JPH11174234A - ホログラムカラーフィルタ、ホログラムカラーフィルタの製 造方法及びこれを用いた空間光変調装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光利用率を向上させることができるホログラ
ムカラーフィルタを提供する。 【解決手段】 ホログラムレンズ２０Ｂ，２０Ｇ，２０
Ｒを２層以上用いたホログラムカラーフィルタにおい
て、前記ホログラムレンズの各層の厚みを各層で主とし
て回折される光の波長に対して、波長の短い層程その厚
みを薄くする。これにより、回折の最適化をして光利用
率を向上させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プロジェクター、
表示装置、印刷等に使用される空間光変調技術に係り、
特に、これに用いられるホログラムカラーフィルタ、ホ
ログラムカラーフィルタの製造方法及びこれを用いた空
間光変調装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ホログラムカラーフィルタを用いた空間
光変調装置等の例えばカラー表示装置は、通常のカラー
フィルタを用いたカラー表示装置などと比較して、光の
利用効率が高いという利点を備えている。例えば、特表
平２−５００９３７号公報には、ストライプタ−ゲツト
の前面にＲ，Ｇ，Ｂのホログラフイレンズを水平かつ一
列にそれぞれ並べるとともに、このレンズ列を垂直方向
に多段配置し、各レンズからタ−ゲツト面に焦点を結ば
せることによって高い読出光効率が得られるようにした
ホログラフイレンズを使用するカラ−表示装置および方
法が開示されている。また、特開平９−１８９８０９号
公報（特願平７−３１５９５６号）には、入射光をホロ
グラフィックレンズアレイの法線に対し、６０度以上で
９０度未満の角度をなすように入射することで、高い光
利用率と高いコントラスト比が得られるようにしたカラ
ーフィルタ及びカラー表示装置が開示されている。

【０００３】ところで、図６はホログラムカラーフィル
タを用いた従来の空間光変調装置を示すが、このような
ホログラムカラーフィルタ１は、Ｂ（青）用ホログラム
レンズ１Ｂ，Ｇ（緑）用ホログラムレンズ１Ｇ，Ｒ
（赤）用ホログラムレンズ１Ｒの３層から成っている。
キセノンランプやハロゲンランプ（図示せず）などから
出力された白色光２は、まずホログラムカラーフィルタ
１の最上層のＢ用ホログラムレンズ１Ｂに入射する。そ
して、ここでＢ成分のみが回折し、レンズ作用を受けて
ＬＣＤパネルよりなる空間光変調素子３に集光入射す
る。次に、Ｂ用ホログラムレンズ１Ｂで回折しなかった
Ｇ及びＲの光は、Ｂ用ホログラムレンズ１Ｂを直進し、
次のＧ用ホログラムレンズ１Ｇに入射する。そして、こ
こでＧ成分のみが回折し、レンズ作用を受けて空間光変
調素子３に集光入射する。次に、Ｇ用ホログラムレンズ
１Ｇで回折しなかったＲの光は、Ｇ用ホログラムレンズ
１Ｇを直進し、次のＲ用ホログラムレンズ１Ｒに入射す
る。そして、ここで回折し、レンズ作用を受けて空間光
変調素子３に集光入射する。

【０００４】空間光変調素子３は、透明電極４と画素電
極５との間に配向膜（図示せず）で挟んで液晶６を封入
することにより構成されており、画素電極５は、Ｒ，
Ｇ，Ｂの画像信号に基づいて駆動されるようにＲ，Ｇ，
Ｂ毎に多数設けられている。そして、上述したＢ用ホロ
グラムレンズ１Ｂで集光されたＢの光はＢ画素５Ｂに入
射し、Ｇ用ホログラムレンズ１Ｇで集光されたＧの光は
Ｇ画素５Ｇに入射し、Ｒ用ホログラムレンズ１Ｒで集光
されたＲの光はＲ画素５Ｒに入射する。

【０００５】画素電極５には、光入射側の透明電極４と
の間に画像信号に相当する電圧が印加されており、この
電圧の程度に応じた偏光変調が入射光に対して液晶６で
行われる。例えば、液晶６として、垂直配向された液晶
層を用いたとすると、Ｓ波成分で入射した光のうちの画
像信号に応じた部分がＰ波成分となる。変調後の光は、
画素電極５（或いは誘電体ミラー）で反射され、ホログ
ラムカラーフィルタ１に再び入射する。この光のうちの
Ｐ波成分は、ほぼそのままホログラムカラーフィルタ１
を透過する。これによって、画像信号に相当する成分の
みが取り出されたことになり、これら透過光をスクリー
ンに投影することで画像が表示されるようになる。尚、
ホログラムカラーフィルタ１に再入射した光のうちのＳ
波成分は多くが再度回折され、入射光と逆に進行して光
源の方に戻る。必要に応じて出力光路中に、Ｐ波成分を
通すポラライザを設けることで、ホログラムカラーフィ
ルタ１を透過したＳ波成分をカットすることができる。

