KR20110093954A - 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기 - Google Patents

통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기 Download PDF

Info

Publication number
KR20110093954A
KR20110093954A KR1020117018192A KR20117018192A KR20110093954A KR 20110093954 A KR20110093954 A KR 20110093954A KR 1020117018192 A KR1020117018192 A KR 1020117018192A KR 20117018192 A KR20117018192 A KR 20117018192A KR 20110093954 A KR20110093954 A KR 20110093954A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
compensation structure
substrate
light modulation
disposed
Prior art date
Application number
KR1020117018192A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101149860B1 (ko
Inventor
클라렌스 추이
제프리 비. 샘프셀
윌리엄 제이. 쿠밍스
밍-하우 퉁
Original Assignee
퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. filed Critical 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크.
Publication of KR20110093954A publication Critical patent/KR20110093954A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101149860B1 publication Critical patent/KR101149860B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/13356—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors characterised by the placement of the optical elements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)

Abstract

본 발명의 공간 광 변조기는 광 보상 구조체, 예컨대 기판과 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자의 사이에 배치되는 광 보상 구조체를 포함하며, 광 보상 구조체는 기판의 광 변조 소자가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 위치할 수 있다. 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자는 투명 기판을 통해 투과되거나 투명 기판으로부터 반사되는 광을 변조시키도록 구성된다. 본 발명의 공간 광 변조기의 제조 방법은, 투명 기판의 위에 광 보상 구조체를 형성하는 단계; 및 광 보상 구조체의 위에 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자를 형성하는 단계를 포함한다. 광 보상 구조체는 수동형 광 보상 구조체가 될 수 있다. 광 보상 구조체는 보충의 정면 광원, 확산기, 블랙 마스크, 회절형 광학 소자, 컬러 필터, 반사 방지층, 산란 소자, 미세 렌즈 어레이 및 홀로그램 막 중 하나 이상을 포함할 수 있다.

