JPH10508975A

JPH10508975A - 多電極構造を有する電子蛍光ディスプレイ装置およびその製造方法

Info

Publication number: JPH10508975A
Application number: JP8510370A
Authority: JP
Inventors: ゲ、シチャオ; ファン、シ; シュ、イ; エス．リアング、チャールズ
Original assignee: ピックステックインコーポレイテッド
Priority date: 1994-09-15
Filing date: 1995-09-15
Publication date: 1998-09-02
Also published as: CN1158182A; EP0784860A1; WO1996008833A1; EP0784860A4; AU3633095A

Abstract

(57)【要約】一つのスペーサ構造が格子電極のセットに強固に接合された構成を備える陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。

Description

【発明の詳細な説明】発明の名称多電極構造を有する電子蛍光ディスプレイ装置およびその製造方法発明の背景本発明は、一般的にフラットパネル電子蛍光ディスプレイ装置に関し、特に、大画面の単一フルカラーで壁掛けタイプのディスプレイに特に有用である単純化された多電極構造および革新的な製造方法を有する改良されたフラットマトリクス陰極線ルミネセンス装置に関する。多くのフラットパネルディスプレイ技術、例えば、ＬＣＤ，ＰＤＰ，ＥＬ，ＬＥＤ，ＶＦＤ，フラットＣＲＴの研究者等は、フルカラーの壁掛けテレビの開発に取り組んできた。ＬＣＤ技術を用いて、数インチから１０〔２５．４ｃｍ〕インチを少し超える画面のカラーテレビが製造されてきた。そのようなＬＣＤ使用のテレビは、基板上に多数の薄膜トランジスタを搭載し、高価なものである。これらのＬＣＤディスプレイを製造することが困難でかつ複雑であるために、ＬＣＤディスプレイの画面サイズを増大することは、手に負えそうもない仕事であり、大変高価なものである。ＬＣＤディスプレイは、色フィルタと偏向子をもつ背面照明構造をとっている。前面端の光シャッタを制御するために、薄膜トランジスタ搭載の基板は、バックライト源からの低部分の光を伝送して、ディスプレイの輝度を制限する。これらが困難であるために、ＬＣＤ技術に基づく大画面（２５インチ〔６３．５ｃｍ〕対角線のものを越える）のディスプレイの研究は、主に、投影ディスプレイを対象としてきた。プラズマ表示板（ＰＤＰ）を使用するフルカラーディスプレイは、放電電池の組立が困難であるために、４０インチ〔１０１．６ｃｍ〕の画面サイズに制限される。大画面フルカラーＰＤＰディスプレイにおいての主要な問題は、燐光，低輝度，複雑なＩＣ駆動の電気回路構成，そして製品寿命が短いという低効率があげられる。ＬＥＤおよびＥＬディスプレイの研究者は、青い光を発光するための費用効率を考えた蛍光材料の開発を進めてきた。マルチカラーディスプレイはＶＦＤ技術を使用して開発されてきたが、そのような装置はより小さなディスプレイ画面のサイズに制限されている。さらに、青緑光を発生させるために酸化亜鉛のような照明材料の使用を除いて、他の色の蛍光体の輝度，照明効率，および製品寿命は、ＶＦＤの低作動電圧幅では許容不可能である。これらのディスプレイ技術の上述した短所から、これら既存のフラットパネルディスプレイ技術を用いてきた大画面フラットフルカラー壁掛けディスプレイは、完全に満足がいくものではないことは明白である。ブラウン管（ＣＲＴ）は、入手可能なコストのおかげで消費者のテレビ装置のようなディスプレイ用に幅広く使用されてきた。これらの管は、１つの電子銃からの電子線を走査することで作動する。この従来の構造では、必然的に、装置の寸法の奥行きが深くなり、小型画面サイズに制限される。このように、これらのＣＲＴ装置は、かさばるものであり、そしてディスプレイの画面サイズが４０インチ〔１０１．６ｃｍ〕を超える場合の製造が困難になる。多くの応用において、ディスプレイのかさばりがかなり減少されるフラットディスプレイ装置を使用することは好ましいことである。例えば、イース等に譲渡された米国特許第３，９３５，５００号において、モノリシックスタックを含むフラットマトリクスＣＲＴ装置が提案されており、そこでは電子ビームが形成され、そしてそれを通して前記電子ビームが面板にコーティングされている蛍光体上に選択的に投影される。前記スタック構造は多数の孔を含み、前記孔を電子ビームが通過し、Ｘ−Ｙ偏向電極のセットが同時に全ての電子ビームを制御するために使用される。イース等により定義されている前記偏向制御構造は、網状タイプのＣＲＴ構造として一般的に知られている。網状タイプのフラットＣＲＴ構造は形が単純なものであるが、これらの構造は、特に大画面ディスプレイ装置の場合、製造コストがかかる。現在使用されている他の従来のフラットパネル装置は、日本特許公報第６２− １５０６３８号および第６２−５２８４６号がそれぞれ対応する米国特許第４，９５５，５８１号に記載されているようなジャンボトロンおよびフラットビジョンを含む。ジャンボトロンおよびフラットビジョンディスプレイで使用されている構造は、上述したフラットマトリクスＣＲＴに多少類似している。ジャンボトロンの陽極はそれぞれ２０画素以下であるので、ジャンボトロン構造を使用した高蛍光点密度タイプのディスプレイ装置をもつ高解像度のディスプレイ装置を製造することは困難である。浅い奥行き（〜４．０インチ〔１０．１６ｃｍ〕）をもつフラットビジョンは、多数の電子ビーム源を含んでおり、前記電子ビームは、シートのような層に配置された一連の多電極により焦点を合わせられ、方向付けされる。電荷は、適切な蛍光点を打つために、前記電子ビームを静電気的に偏向させるか、もしくは方向付けるために使用される。そのようなフラットＣＲＴ装置は、高画質を提供するために、正確に多数の格子電極を並べる必要がある。複雑な駆動回路構成は、走査およびデータ変調用に、電子ビーム通路を制御する必要がある。フラットマトリクスＣＲＴ，ジャンボトロンおよびフラットビジョン構造は、上述したイース等により記載されたフラットＣＲＴ装置の仕組みに多少類似している。これらの構造は、１つのパネル内に個々に制御された多数の小型電子銃を含んでいるだけで、前記銃は、ディスプレイのＸ−Ｙアドレス指定および輝度、もしくはそのどちらかを制御するための格子電極が備わっている。上述したＣＲＴ装置において、使用されている制御格子電極は、網状もしくは孔のあいたシート構造形状のどちらかである。これらの網状もしくはシート構造は、典型的には、導電板に孔をエッチングすることによるフォトエッチングを使用して組立られている。電子銃の陰極からの電子ビームは、陽極上の蛍光体材料に達するように、網状もしくはシート構造にあるこれらの孔を通って通過する。上述したように、広範囲の網状もしくはシート構造は、これらのディスプレイ装置を製造する過程での取扱いが困難である。電子ビームが網状もしくはシート構造にある孔を通過しなければならないので、陰極から発生する多数の電子は前記孔を通過して進まないが、格子電流になり、前記構造の固体部分に失われ、電子のわずかな部分だけが前記孔を通過して逃れ、陽極板上の蛍光体材料に達する。この理由で、上述した装置の透過係数は非常に低いものであり、前記係数は、孔の領域と制御電極格子の網状構造の領域との割合として定義される。ゲシチャオ等による米国特許第５，１７０，１００号に記載されているように、従来のディスプレイ装置での低透過係数の問題を避けるために、個々に制御された電子銃を使用する代わりに、電子蛍光装置（ＥＦＤ）が提案されており、そこでは全陽極で画素の輝度を走査および制御するために、２以上の長い格子電極のセットが使用されており、そこでは電子を遮断する格子電極の領域は、従来の装置の網状構造の領域よりもかなり狭いものである。上述されたＣＲＴ搭載の装置は、別の短所をもつ。ジャンボトロンの場合、それぞれの電子銃は２０画素の全てを走査するために使用される。上記で参照したイース等の特許において、孔を通過するそれぞれの電子線はまた、多数の画素をアドレス指定し、そして照明するために使用される。フラットパネルの場合には、複雑な回路構成が１４インチ〔３５．５６ｃｍ〕ディスプレイ装置用に多数の電子線を駆動するのに必要とされる。特定の画素での照明が望まれた場合、ある程度の電圧が、孔の内面上にあるＸ−Ｙ偏向電極に印加され、そのような画素で陽極に衝突するように、孔を通過する電子ビームに電子を惹起させる。しかしながら、電気ノイズおよび他の環境要因は、イース等の装置，ジャンボトロン，およびフラットビジョンでの電子ビームが、期待の方向からはずれる原因になる。その上、ある一定の電子は、必然的に陽極領域にある電子ビーム通路およびランド部から離れていき、前記陽極領域とは、アドレス指定される画素とは異なるものである。このことにより、アドレス指定される画素に近接した画素が、漏話を引き起こす発光になり、ディスプレイの性能がおちる。当業者に既知であるように、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の内室は、高真空状態にしなければならないので、陰極により放出される電子は、空気分子により妨げられず、自由に陽極上の蛍光要素に達する。このため、陰極，陽極，および制御電極を含むハウジングは、ハウジング内の室が高真空の状態になるとき、大気圧に耐性であるくらい十分な強度をもたなければならない。ディスプレイ装置が、大画面ディスプレイのような広い表面領域をもつ場合、ハウジング上の大気により加えられる力は、室が超高真空状態（＜１０^-7トル）になるとき、特に多大なものとなる。このため、従来のフラット陰極線ルミネセンスディスプレイ装置は、頑丈なハウジングを作るために厚い面板および背板を用いてきた。そのような厚い板によりハウジングがかさばることで、装置は重く，高価になり、そして製造が困難なものとなる。電子蛍光タイプのフラットパネルディスプレイにおいて、スペーサ壁蓄電効果が除去されることは重要なことである。陰極とディスプレイ表面との間には高い電圧差がある。電子放出表面とディスプレイ表面との間の電気的破壊は避けられなければならない。多数の取り組みがなされてきたが、その結果は特にフラットディスプレイタイプにはあまり満足のいくものではなく、そこでは正面の光発光面と背陰極との間の間隔は小さく保持されなければならない。前記壁蓄電効果が電子通路の方向付けをする多数の電極を使用して制御されることが可能であっても、そのような目的で多数の電極を組み立てることは、電子が通過するように、多数の電極の層とそれぞれの電極構成部分の配列との間の間隔を正確に制御する必要がある。それ故に、上述した困難がない改良されたフラット陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置を提供することは望ましいことである。発明の要約本発明は、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置において単純化された多電極構造を搭載することにより、制御格子電極の２つのセットを通してマトリクスアドレス指定が達成され、そして好ましくは１つのみのスペーサ構造が前記スペーサー構造上に設けられた制御電極の１つのセットを必要とする観察結果に基づくものである。好適な実施例において背板に支柱を使用することにより、フラットディスプレイ装置の強固な支持のみでなく、軽量装置の組み立てが可能となる。最も重要なことは、単純化された多電極構造により、従来のＣＲＴの鮮明で明快な色と同等の画質を持つ費用効率が良い大画面フラットパネルディスプレイの製造が実現されることである。本発明の一つの特徴は、装置を観察方向から見るとき、画像を表示するための複数のピクセル点を持つ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置に関するものである。前記装置は室を規定するハウジングを含み、前記ハウジングは面板および背板を持つ。前記装置はまた、面板の上か近傍にある陽極と，電子に応答して発光し前記陽極の上または近接して設けられている発光手段と，前記室内で前記面板と背板間に設けられている少なくとも１つの陰極と，前記陽極と陰極の間に設けられた長い格子電極の少なくとも第１および第２のセットであり、前記観察方向からみたときに、各セットの電極は前記発光手段と重なっておりそして格子電極は互いに他のセットと点状に重なっており、前記重なり点でピクセル点を規定するものである格子電極と，前記陰極に電子の雲を形成するように電子を惹起させる手段と，そして前記陽極，陰極，および２以上の格子電極のセットに電圧を印加する手段で、前記陰極より放出された電子を画像を表示するために前記ピクセル点で前記陽極の上または近傍にある発光手段に移動させる電圧を印加する手段を含む。さらに、前記装置は、２つの制御格子電極のセットに固定された集積されたスペーサ構造（例えば、一片コア多電極構造）を含む。好適な実施例において、前記装置はまた、面板およびスペーサ構造との間に支柱を含み、装置に強固な機械的支持を提供するため、前記ハウジングはハウジングが真空になっても崩壊しない。本発明の好適な実施例において、スペーサ構造は、電子通路が複数のピクセル点をそれぞれアドレスするような孔を規定し、そして格子電極の１つのセットは電子が孔を通って収束できるように孔の表面上に設けられる。スペーサ構造は高温性接着剤によりしっかりと接着された個々の層を含む。好適な実施例において、スペーサ構造は、電子通路が発光手段の方へ向けられるようにする支持手段および制御手段を含む。さらに、制御手段は、漏話をなくすために薄い仕切りもしくは分離壁を含み、そして支持手段は電荷を減少させるための適切な抵抗率幅をもつ部材で作られている。本発明の別の特徴は、装置を観察方向から見るとき画像を表示するための複数のピクセル点をもつ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置を製造するための方法に関する。前記方法は以下のステップを含む。（ａ）スペーサ板を製造することであり、前記スペーサ板は陽極および１以上の陰極との間に電子通路用の孔を規定し、そこでは予め定められた数の１以上のピクセル点が１つの孔に一致し空間的に重なり、前記製造方法は、１つの格子電極のセットとして作用するために前記スペーサ板上に導電フィルムを設けることを含む。（ｂ）格子電極の追加的なセットとして作用するように、前記スペーサ板上にメッシュ構造と分離スペーサを揃え取り付けることで、分離スペーサは２つの格子電極のセットを分離し、そしてそれぞれの格子電極のセットにある電極は、観察方向から見るとき、前記ピクセル点と重なる交差点で他のセットにおいて格子電極と重なり，前記スペーサ板，メッシュ構造，そして分離スペーサは完全に強固なスペーサ構造を形成する。（ｃ）ピクセル点をスペーサ構造に規定する発光手段を持つ面板に揃え取り付けることで、ピクセル点が交差点と一直線になる。（ｄ）背板をスペーサ構造に取付け、そして陰極フィラメントを背板に接続する。本発明のさらなる別の特徴は、前記装置が面板および背板を持ち、室を規定するハウジングを含み、観察方向から見るとき、画像を表示するための複数のピクセル点と，陽極板にある前記面板の上または近傍に設けられた陽極と，電子に応答して発光し、そして前記陽極の上または近接して設けられている発光手段と，前記室内で前記面板と背板間にあり陰極板に設けられている複数の陰極と、第１および第２の格子板にそれぞれある前記陽極板と陰極板の間に設けられた長い格子電極の少なくとも第１および第２のセットであり、前記第１の格子板は前記第２の格子板よりも前記陰極板に接近しており、観察方向から見たときに、各セットの電極は前記発光手段と重なっており、そして格子電極は互いに他のセットと点状に重なっており、前記重なり点は、ピクセル点を規定するものである格子電極をもつ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置に関してである。さらに前記装置は前記陰極に電子を惹起させる手段と，前記陽極，陰極，および２以上の格子電極のセットに電圧を印加する手段で、前記陰極より放出された電子に画像を表示させるために前記陽極の上か近接するピクセル点で発光手段の方向に移動させる電圧を印加する手段と，そしてハウジングが室が真空になるとき崩壊しなように、前記面板と背板に機械的支持を提供するために前記板を接続するスペーサ手段であり、前記スペーサ手段は前記陽極および陰極間にある電子通路用に孔を規定するスペーサ板を含み、前記陰極が設置され電圧が前記陽極に印加され、陰極および格子電極は、前記スペーサ板の有効領域を規定する前記スペーサの領域上に分布された孔を通って電子が流れるようにするスペーサ手段を含む。前記少なくとも１つの陰極により放出され、前記陽極に進む電子は前記格子電極および前記スペーサ板によってのみ妨害され、前記スペーサ板は前記スペーサ板の有効領域の８０％以下の前記通過電子の通路を塞ぐものである。さらに、前記陰極板は前記陽極板から４０ｍｍ以下の位置である。大画面ディスプレイに関して、たるみ量を減少させ容易に組み立てるために、陰極が短い部分に分解されることは望ましい。陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の一つの共通した問題は、陰極にあるフィラメントの両端が中間点よりも低温であり、そのために、中間点と比較してほとんど電子を放出しないことである。長い陰極がより短いフィラメント部分に分解されるとき、フィラメントの終端で非均等に電子を放出する上記の問題はさらにひどくなる。フィラメントのグループが、効率良く電子を発生させるために互いに平行に陰極板を形成するように配列されるので、観察方向から見たときそれぞれのフィラメント部分の端部が異なるフィラメント部分に近接しそして重なる方法で、フィラメントの端部を配列することでこの問題は緩和される。フィラメント配列のピッチのために、放出電子の非均一性は、観察方向から見ると分かる。この問題はまた、電子の放出をより均一にフィラメントから観察方向へと分布するための電子流形成手段を使用することで、緩和することが可能である。