【０００６】次に、このような３層構造のホログラムカ
ラーフィルタの作製方法を説明する。まず、図７に示す
方法では、同図（A）に示すようなＥＢ（電子ビーム）
によって作製した凹レンズ構成のＥＢ格子７が用いられ
る。ＥＢ格子７は、レンズに対応して連続的にピッチの
異なった格子構成となっている。このＥＢ格子７は、同
図（B）に示すように、ガラス基板８の表面に連続して
複数設けられ、これによってＥＢマスタ（露光用マス
タ）９が形成される。他方のガラス基板１０の表面に
は、適宜のホログラム記録材料１１の層が形成されてお
り、このホログラム記録材料１１は、前記ＥＢマスタ９
に対向して接触配置されている。

【０００７】この状態で、図７（B）に矢印で示すよう
に、露光光源（図示せず）から露光光１２を所定の角度
で照射すると、図７（A）に示すように、直進する０次
光Ｌ0と格子により回折される１次光Ｌ1とが得られる。
尚、回折光として、場合によっては少量の高次光が発生
するが、理解を容易にするために以下省略して説明す
る。ホログラム記録材料１１は、上述したようにＥＢマ
スタ９の下に配置されているので、前記０次光Ｌ0と１
次光Ｌ1との干渉縞が形成される。このため、ホログラ
ム記録材料１１には、干渉縞に相当する屈折率分布，す
なわちホログラムレンズが形成されるようになる。この
他の製法として、０次光として斜め方向から参照光を用
い、１次光として垂直方向から物体波を当ててこれらを
干渉する方法もある。

【０００８】図６に示すような３層構造のホログラムカ
ラーフィルタを形成するには、まず、Ｂ用のＥＢマスタ
９によってホログラム記録材料１１が露光され、Ｂ用ホ
ログラムレンズ１Ｂが形成される。次に、図７（C ）に
示すように、Ｂ用ホログラムレンズ１Ｂの上にホログラ
ム材料１１を設けるとともに、Ｇ用のＥＢマスタ１３を
対向配置して露光することで、Ｇ用ホログラムレンズ１
Ｇが形成される。そして更に、図７（D）に示すよう
に、Ｇ用ホログラムレンズ１Ｇの上にホログラム記録材
料１１を設けるとともに、Ｒ用のＥＢマスタ１４を対向
配置して露光することで、Ｒ用ホログラムレンズ１Ｒが
形成される。このように、ホログラム記録材料を３層形
成するとともに、各層に対するＥＢマスタによる露光動
作を３回繰り返すことで、３層のホログラムカラーフィ
ルタ１が作製される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記各Ｒ、
Ｇ、Ｂ用のホログラムレンズ１Ｒ、１Ｇ、１Ｂの厚み
は、それぞれ略同じであるが、各ホログラムレンズ１
Ｒ、１Ｇ、１Ｂにおける回折効率は光の波長、すなわち
光の色によって異なることから色によって光利用率が異
なるという問題があった。また、各ホログラムレンズを
形成する際、各層のホログラム記録材料１１に露光光１
２を照射するとこれにフリンジパターンができ、これを
熱現像することにより屈折率変化の増強を行なって一層
のホログラムレンズが製造されるが、ホログラム記録材
料１１の屈折率変化は、０次光（参照光）と１次光（物
体光）で決まるフリンジパターンのスペース、傾斜角に
依存する。

【００１０】図８及び図９は、この状態を示す図であ
り、ここでは代表として一層のホログラムレンズ１Ｂ
（１Ｇ、１Ｒ）を示している。図８に示すように、ホロ
グラム記録材料１１に参照光１５を斜め方向から当て、
物体光１６を垂直方向から当てると、斜め方向に角度α
のフリンジパターン１７が形成される。尚、これらの光
は前述のように０次光と１次光に対応するものである。
このフリンジパターン１７の方向は、参照光１５と物体
光１６の交差角θを２等分する方向となり、フリンジパ
ターン１７との方向と両光１５、１６のなす角度θ１、
θ２は、θ１＝θ２となり同じ角度となる。