Description

통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기{SPATIAL LIGHT MODULATOR WITH INTEGRATED OPTICAL STRUCTURE}
본 발명은 간섭 변조기 등의 공간 광 변조기의 제조 및 성능을 개선하는 기술에 관한 것이다.
본 출원은, 2004년 2월 3일에 출원된 미국 가특허출원 일련번호 60/541,607호, 2004년 9월 27일에 출원된 미국 가특허출원 일련번호 60/613,482호, 2004년 9월 27일에 출원된 미국 가특허출원 일련번호 60/613,536호, 및 2004년 9월 27일에 출원된 미국 가특허출원 일련번호 60/613,542호에 대하여 우선권을 주장하며, 2005년 1월 14일에 출원된 미국 특허출원 11/036,965호의 계속 출원이다.
공간 광 변조기는 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자로 이루어진 어레이를 포함하는 디스플레이 기기이다. 이러한 공간 광 변조기의 예에는, 액정 디스플레이 및 간섭 변조기 어레이가 포함된다. 이러한 디스플레이 기기에서의 광 변조 소자(light modulating element)는, 통상적으로, 각각의 소자를 통해 반사 또는 투과되는 광의 특성을 변경함으로써, 디스플레이로 표시되는 영역을 변경하는 기능을 수행한다.
공간 광 변조기가 정교하고 복잡해짐에 따라, 현재의 제조 처리 과정에 의해서 이러한 공간 광 변조기를 제조하는 것은, 앞으로도 계속해서 어려울 것으로 예상된다. 이에 따라, 통합된 광 보상 구조체(integrated optical compensation structures)를 갖는 공간 광 변조기와 이러한 공간 광 변조기를 제조하기 위한 방법을 개발하게 되었다.
본 발명의 실시예에서는, 기판과, 이 기판의 위에 배치되어 광을 변조시키도록 구성된, 복수 개의 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자와, 광 보상 구조체를 포함하는 공간 광 변조기를 제공한다. 이 실시예에서, 광 보상 구조체는 기판과 복수 개의 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자의 사이에 배치된다. 특정의 실시예에서, 이러한 광 보상 구조체는 수동형의 광 보상 구조체이다.
본 발명의 실시예에서는, 기판과, 이 기판의 위에 배치되어 광을 변조시키도록 구성된, 복수 개의 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자와, 광 보상 구조체를 포함하는 공간 광 변조기를 제공한다. 이 실시예에서, 기판과 광 보상 구조체의 사이에는 복수 개의 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자가 배치된다. 광 보상 구조체는 컬러 필터, 블랙 마스크(black mask) 및 반사 방지층 중 적어도 하나를 포함하여 이루어진다.
본 발명의 다른 실시예에서는, 투명 기판의 위에 광 보상 구조체를 형성하는 단계와, 광 보상 구조체의 위에, 복수 개의 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자를 형성하는 단계를 포함하며, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자가 투명 기판을 통해 투과된 광을 변조시키도록 구성된, 공간 광 변조기 제조 방법을 제공한다. 특정의 실시예에서, 광 보상 구조체를 형성하는 단계는 수동형의 광 보상 구조체를 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에서는, 기판의 위에, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자를 형성하는 단계; 및 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자의 위에 광 보상 구조체를 형성하는 단계를 포함하며, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자는 광 보상 구조체를 통해 투과되는 광을 변조시키도록 구성되어 있다. 광 보상 구조체는 컬러 필터, 마스크 및 반사 방지층 중 하나 이상을 포함하여 이루어진다.
본 발명의 다른 실시예는, 투명 기판; 투명 기판의 위에 배치되고, 투명 기판을 통해 투과되는 광을 변조시키도록 구성되며, 캐비티 및 가동 판 부재를 포함하여 이루어지는, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 간섭 광 변조 소자; 및 투명 기판과 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 간섭 광 변조 소자의 사이에 배치되며, 컬러 필터 또는 확산기를 포함하여 이루어지는 하나 이상의 광 보상 구조체를 포함하는 공간 광 변조기를 제공한다.
본 발명의 다른 실시예는, 기판; 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 변조하기 위한 수단; 및 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 보상하기 위한 수단을 포함하며, 광을 보상하기 위한 수단이, 기판과 이 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 변조하기 위한 수단의 사이에 동작 가능하게 배치되는, 공간 광 변조기를 제공한다. 일부 실시예에서, 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 보상하기 위한 수단이, 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 수동형으로 보상하기 위한 수단이다.
본 발명의 다른 실시예는, 기판; 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 변조하기 위한 수단; 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 보상하기 위한 광 보상 수단을 포함하고, 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 변조하기 위한 수단이, 기판과 광 보상 수단의 사이에 동작 가능하게 배치되는, 공간 광 변조기를 제공한다. 기판을 통해 투과되거나 기판으로부터 반사되는 광을 보상하기 위한 수단은 컬러 필터, 블랙 마스크 및 반사 방지층 중 하나 이상을 구비한다.
본 발명의 다른 실시예는, 투명 기판의 위에 광 보상 구조체를 형성하는 단계; 및 광 보상 구조체의 위에 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자를 제조하는 단계를 포함하며, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자가 투명 기판을 통해 투과되는 광을 변조시키도록 구성된, 방법에 의해 제조되는 공간 광 변조기를 제공한다.
본 발명의 다른 실시예는, 기판의 위에 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자를 형성하는 단계; 및 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자의 위에 광 보상 구조체를 형성하는 단계를 포함하며, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자가 광 보상 구조체를 통해 투과되는 광을 변조시키도록 구성된, 방법에 의해 제조되는 공간 광 변조기를 제공한다. 광 보상 구조체는 컬러 필터, 블랙 마스크 및 반사 방지층 중 하나 이상을 포함하여 이루어진다.
일부의 경우에 단순화한 제조를 위해 본 명세서에 개시된 다른 실시예가 제공될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서, 디스플레이 영역은 하나의 검은색 및 백색 광 변조 소자와, 컬러 필터를 포함한다. 검은색 및 백색 광 변조 소자는 제1 반사 표면, 제2 반사 표면 및 제1 및 제2 반사 표면 사이에 배치되는 캐비티를 포함한다. 제2 반사 표면은 제1 반사 표면에 대해 이동 가능하다. 컬러 필터는 백색 광으로 조사될 때 색광(colored light)을 투과하도록 구성된다. 컬러 필터에 의해 광 변조 소자로부터 출력된 광이 필터링되도록, 컬러 필터를 광 변조 소자와 관련시켜 배치한다.
검은색 및 백색 광 변조 소자는 하나의 검은색 및 백색 간섭 변조기를 포함할 수 있다. 검은색 및 백색 광 변조 소자는 다른 검은색 및 백색 광 변조 소자와 같은 다른 광 변조 소자의 어레이에 포함될 수 있다. 추가의 컬러 필터가 어레이 내에 포함될 수 있다. 상이한 응답을 가진 컬러 필터가, 상이한 컬러(예컨대, 적색, 녹색 및 청색)를 생성하기 위해 상이한 광 변조 소자에 대해 이용될 수 있다.
다른 실시예에서, 디스플레이 영역은 제1 반사 표면, 제2 반사 표면 및 제1 반사 표면과 제2 반사 표면 사이에 배치되는 캐비티를 구비하는 복수 개의 광 변조 소자를 포함하여 이루어진다. 제2 반사 표면은 제1 반사 표면에 대해 이동 가능하다. 디스플레이 영역은, 넓은 범위의 파장으로 조사될 때 좁은 범위의 파장을 투과하도록 구성된 복수 개의 컬러 필터 소자를 더 포함한다. 컬러 필터 소자는 광 변조 소자로부터 출력되는 광을 필터링하기 위해, 광 변조 소자와 관련하여 배치된다. 제1 반사 표면은, 제2 반사 표면으로부터, 광 변조 소자가 광(예컨대, 백색 광)을 출력할 때 복수 개의 광 변조 소자의 각각에 대해 실질적으로 동일한 거리만큼 분리되어 있다.
광 변조 소자는 검은색 및 백색 광 변조 소자를 포함할 수 있다. 광 변조 소자는 간섭 변조기 또는 그외 다른 유형의 변조기를 포함할 수 있다. 광 변조 소자는, 예컨대 반사 상태인 경우, 광을 출력할 수 있다.
복수 개의 컬러 필터 소자는 상이한 컬러 출력(예컨대, 적색, 녹색, 청색)을 생성하도록 구성된 2개, 3개 또는 그 이상의 컬러 필터 소자를 포함할 수 있다. 컬러 필터 소자는, 넓은 범위의 파장으로 조사될 때, 좁은 범위의 파장을 투과시키는 재료(예컨대, 염색된 포토레지스트 등의 염색된 재료)를 포함할 수 있다. 다양한 실시예에서, 이 재료는 백색 광으로 조사될 때 색광을 투과시킬 수 있다.
다른 실시예에서, 디스플레이 영역은 복수 개의 광 변조 소자와 컬러 필터 어레이를 포함한다. 각각의 광 변조 소자는 제1 반사 표면, 제2 반사 표면, 및 제1 반사 표면과 제2 반사 표면 사이에 배치되는 캐비티를 포함한다. 제2 반사 표면은 제1 반사 표면에 대해 이동 가능하다. 컬러 필터 어레이는, 넓은 범위의 파장으로 조사될 때 좁은 범위의 파장을 투과시키도록 구성된 복수 개의 컬러 필터 소자를 포함한다. 컬러 필터 소자에 의해 광 변조 소자로부터 출력되는 광이 필터링되도록, 컬러 필터 어레이를 광 변조 소자와 관련시켜 배치한다. 제1 반사 표면은, 제2 반사 표면으로부터, 광 변조 소자가 광(예컨대, 백색 광)을 출력할 때 복수 개의 광 변조 소자의 각각에 대해 실질적으로 동일한 거리만큼 분리되어 있다. 둘 이상의 컬러 필터 소자가 상이한 컬러 출력을 생성하도록 구성된다.
본 발명의 다른 실시예는 디스플레이 기기를 제조하는 방법을 포함한다. 디스플레이 기기의 제조 방법에서, 하나의 검은색 및 백색 광 변조 소자가 제공된다. 이 검은색 및 백색 광 변조 소자에는 제1 및 제2 광학 표면이 제공되며, 제2 광학 표면은 제1 광학 표면에 대해 이동 가능하다. 광 변조 소자로부터 출력되는 광이 컬러 필터에 의해 필터링되도록, 컬러 필터를 광 변조 소자와 관련시켜 배치한다. 컬러 필터는, 백색 광으로 조사될 때, 색광을 투과하도록 구성된다.
검은색 및 백색 광 변조 소자는 검은색 및 백색 간섭 변조기를 포함할 수 있다. 검은색 및 백색 광 변조 소자는 다른 검은색 및 백색 광 변조 소자와 같은 다른 광 변조 소자의 어레이에 포함될 수 있다. 추가의 컬러 필터가 어레이 내에 포함될 수 있다. 상이한 응답을 가진 컬러 필터가, 상이한 컬러(예컨대, 적색, 녹색 및 청색)를 생성하기 위해 상이한 광 변조 소자에 대해 이용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 디스플레이 영역을 제조하는 방법을 포함한다. 디스플레이 영역의 제조 방법에 있어서, 복수 개의 광 변조 소자는 각각 제1 및 제2 광학 표면과, 이들 표면 사이에 배치되는 캐비티를 포함한다. 제1 반사 표면은, 제2 반사 표면으로부터, 광 변조 소자가 광을 출력할 때 복수 개의 광 변조 소자의 각각에 대해 실질적으로 동일한 거리만큼 분리되어 있다. 컬러 필터 소자는, 광 변조 소자로부터 출력되는 광이 각 컬러 필터 소자에 의해 필터링되도록, 광 변조 소자와 관련하여 배치된다. 다양한 실시예에서, 컬러 필터 소자는, 넓은 범위의 파장에 의해 조사될 때, 좁은 범위의 파장을 투과시키도록 구성된 재료를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 컬러 필터 소자는 어레이에 포함될 수 있다. 이 어레이는 상이한 컬러 출력을 생성하도록 구성된 둘 이상의 컬러 필터 소자를 포함할 수 있다.
광 변조 소자는 검은색 및 백색 광 변조 소자를 포함할 수 있다. 광 변조 소자는 간섭 변조기 또는 다른 유형의 변조기를 포함할 수 있다. 광 변조 소자는, 예컨대 반사 상태인 경우, 광을 출력할 수 있다.
복수 개의 컬러 필터 소자는 상이한 컬러 출력(예컨대, 적색, 녹색, 청색)을 생성하도록 구성된 2개, 3개 또는 그 이상의 컬러 필터 소자를 포함할 수 있다. 컬러 필터 소자는, 예컨대 염색된 포토레지스트 등의 염색된 재료를 포함할 수 있다. 이 재료는, 백색 광으로 조사될 때 색광을 투과시킬 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 제1 광학 표면, 제1 광학 표면에 대해 이동 가능한 제2 광학 표면을 가지며, 변조된 백색 광 신호를 생성하는 수단을 구비하는 디스플레이 기기를 포함한다. 이 디스플레이 기기는, 백색 광 신호를 색광 신호로 변환하기 위하여 변조된 백색 광 신호를 필터링하는 수단을 더 포함한다.
이들 실시예와 다른 실시예들에 대하여 이하 더 상세하게 설명한다.
본 발명의 이러한 특징 및 다른 특징들은, 본 발명의 범위를 제한하지 않으며 예시적으로 나타내는, 첨부 도면과 이하의 상세한 설명으로부터 명백해진다.
도 1a와 1b는 통상적인 간섭 변조기(미국특허 공개번호 제2002/0126364 A1의 도 1a와 1b를 참조)의 일부 특징을 나타내는 도면이다.
도 2는 통상적인 간섭 변조기(미국특허 공개번호 제2002/0126364 A1의 도 2를 참조)의 일부 특징을 나타내는 도면이다.
도 3a~3f는, 기판의, 광 변조 소자로 이루어진 어레이가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 형성된 광 보상 막을 나타내는 도면이다.
도 4는, 기판의, 광 변조 소자가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 형성된 광 보상 막[확산기(diffuser)]을 나타내는 도면이다.
도 5a~5c는 통합된 광 보상 구조체를 구비하는 공간 광 변조기의 다양한 실시예를 나타내는 도면이다.
도 6은 광을 산란시키는 통합된 광 보상 구조체를 구비하는 공간 광 변조기의 실시예를 나타내는 도면이다.
도 7a와 7b는 통합된 광 보상 구조체를 구비하는 공간 광 변조기의 다양한 실시예를 나타내는 도면이다.
도 8은 통합된 광 보상 구조체를 구비하는 공간 광 변조기를 제조하기 위한 제조 공정의 흐름에 관한 실시예를 나타내는 도면이다.
도 9는 통합된 광 보상 구조체를 구비하는 공간 광 변조기의 실시예를 나타내는 도면이다.
본 발명의 바람직한 실시예는 하나 이상의 통합된 광 보상 구조체(integrated optical compensation structure)를 포함하는 간섭 변조기에 관한 것이다. 몇몇 구성에 있어서, 광 보상 구조체는, 기판과 간섭 변조기의 광 변조 소자의 사이에 배치된다. 다른 구성에서, 광 변조 소자는 기판과 광 보상 구조체의 사이에 배치된다.
간섭 변조기에 대한 다양한 실시예가 미국특허 공개번호 2002/0126364 A1에 개시되어 있다. 도 1 및 2는 통상적인 간섭 변조기(미국특허 공개번호 2002/0126364 A1의 도 1 및 도 2와 이에 대응하는 명세서 부분을 참조)의 몇 가지 특징을 나타내는 도면이다. 도 1a 및 1b를 참조하면, 2개의 간섭 변조기 구조체(114, 116)는 각각, 공지된 다양한 기술을 이용하여, 상부(외부) 표면(103)이 에칭 처리된 파형 패턴(corrugated pattern)(104)을 가진 보조 미러(102)를 포함한다. 이 파형 패턴은 미러가 형성되어 있는 멤브레인(106)까지 형성되어 있지는 않은데, 이는 보조 미러의 내부 표면(108)의 평탄화를 유지하기 위해서이다. 도 1b는 보조 미러상의 에칭 처리된 파형 패턴(104)과, 에칭 처리 이후에도 평탄화를 유지하는 내부 표면(112)을 나타낸다. 이 파형 패턴은, 다양한 형상(예컨대, 직사각형, 피라미드형, 원추형)으로 형성될 수 있으며, 미러를 구조적으로 딱딱하게 강화시킴으로써, 재료 응력의 편차에 영향을 받지 않도록 하고, 총 질량을 감소시키며, 보조 미러가 구동될 때 생기는 변형을 방지할 수 있다.
일반적으로, 전압이 인가되어 있지 않고 비교적 안정적인 정상 상태의 전압이나 바이어스 전압도 인가되어 있지 않은 간섭 변조기는, 비활성 상태(quiescent state)를 가지는 것으로 되며, 특정의 색, 즉 비활성의 색을 반사하게 된다. 미국특허 공개번호 2002/0126364 A1에 개시된 바와 같이, 이 비활성의 색(quiescent color)은 보조 미러가 설치되는 희생용 스페이서(sacrificial spacer)의 두께에 의해 정해진다.
각각의 간섭 변조기(114, 116)는 직사각형이며, 이 변조기의 4개의 모서리 부분이 지지 아암(support arm)(예컨대, 120, 122)을 통해 4개의 포스트(118)에 결합되어 있다. 일부의 경우(미국특허 공개번호 2002/0126364 A1에 개시된 내용을 참조)에, 간섭 변조기 어레이는 선택된 일정한 바이어스 전압에서 동작할 것이다. 이러한 실시예에서, 보조 미러(102)는, 일반적으로, 어떠한 바이어스 전압도 인가되지 않은 경우에 비해, 보조 미러에 대응하는 대응하는 주요 미러(primary mirror)(128)에 인접한 비활성 위치를 유지할 것이다. 크기가 상이한 지지 아암을 구비하는 간섭 변조기를 제조함으로써, 각 간섭 변조기의 기계적인 복원력이 그 형상에 의해 결정되도록 할 수 있다. 따라서, 여러 개의 간섭 변조기에 동일한 바이어스 전압을 인가하게 되면, 각 간섭 변조기는, 지지 아암의 치수와, 이러한 지지 아암의 치수의 제어에 의해 생기는 탄성 계수(spring constant)를 제어함으로써, 비활성 위치에서 약간 벗어난(주요 미러로부터의 거리만큼) 위치를 유지할 수 있다. 지지 아암의 두께를 두껍게 하면, 그 탄성 계수가 커진다. 따라서, 여러 가지 색(예컨대, 적색, 녹색 및 청색)이 여러 개의 간섭 변조기에 의해 표시될 수 있으며, 이 경우 여러 상이한 두께를 갖는 스페이서를 구비할 필요는 없다. 그 대신에, 제조 과정 중에 설치되었다가 제거되는 단일의 스페이서를 이용할 수 있으며, 이 경우, 지지 아암을 형성하는데 이용되는 단일의 사진식각(photolithographic) 공정 중, 지지 아암의 치수를 변경함으로써, 색이 결정된다. 예를 들어, 도 2에서, 간섭 변조기(114, 116)는 동일한 바이어스 전압이 인가된 비활성 상태인 것으로 도시되어 있다. 그러나, 간섭 변조기(114)에 대한 갭 간격(126)은 간섭 변조기(116)에 대한 갭 간격(128)보다 크게 되어 있는데, 이는 간섭 변조기(114)의 각 지지 아암의 치수가 더 크기 때문이다. 간섭 변조기의 다양한 다른 예도 또한 공지되어 있다.
미국특허 공개번호 2002/0126364 A1에는, 입사각의 변경함에 따른 색 변이(color shift)를 최소화하기 위한 다양한 수동형의 광 보상 구조체(간섭 변조기 구조체의 통상적인 특징)와, 보충의 조사(illumination)를 제공하기 위한 능동형의 광 보상 구조체에 대해서도 개시하고 있다. 예를 들어, 도 3a~3f에 도시된 바와 같이(미국특허 공개번호 2002/0126364 A1의 도 6a~6f를 참조), 기판의, 광 변조 소자로 이루어진 어레이가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에, 광 보상 막이 형성될 수 있다. 이러한 광 보상 막은 여러 가지 방법으로 설계 및 제조될 수 있으며, 여러 개의 막을 서로 결합시켜서 이용할 수도 있다.
도 3a에서, 수동형의 광 보상 막(600)은, 볼륨(volume) 홀로그램 막 또는 표면 양각화 홀로그램 막(surface-relief holographic film)이다. 볼륨 홀로그램 막은, 둘 이상의 가간섭성 광원(coherent light source: 결맞은 광원이라고도 함)(예컨대, 레이저)의 교차(intersection)에 의해 생기는 간섭 패턴(interference pattern)에, 감광성 중합체(photosensitive polymer)를 노출시킴으로써 형성될 수 있다. 적절한 주파수와 빔 배향(beam orientations)을 이용하여, 막 내에 임의 주기성을 갖는 굴절률 패턴이 생성될 수 있다. 표면 양각화 홀로그램 막은, 본 기술분야에 공지된 많은 미세가공 기술을 이용하여 메탈 마스터(metal master)를 생성함으로써 형성될 수 있다. 이 메탈 마스터는 계속해서 표면 양각화 홀로그램 막을 패턴화하는데 이용된다. 이러한 표면 양각화 홀로그램 막은, 한정 가능한 원뿔 각도 내에서 광의 투과 및 반사를 보강함으로써, 축을 벗어나는(off-axis) 광(축 이탈 광)을 최소화하는데 이용될 수 있다. 축을 벗어나지 않은 축 방향(on-axis) 광에 의한 디스플레이의 색상과 밝기가 보강되고, 색 변이는 완화된다. 이는 밝기가 원뿔의 바깥쪽에서 크게 감소하기 때문이다.
도 3b에는, 기판상에 수동형의 광 보상 구조체(606)로 이루어진 어레이가 설치되어 있는 디바이스(604)에 대한 다른 구성이 도시되어 있다. 이러한 수동형의 광 보상 구조체는, 미국특허 공개번호 2002/0126364 A1에서 언급하고 있는 기술을 이용하여 제조될 수 있으며, 조안노파울로스(John D. Joannopoulos) 등이 저술한 "Photonic Crystals"란 제목의 서적에 개시되어 있는 바와 같이, 광 결정(photonic crystal)으로 할 수 있다. 이러한 수동형의 광 보상 구조체는 모든 각도에서 간섭을 보이는 3차원의 간섭 어레이가 된다. 이러한 구성에 의하면, 특정 주파수의 입사광을 적절한 색상을 갖는 픽셀까지 유도하는 기능, 특정의 입사각을 갖는 광을 새로운 입사각으로 변경하는 기능, 또는 이들을 조합한 기능을 포함하는 많은 기능을 수행할 수 있는 도파관(waveguide)을 설계하는 것이 가능하게 된다.
수동형의 광 보상 구조체의 다른 예로서, 도 3c를 참조하면, 3층의 중합체 막(610)이 부유 입자(suspended particles)를 포함하고 있다. 이 부유 입자는 미세 플레이트의 형태로 제조된, 실질적으로 단일층 또는 다층의 절연체 미러이다. 이러한 플레이트는, 예컨대 다층의 절연체 막을 중합체 시트 상에 증착함으로써 형성될 수 있으며, 중합체 시트가 용해되면서, 플레이트의 기초가 될 수 있는 막을 남기게 된다. 이후, 플레이트는 액체 플라스틱 전구체에 섞어 넣어지게 된다. 경화 공정(curing process) 중에 전기장을 인가함으로써, 이들 플레이트의 배향이, 제조 공정 동안, 고정될 수 있게 된다. 미러는, 지표각(grazing angle)의 범위에서만 반사 가능하도록 설계될 수 있다. 따라서, 미러에 대한 광의 입사각에 따라 광이 반사 또는 투과된다. 도 3c에서, 층(612)은, 중합체 막(610)에 입사하는 입사각이 큰 광(609)을 수직에 가깝도록 반사하기 위한 배향을 갖는다. 층(614)은, 입사각이 작은 광(613)도 또한 수직 경로를 갖도록 반사시킨다. 층(616)은, 입사각이 더 작은 광(615)의 경로를 변경시킨다. 이 층들은, 수직으로 입사하는 광에 대해 거의 영향을 미치지 않기 때문에, 층들이 각각 개별의 "각도 선택이 가능한 입사광 필터"로서 작용하여, 임의 배향된 입사광이 기판상에 한층 더 수직으로 입사하도록 한다. 이에 의하여, 중합체 막을 통해 나타나는 디스플레이의 색 변이를 최소화하게 된다.
도 3d에 도시된, 수동형의 광 보상 구조체의 다른 예로서, 디바이스(620) 내에 설치된 어레이에, 미세 렌즈(micro lenses)(622)가 사용된다. 각각의 렌즈(622)는 각 픽셀의 활성 영역을 효과적으로 확장시킴으로써 디스플레이의 필 팩터(fill factor)를 향상시키는데 이용될 수 있다. 이러한 방식은 그 자체만으로 또는 다른 색 변이 보상용 막과 관련하여 이용이 가능하다.
도 3e에 도시된, 능동형의 광 보상 구조체의 예로서, 디바이스(624)는 정면광(frontlighting) 어레이의 형태로 보광(supplemental lighting)을 이용한다. 이 경우, 유기 발광 물질(626), 예컨대 Alq/디아민(diamine) 구조체 및 중합체(페닐렌 비닐렌)이, 기판상에 증착 및 패턴화될 수 있다. 평면도인 도 3은, 하부에 있는 간섭 변조기 어레이에 대응하는 패턴(627)을 나타낸다. 즉, 발광 영역(626)이, 간섭 변조기 사이의 비활성 영역을 가리도록 만들어지며, 그외의 나머지 영역은 선명한 투시 시야가 확보된다. 광은 활성화되어 기판상의 간섭 변조기에 방사되고, 이어서 관찰자에게로 반사된다. 이와 반대로, 패턴화된 발광 막이 디스플레이의 백플레이트에 접착되고, 광은 서브픽셀 사이의 갭을 통하여 전방으로 투과하게 된다. 미러를 디스플레이의 정면상에 패턴화함으로써, 이 광은 다시 간섭 변조기 어레이쪽으로 반사될 수 있다. 광원을 내부 전반사에 좌우되는 막과 관련하여 주변에 장착하는 것은 또 다른 구성이다. 미국특허 번호 제6,055,090호에 개시된 간섭 변조기는 보충의 정면 광원(supplemental frontlighting source)을 포함하는 능동형의 광 보상 구조체를 구비하고 있다.
도 4는, 기판의, 광 변조 소자가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 형성되는 광 보상 막(확산기)(22)을 구비하는 간섭 변조기(10)를 나타낸다. 확산기(diffuser)(22)는 일반적으로 보상되지 않은 공간 광 변조기 어레이의 거울면 반사 형태(specular appearance)를 보상하는데, 예컨대 반사 어레이를 거울이라기보다는 종이처럼 보이게 함으로써 보상한다. 도 4에서, 광 변조 소자(8)는, 가동 판 부재 또는 요소(16), 캐비티(20), 및 지지 포스트(18)를 포함하여 이루어진다. 도 4에 도시된 바와 같이, 가동 판 부재(16)는 캐비티(20)의 위에서 지지 포스트(18)에 의해 지지된다. 광학 스택(14)은 가동 판 부재(16)에 대향하여 위치하는 캐비티(20)의 판 부재를 형성한다. 이 광학 스택(14)은 광 변조 소자(8)의 일부가 될 수 있다. 광학 스택(14)은 투명 기판(12)상에 형성되고, 확산기(22)는, 투명 기판(12)의, 광 변조 소자(8)가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 형성된다. 그 작용에 있어서, 가동 판 부재(16)는 캐비티(20)의 정면 판 부재에 평행한 평면으로 이동한다. 이 가동 판 부재(16)는, 반사율이 높고, 통상적으로 금속으로 이루어져 있다. 가동 판 부재(16)가 캐비티(20)의 반대쪽 면상에 있는 광학 스택(14)을 향해 이동함에 따라, 캐비티(20) 내에 광[통상 투명 기판(12)과 광학 스택(14)을 통해 입사함]의 자기 간섭(self-interference)이 생기게 된다. 투명 기판(12)과 광학 스택(14)을 통해 캐비티를 빠져나가는 반사된 광의 색은, 광학 스택(14)과 가동 판 부재(16) 사이의 거리를 변경함으로써 조절이 가능하다. 투명 기판(12)의 광학 스택(14)과 접촉하는 면이, 광 변조 소자(8)가 형성되는 표면이다. 확산기(22)는, 통상적으로, 광 변조 소자(8)를 제조한 후, 투명 기판(12)의 반대쪽 면에 형성 또는 부착된다.
도 4에 도시되고, 미국특허 공개번호 제2002/0126364 A1에 개시된 바와 같이, 공간 광 변조기에 대한 수동형의 광 보상 구조체는, 통상적으로, 기존의 제조 공정 흐름을 용이하게 하기 위해, 기판상의, 광 변조 소자로 이루어진 어레이가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 형성된다. 전체 디스플레이 시스템을 제조하는 과정에는, 통상적으로, 수동형의 광 보상 구조체, 간섭 변조기 구조체, 구동용 전자기기, 그래픽 제어 기능부 등과 같은, 다양한 부품을 개별적으로 형성하는 과정과, 이들 부품을 후속하는 제조 처리 과정 중에 통합하는 과정을 포함한다. 다양한 부품을 개별적으로 형성하고 이들 부품을 후속 단계에서 통합하는 과정을 포함함으로써, 복잡한 증착 공정과 미세 가공 공정에 대한 요구를 감소시켜, 광 변조 소자를 제조하는 미세한 작업을 단순하게 할 수 있다.
공간 광 변조기가 정교하고 복잡해짐에 따라, 현재의 제조 공정 흐름으로 이러한 공간 광 변조기를 제조하는 것과 관련된 어려움도 증가할 것으로 예상된다. 이에 따라, 통합된 광 보상 구조체를 갖는 공간 광 변조기와 이러한 공간 광 변조기를 제조하기 위한 방법을 개발하게 되었다. 본 발명의 실시예에서는, 통합된 광 보상 구조체, 예컨대 기판과 광 변조 소자 사이에 배치되는 광 보상 구조체, 또는 기판의, 광 변조 소자가 있는 쪽의 반대쪽 면상에 배치되는 광 보상 구조체를 갖는 공간 광 변조기를 제공한다. 이러한 광 보상 구조체는 필요에 따라 능동형 또는 수동형으로 할 수 있다. 이와 관련하여, "수동형"의 광 보상 구조체는 보충의 정면 광원이 설치되지 않는 구조체이다.
상기 설명한 바와 같이, 도 4는 기판의 광 변조 소자가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 형성되는 수동형의 광 보상 막(확산기)(22)을 나타낸다. 도 4에서, 광 변조 소자(8)는 가동 판 부재 또는 요소(16), 캐비티(20) 및 지지 포스트(18)를 구비하는 간섭 변조기이다. 광학 스택(14)은 투명 기판(12)상에 형성되며, 확산기(22)는, 기판(12)의, 광 변조 소자(8)가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 형성된다. 광학 스택(14)은 광 변조 소자(8)의 일부가 될 수 있다. 당업자라면, 몇몇 실시예에서, 간섭 변조기가 검은색 상태 또는 흡수 상태와 반사 상태 사이에서 변조가 가능하다는 것을 알 수 있다. 반사 상태(reflecting state)는 백색으로 보이는 비간섭성 상태(non-interference based state)이다. 이들 실시예에서, 백색 상태는 변조기의 간섭 특성에 특별히 좌우되지 않지만, 광 변조 소자는 간섭 특성에 의존하는 간섭 변조기의 실시예들과 유사한 구조를 갖는 것이 바람직하다. 간섭 변조기는 흡수 상태와 간섭 상태의 사이, 흡수 상태와 반사 상태의 사이, 반사 상태와 간섭 상태의 사이, 또는 2개의 상이한 간섭 상태 사이에서 변조가 가능하다.
도 5a는, 수동형의 광 보상 구조체(확산기)(41)가, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판의, 광 변조 소자가 위치하는 쪽의 반대쪽 면상에 형성된 것이 아니라, 기판(42)과 광 변조 소자(44)의 사이에 형성된, 공간 광 변조기(40)의 실시예를 나타낸다. 도 5a에 도시된 실시예에서, 광 변조 소자는 캐비티(45), 가동 판 부재(46), 광학 스택(43) 및 서포트(47)를 포함하여 이루어지는 간섭 변조기이다. 광학 스택(43)은, 가동 판 부재(46)에 대향하여 위치하는 캐비티(45)의 판 부재 위에 위치한다. 본 실시예에서, 공간 광 변조기(40)는, 기판(42)과 광학 스택(43)의 사이에, 평탄화 층(48)을 더 구비한다. 가동 판 부재(46)와 광학 스택(43)은 모두 반사성을 갖기 때문에, 공간 광 변조기(40)의 동작은, 일반적으로, 도 4에 도시된 공간 광 변조기(10)에 대해 설명한 동작과 유사하다. 통상적으로, 기판(42)은 적어도 부분적으로 광 투과성을 갖는다. 당업자라면, 광 변조 소자(44)가, 투명 기판의 위에 배치되는 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자를 구비하여 이루어지는 어레이의 형태로 구성되며, 투명 기판을 투과한 광을 변조시키도록 구성되어 있다는 것을 알 수 있을 것이다.
당업자라면, 도 5a에 도시된 확산기(41)가 기판과 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자의 사이에 배치될 수 있는 다양한 광 보상 구조체(능동형 및 수동형 모두를 포함)를 나타낸다는 것을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 능동형의 광 보상 구조체에는 보충의 정면 광원이 설치될 수 있다. 수동형의 광 보상 구조체의 예에는, 반사 방지층, 회절형 광학 소자, 광 산란용 구조체, 블랙 마스크, 컬러 필터, 미세 렌즈 어레이, 홀로그램 막(예컨대, 투명 기판을 투과하는 광의 입사각에 대해 반사된 색의 변이를 완화시킴), 또는 이들의 조합이 포함된다. 도 5에서는 광 변조 소자(44)가 간섭 변조기를 포함하고 있지만, 그외 다른 공간 광 변조기가 사용될 수도 있다.
도 5b는 수동형의 광 보상 구조체(블랙 마스크)(32)가 투명 기판(12)과 반사 소자(31)의 사이에 배치된, 공간 광 변조기(33)의 실시예를 나타낸다. 반사 소자는 광학 스택이 될 수 있다. 도 5b에 도시된 블랙 마스크(32) 등의 블랙 마스크는, 공간 광 변조기 구조체의, 관찰자에게 보이지 않도록 하기 위한 부분을 가리기 위한 것으로 이용될 수 있다. 하나 또는 그 이상의 광 변조 소자(예컨대, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자)는, 도면을 명료하게 나타내기 위해 도 5b에서는 생략되어 있지만, 이러한 광 변조 소자는, 투명 기판(12)상에 배치되며, 투명 기판(12)을 통해 투과되는 광을 변조시키도록 구성되어 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 도 5b의 광 변조 소자는, 도 5a와 관련하여 상기 설명한 바와 같이, 반사 소자(31)의 위에 배치된 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자를 구비하여 이루어질 수 있다. 공간 광 변조기(33)는, 도 5b에 도시된 바와 같이, 예컨대 블랙 마스크(32)와 반사 소자(31)의 사이에, 평탄화 층(30)을 포함할 수 있다.
도 5c는 수동형의 광 보상 구조체[컬러 필터 소자(34, 36, 38)를 포함]가 투명 기판(12)과 반사 소자(39)의 사이에 배치된, 공간 광 변조기(37)의 실시예를 나타낸다. 도 5c에 도시된 바와 같이, 반사 소자(39)는 광학 스택이 될 수 있다. 도시된 실시예에서, 컬러 필터 소자(34, 36, 38)는 각각 적색, 녹색 및 청색이지만, 당업자라면 다른 색을 선택할 수 있으며, 이에 따라 공간 광 변조기는 원하는 색상을 생성할 수 있다. 도 5c에 도시된 바와 같이, 하나 또는 그 이상의 광 변조 소자(예컨대, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자)는, 도면을 명료하게 나타내기 위해 도 5c에서는 생략되어 있지만, 이러한 광 변조 소자는, 투명 기판(12)상에 배치되며, 투명 기판(12)을 통해 투과되는 광을 변조시키도록 구성되어 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 도 5c의 광 변조 소자는, 도 5a와 관련하여 상기 설명한 바와 같이, 광학 스택의 위에 배치된 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자를 구비하여 이루어질 수 있다. 공간 광 변조기(37)는, 도 5c에 도시된 바와 같이, 예컨대 컬러 필터 소자(34, 36, 38)와 광학 스택(39)의 사이에 평탄화 층(30)을 포함할 수 있다.
검은색과 백색만을 만들어내는 간섭 변조기는, 컬러 필터와 조합하여, 색광(colored light)을 생성하는데 이용될 수 있다. 간섭 변조기는 캐비티의 사이즈를 변경함으로써 다양한 색을 생성하도록 구성될 수 있다. 그러나, 캐비티의 사이즈를 변경하기 위해서, 제조 공정을 변경하는 과정, 예컨대 적색광을 생성하는 간섭 변조기에 대해서가 아니라 녹색광을 생성하는 간섭 변조기에 대해 상이한 사이즈의 캐비티를 형성하는 과정을 포함할 수 있다. 검은색 및 백색 간섭 변조기를 컬러 필터와 조합하여 이용하게 되면 제조 공정을 실질적으로 단순화할 수 있다. 도 5c에 도시된 바와 같은 간섭 변조기에 컬러 필터를 통합함으로써, 제조 공정에서의 다른 개선 사항을 구현할 수 있다.
도 6은, 수동형의 광 보상 구조체(105)[산란 소자(110)를 구비하는 평탄화 층]가 투명 기판(115)과 광 변조 소자(120)의 사이에 배치되는, 공간 광 변조기(110)의 실시예를 나타낸다. 도 6에 도시된 실시예에서, 광 변조 소자(120)는, 캐비티(130), 가동 판 부재(125) 및 광학 스택(135)을 포함하는 간섭 변조기이다. 광학 스택(135)은 가동 판 부재(125)와 대향하여 위치하는 캐비티(130)의 판 부재 상에 위치한다. 가동 판 부재(125)와 광학 스택(135)은 반사성을 갖기 때문에[광학 스택(135)은 부분적으로 반사성을 가짐], 공간 광 변조기(100)의 동작은, 도 4에 도시된 공간 광 변조기(10)에 대해 설명한 동작과 대체로 유사하다. 광(140)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 가동 판 부재(125)에 형성된 슬롯(150)을 통과하고, 산란 소자(110)로부터 반사되는데, 산란 소자는 광(140)을 가동 판 부재(125)로 다시 산란시키고[일부의 경우에는 산란 소자(110)로 다시 입사하게 됨], 결국에는 투명 기판(115)을 통과하고 외부로 방출(160, 165)된다. 산란 소자(110)는 광(140)을 랜덤하게 산란시키는 형태를 갖는 것이 바람직하다. 도 6에는, 명료하게 나타내기 위해, 단일의 산란 소자(110)와 단일의 슬롯(150)만이 도시되어 있지만, 공간 광 변조기(100)는 복수 개의 산란 소자 및 슬롯을 구비할 수 있으며, 산란된 광을 원하는 양만큼 제공하도록 배치될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
도 7a 및 7b는 다른 조합을 가진 통합된 광 보상 구조체를 구비하는 공간 광 변조기의 실시예를 나타낸다. 도 7a는 수동형 광 보상 구조체[컬러 필터 소자(34)와 블랙 마스크(32)를 포함]가 투명 기판(12)과 광학 스택(61)의 사이에 배치되는, 공간 광 변조기(60)의 실시예를 나타낸다. 도 7b는, 수동형의 제1 광 보상 구조체[컬러 필터 소자(40)와 블랙 마스크(32)를 포함]와 수동형의 제2 광 보상 구조체[확산기(26)을 포함]가 투명 기판(12)과 광학 스택(63)의 사이에 배치되는, 공간 광 변조기(62)의 실시예를 나타낸다. 도 5b와 5c에서와 같이, 도 7a 및 7b에서도, 명료하게 나타내기 위해, 하나 또는 그 이상의 광 변조 소자(예컨대, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자)가 생략되어 있지만, 이러한 광 변조 소자는, 투명 기판(12)상에 배치되며, 투명 기판을 통해 투과되는 광을 변조시키도록 구성되어 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 공간 광 변조기(60, 62)는, 도 7a에 도시된 바와 같이, 예컨대 수동형의 광 보상 구조체[컬러 필터 소자(34)와 블랙 마스크(32)를 포함]와 광학 스택(61)의 사이에, 또는 도 7b에 도시된 바와 같이 수동형의 제1 광 보상 구조체와 제2 광 보상 구조체의 사이에, 평탄화 층(30)을 포함할 수 있다. 공간 광 변조기는, 도 7b에 도시된 바와 같이, 수동형의 제1 광 보상 구조체[컬러 필터 소자(40)와 블랙 마스크(32)를 포함]와 광학 스택(63)의 사이에, 추가의 평탄화 층, 예컨대 평탄화 층(35)을 포함할 수 있다.
공간 광 변조기는 하나 이상의 기능을 수행하는 광 보상 구조체(예컨대, 도 7a에 도시된 바와 같은 컬러 필터와 블랙 마스크)를 포함할 수 있으며, 및/또는 광 보상 구조체는 평탄화 층(예컨대, 도 7b에 도시된 것)에 의해 서로 임의로 분리된 다중의 층을 포함할 수 있다. 당업자라면, "광 보상 구조체"(optical compensation structure)라는 용어가 특정의 기능을 갖는 구조체[예컨대, 확산막(26)], 여러 기능을 갖는 층[예컨대, 컬러 필터 소자(34)와 블랙 마스크(32)를 포함하는 층] 또는 도 7b에 도시된 것과 같은 하나 이상의 기능을 갖는 여러 층(평탄화 층을 선택적으로 포함할 수 있음)을 의미하는데 사용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 공간 광 변조기는 능동형 및/또는 수동형의 광 보상 구조체, 예컨대 블랙 마스크 및 컬러 필터의 조합, 블랙 마스크 및 확산기의 조합, 컬러 필터 및 확산기의 조합, 블랙 마스크, 컬러 필터 및 확산기 등의 임의의 조합을 포함하여 이루어질 수 있다. 투명 기판을 통해 투과되는 광을 보상하기 위한 수단은, 본 명세서에 개시된 바와 같은 광 보상 구조체를 포함한다.
광 보상 구조체를 포함하는 공간 광 변조기는, 공간 광 변조기를 제조하기 위한 공정에 광 보상 구조체의 제조 공정을 통합함으로써 제조될 수 있다. 이러한 공정의 예를 도 8에 나타낸다. 이 공정은, 단계 50에서, 기판의 설치로 시작된다. 통상적으로, 기판은 유리, 플라스틱 또는 그외 다른 투명 기판이다. 당업자라면, 본 명세서에서 사용되는 "투명"이라는 용어는, 공간 광 변조기의 동작 파장에 대해 실질적으로 투과성을 갖는 물질을 포함하는 의미로서 사용하고 있기 때문에, 투명 기판이 광의 모든 파장을 투과하는 성질을 가질 필요는 없으며, 공간 광 변조기의 동작 파장에서 광의 일부를 흡수할 수도 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 투명 기판은 필요에 따라 특정 기기의 경우에 채색되어 있거나 및/또는 극성을 갖도록 할 수 있다. 따라서, 기판의 투명도와 반사율은, 요구되는 구성 및 기능에 따라 변경이 가능하다. 일부 실시예에서, 기판은 적어도 부분적으로 투명하며 실질적으로 투명하게 될 수 있다. 다른 실시예에서, 기판은 적어도 부분적으로 반사성을 가지며 실질적으로 반사성을 갖도록 할 수 있다.
도 8에 도시된 공정은, 단계 52로 진행하여 광 보상 구조체를 형성한다. 어떤 광 보상 구조체인지에 따라, 광 보상 구조체의 제조에 이용되는 재료와 방법이 달라질 수 있다. 예를 들어, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 복수 개의 광 변조 소자와 호환 가능한 기술과 방법을 이용하여, 예컨대, 스핀 코팅법 및/또는 화학 증착법에 의해 광 보상 구조체를 제조하는 것이 일반적이다. 예를 들어, 산란 소자가 분산되어 있는 중합체 또는 중합체 용액을 이용하여 기판을 스핀 코팅함으로써 확산기가 형성될 수 있다. 예를 들어, 중합체는 폴리이미드(polyimide)가 될 수 있으며, 산란 소자는 미세 유리 비드가 될 수 있다. 컬러 필터 및 블랙 마스크는 공지된 포토레지스트 증착 및 마스킹 기술을 이용하여, 기판상에 형성된, 적절하게 염색된 포토레지스트 중합체가 될 수 있다. 블랙 마스크는, 공지된 증착 및 마스킹 기술을 이용하여 기판상에 형성된, 블랙 크롬이라고도 알려져 있는 크롬 옥사이드(chrome oxide)와 같은 무기 재료(inorganic materials)가 될 수 있다.
도 8에 도시된 공정은, 단계 54에서, 평탄화 층이 증착된다. 하나 또는 그 이상의 평탄화 층은 통상적으로 중합체, 예컨대 폴리이미드이며, 공지된 증착 및 마스킹 기술을 이용하여 증착될 수 있다. 평탄화 층의 증착은 선택적이지만, 후속하는 공정 단계에서 적절한 기판을 제공하기 위해서는 평탄화 층을 증착하는 것이 바람직한 경우도 있다. 도 8에 도시된 공정은, 단계 56에서, 광 보상 구조체와 평탄화 층(이 층을 포함하는 경우에)의 위에, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자(예컨대, 간섭 변조기 소자)를 형성한다. 간섭 변조기는, 일반적으로, 예컨대 미국특허 제5,835,255호, 제6,055,090호 및 미국특허 공개번호 2002/0126364 A1에 개시된 바와 같이, 박막 증착 처리 과정을 이용하여 제조된다. 이 공정의 변형예는, 도 8에 도시된 바와 같이, 단계 58에서 추가의 평탄화 층을 형성하는 공정과, 이어서 단계 59에서 추가의 광 보상 구조체를 형성하는 공정을 포함한다. 단계 59의 공정 이후, 공정은, 추가의 평탄화 층과 광 보상 구조체를 형성하기 위한 단계 58 및 단계 59로 복귀하거나, 평탄화 층 및 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자를 형성하기 위한 단계 54 및 단계 56으로 진행하게 된다. 당업자라면, 도 8에 도시된 공정 또는 그 변형예가, 도 5~7에 도시된 공간 광 변조기를 포함하여, 본 명세서에서 개시하고 있는 공간 광 변조기를 형성하는데 이용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 투명 기판을 통해 투과되는 광을 변조하기 위한 수단은 간섭 변조기와 액정 디스플레이를 포함한다.
도 9는, 광 변조 소자(205)가 기판(210)과 광 보상 구조체(215)의 사이에 배치되는, 공간 광 변조기(200)의 실시예를 나타낸다. 도 9에 도시된 실시예에서, 광 변조 소자(205)는, 캐비티(220), 가동 판 부재(225), 광학 스택(230) 및 서포트(235)를 포함하여 이루어지는 간섭 변조기이다. 광학 스택(230)은, 가동 판 부재(225)에 대향하여 위치하는 캐비티(220)의 판 부재상에 위치한다. 광 보상 구조체(215)는, 본 명세서에 개시된 것이면 어떤 광 보상 구조체라도 가능하며, 예를 들어, 보충의 정면 광원을 제공하는 능동형의 광 보상 구조체, 및/또는 예컨대 반사 방지층, 회절형 광학 소자, 광 산란용 구조체, 블랙 마스크, 컬러 필터, 확산기, 미세 렌즈 어레이, 기판을 투과하는 광의 입사각에 대한 반사된 색의 변이를 완화시키는 홀로그램 막, 또는 이들의 조합에 해당하는 수동형의 광 보상 구조체가 될 수 있다. 도 9에서, 광 변조 소자(205)가 간섭 변조기를 포함하여 이루어져 있지만, 다른 공간 광 변조기를 이용하는 것도 가능하다.
광 변조 소자가 기판과 광 보상 구조체(예컨대, 도 9에 도시된 것)의 사이에 배치되는, 공간 광 변조기는, 도 8에 도시된 것과 유사한 공정에 의해 제조될 수 있지만, 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자가 기판상에 형성되며, 이어서 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자의 위에 광 보상 구조체가 형성되는 공정(예컨대, 도 8의 단계 56이 단계 50을 수행하고 단계 52를 수행하기 전에 수행됨)이, 도 8에 도시된 공정과 상이하다. 선택적으로, 평탄화 층은 개별적으로 어드레싱할 수 있는 광 변조 소자의 위에 형성될 수 있으며, 이어서 이 평탄화 층의 위에 광 보상 구조체를 형성할 수 있다.
이상의 설명에서는 여러 가지 실시예에 적용된 본 발명의 신규한 특징을 보여주고, 설명하고 또 지적하였지만, 본 발명의 사상으로부터 이탈하지 않는 범위 내에서 당업자가 예시된 기기 또는 공정의 상세한 구성이나 형태로부터 다양하게 생략하고 대체하고 변경하는 것이 가능하다는 것을 알아야 한다. 인식하고 있는 바와 같이, 몇몇 특징은 다른 특징들과 분리되어 사용되거나 실현될 수 있으므로, 본 발명은 여기에 개시된 특징과 장점을 모두 가지고 있지는 않은 형태로 구현될 수도 있다.