本発明は、フィラメントの背後にある陽極板上に電極のセットを配置することによって、輝度の均一性を高めるために、より一定の前方向へと電子が進むように、フィラメントの背後に直接電界プロファイルを発生させるという観察結果に基づいている。このように、陽極もしくは背板上にある前記セットの電子流形成電極の間隔と、電子形成電極に対して平行であるフィラメント配置のピッチとの間には直接の関係がある。本発明の別の特徴は、本発明の実施例においてスペーサ構造と前記構造を使用するディスプレイ装置を組み立てる方法に関する。ディスプレイ装置において共通して使用されるスペーサ構造は、電子通路を制御するために印加された高圧の短絡を防ぐために、絶縁部材で作られる。大画面で高解像度のフラットパネルディスプレイ装置の製造における主要な問題の一つは、陽極，陰極，そして制御格子電極が互いに近づいたときの蓄電効果である。一つのアプローチは、電荷を減少させるために、高抵抗部材を絶縁部材の上にコーティングすることである。黒鉛コーティングは、従来の陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイにおいて使用されてきたが、陽極，陰極，そして制御格子電極に近接しているため、黒鉛コーティングは、装置が作動している間に画質に影響を及ぼす残留電界が生じ、望ましいものではない。さらに、コーティングは、ディスプレイ装置の製造行程における追加的製造方法であり、製品コストを上昇させる。前記方法は、蛍光点を含む室を規定するための薄い仕切り壁により分離された開口配列を含む金属形成層の二層をもつスペーサ構造，および制御格子電極および高圧陽極板との間の間隔を規定するための絶縁支持層の形成を含む。前記金属形成層は、前記制御格子電極の仕切りを形成するために、薄い仕切りの内壁上に設けられた導電層をもつ絶縁部材でコーティングされている。それから、前記二層は前記スペーサ構造を形成するために、高温性接着剤で接合される。このタイプのスペーサ構造を使用することでの主な利点は、ガラスまたはセラミック部材と同じ程度の金属形成上で正確なパターン規定と比較して、蓄電をなくすために適切な量の抵抗率を持ち、機械的な強度を高めるために金属形成の剛性をもつ部材を選択する際の融通性を含むことである。本発明のさらなる別の特徴は、装置を観察方向から見るとき画像を表示するための複数のピクセル点を持つ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置に関してである。前記装置は、面板と背板を持つ室を規定するハウジング，前記面板の上か近接する陽極，電子に応答して発光し、前記陽極の上か近接する発光手段，そして前記室内で前記面板と背板間に設けられた少なくとも１つの陰極を含む。前記装置は、前記陽極と少なくとも１つの陰極間に設けられた長い格子電極の少なくとも第１および第２のセットと，前記観察方向から見たときに、各セットの電極は前記発光手段と重なっており、格子電極は互いに他のセットと点状に重なっており、前記重なり点はピクセル点を規定するものである格子電極と，少なくとも１つの陰極に電子を惹起させるための手段と，そして前記陽極，少なくとも１つの陰極，そして２以上の格子電極のセットに電圧を印加する手段で、前記少なくとも１つの陰極より放出された電子を、画像を表示するための前記陽極の上または近傍にあるピクセル点で前記発光手段の方向に移動させる電圧を印加する手段を含む。さらに、前記装置は、前記少なくとも第１および第２の格子電極のセットに固定されたスペーサ構造を含み、前記構造は網状のメッシュ構造体で孔と孔の表面を含み、ここにおいて、前記第１の格子電極のセットは前記陽極に前記第２のセットよりも近接して設けられ、そしてここにおいて前記格子電極の第２のセットは前記網状のメッシュ構造体の孔の表面を実質的に覆う導電材料の層を含む。本発明の別の特徴は、陰極線ルミネセンスディスプレイ装置で、前記装置を観察方向から見るときに画像を表示するための複数のピクセル点を持つ装置の製造方法に関してであり、少なくとも１つのスペーサ板を製作する方法で、前記少なくとも１つのスペーサ板は陽極と１以上の陰極間で電子の通過のための孔を規定し、ここにおいて、１以上のピクセル点の予め定められた数が１つの孔と一致し空間的に重なり、前記製造ステップは導電フィルムを前記スペーサ板に格子電極のセットとして働くように配置するステップを含み、格子電極アレイを前記少なくとも１つのスペーサ板に揃えつけ、格子電極の追加的セットとして動作させることにより、観察方向から見たときに、各格子電極の前記電極が前記ピクセル点と交差する点において他方の格子電極と重なり、ピクセル点を前記少なくとも１つのスペーサ板に規定する発光手段を持つ面板を揃えつけることにより、前記ピクセル点が前記交差点に揃い、そして背板を前記少なくとも１つのスペーサ板につけ、そして陰極フィラメントを背板に取り付けることである。前記配置ステップは、前記少なくとも１つのスペーサ板の第１の側と感光高分子材料の第１の層を持つ前記少なくとも１つのスペーサ板にある孔の表面をコーティングし、前記第１の層を紫外線に十分に曝し、前記第１の層上に画像レジストの第２の層を提供し、前記少なくとも１つのスペーサ板の第１の側を覆いながら、前記少なくとも１つのスペーサ板にある孔に隣接する領域を覆わずに、第２の層を放射線に曝し、第２のレジスト層の曝された部分を広げ、そしてきのこ形の残りの層を形成するために前記第２の層の前記曝された部分の下で前記第２の層の曝された部分と前記第１の層の曝された部分をエッチングするステップを含む。さらに、前記配置ステップは、導電層でのエッチング手段の結果として曝された前記少なくとも１つのスペーサ板の表面をコーティングし、前記残りの層を取り除くステップを含む。本発明のさらなる別の特徴は、装置を観察方向から見るとき、画像を表示するための複数のピクセル点をもつ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置に関する。前記装置は、面板と背板を持ち、室を規定するハウジングと，前記面板の上か近傍にある陽極と，電子に応じて発光し、前記陽極の上か近接している発光手段と，そして面板と背板の間の室にある複数の陰極を含む。さらに、前記装置は、前記陽極と陰極の間に設けられた長い格子電極の少なくとも第１および第２のセットであり、前記観察方向から見たとき、各電極のセットは発光手段と重なっており、そして格子電極は互いに他のセットと点状に重なっており、前記重なり点はピクセル点を規定するものである格子電極と，前記陰極に電子を持続的に惹起させる手段と，そして全ての前記陰極を囲む複数のメッシュ電極で、それぞれのメッシュ電極は１つの対応する陰極を囲むメッシュ電極を含む。さらに、前記装置は、陽極，メッシュ電極，および２以上の格子電極のセットに時間的に変化する電圧を印加する手段を含み、前記陰極により放出された電子を、画像を表示するための陽極の上か近傍のピクセル点で発光手段の方向に移動させる。本発明のさらなる別の特徴は、装置を観察方向から見るときに、画像を表示するための複数のピクセル点を持つ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置に関する。前記装置は、面板と背板を持ち、室を規定するハウジングと，前記面板の上か近傍の陽極と，電子に応じて発光し、前記陽極の上か近傍にある発光手段と，そして面板および背板間の室にある複数の陰極を含む。さらに、前記装置は、前記陽極と陰極との間に設けられた長い格子電極の少なくとも第１および第２のセットであり、観察方向から見るとき、各セットの電極は前記発光手段と重なっており、そして格子電極は互いに少なくとも他のセットと点状に重なっており、前記重なり点はピクセル点を規定するものである格子電極と，前記陰極に電子を惹起させる手段を含む。さらに、前記方法は、前記陽極，メッシュ電極，および２以上の格子電極のセットに時間的に変化する電圧を印加し、前記陰極により放出される電子を画像を表示させる前記陽極の上か近傍にあるピクセル点で発光手段の方向へ移動させるステップと，前記陽極と陰極との間に設けられた電子の通過用の長い孔のスペーサ板規定アレイを含む少なくとも１つのスペーサ構造であり、ここにおいて、同じ色の光を発光する予め定められた数の１以上のピクセル点は、１つの孔に一致しそして空間的に重なり、前記スペーサ板は２つの近接した孔の間にある支持壁を持ち、前記孔は制限されていない電子通路用の区切りを全く含まない。前記第１の格子電極のセットは、長い孔のアレイを横切り一致する方向に格子電極のアレイと、観察方向から見たとき、孔を通ってそのようなアレイでピクセル点の行と重なるそれぞれの格子電極と、前記孔のアレイにあるそれぞれの孔を通って一度に一つのピクセル点の方向へのみ電子が向けられる前記第１の格子電極のセットに電圧を印加する前記電圧印加手段を含む。本発明のもう一つの特徴は、装置を観察方向から見たとき、画像を表示するための複数のピクセル点をもつ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置を搭載した、画像を表示するための方法に関するものである。前記装置は、面板の上か近傍に設けられた陽極と，電子に応答して発光し、前記陽極の上か近接にある発光手段と，前記面板と背板の間にある複数の陰極と，前記陽極と陰極の間にある少なくとも第１および第２の長い格子電極のセットであり、観察方向から見たときに、各セットの電極は前記発光手段と重なっておりそして格子電極は少なくとも他のセットと点状に重なっており、前記重なり点はピクセル点を規定するものである格子電極を含む。前記装置はまた、全ての陰極を囲む複数のメッシュ電極を含んでおり、それぞれのメッシュ電極は対応する陰極を囲んでいる。前記方法は、前記陰極に持続して電子を放出させ、時間的に変化する電圧を前記陽極，メッシュ電極，そして２以上の格子電極のセットに印加する手段と，前記陰極により放出された電子に画像を表示するための前記陽極の上か近接している前記ピクセル点で前記発光手段を移動させる手段と，走査信号を第１の格子電極のセットに印加する前記印加手段と，そして輝度情報信号を前記第２の格子電極のセットに印加する手段を含む。本発明の別の特徴は、観察方向から見たときに、画像を表示するための複数のピクセル点を持つ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置に関してであり、前記装置は、面板と背板をもち、そこに室を規定するハウジングと，前記面板の上か近傍にある陽極と，電子に応答して発光し、前記陽極の上か近接してある発光手段と，前記室内で前記面板と背板との間に設けられている少なくとも１つの陰極と，そして、前記陽極と前記少なくとも１つの陰極との間にある少なくとも第１および第２の長い格子電極のセットであり、観察方向から見たときに、各セットの電極は前記発光手段と重なっておりそして格子電極は少なくとも互いに他のセットと点状に重なっており、前記重なり点はピクセル点を規定するものである格子電極を含む。前記装置はさらに、前記少なくとも１つの陰極に電子を放出させる手段と，電圧を前記陽極，少なくとも１つの陰極，そして２以上の格子電極のセットに印加する手段で、前記少なくとも１つの陰極より放出された電子を画像を表示するための前記ピクセル点の前記陽極の上か近接してある前記発光手段の方向に移動させる電圧を印加する手段を含む。前記装置はさらに、前記陽極にか，もしくはその近くにメッシュ構造を含み、前記メッシュ構造は前記ピクセル点に合うパターンをもつ。前記メッシュ構造は、ピクセル点間の漏話を減少させるために、近接したピクセル点から少なくとも１つのピクセル点に向けられる電子を遮蔽する。本発明のさらなる特徴は、観察方向から見たときに、画像を表示するための複数のピクセル点を持つ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置を製造する方法に関してであり、前記装置は、前記少なくとも１つのスペーサ板は、陽極および１以上の陰極の間に電子が通過するための孔をもつ少なくとも１つのスペーサ板のセットで、ここにおいて、予め定められた数の１以上のピクセル点は１つの孔に対応し空間的に重なる前記スペーサ板の製造ステップであり、１つの格子電極のセットとして働くように、導電フィルムを少なくとも１つのスペーサ板に設置することを含む前記製造ステップと，追加的な格子電極のセットとして働くように格子電極のアレイを少なくともスペーサ板上に揃えて取り付けることで、観察方向から見たときに、それぞれの格子電極のセットにある電極が、前記ピクセル点と重なる交差点で他のセットにある格子電極と重なるスペーサ板を揃え取り付けるステップを含む。前記方法はさらに、少なくとも１つのスペーサ板に対してピクセル点を規定する発光手段をもつ面板を揃え取り付けることで、前記ピクセル点が前記交差点と並ぶ面板を揃え取り付けることと，背板を少なくとも１つのスペーサ板に取り付け、そして陰極フィラメントを前記背板に取り付けることを含む。前記製造ステップは、孔のパターンをもつ基盤層と、ミクロ研磨噴射加工と化学的にエッチングした前記基盤層を提供することを含む。図面の簡単な説明図１Ａは、本発明の好適な実施例を説明するものであり、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置部分の断面図である。図１Ｂは、図１Ａの装置の正面図であるが、図１Ａの電流源は示されていない。図２Ａは、図１Ａの装置にあるスペーサ板と前記装置の輝度を調整するために使用される格子電極部分の断面図である。図２Ｂは、図２Ａに示されているスペーサ板の部分の正面図である。図３Ａは、本発明の代替実施例を説明するためのもので、前記陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置部分の断面図である。図３Ｂは、図３Ａにある前記装置３００の部分の断面図である。図３Ｃは、１ピクセルにおける前記ピクセル点の配列の略図である。図３Ｄは、１ピクセルにおけるピクセル点の別の配列の略図である。図４は、本発明を説明するもので、図１Ａおよび３Ａの前記装置部分の断面図である。図５Ａは、二層のスペーサ構造を使用した電子蛍光ディスプレイ（ＥＦＤ）装置にある単純化された電極構造の好適な実施例を説明するもので、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置部分の断面図である。図５Ｂは、電子蛍光ディスプレイ（ＥＦＤ）装置にある単純化された電極構造の代替実施例を説明するもので、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置部分の断面図である。図６は、図５Ａの一片コア多電極スペーサの好適な実施例の部分の断面図であり、そこではスペーサは二層のスペーサ板を含む。図７は、大型の面板の機械的な強度を高めるために、支柱アレイの使用を説明した大画面ＥＦＤディスプレイの略図である。図８Ａは、前記支柱を説明したもので、線８Ａ−８Ａで切断され示された図７の陰極板の断面図である。図８Ｂは、支柱とフィラメントの位置に対して電子流形成電極のセットを説明するもので、線８Ｂ−８Ｂで切断され示された図７の陰極板の断面図である。図９Ａは、ＥＦＤ装置において、電子の雲を形成する電子の広がりを説明するもので、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置におけるフィラメントと格子電極配置の略図である。図９Ｂは、図９Ａにおける装置のディスプレイの輝度のグラフである。図１０Ａは、フィラメントからの放出電子上にある電子流形成電極の効果を説明するもので、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置にあるフィラメント，格子電極配列および電子流形成電極の略図である。図１０Ｂは、図１０Ａにある装置のディスプレイの輝度のグラフである。図１１は、本発明を説明するためのもので、ＥＦＤ装置の製造工程を説明したフローチャートである。図１２は、本発明を説明するためのもので、図５Ａの装置の切り取られた斜視図である。図１３は、本発明の好適な実施例を説明するもので、図５Ａのディスプレイ装置部分の部分的な断面および部分的な略図である。図１４は、本発明の好適な実施例を説明するもので、図５Ａおよび１３の装置を制御するうように印加された電圧のタイミング図である。図１５は、図５Ａ，５Ｂ，および図６のスペーサ構造上にコラム電極を組み立てるための加工方法を示す流れを示す図である。図１６は、図５Ａ，５Ｂ，および図６のスペーサ構造上にコラム電極を組み立てるための好適な方法を説明する流れを示す図である。図１７は、本発明の好適な実施例を説明するもので、図１６の方法を使用して組み立てられるスペーサ構造とコラム電極の部分の断面図である。図１８Ａは、陰極フィラメントおよび走査電極と関連してピクセル要素の配置を説明するもので、１２個の蛍光体帯の略図であり、そこでは、分離壁をもつスペーサ構造が用いられている。図１８Ｂは、本発明の好適な実施例を説明するもので、１２個の蛍光体帯，陰極フィラメント，および走査電極の略図であり、そこでは、分離壁を持たないスペーサ構造が用いられている。図１９Ａは、図１８Ａの線１９Ａ−１９Ａで切断され示された図１８Ａの構造の単純化された断面図であり、ウォッシュボード効果を説明するために、略図的に電子軌道を示している。図１９Ｂは、電子軌道およびウォッシュボード効果の減少を説明するためのもので、図１８Ｂの線１９Ｂ−１９Ｂで切断され示された図１８Ｂの構造の単純化された断面図である。図２０は、本発明を説明するもので、食い違い状に配置された複数の蛍光体帯の略図である。図２１は、本発明を説明するもので、面板，面板上の陽極，そして３個の蛍光体帯部分の断面図であり、漏話を減少させるために蛍光体帯に合う孔をもつメッシュ構造の断面図である。図２２Ａ〜２２Ｅは、化学的機械加工のみが施された場合の問題を説明するためのもので、化学的機械加工後の基盤の断面図である。図２３は、化学的機械加工後に行われるミクロ研磨噴射加工および化学的研磨を経た後の基盤の断面図である。