【００１１】このようにフリンジパターン１７が形成さ
れたホログラム記録材料１１には、屈折率変化の増強の
ためにこれに熱を加えて熱現像処理が施されるが、する
と図９に示すようにフリンジパターン１７が僅かな角度
Δαだけ起立して傾きが小さくなる。この現象をフリン
ジローテーションと称すが、最大効率を得る場合に、こ
のフリンジローテーションが生ずると、予め設定された
角度の斜め方向から再生光１８をこのホログラムレンズ
１Ｂ（１Ｇ、１Ｒ）に当てた場合、回折光１８Ａが、例
えばこの場合には図中垂直方向下方へ出射するように設
定されているにもかかわらず、垂直方向下方から僅かな
角度Δθだけずれた方向へ出射してしまう場合があっ
た。このため、この回折光１８Ａが所望の画素に到達し
なくなってしまうという問題があった。

【００１２】本発明は、以上のような問題点に着目し、
これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明
の目的は、光利用率を向上させることができるホログラ
ムカラーフィルタ及びこれを用いた空間光変調装置を提
供することにある。また、本発明の他の目的は、フリン
ジローテーションを補償して最適効率で所望の方向に回
折光を出射させることができるホログラムカラーフィル
タの製造方法及びこれにより製造されたフィルタを用い
た空間光変調装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明者は、回折効率に
ついて鋭意研究の結果、回折効率はホログラムレンズの
厚み等に依存して周期的に変動する、という知見を得る
ことにより、第１の発明に至ったものである。また、本
発明者は、フリンジローテーションについて鋭意研究の
結果、熱現像によりフリンジパターンが常にホログラム
レンズの厚み方向に僅かな角度だけ起立する、という知
見を得ることにより、第２の発明に至ったものである。

【００１４】すなわち、第１の発明は、ホログラムレン
ズを２層以上用いたホログラムカラーフィルタにおい
て、前記ホログラムレンズの各層の厚みを各層で主とし
て回折される光の波長に対して、波長の短い層程その厚
みを薄くするようにしたものである。

【００１５】これにより、主として回折される波長が短
い程、ホログラムレンズの厚みをある程度の範囲内で薄
くすることにより、回折効率を向上させることができる
ので、光利用率も向上させることができる。この場合、
各ホログラムレンズの厚みを、回折効率がピークとなる
厚みにそれぞれ設定して最適化することにより光利用率
を最大にすることができる。

【００１６】また、第２の発明は、ホログラム材料にフ
リンジパターンを形成し、これを熱現像することにより
ホログラムレンズを作成するようにしたホログラムカラ
ーフィルタにおいて、前記ホログラム材料に形成される
フリンジパターンの記録角度を、所望の特定波長が所望
の出射角で出射するようにフリンジローテーションを補
償する記録角度で形成する。

【００１７】これにより、熱現像前のフリンジパターン
の記録角度は、熱現像により生ずるフリンジローテーシ
ョンの回転角度に見合う角度だけ逆方向に回転された角
度になされているので、熱現像後のフリンジパターンの
記録角度は、設計通りの所望の方向に方向付けされてい
る。従って、回折光は設計通りの所望の回折効率で、所
望の方向に出射することになるので、これを所望の画素
に的確に当てることができる。また、以上のようなホロ
グラムレンズカラーフィルタを空間光変調装置に用いる
ことにより、光利用率を向上させることができ、また、
所望の画素から所望の色の光を出すことが可能となる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係るホログラム
カラーフィルタ、ホログラムカラーフィルタの製造方法
及びこれを用いた空間光変調装置の一実施例を添付図面
に基づいて詳述する。図１は第１の発明のホログラムカ
ラーフィルタを用いた空間光変調装置を示す断面構成
図、図２はホログラムレンズの厚みと回折効率との関係
を示すグラフである。尚、従来装置と同一部分について
は同一符号を付して説明する。

【００１９】まず、この空間光変調装置は、本発明に係
るホログラムカラーフィルタ２０と空間光変調素子３と
よりなり、両者を所望の厚みのガラス板２１により接合
しており、この構成は図６に示した従来装置と全く同じ
構成である。本発明のホログラムカラーフィルタ２０
が、従来のホログラムレンズ１Ｂ、１Ｇ、１Ｒと異なる
点は、従来のホログラムレンズ１Ｂ、１Ｇ、１Ｒの各厚
みが略同じであるのに対して、本発明においては、主と
して回折される波長に応じてその厚みを異ならせている
点である。すなわち、ホログラムカラーフィルタ２０の
Ｂ用ホログラムレンズ２０Ｂの厚みＴ１、Ｇ用ホログラ
ムレンズ２０Ｇの厚みＴ２及びＲ用ホログラムレンズ２
０Ｒの厚みＴ３は、それぞれ主として回折される波長に
応じて薄くなされており、Ｔ１＜Ｔ２＜Ｔ３の関係に設
定されている。