Claims (34)

  1. 기판(substrate);
    상기 기판의 위에 배치되며, 상기 기판을 통해 투과되는 광을 간섭적으로 변조시키도록 구성된 복수 개의 광 변조 소자(light-modulatin g element);
    상기 기판 아래에 배치된 제1 광 보상 구조체;
    상기 기판과 상기 광 변조 소자 사이에 배치되고, 적어도 일부가 상기 복수 개의 광 변조 소자에 대향하고 또 비평탄화되어 있는 제2 광 보상 구조체; 및
    상기 제2 광 보상 구조체와 상기 복수 개의 광 변조 소자 사이에 배치되고, 상기 제2 광 보상 구조체의 비평탄화된 부분과 접촉하는 평탄화 층
    을 포함하는 공간 광 변조기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 광 투과성인, 공간 광 변조기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 광 보상 구조체는 확산기를 포함하는, 공간 광 변조기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는 복수의 산란 소자를 포함하는, 공간 광 변조기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체가 미세 렌즈 어레이(microlens array)를 포함하여 이루어진, 공간 광 변조기.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체가 회절형(diffractive) 광학 소자를 포함하여 이루어진, 공간 광 변조기.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는 하나의 산란 소자를 포함하는, 공간 광 변조기.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 광 보상 구조체가 수동형(passive)의 광 보상 구조체인, 공간 광 변조기.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체가 수동형(passive)의 광 보상 구조체인, 공간 광 변조기.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는, 복수의 산란 소자, 미세 렌즈 어레이, 블랙 마스크, 및 회절형 광학 소자로 이루어진 그룹으로부터 하나 이상을 포함하는, 공간 광 변조기.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 광 보상 구조체는, 확산기, 컬러 필터, 블랙 마스크, 복수의 산란 소자, 미세 렌즈 어레이, 홀로그래픽 막, 및 회절형 광학 소자로 이루어진 그룹으로부터 하나 이상을 포함하는, 공간 광 변조기.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 광 변조 소자 각각은, 캐비티와 가동 벽부(movable wall)를 포함하고, 상기 가동 벽부는 반사성 금속을 포함하는, 공간 광 변조기.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제1 광 보상 구조체는 상기 제2 광 보상 구조체와 다른 광학 효과(optical effect)를 가지도록 구성되어 있는, 공간 광 변조기.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 제1 광 보상 구조체는 실질적으로 비평탄화된, 공간 광 변조기.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는, 상기 공간 광 변조기의 관찰자(veiwer)와 상기 광 변조 소자 사이에 위치되는, 공간 광 변조기.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는, 상기 공간 광 변조기의 전방 표면과 상기 광 변조 소자 사이에 위치되는, 공간 광 변조기.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 평탄화 층은 후속하는 제조 공정을 위한 지지층을 형성하는, 공간 광 변조기.
  18. 제1항에 있어서,
    상기 평탄화 층은 박막 증착 프로세스에 의해 상기 제2 광 보상 구조체 상에 만들어지는, 공간 광 변조기.
  19. 기판;
    상기 기판의 위에 배치되며, 상기 기판을 통해 투과되는 광을 간섭적으로 변조시키도록 구성된 복수 개의 광 변조 소자(light-modulatin g element);
    상기 기판 아래에 배치된 제1 광 보상 구조체;
    비평탄화 부분을 가지고, 상기 기판과 상기 광 변조 소자 사이에 배치되며, 복수의 산란 소자, 미세 렌즈 어레이, 확산기 및 회절형 광학 소자로 이루어지는 그룹으로부터 하나 이상을 포함하는 제2 광 보상 구조체; 및
    상기 제2 광 보상 구조체와 상기 복수 개의 광 변조 소자 사이에 배치되고, 상기 제2 광 보상 구조체의 비평탄화 부분과 접촉하는 평탄화 층
    을 포함하는 공간 광 변조기.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는, 상기 공간 광 변조기의 관찰자(viewer)와 상기 광 변조 소자 사이에 배치되는, 공간 광 변조기.
  21. 제19항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는, 상기 공간 광 변조기의 전방 표면과 상기 광 변조 소자 사이에 배치되는, 공간 광 변조기.
  22. 제19항에 있어서,
    상기 광 변조 소자 각각은, 캐비티와 가동 벽부(movable wall)를 포함하고, 상기 가동 벽부는 반사성 금속을 포함하는, 공간 광 변조기.
  23. 제19항에 있어서,
    상기 평탄화 층은 후속하는 제조 공정을 위한 지지층을 형성하는, 공간 광 변조기.
  24. 제19항에 있어서,
    상기 평탄화 층은 박막 증착 프로세스에 의해 상기 제2 광 보상 구조체 상에 만들어지는, 공간 광 변조기.
  25. 제19항에 있어서,
    제2 광 보상 구조체는 복수의 산란 소자를 포함하는, 공간 광 변조기.
  26. 제19항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는 미세 렌즈 어레이를 포함하는, 공간 광 변조기.
  27. 제19항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는 확산기를 포함하는, 공간 광 변조기.
  28. 제19항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는 회절형 광학 소자를 포함하는, 공간 광 변조기.
  29. 기판;
    상기 기판의 위에 배치되며, 상기 기판을 통해 투과되는 광을 간섭적으로 변조시키도록 구성된 복수 개의 광 변조 소자(light-modulatin g element);
    상기 기판 아래에 배치된 제1 광 보상 구조체;
    상기 기판과 상기 광 변조 소자 사이에 배치된 제2 광 보상 구조체; 및
    상기 제2 광 보상 구조체와 상기 복수 개의 광 변조 소자 사이에 배치되고, 상기 제2 광 보상 구조체의 비평탄화된 부분과 접촉하는 평탄화 층
    을 포함하고,
    상기 제1 광 보상 구조체는 상기 제2 광 보상 구조체와 상이한 광학 효과를 나타내도록 구성된, 공간 광 변조기.
  30. 제29항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는, 상기 공간 광 변조기의 관찰자(viewer)와 상기 광 변조 소자 사이에 배치되는, 공간 광 변조기.
  31. 제29항에 있어서,
    상기 제2 광 보상 구조체는, 상기 공간 광 변조기의 전방 표면과 상기 광 변조 소자 사이에 배치되는, 공간 광 변조기.
  32. 제29항에 있어서,
    상기 광 변조 소자 각각은, 캐비티와 가동 벽부(movable wall)를 포함하고, 상기 가동 벽부는 반사성 금속을 포함하는, 공간 광 변조기.
  33. 제29항에 있어서,
    상기 평탄화 층은 후속하는 제조 공정을 위한 지지층을 형성하는, 공간 광 변조기.
  34. 제29항에 있어서,
    상기 평탄화 층은 박막 증착 프로세스에 의해 상기 제2 광 보상 구조체 상에 만들어지는, 공간 광 변조기.
KR1020117018192A 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기 KR101149860B1 (ko)

Applications Claiming Priority (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US54160704P 2004-02-03 2004-02-03
US60/541,607 2004-02-03
US61348204P 2004-09-27 2004-09-27
US61354204P 2004-09-27 2004-09-27
US61353604P 2004-09-27 2004-09-27
US60/613,536 2004-09-27
US60/613,482 2004-09-27
US60/613,542 2004-09-27
US11/036,965 US7342705B2 (en) 2004-02-03 2005-01-14 Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US11/036,965 2005-01-14
PCT/US2005/002986 WO2005076051A1 (en) 2004-02-03 2005-02-02 Spatial light modulator with integrated optical structure

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020067015589A Division KR101150246B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117029841A Division KR101258484B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110093954A true KR20110093954A (ko) 2011-08-18
KR101149860B1 KR101149860B1 (ko) 2012-05-24

Family

ID=34842008

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020067015589A KR101150246B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기
KR1020107002289A KR101149858B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기
KR1020117029841A KR101258484B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기
KR1020117018192A KR101149860B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기

Family Applications Before (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020067015589A KR101150246B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기
KR1020107002289A KR101149858B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기
KR1020117029841A KR101258484B1 (ko) 2004-02-03 2005-02-02 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기

Country Status (13)

Country Link
US (5) US7342705B2 (ko)
EP (2) EP1721204A1 (ko)
JP (6) JP4723518B2 (ko)
KR (4) KR101150246B1 (ko)
CN (2) CN1914538B (ko)
AU (1) AU2005209752A1 (ko)
BR (1) BRPI0507357A (ko)
CA (1) CA2554980C (ko)
HK (1) HK1097604A1 (ko)
IL (1) IL177048A0 (ko)
SG (1) SG149890A1 (ko)
TW (2) TWI412814B (ko)
WO (1) WO2005076051A1 (ko)

Families Citing this family (135)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7907319B2 (en) * 1995-11-06 2011-03-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with optical compensation
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
TWI289708B (en) 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
US7417782B2 (en) 2005-02-23 2008-08-26 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for spatial light modulation
US7342705B2 (en) 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US7706050B2 (en) * 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7855824B2 (en) * 2004-03-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for color optimization in a display
US8004504B2 (en) * 2004-09-27 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reduced capacitance display element
US7710632B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
US7928928B2 (en) 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing perceived color shift
US7508571B2 (en) * 2004-09-27 2009-03-24 Idc, Llc Optical films for controlling angular characteristics of displays
US20060066586A1 (en) * 2004-09-27 2006-03-30 Gally Brian J Touchscreens for displays
US7561323B2 (en) * 2004-09-27 2009-07-14 Idc, Llc Optical films for directing light towards active areas of displays
US7911428B2 (en) * 2004-09-27 2011-03-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7349141B2 (en) 2004-09-27 2008-03-25 Idc, Llc Method and post structures for interferometric modulation
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7750886B2 (en) 2004-09-27 2010-07-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and devices for lighting displays
US8362987B2 (en) * 2004-09-27 2013-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US8310441B2 (en) 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7807488B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display element having filter material diffused in a substrate of the display element
US7355780B2 (en) * 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7630123B2 (en) * 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for compensating for color shift as a function of angle of view
US7898521B2 (en) * 2004-09-27 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method for wavelength filtering
US7710636B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods using interferometric optical modulators and diffusers
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US20070205969A1 (en) 2005-02-23 2007-09-06 Pixtronix, Incorporated Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US7999994B2 (en) 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US8519945B2 (en) 2006-01-06 2013-08-27 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US8482496B2 (en) 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US7746529B2 (en) 2005-02-23 2010-06-29 Pixtronix, Inc. MEMS display apparatus
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US7603001B2 (en) * 2006-02-17 2009-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing back-lighting in an interferometric modulator display device
US8526096B2 (en) 2006-02-23 2013-09-03 Pixtronix, Inc. Mechanical light modulators with stressed beams
US8004743B2 (en) 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
US7876489B2 (en) 2006-06-05 2011-01-25 Pixtronix, Inc. Display apparatus with optical cavities
US7766498B2 (en) 2006-06-21 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Linear solid state illuminator
US7845841B2 (en) 2006-08-28 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Angle sweeping holographic illuminator
US7855827B2 (en) 2006-10-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Internal optical isolation structure for integrated front or back lighting
ATE556272T1 (de) * 2006-10-06 2012-05-15 Qualcomm Mems Technologies Inc Optische verluststruktur in einer beleuchtungsvorrichtung
EP2069838A2 (en) * 2006-10-06 2009-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination device with built-in light coupler
US8872085B2 (en) * 2006-10-06 2014-10-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having front illuminator with turning features
WO2008045462A2 (en) * 2006-10-10 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with diffractive optics
EP2080045A1 (en) 2006-10-20 2009-07-22 Pixtronix Inc. Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities
US7864395B2 (en) * 2006-10-27 2011-01-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light guide including optical scattering elements and a method of manufacture
US7852546B2 (en) 2007-10-19 2010-12-14 Pixtronix, Inc. Spacers for maintaining display apparatus alignment
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
US7777954B2 (en) 2007-01-30 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of providing a light guiding layer
US7733439B2 (en) * 2007-04-30 2010-06-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dual film light guide for illuminating displays
US8189172B2 (en) * 2007-06-14 2012-05-29 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and method
US8692974B2 (en) * 2007-06-14 2014-04-08 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method using pupil filling by telecentricity control
US8929741B2 (en) * 2007-07-30 2015-01-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical interconnect
US8072402B2 (en) * 2007-08-29 2011-12-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics
US8068710B2 (en) 2007-12-07 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Decoupled holographic film and diffuser
US7949213B2 (en) 2007-12-07 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light illumination of displays with front light guide and coupling elements
KR20100093590A (ko) 2007-12-17 2010-08-25 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 후방 측 간섭계 마스크를 구비한 광전변환장치
US20090168459A1 (en) * 2007-12-27 2009-07-02 Qualcomm Incorporated Light guide including conjugate film
US8654061B2 (en) * 2008-02-12 2014-02-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated front light solution
WO2009102733A2 (en) * 2008-02-12 2009-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated front light diffuser for reflective displays
KR20100127775A (ko) * 2008-02-12 2010-12-06 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 이중층 박막 홀로그래픽 태양광 집중장치/집광장치
WO2009102731A2 (en) 2008-02-12 2009-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Devices and methods for enhancing brightness of displays using angle conversion layers
US8248560B2 (en) 2008-04-18 2012-08-21 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors
US8049951B2 (en) 2008-04-15 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light with bi-directional propagation
US20090323144A1 (en) * 2008-06-30 2009-12-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination device with holographic light guide
US8358266B2 (en) 2008-09-02 2013-01-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light turning device with prismatic light turning features
EP2340567A2 (en) * 2008-09-18 2011-07-06 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Increasing the angular range of light collection in solar collectors/concentrators
US8169679B2 (en) 2008-10-27 2012-05-01 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
SE533704C2 (sv) 2008-12-05 2010-12-07 Flatfrog Lab Ab Pekkänslig apparat och förfarande för drivning av densamma
WO2010082952A1 (en) 2009-01-13 2010-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Large area light panel and screen
US20100195310A1 (en) * 2009-02-04 2010-08-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Shaped frontlight reflector for use with display
US8172417B2 (en) * 2009-03-06 2012-05-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Shaped frontlight reflector for use with display
CN202661719U (zh) * 2009-03-10 2013-01-09 3M创新有限公司 具有浮现的合成图像的用户接口
WO2010111306A1 (en) * 2009-03-25 2010-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Em shielding for display devices
US8736590B2 (en) 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
TWI407231B (zh) * 2009-05-26 2013-09-01 Innolux Corp 影像顯示系統
WO2010138765A1 (en) 2009-05-29 2010-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination devices and methods of fabrication thereof
WO2010141388A1 (en) * 2009-06-01 2010-12-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Front light based optical touch screen
US8488228B2 (en) 2009-09-28 2013-07-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric display with interferometric reflector
US8379392B2 (en) * 2009-10-23 2013-02-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light-based sealing and device packaging
CN103000141B (zh) 2010-02-02 2016-01-13 皮克斯特罗尼克斯公司 用于控制显示装置的电路
CN102834763B (zh) 2010-02-02 2015-07-22 皮克斯特罗尼克斯公司 用于制造填充冷密封流体的显示装置的方法
US8102592B2 (en) * 2010-03-24 2012-01-24 Unipel Technologies, LLC Reflective display using calibration data for electrostatically maintaining parallel relationship of adjustable-depth cavity component
US8848294B2 (en) 2010-05-20 2014-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and structure capable of changing color saturation
US8402647B2 (en) 2010-08-25 2013-03-26 Qualcomm Mems Technologies Inc. Methods of manufacturing illumination systems
CN102403322A (zh) * 2010-09-07 2012-04-04 原相科技股份有限公司 影像检测元件
US8670171B2 (en) 2010-10-18 2014-03-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display having an embedded microlens array
US8902484B2 (en) 2010-12-15 2014-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Holographic brightness enhancement film
KR101832265B1 (ko) 2011-11-24 2018-02-26 삼성전자주식회사 능동 광학 소자 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
US8760751B2 (en) 2012-01-26 2014-06-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog IMOD having a color notch filter
US10168835B2 (en) 2012-05-23 2019-01-01 Flatfrog Laboratories Ab Spatial resolution in touch displays
WO2014017973A1 (en) 2012-07-24 2014-01-30 Flatfrog Laboratories Ab Optical coupling in touch-sensing systems using diffusively transmitting element
KR102050503B1 (ko) 2012-10-16 2019-11-29 삼성전자주식회사 다수의 세그먼트로 분할된 광학적 어드레싱 공간 광변조기, 이를 이용한 홀로그래픽 3차원 영상 표시 장치 및 방법
US9325948B2 (en) * 2012-11-13 2016-04-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Real-time compensation for blue shift of electromechanical systems display devices
US20140153870A1 (en) * 2012-12-05 2014-06-05 MiMetrix Design Group, L.L.C. Monolithic splitter assembly
WO2014098740A1 (en) * 2012-12-17 2014-06-26 Flatfrog Laboratories Ab Optical coupling of light into touch-sensing systems
TWI495922B (zh) * 2013-01-11 2015-08-11 光源裝置
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
KR102067763B1 (ko) * 2013-03-13 2020-01-17 삼성전자주식회사 공간 광변조기, 이를 포함한 홀로그래피 영상 표시 장치 및 공간 광변조 방법
WO2014168567A1 (en) 2013-04-11 2014-10-16 Flatfrog Laboratories Ab Tomographic processing for touch detection
WO2015005847A1 (en) 2013-07-12 2015-01-15 Flatfrog Laboratories Ab Partial detect mode
WO2015098019A1 (ja) * 2013-12-27 2015-07-02 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 波長可変光フィルタモジュール
WO2015108479A1 (en) 2014-01-16 2015-07-23 Flatfrog Laboratories Ab Light coupling in tir-based optical touch systems
WO2015108480A1 (en) 2014-01-16 2015-07-23 Flatfrog Laboratories Ab Improvements in tir-based optical touch systems of projection-type
US10161886B2 (en) 2014-06-27 2018-12-25 Flatfrog Laboratories Ab Detection of surface contamination
CN107209608A (zh) 2015-01-28 2017-09-26 平蛙实验室股份公司 动态触摸隔离帧
US10318074B2 (en) 2015-01-30 2019-06-11 Flatfrog Laboratories Ab Touch-sensing OLED display with tilted emitters
WO2016130074A1 (en) 2015-02-09 2016-08-18 Flatfrog Laboratories Ab Optical touch system comprising means for projecting and detecting light beams above and inside a transmissive panel
CN107250855A (zh) 2015-03-02 2017-10-13 平蛙实验室股份公司 用于光耦合的光学部件
KR102390372B1 (ko) 2015-06-01 2022-04-25 삼성전자주식회사 개선된 화질을 제공하는 공간 광변조기 및 이를 포함하는 홀로그래픽 디스플레이 장치
CN105022158B (zh) * 2015-08-04 2017-07-28 深圳力策科技有限公司 一种基于mems的可调红外滤波器
EP3387516B1 (en) 2015-12-09 2022-04-20 FlatFrog Laboratories AB Improved stylus identification
US10600213B2 (en) 2016-02-27 2020-03-24 Focal Sharp, Inc. Method and apparatus for color-preserving spectrum reshape
CN105866942B (zh) * 2016-06-08 2018-05-01 常州创微电子机械科技有限公司 双金属线圈的电磁驱动微镜
WO2018056451A1 (ja) 2016-09-26 2018-03-29 和浩 山本 表示素子
EP3545392A4 (en) 2016-11-24 2020-07-29 FlatFrog Laboratories AB AUTOMATIC TACTILE SIGNAL OPTIMIZATION
KR20240012622A (ko) 2016-12-07 2024-01-29 플라트프로그 라보라토리즈 에이비 개선된 터치 장치
US10963104B2 (en) 2017-02-06 2021-03-30 Flatfrog Laboratories Ab Optical coupling in touch-sensing systems
US10481737B2 (en) 2017-03-22 2019-11-19 Flatfrog Laboratories Ab Pen differentiation for touch display
WO2018182476A1 (en) 2017-03-28 2018-10-04 Flatfrog Laboratories Ab Touch sensing apparatus and method for assembly
TWI627777B (zh) * 2017-07-26 2018-06-21 財團法人工業技術研究院 光學補償結構
CN117311543A (zh) 2017-09-01 2023-12-29 平蛙实验室股份公司 触摸感测设备
RU2686576C1 (ru) 2017-11-30 2019-04-29 Самсунг Электроникс Ко., Лтд. Компактное устройство голографического дисплея
WO2019172826A1 (en) 2018-03-05 2019-09-12 Flatfrog Laboratories Ab Improved touch-sensing apparatus
CN112889016A (zh) 2018-10-20 2021-06-01 平蛙实验室股份公司 用于触摸敏感装置的框架及其工具
WO2020153890A1 (en) 2019-01-25 2020-07-30 Flatfrog Laboratories Ab A videoconferencing terminal and method of operating the same
WO2021011056A1 (en) 2019-07-12 2021-01-21 Massachusetts Institute Of Technology All-optical spatial light modulators
US12056316B2 (en) 2019-11-25 2024-08-06 Flatfrog Laboratories Ab Touch-sensing apparatus
JP2023512682A (ja) 2020-02-10 2023-03-28 フラットフロッグ ラボラトリーズ アーベー 改良型タッチ検知装置