記載を簡潔にするために、方法における同一の構成要素は、本出願の異なる図において同じ番号により確認される。好適な実施形態の詳細な説明以下の記述は、親出願の出願番号第０８／０７０，３４３号の図１Ａ〜４と同じものである図１Ａ〜４を参照して、前記親出願の第０８／０７０，３４３号から大部分合体された記述である。図１Ａは、本発明の好適な実施例を説明するもので、フラットパネル陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置１００部分の断面図であり、そして装置１００に電力を供給する電源１５０の断面図である。図１Ｂは、図１Ａの観察方向に沿った図１Ａの装置１００の正面図である。ここに記述された前記装置および全ての装置の外観は、多くの例において決定的な要因となるので、以後、「観察方向」は、通常視聴者がディスプレイを見るときの場合と同様に、図１Ａおよび１Ｂの装置の正面からディスプレイ装置を見る方向のことをいうが、そのような方向は多くの他の図では示されていない。この意味で、前記のような観察方向から見るとき、装置の２つの構成部分が重なるかもしくは重ならないならば、そのような構成部分は、「重なり」もしくは「非重なり」として以下に参照される。装置１００は、陰極１０１，３つの格子電極のセット１０２，１０３，１０４，陽極１０５，そしてスペーサ１０６，１０７，および１０８を含む。これらの電極および部分は、面板１０９，背板１１０，そして横板もしくは壁１１０’により囲まれた室内で密封されており、ここでは、面板，背板，そして横板は、室を取り囲んでフラット真空装置用のハウジング部分を形成するために取り付けられている。面板，横板，そして背板により囲まれた装置１００の室は真空状態のため、陰極で発生した電子は下記に記述される方法で陽極の方向へ自由に移動する。陰極１０１は、実質的に平行であり、直熱型の酸化物コーティングされたフィラメントのグループを形成する。格子電極１０２，１０３，そして１０４の３つのセットのそれぞれは、実質的に平行な薄い金属ワイヤを含む。図１Ａの好適な実施例において、Ｇ１として以下参照される格子電極１０２の第１のセットと背板１１０との間には、フィラメント１０１と並んで設けられている実質的に平行な長いスペーサ部材１１１があり、それは好ましくはフィラメント１０１に対して平行である。金属ワイヤＧ１は、装置のあらゆる動きにより起こる振動の振幅を減らすために、スペーサ１１１に取り付けられる。格子電極１０２（Ｇ１）の第１のセットと電極１０３（Ｇ２）の第２のセットとの間には、網状のスペーサ構造１０６があり、前記構造はそこにメッシュを規定し、それにより陰極と陽極との間にある電子通路が複数のピクセル点のアドレスするのを可能にする。格子電極１０３（Ｇ２）の第２のセットと格子電極１０４（Ｇ３）の第３のセットとの間には、好ましくは構造１０６と同様な構造である別のスペーサ構造１０７がある。これらの２つのスペーサ構造は、前記３つの格子電極を分離する。前記格子電極の３つのセットのワイヤは、振動を減らすために、これらの２つのスペーサ構造に取り付けられる。面板１０９の内面１０９ａ上に、三原色の低圧陰極線ルミネセンス蛍光点１１２を持つ透明な導電フィルムの層を含む陽極１０５があり、コントラストを高めるために、前記蛍光点との間に背絶縁層１１３がある。陽極１０５と電極１０４（Ｇ３）の第３のセットとの間には、孔をもつスペーサ板１０８があり、ここにおいて、前記孔は前記蛍光点および陽極と重なり合う。つまり、スペーサ板１０８にあるそれぞれの孔は、１ピクセルを形成する少数の予め定められた数のピクセル点のグループに一致し、前記ピクセルと実質的に同じ大きさと形を持ち、対応するピクセルの位置に合うように板１０８に設けられているので、陰極からの電子は前記孔を通って前記ピクセル内にある対応する蛍光点の部分に達するが、前記ピクセルを囲む絶縁層１１３には達しない。電極Ｇ３のワイヤは、スペーサ板１０８とスペーサ構造１０７との間に取り付けられ位置されている。以下にさらに詳細に記述されるように、背板１１０の内面と長いスペーサ部材１０６の表面は、ディスプレイの輝度の均一性を高めるために、それぞれ陰影を減少させる電極１１４，１１５を持つ。背板１１０の外面はプリント回路基盤１１６に取り付けられており、陰極，陽極，そして格子電極の３つのセットの入出力導線が前記基盤１１６にはんだづけされている。陰極１０１は、陰極フィラメントを熱するために、電源１５０に接続されている（接続は図１Ａに図示せず）。電源１５０以外に、装置１００の駆動電子装置は、図を簡略化するために省略されている。電源１５０が陰極１０１に電流を印加するとき、陰極フィラメントは電子を放出するために熱せられる。陰極はまた、加熱以外の方法、例えば冷陰極放出のような方法により電子を放出させることも可能である。これは多数のＣＲＴタイプの装置とは大変異なっており、ここにおいて、電子ビームが電子の雲ではなく発生させられる。これらの電子は陽極の方へ引き寄せられ、陰極に対して陽極に高い正の電圧が印加される。電子通路が陽極方向へ進むとき、格子電極の３つのセットに印加される電圧により前記電子通路は変調されるため、電子が、色画像を表示するためにアドレスされ走査された適切なピクセルにある蛍光点にそれぞれ達する。上述したように、従来のＣＲＴ装置における電気的ノイズや漂遊電子はしばしば、アドレスされた前記ピクセルに近接するピクセルに発光を引き起こすため、漏話や前記ＣＲＴ装置の性能を低下させる。漏話は、図２Ａ，２Ｂにより詳細に示されているスペーサ板１０８により減少される。図２Ａは、スペーサ板２００の断面図であり、図２Ｂは、図２Ａにある方向２Ｂからのスペーサ板２００の正面図であり、ここにおいて、図２Ａの電子は図２Ｂの図を簡略化するために省略される。前記スペーサ板２００は、好ましくは感光性のガラスセラミック部材で作られており、例えば、本発明の好適な実施例において、板２００は、微量の銀とセリウムを加えることにより感光性を持たせたカリウムとアルミニウムを含むリチウムシリケートガラスマトリクスで作られている。板２００にある孔２０１は、フォトエッチングにより形成される。孔２０１は表面を傾斜させているので、前面２００ａにある前記孔の末端２０２は、前記板の後面２００ｂにある孔の末端よりも大きいものである。前面２００ａにある孔２０１の末端２０２は、対応する蛍光体もしくはピクセル点と実質的に同じ大きさのものであり、前記孔２０１の位置は、末端２０２が実質的に対応するピクセル点と重なり合うものである。孔２０１は、対応するピクセル点の形に合うように、実質的に長方形の形をしている。後面２００ｂにある孔２０１の末端には、孔２０１の長い側面に実質的に平行である多数の格子ワイヤ２０３（図１Ａの電極１０４の第３のセットにあるワイヤ）がある。１以上のワイヤ２０３はそれぞれの孔に並べられており、例えば、１以上のワイヤが、３つのワイヤが１つの孔と重なっている図１Ａに示されている場合の孔と重なるならば、前記同じ孔と重なる前記ワイヤが電極を形成するために電気的に接続される。１以上の格子ワイヤにより形成されたそのような電極は、電極の電圧を制御することにより、そのような孔に対応するピクセル点の輝度を制御するために使用される。図２Ｂに示されているように、それぞれのピクセル２５０は、３つの近接した孔２０１に対応し、前記孔２０１は、赤，青，そして緑の蛍光点をそれぞれ１つずつ持つ３つの蛍光体ピクセル点に対応する。板２００にある孔２０１の配置は、装置の１つのピクセルに対応する１つの大きな孔２５０に見られ、板２００は、それぞれの孔２５０が前記孔を３つのより小さな孔２０１に分けるための２つの分離壁を持ち、それぞれのより小さな孔は、ピクセルの赤，青，もしくは緑の蛍光点に合い，重なり，そして一致する。分離壁２０４は、同じピクセルの隣接する蛍光点の間の漏話を減少させるかなくすため、装置の色純度がかなり改善される。図２Ａに示されているように、分離壁２０４は、表示画像上にある分離壁により生じる暗い影を最小限に抑えるために、表面２００ａに面するくさびの薄い末端をもつ、Ｖ字形である。図２Ａ，１Ａを参照すると、陰極１０１から発生する電子は、スペーサ板２００の後面２００ｂにある孔の末端を通って孔２０１に入り、前記孔の末端２０２に出てくる。前記孔の末端２０２が対応する蛍光体およびピクセル点と重なり合うので、前記電子はそのような点に衝突し、それによりアドレスされた適切な点が画像を表示するための発光体になる。図１Ａのディスプレイ装置の全てのスペーサ配置は、図１Ａおよび図２Ａを参照して、これから記述される。図１Ａを参照すると、スペーサ構造１０６および１０７はそれぞれ、網状構造を含んでおり、前記構造には、実質的に平行なバーの第２のアレイに固定されている実質的に平行な第１のアレイが実際含まれており、ここでは、バーの２つのセットは互いに実質的に垂直であり、第１のセットにある近接したバーの対と第２のセットにある近接したバーの別の対との間にメッシュを規定する。好ましくは、それぞれのメッシュは、多数のピクセルを囲む大きな領域をもっているので、陰極と陽極との間を通って前記ピクセルに向かう電子は、前記メッシュを通過し、ここにおいて、前記バーは発生した電子をほとんど妨げない。前記２つのスペーサ構造１０６，１０７およびスペーサ板１０８（図２Ａでは２００）は、面板１０９と背板１１０に強堅な支持を提供する方法で積み重ねられている。図１Ａに示されているように、スペーサ板１０８（図２Ａの板２００と同じ）の壁２５０ａ（図１Ａには番号を付けず）は、ラインに沿ったスペーサ部材１１１と同様に構造１０７内にあるバーと構造１０６内にある別のバーと並べられており、前記ラインは実質的に面板および背板に対して直角であり、ここでは面板および背板は実質的に平行である。そのような方法で、スペーサ板１０８，構造１０６，１０７，およびスペーサ部材１１１の前記並べられた部分は、互いに，そして面板，背板と近接していることで、面板および背板に垂直なラインに沿って面板と背板の支持を形成する。明らかに、構造１０６，１０７，板１０８，そして部材１１１は面板と背板に垂直であるラインに沿って並べられていない他の部分を含んでおり、前記面板と背板は互いに平行である必要がなく、また、前記およびそのような可能性のある全ての構造は本発明の範囲内である。面板と背板に前記のような強固な支持を持つ装置１００の画面領域が非常に大きいのに対して、前記面板と背板は比較的薄いガラスで作られている。面板と背板は比較的薄いものであるにもかかわらず、上述された前記スペーサ配置は、真空状態のとき、ディスプレイ用の大画面のハウジングを支持するのに十分な機械的に強固なハウジング構造を提供する。前記装置の望ましくない陰影をなくすために、近接したピクセル間の画面部分に対応するスペーサ板１０８，構造１０６，１０７，そして部材１１１の部分を通して、強固な支持が提供される。スペーサ板２００（１０８）の前面２００ａにあるくさび２０４の厚みは、近接したピクセル点間の分離よりも小さいかもしくは等しいものである。容易な製造方法で超大画面テレビを製造するために、スペーサ板１０８およびスペーサ構造１０６と１０７は、より小さな板と構造から製造されており、より大きな板もしくは構造を製造する際に、前記より小さな板および構造が使用されており、それは、より大きな板もしくは構造を形成するために、１つの平面アレイで互いに近接する同じ平面に前記より小さな板もしくは構造を置くことによってなされている。図３Ａは、本発明の代替実施例を説明するもので、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置３００の部分の断面図である。図３Ｂは、図３Ａの装置３００の部分の平面図である。図３Ａに示されているように、陰極３０１，３つの格子電極のセット３０２，３０３，３０４，そして陽極３０５は、図３Ａにある面板３０９と背板３１０の間にある室内で囲まれている。装置３００はまた、図１Ａのスペーサ板１０８に類似した構造のスペーサ板３０８と、図１Ａの構造１０６，１０７に類似した構造のスペーサ構造３０６，３０７を含む。装置３００はまた、図１Ａの部材１１１に類似したスペーサ部材３１１を含み、ここにおいて、図１Ａと同じ方法で、前記面板と背板に強固な支持を提供するために、前記部材３１１は陰極３０１と並べて位置され、スペーサ構造３０６，３０７とスペーサ板３０８に接続される。装置３００は図１Ａの装置１００とは異なるもので、その相違点とは、前記スペーサ板３０８が、装置１００では第３の格子電極のセットと前記陽極との間に位置されていたのに対し、前記第２の格子電極３０３（Ｇ２）のセットと前記第３の格子電極３０４（Ｇ３）との間に位置されている点と；その代わりに、前記スペーサ構造３０７が前記第３の格子電極のセットと前記陽極との間に位置されている点である。このように、第１，第２，そして第３の格子電極のセットがそれぞれ前記面板３０９と前記背板３１０の平面の間にある第１，第２，そして第３の平面に位置されるならば、前記スペーサ板１０８，３０８は、前記陽極の平面と第３の平面の間か第３と第２の平面の間に位置される。好ましくは前記面板と背板は実質的に互いに平行である。装置３００はまた、図１Ａの装置１００とは異なるもので、その相違点とは、装置３００では、第１および第３の電極のセット３０２，３０４は実質的に互いに平行であるが、第２のセットの電極３０３と陰極３０１には実質的に垂直である点である。しかしながら、図１Ａの装置１００において、第１および第２の格子電極のセット１０３，１０２は実質的に互いに平行であるが、第３の格子電極のセット１０４と陰極１０１には実質的に垂直である。図３Ａに示されているように、構造３０７にある前記スペーサバーは、好ましくはスペーサ板３０８にあるピクセル間に設けられた前記先細の分割部材と実質的に同じ角度で先を細くされ、そこに並べられ、そして図３Ａに示されている幅をもつため、前記スペーサ板３０８にある孔（図２Ａの壁２５０ａと同様なもの）の間にあるこれらのスペーサバーと前記壁３０８ａは、そこを通過可能な電子の数を最大限にし、そして前記スペーサ配列により生じる暗い領域を最小限におさえるために、本質的に平滑な先細表面を形成する。装置１００にあるように、スペーサ板３０８，スペーサ構造３０６，３０７，そしてスペーサ部材３１１はすべて、前記面板と背板の間の室が真空状態にされるとき、前記面板と背板に強固な機械的な支持を提供するために、互いに近接しそして前記面板と背板に近接しており、前記面板と背板に直角なラインに沿った少なくとも１つの部分を持つ。図３Ｃは、４つのピクセル３５０の略図であり、前記ピクセルはそれぞれ３つのピクセル点３５１およびこれらのピクセルの走査や輝度を制御するためのそれぞれの制御格子電極を含む。図２Ａに示されているように、それぞれのピクセル点に対応するそれぞれの孔２０１と重なる３つのワイヤを持たない代わりに、グループＧ２’，Ｇ２''，そしてＧ２''' は、孔と重なり合うピクセル点の輝度を制御するために、それぞれのピクセル点３５１（図２Ａのそれぞれの孔２０１に対応する）と電気的に接続され重なった５つのワイヤを含む。図３Ｃに示されているように、それぞれのピクセルの上半分は線Ｇ１３１のような走査線の１つのグループにアドレスされ、そして下半分は走査線Ｇ１３２によってアドレスされる。前記ピクセル３５０の上半分と下半分の両方が、前記２つのワイヤのグループＧ１３１，Ｇ１３２に同じ電圧を加えることによって同時に走査されるが、前記ピクセルの前記２つの半分は、別々にアドレスされ、そして分解力を高めるために２つの異なるピクセルとして本質的に取り扱われる。図３Ｄは、本発明の代替実施例を説明する４つのピクセル３５０’の断面図であり、前記ピクセルはそれぞれ、４つのピクセル点３５２と、これらのピクセル３５２の輝度を走査し制御するための制御格子ラインを含んでいる。図３Ｄに示されているように、前記４つのピクセル３５０’のそれぞれは、赤，青，そして２つの緑のピクセル点３５２を含む。このような場合、前記ピクセルを走査するための電極のグループにより、前記ピクセルが望ましく正確な照明を提供するように、４つの全てのピクセル点が走査される。図３Ｄの仕組みを使用した場合、図１Ａ，２Ａ，もしくは３Ａにあるスペーサ板１０８，２００，３０８にあるそれぞれの孔は、２つの実質的に垂直な分離壁によってより小さな４つの孔に分けられ、前記孔は、図３Ｄにあるそれぞれのピクセル３５０’の４つのピクセル点３５２の１つと揃い重なる。明らかに、前記ピクセルにおける他のピクセル点の配列が使用され、そして１つのピクセルに対応するそれぞれのより大きな孔２５０を、前記ピクセル点の配列に合うより小さな孔に分ける分割壁の他の配置が使用され、そしてそれは本発明の範囲内である。図１Ａ，３Ａに示されているように、スペーサ部材１１１，３１１は、構造１０６，１０７，そして３０６，３０７にそれぞれあるバーよりも厚いものである。スペーサ構造１０６，１０７，３０６，３０７により生じる陰影を減らすために、これらの構造のバーに接近した前記格子電極は、バーからより離れた間隔よりより近い間隔で離れて位置される。同じ理由で、より高い電圧が、前記バーから離れた前記格子電極に印加されるよりも、前記バーにより近い前記格子電極に印加される。この両方の特徴により、前記陰極から発生するかなりの割合の電子が、前記バーにより近いピクセル点の部分に突き当たることで、前記電子を阻止する際のバーの効力に寄与する。上述された前記スペーサ手段に関して、前記面板と背板は、約１ｍｍ以下の厚みであるガラス板で作られている。前記３つのセットのそれぞれにある格子電極は、約５ミクロン以上の断面寸法をもつ金メッキされたタングテンワイヤで作られている。図２Ａの前記孔２０１は約０．２ｍｍ以上の寸法を持つ。多色蛍光体が図３Ｃ，３Ｄに図示されているが、モノクロ蛍光体もまたモノクロディスプレイ用に使用され、そして本発明の範囲内であることと理解されたい。表示画像の鮮明度および分解度は前記３つの格子電極のセットと陰極フィラメントの相対方向に依存している。以下に記述する４つの配列は容認可能な分解度および収束度に達するものである。１．前記陰極フィラメントは、前記第１および前記第２の格子電極のセットＧ１，Ｇ２に対して水平方向に実質的に平行に位置されている。前記第１および第２の格子電極のセットＧ１，Ｇ２は、ライン走査用に使用される。