【００２０】従って、ここではＲ用ホログラムレンズ２
０Ｒの厚みＴ３が一番厚く、逆にＢ用ホログラムレンズ
２０Ｂの厚みＴ１が一番薄く設定されている。ただし、
これらの各厚みは、回折効率を考慮して設定され、回折
効率が略ピーク値近傍となるような厚みが選択される。
一般に、ホログラムレンズにおける回折効率は、その厚
みを主として回折させる光の波長λ及び屈折率変化Δｎ
に依存しており、例えば屈折率変化Δｎを一定値に固定
し、波長λをパラメータとして厚みｔと回折効率との関
係を示すと図２に示すような結果となる。

【００２１】すなわち、波長λは、λ１＞λ２＞λ３の
関係にあり、厚みｔを変えると回折効率はサインカーブ
的に変化し、しかも波長λが短い程、回折効率のピーク
値は図中左にシフトし、すなわち厚みが小さくなる。従
って、主として回折される波長に対応させてＲＧＢ用の
３層の各ホログラムレンズの厚みをそれぞれのピーク値
近傍に設定して最適化することにより、回折効率を上げ
て光利用率を向上させることができる。実際には、例え
ば屈折率変化Δｎ＝０．０４５とした場合、ＲＧＢの各
波長に対する最適厚みは、回折波長が略４６０ｎｍ
（Ｂ）の時は略３．６μｍ、回折波長が略５５０ｎｍ
（Ｇ）の時は略４．３μｍ、回折波長が略６４０ｎｍ
（Ｒ）の時は略４．９μｍである。

【００２２】実際の動作は、従来装置において説明した
と全く同じであり、キセノンランプやハロゲンランプ
（図示せず）などから出力された白色光２は、まずホロ
グラムカラーフィルタ２０の最上層のＢ用ホログラムレ
ンズ２０Ｂに入射する。そして、ここでＢ成分のみが回
折し、レンズ作用を受けてＬＣＤパネルよりなる空間光
変調素子３に集光入射する。次に、Ｂ用ホログラムレン
ズ２０Ｂで回折しなかったＧ及びＲの光は、Ｂ用ホログ
ラムレンズ２０Ｂを直進し、次のＧ用ホログラムレンズ
２０Ｇに入射する。そして、ここでＧ成分のみが回折
し、レンズ作用を受けて空間光変調素子３に集光入射す
る。次に、Ｇ用ホログラムレンズ２０Ｇで回折しなかっ
たＲの光は、Ｇ用ホログラムレンズ２０Ｇを直進し、次
のＲ用ホログラムレンズ２０Ｒに入射する。そして、こ
こで回折し、レンズ作用を受けて空間光変調素子３に集
光入射する。

【００２３】空間光変調素子３は、透明電極４と画素電
極５との間に配向膜（図示せず）で挟んで液晶６を封入
することにより構成されており、画素電極５は、Ｒ，
Ｇ，Ｂの画像信号に基づいて駆動されるようにＲ，Ｇ，
Ｂ毎に多数設けられている。そして、上述したＢ用ホロ
グラムレンズ２０Ｂで集光されたＢの光はＢ画素５Ｂに
入射し、Ｇ用ホログラムレンズ２０Ｇで集光されたＧの
光はＧ画素５Ｇに入射し、Ｒ用ホログラムレンズ２０Ｒ
で集光されたＲの光はＲ画素５Ｒに入射する。

【００２４】画素電極５には、光入射側の透明電極４と
の間に画像信号に相当する電圧が印加されており、この
電圧の程度に応じた偏光変調が入射光に対して液晶６で
行われる。例えば、液晶６として、垂直配向された液晶
層を用いたとすると、Ｓ波成分で入射した光のうちの画
像信号に応じた部分がＰ波成分となる。変調後の光は、
画素電極５（或いは誘電体ミラー）で反射され、ホログ
ラムカラーフィルタ２０に再び入射する。この光のうち
のＰ波成分は、ほぼそのままホログラムカラーフィルタ
２０を透過する。これによって、画像信号に相当する成
分のみが取り出されたことになり、これら透過光をスク
リーンに投影することで画像が表示されるようになる。
尚、ホログラムカラーフィルタ２０に再入射した光のう
ちのＳ波成分は多くが再度回折され、入射光と逆に進行
して光源の方に戻る。必要に応じて出力光路中に、Ｐ波
成分を通すポラライザを設けることで、ホログラムカラ
ーフィルタ２０を透過したＳ波成分をカットすることが
できる。