Family Cites Families (1067)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5816677A (en) 1905-03-01 1998-10-06 Canon Kabushiki Kaisha Backlight device for display apparatus
JP2539491Y2 (ja) 1991-10-09 1997-06-25 惠和商工株式会社 光拡散シート材
US2534846A (en) 1946-06-20 1950-12-19 Emi Ltd Color filter
US2518647A (en) 1948-01-07 1950-08-15 Celanese Corp Interferometer means for thickness measurements
US2677714A (en) 1951-09-21 1954-05-04 Alois Vogt Dr Optical-electrical conversion device comprising a light-permeable metal electrode
US3247392A (en) 1961-05-17 1966-04-19 Optical Coating Laboratory Inc Optical coating and assembly used as a band pass interference filter reflecting in the ultraviolet and infrared
DE1288651B (de) 1963-06-28 1969-02-06 Siemens Ag Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung
US3448334A (en) 1966-09-30 1969-06-03 North American Rockwell Multicolored e.l. displays using external colored light sources
US3924929A (en) 1966-11-14 1975-12-09 Minnesota Mining & Mfg Retro-reflective sheet material
FR1603131A (ko) 1968-07-05 1971-03-22
US3653741A (en) 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
US3813265A (en) 1970-02-16 1974-05-28 A Marks Electro-optical dipolar material
US3725868A (en) 1970-10-19 1973-04-03 Burroughs Corp Small reconfigurable processor for a variety of data processing applications
US3679313A (en) 1970-10-23 1972-07-25 Bell Telephone Labor Inc Dispersive element for optical pulse compression
JPS5610977Y2 (ko) 1973-02-19 1981-03-12
DE2336930A1 (de) 1973-07-20 1975-02-06 Battelle Institut E V Infrarot-modulator (ii.)
US3886310A (en) 1973-08-22 1975-05-27 Westinghouse Electric Corp Electrostatically deflectable light valve with improved diffraction properties
JPS5610976Y2 (ko) 1975-02-20 1981-03-12
US4099854A (en) 1976-10-12 1978-07-11 The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption
US4389096A (en) 1977-12-27 1983-06-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image display apparatus of liquid crystal valve projection type
US4287449A (en) 1978-02-03 1981-09-01 Sharp Kabushiki Kaisha Light-absorption film for rear electrodes of electroluminescent display panel
US4445050A (en) 1981-12-15 1984-04-24 Marks Alvin M Device for conversion of light power to electric power
US4663083A (en) 1978-05-26 1987-05-05 Marks Alvin M Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics
US4200472A (en) 1978-06-05 1980-04-29 The Regents Of The University Of California Solar power system and high efficiency photovoltaic cells used therein
US4228437A (en) 1979-06-26 1980-10-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror
JPS5688111A (en) 1979-12-19 1981-07-17 Citizen Watch Co Ltd Liquid crystal display device with solar battery
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
DE3109653A1 (de) 1980-03-31 1982-01-28 Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena "resonanzabsorber"
US4421381A (en) 1980-04-04 1983-12-20 Yokogawa Hokushin Electric Corp. Mechanical vibrating element
US4377324A (en) * 1980-08-04 1983-03-22 Honeywell Inc. Graded index Fabry-Perot optical filter device
US4375312A (en) 1980-08-07 1983-03-01 Hughes Aircraft Company Graded index waveguide structure and process for forming same
US4441791A (en) 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
US4378567A (en) 1981-01-29 1983-03-29 Eastman Kodak Company Electronic imaging apparatus having means for reducing inter-pixel transmission nonuniformity
FR2506026A1 (fr) 1981-05-18 1982-11-19 Radant Etudes Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence
NL8103377A (nl) 1981-07-16 1983-02-16 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4400577A (en) 1981-07-16 1983-08-23 Spear Reginald G Thin solar cells
US4863224A (en) 1981-10-06 1989-09-05 Afian Viktor V Solar concentrator and manufacturing method therefor
JPS58115781A (ja) 1981-12-29 1983-07-09 松下電工株式会社 接続器の扉装置
NL8200354A (nl) 1982-02-01 1983-09-01 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
JPS5944763U (ja) 1982-09-13 1984-03-24 黒崎炉工業株式会社 ウオ−キングビ−ム式炉
US4633031A (en) 1982-09-24 1986-12-30 Todorof William J Multi-layer thin film, flexible silicon alloy photovoltaic cell
JPS60153015A (ja) 1984-01-20 1985-08-12 Nippon Kogaku Kk <Nikon> ズ−ムレンズ鏡筒
DE3402746A1 (de) 1984-01-27 1985-08-08 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Fluessigkristallanzeige
US4832459A (en) 1984-02-06 1989-05-23 Rogers Corporation Backlighting for electro-optical passive displays and transflective layer useful therewith
JPS60165621A (ja) 1984-02-08 1985-08-28 Nec Corp 透過型表示素子
JPS60147718U (ja) 1984-03-09 1985-10-01 マツダ株式会社 エンジンの冷却装置
JPS60242408A (ja) 1984-05-17 1985-12-02 Seiko Epson Corp ライトガイド用光源光学系
US4878741A (en) 1986-09-10 1989-11-07 Manchester R & D Partnership Liquid crystal color display and method
US5345322A (en) 1985-03-01 1994-09-06 Manchester R&D Limited Partnership Complementary color liquid crystal display
JPS629317A (ja) * 1985-07-08 1987-01-17 Seiko Epson Corp 液晶デイスプレイ
JPS6247841A (ja) 1985-08-26 1987-03-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式情報記憶担体
JPS62119502A (ja) 1985-11-18 1987-05-30 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション スペクトル・フイルタ
US4859060A (en) 1985-11-26 1989-08-22 501 Sharp Kabushiki Kaisha Variable interferometric device and a process for the production of the same
US5835255A (en) 1986-04-23 1998-11-10 Etalon, Inc. Visible spectrum modulator arrays
GB8610129D0 (en) 1986-04-25 1986-05-29 Secr Defence Electro-optical device
US4850682A (en) 1986-07-14 1989-07-25 Advanced Environmental Research Group Diffraction grating structures
US4748366A (en) 1986-09-02 1988-05-31 Taylor George W Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects
JPS6395489A (ja) 1986-10-09 1988-04-26 日本電気株式会社 フイルタ付液晶デイスプレイ
US4786128A (en) 1986-12-02 1988-11-22 Quantum Diagnostics, Ltd. Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction
GB2198867A (en) 1986-12-17 1988-06-22 Philips Electronic Associated A liquid crystal display illumination system
EP0278038A1 (de) 1987-02-13 1988-08-17 Battelle-Institut e.V. Aktiver Bildschirm in Flachbauweise
US20050259302A9 (en) 1987-09-11 2005-11-24 Metz Michael H Holographic light panels and flat panel display systems and method and apparatus for making same
JPH01108501U (ko) 1988-01-16 1989-07-21
US4947291A (en) 1988-06-17 1990-08-07 Mcdermott Kevin Lighting device
US4980775A (en) 1988-07-21 1990-12-25 Magnascreen Corporation Modular flat-screen television displays and modules and circuit drives therefor
JPH0268513A (ja) 1988-09-05 1990-03-08 Fuji Photo Film Co Ltd 色フィルタ
JPH0818990B1 (ko) 1988-09-26 1996-02-28
US5206747A (en) 1988-09-28 1993-04-27 Taliq Corporation Polymer dispersed liquid crystal display with birefringence of the liquid crystal at least 0.23
US5042921A (en) 1988-10-25 1991-08-27 Casio Computer Co., Ltd. Liquid crystal display apparatus
JPH02151079A (ja) 1988-12-01 1990-06-11 Sharp Corp 太陽電池の製法
US4982184A (en) * 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
US5192946A (en) * 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5446479A (en) 1989-02-27 1995-08-29 Texas Instruments Incorporated Multi-dimensional array video processor system
NL8900637A (nl) 1989-03-16 1990-10-16 Philips Nv Weergeefinrichting voor kleurweergave.
US4961617A (en) 1989-07-19 1990-10-09 Ferrydon Shahidi Fibre optic waveguide illuminating elements
US5022745A (en) 1989-09-07 1991-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror
JP2893599B2 (ja) 1989-10-05 1999-05-24 セイコーエプソン株式会社 偏光光源及び投写型表示装置
US5381253A (en) * 1991-11-14 1995-01-10 Board Of Regents Of University Of Colorado Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation
US5124834A (en) 1989-11-16 1992-06-23 General Electric Company Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
JPH03170911A (ja) 1989-11-30 1991-07-24 Pioneer Electron Corp 液晶表示装置
US5235437A (en) 1989-12-18 1993-08-10 Sharp Kabushiki Kaisha Analog/digital image processor apparatus with liquid crystal light modulator
EP0434041B1 (en) 1989-12-20 1996-09-11 Canon Kabushiki Kaisha Polarized illuminating device
US5038224A (en) 1989-12-22 1991-08-06 Bell Communications Research, Inc. Video imaging device in a teleconferencing system
JPH03199920A (ja) 1989-12-27 1991-08-30 Tdk Corp 光―変位トランスデューサおよびセンサ
US5500635A (en) * 1990-02-20 1996-03-19 Mott; Jonathan C. Products incorporating piezoelectric material
US5361190A (en) 1990-02-20 1994-11-01 K. W. Muth Co. Inc. Mirror assembly
US5164858A (en) 1990-03-07 1992-11-17 Deposition Sciences, Inc. Multi-spectral filter
JPH04230705A (ja) 1990-05-18 1992-08-19 Canon Inc 偏光変換装置、該偏光変換装置を備えた偏光照明装置および該偏光照明装置を有する投写型表示装置
GB9012099D0 (en) 1990-05-31 1990-07-18 Kodak Ltd Optical article for multicolour imaging
US5153771A (en) 1990-07-18 1992-10-06 Northrop Corporation Coherent light modulation and detector
JPH0481816A (ja) * 1990-07-25 1992-03-16 Hitachi Ltd 液晶表示装置
FR2665270B1 (fr) * 1990-07-27 1994-05-13 Etat Francais Cnet Dispositif modulateur spatial de lumiere et systeme d'holographie conoscopique a grande dynamique comportant un tel dispositif modulateur.
US5110370A (en) 1990-09-20 1992-05-05 United Solar Systems Corporation Photovoltaic device with decreased gridline shading and method for its manufacture
US5050946A (en) 1990-09-27 1991-09-24 Compaq Computer Corporation Faceted light pipe
US5044736A (en) 1990-11-06 1991-09-03 Motorola, Inc. Configurable optical filter or display
JPH04190323A (ja) 1990-11-26 1992-07-08 Hitachi Ltd 太陽電池セル付液晶ディスプレイ
US5387953A (en) 1990-12-27 1995-02-07 Canon Kabushiki Kaisha Polarization illumination device and projector having the same
JPH04238321A (ja) 1991-01-23 1992-08-26 Mitsubishi Electric Corp 液晶表示器
KR960002202B1 (ko) * 1991-02-04 1996-02-13 가부시끼가이샤 한도다이 에네르기 겐뀨쇼 액정 전기 광학 장치 제작 방법
US5233459A (en) 1991-03-06 1993-08-03 Massachusetts Institute Of Technology Electric display device
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
US5555160A (en) 1991-06-27 1996-09-10 Nissen Chemitec Co., Ltd. Light-guiding panel for surface lighting and a surface lighting body
US5221982A (en) 1991-07-05 1993-06-22 Faris Sadeg M Polarizing wavelength separator
US5287215A (en) * 1991-07-17 1994-02-15 Optron Systems, Inc. Membrane light modulation systems
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
FR2680882B1 (fr) 1991-08-06 1993-10-29 Thomson Csf Projecteur d'images a efficacite lumineuse orptimisee.
US5151585A (en) 1991-08-12 1992-09-29 Hughes Danbury Optical Systems, Inc. Coherent radiation detector
IL99420A (en) 1991-09-05 2000-12-06 Elbit Systems Ltd Helmet mounted display
GB9121159D0 (en) 1991-10-04 1991-11-13 Marconi Gec Ltd Colour display system
EP0539099A3 (en) 1991-10-25 1993-05-19 Optical Coating Laboratory, Inc. Repositionable optical cover for monitors
US5515184A (en) 1991-11-12 1996-05-07 The University Of Alabama In Huntsville Waveguide hologram illuminators
US5326426A (en) 1991-11-14 1994-07-05 Tam Andrew C Undercut membrane mask for high energy photon patterning
US5233385A (en) 1991-12-18 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated White light enhanced color field sequential projection
US5356488A (en) 1991-12-27 1994-10-18 Rudolf Hezel Solar cell and method for its manufacture
US5349503A (en) 1991-12-31 1994-09-20 At&T Bell Laboratories Illuminated transparent display with microtextured back reflector
US6381022B1 (en) * 1992-01-22 2002-04-30 Northeastern University Light modulating device
US5231532A (en) 1992-02-05 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Switchable resonant filter for optical radiation
JPH05241103A (ja) 1992-02-21 1993-09-21 Nec Corp 投射型液晶表示装置
JPH05264904A (ja) 1992-03-18 1993-10-15 Canon Inc 照明光学系および該照明光学系を用いた投写型画像表示装置
US6002829A (en) 1992-03-23 1999-12-14 Minnesota Mining And Manufacturing Company Luminaire device
US5528720A (en) * 1992-03-23 1996-06-18 Minnesota Mining And Manufacturing Co. Tapered multilayer luminaire devices
JPH05281479A (ja) 1992-03-31 1993-10-29 Nippon Steel Corp 表示装置
US5312513A (en) * 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
US6088941A (en) 1992-04-06 2000-07-18 A.D.P. Adaptive Visual Perception Ltd. Transparency viewing apparatus
US5261970A (en) 1992-04-08 1993-11-16 Sverdrup Technology, Inc. Optoelectronic and photovoltaic devices with low-reflectance surfaces
WO1993021663A1 (en) * 1992-04-08 1993-10-28 Georgia Tech Research Corporation Process for lift-off of thin film materials from a growth substrate
US5311360A (en) 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
US5398170A (en) * 1992-05-18 1995-03-14 Lee; Song S. Optical-fiber display with intensive brightness
US5638084A (en) 1992-05-22 1997-06-10 Dielectric Systems International, Inc. Lighting-independent color video display
JPH06214169A (ja) 1992-06-08 1994-08-05 Texas Instr Inc <Ti> 制御可能な光学的周期的表面フィルタ
US5818095A (en) 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
GB2269697A (en) * 1992-08-11 1994-02-16 Sharp Kk Display device
US5293272A (en) * 1992-08-24 1994-03-08 Physical Optics Corporation High finesse holographic fabry-perot etalon and method of fabricating
JPH0695112A (ja) 1992-09-16 1994-04-08 Hitachi Ltd プリズムプレートおよびそれを用いた情報表示装置
GB9219671D0 (en) 1992-09-17 1992-10-28 Canterbury Park Limited Ink
US5339179A (en) 1992-10-01 1994-08-16 International Business Machines Corp. Edge-lit transflective non-emissive display with angled interface means on both sides of light conducting panel
US5648860A (en) 1992-10-09 1997-07-15 Ag Technology Co., Ltd. Projection type color liquid crystal optical apparatus
US5604607A (en) 1992-10-19 1997-02-18 Eastman Kodak Company Light concentrator system
KR0168879B1 (ko) 1992-12-25 1999-04-15 기따지마 요시또시 렌티큘러 렌즈, 면광원 및 액정 표시 장치
US5671314A (en) 1993-01-15 1997-09-23 Sisters Of Prividence In Oregon Illuminator devices for ultraviolet light delivery and methods of making same
DE69407628T2 (de) 1993-02-01 1998-08-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd Wellenleiter-Bildübertragungsvorrichtung und Vorrichtung zur Identifikation von Fingerabdrücken
JP2823470B2 (ja) 1993-03-09 1998-11-11 シャープ株式会社 光走査装置及びそれを用いた表示装置並びに画像情報入出力装置
US6674562B1 (en) 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5418631A (en) 1993-05-14 1995-05-23 Kaiser Optical Systems, Inc. Edge-lit holographic diffusers for flat-panel displays
GB2278222A (en) 1993-05-20 1994-11-23 Sharp Kk Spatial light modulator
US5481385A (en) * 1993-07-01 1996-01-02 Alliedsignal Inc. Direct view display device with array of tapered waveguide on viewer side
US5365283A (en) 1993-07-19 1994-11-15 Texas Instruments Incorporated Color phase control for projection display using spatial light modulator
US5673139A (en) 1993-07-19 1997-09-30 Medcom, Inc. Microelectromechanical television scanning device and method for making the same
WO1995003935A1 (en) 1993-07-27 1995-02-09 Physical Optics Corporation Light source destructuring and shaping device
FR2710161B1 (fr) 1993-09-13 1995-11-24 Suisse Electronique Microtech Réseau miniature d'obturateurs de lumière.
JP3382683B2 (ja) 1993-10-22 2003-03-04 オリンパス光学工業株式会社 共心光学系
US5782995A (en) 1993-11-05 1998-07-21 Citizen Watch Co., Ltd. Solar battery device and method of fabricating the same
US5398125A (en) * 1993-11-10 1995-03-14 Minnesota Mining And Manufacturing Company Liquid crystal projection panel having microlens arrays, on each side of the liquid crystal, with a focus beyond the liquid crystal
AU1054595A (en) 1993-11-15 1995-06-06 Allied-Signal Inc. Optical element for use in an array of optical elements in a display arrangement
US5517347A (en) 1993-12-01 1996-05-14 Texas Instruments Incorporated Direct view deformable mirror device
NL9302091A (nl) 1993-12-02 1995-07-03 R & S Renewable Energy Systems Fotovoltaisch zonnepaneel en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
BE1007993A3 (nl) 1993-12-17 1995-12-05 Philips Electronics Nv Belichtingsstelsel voor een kleurenbeeldprojectie-inrichting en circulaire polarisator geschikt voor toepassing in een dergelijk belichtingsstelsel en kleurenbeeldprojectie-inrichting bevattende een dergelijk belichtingsstelsel met circulaire polarisator.
US5659410A (en) 1993-12-28 1997-08-19 Enplas Corporation Surface light source device and liquid crystal display
US5448314A (en) 1994-01-07 1995-09-05 Texas Instruments Method and apparatus for sequential color imaging
US5500761A (en) 1994-01-27 1996-03-19 At&T Corp. Micromechanical modulator
JP2765471B2 (ja) 1994-02-15 1998-06-18 日本電気株式会社 投写型液晶表示装置
TW334523B (en) 1994-03-02 1998-06-21 Toso Kk Back light
DE4407067C2 (de) * 1994-03-03 2003-06-18 Unaxis Balzers Ag Dielektrisches Interferenz-Filtersystem, LCD-Anzeige und CCD-Anordnung sowie Verfahren zur Herstellung eines dielektrischen Interferenz-Filtersystems
US5982540A (en) 1994-03-16 1999-11-09 Enplas Corporation Surface light source device with polarization function
US6028649A (en) 1994-04-21 2000-02-22 Reveo, Inc. Image display systems having direct and projection viewing modes
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US20010003487A1 (en) 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US6680792B2 (en) * 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US6040937A (en) 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US7138984B1 (en) * 2001-06-05 2006-11-21 Idc, Llc Directly laminated touch sensitive screen
US7460291B2 (en) * 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US5805117A (en) * 1994-05-12 1998-09-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Large area tiled modular display system
DE69535145T2 (de) 1994-06-01 2007-06-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Beleuchtungsgerät mit hohem wirkungsgrad und dieses gerät enthaltende projektionseinrichtung
US5497172A (en) * 1994-06-13 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing
US5671994A (en) 1994-06-08 1997-09-30 Clio Technologies, Inc. Flat and transparent front-lighting system using microprisms
WO1996002862A1 (fr) 1994-07-15 1996-02-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Dispositif de visualisation tete haute, dispositif d'affichage a cristaux liquides et leur procede de fabrication
US5636052A (en) 1994-07-29 1997-06-03 Lucent Technologies Inc. Direct view display based on a micromechanical modulation
US5647036A (en) 1994-09-09 1997-07-08 Deacon Research Projection display with electrically-controlled waveguide routing
US5544268A (en) * 1994-09-09 1996-08-06 Deacon Research Display panel with electrically-controlled waveguide-routing
US5703710A (en) 1994-09-09 1997-12-30 Deacon Research Method for manipulating optical energy using poled structure
JPH10508975A (ja) 1994-09-15 1998-09-02 ピックステック インコーポレイテッド 多電極構造を有する電子蛍光ディスプレイ装置およびその製造方法
JP3219943B2 (ja) * 1994-09-16 2001-10-15 株式会社東芝 平面直視型表示装置
JPH0894992A (ja) 1994-09-22 1996-04-12 Casio Comput Co Ltd 液晶表示素子
US5619059A (en) 1994-09-28 1997-04-08 National Research Council Of Canada Color deformable mirror device having optical thin film interference color coatings
US6560018B1 (en) 1994-10-27 2003-05-06 Massachusetts Institute Of Technology Illumination system for transmissive light valve displays
JPH08136910A (ja) 1994-11-07 1996-05-31 Hitachi Ltd カラー液晶表示装置およびその製造方法
JP3412293B2 (ja) 1994-11-17 2003-06-03 株式会社デンソー 半導体ヨーレートセンサおよびその製造方法
US5815229A (en) 1994-11-21 1998-09-29 Proxima Corporation Microlens imbedded liquid crystal projection panel including thermal insulation layer
US5474865A (en) 1994-11-21 1995-12-12 Sematech, Inc. Globally planarized binary optical mask using buried absorbers
KR0164463B1 (ko) 1994-11-25 1999-03-20 이헌조 액정프로젝트의 광학장치
JP2916887B2 (ja) 1994-11-29 1999-07-05 キヤノン株式会社 電子放出素子、電子源、画像形成装置の製造方法
TW373116B (en) 1994-12-15 1999-11-01 Sharp Kk Lighting apparatus
US5550373A (en) 1994-12-30 1996-08-27 Honeywell Inc. Fabry-Perot micro filter-detector
JP3251452B2 (ja) 1995-01-31 2002-01-28 シャープ株式会社 液晶表示装置におけるバックライト装置
JP3429384B2 (ja) 1995-02-03 2003-07-22 株式会社エンプラス サイドライト型面光源装置
US5650865A (en) 1995-03-21 1997-07-22 Hughes Electronics Holographic backlight for flat panel displays
JPH08271874A (ja) 1995-03-31 1996-10-18 Sony Corp 液晶表示装置およびその製造方法
US5751388A (en) 1995-04-07 1998-05-12 Honeywell Inc. High efficiency polarized display
US5886688A (en) * 1995-06-02 1999-03-23 National Semiconductor Corporation Integrated solar panel and liquid crystal display for portable computer or the like
US6046840A (en) 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US5835256A (en) 1995-06-19 1998-11-10 Reflectivity, Inc. Reflective spatial light modulator with encapsulated micro-mechanical elements
EP0834231B1 (en) 1995-06-20 2003-04-16 Thomson Consumer Electronics, Inc. Back lit electronic viewfinder
US6712481B2 (en) 1995-06-27 2004-03-30 Solid State Opto Limited Light emitting panel assemblies
JP3540444B2 (ja) 1995-07-06 2004-07-07 三菱レイヨン株式会社 バックライトおよびそれを用いた液晶表示装置
WO1997004350A1 (fr) 1995-07-17 1997-02-06 Seiko Epson Corporation Dispositif a cristaux liquides couleur a reflexion et appareil electronique utilisant ledit dispositif
US5877874A (en) 1995-08-24 1999-03-02 Terrasun L.L.C. Device for concentrating optical radiation
JP2728041B2 (ja) 1995-08-30 1998-03-18 日本電気株式会社 液晶パネル
US5932309A (en) 1995-09-28 1999-08-03 Alliedsignal Inc. Colored articles and compositions and methods for their fabrication
US5739945A (en) 1995-09-29 1998-04-14 Tayebati; Parviz Electrically tunable optical filter utilizing a deformable multi-layer mirror
US6324192B1 (en) 1995-09-29 2001-11-27 Coretek, Inc. Electrically tunable fabry-perot structure utilizing a deformable multi-layer mirror and method of making the same
JP3580826B2 (ja) 1995-11-01 2004-10-27 松下電器産業株式会社 出射効率制御素子、投射型ディスプレイ装置、赤外線センサおよび非接触温度計
JPH10512377A (ja) * 1995-11-02 1998-11-24 フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ 画像表示装置
US7907319B2 (en) 1995-11-06 2011-03-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with optical compensation
WO1997017628A1 (en) 1995-11-06 1997-05-15 Etalon, Inc. Interferometric modulation
JPH09160032A (ja) 1995-12-12 1997-06-20 Omron Corp 照明装置、並びに当該照明装置を用いた液晶表示装置、携帯端末機器、車載用機器及び光学的認識装置
US5933183A (en) * 1995-12-12 1999-08-03 Fuji Photo Film Co., Ltd. Color spatial light modulator and color printer using the same
JPH09182112A (ja) 1995-12-22 1997-07-11 Sharp Corp 小型光学系を用いたプロジェクタ装置
JP3799092B2 (ja) 1995-12-29 2006-07-19 アジレント・テクノロジーズ・インク 光変調装置及びディスプレイ装置
WO1997028403A1 (fr) 1996-02-01 1997-08-07 Mitsubishi Rayon Co., Ltd. Source lumineuse superficielle et affichage a cristaux liquides, et equipements de signalisation et de regulation du trafic l'utilisant
US5771321A (en) 1996-01-04 1998-06-23 Massachusetts Institute Of Technology Micromechanical optical switch and flat panel display
GB2309609A (en) * 1996-01-26 1997-07-30 Sharp Kk Observer tracking autostereoscopic directional display
EP0786911B1 (en) 1996-01-26 2003-09-10 Sharp Kabushiki Kaisha Autostereoscopic display
US6166834A (en) 1996-03-15 2000-12-26 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Display apparatus and method for forming hologram suitable for the display apparatus
JPH09260696A (ja) 1996-03-19 1997-10-03 Daido Hoxan Inc 太陽電池
US6624944B1 (en) 1996-03-29 2003-09-23 Texas Instruments Incorporated Fluorinated coating for an optical element
JP3869488B2 (ja) 1996-04-17 2007-01-17 大日本印刷株式会社 ホログラムカラーフィルターを用いた画像表示装置
JPH09288993A (ja) 1996-04-19 1997-11-04 Sharp Corp 照明装置及びこの照明装置を利用した表示装置
JPH09307140A (ja) 1996-05-14 1997-11-28 Matsushita Electron Corp 半導体発光装置
JP3506841B2 (ja) 1996-05-17 2004-03-15 松下電器産業株式会社 反射型液晶表示装置の照明装置と反射型液晶表示装置
AU3077697A (en) 1996-05-24 1997-12-09 Digital D.J. Incorporated Liquid crystal display device with integrated solar power source and antenna
JP2865618B2 (ja) 1996-05-31 1999-03-08 嶋田プレシジョン株式会社 導光板および導光板アセンブリ
DE19622748A1 (de) * 1996-06-05 1997-12-11 Forschungszentrum Juelich Gmbh Interferenzfilter auf der Basis von porösem Silicium
US5751492A (en) 1996-06-14 1998-05-12 Eastman Kodak Company Diffractive/Refractive lenslet array incorporating a second aspheric surface
US5782993A (en) 1996-06-28 1998-07-21 Ponewash; Jackie Photovoltaic cells having micro-embossed optical enhancing structures
US5771124A (en) 1996-07-02 1998-06-23 Siliscape Compact display system with two stage magnification and immersed beam splitter
KR100213968B1 (ko) 1996-07-15 1999-08-02 구자홍 액정표시장치
FR2751398B1 (fr) * 1996-07-16 1998-08-28 Thomson Csf Dispositif d'eclairage et application a l'eclairage d'un ecran transmissif
US5710656A (en) * 1996-07-30 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane
GB2315902A (en) 1996-08-01 1998-02-11 Sharp Kk LIquid crystal device
US5894359A (en) 1996-08-21 1999-04-13 Victor Company Of Japan, Ltd. Color filter and color display apparatus
JP2000501858A (ja) 1996-09-23 2000-02-15 フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ フラットパネル画像表示装置用照明装置
EP1341009B1 (en) 1996-09-24 2006-04-19 Seiko Epson Corporation Illumination device and display device using it
JP3402138B2 (ja) 1996-09-27 2003-04-28 株式会社日立製作所 液晶表示装置
US5975703A (en) 1996-09-30 1999-11-02 Digital Optics International Image projection system
US5854872A (en) 1996-10-08 1998-12-29 Clio Technologies, Inc. Divergent angle rotator system and method for collimating light beams
JPH09189910A (ja) 1996-10-28 1997-07-22 Seiko Epson Corp カラー表示装置
WO1998019201A1 (en) 1996-10-29 1998-05-07 Xeotron Corporation Optical device utilizing optical waveguides and mechanical light-switches
US6486862B1 (en) 1996-10-31 2002-11-26 Kopin Corporation Card reader display system
US6094285A (en) 1996-12-04 2000-07-25 Trw Inc. All optical RF signal channelizer
US5868480A (en) * 1996-12-17 1999-02-09 Compaq Computer Corporation Image projection apparatus for producing an image supplied by parallel transmitted colored light
JPH10186249A (ja) 1996-12-24 1998-07-14 Casio Comput Co Ltd 表示装置
DE19880175T1 (de) 1997-01-16 1999-04-15 Motorola Inc Umgebungsbeleuchtetes elektro-optisches Anzeigegerät
GB2321532A (en) 1997-01-22 1998-07-29 Sharp Kk Multi-colour reflector device and display
US5981112A (en) 1997-01-24 1999-11-09 Eastman Kodak Company Method of making color filter arrays
JPH10202948A (ja) 1997-01-29 1998-08-04 Canon Inc 画像形成装置および画像形成装置の画像形成方法
US6266473B1 (en) 1997-02-07 2001-07-24 Alliedsignal Inc. Reflective display
JPH10293212A (ja) 1997-02-18 1998-11-04 Dainippon Printing Co Ltd バックライト及び液晶表示装置
US5783614A (en) 1997-02-21 1998-07-21 Copytele, Inc. Polymeric-coated dielectric particles and formulation and method for preparing same
US5913594A (en) 1997-02-25 1999-06-22 Iimura; Keiji Flat panel light source device and passive display device utilizing the light source device
JPH10260405A (ja) 1997-03-18 1998-09-29 Seiko Epson Corp 照明装置、液晶表示装置及び電子機器
JP3666181B2 (ja) 1997-03-21 2005-06-29 ソニー株式会社 反射型兼透過型表示装置
EP0867747A3 (en) 1997-03-25 1999-03-03 Sony Corporation Reflective display device
US6879354B1 (en) 1997-03-28 2005-04-12 Sharp Kabushiki Kaisha Front-illuminating device and a reflection-type liquid crystal display using such a device
JP3231655B2 (ja) 1997-03-28 2001-11-26 シャープ株式会社 前方照明装置およびこれを備えた反射型液晶表示装置
JP3364592B2 (ja) 1998-09-16 2003-01-08 シャープ株式会社 反射型液晶表示装置
JP3573938B2 (ja) 1997-03-28 2004-10-06 シャープ株式会社 前方照明装置およびこれを備えた反射型液晶表示装置
JP3706109B2 (ja) 1997-03-28 2005-10-12 シャープ株式会社 前方照明装置およびこれを備えた反射型液晶表示装置