前記第３の格子電極のセットＧ３は、第１および第２のセットに対して実質的に垂直であり、走査される前記ピクセル点の輝度を調整するために使用される。２．前記陰極フィラメントは、前記第１および前記第３の格子電極のセットＧ１，Ｇ３に対して水平方向に実質的に平行に位置されており、前記第１および第３の格子電極のセットＧ１，Ｇ３は、ライン走査用に使用される。前記第２の格子電極のセットＧ２は、第１および第３のセットに対して垂直であり、走査される前記ピクセル点の輝度を調整するために使用される。３．前記陰極フィラメントは、前記第１および前記第２の格子電極のセットＧ１，Ｇ２に対して実質的に鉛直で実質的に垂直に位置されており、前記第１および第２の格子電極のセットは、ライン走査用に使用される。前記第３の格子電極のセットＧ３は、第１および第２のセットに対して実質的に垂直であり、前記ピクセル点の輝度を調整するために使用される。４．前記陰極フィラメントは、前記第１および前記第３の格子電極のセットに対して実質的に鉛直で実質的に垂直に位置されており、前記第１および第３の格子電極のセットは、ライン走査用に使用される。前記第２の格子電極のセットＧ２は、第１および第３のセットＧ１，Ｇ３に対して実質的に直角であり、前記ピクセル点の輝度を調整するために使用される。前記陰極フィラメントは、好ましくは、たるみを減らすために垂直に位置される。ライン走査用に第１および第３の格子電極のグループとピクセル点の調整用に第２の格子電極のセットを使用する第２および第４の電極配列は、低い変調電圧，小電流，そして単純な駆動回路という利点を持つ。図１Ａ，３Ａの装置１００，３００は、３つではなく２つの格子電極のセットだけを使用して、例えば、第３の格子電極１０４，３０４をそれぞれ取り除いて、簡潔化される場合もある。このような場合、高分解度および収束特性を維持するために、第１の格子電極のセット１０３，３０２は、前記陰極フィラメントに対して平行であり、以下の方法で調整される。１．前記陰極フィラメントは前記第１の格子電極のセットに対して水平方向に実質的に平行に位置させられ、ここでは、前記第１の格子電極のセットＧ１は、ライン走査用に使用される。前記第２の格子電極１０２，３０３のセットは、第１の格子電極のセットに実質的に垂直であり、ここでは前記第１の格子電極は前記ピクセル点の輝度を調整するために使用される。２．前記陰極フィラメントは前記第１の格子電極のセットに対して平行な位置に垂直方向に位置させられ、ここでは、前記第１の格子電極のセットＧ１は、輝度を調整するために使用される。前記第２の格子電極のセットＧ２は、第１のセットに実質的に垂直であり、ライン走査用に使用される。上述した実施例において、異なるスペーサ配列は、前記面板および背板に囲まれる室が真空状態にされるとき、前記板に機械的な支持を提供するために使用される。前記スペーサは陰極から放出される電子の障害物になる場合もあり、また、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイに望ましくない暗い領域を生じさせる。そのような暗い領域を減少させるかなくすために、前記陰極フィラメントを囲む磁界は蛍光点部分に多数の電子が突き当たるように変更され、前記蛍光点は、スペーサ要素から離れたピクセル点部分よりも前記スペーサ要素に接近したものである。図４は、前記陰極フィラメントを囲む３つの全ての磁界の１つの仕組みを説明したもので、図１Ａ，３Ａの装置１００，３００の背部分の断面図である。図４において、４０１は陰極フィラメントである。背板４０２の内面は、２つのグループ４０３および４０４に分けられた導電層を持つ。前記電極のグループ４０３は直接前記フィラメントと面しており、それ故に、前記陰極フィラメントと重なり、ここにおいて、電極４０３に印加される電圧は、前記陰極フィラメント４０１に印加されるものと同じものである。電極４０４は陰極４０１とは重ならない。適切な電圧が電極４０４に印加されると、それらには陰極フィラメント４０１および電極４０３と比較すると高い電圧がかかるので、前記フィラメント４０１から放出される電子を引き寄せやすく、より多くの電子がスペーサ部材４０５により接近した場所で前記陽極上の蛍光点に突き当たるようになる。好適な実施例において、電極の両グループ４０３，４０４は、前記陰極フィラメント４０１に実質的に平行であり、また、前記陰極フィラメントにも平行であるスペーサバー１０６，１０７，３０６，３０７にスペーサ部材４０５があることで生じる陰影を効果的に減少させる。スペーサ部材４０５の両側にある追加的電極４０６のセットもまた、陰極フィラメント４０１と比較するとより高い電圧がかかるので、前記陰極フィラメントから放出される電子をさらに引きつけ、そして前記スペーサ部材により生じる陰影を減少させるために、スペーサ部材４０５により接近する方向に電子が移動する。電極４０７，４０８を含む前記第１の電極のセットはまた、より多くの電子が前記スペーサ部材４０５により接近して移動するような間隔に離されて位置される。このことは、前記格子ワイヤ４０８が、前記スペーサ部材から離れた位置にある格子ワイヤ４０７よりも前記スペーサ部材により接近した位置でより接近した間隔をもつことにより達成される。図４に示されているように、これは前記格子電極を位置決めすることで説明されるので、前記電極４０８は電極４０７よりもより接近している。スペーサ部材４０６により生じる陰影を減少させるさらなる別の技術は、格子電極４０８が格子電極４０７よりも高い電圧がかかるように電圧を印加することである。前記格子電極に関する最後に記述される方法はまた、スペーサバーにより生じる陰影を減少させるためのものであり、前記スペーサバーは、前記バーに平行である格子電極が、前記スペーサバーから離れた位置よりも前記スペーサバーに接近した位置のより接近した間隔をもち、そして前記スペーサバーから離れた格子電極に印加された電圧よりも前記スペーサバーにより接近した格子電極により高い電圧を印加させることによって、もしくはそのどちらかによって、前記陰極フィラメント４０１を横切る。上の記述は、本質的には、米国特許出願番号第０８／０７０，３４３号から取られたものである。一片コア多電極および本出願に特有の製造方法に関する記述は、図５Ａから以下に記述される。前記単純化された電極構造の主要な特徴は以下のものを含む。（１）孤立した室内には１つのスペーサ構造のみであり、それにより装置組立中の複雑な配列が減少される。（２）前記スペーサ構造は、壁蓄電効果をなくすために、陽極板と接触している。（３）薄い分離壁は、三原色間の漏話をなくすために、電子が３つの蛍光点の方へ向かうように電子を分離するために使用されることで、ディスプレイ装置の色純度を高める。（４）薄い伝導フィルムは、陽極が高圧に維持されているときでも電極の低作動電圧幅を提供するために、薄いスペーサ壁の内面上に直接設けられている。（５）電子流形成電極は、フィラメントからの均一の電子放出を提供するために、陰極の近くに形成されており、それにより輝度の均一性が高まる。（６）多電極が自己位置合わせ特徴の方法で組み立てられるので、大量生産を容易にするために、１つのスペーサのみの構造が使用され、それにより、装置の組立中の複雑な位置合わせ手順が減少される。（７）位置合わせ登録マークや補強の両方として機能する支柱のアレイをもつ背板を使用することにより、広域の薄いガラス板が大きな大気圧差に耐えることが可能となる。上述の特徴が同じ装置において有利に使用されるが、前記特徴のそれぞれが別々にあらゆる他の特徴を使用することも可能である。ＥＦＤ装置において多電極構造設計でなされたこれら全ての改良により、現在入手可能な費用効率の良い製造方法を使用して、大画面ＥＦＤディスプレイ装置（４０インチ〔１０１．６ｃｍ〕より大きいもの）の製造が可能となる。図５Ａを参照すると、陰極線ルミネセンス装置の好適な実施例が図示されている。図５Ａは一片コア多電極構造５０２、すなわち、完全なもしくは単一のスペーサ構造５０２を有する装置５００の断面図である。前記実施例は、ハウジングを形成する面板５０４，背板５０６，そしてオプションの側壁（図示せず）を含んでおり、室５０８内で１以上の陰極５１２と２つの格子電極のセットＧ１とＧ２を囲んでおり、前記電極Ｇ２は、好ましくは、支持部の内壁上およびスペーサ構造の分離部分上に設けられるか、またそのどちらかに設けられている。すなわち、スペーサ構造５０２はそこに孔を持っており、ここでは前記孔の内面に設けられている。これらの電極と構成部分は、フラット真空装置を形成するために、装置の周辺もしくは側壁で、室５０８内に密封されている。前記板の周辺により囲まれている装置の前記室は真空であるために、前記陰極で放出された電子は、以下に記述される方法で前記陽極の方向へ自由に移動する。図５Ａに示されているように、スペーサ構造５０２は、強固にそして確実に、前記２つの格子電極のセットＧ１とＧ２に接続されている（例えば取付けられている）。構造５０２は、格子電極のセットＧ１と格子電極のセットＧ２との間に、支持壁５０２ａ，分離壁５０２ｂ，そして分離スペーサ５０２ｃを含む。１以上の陰極フィラメント５１２のそれぞれは、室５０８に電子を発生させる。それから、適切な電圧が格子電極Ｇ１，Ｇ２に印加され、陽極５１６の上部に設置された蛍光層５１４上にある適切な蛍光点の方向へ電子が向けられる。図５Ａに示されている仕組みにおいて、以下に記述され電圧を印加された図６にあり、適切な厚みの層１を持つ高い分解力を得るために、前記格子電極のセットＧ１に印加された電圧は走査用に使用され、格子電極Ｇ２に印加された電圧は電子収束用に使用される。このように、Ｇ２，Ｇ１に印加された適切な電圧と、好ましくは、１．０〜３０ｍｍ幅の層１の適切な厚みを持っており、孔の内面にコーティングしている電極Ｇ２（例えば、前記孔の表面にコーティングしている長方形の輪状Ｇ２）を通り、構造５０２にある前記孔を通る電子通路により、そこを通る電子通路が前記重なりピクセル点上に収束する。そのような収束効果は、図５Ａに示されている。それ故に、前記電極Ｇ２はまた、好ましくは、約０．２〜３０ｍｍの間の厚み（すなわち、前記陽極に垂直な寸法）をもつ。長方形以外に、構造５０２にある前記孔と電極Ｇ２はまた、楕円，環状，正方形，六角形，八角形，または他の多角形であり、その形は、効率の良い収束メカニズムを得るためのサイズや印加される電圧によるものである。Ｇ２に印加される電圧はまた、３つの色、赤，緑，そして青の輝度を制御するために使用される。図５Ａに示されている例において、蛍光層上の緑のピクセル点５１４が発光する場合、支持部および分離壁上の格子電極Ｇ２に印加される電圧は、電子の雲からの電子が２つの分離壁間で蛍光点５１４ａの方向へ収束されるものである。図５Ｂは、図５Ａとはわずかに異なる単純化された電極構造を用いた装置の代替実施例を説明したもので、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置もしくはＥＦＤ部分の断面図である。図５Ｂの装置５００’は、図５Ａの装置５００とは異なり、その相違点とは、装置５００’の分離壁５０２ｂ’が、図５Ａの装置５００の分離壁５０２のような正方形もしくは長方形の断面ではなく、先が細いもしくはくさび形の断面を持っている点である。前記先が細くされた分離壁は、図６の層と類似した２つの層の対応する先が細くされた分離部分を取り付けることにより形成される。装置５００の部分的に切り取られた斜視図が図１２に示されている。図６を参照すると図５Ａに示されている好適な実施例のスペーサ構造の前記スペーサ板部分は２つの層を含んでいる。前記頂部の層（層１）は金属シートまたは箔の基盤５２２の形状で、そこにはフォトマスクでの化学エッチング，スタンプおよび電鋳を含む種々の方法で形成された仕切りにより分離された孔が設けられている。前記金属基盤５２２は絶縁材料の層５２４で種々の塗装工程、制限的な意味でなく、例えば浸漬被覆または蒸着被覆により覆われる。前記と異なり，層１をガラスまたはセラミックで作ることができるが、その場合は絶縁材料で被覆する必要はなくなる。前記スペーサ構造の支持の形（層２）はガラスまたはセラミックで製造され、その開口のアレイは制限的な意味でなく、例えばサンドブラスト，超音波加工および化学エッチングを含む多数の処理技術で製造される。前記支持構造（層２）に用いられる前記ガラスまたはセラミック材料としては、電荷の付着効果を減少させるために前記適当な体積抵抗値をもつものが選択される。このようにして、高い抵抗被覆をもつ絶縁材料が使用される高価な被覆工程は完全に不要となる。前記２つの層は例えば接着剤により，付着されるか強固に接合されており、前記スペーサ板を形成しており、前記スペーサ板は前記多電極スペーサ構造５０２の１つの一部を形成している。図５Ａ，図６に示されているように、層１は層２の厚い部分に対応する厚み部分を持ち、その対応するＶ溝部は図５Ａの前記スペーサ構造の支持壁５０２ａを形成するように結合されているが、一方層１の薄い分離部分は前記スペーサ構造の分離壁５０２ｂを形成する。格子電極Ｇ２は層１の前記孔の内側表面に置かれた電気的導電性の層である。前記陰極５１２は、実質的に平行な直熱の酸化物被覆のフィラメントで、前記背板に設けられた短いセグメントに配列されており、前記背板は支柱支軸のアレイと導電フィルムのパターンをもっている。再度述べるが、前記陰極を製造するために用いられる他の技術も本発明の範囲に含まれる。前記装置５００がより小さい（例えば４インチ〔１０．１６ｃｍ〕）の場合においては、前記面板および背板の支持は両端を除いて全く不要である。しかしながら、もっと大きい装置の場合例えば４１インチ〔１０４．１４ｃｍ〕またはそれ以上の場合は、前記大型装置が高い真空度に排気されるときには前記背板の上に支柱支軸または支柱５３０のアレイが補強のために用いられる。好適な実施例では、これらの支柱はスペーサ構造に付けられるが、前記スペーサ構造またはスペーサ板の有効面積（後述）の３０％だけをカバーする。前記背板上の導電フィルムで特定の電極パターン，例えば長い帯５３２の形状に形成されたものは前記陰極フィラメント５１２に平行に配置されたものは、前記フィラメントから放出され観察方向に、前記陰極から陽極に移動する電子の経路を形成し均一性を増加するために用いられ、そしてこれから電子流形成電極と呼ぶ。前記フィラメントは多数の短い要素として設けられ、特に大画面ディスプレイ装置において、作動中の振動とたるみを最小限度にする。図５Ａは、前記フィラメント，前記背電極，そして前記背板上の支柱のアレイのうちの１つの支柱の配列を示している。電子流形成電極の配列は、図８Ｂ，１０Ａにより詳細に示されており後述する。図５Ａに示されている好適な実施例では、一片コア多電極構造のみを使用することにより、手間のかかる合わせの作業とＥＦＤ装置の組立工程におけるスペーサ構造配列ステップを不要にしている。前記スペーサ構造上の電極Ｇ２は、箔の蒸着または前記適当な金属の選択されたメッキにより配置される。堅い絶縁金属形上への前記格子電極の配置は、前記大型装置の移動に原因する振動の振幅を留め具の利用なしで減少させる。格子電極Ｇ１の前記第１のセットと前記スペーサ板上の前記電極Ｇ２の第２のセットの間に分離スペーサがあり、前記分離スペーサは、前記スペーサ構造５０２のスペーサ板部分の第１層に直接形成できる。分離スペーサ５０２ｃは、高温度接着剤中で制御された寸法ガラス球を混合して形成される。そのような製造技術を使用することにより、大画面ディスプレイ用のＧ１，Ｇ２間の分離空間の精密な制御を可能にしている。前記Ｇ１の格子電極は、例えば化学エッチング、電鋳および、微細ピッチスクリーン印刷によってパターン化される。前記装置を通る電子の通過の制御を促進するためには、２つのセットの格子電極Ｇ１およびＧ２の間の一定距離を正確に規定する必要がある。本発明の好適な実施例では、前記Ｇ１およびＧ２電極間の正確な一定距離の確保は、高温性接着剤の混合物を前記Ｇ１格子電極のメッシュに適用し、そして得られた前記Ｇ１格子電極組立を前記スペーサ構造に接触させ硬化させ１つのコアの多電極スペーサ５０２を形成することによりなされる。前記１つのコアの多電極構造の形成により、前記多数のスペーサの使用と前記電子蛍光表示装置の組立工程における多岐にわたる精密な位置合わせ工程を不要にする。容易ではない組立工程のいくつかが省けることから、大画面ディスプレイのコストに良い影響をあたえる製造が許容される。前記面板の内面上には、低電圧三原色（Ｒ，Ｂ，Ｇ）陰極線ルミネセンス蛍光点をもつ導電フィルムの層および各色ピクセルのコントラストを増大するためのブラックマトリクス層が含まれている。前記陽極と前記陰極の間には電子の経路を制御するための一片のコア多電極構造体５０２が設けられている。前記スペーサ構造は孔のアレイをもち、前記孔は前記蛍光材料の点と陽極に重なり合わされている。前記配列は、前記スペーサ構造中の各孔は、ひとつのピクセルを形成する予め定められた小さい数のピクセル点に対応し、そして前記各孔は、その対応するピクセルの位置が合い、同様な大きさと形状をもっているので、前記陰極からの電子は前記対応するピクセル中の任意の部分に到達することができ、前記ピクセルを取り囲む前記ブラックマトリクス分離層には到達しないようになっている。このようにして、図５Ａに示されているように、支持壁５０２ａ間のピクセル点５１４ａ，５１４ｂおよび，５１４ｃをもつピクセルに適合する。分離壁５０２ｂは、観察方向５４０から見たときに、構造５０２中の孔をより小さい孔に分け各々は対応するピクセル点に合致または重なるように分離する。前記制御格子電極Ｇ２は金属の形層１の上の絶縁被覆に直接に配置される。好ましくは、図６に示されている絶縁支持層２は薄い壁で分離された多数の仕切り部屋をもち，前記壁は形状発生過程と空気荒らしの技術を組み合わせて用いた高抵抗材料から作られている。このようにして、感光性ガラスセラミックの使用によって課された全体の大きさの制限は完全に除去され、これにより大画面ディスプレイ装置の製造が可能となる。前記背板５０６の内側表面には格子電極Ｇ１を固定し大画面ディスプレイ装置を強固にするための支柱５３０のアレイおよび前記ディスプレイの輝度の均一性を改善するための電子流形成電極５３２を持っている。