【００２５】このような動作において、前述したように
各ホログラムレンズ２０Ｂ、２０Ｇ、２０Ｒの厚みをＴ
１＜Ｔ２＜Ｔ３として最適化しているので、各層におけ
る回折効率を最大として光利用率を向上させることがで
きる。また、各ホログラムレンズの厚みを回折効率がピ
ーク値となる厚みに設定しなくても、略ピーク値に近い
厚みで、Ｔ１＜Ｔ２＜Ｔ３となるように設定しておけ
ば、従来装置よりも光利用率を向上させることができ
る。

【００２６】次に、第２の発明について説明する。ここ
では、上記各ホログラムレンズを製造する際に生ずるフ
リンジローテーションを補償することを目的としてい
る。すなわち、前述のように、ホログラムレンズを製造
するには、ホログラム記録材料に０次光（参照光）と１
次光（物体光）を当てて両者を干渉させることにより、
フリンジパターンを厚み方向に傾斜させて形成し、次
に、屈折率変化の増強のためにこれに熱を加えて熱現像
することにより製造するが、この熱現像の際にフリンジ
パターンの傾斜角度が僅かに回転して変化してしまうの
で、回折光の出射方向がずれるといった問題があった。

【００２７】これを解決するために、本発明方法では、
熱現像による上記フリンジパターンの回転角に見合う角
度だけ、予め逆方向に傾斜させてフリンジパターンを形
成しておき、これによりフリンジローテーションを補償
するものである。熱現像により、フリンジパターンは、
パターンがホログラム記録材料の厚み方向へ回転して立
つように変化するので、その変動分だけ逆方向へ寝かせ
た状態でフリンジパターンを形成する。図３はホログラ
ムレンズを形成するための一層の熱現像前のホログラム
記録材料を示し、図４は熱現像後のホログラム記録材料
（ホログラムレンズ）を示す。

【００２８】このホログラム材料１１としては、例えば
フォトポリマー材料を用いることができ、これに参照光
１５と物体光１６を当てることにって両者を干渉させ、
斜め方向に等ピッチのフリンジパターン１７を形成す
る。尚、このホログラム材料１１は図示されていないが
ガラス基板上に形成されている。この場合、ホログラム
パターン１７の傾斜角度（記録角度）は、図４に示すよ
うに最終的なホログラムパターン１７が求められている
所望の傾斜角度αよりも、フリンジローテーションの回
転角度Δαだけ小さな角度、すなわち角度（α−Δα）
に設定されている。このような熱現像によるフリンジロ
ーテーションの回転角度Δαは、予め測定して求められ
る。このようにフリンジパターン１７の傾斜角度が（α
−Δα）となるように参照光１５と物体光１６の入射角
θ４、θ５を設定する。両光１５、１６が入射すると、
前述したように両光１５、１６の交差角θの２等分方向
にフリンジパターン１７が形成される。すなわち、図３
において交差角θの２等分線と、これに対する各光１
５、１６の出射方向のなす角度θ６、θ７はθ６＝θ７
となる。

【００２９】図３に示すようなフリンジパターン１７を
形成したならば、ホログラム材料１１に熱を加えて熱現
像することにより、屈折率変化の増強を図ると、フリン
ジパターン１７は角度Δαだけホログラム材料１１の厚
み方向に回転してフリンジローテーションが生じ、この
結果、フリンジパターン１７の傾斜角度はαとなって、
初期の目的の通りの傾斜角度とすることができる。これ
により、一層のホログラムレンズを完成することができ
る。このホログラムレンズ２０（Ｂ、Ｇ、Ｒ）に再生光
１８を入射各θ４の斜め方向から当てると、最適効率で
１次の回折光１８Ａを所望の方向、すなわち図４に示す
場合には、垂直方向下方に射出して行くことになり、所
定の設計通りの画素（図示せず）に向かうことになる。
ここでは回折光１８Ａが垂直方向下方に射出する場合を
例にとって説明したが、設計によりフリンジパターン１
７の傾斜角度を意図的に決定すれば、任意の方向に射出
することができる。