CN1294447C (zh) 1997-04-23 2007-01-10 夏普公司 反射型液晶显示装置
EP0879991A3 (en) 1997-05-13 1999-04-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Illuminating system
CN1134698C (zh) 1997-05-14 2004-01-14 精工爱普生株式会社 显示装置及使用该显示装置的电子装置
GB9710062D0 (en) 1997-05-16 1997-07-09 British Tech Group Optical devices and methods of fabrication thereof
US6100952A (en) 1997-06-04 2000-08-08 Korry Electronics Co. NVG-compatible AMLCD backlight having a ridged prismatic TIR with an embedded diffuser doped with an IR absorbing dye
JPH112764A (ja) 1997-06-10 1999-01-06 Sharp Corp 光開閉装置及び表示装置並びに光開閉装置の製造方法
JP3787983B2 (ja) 1997-06-18 2006-06-21 セイコーエプソン株式会社 光スイッチング素子、画像表示装置及び投射装置
US5883684A (en) 1997-06-19 1999-03-16 Three-Five Systems, Inc. Diffusively reflecting shield optically, coupled to backlit lightguide, containing LED's completely surrounded by the shield
JP3155232B2 (ja) 1997-07-30 2001-04-09 セイコーインスツルメンツ株式会社 光散乱型液晶表示装置
US6259082B1 (en) 1997-07-31 2001-07-10 Rohm Co., Ltd. Image reading apparatus
JPH1164882A (ja) 1997-08-12 1999-03-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 反射型液晶パネルおよびその製造方法
US6008449A (en) 1997-08-19 1999-12-28 Cole; Eric D. Reflective concentrating solar cell assembly
JPH1164836A (ja) 1997-08-21 1999-03-05 Matsushita Electron Corp 画像表示装置
US6031653A (en) * 1997-08-28 2000-02-29 California Institute Of Technology Low-cost thin-metal-film interference filters
FR2769382B1 (fr) 1997-10-03 2000-12-01 Thomson Multimedia Sa Systeme d'eclairage arriere pour modulateur electro-optique transmissif utilisant l'effet de polarisation de la lumiere
US6863428B2 (en) 1997-10-24 2005-03-08 3M Innovative Properties Company Light guide illumination device appearing uniform in brightness along its length
US6088102A (en) 1997-10-31 2000-07-11 Silicon Light Machines Display apparatus including grating light-valve array and interferometric optical system
US6273577B1 (en) 1997-10-31 2001-08-14 Sanyo Electric Co., Ltd. Light guide plate, surface light source using the light guide plate, and liquid crystal display using the surface light source
US6285424B1 (en) 1997-11-07 2001-09-04 Sumitomo Chemical Company, Limited Black mask, color filter and liquid crystal display
DE69730030T2 (de) 1997-11-17 2005-07-21 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Konfokales Spektroskopiesystem und -verfahren
JPH11160687A (ja) 1997-11-21 1999-06-18 Sony Corp 表示装置及び光拡散層の製造方法
JP3808992B2 (ja) 1997-11-21 2006-08-16 三菱電機株式会社 液晶パネルモジュール
US6028690A (en) * 1997-11-26 2000-02-22 Texas Instruments Incorporated Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio
JPH11167808A (ja) 1997-12-04 1999-06-22 Hitachi Ltd 照明装置およびバックライトを有する液晶表示装置
US6492065B2 (en) 1997-12-05 2002-12-10 Victor Company Of Japan, Limited Hologram color filter, production method of the same hologram color filter and space light modulating apparatus using the same hologram color filter
JPH11174234A (ja) 1997-12-05 1999-07-02 Victor Co Of Japan Ltd ホログラムカラーフィルタ、ホログラムカラーフィルタの製 造方法及びこれを用いた空間光変調装置
JPH11184387A (ja) 1997-12-24 1999-07-09 Seiko Instruments Inc フロントライト型照明装置およびフロントライト型照明装置付き反射型カラー表示装置
US6151089A (en) 1998-01-20 2000-11-21 Sony Corporation Reflection type display with light waveguide with inclined and planar surface sections
JPH11211999A (ja) * 1998-01-28 1999-08-06 Teijin Ltd 光変調素子および表示装置
US5914804A (en) * 1998-01-28 1999-06-22 Lucent Technologies Inc Double-cavity micromechanical optical modulator with plural multilayer mirrors
JP3496806B2 (ja) 1998-02-17 2004-02-16 株式会社エンプラス サイドライト型面光源装置及び液晶表示装置
US6897855B1 (en) 1998-02-17 2005-05-24 Sarnoff Corporation Tiled electronic display structure
JPH11232919A (ja) 1998-02-17 1999-08-27 Fuji Xerox Co Ltd フロントライト照明装置および反射型表示装置
US6800378B2 (en) 1998-02-19 2004-10-05 3M Innovative Properties Company Antireflection films for use with displays
JP3831510B2 (ja) 1998-02-27 2006-10-11 三洋電機株式会社 反射型液晶表示装置
JPH11254752A (ja) 1998-03-13 1999-09-21 Fuji Photo Film Co Ltd 露光素子
US6195196B1 (en) * 1998-03-13 2001-02-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof
JP3824290B2 (ja) 1998-05-07 2006-09-20 富士写真フイルム株式会社 アレイ型光変調素子、アレイ型露光素子、及び平面型ディスプレイ、並びにアレイ型光変調素子の駆動方法
JPH11258558A (ja) * 1998-03-13 1999-09-24 Fuji Photo Film Co Ltd 平面表示装置
KR19990074812A (ko) 1998-03-14 1999-10-05 윤종용 호환형 광픽업장치
EP0986109A4 (en) 1998-03-25 2005-01-12 Tdk Corp Solar battery module
JP3279265B2 (ja) 1998-03-26 2002-04-30 株式会社エム・アール・システム研究所 画像表示装置
US6167761B1 (en) 1998-03-31 2001-01-02 Hitachi, Ltd. And Hitachi Car Engineering Co., Ltd. Capacitance type pressure sensor with capacitive elements actuated by a diaphragm
JP2986773B2 (ja) * 1998-04-01 1999-12-06 嶋田プレシジョン株式会社 点光源用の導光板
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
JP4106735B2 (ja) 1998-04-13 2008-06-25 凸版印刷株式会社 太陽電池付反射型ディスプレイ
US6967779B2 (en) * 1998-04-15 2005-11-22 Bright View Technologies, Inc. Micro-lens array with precisely aligned aperture mask and methods of producing same
JP4066503B2 (ja) 1998-04-15 2008-03-26 凸版印刷株式会社 太陽電池付反射型ディスプレイ
JP4520545B2 (ja) 1998-04-17 2010-08-04 セイコーインスツル株式会社 反射型液晶表示装置及びその製造方法
JP3644476B2 (ja) 1998-04-30 2005-04-27 松下電器産業株式会社 携帯用電子機器
JPH11326898A (ja) 1998-05-11 1999-11-26 Toshiba Corp 反射型液晶表示装置
JP3520494B2 (ja) 1998-05-11 2004-04-19 日東電工株式会社 反射型液晶表示装置
US6282010B1 (en) 1998-05-14 2001-08-28 Texas Instruments Incorporated Anti-reflective coatings for spatial light modulators
TW386175B (en) 1998-05-19 2000-04-01 Dainippon Printing Co Ltd Light reflective panel for reflective liquid crystal panel
CN1272922A (zh) 1998-06-02 2000-11-08 日本写真印刷株式会社 配置前照光的触摸屏装置
ATE344936T1 (de) 1998-06-05 2006-11-15 Seiko Epson Corp Lichtquelle und anzeigevorrichtung
DE69907744T2 (de) 1998-06-22 2003-11-20 E Ink Corp Verfahren zur adressierung mikrogekapselter anzeigemedia
EP1014161B1 (en) 1998-06-25 2001-12-19 Citizen Watch Co. Ltd. Reflective liquid crystal display
US6377535B1 (en) 1998-07-06 2002-04-23 Read-Rite Corporation High numerical aperture optical focusing device having a conical incident facet and a parabolic reflector for use in data storage systems
US6900868B2 (en) 1998-07-07 2005-05-31 Fujitsu Display Technologies Corporation Liquid crystal display device
TW523627B (en) 1998-07-14 2003-03-11 Hitachi Ltd Liquid crystal display device
GB2340281A (en) 1998-08-04 2000-02-16 Sharp Kk A reflective liquid crystal display device
JP2000056226A (ja) 1998-08-04 2000-02-25 Olympus Optical Co Ltd 表示・撮像装置
EP1020754B1 (en) 1998-08-10 2006-10-18 Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. Light modulator of waveguide type
US6034813A (en) 1998-08-24 2000-03-07 Southwall Technologies, Inc. Wavelength selective applied films with glare control
JP2000075287A (ja) 1998-09-01 2000-03-14 Toshiba Corp 反射型液晶表示装置
JP2000075293A (ja) 1998-09-02 2000-03-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 照明装置、照明付きタッチパネル及び反射型液晶表示装置
JP2000081848A (ja) 1998-09-03 2000-03-21 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置を搭載した電子機器
US6113239A (en) 1998-09-04 2000-09-05 Sharp Laboratories Of America, Inc. Projection display system for reflective light valves
JP4475813B2 (ja) 1998-09-14 2010-06-09 エスビージー・ラボラトリーズ・インコーポレイテッド ホログラフィー照明装置
JP3119846B2 (ja) * 1998-09-17 2000-12-25 恵和株式会社 光拡散シート及びこれを用いたバックライトユニット
JP3259692B2 (ja) 1998-09-18 2002-02-25 株式会社日立製作所 集光型太陽光発電モジュール及びその製造方法並びに集光型太陽光発電システム
JP2000181367A (ja) 1998-10-05 2000-06-30 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 反射型半導体表示装置
EP0992837B1 (en) 1998-10-05 2010-06-16 Semiconductor Energy Laboratory Co, Ltd. Reflection type semiconductor display device
US6323834B1 (en) 1998-10-08 2001-11-27 International Business Machines Corporation Micromechanical displays and fabrication method
US6199989B1 (en) 1998-10-29 2001-03-13 Sumitomo Chemical Company, Limited Optical plate having reflecting function and transmitting function
US6288824B1 (en) 1998-11-03 2001-09-11 Alex Kastalsky Display device based on grating electromechanical shutter
JP2000147262A (ja) 1998-11-11 2000-05-26 Nobuyuki Higuchi 集光装置及びこれを利用した太陽光発電システム
TW422346U (en) 1998-11-17 2001-02-11 Ind Tech Res Inst A reflector device with arc diffusion uint
JP3563618B2 (ja) 1998-11-20 2004-09-08 コニカミノルタホールディングス株式会社 照明装置
US6208466B1 (en) 1998-11-25 2001-03-27 3M Innovative Properties Company Multilayer reflector with selective transmission
CN1134607C (zh) 1998-11-27 2004-01-14 夏普株式会社 照明装置以及使用该照明装置的液晶显示装置
JP3871176B2 (ja) 1998-12-14 2007-01-24 シャープ株式会社 バックライト装置および液晶表示装置
JP2000193933A (ja) 1998-12-25 2000-07-14 Matsushita Electric Works Ltd 表示装置
US6188519B1 (en) 1999-01-05 2001-02-13 Kenneth Carlisle Johnson Bigrating light valve
JP2000214804A (ja) 1999-01-20 2000-08-04 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子及び露光装置並びに平面表示装置
KR100433607B1 (ko) 1999-02-01 2004-05-31 세이코 엡슨 가부시키가이샤 표시 장치, 그것을 사용한 전자기기 및 표시 장치용 도광체
US6322236B1 (en) 1999-02-09 2001-11-27 3M Innovative Properties Company Optical film with defect-reducing surface and method for making same
US20050024849A1 (en) 1999-02-23 2005-02-03 Parker Jeffery R. Methods of cutting or forming cavities in a substrate for use in making optical films, components or wave guides
US6827456B2 (en) 1999-02-23 2004-12-07 Solid State Opto Limited Transreflectors, transreflector systems and displays and methods of making transreflectors
EP1093105A4 (en) 1999-03-02 2002-06-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd LIGHTING DEVICE AND DISPLAY DEVICE WITH THE SAME
JP4377984B2 (ja) 1999-03-10 2009-12-02 キヤノン株式会社 カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いた液晶素子
US6292504B1 (en) 1999-03-16 2001-09-18 Raytheon Company Dual cavity laser resonator
JP3471001B2 (ja) 1999-04-16 2003-11-25 富士写真光機株式会社 照明光学系およびこれを用いた投射型表示装置
JP3434465B2 (ja) 1999-04-22 2003-08-11 三菱電機株式会社 液晶表示装置用バックライト
JP4237331B2 (ja) 1999-04-26 2009-03-11 大日本印刷株式会社 反射型液晶ディスプレイ
JP3594868B2 (ja) 1999-04-26 2004-12-02 日東電工株式会社 積層偏光板及び液晶表示装置
JP3657143B2 (ja) 1999-04-27 2005-06-08 シャープ株式会社 太陽電池及びその製造方法
JP3527961B2 (ja) 1999-04-30 2004-05-17 株式会社日立製作所 フロントライト型反射液晶表示装置
TW477897B (en) * 1999-05-07 2002-03-01 Sharp Kk Liquid crystal display device, method and device to measure cell thickness of liquid crystal display device, and phase difference plate using the method thereof
US6323987B1 (en) 1999-05-14 2001-11-27 Agere Systems Optoelectronics Guardian Corp. Controlled multi-wavelength etalon
JP4328919B2 (ja) * 1999-05-21 2009-09-09 株式会社トプコン ターゲット装置
US6789194B1 (en) 1999-05-25 2004-09-07 Silverbrook Research Pty Ltd Network publishing authorization protocol
JP3515426B2 (ja) 1999-05-28 2004-04-05 大日本印刷株式会社 防眩フィルムおよびその製造方法
FI107085B (fi) 1999-05-28 2001-05-31 Ics Intelligent Control System Valopaneeli
US6201633B1 (en) * 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
GB2350963A (en) 1999-06-09 2000-12-13 Secr Defence Holographic Displays
DE19927359A1 (de) 1999-06-16 2000-12-21 Creavis Tech & Innovation Gmbh Elektrophoretische Displays aus lichtstreuenden Trägermaterialien
US6597419B1 (en) 1999-07-02 2003-07-22 Minolta Co., Ltd. Liquid crystal display including filter means with 10-70% transmittance in the selective reflection wavelength range
JP2001021883A (ja) 1999-07-06 2001-01-26 Nec Corp 反射型液晶表示器及び電子機器
JP2001035222A (ja) 1999-07-23 2001-02-09 Minebea Co Ltd 面状照明装置
JP2001035230A (ja) 1999-07-26 2001-02-09 Minebea Co Ltd 面状照明装置
JP2001035225A (ja) 1999-07-26 2001-02-09 Minebea Co Ltd 面状照明装置
JP2001052518A (ja) 1999-08-16 2001-02-23 Minebea Co Ltd 面状照明装置
DE19939318A1 (de) 1999-08-19 2001-02-22 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
KR20010107934A (ko) 1999-08-30 2001-12-07 마쯔시다 유키오 면(面)발광장치 및 발광유도장치
EP1081633A2 (en) 1999-08-31 2001-03-07 Daicel Chemical Industries, Ltd. Touch panel and display device using the same
DE19942513A1 (de) 1999-09-07 2001-03-08 Gerhard Karl Leuchtkörper für durchleuchtungsfähige Bilder
US6646772B1 (en) 1999-09-14 2003-11-11 Digilens, Inc. Holographic illumination system
US6448709B1 (en) 1999-09-15 2002-09-10 Industrial Technology Research Institute Field emission display panel having diode structure and method for fabricating
GB2354899A (en) 1999-10-02 2001-04-04 Sharp Kk Optical device for projection display
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US7046905B1 (en) 1999-10-08 2006-05-16 3M Innovative Properties Company Blacklight with structured surfaces
JP3457591B2 (ja) 1999-10-08 2003-10-20 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 液晶表示装置
JP4928038B2 (ja) 1999-10-19 2012-05-09 ロリク アーゲー 位相幾何学的に構成されたポリマーコーティング
US6421104B1 (en) 1999-10-22 2002-07-16 Motorola, Inc. Front illuminator for a liquid crystal display and method of making same
US6518944B1 (en) * 1999-10-25 2003-02-11 Kent Displays, Inc. Combined cholesteric liquid crystal display and solar cell assembly device
US6549338B1 (en) 1999-11-12 2003-04-15 Texas Instruments Incorporated Bandpass filter to reduce thermal impact of dichroic light shift
JP3659139B2 (ja) 1999-11-29 2005-06-15 セイコーエプソン株式会社 Ｒａｍ内蔵ドライバ並びにそれを用いた表示ユニットおよび電子機器
US6398389B1 (en) 1999-12-03 2002-06-04 Texas Instruments Incorporated Solid state light source augmentation for SLM display systems
US6717348B2 (en) 1999-12-09 2004-04-06 Fuji Photo Film Co., Ltd. Display apparatus
KR100679095B1 (ko) 1999-12-10 2007-02-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 미세 광변조기를 이용한 투과형 표시소자
LT4842B (lt) * 1999-12-10 2001-09-25 Uab "Geola" Hologramų spausdinimo būdas ir įrenginys
JP3987257B2 (ja) 1999-12-10 2007-10-03 ローム株式会社 液晶表示装置
JP3524831B2 (ja) 1999-12-15 2004-05-10 シャープ株式会社 反射型および透過型液晶表示装置
US6221687B1 (en) 1999-12-23 2001-04-24 Tower Semiconductor Ltd. Color image sensor with embedded microlens array
JP2001188230A (ja) 1999-12-28 2001-07-10 Fuji Photo Film Co Ltd 液晶表示装置
DE60033264T2 (de) 1999-12-28 2007-11-08 Fujitsu Kasei Ltd., Yokohama Beleuchtungsapparat für Anzeige
US6466358B2 (en) 1999-12-30 2002-10-15 Texas Instruments Incorporated Analog pulse width modulation cell for digital micromechanical device
US6519073B1 (en) * 2000-01-10 2003-02-11 Lucent Technologies Inc. Micromechanical modulator and methods for fabricating the same
JP2001194534A (ja) 2000-01-13 2001-07-19 Nitto Denko Corp 導光板及びその製造方法
KR100769779B1 (ko) 2000-01-13 2007-10-24 닛토덴코 가부시키가이샤 광학 필름 및 액정 디스플레이 장치
JP2003519898A (ja) 2000-01-14 2003-06-24 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 表示装置
JP4614400B2 (ja) 2000-01-17 2011-01-19 日東電工株式会社 有機ｅｌ発光装置、偏光面光源装置及び液晶表示装置
WO2001059402A2 (en) 2000-01-25 2001-08-16 Zygo Corporation Optical systems for measuring form and geometric dimensions of precision engineered parts
JP4442836B2 (ja) 2000-02-02 2010-03-31 日東電工株式会社 光学フィルム
JP2001215501A (ja) 2000-02-02 2001-08-10 Fuji Photo Film Co Ltd 照明装置および液晶表示装置
JP4609962B2 (ja) 2000-02-02 2011-01-12 日東電工株式会社 光学フィルム
DE10004972A1 (de) 2000-02-04 2001-08-16 Bosch Gmbh Robert Anzeigevorrichtung
US6888678B2 (en) 2000-02-16 2005-05-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Irregular-shape body, reflection sheet and reflection-type liquid crystal display element, and production method and production device therefor
JP4015342B2 (ja) 2000-03-03 2007-11-28 ローム株式会社 照明装置およびこれを備えた液晶表示装置
JP2001267592A (ja) 2000-03-14 2001-09-28 Nikon Corp 半導体装置の製造方法、背面入射型受光装置の製造方法、半導体装置、及び背面入射型受光装置
JP2001283622A (ja) 2000-03-29 2001-10-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 照明装置及び反射型液晶表示装置
JP3301752B2 (ja) 2000-03-31 2002-07-15 三菱電機株式会社 フロントライト、反射型液晶表示装置および携帯情報端末
JP4856805B2 (ja) 2000-03-31 2012-01-18 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー 光学積層体
JP2001297615A (ja) 2000-04-12 2001-10-26 Keiwa Inc 光学シート及びこれを用いたバックライトユニット
US6400738B1 (en) 2000-04-14 2002-06-04 Agilent Technologies, Inc. Tunable Fabry-Perot filters and lasers
CN1203360C (zh) 2000-04-21 2005-05-25 精工爱普生株式会社 电光学装置、投影显示装置及电光学装置的制造方法
US7133019B2 (en) 2000-04-21 2006-11-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Illuminator, image display comprising the same, liquid crystal television, liquid crystal monitor, and liquid crystal information terminal
AU2001255617B2 (en) 2000-04-25 2004-07-08 Honeywell International Inc. Hollow cavity light guide for the distribution of collimated light to a liquid crystal display
JP2002014344A (ja) 2000-04-28 2002-01-18 Minolta Co Ltd 液晶表示装置
US20010055076A1 (en) 2000-04-28 2001-12-27 Keizou Ochi Reflective liquid crystal display apparatus
TWI240788B (en) 2000-05-04 2005-10-01 Koninkl Philips Electronics Nv Illumination system, light mixing chamber and display device
JP2003532269A (ja) 2000-05-04 2003-10-28 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 画像表示装置及び該画像表示装置において光伝導体を製造する方法
JP4197572B2 (ja) 2000-05-12 2008-12-17 日東電工株式会社 反射型液晶表示装置
JP4560890B2 (ja) 2000-05-16 2010-10-13 東レ株式会社 積層光拡散性フィルムの製造方法
US6480634B1 (en) 2000-05-18 2002-11-12 Silicon Light Machines Image projector including optical fiber which couples laser illumination to light modulator
AU2001274008A1 (en) 2000-05-19 2001-12-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Polarized light-emitting waveguide plate
JP2001345458A (ja) 2000-05-30 2001-12-14 Kyocera Corp 太陽電池
JP2001343514A (ja) 2000-05-30 2001-12-14 Victor Co Of Japan Ltd ホログラムカラーフィルタ
JP4439084B2 (ja) 2000-06-14 2010-03-24 日東電工株式会社 液晶表示装置
US6598987B1 (en) 2000-06-15 2003-07-29 Nokia Mobile Phones Limited Method and apparatus for distributing light to the user interface of an electronic device
US7041344B2 (en) 2000-06-15 2006-05-09 Teijin Limited Biaxially oriented polyester film for light-diffusing plate and light-diffusing plate
JP2001356701A (ja) * 2000-06-15 2001-12-26 Fuji Photo Film Co Ltd 光学素子、光源ユニットおよび表示装置
KR20020001594A (ko) 2000-06-26 2002-01-09 가마이 고로 도광판, 면광원 장치 및 반사형 액정 표시 장치
WO2003002908A1 (en) 2000-06-26 2003-01-09 Reveo, Inc. Backlight for a liquid crystal display having high light-recycling efficiency
JP2002071965A (ja) 2000-08-29 2002-03-12 Nitto Denko Corp 導光板、面光源装置及び反射型液晶表示装置
US7583335B2 (en) 2000-06-27 2009-09-01 Citizen Holdings Co., Ltd. Liquid crystal display device
JP3774616B2 (ja) 2000-06-29 2006-05-17 株式会社日立製作所 照明装置及び導光板の製造方法
FR2811139B1 (fr) 2000-06-29 2003-10-17 Centre Nat Rech Scient Dispositif optoelectronique a filtrage de longueur d'onde integre
JP2002023155A (ja) 2000-07-05 2002-01-23 Nitto Denko Corp 反射型液晶表示装置
JP3700078B2 (ja) * 2000-07-11 2005-09-28 ミネベア株式会社 面状照明装置
JP2002025326A (ja) 2000-07-13 2002-01-25 Seiko Epson Corp 光源装置、照明装置、液晶装置及び電子機器
US6677709B1 (en) 2000-07-18 2004-01-13 General Electric Company Micro electromechanical system controlled organic led and pixel arrays and method of using and of manufacturing same
US20040032659A1 (en) * 2000-07-18 2004-02-19 Drinkwater John K Difractive device
US6565225B2 (en) * 2000-07-19 2003-05-20 Sanyo Electric Co., Ltd. Bar-shaped light guide, beam lighting device using the bar-shaped light guide, and surface lighting device using the beam lighting device
JP3773818B2 (ja) 2000-07-19 2006-05-10 三洋電機株式会社 棒状導光体及びそれを用いた線状照明装置並びにこの線状照明装置を用いた面状照明装置
JP4460732B2 (ja) 2000-07-21 2010-05-12 富士フイルム株式会社 平面表示装置および露光装置
JP2002124113A (ja) 2000-07-21 2002-04-26 Hayashi Telempu Co Ltd 面照明装置
JP2002108227A (ja) 2000-07-26 2002-04-10 Bridgestone Corp フロントライト及び液晶表示装置
JP2002042525A (ja) 2000-07-26 2002-02-08 Toyoda Gosei Co Ltd 面状光源
KR20020010322A (ko) 2000-07-29 2002-02-04 구본준, 론 위라하디락사 멤스（ｍｅｍｓ）를 이용한 투과형 디스플레이 장치
JP4467840B2 (ja) 2000-07-31 2010-05-26 東芝モバイルディスプレイ株式会社 照明装置、及び導光板の製造方法
US7525531B2 (en) 2000-07-31 2009-04-28 Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. Method for manufacturing lighting device, image display, liquid crystal monitor, liquid crystal television, liquid crystal information terminal, and light guide plate
US6795605B1 (en) * 2000-08-01 2004-09-21 Cheetah Omni, Llc Micromechanical optical switch
JP2002062505A (ja) 2000-08-14 2002-02-28 Canon Inc 投影型表示装置及びそれに用いる干渉性変調素子
US6570681B1 (en) 2000-08-25 2003-05-27 Actuality Systems, Inc. System and method for dynamic optical switching using a diffractive optical element
JP2002072284A (ja) 2000-08-28 2002-03-12 Canon Inc 光量調節装置、レンズ装置および撮像装置
US6643069B2 (en) 2000-08-31 2003-11-04 Texas Instruments Incorporated SLM-base color projection display having multiple SLM's and multiple projection lenses
JP2002075037A (ja) 2000-09-05 2002-03-15 Minebea Co Ltd 面状照明装置
JP4945861B2 (ja) 2000-09-05 2012-06-06 株式会社ニコン 熱型変位素子及びこれを用いた放射検出装置
JP4053220B2 (ja) 2000-09-06 2008-02-27 スガツネ工業株式会社 回動抵抗調整可能なトルクヒンジ
US6792293B1 (en) 2000-09-13 2004-09-14 Motorola, Inc. Apparatus and method for orienting an image on a display of a wireless communication device
JP3394025B2 (ja) 2000-09-13 2003-04-07 嶋田プレシジョン株式会社 フロントライト導光板
US6538813B1 (en) * 2000-09-19 2003-03-25 Honeywell International Inc. Display screen with metallized tapered waveguides
US6466354B1 (en) 2000-09-19 2002-10-15 Silicon Light Machines Method and apparatus for interferometric modulation of light
JP3561685B2 (ja) * 2000-09-20 2004-09-02 三洋電機株式会社 線状光源装置及びそれを用いた照明装置
GB2371119A (en) 2000-09-25 2002-07-17 Marconi Caswell Ltd Micro electro-mechanical systems
CN1811549A (zh) 2000-09-25 2006-08-02 三菱丽阳株式会社 一种光源装置
WO2002025167A1 (fr) 2000-09-25 2002-03-28 Mitsubishi Rayon Co., Ltd. Dispositif d'eclairage
US6778513B2 (en) 2000-09-29 2004-08-17 Arraycomm, Inc. Method and apparatus for separting multiple users in a shared-channel communication system
JP4570228B2 (ja) 2000-10-11 2010-10-27 日東電工株式会社 ガラス基板及び液晶表示装置
US6493475B1 (en) 2000-10-19 2002-12-10 Tellium, Inc. Monolithic integration of signal-monitoring scheme in an optical switch
JP4371290B2 (ja) 2000-10-19 2009-11-25 大日本印刷株式会社 ホログラム導光板
US7072086B2 (en) * 2001-10-19 2006-07-04 Batchko Robert G Digital focus lens system
JP2002139630A (ja) 2000-10-31 2002-05-17 Alps Electric Co Ltd 導光板およびその製造方法、面発光装置並びに液晶表示装置
US6611079B2 (en) 2000-10-31 2003-08-26 Kabushiki Kaisha Toshiba Electrostatic actuator and camera module using the same
JP4374482B2 (ja) 2000-11-02 2009-12-02 ミネベア株式会社 面状照明装置
US6556338B2 (en) 2000-11-03 2003-04-29 Intpax, Inc. MEMS based variable optical attenuator (MBVOA)
JP2002148615A (ja) 2000-11-08 2002-05-22 Nitto Denko Corp 光学フィルム及び反射型液晶表示装置
US6580496B2 (en) 2000-11-09 2003-06-17 Canesta, Inc. Systems for CMOS-compatible three-dimensional image sensing using quantum efficiency modulation
US6643067B2 (en) 2000-11-22 2003-11-04 Seiko Epson Corporation Electro-optical device and electronic apparatus
US7307775B2 (en) 2000-12-07 2007-12-11 Texas Instruments Incorporated Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates
JP2002174780A (ja) 2000-12-08 2002-06-21 Stanley Electric Co Ltd 反射型カラー表示器
US7164224B2 (en) 2000-12-14 2007-01-16 Sharp Kabushiki Kaisha Backlight having discharge tube, reflector and heat conduction member contacting discharge tube
JP4266551B2 (ja) 2000-12-14 2009-05-20 三菱レイヨン株式会社 面光源システムおよびそれに用いる光偏向素子
JP2002184223A (ja) 2000-12-14 2002-06-28 Alps Electric Co Ltd 面発光装置及びその製造方法並びに液晶表示装置
IL140318A0 (en) 2000-12-14 2002-02-10 Planop Planar Optics Ltd Compact dynamic crossbar switch by means of planar optics
JP3551310B2 (ja) 2000-12-20 2004-08-04 ミネベア株式会社 表示装置用タッチパネル
JP4361206B2 (ja) 2000-12-21 2009-11-11 日東電工株式会社 光学フィルム及び液晶表示装置
KR100358181B1 (ko) 2000-12-22 2002-10-25 한국전자통신연구원 열광학 가변 광감쇄기
JP2002196117A (ja) 2000-12-25 2002-07-10 Nitto Denko Corp 光拡散層、光拡散性シート及び光学素子
JP2002196151A (ja) 2000-12-25 2002-07-10 Citizen Electronics Co Ltd 導光板
US20040141108A1 (en) 2000-12-28 2004-07-22 Hideyuki Tanaka Light guiding plate and liquid crystal display device with the light guiding plate
JP4074977B2 (ja) 2001-02-02 2008-04-16 ミネベア株式会社 面状照明装置
US6636653B2 (en) 2001-02-02 2003-10-21 Teravicta Technologies, Inc. Integrated optical micro-electromechanical systems and methods of fabricating and operating the same
JP2002229023A (ja) 2001-02-05 2002-08-14 Rohm Co Ltd カラー液晶表示装置
US6925313B2 (en) 2001-02-07 2005-08-02 Hyundai Curitel Inc. Folder-type mobile communication terminal having double-sided LCD
JP4476505B2 (ja) 2001-02-09 2010-06-09 シャープ株式会社 液晶表示装置
KR100377359B1 (ko) 2001-02-14 2003-03-26 삼성전자주식회사 영상표시장치의 조명광학계
JP2002245835A (ja) 2001-02-15 2002-08-30 Minolta Co Ltd 照明装置、表示装置、及び電子機器
EP1373963A4 (en) 2001-03-02 2006-04-26 Massachusetts Inst Technology METHOD AND DEVICE FOR DIFRACTIVE OPTICAL PROCESSING USING AN ACTIVE STRUCTURE
GB0105781D0 (en) 2001-03-08 2001-04-25 Dyson Ltd Wand assembly for a vacuum cleaner
US6700695B2 (en) 2001-03-14 2004-03-02 3M Innovative Properties Company Microstructured segmented electrode film for electronic displays
EP1241514A3 (en) 2001-03-16 2003-09-10 Nitto Denko Corporation Liquid-crystal display apparatus
JP3888075B2 (ja) 2001-03-23 2007-02-28 セイコーエプソン株式会社 光スイッチング素子、光スイッチングデバイス、および画像表示装置
JP3713596B2 (ja) 2001-03-26 2005-11-09 ミネベア株式会社 面状照明装置
JP2002297044A (ja) 2001-03-29 2002-10-09 Toshiba Corp 狭視野角モバイルディスプレイ、それに用いるフィルターの製造方法、および携帯端末装置
US6630786B2 (en) 2001-03-30 2003-10-07 Candescent Technologies Corporation Light-emitting device having light-reflective layer formed with, or/and adjacent to, material that enhances device performance
US6592234B2 (en) 2001-04-06 2003-07-15 3M Innovative Properties Company Frontlit display
US6678026B2 (en) 2001-04-10 2004-01-13 Seiko Epson Corporation Liquid crystal device and electronic apparatus
JP3686348B2 (ja) 2001-04-10 2005-08-24 株式会社巴川製紙所 光学フィルムおよびその製造方法
US6552842B2 (en) 2001-04-13 2003-04-22 Ut-Battelle, Llc Reflective coherent spatial light modulator
JP2002313121A (ja) 2001-04-16 2002-10-25 Nitto Denko Corp タッチパネル付照明装置及び反射型液晶表示装置
US6660997B2 (en) 2001-04-26 2003-12-09 Creo Srl Absolute position Moiré type encoder for use in a control system
JP2002328313A (ja) 2001-05-01 2002-11-15 Sony Corp 光スイッチング素子およびその製造方法、並びに画像表示装置
GB2375184A (en) 2001-05-02 2002-11-06 Marconi Caswell Ltd Wavelength selectable optical filter
JP2002333618A (ja) 2001-05-07 2002-11-22 Nitto Denko Corp 反射型液晶表示装置
US7001058B2 (en) 2001-05-16 2006-02-21 Ben-Zion Inditsky Ultra-thin backlight
US6583876B2 (en) 2001-05-24 2003-06-24 Therma-Wave, Inc. Apparatus for optical measurements of nitrogen concentration in thin films
JP2002350840A (ja) 2001-05-28 2002-12-04 Hitachi Ltd 反射型液晶表示装置
JP2002357717A (ja) 2001-06-01 2002-12-13 Dainippon Printing Co Ltd 波長選択素子およびそれを備えた光表示装置
EP1397610B1 (en) 2001-06-01 2007-12-12 Philips Lumileds Lighting Company LLC Compact illumination system and display device
WO2002099474A1 (fr) 2001-06-01 2002-12-12 Daicel Chemical Industries, Ltd. Film de diffusion de lumiere, dispositif d'eclairage de surface et dispositif d'affichage a cristaux liquides
JP2002365438A (ja) 2001-06-05 2002-12-18 Mark:Kk 線状導光体およびそれを用いたディスプレイ装置ならびに電子装置、線状導光体の製造方法
US7068948B2 (en) 2001-06-13 2006-06-27 Gazillion Bits, Inc. Generation of optical signals with return-to-zero format
US6961045B2 (en) 2001-06-16 2005-11-01 Che-Chih Tsao Pattern projection techniques for volumetric 3D displays and 2D displays
GB0114862D0 (en) 2001-06-19 2001-08-08 Secr Defence Image replication system
JP4493884B2 (ja) 2001-06-25 2010-06-30 五洋紙工株式会社 積層導光板
JP2003007114A (ja) 2001-06-26 2003-01-10 Sharp Corp フロントライトおよびそれを用いた反射型表示装置
US20030001985A1 (en) 2001-06-28 2003-01-02 Steve Doe Electronic display
JP4526223B2 (ja) * 2001-06-29 2010-08-18 シャープ株式会社 配線部材ならびに太陽電池モジュールおよびその製造方法
WO2003004931A2 (en) 2001-06-30 2003-01-16 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Backlight using planar hologram for flat display device
US6903788B2 (en) 2001-07-05 2005-06-07 Nitto Denko Corporation Optical film and a liquid crystal display using the same
