理装置。
- 前記トロイダルコイルのトロイダルコアは、一定の内半径、外半径および厚さを有する単体のトロイダルコアを複数重ねている、請求項13または請求項14に記載のプラズマ処理装置。
- 前記電気的部材は、前記プラズマ処理のために用いられる単一の高周波または周波数の異なる複数の高周波を印加される高周波電極に設けられる発熱体であり、
前記外部回路は、前記発熱体に発熱用の電力を供給するためのヒータ電源であり、
前記線路は、前記ヒータ電源と前記発熱体とを電気的に接続する給電ラインである、
請求項1〜15のいずれか一項に記載のプラズマ処理装置。 - プラズマ処理が行われる処理容器内の電気的部材が前記処理容器の外に配置される外部回路に線路を介して電気的に接続されているプラズマ処理装置において、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる周波数の異なる複数の高周波のノイズを減衰させ、または阻止するために前記線路の途中に設けられるフィルタユニットであって、
前記複数の高周波のノイズの中で、周波数の最も低い高周波を除く1つまたは複数の高周波のノイズを遮断するために、前記電気的部材側から見て初段に設けられる空芯ソレノイドコイルと、
前記空芯ソレノイドコイルの巻線間に周回方向の複数箇所で局所的に入っている絶縁性の櫛歯と、
前記周波数の最も低い高周波のノイズを遮断するために、前記空芯ソレノイドコイルと直列に接続されるコア入りコイルと、
少なくとも前記空芯ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記空芯ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒状の導体と
を有するフィルタユニット。 - プラズマ処理が行われる処理容器内の第1の電極に設けられている発熱体が前記処理容器の外に配置されるヒータ電源に給電ラインを介して電気的に接続されているプラズマ処理装置において、前記発熱体から前記ヒータ電源に向かって前記給電ラインに入ってくる周波数の異なる複数の高周波のノイズを減衰させ、または阻止するために前記給電ラインの途中に設けられるフィルタユニットであって、
前記複数の高周波のノイズの中で、周波数の最も低い高周波を除く1つまたは複数の高周波のノイズを遮断するために、前記電気的部材側から見て初段に設けられる空芯ソレノイドコイルと、
前記空芯ソレノイドコイルの第1の区間で巻線間に周回方向の複数箇所で局所的に入っている絶縁性の櫛歯と、
前記空芯ソレノイドコイルの第2の区間で巻線間を周回方向の全域で塞ぐコイルチューブと、
前記周波数の最も低い高周波のノイズを遮断するために、前記空芯ソレノイドコイルと直列に接続されるコア入りコイルと、
少なくとも前記空芯ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記空芯ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒状の導体と
を有するフィルタユニット。 - プラズマ処理が行われる処理容器内の電気的部材が前記処理容器の外に配置される外部回路に線路を介して電気的に接続されているプラズマ処理装置において、前記電気的部材から前記外部回路に向かって前記線路に入ってくる周波数の異なる複数の高周波のノイズを減衰させ、または阻止するために前記線路の途中に設けられるフィルタユニットであって、
前記複数の高周波のノイズの中で、周波数の最も低い高周波を除く1つまたは複数の高周波のノイズを遮断するために、前記電気的部材側から見て初段に設けられる空芯ソレノイドコイルと、
前記空芯ソレノイドコイルの第2の区間で巻線間を周回方向の全域で塞ぐ第1の比誘電率を有する第1のコイルチューブと、
前記空芯ソレノイドコイルの第2の区間で巻線間を周回方向の全域で塞ぐ第2の比誘電率を有する第2のコイルチューブと、
前記周波数の最も低い高周波のノイズを遮断するために、前記空芯ソレノイドコイルと直列に接続されるコア入りコイルと、
少なくとも前記空芯ソレノイドコイルを収容または包囲し、前記空芯ソレノイドコイルと組み合わさって複数の周波数で並列共振をなす分布定数線路を形成する筒状の導体と
を有するフィルタユニット。 - 前記電気的部材は、前記プラズマ処理のために用いられる単一の高周波または周波数の異なる複数の高周波を印加される高周波電極に設けられる発熱体であり、
前記外部回路は、前記発熱体に発熱用の電力を供給するためのヒータ電源であり、
前記線路は、前記ヒータ電源と前記発熱体とを電気的に接続する給電ラインである、
請求項17〜19のいずれか一項に記載のフィルタユニット。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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