【００３０】また、更にホログラムレンズを重ね合わせ
て多層構造とする場合には、図７を参照して説明したよ
うに、ホログラム材料の塗布形成とフリンジパターンの
形成を各色に合わせて繰り返し行なうようにすればよ
い。更に、図３に示す場合において、ホログラム材料１
１にフリンジパターン１７を形成するために参照光１５
と物体光１６の２つの光を用いたが、これに替えて、図
５に示すように電子ビームで格子状に形成されたＥＢマ
スタ２３を用い、これに所定の角度θ４で所定の波長の
レーザ光２４を照射することにより、格子による回折現
像の作用で、図３で示したと同様な方向に進む参照光１
５と物体光１６を得るようにしてもよい。

【００３１】これにより、フリンジパターン１７の傾斜
角度（α−Δα）を所望する角度に設定することができ
る。また、記録するレーザ光２４の波長や入射角度θ４
を変えることでも、任意のフリンジパターン１７を形成
することができる。尚、このように形成された単層或い
は多層のホログラムレンズよりなるホログラムカラーフ
ィルタは、図１に示すように空間光変調素子と組み合わ
されて、空間光変調装置が形成されることになる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のホログラ
ムカラーフィルタ、ホログラムカラーフィルタの製造方
法及びこれを用いた空間光変調装置によれば、次のよう
に優れた作用効果を発揮することができる。第１の発明
によれば、ホログラムレンズの各層の厚みを主として回
折される光の波長に対して、波長が短い程薄くするよう
にしたので、回折効率が向上し、この結果、各層のホロ
グラムレンズの光利用率を向上させることができる。ま
た、第２の発明によれば、熱現像前のフリンジパターン
の記録角度をフリンジローテーションの回転方向と逆方
向に僅かに傾けているので、熱現像時にフリンジローテ
ーションの回転角度を補償することができ、従って、回
折光を高効率で所望する方向に精度良く出射させること
ができる。このため、これを空間光変調装置に適用した
場合には、設計通りに所望の画素に回折光を精度よく当
てることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の発明のホログラムカラーフィルタを用い
た空間光変調装置を示す断面構成図である。

【図２】ホログラムレンズの厚みと回折効率との関係を
示すグラフである。

【図３】ホログラムレンズを形成するための一層の熱現
像前のホログラム記録材料を示す図である。

【図４】熱現像後のホログラム記録材料（ホログラムレ
ンズ）を示す図である。

【図５】第２の発明の変形例を示す図である。

【図６】ホログラムカラーフィルタを用いた従来の空間
光変調装置を示す図である。

【図７】３層構造のホログラムカラーフィルタの作製方
法を説明するための図である。

【図８】ホログラムレンズの形成工程を示す図である。

【図９】ホログラムレンズの形成工程を示す図である。

【符号の説明】

２…白色光、３…空間光変調素子、４…透明電極、５…
画素電極、６…液晶、２０…ホログラムカラーフィル
タ、２０Ｂ，２０Ｇ，２０Ｒ…ホログラムレンズ、２３
…ＥＢマスタ、α−Δα…傾斜角度（記録角度）。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ホログラムレンズを２層以上用いたホロ
   グラムカラーフィルタにおいて、前記ホログラムレンズ
   の各層の厚みを各層で主として回折される光の波長に対
   して、波長の短い層程その厚みを薄くしたことを特徴と
   するホログラムカラーフィルタ。
2. 【請求項２】 前記ホログラムレンズの各層の厚みは、
   前記回折される波長に対して最適化されていることを特
   徴とする請求項１記載のホログラムカラーフィルタ。
3. 【請求項３】 ホログラム材料にフリンジパターンを形
   成し、これを熱現像することによりホログラムレンズを
   作成するようにしたホログラムカラーフィルタにおい
   て、前記ホログラム材料に形成されるフリンジパターン
   の記録角度を、所望の特定波長が所望の出射角で出射す
   るようにフリンジローテーションを補償する記録角度で
   形成するようにしたことを特徴とするホログラムカラー
   フィルタの製造方法。
4. 【請求項４】 前記所望の出射角は、略垂直であること
   を特徴とする請求項３記載のホログラムカラーフィルタ
   の製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１または２に規定されるホログラ
   ムカラーフィルタまたは請求項３または４に規定される
   製造方法で作成されたホログラムカラーフィルタと、こ
   のホログラムカラーフィルタにより回折された光を変調
   する空間光変調素子よりなることを特徴とする空間変調
   装置。