JP3760810B2 (ja) 2001-07-06 2006-03-29 ソニー株式会社 光変調素子、ｇｌｖデバイス、及びレーザディスプレイ
JP2003021821A (ja) 2001-07-09 2003-01-24 Toshiba Corp 液晶ユニットおよびその駆動方法
US6478432B1 (en) 2001-07-13 2002-11-12 Chad D. Dyner Dynamically generated interactive real imaging device
JP2003031017A (ja) 2001-07-13 2003-01-31 Minebea Co Ltd 面状照明装置
KR100799156B1 (ko) 2001-07-13 2008-01-29 삼성전자주식회사 도광판, 이의 제조 방법, 이를 이용한 액정표시장치
JP3959678B2 (ja) 2001-07-13 2007-08-15 ミネベア株式会社 表示装置用タッチパネル
US6594059B2 (en) * 2001-07-16 2003-07-15 Axsun Technologies, Inc. Tilt mirror fabry-perot filter system, fabrication process therefor, and method of operation thereof
JP3909812B2 (ja) 2001-07-19 2007-04-25 富士フイルム株式会社 表示素子及び露光素子
US7263268B2 (en) * 2001-07-23 2007-08-28 Ben-Zion Inditsky Ultra thin radiation management and distribution systems with hybrid optical waveguide
TWI225916B (en) 2001-07-27 2005-01-01 Nissen Kagaku Kk Planar lighting device
JP4213897B2 (ja) 2001-08-07 2009-01-21 株式会社日立製作所 マイクロレンズアレイの転写原型の製造方法
JP2003057652A (ja) 2001-08-20 2003-02-26 Japan Science & Technology Corp 画像表示装置，照明装置
JP2003057653A (ja) 2001-08-21 2003-02-26 Citizen Watch Co Ltd 液晶表示装置
JP2003066236A (ja) 2001-08-27 2003-03-05 Nitto Denko Corp 導光板、偏光面光源装置及び反射型液晶表示装置
JP2003066451A (ja) 2001-08-30 2003-03-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置
JP4671562B2 (ja) 2001-08-31 2011-04-20 富士通株式会社 照明装置及び液晶表示装置
KR100432490B1 (ko) 2001-09-17 2004-05-22 (주)니트 젠 광학식 지문취득 장치
TW574586B (en) 2001-09-19 2004-02-01 Optrex Kk Liquid crystal display element
JP3928395B2 (ja) 2001-09-21 2007-06-13 オムロン株式会社 面光源装置
WO2003028059A1 (en) 2001-09-21 2003-04-03 Hrl Laboratories, Llc Mems switches and methods of making same
CN1559000A (zh) 2001-09-26 2004-12-29 皇家飞利浦电子股份有限公司 波导、边缘发光照明装置和包含这种装置的显示器
JP4050119B2 (ja) 2001-10-02 2008-02-20 シャープ株式会社 液晶表示装置
KR20030029769A (ko) 2001-10-10 2003-04-16 엘지.필립스 엘시디 주식회사 광 누설방지용 금속층이 형성된 액정표시소자
NZ514500A (en) 2001-10-11 2004-06-25 Deep Video Imaging Ltd A multiplane visual display unit with a transparent emissive layer disposed between two display planes
WO2003034696A1 (en) 2001-10-16 2003-04-24 Koninklijke Philips Electronics N.V. Electronic apparatus having a removable front-face element
JP4001736B2 (ja) 2001-10-23 2007-10-31 アルプス電気株式会社 面発光装置及び液晶表示装置
JP2003202568A (ja) 2001-10-24 2003-07-18 Sharp Corp 導光体およびその製造方法、面状光源装置、表示装置
JP2003131215A (ja) 2001-10-29 2003-05-08 Optrex Corp 反射型表示装置
US6870581B2 (en) 2001-10-30 2005-03-22 Sharp Laboratories Of America, Inc. Single panel color video projection display using reflective banded color falling-raster illumination
US6636285B2 (en) 2001-11-01 2003-10-21 Motorola, Inc. Reflective liquid crystal display with improved contrast
JP2003140118A (ja) 2001-11-02 2003-05-14 Nec Access Technica Ltd 液晶表示装置
JP2006502421A (ja) 2001-11-06 2006-01-19 キーオティ 画像投影装置
CN101446773A (zh) * 2001-11-07 2009-06-03 应用材料有限公司 无掩膜光子电子点格栅阵列光刻机
JP3828402B2 (ja) 2001-11-08 2006-10-04 株式会社日立製作所 背面照明装置およびこれを用いた液晶表示装置並びに液晶表示装置の照明方法
KR100774256B1 (ko) * 2001-11-08 2007-11-08 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 장치
KR100827962B1 (ko) 2001-11-08 2008-05-08 엘지디스플레이 주식회사 액정 표시 장치 및 그의 제조 방법
JP2003147351A (ja) 2001-11-09 2003-05-21 Taiwan Lite On Electronics Inc 白色光光源の製作方法
US7128459B2 (en) 2001-11-12 2006-10-31 Nidec Copal Corporation Light-guide plate and method for manufacturing the same
JP2003149642A (ja) 2001-11-13 2003-05-21 Matsushita Electric Works Ltd 液晶用フロントライト
JP2003151331A (ja) 2001-11-15 2003-05-23 Minebea Co Ltd 面状照明装置
JP2003149643A (ja) 2001-11-16 2003-05-21 Goyo Paper Working Co Ltd 液晶表示用フロントライト
KR100440405B1 (ko) 2001-11-19 2004-07-14 삼성전자주식회사 더블 버퍼링을 이용한 화상 데이터 출력 제어장치
US20030095401A1 (en) 2001-11-20 2003-05-22 Palm, Inc. Non-visible light display illumination system and method
US6802614B2 (en) 2001-11-28 2004-10-12 Robert C. Haldiman System, method and apparatus for ambient video projection
JP3801032B2 (ja) 2001-11-29 2006-07-26 日本電気株式会社 光源とこの光源を用いた液晶表示装置
JP2003167132A (ja) 2001-11-30 2003-06-13 Toyota Industries Corp フロントライト用楔型導光板
JP2003167500A (ja) 2001-11-30 2003-06-13 Art Nau:Kk ホログラム作成方法
US7253853B2 (en) 2001-12-04 2007-08-07 Rohm Co., Ltd. Liquid crystal display and lighting unit having parabolic surface
JP2003173713A (ja) 2001-12-04 2003-06-20 Rohm Co Ltd 照明装置および液晶表示装置
JP2003177336A (ja) 2001-12-11 2003-06-27 Fuji Photo Film Co Ltd 光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
US7872394B1 (en) 2001-12-13 2011-01-18 Joseph E Ford MEMS device with two axes comb drive actuators
US7072096B2 (en) 2001-12-14 2006-07-04 Digital Optics International, Corporation Uniform illumination system
JP3683212B2 (ja) 2001-12-14 2005-08-17 Ｎｅｃアクセステクニカ株式会社 携帯電話機
JP2003186008A (ja) 2001-12-14 2003-07-03 Dainippon Printing Co Ltd フロントライト用シートおよびそれを用いたディスプレイ装置
WO2003054797A2 (en) 2001-12-19 2003-07-03 Actuality Systems, Inc. A radiation conditioning system
US7515336B2 (en) 2001-12-21 2009-04-07 Bose Corporation Selective reflecting
JP3893421B2 (ja) 2001-12-27 2007-03-14 富士フイルム株式会社 光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
US6998196B2 (en) * 2001-12-28 2006-02-14 Wavefront Technology Diffractive optical element and method of manufacture
US6577429B1 (en) 2002-01-15 2003-06-10 Eastman Kodak Company Laser projection display system
US20030136759A1 (en) 2002-01-18 2003-07-24 Cabot Microelectronics Corp. Microlens array fabrication using CMP
DE60229166D1 (de) 2002-01-25 2008-11-13 Tpo Hong Kong Holding Ltd Anzeigevorrichtung
JP4039551B2 (ja) 2002-01-29 2008-01-30 シチズン電子株式会社 蛍光体色度補正板
KR100944680B1 (ko) 2002-02-04 2010-02-26 니치유 가부시키가이샤 펜 입력 장치용 표면재 및 펜 입력 장치
JP4162900B2 (ja) 2002-02-05 2008-10-08 アルプス電気株式会社 照明装置及び液晶表示装置
US6794119B2 (en) 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
US7203002B2 (en) * 2002-02-12 2007-04-10 Nitto Denko Corporation Polarizer, polarizing plate, liquid crystal display, and image display, and a method for producing the polarizer
US7125121B2 (en) 2002-02-25 2006-10-24 Ricoh Company, Ltd. Image display apparatus
JP2003248181A (ja) * 2002-02-25 2003-09-05 Ricoh Co Ltd 反射型空間光変調装置
JP2003322824A (ja) * 2002-02-26 2003-11-14 Namco Ltd 立体視映像表示装置および電子機器
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
JP2003255338A (ja) 2002-02-28 2003-09-10 Mitsubishi Electric Corp 液晶表示装置
US7283112B2 (en) 2002-03-01 2007-10-16 Microsoft Corporation Reflective microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system
WO2003075207A2 (en) 2002-03-01 2003-09-12 Planar Systems, Inc. Reflection resistant touch screens
JP4317458B2 (ja) 2002-03-05 2009-08-19 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 拡散均一照明と指向性スポット照明とを組み合わせた照明装置
JP2003255344A (ja) 2002-03-05 2003-09-10 Citizen Electronics Co Ltd カラー液晶表示装置のフロントライト
JP3773865B2 (ja) 2002-03-06 2006-05-10 三洋電機株式会社 導光板および表示装置
AU2003202766A1 (en) 2002-03-08 2003-09-22 Koninklijke Philips Electronics N.V. Display device comprising a light guide
CN1643439A (zh) 2002-03-14 2005-07-20 日本电气株式会社 光调制显示器件、其制作方法以及装有此光调制显示器件的显示装置
CN100347569C (zh) * 2002-03-18 2007-11-07 株式会社尼康 衍射光学元件及其制造方法和光学装置
US7145143B2 (en) 2002-03-18 2006-12-05 Honeywell International Inc. Tunable sensor
US6768555B2 (en) 2002-03-21 2004-07-27 Industrial Technology Research Institute Fabry-Perot filter apparatus with enhanced optical discrimination
US6965468B2 (en) * 2003-07-03 2005-11-15 Reflectivity, Inc Micromirror array having reduced gap between adjacent micromirrors of the micromirror array
US7428367B2 (en) 2002-10-17 2008-09-23 Brilliant Film Llc Light control devices and methods of making same
JP2003295183A (ja) 2002-03-29 2003-10-15 Citizen Watch Co Ltd 液晶表示装置の平面照明装置
TW554211B (en) 2002-04-10 2003-09-21 Au Optronics Corp Light guiding plate of controlling light emission angle and its liquid crystal display apparatus
KR20030081662A (ko) 2002-04-12 2003-10-22 삼성에스디아이 주식회사 이중층 반사방지막이 형성된 태양전지
JP2003315560A (ja) 2002-04-23 2003-11-06 Yuka Denshi Co Ltd 導光体及びこれを用いた面光源装置と液晶ディスプレイ装置
JP2003315694A (ja) 2002-04-25 2003-11-06 Fuji Photo Film Co Ltd 画像表示素子及びこれを用いた画像表示装置
US6717650B2 (en) 2002-05-01 2004-04-06 Anvik Corporation Maskless lithography with sub-pixel resolution
GB2388236A (en) 2002-05-01 2003-11-05 Cambridge Display Tech Ltd Display and driver circuits
US6801281B2 (en) 2002-05-06 2004-10-05 University Of Central Florida Single cell gap transflective liquid crystal display with slanted reflector above transmissive pixels
JP2003322852A (ja) 2002-05-07 2003-11-14 Nitto Denko Corp 反射型液晶表示装置及び光学フィルム
DE10221301B4 (de) 2002-05-14 2004-07-29 Junghans Uhren Gmbh Vorrichtung mit Solarzellenanordnung und Flüssigkristallanzeige
US6689949B2 (en) 2002-05-17 2004-02-10 United Innovations, Inc. Concentrating photovoltaic cavity converters for extreme solar-to-electric conversion efficiencies
KR100433229B1 (ko) 2002-05-17 2004-05-28 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치 및 그 제조방법
JP4123415B2 (ja) 2002-05-20 2008-07-23 ソニー株式会社 固体撮像装置
US6862141B2 (en) 2002-05-20 2005-03-01 General Electric Company Optical substrate and method of making
US7180672B2 (en) 2002-05-20 2007-02-20 General Electric Company Optical substrate and method of making
JP2003344881A (ja) 2002-05-22 2003-12-03 Alps Electric Co Ltd 電気泳動表示装置
US7010212B2 (en) 2002-05-28 2006-03-07 3M Innovative Properties Company Multifunctional optical assembly
JP4170677B2 (ja) 2002-06-07 2008-10-22 大日本印刷株式会社 光源装置及びディスプレイ
JP4048844B2 (ja) * 2002-06-17 2008-02-20 カシオ計算機株式会社 面光源及びそれを用いた表示装置
GB2389960A (en) 2002-06-20 2003-12-24 Suisse Electronique Microtech Four-tap demodulation pixel
US6829258B1 (en) 2002-06-26 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Rapidly tunable external cavity laser
DE10228946B4 (de) 2002-06-28 2004-08-26 Universität Bremen Optischer Modulator, Display, Verwendung eines optischen Modulators und Verfahren zur Herstellung eines optischen Modulators
JP3977169B2 (ja) 2002-07-01 2007-09-19 松下電器産業株式会社 携帯端末機器
US6741377B2 (en) 2002-07-02 2004-05-25 Iridigm Display Corporation Device having a light-absorbing mask and a method for fabricating same
US7019734B2 (en) 2002-07-17 2006-03-28 3M Innovative Properties Company Resistive touch sensor having microstructured conductive layer
US6738194B1 (en) 2002-07-22 2004-05-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Resonance tunable optical filter
KR100828531B1 (ko) 2002-07-26 2008-05-13 삼성전자주식회사 액정 표시 장치
US7019876B2 (en) * 2002-07-29 2006-03-28 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror with rotor structure
JP2004062099A (ja) 2002-07-31 2004-02-26 Dainippon Printing Co Ltd 視認性向上シートおよびこれを用いたディスプレイおよび透過型投影スクリーン
TWI343376B (en) 2002-07-31 2011-06-11 Du Pont Method for preparing 3-halo-4, 5-dihydro-1h-pyrazoles
WO2004015489A1 (en) 2002-08-07 2004-02-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Display device with light guiding substrate
US7151532B2 (en) * 2002-08-09 2006-12-19 3M Innovative Properties Company Multifunctional multilayer optical film
JP4126210B2 (ja) 2002-08-09 2008-07-30 株式会社日立製作所 液晶表示装置
TWI266106B (en) 2002-08-09 2006-11-11 Sanyo Electric Co Display device with a plurality of display panels
KR100850589B1 (ko) 2002-08-19 2008-08-05 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 프린지 필드 스위칭 모드 액정 디스플레이 장치
JP2004078613A (ja) * 2002-08-19 2004-03-11 Fujitsu Ltd タッチパネル装置
JP4141766B2 (ja) 2002-08-23 2008-08-27 富士通株式会社 照明装置及び液晶表示装置
JP4076214B2 (ja) 2002-08-29 2008-04-16 シチズン電子株式会社 両面発光照明ユニット
JP2004095390A (ja) 2002-08-30 2004-03-25 Fujitsu Display Technologies Corp 照明装置及び表示装置
WO2004025174A1 (ja) 2002-08-30 2004-03-25 Hitachi Chemical Co., Ltd. 導光板及びバックライト装置
US7106509B2 (en) 2002-09-06 2006-09-12 Colorlink, Inc. Filter for enhancing vision and/or protecting the eyes and method of making a filter
JP4440523B2 (ja) 2002-09-19 2010-03-24 大日本印刷株式会社 インクジェット法による有機ｅｌ表示装置及びカラーフィルターの製造方法、製造装置
JP4057871B2 (ja) 2002-09-19 2008-03-05 東芝松下ディスプレイテクノロジー株式会社 液晶表示装置
JP2004133430A (ja) 2002-09-20 2004-04-30 Sony Corp 表示素子、表示装置、及びマイクロレンズアレイ
US6934080B2 (en) 2002-09-20 2005-08-23 Honeywell International, Inc. High efficiency viewing screen
JP2004126196A (ja) 2002-10-02 2004-04-22 Toshiba Corp 液晶表示装置
US7406245B2 (en) 2004-07-27 2008-07-29 Lumitex, Inc. Flat optical fiber light emitters
KR100883096B1 (ko) 2002-10-05 2009-02-11 삼성전자주식회사 광학 부재, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 액정표시장치
TW573170B (en) 2002-10-11 2004-01-21 Toppoly Optoelectronics Corp Dual-sided display liquid crystal panel
TW557363B (en) 2002-10-15 2003-10-11 Optimax Tech Corp Anti-glare film
JP4130115B2 (ja) 2002-10-16 2008-08-06 アルプス電気株式会社 照明装置、及び液晶表示装置
US6747785B2 (en) 2002-10-24 2004-06-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. MEMS-actuated color light modulator and methods
JP4077297B2 (ja) 2002-10-25 2008-04-16 アルプス電気株式会社 表示装置及び携帯型情報端末機器
US7370185B2 (en) 2003-04-30 2008-05-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Self-packaged optical interference display device having anti-stiction bumps, integral micro-lens, and reflection-absorbing layers
TW200413776A (en) 2002-11-05 2004-08-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Display element and display using the same
DE60337026D1 (de) 2002-11-07 2011-06-16 Sony Deutschland Gmbh Beleuchtungsanordnung für eine projektionsvorrichtung
TW547670U (en) 2002-11-08 2003-08-11 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Backlight system and its light guide plate
US7063449B2 (en) 2002-11-21 2006-06-20 Element Labs, Inc. Light emitting diode (LED) picture element
TWI252938B (en) 2002-11-22 2006-04-11 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Light guide plate and backlight system using the same
US6844959B2 (en) * 2002-11-26 2005-01-18 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light absorbing areas
JP4140499B2 (ja) * 2002-11-29 2008-08-27 カシオ計算機株式会社 通信端末、及び、プログラム
US6811274B2 (en) 2002-12-04 2004-11-02 General Electric Company Polarization sensitive optical substrate
EP1575452A2 (en) 2002-12-09 2005-09-21 Oree, Advanced Illumination Solutions Inc. Flexible optical device
JP2004199006A (ja) 2002-12-20 2004-07-15 Koninkl Philips Electronics Nv 集光基板及びこれを用いた表示装置並びにその製造方法
TWI289708B (en) 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
JP3983166B2 (ja) 2002-12-26 2007-09-26 日東電工株式会社 光学素子及びこれを用いた偏光面光源並びにこれを用いた表示装置
TW594155B (en) 2002-12-27 2004-06-21 Prime View Int Corp Ltd Optical interference type color display and optical interference modulator
JP2004212673A (ja) 2002-12-27 2004-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd 平面表示素子及びその駆動方法
KR100624408B1 (ko) 2003-01-07 2006-09-18 삼성전자주식회사 백라이트 유닛
KR100506088B1 (ko) 2003-01-14 2005-08-03 삼성전자주식회사 액정표시장치
EP1583946B1 (en) 2003-01-15 2006-11-08 Micronic Laser Systems Ab A method to detect a defective pixel
JP2004219843A (ja) 2003-01-16 2004-08-05 Seiko Epson Corp 光変調器、表示装置及びその製造方法
US7042444B2 (en) 2003-01-17 2006-05-09 Eastman Kodak Company OLED display and touch screen
US6930816B2 (en) 2003-01-17 2005-08-16 Fuji Photo Film Co., Ltd. Spatial light modulator, spatial light modulator array, image forming device and flat panel display
US6871982B2 (en) 2003-01-24 2005-03-29 Digital Optics International Corporation High-density illumination system
ATE397775T1 (de) 2003-01-28 2008-06-15 Genoa Color Technologies Ltd Subpixel-anordnung für displays mit mehr als drei primärfarben
TW200413810A (en) * 2003-01-29 2004-08-01 Prime View Int Co Ltd Light interference display panel and its manufacturing method
TW557395B (en) * 2003-01-29 2003-10-11 Yen Sun Technology Corp Optical interference type reflection panel and the manufacturing method thereof
TW577549U (en) 2003-01-30 2004-02-21 Toppoly Optoelectronics Corp Back light module for flat display device
KR100519238B1 (ko) 2003-02-04 2005-10-07 화우테크놀러지 주식회사 광유도부가 구비된 도광판
KR100720426B1 (ko) 2003-02-18 2007-05-22 엘지.필립스 엘시디 주식회사 백라이트 유닛
JP2004253199A (ja) 2003-02-19 2004-09-09 Toyota Industries Corp 面状発光装置、その製造方法、及び液晶表示装置
TWI352228B (en) 2003-02-28 2011-11-11 Sharp Kk Surface dadiation conversion element, liquid cryst
TW200417806A (en) 2003-03-05 2004-09-16 Prime View Int Corp Ltd A structure of a light-incidence electrode of an optical interference display plate
CN2624220Y (zh) 2003-03-08 2004-07-07 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 导光板、发光模块、导光模块和液晶显示器
US6844953B2 (en) 2003-03-12 2005-01-18 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device including dielectrophoretic liquid
US7064875B2 (en) 2003-03-24 2006-06-20 Fuji Xerox Co., Ltd. Optical recording apparatus and optical recording/reproducing apparatus
US20040188150A1 (en) 2003-03-25 2004-09-30 3M Innovative Properties Company High transparency touch screen
DE10314525A1 (de) 2003-03-31 2004-11-04 Osram Opto Semiconductors Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Beleuchtungsvorrichtung und Beleuchtungsvorrichtung
JP4294992B2 (ja) 2003-03-31 2009-07-15 シャープ株式会社 反射型液晶表示装置
US20050120553A1 (en) 2003-12-08 2005-06-09 Brown Dirk D. Method for forming MEMS grid array connector
US7382360B2 (en) 2003-04-15 2008-06-03 Synaptics Incorporated Methods and systems for changing the appearance of a position sensor with a light effect
KR100506092B1 (ko) 2003-04-16 2005-08-04 삼성전자주식회사 측면 발광형 백라이트 장치의 도광판 및 이를 채용한 측면발광형 백라이트 장치
KR20040090667A (ko) 2003-04-18 2004-10-26 삼성전기주식회사 디스플레이용 라이트 유닛
JP3918765B2 (ja) 2003-04-21 2007-05-23 セイコーエプソン株式会社 液晶表示装置および電子機器
TWI226504B (en) 2003-04-21 2005-01-11 Prime View Int Co Ltd A structure of an interference display cell
TW567355B (en) * 2003-04-21 2003-12-21 Prime View Int Co Ltd An interference display cell and fabrication method thereof
US7072093B2 (en) 2003-04-30 2006-07-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical interference pixel display with charge control
JP3829819B2 (ja) 2003-05-08 2006-10-04 ソニー株式会社 ホログラフィックステレオグラム作成装置
JP2004361914A (ja) 2003-05-15 2004-12-24 Omron Corp フロントライト、反射型表示装置及びフロントライトにおける光制御方法
WO2004102523A1 (en) 2003-05-19 2004-11-25 Itzhak Baruch Optical coordinate input device comprising few elements
US7206133B2 (en) 2003-05-22 2007-04-17 Optical Research Associates Light distribution apparatus and methods for illuminating optical systems
US7672051B2 (en) 2003-05-22 2010-03-02 Hitachi Chemical Co., Ltd. Optical film and surface light source using it
WO2004106983A2 (en) 2003-05-22 2004-12-09 Optical Research Associates Illumination in optical systems
US6811267B1 (en) 2003-06-09 2004-11-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Display system with nonvisible data projection
JP3773055B2 (ja) 2003-06-13 2006-05-10 ソニー株式会社 記録媒体管理方法および装置
JP4222117B2 (ja) 2003-06-17 2009-02-12 セイコーエプソン株式会社 カラーフィルタアレイ及びその製造方法、表示装置、投射型表示装置
US7268840B2 (en) 2003-06-18 2007-09-11 Citizen Holdings Co., Ltd. Display device employing light control member and display device manufacturing method
US20050024890A1 (en) * 2003-06-19 2005-02-03 Alps Electric Co., Ltd. Light guide plate, surface light-emitting unit, and liquid crystal display device and method for manufacturing the same
US6822780B1 (en) 2003-06-23 2004-11-23 Northrop Grumman Corporation Vertically stacked spatial light modulator with multi-bit phase resolution
JP2007027150A (ja) 2003-06-23 2007-02-01 Hitachi Chem Co Ltd 集光型光発電システム
US6917469B2 (en) 2003-06-27 2005-07-12 Japan Acryace Co., Ltd. Light diffusing laminated plate
DE10329917B4 (de) 2003-07-02 2005-12-22 Schott Ag Beschichtetes Abdeckglas für Photovoltaik-Module
KR200329769Y1 (ko) 2003-07-02 2003-10-17 주식회사 동방수기 로타리식 제진기의 레이크 잇발 및 이송체인의 써보트앵글과 가이드 플레이트
US6980347B2 (en) 2003-07-03 2005-12-27 Reflectivity, Inc Micromirror having reduced space between hinge and mirror plate of the micromirror
JP4741488B2 (ja) 2003-07-03 2011-08-03 ホロタッチ， インコーポレイテッド ホログラフィックヒューマンマシンインタフェース
US7112885B2 (en) 2003-07-07 2006-09-26 Board Of Regents, The University Of Texas System System, method and apparatus for improved electrical-to-optical transmitters disposed within printed circuit boards
JP2005031219A (ja) 2003-07-09 2005-02-03 Toppoly Optoelectronics Corp 両面液晶ディスプレイ
US20070201234A1 (en) 2003-07-21 2007-08-30 Clemens Ottermann Luminous element
US7190380B2 (en) * 2003-09-26 2007-03-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Generating and displaying spatially offset sub-frames
DE10336352B4 (de) * 2003-08-08 2007-02-08 Schott Ag Verfahren zur Herstellung von Streulichtstrukturen an flächigen Lichtleitern
WO2005017407A1 (ja) 2003-08-13 2005-02-24 Fujitsu Limited 照明装置及び液晶表示装置
TWI251712B (en) * 2003-08-15 2006-03-21 Prime View Int Corp Ltd Interference display plate
TW200506479A (en) * 2003-08-15 2005-02-16 Prime View Int Co Ltd Color changeable pixel for an interference display
TWI305599B (en) * 2003-08-15 2009-01-21 Qualcomm Mems Technologies Inc Interference display panel and method thereof
TW593127B (en) * 2003-08-18 2004-06-21 Prime View Int Co Ltd Interference display plate and manufacturing method thereof
US6880959B2 (en) 2003-08-25 2005-04-19 Timothy K. Houston Vehicle illumination guide
US20050057442A1 (en) * 2003-08-28 2005-03-17 Olan Way Adjacent display of sequential sub-images
US7025461B2 (en) 2003-08-28 2006-04-11 Brookhaven Science Associates Interactive display system having a digital micromirror imaging device
JP3979982B2 (ja) 2003-08-29 2007-09-19 シャープ株式会社 干渉性変調器および表示装置
DE112004001571T5 (de) 2003-09-01 2006-08-24 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Antireflexionsfilm für eine Plasmaanzeige
JP2005084331A (ja) 2003-09-08 2005-03-31 Fuji Photo Film Co Ltd 表示装置、画像表示装置および表示方法
JP2004086221A (ja) 2003-09-12 2004-03-18 Sharp Corp フロントライト及び表示装置
EP1668482A2 (en) 2003-09-22 2006-06-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Touch input screen using a light guide
US6982820B2 (en) * 2003-09-26 2006-01-03 Prime View International Co., Ltd. Color changeable pixel
GB0322682D0 (en) 2003-09-27 2003-10-29 Koninkl Philips Electronics Nv Backlight for 3D display device
GB0322681D0 (en) 2003-09-27 2003-10-29 Koninkl Philips Electronics Nv Multi-view display
US20050073507A1 (en) 2003-10-06 2005-04-07 Richter Paul J. Touch input sensing device
JP4577210B2 (ja) 2003-10-06 2010-11-10 オムロン株式会社 面光源装置及び表示装置
JP2005135899A (ja) 2003-10-06 2005-05-26 Omron Corp 面光源装置及び表示装置
US7303645B2 (en) 2003-10-24 2007-12-04 Miradia Inc. Method and system for hermetically sealing packages for optics
US7218812B2 (en) 2003-10-27 2007-05-15 Rpo Pty Limited Planar waveguide with patterned cladding and method for producing the same
ATE403184T1 (de) 2003-12-01 2008-08-15 Asulab Sa Transparantes substrat mit unsichtbaren elektroden und vorrichtungen mit diesem substrat
TW200524236A (en) 2003-12-01 2005-07-16 Nl Nanosemiconductor Gmbh Optoelectronic device incorporating an interference filter
US7161728B2 (en) * 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7142346B2 (en) 2003-12-09 2006-11-28 Idc, Llc System and method for addressing a MEMS display
US7456805B2 (en) 2003-12-18 2008-11-25 3M Innovative Properties Company Display including a solid state light device and method using same
ATE552521T1 (de) 2003-12-19 2012-04-15 Barco Nv Breitbandige reflektive anzeigevorrichtung
US6972827B2 (en) 2003-12-19 2005-12-06 Eastman Kodak Company Transflective film and display
JP4079143B2 (ja) 2003-12-22 2008-04-23 セイコーエプソン株式会社 照明装置、電気光学装置及び電子機器
CA2490603C (en) 2003-12-24 2012-12-11 National Research Council Of Canada Optical off-chip interconnects in multichannel planar waveguide devices
TWI388876B (zh) 2003-12-26 2013-03-11 Fujifilm Corp 抗反射膜、偏光板，其製造方法，液晶顯示元件，液晶顯示裝置，及影像顯示裝置
US20050271325A1 (en) 2004-01-22 2005-12-08 Anderson Michael H Liquid crystal waveguide having refractive shapes for dynamically controlling light
US6964484B2 (en) 2004-02-02 2005-11-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Overfill reduction for an optical modulator
US7342705B2 (en) 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US20060110090A1 (en) 2004-02-12 2006-05-25 Panorama Flat Ltd. Apparatus, method, and computer program product for substrated/componentized waveguided goggle system
WO2005088367A1 (en) 2004-02-13 2005-09-22 Nokia Corporation Method of manufacturing a light guide
CN100434988C (zh) 2004-02-16 2008-11-19 西铁城电子股份有限公司 导光板
JP4386749B2 (ja) 2004-02-16 2009-12-16 シチズン電子株式会社 面状光源
JP2005235759A (ja) 2004-02-17 2005-09-02 Seiko Instruments Inc 照明装置、及びこれを用いた表示装置
TWI256941B (en) 2004-02-18 2006-06-21 Qualcomm Mems Technologies Inc A micro electro mechanical system display cell and method for fabricating thereof
US20050195370A1 (en) 2004-03-02 2005-09-08 Gore Makarand P. Transmissive/reflective light engine
US7439965B2 (en) 2004-03-05 2008-10-21 Anderson Daryl E Method for driving display device
TW200530669A (en) 2004-03-05 2005-09-16 Prime View Int Co Ltd Interference display plate and manufacturing method thereof
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7855824B2 (en) 2004-03-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for color optimization in a display
JP4452528B2 (ja) 2004-03-09 2010-04-21 日本Ｃｍｏ株式会社 面状光発生装置、画像表示装置
US20050207016A1 (en) 2004-03-15 2005-09-22 Fuji Photo Film Co., Ltd. Antireflection film, polarizing plate and liquid crystal display
JP4195936B2 (ja) 2004-03-17 2008-12-17 独立行政法人産業技術総合研究所 拡散性の反射面を持つ反射型調光素子
US20080285308A1 (en) 2004-03-23 2008-11-20 Donald Burris Clary Light Guide and Apparatus For Using Light Guide
TWI293706B (en) 2004-03-24 2008-02-21 Au Optronics Corp Backlight module
US7374327B2 (en) 2004-03-31 2008-05-20 Schexnaider Craig J Light panel illuminated by light emitting diodes
US20050224694A1 (en) 2004-04-08 2005-10-13 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. High efficiency microlens array
JP2005308871A (ja) 2004-04-19 2005-11-04 Aterio Design Kk 干渉カラーフィルター
JP4539160B2 (ja) 2004-04-28 2010-09-08 日立化成工業株式会社 光学素子、光学素子の製造方法及び面光源装置
EP1751593B1 (en) 2004-04-30 2019-03-06 Modilis Holdings LLC Ultrathin lighting element
US7602369B2 (en) 2004-05-04 2009-10-13 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with colored backlight
WO2005111669A1 (ja) 2004-05-17 2005-11-24 Nikon Corporation 光学素子、コンバイナ光学系、及び画像表示装置
US6970031B1 (en) 2004-05-28 2005-11-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and apparatus for reducing charge injection in control of MEMS electrostatic actuator array
JP4020397B2 (ja) 2004-06-14 2007-12-12 惠次 飯村 点光源を用いた面光源
US7412119B2 (en) 2004-06-30 2008-08-12 Poa Sana Liquidating Trust Apparatus and method for making flexible waveguide substrates for use with light based touch screens
US7213958B2 (en) * 2004-06-30 2007-05-08 3M Innovative Properties Company Phosphor based illumination system having light guide and an interference reflector
KR101148791B1 (ko) 2004-06-30 2012-05-24 엘지디스플레이 주식회사 타일형 표시장치
KR100606549B1 (ko) 2004-07-01 2006-08-01 엘지전자 주식회사 면 발광 장치용 도광판 및 그의 제조 방법
US7256922B2 (en) * 2004-07-02 2007-08-14 Idc, Llc Interferometric modulators with thin film transistors
US7528989B2 (en) 2004-07-08 2009-05-05 Fuji Xerox Co., Ltd Image processing apparatus and image processing method
GB0415773D0 (en) 2004-07-15 2004-08-18 Koninkl Philips Electronics Nv A flexible display device
US7092163B2 (en) 2004-07-22 2006-08-15 General Electric Company Light collimating and diffusing film and system for making the film
JP2006039056A (ja) 2004-07-23 2006-02-09 Hitachi Chem Co Ltd 液晶表示装置
