JPWO2020154310A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. データ収集システムを備えた、パルス状電圧波形を制御するためのフィードバックループであって、
   第１の入力電圧波形から第１の調整電圧波形を生成するように構成された第１の調整回路を含む第１の入力チャネル、及び
   高速データ収集モジュールであって、
   前記第１の入力チャネルの前記第１の調整回路に電気的に連結され、前記第１の調整電圧波形から第１のデジタル化電圧波形を生成するように構成された第１の収集チャネルと、
   前記第１のデジタル化電圧波形を分析することによって、前記第１の調整電圧波形の１つ又は複数の波形特性を決定するように構成されたデータ収集コントローラと
   を含む高速データ収集モジュール
   を備えている、フィードバックループ。
2. 前記高速データ収集モジュールによって処理された前記第１の調整電圧波形に関する情報を処理するように構成されたフィードバックプロセッサをさらに備えている、請求項１に記載のフィードバックループ。
3. 前記フィードバックプロセッサが、データ通信インターフェースを介して前記高速データ収集モジュールに接続された外部プロセッサ、前記高速データ収集モジュール内に統合された内部プロセッサ、又は前記データ通信インターフェースを介して前記高速データ収集モジュールに接続された、基板処理チャンバのためのコントローラのうちの１つである、請求項２に記載のフィードバックループ。
4. 前記パルス状電圧波形が、プラズマ処理チャンバ内に配置された基板支持アセンブリ内に配置されたバイアス電極に電気的に連結されたパルス状電圧波形発生器によって確立される、請求項１に記載のフィードバックループ。
5. 前記パルス状電圧波形発生器が、発生器連結アセンブリを使用して、電気導体を介して前記バイアス電極に電気的に連結され、前記第１の入力チャネルの入力端が、前記発生器連結アセンブリの端部に電気的に連結されている、請求項４に記載のフィードバックループ。
6. 命令を含むメモリをさらに備え、前記命令は、前記高速データ収集モジュールによって実行されると、前記高速データ収集モジュールに、前記第１の調整電圧波形を処理させ、前記第１の調整電圧波形の１つ又は複数の波形特性を決定させる、請求項１に記載のフィードバックループ。
7. 命令を含むメモリを備えたフィードバックプロセッサをさらに備え、前記命令は、前記フィードバックプロセッサによって実行されると、前記フィードバックプロセッサに、前記第１の調整電圧波形の決定された前記１つ又は複数の波形特性を使用して、１つ又は複数の制御パラメータを生成させる、請求項６に記載のフィードバックループ。
8. 前記フィードバックプロセッサによって実行される前記命令は、前記フィードバックプロセッサに、生成された前記１つ又は複数の制御パラメータに関する情報をパルス状電圧波形発生器へと送信させるようにさらに構成されている、請求項７に記載のフィードバックループ。
9. 前記パルス状電圧波形発生器が、命令を含むメモリをさらに備え、前記命令は、前記パルス状電圧波形発生器によって実行されると、前記パルス状電圧波形発生器に、前記生成された１つ又は複数の制御パラメータに基づいて、調整されたパルス状電圧波形を確立させる、請求項８に記載のフィードバックループ。
10. 前記第１の入力電圧波形が、調整された第１の入力電圧波形であり、前記フィードバックプロセッサによって実行される前記命令は、前記フィードバックプロセッサに、
    前記第１の調整電圧波形の決定された前記１つ又は複数の波形特性がそれらの目標値又は限度に到達、
    ＤＣ充電電圧の最大限度に到達、
    最大電力限度に到達、
    アルゴリズム収束の最大時間限度に到達、
    パルス幅の最大限度に到達、及び
    パルス幅の最小限度に到達
    の少なくとも１つまで、前記１つ又は複数の制御パラメータを生成させるようにさらに構成されている、請求項９に記載のフィードバックループ。
11. 前記高速データ収集モジュールによって実行される前記命令は、前記高速データ収集モジュールに、
    前記第１の調整電圧波形の決定された前記１つ又は複数の波形特性に関する情報を第１のコントローラへと送信すること、及び
    前記第１のデジタル化電圧波形に関する情報を第２のコントローラへと送信すること
    のうちの少なくとも１つをさせるようにさらに構成されている、請求項６に記載のフィードバックループ。
12. 前記第１のコントローラが、基板処理チャンバのためのコントローラであり、前記第１のコントローラが、前記第１の調整電圧波形の決定された前記１つ又は複数の波形特性に関する情報に基づいて、前記基板処理チャンバのためのチャッキング電源のための設定点を調整するようにさらに構成されている、請求項１１に記載のフィードバックループ。
13. 前記第１の入力チャネルの前記第１の調整回路が、第１の分圧器を備えている、請求項１に記載のフィードバックループ。
14. 前記第１の分圧器が、第１の分圧器カスケード、及び第２の分圧器カスケードを備えている、請求項１３に記載のフィードバックループ。
15. 前記第１の分圧器カスケードが、約１対１０から約１対１００の範囲の分圧比を有し、前記第２の分圧器カスケードが、約１対２０から約１対１２０の範囲の分圧比を有する、請求項１４に記載のフィードバックループ。
16. 前記第１の入力チャネルの前記第１の調整回路が、第１のローパスフィルタを備えている、請求項１に記載のフィードバックループ。
17. 前記第１のローパスフィルタが、第１のフィルタカスケード及び第２のフィルタカスケードを備え、前記第１のローパスフィルタが、プラトー及びカットオフ周波数を含む周波数応答曲線を有する、請求項１６に記載のフィードバックループ。
18. 前記プラトーが、１ＭＨｚから約７ＭＨｚの間であり、前記カットオフ周波数が、約５ＭＨｚから約１０ＭＨｚの範囲内である、請求項１７に記載のフィードバックループ。
19. 基板処理チャンバのためのチャッキング電源のための設定点が、決定された前記１つ又は複数の波形特性に基づいて調整される、請求項１に記載のフィードバックループ。
20. データ収集システムを備えた、パルス状電圧波形を制御するためのフィードバックループであって、
    第１の入力電圧波形から第１の調整電圧波形を生成するように構成された第１の調整回路を備えた第１の入力チャネル、
    第２の入力電圧波形から第２の調整電圧波形を生成するように構成された第２の調整回路を備えた第２の入力チャネル、及び
    高速データ収集モジュールであって、
    前記第１の入力チャネルの前記第１の調整回路に電気的に連結され、前記第１の調整電圧波形から第１のデジタル化電圧波形を生成するように構成された第１の収集チャネルと、
    前記第２の入力チャネルの前記第２の調整回路に電気的に連結され、前記第２の調整電圧波形から第２のデジタル化電圧波形を生成するように構成された第２の収集チャネルと、
    前記第１のデジタル化電圧波形及び第２のデジタル化電圧波形のうちの少なくとも１つを分析することによって、前記第１の調整電圧波形及び前記第２の調整電圧波形のうちの少なくとも１つの１つ又は複数の波形特性を決定するように構成されたデータ収集コントローラと
    を備えた高速データ収集モジュール
    を備えている、フィードバックループ。