大画面ディスプレイ装置の周縁はプリント基板（図示せず）に付けられており、そのプリント基板に前記陰極、陽極および２セットの格子電極の入出力線が電流源と駆動電子回路（図示せず）に接続されている。図７，図８Ａおよび図８Ｂの断面図は前記背板上の前記柱５３０をよりはっきりと図示している。前記電流源が前記陰極に電流を供給すると、前記フィラメントは加熱され電子を放出する。このことは、前記フィラメントによって電子ビームが形成されないという点で、多岐にわたるＣＲＴ型のディスプレイの装置とは大変異なっている。ＣＲＴ型のディスプレイの装置では電子はビームを形成する焦点合わせをされるかまたは小さい孔を通過し、そしてそれから前記ビームは偏向電極手段により偏向させられる。図９Ａを参照すると、前記陰極フィラメント５１２は前記陰極面Ｃに存在し、そして電子に飛び込まれる前記陽極表面は陽極面Ａに存在し、そして前記格子電極Ｇ２よりも前記陰極平面に近接している格子電極Ｇ１のセットは格子平面Ｇに存在する。好ましい実施例においては、３平面Ａ，Ｇ，Ｃは実質に平行である。図９Ａに示されているように、一度フィラメント５１２から放出された電子は、電子の相互の反発力のために全ての方向で外に広がる傾向がある。そのため、ＣＲＴ型の装置では、前記陽極に、多かれ少なかれ垂直な方向の狭いビームに焦点合わせまたは稠密化する試みがなされている。これとは、対照的に、本発明による陰極線ルミネセンス装置では、前記陰極フィラメント，前記格子電極の２つのセットおよび陽極に適当な電圧が印加されて前記陽極方向への移動を惹起させられる前に、電子は平面Ａに垂直でない横方向も含めてあらゆる方向に広がる。これらの電子の経路は図９Ａに線５５０で示されている。簡単のために、前記スペーサ構造５０２は図９Ａから省略されている。図５Ａ，９Ａに示されているように、前記陰極フィラメント５１２から前記陽極５１６への電子の経路は、前記２つのセットの格子電極とスペーサ構造５０２によってのみ制限される。そのような障害を除けば、電子は室５０８で、特に前記背板５０６と平面Ｇとの間で自由に広がることができる。電子が平面Ｇに近接すると前記格子電極と陽極の電圧の影響により電子は経路５５０で示されるように陽極の方への加速を惹起する。好適な実施例において、前記陰極フィラメントの平面Ｃと最も近接している格子平面Ｇ間の距離は前記陰極平面Ｃと前記陽極平面Ａの距離の少なくとも５％またはそれ以上である。特にここでは、電子流形成電極が図１０Ａに示されている前記電子の横方向の広がりを助けるように使用され、これにより前記フィラメントから放出された電子が、電子が均一な輝度のディスプレイを完成するために陽極方向に向かって加速される前に、横方向に面Ａに平行または僅かな角度をもって十分に広がる。図９Ａに示されているように、もし２つの隣接する陰極フィラメントがある距離だけ離れていると、前記陽極と蛍光体の部分５５４で、観察方向線５４０から見たときに、２つのフィラメントの中間の領域はより少ない数の電子を受けることになり、その結果複数の領域５５２，図９Ａに示されている観察方向線５４０から見たときに、２つのフィラメントに重なっている領域に比較して小さい強度の光を発生する。図９Ｂは、図９Ａに示されているディスプレイの部分の輝度を図示したもので、図９Ａにある前記装置部分の輝度が示されている。このように、図９Ａ，図９Ｂに示されているように、前記ディスプレイの輝度は、前記陰極フィラメントと直接重なる位置５５２で最大値Ｂ１に、２つの隣接するフィラメントの中間のスペースと重なる位置５５４で最小値Ｂ２となるであろう。それにもかかわらず、ＣＲＴ装置と比較して、図９Ａ，図９Ｂに示されているＥＦＤ装置の利点は、ＣＲＴ型の装置では発生させられた電子の僅かな部分であるのに対して、フィラメント５１２により発生させられた電子の大部分が、光を発生するために前記陽極と蛍光の方向に向けられる。かくして、あるＣＲＴ型の装置で、狭い横断面の電子ビームを作るために、フィラメントによって発生させられた電子は小さい孔があるスペーサの中を通過させられる。このようにして、前記フィラメントによって発生させられた電子の大部分は失われ、単に小さい割合の部分だけが孔を通過する。しかしながらこの出願の発明では、前記スペーサ構造の孔の大きさは陰極から陽極まで通過することを許される電子の百分率を増大させるために最大にされている。好適な実施例で、前記スペーサ構造または板で電子の阻止は前記スペーサ板の有効面積の８０％以下である。すなわち、換言すれば、前記装置の透過係数は２０％より多い。ここにおいて、前記スペーサ板の有効領域とは、孔が分布させられている領域で、前記陰極、陽極および格子電極に全範囲のアドレスと走査の電圧が印加されたときに、前記孔を介して電子が前記陰極から陽極に通過することができる孔の領域として定義される。換言すれば、もしディスプレイ装置で、スペーサ中に陰極または格子電極または孔で電子の通過を許容するものを欠いた領域があると、そのような領域は前記スペーサ板の有効領域の部分とはされない。他の言い方をすれば、前記スペーサ構造または板の有効領域は、透過孔が分布している領域で前記陰極のフィラメントから放出された電子の雲からの電子が、適当な電圧が前記陽極、陰極および格子電極に印加されたとき、チャンネルされる領域として定義される。さらに陰極によって発生された電子の側面の広がりための障害を減少させるために柱５３０の数は最小限度にされる。前述したように４インチ〔１０．１６ｃｍ〕より少いスクリーンの装置は柱を必要としない。より大きい装置のためには、１００ｍｍあたり１本の割合で柱が必要とされるので、４１インチ〔１０４．１４ｃｍ〕のスクリーンでは、室５０８の内側が高い真空で大気の圧力に対抗するために柱が必要となる。図９Ａ，図９Ｂに図示されているように、隣接する陰極フィラメント５１２は相当な距離、離れており、前記隣接するフィラメントの間のスペースに対応する前記陽極の領域は、他の領域よりもより少ない光を発生することにより、前記ディスプレイの輝度の不均一性を惹起する。これは陰極フィラメントの前記密度を増大させることによって救済されることができる。しかしながら、フィラメント密度を増大させることは、前記装置に必要な電流を増大してその結果全体の電力消費を増加させるという好ましくない効果につながる。また輝度均等性は電力消費の増大なしで、図１０Ａ，図１０Ｂに示されている構造の電子流形成電極により改善される。図１０Ａは、図９Ａに示されたものと同様なＥＦＤ構造を示しており、相違する点は、前記背板電極が導電フィルムで前記陰極フィラメントに平行な長い帯のアレイパターンを形成しているだけである。図１０Ａは装置５００の部分の断面図であって、前記スペーサ構造は作図を簡単にするために省略されており、ここにおいて前記背板電極は前記陰極フィラメント５１２に平行なアレイを形成する平行な長い帯の層の形態をしている。図１０Ａに示されているように、電子流形成電極５６２，５６６は他の電子流形成電極５６４よりは幅広であり、各隣接する幅広の電極５６２，５６６は狭い電極５６４により分離されており、この関係の逆も成立する。図１０Ａに示されているように前記陰極フィラメント５１２は主要な電極５６２と重なっている。電極５６６は隣接するフィラメント５１２の中間のスペースと重なっている。各フィラメント５１２は例えばグループ５７０（前記主要な電極５６２でフィラメントに重なるもの、主要な電極の次の２つの狭い電極５６４と前記２つの電極５６６で２つの電極５６４に直に隣接するものを含む）のような電子流形成電極のグループに対応し、そこに電圧が印加されて、前記対応する陰極フィラメントからの電子の前記陽極への移動に影響を与える。図１０Ａに示されているように、電圧Ｖ₀は観察方向５４０から見たときに対応するフィラメントに直接重なる前記主要電子流形成電極５６２に印加され、そのような電極を前記グループの主要電極と規定する。電圧Ｖ₁，Ｖ₂は、図１０Ａに示されているように、前記主要電極にそれぞれ直に隣接している前記２つの対の電極５６４，５６６に印加される。好適な実施例では、Ｖ₂はＶ₁より高い電圧にあり、それはＶ₀より高い電圧である。このようにして、前記フィラメント５１２から放出された電子は、横方向または平面Ａに平行または僅かな角度をもつ方向に引きつけられ、平面Ｇと前記背板間の室５０８の部分の電子の雲の横方向の広がりを増大させる。これは前記２個の隣接するフィラメント５１２の間の中程に存在する電子の密度を増大させる効果があり、それ故に２つの隣接するフィラメント間の中間にある空間に重なり合う前記陽極の５５４’の部分に飛び込む電子の密度に効果がある。これ故に、これは前記ディスプレイの輝度の均一性を増加させる効果がある。これは図１０Ａに、図９Ａの経路５５０と比較して電子経路５５０’のより均一な空間配分として図示されている。図１０Ｂは図１０Ａの前記ディスプレイの輝度の前記陽極平面Ａに沿ったグラフである。図１０Ｂに示されているように、前記フィラメントに直接重なる前記陽極の５５２’部分の輝度は、前記２つの隣接するフィラメントの間の中間の空間に重なる部分５５４’の部分より僅かに大きい。前記陽極に向けて移動する時の電子の経路は、前記２つのセットの格子電極Ｇ１およびＧ２に印加される電圧によって変調され、前記適切なピクセルにおける各蛍光点に到達する電子は色の像を表示するためにアドレスまたは走査される。先に論じられたように、従来のＣＲＴシステムでの電気的雑音およびはぐれた電子は、アドレスされたピクセルに対して接近したピクセルにしばしば発光を引き起こし、漏話の原因となり、ディスプレイ装置の動作の特性の低下を招いていた。スペーサ板は漏話を最小限度にするために使われる。このスペーサ板はコーニング社のホトホーム（Corning Fotoform）ガラスのような、感光性ガラスセラミックから製造されるのが好ましい。しかしながら、感光性ガラスセラミックを使用すると、大画面ディスプレイについて大きさの選択と材料の利用可能性についての限定に遭遇する。１つのコアの多電極構造を使用した好適な実施例においては、図１５（図６の層１）の基板７０４中の全ての孔の内表面に、ルミネセンス手段の上の前記正しいピクセル点に前記電子を突入させる焦点合わせのための動作範囲で低い電圧を提供するために、薄い導電フィルムＧ２を蒸着するか電着することにより，前記スペーサ構造を陽極板に接触させることにより，前記高い電圧陽極板と制御格子電極間の距離を増大させることにより漏話を極小にすることができる。前述した一片コア多電極スペーサ構造５０２または５０２’では、前記面板と背板は、厚さが３ｍｍ以下の大きいガラス板で作られる。前記大面積スペーサ板はおよそ０．０５から５ｍｍの範囲の孔のアレイをもつが、好ましくは０．１から０．２ｍｍの範囲が良く、高剛性の材料をフォトリソグラフィと吹きつけ研磨およびまたは超音波の機械加工技術を用いて形成する。前記電極Ｇ２もまた、それ故に、前記スペーサ板の孔のアレイと同様に陽極平面に平行な形状である。格子電極Ｇ２は前記分離壁の内表面に、例えばアルミニウム，ニッケル，およびタングステンの様な導電材料を前記格子電極パターンを規定するために選択蒸着の技術で付着することにより形成する。一片コア多電極構造組立体は、特に設計された合わせ治具と工具を用いて個々の副組立を高精度で組み立てることにより形成される。大画面のＥＦＤフラットテレビジョンは以下の副組立から構成される。（１）陽極プレート副組立（２）陰極プレート副組立（３）Ｇ１−Ｇ２のコア副組立。陽極板はインジウム錫酸化物であるＩＴＯのような導電フィルムをもつ前記背板から形成される。黒いガラスの粉末が蛍光体を囲む選ばれた領域にコントラストを改善するために適用される。それから、三原色、赤，緑，および青の蛍光体の点がガラス板に適用される。このようにして、前記陽極板は最終組立の用意が整う。前記陽極板の合わせの制御は、精密なフォトリソグラフィ過程を用いて黒いガラス粉末と蛍光体の点のパターンを規定することより完成される。前記陰極プレートは柱のアレイをもつＩＴＯでコーティイングされたガラスの基盤から作られる。電子流形成電極はＩＴＯのフィルムをパターン化することにより作られる。電子流形成電極の形成のあと、ガラス粉末が、装置の密封のためにフィラメント支持マウントと前記板の周辺の選択された領域に施される。この時点で、ゲッタ材料が引き続くフラッシュのためにゲッタスロットに配置される。最後に、前記陰極を完成させるために、前記フィラメントがフィラメント支持体、例えば前記背板の上でその周辺に設けられた支持体（図示せず）に取り付けられる。前記Ｇ１ −Ｇ２のコア電極構造体は、２つの要素、すなわち前記スペーサ板およびＧ１格子電極から形成されている。前記スペーサ板はガラスセラミック材料から、様々な微細加工技術または金属の形に壁面電荷を減少させる特有の異なる抵抗特性を備える絶縁材料を塗布することにより製造される。そのような材料は、前記金属の形に種々の被覆技術、例えば蒸着，浸漬被覆等により適用される。最終の組立工程の流れで、前記大画面ＥＦＤ装置の密封の際の高い温度期間中に種々の組立間に発生するずれを防止するために様々な合わせ治具が使用される。最初に、前記陽極板が合わせ治具に乗せられそこで前記Ｇ１−Ｇ２のコア副組立が適切に合わせられる。最後に、前記陰極副組立もまた、前記コア副組立に正確に合わせられる。そのような組立工程は好適な実施例では、すべての副組立が合わせ板の助けをかりて、最終組立に先立って適当な位置合わせをされるという事実により簡単にされることは明らかである。本発明による一片コア多電極構造体は、ほとんどの大画面製造技術において遭遇する問題なしで大画面ＥＦＤの装置を製作することができることがわかる。また前記一片多電極構造体の設計は、ガラスの粉末領域を越えた金属導電体の形成が可能であることがわかる。これは、前記電極が、個々の走査電極の複雑なはんだ付けの処置なしで外部のドライブ回路に直接接触することができることを意味する。図５Ａおよび図６を参照すると、層１および２の全体の厚さは好ましくは、１ −３０ｍｍおよび厚さの範囲にあり、前記分離スペーサ５０２ｃの厚さは０．１ −５ｍｍ程度であるから、前記構造５０２の厚さはおよそ１から３０ｍｍの範囲となる。図９Ａを参照すると、前記好適な実施例では、前記陰極平面Ｃおよび２つの格子平面のうちより近い方との距離は０．５−２０ｍｍの程度である。面板と背板の厚みが０．５−１０ｍｍの範囲でそして陰極平面Ｃと背板電極との距離が０．３−５ｍｍ程度の場合においては、前記装置５００の全体の厚さは４から４０ｍｍの程度となる。図１０ＡでＶ₀とＶ₂の電圧差は０−５００ボルト程度で好ましくは０から８０ボルト程度である。隣合う前記陰極フィラメントの間の分離は好ましくは１−１３２ｍｍ程度である。陰極平面Ｃおよび陽極平面Ａの間の距離は４−３５ｍｍの範囲である。前記陽極は１−２０ｋＶの間の電圧で操作され、好ましくは１−１２ｋＶで動作させられる。前記陰極の動作電圧は好ましくは１００Ｖ以下で、前記格子電極Ｇ１，Ｇ２の動作電圧は２００Ｖ以下で典型的には５０−１００Ｖの代表的な範囲である。前記ピクセル点５１４ａ〜５１４ｃはそれぞれ好ましくは約０．３ｍｍより少い幅である。前記支持壁５０２ａの典型的な幅は０．１−０．３ｍｍで、前記分離壁５０２ｂは典型的にはおよそ０．０６−０．１２ｍｍの厚みをもち、前記対の分離壁５０２ｂと分離壁５０２ｂと隣接する支持壁５０２ａの孔は０．１ｍｍ程度である。支持壁５０２ａと図５Ｂに示される斜面の壁は好ましくは３度の勾配を持っている。それぞれ０．１５および０．０８ｍｍ幅をもつブラックマトリクスをもつピクセルの全体の幅は１．３ｍｍまたはそれ以下である。図６に示されている層２は体積抵抗１０⁸〜１０¹ ⁴ ｏｈｍｓ−ｃｍの範囲の材料で製造されることが好ましい。図６の層１の場合は、ガラスの粉混合物、ポリイミドおよびシロキソネから選択された誘電材料の１つにより被覆されている。装置５００，５００’の前記組立工程が図１１を参照して詳細になされる。最初に、図６の層１の内部の金属フレーム形成するために金属の箔に孔のパターンがエッチングされる。図６の層１を作るため、先に得られた構造体を絶縁層で覆う。ここでは、金属箔とか形の替わりにガラスまたはセラミック材料の層が使用され、当然ではあるが被覆の工程は省かれる。電気的に導電性の材料の薄いかまたは厚いフィルムが格子電極Ｇ２のセットを作るため前記層１の構造の孔の表面の適当なまたは選択された部分に付着される。材料層中に孔のパターンが形成され、それから図６の層２を作るための高い抵抗材料がコートされる。層の１および２は例えば接着剤を用いて確実に結合または付着され、図６に示されているようにそれらの支持部分が合わせられる。そのようなまたは他の過程が図１１に図示されており、ここでは前記スペーサ板を製造する過程がブロック６００に図示されている。前記格子電極Ｇ１のセットは、図１１のブロック６０２に示されているようにして製造される。金属の箔の上への熱可塑性のプラスチックのラミネートにより行われる。それから前記箔が支持板に付着され、パターンが格子電極Ｇ１のセットを作るために被覆および箔を通ってエッチングされる。前記スペーサ構造は、図１１のブロック６０４のステップを参照して組立てられる。最初に、ガラス球のような充填材料をふくむ高温性接着剤混合物の糊がスペーサ板に適用される。そして、前記格子電極Ｇ１のセットは、前記支持板の助けをかりて、前記スペーサ板の頂上の上にある高温性接着剤混合物上で熱可塑性の被覆を介して接合される。前記接着剤混合物は、前記電極Ｇ１を前記スペーサ板にしっかりと付けた後に硬化させられる。前記格子電極Ｇ１のセットのための支持板は当業者に知られている方法、例えば高い温度で熱可塑性プラスチックを灰化することによって除去される。前記陽極と陰極板は前述した（ブロック６０６，６０８）によって形成される。層１および２に形成された孔の前記パターンは前記陽極板上の前記ピクセル点の大きさに適合するように形成され、そして前記パターンが格子電極Ｇ１を作るために金属の箔にエッチングされ、電極Ｇ１の密度は前記陽極電極上の蛍光点に適合する。前記格子電極Ｇ１が前記スペーサ板に付けられるとき、観察方向から見たときに、２つのセットの格子電極Ｇ１，Ｇ２間の交差点が前記陽極板の上のピクセル点に重なるように位置合わせされている。