JP5172928B2 - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
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Description
を目的とする。
1.基板処理装置の構成
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置の概略構成図である。
このように構成された基板処理装置の動作について説明する。
既述のように、RF電源19の周波数は50MHz以上である。以下、この理由を説明する。RF電源19の周波数を50MHz以上とすることで、次の(1)、(2)の利点が生じる。
既述のように、下部電極16には、RF電圧と組み合わせ電圧パルスとが重畳して印加される。RF電圧によって、下部電極16及び上部電極13間にプラズマ14が生成される。このプラズマ14中の正イオンがウエハ15に入射し、ウエハ15が処理される。このとき、入射する正イオンの平均入射エネルギーVdcは、RF電圧に起因する成分Vdc1と負電圧パルスに起因する成分Vdc2に区分できる。
以下に示すように、RF電圧の周波数を増大させることで、実質的に単一のエネルギーピークのイオンにより、効率的かつ高精度でウエハ15を加工できる。
以下、正電圧パルスの印加の効果を説明する。先に、正電圧パルスを印加せず、負電圧パルスのみを印加する場合を説明する。
負電圧パルスに加えて、正電圧パルスを印加することで、短時間でチャージアップを低減することが可能となる。
Ie(t):電子電流とする。
本実施の形態の図2で示す電圧波形(パルス波形)を用いた場合の有効電力Pe(t)を上述の数式(1)(2)を用いて、評価する。
上述の3パターンの電圧波形を用いて前述のシミュレーションおよび数式(1)、(2)により得られた算出結果を図8に示す。図8(a)は電子加速電圧(VΔ:Vw−Vp)、(b)は電子電流、(c)は有効電力Pe(t)を示しており、それぞれ、本実施の形態にかかる負電圧パルスと正電圧パルス間に浮遊電位を用いた場合を電子加速電圧VΔ1、電子電流Ie1、有効電力P1とし、負電圧パルスと正電圧パルス間にアース電位を用いた(表3、図7)の場合を、電子加速電圧VΔ2、電子電流Ie2、有効電力P2とし、正電圧パルス無し(表2、図6)の場合を、電子加速電圧VΔ3、電子電流Ie3、有効電力P3として時間的変化を表している。
さらに、本実施の形態の条件において、浮遊電位が出力される時間(デッドタイムtdという)への依存性を考察する。図2において、t2−t3間(td)に浮遊電位が出力されるが、このデッドタイムtdの長さに依存して、電子加速電圧VΔ(Vw−Vp)、有効電力Pe(t)の値が変化する。このデッドタイムtdと電子加速電圧等との関係を図9に示す。
次に、第2の実施形態について説明する。なお、第1の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
次に、他の実施形態について述べる。
本実施の形態は、第1及び第2の実施形態で説明した装置構成のうち、図3に示すパルス電源回路21をダイオードを用いたパルス電源回路に置換したものであり、それ以外の構成は、第1及び第2の実施形態と同様である。
また、上述の第1の実施形態および第2の実施形態におけるパルス波形において、負電圧パルス、正電圧パルスの印加を短期間に複数回印加させるようにしてもよい。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。例えば、基板処理装置として、RIEの他、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置などにも適用することができる。
Claims (5)
- チャンバと、
前記チャンバ内に配置される第1の電極と、
前記チャンバ内に前記第1の電極と対向して配置され、プラズマエッチングに供される基板を保持する第2の電極と、
前記第1及び第2の電極間にプラズマを生成するために、前記第2の電極に、50MHz以上の周波数のRF電圧を印加するRF電源と、
前記第2の電極に、前記RF電圧と重畳して、負電圧パルスおよび正電圧パルスを含む電圧波形を繰り返し印加するパルス電源から成る基板処理装置を用いて、前記基板にエッチング処理を施す基板処理方法において、
前記パルス電源から負パルス電圧を印加し、続いて正パルス電圧を印加する間に浮遊電位を出力することを特徴とする基板処理方法。 - 前記パルス電源から正パルス電圧を印加し、続いて負パルス電圧を印加する間に、アース電位を出力することを特徴とする、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記パルス電源から負パルス電圧を印加し、続いて正パルス電圧を印加する間の浮遊電位の出力時間が50ns以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の基板処理方法。
- チャンバと、
前記チャンバ内に配置される第1の電極と、
前記チャンバ内に前記第1の電極と対向して配置され、プラズマエッチングに供される基板を保持する第2の電極と、
前記第1及び第2の電極間にプラズマを生成するために、前記第2の電極に、50MHz以上の周波数のRF電圧を印加するRF電源と、
前記第2の電極に、前記RF電圧と重畳して、負電圧パルスおよび正電圧パルスを含む電圧波形を繰り返し印加するパルス電源から成る基板処理装置において、
前記パルス電源が、
前記負電圧パルスのピーク電圧に対応する第1の電圧を有する第1の電源と、
前記正電圧パルスのピーク電圧に対応する第2の電圧を有する第2の電源と、
前記第1、第2の電源、およびアース電位の何れかが印加される出力端と、
前記出力端への前記第1の電源の接続状態を切り替える第1のスイッチと、
前記出力端への前記第2の電源の接続状態を切り替える第2のスイッチと、
前記出力端への前記グランド電位の接続状態を切り替える第3のスイッチと、
前記第1〜第3のスイッチを制御する切替部と、を有することを特徴とする基板処理装置。 - 前記切替部が、
前記第1のスイッチを閉状態とし、前記第2、第3のスイッチを開状態として、前記出力端に前記負電圧パルスを出力させ、
前記第1、第2、第3のスイッチを開状態として、前記出力端に浮遊電位を出力させ、
前記第2のスイッチを閉状態とし、前記第1、第3のスイッチを開状態として、前記出力端に前記正電圧パルスを出力させ、
前記第3のスイッチを閉状態とし、前記第1、第2のスイッチを開状態として、前記出力端に前記アース電位を出力させる、ことを特徴とする、
請求項4に記載の基板処理装置。
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