US7436389B2 (en) * 2004-07-29 2008-10-14 Eugene J Mar Method and system for controlling the output of a diffractive light device
KR101354520B1 (ko) 2004-07-29 2014-01-21 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 간섭 변조기의 미소기전 동작을 위한 시스템 및 방법
EP1788423A4 (en) 2004-08-18 2008-02-27 Sony Corp REAR LIGHTING DEVICE AND DEVICE FOR COLORED LIQUID CRYSTAL DISPLAY
JP2006093104A (ja) 2004-08-25 2006-04-06 Seiko Instruments Inc 照明装置およびそれを用いた表示装置
US7499208B2 (en) 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7889163B2 (en) 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
WO2006026743A1 (en) 2004-08-31 2006-03-09 Fusion Optix, Inc. Enhanced light diffusing sheet
JP4285373B2 (ja) 2004-09-01 2009-06-24 セイコーエプソン株式会社 マイクロレンズの製造方法、マイクロレンズ及びマイクロレンズアレイ、並びに電気光学装置及び電子機器
US7278775B2 (en) 2004-09-09 2007-10-09 Fusion Optix Inc. Enhanced LCD backlight
US7212345B2 (en) 2004-09-13 2007-05-01 Eastman Kodak Company Randomized patterns of individual optical elements
JP2006086075A (ja) 2004-09-17 2006-03-30 Alps Electric Co Ltd 面発光装置、背面照明装置および液晶表示装置
JP4238806B2 (ja) 2004-09-21 2009-03-18 セイコーエプソン株式会社 導光板、照明装置、電気光学装置および電子機器
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7405861B2 (en) 2004-09-27 2008-07-29 Idc, Llc Method and device for protecting interferometric modulators from electrostatic discharge
US7710632B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7317568B2 (en) 2004-09-27 2008-01-08 Idc, Llc System and method of implementation of interferometric modulators for display mirrors
US7184202B2 (en) 2004-09-27 2007-02-27 Idc, Llc Method and system for packaging a MEMS device
US20060132383A1 (en) 2004-09-27 2006-06-22 Idc, Llc System and method for illuminating interferometric modulator display
US7928928B2 (en) 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing perceived color shift
US7417783B2 (en) 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Mirror and mirror layer for optical modulator and method
US7898521B2 (en) 2004-09-27 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method for wavelength filtering
US7369296B2 (en) 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator
US7626581B2 (en) 2004-09-27 2009-12-01 Idc, Llc Device and method for display memory using manipulation of mechanical response
US20060176241A1 (en) 2004-09-27 2006-08-10 Sampsell Jeffrey B System and method of transmitting video data
US7446927B2 (en) 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc MEMS switch with set and latch electrodes
US20060077148A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Gally Brian J Method and device for manipulating color in a display
US7750886B2 (en) 2004-09-27 2010-07-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and devices for lighting displays
US7679627B2 (en) 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7920135B2 (en) 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US8031133B2 (en) 2004-09-27 2011-10-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US20060076632A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Lauren Palmateer System and method for display device with activated desiccant
US20060076631A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Lauren Palmateer Method and system for providing MEMS device package with secondary seal
US7545550B2 (en) 2004-09-27 2009-06-09 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7130104B2 (en) 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US7684104B2 (en) 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US8878825B2 (en) 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US20060077126A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Manish Kothari Apparatus and method for arranging devices into an interconnected array
US7657242B2 (en) 2004-09-27 2010-02-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US8362987B2 (en) 2004-09-27 2013-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7492502B2 (en) 2004-09-27 2009-02-17 Idc, Llc Method of fabricating a free-standing microstructure
US7916103B2 (en) 2004-09-27 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with end-of-life phenomena
EP1800173A1 (en) 2004-09-27 2007-06-27 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7359066B2 (en) 2004-09-27 2008-04-15 Idc, Llc Electro-optical measurement of hysteresis in interferometric modulators
US20060103643A1 (en) 2004-09-27 2006-05-18 Mithran Mathew Measuring and modeling power consumption in displays
US7310179B2 (en) 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US7327510B2 (en) 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US7136213B2 (en) 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US7345805B2 (en) 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
US7561323B2 (en) 2004-09-27 2009-07-14 Idc, Llc Optical films for directing light towards active areas of displays
US7369294B2 (en) 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Ornamental display device
US7527995B2 (en) 2004-09-27 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making prestructure for MEMS systems
US7843410B2 (en) 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US8102407B2 (en) 2004-09-27 2012-01-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US20060176487A1 (en) 2004-09-27 2006-08-10 William Cummings Process control monitors for interferometric modulators
US7508571B2 (en) 2004-09-27 2009-03-24 Idc, Llc Optical films for controlling angular characteristics of displays
US7710629B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with reinforcing substance
US7161730B2 (en) * 2004-09-27 2007-01-09 Idc, Llc System and method for providing thermal compensation for an interferometric modulator display
US20060066586A1 (en) 2004-09-27 2006-03-30 Gally Brian J Touchscreens for displays
US7807488B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display element having filter material diffused in a substrate of the display element
US7564612B2 (en) 2004-09-27 2009-07-21 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7551246B2 (en) 2004-09-27 2009-06-23 Idc, Llc. System and method for display device with integrated desiccant
US20060066596A1 (en) 2004-09-27 2006-03-30 Sampsell Jeffrey B System and method of transmitting video data
US7289256B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Electrical characterization of interferometric modulators
US7535466B2 (en) 2004-09-27 2009-05-19 Idc, Llc System with server based control of client device display features
US7710636B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods using interferometric optical modulators and diffusers
US7304784B2 (en) 2004-09-27 2007-12-04 Idc, Llc Reflective display device having viewable display on both sides
US7630123B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for compensating for color shift as a function of angle of view
US7586484B2 (en) 2004-09-27 2009-09-08 Idc, Llc Controller and driver features for bi-stable display
US7417735B2 (en) 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Systems and methods for measuring color and contrast in specular reflective devices
US20060066557A1 (en) 2004-09-27 2006-03-30 Floyd Philip D Method and device for reflective display with time sequential color illumination
US7911428B2 (en) 2004-09-27 2011-03-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7349141B2 (en) 2004-09-27 2008-03-25 Idc, Llc Method and post structures for interferometric modulation
US7029944B1 (en) 2004-09-30 2006-04-18 Sharp Laboratories Of America, Inc. Methods of forming a microlens array over a substrate employing a CMP stop
TWI254821B (en) 2004-10-01 2006-05-11 Delta Electronics Inc Backlight module
KR20060030350A (ko) 2004-10-05 2006-04-10 삼성전자주식회사 백색광 발생 유닛, 이를 갖는 백라이트 어셈블리 및 이를갖는 액정표시장치
JP4445827B2 (ja) 2004-10-07 2010-04-07 大日本印刷株式会社 集光シート、面光源装置、集光シートの製造方法
JP4728688B2 (ja) 2004-10-13 2011-07-20 Ｎｅｃ液晶テクノロジー株式会社 光源装置、表示装置、端末装置及び光ユニット
TWI259313B (en) 2004-10-19 2006-08-01 Ind Tech Res Inst Light-guide plate and method for manufacturing thereof
US7170697B2 (en) 2004-10-20 2007-01-30 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Programmable waveform for lamp ballast
JP4688131B2 (ja) 2004-10-21 2011-05-25 株式会社リコー 光偏向装置、光偏向アレー、光学システムおよび画像投影表示装置
JP2006120571A (ja) 2004-10-25 2006-05-11 Fujikura Ltd 照明装置
US20060215958A1 (en) 2004-11-17 2006-09-28 Yeo Terence E Enhanced electroluminescent sign
KR100735148B1 (ko) 2004-11-22 2007-07-03 (주)케이디티 백라이트 장치용 광 여기 확산시트, 이를 이용한액정표시용 백라이트 장치
US8130210B2 (en) 2004-11-30 2012-03-06 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Touch input system using light guides
JP4634129B2 (ja) 2004-12-10 2011-02-16 三菱重工業株式会社 光散乱膜，及びそれを用いる光デバイス
KR100682907B1 (ko) 2004-12-14 2007-02-15 삼성전자주식회사 홀로그램 도광판을 이용한 디스플레이 소자용 조명장치
US20060130889A1 (en) 2004-12-22 2006-06-22 Motorola, Inc. Solar panel with optical films
KR101162680B1 (ko) 2004-12-23 2012-07-05 돌비 레버러토리즈 라이쎈싱 코오포레이션 폭넓은 색상 범위 디스플레이, 및 관찰 영역에 이미지를 표시하기 위한 장치 및 방법
JP4420813B2 (ja) 2004-12-28 2010-02-24 株式会社エンプラス 面光源装置及び表示装置
US7339635B2 (en) 2005-01-14 2008-03-04 3M Innovative Properties Company Pre-stacked optical films with adhesive layer
JP4547276B2 (ja) 2005-01-24 2010-09-22 シチズン電子株式会社 面状光源
EP1869541B1 (en) 2005-01-30 2014-07-02 Swiftpoint Limited Computer mouse peripheral
US7352940B2 (en) 2005-02-07 2008-04-01 Rpo Pty Limited Waveguide design incorporating reflective optics
TWI263098B (en) 2005-02-16 2006-10-01 Au Optronics Corp Backlight module
US20060187676A1 (en) 2005-02-18 2006-08-24 Sharp Kabushiki Kaisha Light guide plate, light guide device, lighting device, light guide system, and drive circuit
US20060209012A1 (en) 2005-02-23 2006-09-21 Pixtronix, Incorporated Devices having MEMS displays
US7616368B2 (en) 2005-02-23 2009-11-10 Pixtronix, Inc. Light concentrating reflective display methods and apparatus
US7356231B2 (en) 2005-02-28 2008-04-08 3M Innovative Properties Company Composite polymer fibers
US7224512B2 (en) 2005-03-15 2007-05-29 Motorola, Inc. Microelectromechanical system optical apparatus and method
TWI255924B (en) 2005-03-16 2006-06-01 Au Optronics Corp Backlight module and brightness enhancement film thereof
US7352501B2 (en) 2005-03-31 2008-04-01 Xerox Corporation Electrophoretic caps prepared from encapsulated electrophoretic particles
KR100681521B1 (ko) 2005-04-06 2007-02-09 (주)케이디티 백라이트 유니트
US20060246233A1 (en) 2005-04-28 2006-11-02 Fuji Photo Film Co., Ltd. Light diffusion film, anti-reflection film, polarizing plate and image display device
US7920136B2 (en) 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
US7948457B2 (en) 2005-05-05 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of actuating MEMS display elements
JP4743846B2 (ja) 2005-05-10 2011-08-10 シチズン電子株式会社 光通信装置及びそれを用いた情報機器
GB2426351A (en) 2005-05-19 2006-11-22 Sharp Kk A dual view display
US20060291769A1 (en) 2005-05-27 2006-12-28 Eastman Kodak Company Light emitting source incorporating vertical cavity lasers and other MEMS devices within an electro-optical addressing architecture
TW200641422A (en) 2005-05-30 2006-12-01 Polarlite Corp Transparent type light guiding module
KR101176531B1 (ko) 2005-05-31 2012-08-24 삼성전자주식회사 백라이트 시스템 및 이를 채용한 액정표시장치
KR100647327B1 (ko) 2005-06-18 2006-11-23 삼성전기주식회사 평면표시소자용 조명장치, 및 이를 구비한 평면표시장치
US20060285356A1 (en) 2005-06-21 2006-12-21 K-Bridge Electronics Co., Ltd. Side-edge backlight module dimming pack
CN101203896B (zh) 2005-06-23 2012-07-18 统宝香港控股有限公司 具有光电转换功能的显示装置
WO2007002317A1 (en) 2005-06-23 2007-01-04 Fusion Optix, Inc. Enhanced diffusing plates, films and backlights
US7161136B1 (en) 2005-07-06 2007-01-09 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Light modulating input device for capturing user control inputs
EP2495212A3 (en) * 2005-07-22 2012-10-31 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Mems devices having support structures and methods of fabricating the same
US7233722B2 (en) 2005-08-15 2007-06-19 General Display, Ltd. System and method for fiber optics based direct view giant screen flat panel display
TW200712653A (en) 2005-09-28 2007-04-01 Jemitek Electronics Corp Liquid crystal having function of micro-reflection
KR100784551B1 (ko) 2005-10-19 2007-12-11 엘지전자 주식회사 백라이트 장치에 사용되는 프리즘시트
KR100721009B1 (ko) 2005-10-27 2007-05-22 엘지전자 주식회사 복수의 확산시트를 포함하는 백라이트 장치 및 이를 포함하는 액정 표시 소자
JP2007122059A (ja) 2005-10-28 2007-05-17 Samsung Electro Mech Co Ltd 回折型光変調器を利用するディスプレイシステムにおける印加電圧調整装置
US7630114B2 (en) 2005-10-28 2009-12-08 Idc, Llc Diffusion barrier layer for MEMS devices
US7760197B2 (en) 2005-10-31 2010-07-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fabry-perot interferometric MEMS electromagnetic wave modulator with zero-electric field
TWI312895B (en) 2005-11-11 2009-08-01 Chunghwa Picture Tubes Ltd Backlight module structure for led chip holder
US7969532B2 (en) 2005-11-15 2011-06-28 Panasonic Corporation Surface illuminator and liquid crystal display using same
JP2006065360A (ja) 2005-11-16 2006-03-09 Omron Corp 導光器及び表示装置
JP2007165284A (ja) 2005-11-18 2007-06-28 Seiko Instruments Inc エレクトロルミネッセンス素子及びこれを用いた表示装置
KR100747001B1 (ko) 2005-11-29 2007-08-07 한국생산기술연구원 점광원을 이용한 도광판 및 그 제조방법
US20070125415A1 (en) 2005-12-05 2007-06-07 Massachusetts Institute Of Technology Light capture with patterned solar cell bus wires
US7924368B2 (en) 2005-12-08 2011-04-12 3M Innovative Properties Company Diffuse multilayer optical assembly
KR20080077363A (ko) 2005-12-14 2008-08-22 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 향상된 휘도 및 콘트라스트를 갖는 반사형 디스플레이
WO2007073203A1 (en) 2005-12-19 2007-06-28 Renewable Energy Corporation Asa Solar cell module
KR100761090B1 (ko) 2005-12-30 2007-09-21 주식회사 두산 복합 도광판 및 그 제조방법
US7545569B2 (en) 2006-01-13 2009-06-09 Avery Dennison Corporation Optical apparatus with flipped compound prism structures
US7366393B2 (en) 2006-01-13 2008-04-29 Optical Research Associates Light enhancing structures with three or more arrays of elongate features
US7671289B2 (en) * 2006-01-20 2010-03-02 Nissha Printing Co., Ltd. Capacitance type light-emitting switch and light-emitting switch element used for such capacitance type light-emitting switch
TWI345105B (en) 2006-01-26 2011-07-11 Chimei Innolux Corp Backlight module and application thereof
TW200730951A (en) 2006-02-10 2007-08-16 Wintek Corp Guide light module
US7603001B2 (en) 2006-02-17 2009-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing back-lighting in an interferometric modulator display device
JP4639337B2 (ja) 2006-02-17 2011-02-23 国立大学法人長岡技術科学大学 太陽電池および太陽集熱器
US20070201056A1 (en) 2006-02-24 2007-08-30 Eastman Kodak Company Light-scattering color-conversion material layer
US7684126B2 (en) 2006-02-24 2010-03-23 3M Innovative Properties Company Fresnel field lens
KR100678067B1 (ko) 2006-02-28 2007-02-02 삼성전자주식회사 터치 센서 장치
US7450295B2 (en) 2006-03-02 2008-11-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers
US7766531B2 (en) 2006-03-29 2010-08-03 3M Innovative Properties Company Edge-lit optical display with fluted optical plate
JP2007271865A (ja) 2006-03-31 2007-10-18 Hitachi Displays Ltd 液晶表示装置
US7643203B2 (en) * 2006-04-10 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical display system with broadband characteristics
US20070241340A1 (en) 2006-04-17 2007-10-18 Pan Shaoher X Micro-mirror based display device having an improved light source
US7417784B2 (en) 2006-04-19 2008-08-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing a porous surface
US8004743B2 (en) * 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
US7369292B2 (en) 2006-05-03 2008-05-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrode and interconnect materials for MEMS devices
KR100794349B1 (ko) 2006-05-11 2008-01-15 엘지전자 주식회사 광학 파이프를 이용한 조명 시스템
JP2007311046A (ja) 2006-05-16 2007-11-29 Seiko Epson Corp 発光装置、発光装置の製造方法、及び電子機器
US20080232135A1 (en) 2006-05-31 2008-09-25 3M Innovative Properties Company Light guide
US20070279935A1 (en) 2006-05-31 2007-12-06 3M Innovative Properties Company Flexible light guide
US7876489B2 (en) 2006-06-05 2011-01-25 Pixtronix, Inc. Display apparatus with optical cavities
KR100794350B1 (ko) 2006-06-07 2008-01-15 엘지전자 주식회사 광 가이드를 이용한 조명 시스템
US7561773B2 (en) 2006-06-19 2009-07-14 Fuji Xerox Co., Ltd. Optical waveguide, method of manufacturing the same and optical communication module
US8488242B2 (en) 2006-06-20 2013-07-16 Opsec Security Group, Inc. Optically variable device with diffraction-based micro-optics, method of creating the same, and article employing the same
US7766498B2 (en) 2006-06-21 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Linear solid state illuminator
JP4695626B2 (ja) 2006-06-30 2011-06-08 株式会社東芝 照明装置及び液晶表示装置
WO2008003814A1 (en) 2006-07-03 2008-01-10 Nokia Corporation Changing graphics in an apparatus including user interface illumination
US8029628B2 (en) 2006-07-25 2011-10-04 Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. Noble metal alloy for spark plug and method for producing and processing the same
CN101122704B (zh) 2006-08-11 2010-11-10 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 光学板及采用该光学板的背光模组
US7845841B2 (en) * 2006-08-28 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Angle sweeping holographic illuminator
WO2008041580A1 (en) 2006-09-27 2008-04-10 Toppan Printing Co., Ltd. Optical element, article having label attached thereon, optical kit and discriminating method
EP1977275A2 (en) 2006-10-06 2008-10-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Increasing collimation of light from light bar to light panel using tapering
US7855827B2 (en) 2006-10-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Internal optical isolation structure for integrated front or back lighting
US8872085B2 (en) 2006-10-06 2014-10-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having front illuminator with turning features
EP1980882A3 (en) 2006-10-06 2012-12-12 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Thin light bar and method of manufacturing
ATE556272T1 (de) * 2006-10-06 2012-05-15 Qualcomm Mems Technologies Inc Optische verluststruktur in einer beleuchtungsvorrichtung
EP2069838A2 (en) 2006-10-06 2009-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination device with built-in light coupler
US8107155B2 (en) 2006-10-06 2012-01-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for reducing visual artifacts in displays
WO2008045312A1 (en) 2006-10-06 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing back reflection from an illumination device
WO2008045462A2 (en) 2006-10-10 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with diffractive optics
TWI346813B (en) 2006-10-14 2011-08-11 Au Optronics Corp Diffuser plate and backlight module using the same
EP2080045A1 (en) 2006-10-20 2009-07-22 Pixtronix Inc. Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities
US7864395B2 (en) * 2006-10-27 2011-01-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light guide including optical scattering elements and a method of manufacture
KR100951723B1 (ko) 2006-12-28 2010-04-07 제일모직주식회사 백라이트 유닛의 광학시트
TW200830000A (en) 2007-01-15 2008-07-16 Dynascan Technology Corp LED backlight module
JP4667471B2 (ja) 2007-01-18 2011-04-13 日東電工株式会社 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル
US7403180B1 (en) 2007-01-29 2008-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Hybrid color synthesis for multistate reflective modulator displays
US7777954B2 (en) 2007-01-30 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of providing a light guiding layer
US8477315B2 (en) 2007-02-09 2013-07-02 Seiko Epson Corporation Volume hologram, light source device, illumination device, monitor, and image display device
US7916378B2 (en) 2007-03-08 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing a light absorbing mask in an interferometric modulator display
US8054421B2 (en) 2007-04-06 2011-11-08 Adrea, LLC Reflective display panel and method for manufacturing such a display panel
US7494830B2 (en) 2007-04-06 2009-02-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Method and device for wafer backside alignment overlay accuracy
WO2008125130A1 (en) 2007-04-12 2008-10-23 Nokia Corporation Keypad
US7733439B2 (en) 2007-04-30 2010-06-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dual film light guide for illuminating displays
US7507012B2 (en) 2007-05-16 2009-03-24 Rohm And Haas Denmark Finance A/S LCD displays with light redirection
DE102007025092A1 (de) 2007-05-30 2008-12-04 Osram Opto Semiconductors Gmbh Lumineszenzdiodenchip
EP2163920A4 (en) 2007-06-15 2011-09-21 Bridgestone Corp OPTICAL FILTER FOR DISPLAY DEVICE, DISPLAY DEVICE, AND PLASMA DISPLAY PANEL PROVIDED THEREWITH
US7477809B1 (en) 2007-07-31 2009-01-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Photonic guiding device
KR20100066452A (ko) 2007-07-31 2010-06-17 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 간섭계 변조기의 색 변이를 증강시키는 장치
US8072402B2 (en) 2007-08-29 2011-12-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics
WO2009036215A2 (en) 2007-09-14 2009-03-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Etching processes used in mems production
EP2191320A2 (en) 2007-09-17 2010-06-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Semi-transparent / transflective lighted interferometric modulator devices
JP4384214B2 (ja) 2007-09-27 2009-12-16 株式会社 日立ディスプレイズ 面発光素子，画像表示素子及びそれを用いた画像表示装置
PL2048779T3 (pl) 2007-10-08 2012-05-31 Whirlpool Co Pojemnościowy przełącznik dotykowy i urządzenie gospodarstwa domowego wyposażone w taki przełącznik
CN101408628A (zh) 2007-10-10 2009-04-15 群康科技(深圳)有限公司 扩散片及其制造工艺、背光模组及液晶显示装置
CN101828146B (zh) 2007-10-19 2013-05-01 高通Mems科技公司 具有集成光伏装置的显示器
US8058549B2 (en) 2007-10-19 2011-11-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaic devices with integrated color interferometric film stacks
WO2009055393A1 (en) 2007-10-23 2009-04-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Adjustably transmissive mems-based devices
US20090293955A1 (en) 2007-11-07 2009-12-03 Qualcomm Incorporated Photovoltaics with interferometric masks
EP2210282A1 (en) 2007-11-16 2010-07-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc Thin film planar sonar concentrator/ collector and diffusor used with an active display
US8941631B2 (en) 2007-11-16 2015-01-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Simultaneous light collection and illumination on an active display
US20090126792A1 (en) 2007-11-16 2009-05-21 Qualcomm Incorporated Thin film solar concentrator/collector
US7949213B2 (en) 2007-12-07 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light illumination of displays with front light guide and coupling elements
US8068710B2 (en) 2007-12-07 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Decoupled holographic film and diffuser
KR20100093590A (ko) 2007-12-17 2010-08-25 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 후방 측 간섭계 마스크를 구비한 광전변환장치
US20090168459A1 (en) 2007-12-27 2009-07-02 Qualcomm Incorporated Light guide including conjugate film
TWI368788B (en) 2008-02-01 2012-07-21 Au Optronics Corp Backlight module and display apparatus having the same
KR20100127775A (ko) 2008-02-12 2010-12-06 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 이중층 박막 홀로그래픽 태양광 집중장치/집광장치
US8654061B2 (en) 2008-02-12 2014-02-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated front light solution
WO2009102733A2 (en) 2008-02-12 2009-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated front light diffuser for reflective displays
WO2009102731A2 (en) 2008-02-12 2009-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Devices and methods for enhancing brightness of displays using angle conversion layers
US7948672B2 (en) 2008-03-07 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and methods for tiling display panels
US8408775B1 (en) 2008-03-12 2013-04-02 Fusion Optix, Inc. Light recycling directional control element and light emitting device using the same
US8851734B2 (en) 2008-03-27 2014-10-07 Skc Haas Display Films Co., Ltd. Light guiding film having light extraction features
JP2011517118A (ja) 2008-04-11 2011-05-26 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド Ｐｖの美観および効率を改善する方法
US8049951B2 (en) 2008-04-15 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light with bi-directional propagation
CN103149623A (zh) 2008-05-28 2013-06-12 高通Mems科技公司 具有光转向微结构的光导面板、其制造方法和显示装置
US8390008B2 (en) 2008-05-29 2013-03-05 Global Oled Technology Llc LED device structure to improve light output
JP5216431B2 (ja) 2008-06-17 2013-06-19 スタンレー電気株式会社 カメラ用ストロボリフレクタ
US8023167B2 (en) 2008-06-25 2011-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7768690B2 (en) 2008-06-25 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US20090323144A1 (en) 2008-06-30 2009-12-31 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination device with holographic light guide
TW201007288A (en) 2008-08-11 2010-02-16 Advanced Optoelectronic Tech Edge lighting back light unit
US20100096006A1 (en) 2008-10-16 2010-04-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Monolithic imod color enhanced photovoltaic cell
US20100096011A1 (en) 2008-10-16 2010-04-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. High efficiency interferometric color filters for photovoltaic modules
JP5232672B2 (ja) 2009-01-23 2013-07-10 日東電工株式会社 発光素子付光導波路および光学式タッチパネル
US8172417B2 (en) 2009-03-06 2012-05-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Shaped frontlight reflector for use with display
US20100195310A1 (en) 2009-02-04 2010-08-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Shaped frontlight reflector for use with display
US20100238529A1 (en) 2009-03-23 2010-09-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dithered holographic frontlight
WO2010111306A1 (en) 2009-03-25 2010-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Em shielding for display devices
WO2010124028A2 (en) 2009-04-21 2010-10-28 Vasylyev Sergiy V Light collection and illumination systems employing planar waveguide
JP2012528361A (ja) 2009-05-29 2012-11-12 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 反射ディスプレイ用の照明デバイス
WO2010138765A1 (en) 2009-05-29 2010-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination devices and methods of fabrication thereof
US8624853B2 (en) 2009-06-01 2014-01-07 Perceptive Pixel Inc. Structure-augmented touch sensing with frustated total internal reflection
WO2010141388A1 (en) 2009-06-01 2010-12-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Front light based optical touch screen
CN102483485A (zh) * 2009-08-03 2012-05-30 高通Mems科技公司 用于光导照明的微结构
JP5703310B2 (ja) 2009-12-29 2015-04-15 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 金属化光方向転換フィーチャを備えた照明デバイス
JP4691205B1 (ja) 2010-09-03 2011-06-01 日東電工株式会社 薄型高機能偏光膜を含む光学フィルム積層体の製造方法
WO2012043396A1 (ja) 2010-09-27 2012-04-05 古河電気工業株式会社 バックライトパネル、バックライトパネル用反射板
US20120081406A1 (en) 2010-09-30 2012-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated backlit frontlight for reflective display elements
US20130106712A1 (en) 2011-11-01 2013-05-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of reducing glare from inner layers of a display and touch sensor stack
US20130127922A1 (en) 2011-11-18 2013-05-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc Structures for directing incident light onto the active areas of display elements