前記ブロック６００，６０２および６０４のステップで得られた一片集積スペーサ構造は、それから前記陽極と陰極板に組立られるのであるが、これは、前記陽極板上の前記ピクセル点とスペーサ構造の１つを位置合わせし、そして前記格子電極およびピクセル点と共に、フィラメント支持体（図示せず）に設けられた前記陰極フィラメントを合わせることによりなされる。前記面板および背板（陽極と陰極板）は、ハウジングまたは室５０８を形成するために、任意の横壁と互いに接合されそれから、前記陰極線ルミネセンス装置を形成するために排気（ブロック６１０）される。図１３は、本発明の好適な実施例を説明するもので、図５Ａの装置部分の部分的な断面図および部分的な略図である。図１３は、陰極線ルミネセンス装置の特別な利点をもつ構造を図示している。４８０行のピクセル点をもつディスプレイ装置において、制御回路が、ピクセル点のそれぞれの行のアドレス指定および走査を個々に制御するようにされているならば、そのような回路は必然的に複雑で費用がかかるものとなる。図１３の前記ディスプレイ装置の設計は、前記制御回路を非常に単純化したものである。２つの陰極のみが図１３に示されているが、これは前記装置５００の部分のみであり、図１３の前記構造は、４８０行のピクセル点をアドレスするために、電子を放出するための合計２４個の陰極フィラメント５１２を組み入れるように、横方向に繰り返されている。図１３に示されているように、前記陰極フィラメント５１２のそれぞれは、集合的にＧ０として付けられている対応するメッシュ電極をもつ。概して、総数がＮ個の陰極フィラメントが用いられた場合、総数がＮ個のメッシュ電極Ｇ０があり、前記電極は、それぞれの陰極フィラメントに対応し、そして囲んでいる。このように、前記陰極フィラメントがＣ（１）からＣ（Ｎ）へと番号を付けられるならば、前記メッシュ電極もまた、対応するように、Ｇ０（１）からＧ０（Ｎ）と番号を付けられる。２４個の要素が用いられるならば、Ｎは２４となる。２つの陰極フィラメントＣ（ｊ），Ｃ（ｊ＋１）のみが図１３に示されており、ここにおいて、２つの陰極フィラメントをもつ前記装置５００の２つの部分が示されているので、ｊは、１から２３の範囲である。好適な実施例において、前記陰極フィラメント５１２は、装置５００がオンになると、持続的に電子を放出するが、これらの電子は、前記陰極フィラメントとそれらに対応し取り囲むメッシュ電極の相対的な電圧に応じて、ある時間にのみ、これらの陰極フィラメントのまわりにある前記メッシュ電極を通過することができる。メッシュ電極が、前記電極が囲む前記陰極フィラメントと比較してより負である電圧であるならば、そのようなフィラメントから放出された前記電子は、前記メッシュ電極を通過することができず、そして前記フィラメントの周辺内にとどまる。前記陰極フィラメント５１２のそれぞれは、２０行のピクセル点のどれか１つに向かう電子を放出する。上述したように、それぞれの格子電極Ｇ１は、ディスプレイ装置を図５Ａにおける観察方向５４０から見たときに、１つのピクセル点の行と特別に重なる。それ故に、４８０行のピクセル点を走査しアドレスするために、４８０個の格子電極Ｇ１が用いられる。それぞれの陰極フィラメントは２０行のピクセル点を走査しアドレスする目的で、電子を発光するために使用される。それ故に、それぞれの陰極フィラメント，それに対応し取り囲むメッシュ電極，そして対応する２０個の格子電極Ｇ１のセットは、対応する２０行のピクセル点を走査しアドレスするために使用される。図１３に示されているように、ｉが１から２０の範囲である前記陰極Ｃ（ｊ），それに対応するメッシュ電極Ｇ０（ｊ），そして前記２０個の格子電極Ｇ１（ｊ）（ｉ）は、２０行のピクセル点のアドレス指定および走査を制御するために使用され、前記ピクセル点は、図５Ａに示されている観察方向５４０から見たときに、前記格子電極Ｇ１（ｊ）（ｉ）に空間的に重なる。４８０行のピクセル点をアドレスするための前記制御回路を単純化するために、前記２４セットのそれぞれに空間的に対応する格子電極は、図１３に示されているように、２０本の走査線の１つに電気的に接続されている。すなわち、２４個全ての格子電極Ｇ１（１）（ｉ），Ｇ２（２）（ｉ）．．．，Ｇ１（２４）（ｉ）は、ｉ番目の走査線と電気的に接続されており、ここにおいて、ｉは１から２０の範囲である。前記走査もしくはアドレスされた電圧が図１４に図示されている。図１４において、４８０行の全てのピクセル点を走査もしくはアドレスするための完全なサイクルは、２４サブサイクルに分けられる。前記それぞれのサブサイクル中、電圧は、前記陰極フィラメントおよびそれに対応するメッシュ電極に印加されるので、前記２４個の陰極フィラメントの１つのみから放出される電子は、ピクセル点の１行をアドレスするための前記蛍光面に達するように、対応するメッシュ電極を突き抜けることができる。例えば、前記陰極フィラメントの全てが接地されているかもしくは僅かに正電圧であるならば、前記メッシュ電極の１つを除く全てのものもまた、接地されているかもしくは負電位であり、前記一つの例外は、正電圧Ｖボルトであるので、Ｖボルトで前記メッシュ電極により囲まれている前記フィラメントのみにより放出される電子は、前記蛍光面に達するように通過することが可能となる。このように、第１サブサイクル中、前記第１の陰極フィラメントＣ（１）を囲む前記メッシュ電極は、Ｖボルトであり、そして前記残りの２３個のメッシュ電極は、接地されているかもしくは僅かに負電圧であるため、Ｃ（１）からのみ放出された電子は前記蛍光面に達するように通過することができる。前記第１のサブサイクル中、２０個の走査パルスＶ_G11からＶ_G120のタイムシーケンスは、図１３の２０本の走査線１から２０に、ｔ₁からｔ₂₀の時間で連続して加えられ、それにより、ピクセル点の行１から２０を連続して走査もしくはアドレスするために、前記サブサイクル中に前記陰極フィラメントＣ（１）から電子が放出される。これらの行は、観察方向５４０から見たときに、格子電極Ｇ１（１）（１）からＧ（１）（２０）と重なる。図１４に示されるように、次のサブサイクル中、前記陰極フィラメントＣ（２）を囲む前記メッシュ電極は、接地もしくは僅かな負電圧の前記残りの２３個のメッシュ電極とともに、Ｖボルトであり、そのため、Ｃ（２）からのみ放出される電子は前記蛍光面に達するように通過することができる。前記第２のサブサイクル中、２０個の走査パルスＶ_G11からＶ_G120のタイムシーケンスは、図１３の２０本の走査線１から２０に、ｔ₁からｔ₂₀の時間で連続して加えることにより、ピクセル点の行２１から４０を連続して走査もしくはアドレスするために、前記サブサイル中、前記陰極フィラメントＣ（２）から電子が放出される。これらの行は、観察方向５４０から見たときに、格子電極Ｇ１（２）（１）からＧ（２）（２０）と重なる。それから、この過程は、前記残りの２２グループの陰極フィラメントＣ（ｊ），メッシュ電極Ｇ（ｊ），そして格子電極Ｇ１（ｊ）（ｉ）のセットに繰り返され、ここではｊは３から２４，ｉは１から２０の範囲である。図１３の構造は、前記メッシュ電極が使用されない場合よりも、前記観察方向５４０に垂直な方向に横方向にかなり幅広く広がる電子を惹起するように前記メッシュ構造Ｇ０が形づくられている点が非常に利点であり、その結果として、それぞれの陰極フィラメントから放出される電子は、他の場合よりも、かなり多数のピクセル点の行をアドレスするために使用されることが可能となる。図１３の実施例において、それぞれの陰極フィラメントは２０行のピクセル点をアドレスするための電子を放出するために使用されるため、２４個の陰極フィラメントのみが総数４８０行のピクセル点をアドレスするのに必要とされることから、前記制御回路が非常に単純化される。前記背板上および前記長いバースペーサもしくは支柱５３０上にある前記電子流形成電極５３２はまた、より広くディスプレイ領域を覆うように、前記陰極フィラメントにより発生される電子を横方向に分布することが重要であり、それは、前記蛍光面の方向へ向けられる電子の均一性を高め、そしてフィラメントの数が少数のみでいいように前記フィラメントのピッチを増加させる。前記陰極フィラメントは、好ましくは、電子を発生させるように特別なピッチに配置されたアルカリ性の酸化物をコーティングされたタングステンワイヤである。上述された構造は、前記格子電極Ｇ１の板と前記陰極フィラメント間を適切に分離することに使用され、それにより、電子が前記蛍光面の前記ピクセル点の方向へ向かう前に、電子が横方向に広がるための時間が得られる。上記の制御された駆動の仕組みでは、２つの集積回路のみが必要とされる。上述された構造は次の利点を持つ。１．フラット大画面での電子の均一な分布，２．前記装置の大画面を覆うための電子の広がり，３．前記陰極構造で使用されるフィラメントの総数の削減，４．フィラメントの削減の結果による低電力消費，５．大量生産の容易さ，そして、６．単純で低コストの集積走査回路。コラム電極の製造従来のマイクロエレクトロニクス製造において、フォトリソグラフィ工程が使用されている。しかしながら、そのような工程は、通常、従来のフォトレジスト工程が適用される場合の平面にのみ適切なものである。低欠陥数でフォトレジストパターンを定めることは、３次元構造をもつ電極構造には困難なことであった。上記の困難さは、前記格子電極の高い収率を得る製品，特に、２０インチ〔５０．８ｃｍ〕の寸法以上をもつ基盤領域には非常に重要なことである、二重のフォトレジストリフトオフ工程により解決される。前記製法のシーケンスは、図５Ａのスペーサ構造５０２上にコラム電極Ｇ２を製造するための流れの図を示している図１５に明示されている。図１５に示されているように、基盤７０４は感光性の高分子材料（例えば、ポリジメチルグルタリミド，もしくは「ＰＭＧＩ」）でコーティングされており、前記材料は、感光性を下げ、そして紫外線（ＵＶ）に十分に曝したアルカリ性の可溶性を高めるために、光分解の分離を受ける。この文脈において、十分にＵＶに曝すということは、前記コーティングを、２４０から２６０ナノメートルの範囲にある波長のような短い波長をもつＵＶ光に曝すという意味である。前記コーティングは、コーティングの全厚みが光分解されるまで、ＵＶ光に十分に曝される。この十分に曝すことの利点は、前記高分子コーティングの光分解に、より広い製造範囲を提供することである。逆に、ほとんどの画像レジストは広い露出許容範囲を持っておらず、そして厚みの均一性は高い収率を得るフォトレジスト工程には非常に重要なことである。前記表面でＵＶで光分解された高分子コーティングで、画像レジストは十分な厚み制御で構成要素に適用される。この厚み制御は、前記画像レジストの曝しが上手く制御されなければならないので、高い収率を持つコラム電極パターンの工程には重要なことである。前記光分解された高分子コーティングは、アルカリ性の現像液で画像レジストよりも速いエッチング率をもつ。上部の画像レジストがアルカリ性の現像液で現像されるとき、きのこ形の二層のレジストプロファイルが生じる。この特別なプロファイルで、前記レジストは、前記二層のレジストが完全には覆われないので、薄いフィルムが設置された後、容易に取り除かれる。非平面構成要素用に前記二層のリフトオフ製法を使用するコラム電極の製造方法は、次の利点を持つ。・有機溶媒が前記リフトオフ製法で使用され、それにより、下にある基盤に有害である浸透性のある化学物質の使用を避けられること。・導電コラム電極として使用される金属を幅広く選択できること。・きのこ形の二層のレジストプロファイルの構造が、レジストの容易なリフトオフを提供すること。・画像レジスト内に小さな孔があってもそれに耐性であるから比較的高い収率のレジスト工程になること。・レジストの欠陥は損傷した基盤よりも修復しやすいこと。前記コラム電極Ｇ２が、完全なスペーサ構造５０２を形成するために上述した方法で設けられた後、分離壁部分５０２ｂのみが図１５に示されており、前記底面７０４ａは、図５Ａ，５Ｂ，そして１１に参照し上述されたように、前記分離スペーサ５０２ｃおよび前記第１の格子電極Ｇ１のセットを支持するために使用される。替わりに、前記電極Ｇ１，Ｇ２と組み合わせた上述した混成の強固な一片スペーサ構造は、分離スペーサ５０２ｃでガラス玉を使用せずに達成される。これは、代替二層リフトオフレジスト製法であり、図１６に図示されている。図１６の工程は図１５のものと類似したものであるが、図１５の製法では、基盤層７０４の底側７０４ａが支持表面に載っていないので、それは、ＵＶに曝されたり，画像レジストにコーティングされたり，もしくはスパッタリング加工の金属にコーティングされているＰＭＧＩによりコーティングされていない。図１６の製法では、前記底面７０４ａは画像レジストによりコーティングされ、曝され、そして現像されている。図１５と比較すると図１６の工程の最終効果は、前記底面７０４ａの近くの側面上にある小さな領域７０４ｂが、スパッタリング加工中、金属によりコーティングされていないことである。これは、マスク７１０がわずかに表面７０４ａよりも大きいことから、領域７０４ｂがフォトリソグラフィ製法において曝されず、それ故にスパッタリング加工中被覆されているためである。図１６の前記製法から製造された前記スペーサ構造５０２’は、前記電極Ｇ１，Ｇ２を組み合わせた改良されたスペーサ構造を形成するために、図１７に示されているように使用される。絶縁層は、図１６の製法から製造された前記スペーサ構造５０２’の表面７０４ａ上に最初設置される。そして、前記支持構造と共に前記Ｇ１電極は、前記絶縁層に取り付けられる。前記コラム電極Ｇ２は前記表面７０４ａの全体に延びていないが、領域７０４ｂの幅と同じ幅の寸法の隙間により分離されるので、２つの格子電極Ｇ１，Ｇ２のセット間で電気的短絡が起こる回数が減り、製造過程がかなり強固なものとなる。前記基盤材料７０４の表面が電気的に絶縁であるならば、追加の絶縁層が製造コストをさらに下げるために実際省略される。スペーサ部材を使用した陰極線ルミネセンスディスプレイ装置における共通の問題は、「ウォッシュボード」効果として知られており、ここでは、前記スペーサの部材が電子通路に突き当たることにより、ウォッシュボードの視覚効果を与え、ディスプレイ内に明暗な領域を交互に生じさせることになる。言うまでもなく、そのような効果は望ましくないものである。本発明の別の特徴は、そのような「ウォッシュボード」効果が減少された陰極線ルミネセンスディスプレイ装置に関してである。図１８Ａは、「ウォッシュボード」効果を引き起こすスペーサ構造を図示している。１２個の長方形のブロック７５２は、赤，緑，青の光をそれぞれ発光するＲ，Ｇ，Ｂと付された長い蛍光帯である。それぞれの長い蛍光帯は、多数のピクセル点を包む。図１８Ａに示されているように、１つのフィラメント５１２が、前記蛍光帯７５２にあるそれぞれに前記ピクセル点の全てをアドレスするための電子を放出するために使用される。分離壁７５４をもつスペーサ構造は、「ウォッシュボード」効果としても知られる交互に明暗になる長い領域を生じさせる。そのような効果は図１９Ａにさらに明確に図示されており、それは図１８Ａの線１９Ａ−１９Ａに沿った断面図である。図１９Ａに示されているように、前記フィラメント５１２が、電子が帯７５２上の蛍光点に向かう前に、横方向に広がりを持つ電子軌道７６０に沿って電子を放出する間、前記分離壁７５４の効果により、前記蛍光帯の領域が他の領域よりも薄暗くなる。かくして、図１９Ａに示されているように、前記領域７５２ａは、前記分離壁の一つの影になるが領域７５２ｂはそうはならない。結果として、前記長い領域７５２ｂは長い領域７５２ａと比較して強い強度な光を放出する。図１３，図１８Ｂ，図１９Ｂに図示されている構造は、そのような「ウォッシュボード」効果を減らすための本発明の特徴を示している。図１３に示されているように、２０行のピクセル点と前記２０行をアドレスするための電子を放出するために使用される前記陰極フィラメントとの間の電子軌道は、全く分離壁には突き当たらないため、前述の「ウォッシュボード」効果は実質的になくなる。図１８Ｂに示されているように、前記長い蛍光帯７５２と前記帯をアドレスするための電子を放出するために使用される前記陰極フィラメント５１２との間には全く分離壁がない。そのような装置において、電子の通路７６２は図１９Ｂに図示されており、前記図は、図１８Ｂの線１９Ｂ−１９Ｂに沿った図１８Ｂにある装置の断面図である。図１９Ｂにおいて示されているように、フィラメント５１２と蛍光帯７５２の間の電子通路に突き当たる分離壁がないため、上述した「ウォッシュボード」効果は減らされる。そのような目的で、前記スペーサ構造にある孔は、好ましくは長いものであり、そして前記孔のそれぞれは、観察方向から見たときに、対応する蛍光帯７５２と重なる。前記孔の領域が帯７５２の縁と重なるので、これらの孔は図１８Ｂにおいて簡潔に７７０の番号が付けられている。図２０は、本発明の代替実施例を説明する陰極線ルミネセンスディスプレイ部分の略図である。図１８Ａ，１８Ｂに示されている構造と異なり、前記蛍光帯７５２は、揃えられる必要はないが、図２０に示されているように食い違い配列に調整される。そのような場合、上述した装置は、図２０に図示されている方法で前記蛍光帯をアドレスするためになお使用される。図２０に示されているように、前記格子電極Ｇ１’，Ｇ１''は、多数の蛍光帯の上もしくは下半分をアドレスするために使用される。図２０はまた、前記ピクセル点のサイズが前記格子電極Ｇ１を選択することにより選ばれるため、Ｇ１電極のピッチが小さくなればなるほど、前記ピクセル点のサイズが小さくなり、そして解像度が高くなる設計を図示している。図２１は、本発明の好適な実施例の別の特徴を説明するもので、図５Ａの装置５００部分の断面図である。前記陰極フィラメントから発生する電子が蛍光面５１４に衝突するとき、前記電子のうちのいくつかはバウンドし、電子が向かうはずではなかった別の蛍光面に達することもある。これは望ましくない漏話を引き起こす。図２１に示されているように、メッシュ構造７８２は、ブラックマトリクス部材７８４の頂部に設けられた導電性もしくは非導電性部材のどちらかで作られており、前記部材７８４は、異なる色の隣設する蛍光帯からそれぞれの蛍光帯を分離するため、図２１に示されている３つの蛍光帯５１４ａ，５１４ｂ，５１４ｃから跳ね返る少なくともいくつかの電子は、前記メッシュ構造７８２に突き当たり、そして電子が進む予定ではなかった近接の蛍光帯に衝突せずに、高電圧の陽極により跳ね返され、前記帯に再び引きつけられる。それにより、漏話は減少させられる。前記メッシュ構造７８２は、Ｇ２電極を形成する方法と同じ方法で、金属で作られ、そして化学エッチングおよび誘電体コーティング，もしくはそのどちらかによって形成されることが可能である。スペーサ構造５０２の厚みは、好ましくは、そこに小さな孔をもつ０．２から０．６ｍｍの範囲である。構造５０２を製造するための工程には、フォトエッチングされたもしくは化学的に加工された金属部分のような従来の工程に特有の制限があり、それにより、金属基盤に小さな孔を製造することが困難になる。これは、前記化学エッチング工程と表面にあるレジストパターンの縁で下から切り取った部分の特質のためである。全ての寸法，許容範囲，そして構造は、エッチングされる基盤と同様に材料そのものの厚みの機能であり、僅かな範囲で、工程変化が可能である。一般的に、基盤Ｄの平面にある孔の寸法は金属の厚みＴよりもかなり小さいものにはできない。０．１３ｍｍを越える金属の厚みの典型的な指標では、最小寸法（ｄ）は、金属の厚みの少なくとも１１０％でなければならない。これは、ワンステップの化学エッチング技術を使用する化学的加工の本質的な特性のためである。エッチング液は横方向および垂直方向に前記材料を化学的に分解する。例えば、図２２Ａにおいて、前記材料が片側からエッチングされる場合、鋭利な縁８０２をもつ曲線の表面が形成される。図２２Ｂに示されているように、前記金属が両側からエッチングされる場合、鋭利な縁８０４を持つ斜面が製造される。この斜面は金属の厚みの約２０パーセントである。他の可能な縁の構造もまた示されている（図２２Ｃ，２２Ｄ，２２Ｅを参照）。前記金属基盤におけるこれら全ての縁の構造は、化学的に加工された金属部分に鋭利な縁および点もしくはそのどちらかを生じさせる。これらの鋭利な縁および点は、これらの小さな孔が高電磁界下での電子通路に使用されるとき、ディスプレイ装置の特性に有害である。Ｇ２コラム電極を支持するために使用される前記金属基盤におけるこれらの縁の構造は、追加的加工手段を化学的に加工された基盤へと組み合わせることにより除去される。これらの追加的加工手段とは、ミクロ研磨の噴射加工および化学研磨を含む。適切な範囲で化学的に加工された部分にミクロ研磨の噴射加工を行うことにより、前記鋭利な縁および点の前記材料は、前記研磨粉末の衝突により損害をうけるかもしくは変形される。前記損害をうけるかもしくは変形した材料は、ほとんどの化学エッチング液に対して均一なエッチング特質をもつ。この点で、前記ミクロ研磨の噴射加工後の化学研磨は、前記基盤から大量の材料を取り除くことなく、縁の構造をなくす。図２３は、ミクロ研磨の噴射加工および化学研磨後の前記金属基盤のまっすぐな縁の構造を示している。前記噴射加工ステップによって生じる金属表面を研磨損害を与えずもしくは変形させずに、前記材料は、化学研磨ステップにおける化学エッチング液に対して高い好ましいエッチング特性を示す。このように、ミクロ研磨の噴射加工のステップではなく化学研磨のみにより前記鋭利な縁と点をなくすことは、大量の材料を取り除く必要がある。それ故に、前記金属基盤の前記スロットおよびライン寸法は、長い時間、化学研磨に曝した後、かなり変化する。本発明は、範囲および実施例を参照して記述されてきたが、付加された請求にのみ制限され、本発明の範囲からはずれることなく、異なる変化および変更がさらになされることを理解されたい。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０１Ｊ 29/87 Ｈ０１Ｊ 29/87 31/12 31/12 Ｂ 31/20 31/20 Ｇ (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ)，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ (72)発明者シュ、イアメリカ合衆国、95014、カリフォルニア州クパーチノ、＃１、パークサークルイースト 10193 (72)発明者リアング、チャールズエス. アメリカ合衆国、95135、カリフォルニア州サンホセ、リトルワースウェイ 4166

Claims

【特許請求の範囲】１．観察方向から見たときに像を表示するための複数のピクセル点をもつ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置において：面板と背板をもち内部に室を規定するハウジングと；前記面板の表面または近傍に設けられた陽極と；電子に応答して発光し前記陽極の表面または近接して設けられている発光手段と；前記室内で前記面板と背板間に設けられている少なくも一つの陰極と；前記陽極および陰極の間に設けられた長い格子電極の少なくとも第１および第２のセットであり，前記観察方向から見たときに，各セットの電極は前記発光手段と重なっておりそして格子電極は互いに他のセットと点状にかさなっており，前記重なり点がピクセル点を規定するものである格子電極と；前記陰極に電子を惹起させるための手段と；前記陽極、陰極および２以上の格子電極のセットに電圧を印加する手段で、前記陰極より放出された電子を像を表示するために前記ピクセル点の前記陽極の表面または近傍にある前記発光手段の方向に移動させる電圧を印加する手段と；および少なくとも一つの一体構成のスペーサ構造で、少なくとも前記第１および第２の格子電極のセットに固定されており，前記構造は前記面板および背板に接続し、前記室が排気されたときに前記室が潰れないようにするスペーサ構造とを含む、陰極ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。２．請求項１記載の装置において、前記少なくとも一つのスペーサ構造は、前記陽極および陰極の間に電子の通過のための孔をもつスペーサ板をもち，ここにおいて、１以上のピクセル点の予め定めた数は一つの孔に対応し空間的に重なり、前記スペーサ板は任意の２つの隣合う孔間に支持壁と少なくともひとつの孔内に前記孔をより小さい孔に分割するための分離壁をもち，前記分離壁は前記支持壁よりも薄くこれにより漏話を減少させるものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３．請求項２の装置は、前記スペーサ板は網状のメッシュ構造であり、前記網状のメッシュ構造は孔と孔の表面をもち，そこにおいて前記格子電極の第１のセットは前記第２のセットよりも近く前記陽極に設けられており、そしてここにおいて、前記第２のセットの格子電極は前記孔の全表面を実質的にカバーする電気的に導電性の層を含み、前記電圧印加手段は、前記孔の表面の層に前記孔を通過する電子が選択されたピクセルの点に収束されるような電圧を印加するものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。４．請求項２記載の装置において、前記少なくとも一つの構造は、前記少なくとも一つの構造を形成するために付着された第１および第２の個々の層をもち、前記第１の層は前記面板より前記背板により近く、前記第２の層は前記背板より前記面板に近く；前記第１の層は支持部分と分離部分をもち、前記第２の層は支持部分であって、前記第１の層の前記支持部分に対応してそして付着されており、前記スペーサ板の隣接する任意のふたつの孔の間の前記支持壁を形成し、前記第１の層の前記分離部分は前記少なくとも一つの孔の内の前記分離壁を形成し少なくとも一つの孔をより小さい孔に分割するものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。５．請求項４記載の装置において、前記第１の層は金属基盤と誘電体材料のコーテイングを含み、そして前記第２の層は約１０の８乗オームより大きい電気抵抗の絶縁電気抵抗をもつ材料を含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。６．請求項５記載の装置において、前記誘電体物質のコーテイングはガラスの粉混合物、ポリイミド、またはシロキソネ高分子を含むものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。７．請求項４記載の装置において、前記第１および第２の層全体の厚さは１から３０ｍｍの範囲にある陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。８．請求項４記載の装置において、前記格子電極の第２のセットは前記第１の層の支持部分と分離部分に電気的導伝材料の薄いフィルムを含み、前記少なくとも一つのスペーサ構造はさらに分離スペーサであり、前記第１の格子電極と前記第１の層間で付着されているものを含み、前記分離スペーサはガラス玉と高温性接着材を含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。９．請求項４記載の装置において、前記第２の格子電極のセットは、前記第１の層の支持および分離部分の上に導電材料の薄いフィルムを含み、前記少なくとも一つのスペーサ構造はさらに前記第１の格子電極の第１のセットと前記第１の層に接続されかつ分離する絶縁分離コーディング層をさらに含むものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。１０．請求項１記載の装置において、前記第１または第２の格子電極のセットは導電材料の薄いフィルムで前記第１の層の前記支持および分離部分に設けられたものを含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。１１．請求項１記載の装置において、前記構造は１から３０ｍｍの範囲の厚さをもつものであり、陽極と陰極間の距離は２〜３０ｍｍの範囲である陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。１２．請求項１１記載の装置において、前記電圧印加手段は、前記陽極の電圧が１ｋＶから２０ｋＶの範囲であり、前記少なくともひとつ陰極の電圧がおよそ１００Ｖより少なくそして前記２つのセットの格子電極の電圧は２００Ｖより少なくなるように電圧を印加するものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。１３．請求項２記載の装置は、前記背板表面または前記背板に近接して設けられた電子流形成電極を含み、前記電極は陰極から放出された電子を制御して、分布を均一にして輝度均等性を改良するものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。１４．請求項１３記載の装置において、前記装置が複数の陰極を空間的な配列でフィラメントの形式で含むものにおいて、前記電子流形成電極は導電材料の層を前記フィラメントの空間的な配列に対応する設計パターンを含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。１５．陰極線ルミネセンスディスプレイ装置であって、前記装置を観察方向から見たときに像を表示するための複数のピクセル点をもつ装置で：面板と背板をもち内部に室を規定するハウジングと；前記面板の表面または近傍に設けられた陽極と；電子に応答して発光し前記陽極の表面または近接して設けられている発光手段と；前記室内で前記面板と背板間に設けられている少なくも一つの陰極と；前記陽極および陰極の間に設けられた長い格子電極の少なくとも第１および第２のセットであり，前記観察方向から見たときに，各セットの電極は前記発光手段と重なっておりそして格子電極は互いに他のセットと点状に重なっており，前記重なり点がピクセル点を規定するものである格子電極と；前記陰極に電子を惹起させるための手段と；前記陽極、陰極および２以上の格子電極のセットに電圧を印加する手段で、前記陰極より放出された電子を像を表示するための前記ピクセル点の前記陽極の表面または近傍にある前記発光手段の方向に移動させる電圧を印加する手段と；および前記少なくとも第１および第２の格子電極のセットに固定された少なくとも一つのスペーサ構造で、前記少なくとも一つのスペーサ構造は網状のメッシュ構造体で孔と孔表面を含み、ここにおいて、前記第１の格子電極のセットは前記陽極に前記第２のセットよりも近接して設けられ、そしてここにおいて前記格子電極の第２のセットは前記網状のメッシュ構造の孔の表面を実質的に覆う導電材料の層を含むスペーサ構造を含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。１６．陰極線ルミネセンスディスプレイ装置で、前記装置を観察方向から見たときに像を表示するための複数のピクセル点をもつ装置の製造方法であって：少なくとも一つのスペーサ板を製作するステップで、前記少なくとも一つのスペーサ板は陽極と一以上の陰極間で電子の通過のための孔を規定し、ここにおいて、一以上のピクセル点の予め定められた数が一つの孔と空間的に重なり、前記製造工程は導電フィルムを前記少なくとも一つのスペーサ板に格子電極のセットとして働くように配置する工程を含む少なくとも一つのスペーサ板を製作するステップと；格子電極アレイと分離スペーサを少なくとも前記一つのスペーサ板に揃えてつけ、格子電極の追加のセットとして動作させることにより、前記分離スペーサが前記格子電極の２つのセットを分離し、そして観察方向からみたときに、各格子電極の前記電極が前記ピクセル点と重なる点において他方の電極と交差し、そして前記スペーサ板、格子電極および前記分離スペーサが少なくとも一つの集積された剛性のスペーサ構成である揃えのステップと；少なくとも一つのスペーサ構造のピクセル点を規定する発光手段をもつ面板を揃えて取り付けるステップで、前記ピクセル点が前記交差点に揃うようにするスペーサ構造に面板を合わせて取り付けるステップと；背板を少なくとも一つのスペーサ構造につけて陰極フィラメントを前記背板につけるステップとを含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の製造方法。１７．前記少なくとも一つのスペーサ板は、任意の隣接する孔の間に支持壁をもちそして少なくとも一つの孔の中に前記孔をより小さい孔に分離するための一以上の分離壁をもつ請求項１６記載の方法において：支持部分および分離部分をもつ第１のスペーサ層と、少なくとも一つのスペーサ板の隣接する２つの孔の間に支持壁を形成するために前記第１の層の前記支持部分に対応する前記支持部分に対応して取り付けられる支持部分をもつ第２の層を提供するステップで、前記第１の層の前記分離部分は前記少なくとも一つの孔をより小さい孔に分離するためのものであるステップと；および少なくとも一つのスペーサ板を形成するために前記第１および第２の層を強固に結合するステップとを含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の製造方法。１８．請求項１６記載の方法における前記格子電極および分離スペーサを揃えて付けるステップは：導電材料の箔の上へ熱可塑性の被覆をラミネートするステップと；格子電極を形成するために前記箔をエッチングして構造を被覆するステップと；前記の分離スペーサを少なくとも一つのスペーサ板に揃えて付け、前記格子電極を被覆構造を前記分離スペーサに揃えて付けるステップと；前記被覆を除去するステップと、を含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の製造方法。１９．請求項１８記載の方法において、前記格子電極および分離スペーサを揃えて付けるステップは、予め定められた寸法の微粒子を包含する高温性接着剤の糊のパターン化を含むものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の製造方法。２０．請求項１９記載の方法において、前記格子電極および分離スペーサを揃えて付けるステップは、ガラス玉を包含する高温性接着剤の糊のパターン化を含むものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の製造方法。２１．請求項１８記載の方法において、前記格子電極および分離スペーサを揃えて付けるステップは、絶縁する層のパターン化を含むものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の製造方法。２２．観察方向から見たときに像を表示するための複数のピクセル点をもつ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置において：面板と背板をもち内部に室を規定するハウジングと；前記面板の表面または近傍に設けられた陽極と；電子に応答して発光し前記陽極の表面または近接して設けられている発光手段と；陰極の平面内で前記面板と背板間の前記室内に設けられている複数の陰極と；前記陽極および陰極平面間でそれぞれの第１および第２の格子平面に設けられた長い格子電極の少なくとも第１および第２のセットであり，前記第１の格子平面は少なくとも一つの陰極に前記第２の格子平面より近接しており、前記観察方向から見たときに，各セットの電極は前記発光手段と重なっており、そして格子電極は互いに他のセットと点状に重なっており，前記重なり点がピクセル点を規定するものである格子電極と；前記陰極に電子を惹起させるための手段と；前記陽極、陰極および２以上の格子電極のセットに電圧を印加する手段で、前記陰極より放出された電子を像を表示するための前記ピクセル点の前記陽極の表面または近傍にある前記発光手段の方向に移動させる電圧を印加する手段と；スペーサ手段は前記面板および背板をそれらの板に機械的な支持を与えるために接続することにより、前記室が排気されたときに潰れないようにし、前記スペーサ手段は前記陽極と陰極間で電子を通過させる孔を規定する少なくとも一つのスペーサ板をもち、前記陰極は局在させられておりそして前記電圧は前記陽極に印加され、陰極と格子電極は前記陰極から放出された電子が、前記少なくとも一つのスペーサ板が規定する前記スペーサ板の有効領域に分布されている孔によりチャンネル分けされるようにしたスペーサ手段と；ここにおいて前記少なくとも一つの陰極から放出され前記陽極に進む電子は、格子電極と前記少なくともひとつのスペーサ板によってのみ妨害され、前記少なくともひとつの前記電子の通過を阻止するスペーサ板は前記少なくともひとつのスペーサ板の有効領域の８０％以下を専有するものであり、前記陰極面は前記陽極面より３０ｍｍ以内にあることを特徴とする陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。２３．請求項２２記載の装置において、前記スペーサ板と背板に接続され前記背板を大気圧に対して支える長い部材をさらに含み、前記支柱は前記陰極面に対して約直角であり、前記スペーサ板の有効領域の３０％以下を覆うものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。２４．請求項２０記載の装置において、前記スペーサ手段はさらに分離スペーサを含み、前記分離スペーサは、前記スペーサ板ともに厚みが３０ｍｍを越えない少なくともひとつのスペーサ構造を形成するものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。２５．請求項２０記載の装置において、前記電圧印加手段は、前記陽極電圧に１ｋＶから２０ｋＶの範囲で、前記陰極電圧にはおよそ１００Ｖ以下で、そして前記２つのセットの格子電極の電圧は２００Ｖ以下であるように印加する電圧印加手段である陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。２６．請求項２０記載の装置において、前記スペーサ板は前記孔の間のスペーサ壁を規定し、前記装置はさらに前記背板とスペーサ壁の表面または近接して電子流形成手段を含み輝度の均一性を改良するために、前記陰極から放出された電子を均一に分布させるようにしたことを特徴とする陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。２７．請求項２０記載の装置において、前記複数の陰極は平行アレイ状に配列された長いフィラメントを含み、ここにおいて、電子流形成電極は、前記フィラメントのアレイに平行な導電材料の平行な長い帯のアレイを形成する層を含むものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。２８．請求項２７記載の装置において、前記導電材料の長い平行な帯のアレイは前記背板の表面に設けられている陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。２９．請求項２７記載の装置において、前記長い帯状のアレイはそれぞれが一つのフィラメントに対応する帯の複数のグループを含み、各グループは、観察方向から見たときに前記対応するフィラメントに重なる主要な帯、またはアレイ中の他の帯よりは前記対応する帯に近接して設けられている主要な帯と前記主要な帯の両側に設けられた少なくとも２つの追加的な側方の帯を含み、前記装置はさらに、前記帯のグループに横帯の電圧が他の主要な帯の電圧よりも高くなるように電圧を印加する手段を含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３０．観察方向から見たときに、像を表示するための複数のピクセル点をもつ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置の製造方法において：少なくともひとつのスペーサ板の製造ステップで、前記少なくともひとつのスペーサ板は陽極と１以上の陰極間に電子の経路を規定する孔をもち、そこにおいて予め定められた数の１以上のピクセル点が前記孔に空間的に対応し、前記製造ステップは、セットの格子電極として働く前記少なくともひとつのスペーサ板に導電フィルムを置くステップを含むスペーサ板の製造ステップと；格子電極のアレイを付加的な格子電極として働く少なくともひとつのスペーサ板に揃えて付けるステップで、観察方向から見たときに、各格子電極のセットの電極が他のセットの格子電極と前記ピクセル点で重なるようにする格子電極のアレイを揃えて付けるステップと；面板を揃えて接続するステップで、前記面板の少なくともひとつのスペーサ板についてピクセル点を規定する発光手段をもち、前記ピクセル点は前記交差点と合わされているようにする面板を揃えて接続するステップと；背板を前記少なくともひとつのスペーサ板に接続しそして前記背板に陰極フィラメントを接続するステップと；ここにおいて前記置くステップは：少なくともひとつのスペーサ板の一つの側面と孔の表面に感光性重合体の第１の層を塗布するステップと；前記第１の層を深い紫外線の輻射に曝すステップと；前記第１の層の上に像のレジストの第２の層を提供するステップと；前記少なくともひとつのスペーサ板の第１の側をマスクしそして前記スペーサ板の前記孔に隣接する領域をマスクしないで前記第２の層を露出するステップと；前記第２のレジスト層の露出部分を現像するステップと；きのこ形の残りの層を形成するために、前記第２の層の露出された部分と前記第２の層の露出された部分の下の前記第１の層の部分をエッチングして除去するステップと；導電材料層の被覆ステップ後の曝された前記少なくとも一つのスペーサ板の表面を被覆するステップと；および前記残りの層を除去するステップとを含む置くステップよりなる陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイの製造方法。３１．観察方向から見たときに像を表示するための複数のピクセル点をもつ陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置において：内部に室を規定し面板と背板をもつハウジングと；前記面板の表面または近接して設けられている陽極と；電子に応答して光を発する前記陽極の表面または近接して設けられている発光手段と；前記室内で前記面板と背板間に設けられた複数の陰極と；前記陽極と陰極間に設けられた少なくとも第１および第２のセットの長い格子電極で、前記各セット中の電極は、そして前記格子電極は、相互に観察方向から見たときに、前記発光手段と重なり、ここにおいて前記重なり合いの点はピクセル点を規定するてものである、少なくとも第１および第２のセットの長い格子電極と；前記陰極に連続的な電子放出惹起させる手段と；メッシュ電極で、全ての陰極を囲み、各々のメッシュ電極は対応する陰極を囲む複数のメッシュ電極と；前記陽極，メッシュ電極および２以上の格子電極に時間的に変化する電圧を印加して、像を表示するために前記陽極の表面または近接して設けられているピクセル点にある発光手段に前記陰極からの電子の移動を惹起する電圧印加手段とを含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３２．請求項３１記載の装置において、前記装置はピクセル点のＭＮ行を照射するためにＮ個の陰極とＮ個のメッシュ電極をもち、なおＭ，Ｎは１より大きい正の整数で、前記第１の格子電極のセットはＮ個の格子電極のアレイを含み、各アレイはＭ個の格子電極をもつものにおいて、ｉ番目のアレイ中の前記Ｍ格子電極はｉ番目のセットピクセル点とｉ番目の陰極中のＭ行に重なり、ここにおいてｉは１からＮであり；ここにおいて、前記電圧印加手段は一つの前記陰極から放出された電子は一時にピクセル点の一つの行に向けられるような電圧を印加するものである、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３３．請求項３２記載の装置において、前記第１のセットの格子電極のＮアレイのｊ番目の格子電極は電気的に接続され、ここにおいてｊは１からＭである、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３４．請求項３２の装置は、前記メッシュ電極が曲げられた横断面をもつものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３５．請求項３４の装置は、メッシュ電極が環状または楕円の横断面の形状である陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３６．請求項３４記載の装置において、スペーサ壁および電子流形成電極をさらに含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３７．請求項３１記載の装置において、前記格子電極の最初のセットは、前記陰極から０．５から２０ｍｍの範囲離れた平面に存在するものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３８．観察方向から見たときに像を表示するための複数のピクセル点をもつ、陰極線ルミネセンス視覚のディスプレイ装置において：面板と背板をもち室を規定するハウジングと；前記面板の表面または近傍に設けられた陽極と；前記陽極の表面または近傍に設けられ電子に応答して光を発する発光手段と；前記面板および背板間の前記室内に設けられた複数の陰極と；前記陽極および陰極の間で、長い格子電極の第１および第２セットであり、前記各セット中の前記電極は前記発光手段と他のセットで観察方向から見たときに重なり，ここにおいて，その重なり点はピクセル点を規定するものである第１および第２セットの長い格子電極と；前記陰極に電子放出を惹起させるための手段；像を表示するために前記陰極から放出された電子を前記発光手段方向へ移動させ前記陽極表面または近傍に設けられている前記ピクセル点に移動させるように前記陽極、メッシュ電極および２セット以上の格子電極に時間的に変化する電圧を印加する手段と；および陽極および陰極の間に電子の通過のための長い孔のアレイを規定するスペーサ板を含む少なくとも一つのスペーサ構造で、ここにおいて、予め定められた数のひとつ以上のピクセル点は、対応しかつ空間的に重なる孔に同じ色を発光し、前記スペーサ板の２つの隣合う孔の間に支持壁をもち，前記孔は電子を無制限に通過させるために仕切りを含まないものであるスペーサ構造と；ここにおいて、長い孔のアレイに対応し横切る方向に、前記格子電極の第１のセットは格子電極のアレイを含み，各格子電極は観察方向から見たときに前記孔を介してピクセル点の行と重なり、前記電圧印加手段は一時に孔のアレイ中の各孔を介して一つのピクセル点の方向にのみに電子を指向させるように前記第１の格子電極のセットに電圧を印加するものである極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。３９．請求項３８記載の装置において、観察方向から見たときに、前記長い孔の少なくともひとつが、同色の光を発光するために２以上のピクセル点に重なっている陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。４０．請求項３８記載の装置において、観察方向から見たときに、前記長い孔の少なくとも一つが、同色の光を発光するために２〜１００個の間の数のピクセル点に重なっている陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。４１．請求項３８記載の装置において、前記長い孔の少なくとも１つは、０．５ｍｍの長さである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。４２．請求項４１記載の装置において、前記長い孔の少なくとも一つは、０．５から１３２ｍｍの範囲にある陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。４３．請求項３８記載の装置において、前記スペーサ板の前記長い孔の表面に電子流形成電極をさらに含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。４４．陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイの装置を用いて像を表示する方法であって，前記装置は面板の表面または近接した陽極をもち前記装置を観察方向から見たときに像を表示するための複数のピクセル点と；電子に応答して光を発する発光手段で、前記陽極表面か近接して設けられている面板および背板の間の複数の陰極をもつ発光手段と；前記面板と背板間に設けられた複数の陰極と；前記陽極と陰極の間に設けられた少なくとも一つの第１および第２のセットの長い格子電極で、前記各セットの前記電極は、観察方向から見たときに他のセットと点で前記発光手段と格子電極に重なるものであり、ここにおいて、重なる点はピクセル点を規定する長い格子電極と；複数のメッシュ電極で全ての陰極を囲み、各メッシュ電極は対応する陰極を取り囲むものであるメッシュ電極とを含む方法において、前記方法は以下のステップを含み：前記陰極に持続して電子を惹起させるステップと；前記陽極、メッシュ電極、および２セット以上の格子電極に時間的に変化する電圧を印加し、前記陰極で電子を発生させ、像を表示するために前記陽極の表面または近傍にあるピクセル点の発光手段に指向させ、前記電圧印加ステップは前記第１のセットの格子電極に走査信号を、前記第２のセットの格子電極に輝度情報信号を印加するものである電圧印加ステップとを含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイの装置を用いて像を表示する方法。４５．請求項４４記載の方法において：前記装置は、ピクセル点のＭＮ行を照明するために、Ｎの陰極およびＮの対応するメッシュ電極を含み、ただしＭおよびＮは一以上の正の整数であり、前記第１の格子電極のセットはＮアレイの格子電極のセットを含み、各アレイはＭの格子電極を含み、ここにおいて、前記ｉ番目のアレイ中の前記Ｍ格子電極は、観察方向から見たときに、前記ｉ番目のピクセル点のセットにあるＭ行のピクセル点と前記ｉ番目の陰極と前記ｉ番目のメッシュ電極と重なり、ただしｉは１〜Ｎの数であり；ここにおいて、前記電圧印加ステップは一つの陰極から放出された電子は一時にピクセル点の一行に指向されるような電圧を印加する陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置を用いて像を表示する方法。４６．請求項４５記載の方法において、第１のセットの格子電極のＮのアレイのｊ番目、ただしｊは１〜Ｍ、の格子電極は電気的に結合されており、前記電圧印加ステップは前記装置が１番目からＭ番目のサイクルにアドレスされ、ここにおいて、前記ｊ番目、ｊは１からＭ、のサイクル中に、前記印加ステップは前記第１のセットのｉ番目の格子電極に印加される走査信号を発生させ，Ｎ個のメッシュ電極へ各サイクルのＮサイクル中にＮ信号のタイムシーケンスを送ることであり、その結果、ｉ番目のサブサイクル期間に、前記電圧印加ステップは、前記ｉ番目のメッシュ電極に、前記ｉ番目の陰極により発生させられた電子がｊ番目の格子電極に指向させ前記ｉ番目のアレイ中のｊ行の格子電極を発光させる電圧を印加する陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置を用いて像を表示する方法。４７．観察方向から見たときに像を表示するための複数のピクセル点をもつ、陰極線ルミネセンス視覚のディスプレイ装置において：面板と背板をもち室を規定するハウジングと；前記面板の表面または近傍に設けられた陽極と；前記陽極の表面または近接して設けられ電子に応答して光を発する発光手段と；前記面板と背板との間の前記室内に設けられた少なくともひとつの陰極と；前記陽極と少なくとも一つの陰極間に設けられた少なくとも第１および第２のセットの長い格子電極で、前記各セット中の電極は、そして前記格子電極は、相互に観察方向から見たときに、前記発光手段と重なり、ここにおいて前記重なり合いの点はピクセル点を規定するものである、少なくとも第１および第２のセットの長い格子電極と；前記陰極に連続的な電子放出を惹起させる手段と；前記陽極，少なくとも一つの陰極および２以上の格子電極に電圧を印加する手段であって、前記陰極から放出された電子を像を表示するために前記陽極表面または近接して設けられている前記ピクセル点の発光手段に指向させる電圧印加手段と；前記陽極表面または近接して設けられたメッシュ構造であって、前記メッシュ構造はピクセル点間の漏話を減少させるために少なくとも一つのピクセル点に指向する電子を隣接するピクセル点から遮蔽する前記ピクセル点に整合するパターンをもつものである陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイ装置。４８．観察方向から見たときに像を表示すための複数のピクセルの点をもつ、陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイの装置の製造方法で：陽極および一以上の陰極の間で電子の通過のための孔を規定する少なくとも一つのスペーサ板を製作するステップであり、そこにおいて、予め定められた数のひとつ以上のピクセル点は前記一つの孔に対応し、前記製造ステップは前記少なくとも一つのスペーサ板に導電性のフィルムを付着するステップを含むステップと；格子ワイヤのアレイを少なくとも一つのスペーサ板上に格子電極の追加のセットとして働くために合わせて付着させ、前記格子電極の各々のセット中の電極が観察方向から見たときに他のセット中の格子電極と重なるようにするものである合わせ付着ステップと；発光手段をもち少なくともひとつのスペーサ板におけるピクセル点を規定する面板を前記ピクセル点が交差点で一致するように合わせて接続するステップと；背板を少なくとも一つのスペーサ板に結合し前記背板に陰極フィラメントを接続するステップで：孔のパターンをもつ基盤層の提供ステップと；前記基盤層のミクロ摩擦の噴射加工および化学エッチングステップとを含む背板とスペーサ板の接続ステップを含む陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイの装置の製造方法。４９．請求項４８記載の方法において、前記ミクロ研磨の噴射加工または化学エッチングは孔の表面が実質的に平面になるように行われる陰極線ルミネセンス視覚ディスプレイの製造方法。