Also Published As

Publication number Publication date
SG149890A1 (en) 2009-02-27
HK1097604A1 (en) 2007-06-29
BRPI0507357A (pt) 2007-07-03
JP2014089457A (ja) 2014-05-15
JP2011048380A (ja) 2011-03-10
KR20100031757A (ko) 2010-03-24
EP2487520A1 (en) 2012-08-15
KR101258484B1 (ko) 2013-04-26
IL177048A0 (en) 2006-12-10
US8111445B2 (en) 2012-02-07
US20050179977A1 (en) 2005-08-18
US20160116820A1 (en) 2016-04-28
JP5781583B2 (ja) 2015-09-24
CA2554980A1 (en) 2005-08-18
JP2007520759A (ja) 2007-07-26
EP1721204A1 (en) 2006-11-15
JP2010211208A (ja) 2010-09-24
JP2012198528A (ja) 2012-10-18
KR101149858B1 (ko) 2012-05-24
KR101150246B1 (ko) 2012-06-12
KR20120050929A (ko) 2012-05-21
KR20060134044A (ko) 2006-12-27
TW200947017A (en) 2009-11-16
TW200535487A (en) 2005-11-01
TWI412814B (zh) 2013-10-21
CN101799582A (zh) 2010-08-11
TWI338168B (en) 2011-03-01
JP5475038B2 (ja) 2014-04-16
WO2005076051A1 (en) 2005-08-18
CA2554980C (en) 2012-05-15
US9019590B2 (en) 2015-04-28
US20080151347A1 (en) 2008-06-26
US8045252B2 (en) 2011-10-25
JP4723518B2 (ja) 2011-07-13
AU2005209752A1 (en) 2005-08-18
KR101149860B1 (ko) 2012-05-24
US20080112039A1 (en) 2008-05-15
JP2011175261A (ja) 2011-09-08
US7342705B2 (en) 2008-03-11
CN1914538A (zh) 2007-02-14
US20120099177A1 (en) 2012-04-26
JP5108127B2 (ja) 2012-12-26
CN1914538B (zh) 2010-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101149860B1 (ko) 통합된 광학 구조체를 갖는 공간 광 변조기
US20080112036A1 (en) Method and device for corner interferometric modulation
US20230266512A1 (en) Nanoparticle-Based Holographic Photopolymer Materials and Related Applications
US7529026B2 (en) Optical system with nanoscale projection antireflection layer/embossing
RU2379725C2 (ru) Пространственный модулятор света с интегрированной оптической компенсационной структурой
MXPA06008719A (en) Spatial light modulator with integrated optical structure

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
A107 Divisional application of patent
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee