JP6842443B2 - プラズマ処理装置及びプラズマを生成する方法 - Google Patents
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Claims (10)
- チャンバと、
前記チャンバ内でガスからプラズマを生成するために、パルス状の高周波電力又は合成高周波電力を出力するように構成された高周波電源部であり、該合成高周波電力は、該パルス状の高周波電力と該パルス状の高周波電力に対する反射波に対して逆位相で振動する補正高周波電力との合成電力である、該高周波電源部と、
前記パルス状の高周波電力に対する前記反射波を表す反射波モニタ信号に対して逆位相で振動する補正信号を生成するよう構成された補正信号生成部と、
を備え、
前記高周波電源部は、第1の期間において前記パルス状の高周波電力を出力するように構成されており、
前記補正信号生成部は、前記第1の期間における前記反射波モニタ信号から前記補正信号を生成するように構成されており、
前記高周波電源部は、前記第1の期間の後の一以上の第2の期間の各々において、前記補正信号を用いて生成した前記合成高周波電力を出力するように構成されており、前記第1の期間における前記パルス状の高周波電力の出力と前記一以上の第2の期間における前記合成高周波電力の出力を交互に繰り返すように構成されている、
プラズマ処理装置。 - 前記高周波電源部から出力された前記パルス状の高周波電力及び前記合成高周波電力がその上で伝送される電気経路上に設けられた方向性結合器を更に備え、
前記補正信号生成部は、前記方向性結合器によって出力された前記反射波モニタ信号から前記補正信号を生成するよう構成されており、
前記高周波電源部は、
パルス状の高周波信号を発生するよう構成された高周波信号発生器と、
前記パルス状の高周波信号に前記補正信号を加算することにより合成高周波信号を生成するように構成された加算器と、
前記パルス状の高周波信号を増幅することにより前記パルス状の高周波電力を生成し、前記合成高周波信号を増幅することにより前記合成高周波電力を生成するように構成された増幅器と、
を有し、
前記第1の期間では、前記補正信号が前記パルス状の高周波信号に加算されない、
請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記補正信号生成部は、前記反射波モニタ信号の逆相信号を生成し、前記増幅器の入力信号の振幅に対する増幅率の依存性を解消するように前記逆相信号を補正することにより前記補正信号を生成するように構成されている、請求項2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1の期間及び前記一以上の第2の期間は、所定の周波数で規定される連続する複数の周期とそれぞれ同一の期間である、請求項1〜3の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 該プラズマ処理装置は、前記高周波電源部を第1の高周波電源部として備え、
下部電極を有し、前記チャンバの中で基板を支持するように構成された支持台と、
前記支持台に電気的に接続されており、別の高周波電力を出力するように構成された第2の高周波電源部であり、該別の高周波電力の周波数は、前記パルス状の高周波電力の周波数よりも低い、該第2の高周波電源部と、
前記別の高周波電力に同期した同期信号を発生するように構成された同期信号発生器と、
を更に備え、
前記第1の期間及び前記一以上の第2の期間は、前記別の高周波電力の連続する複数の周期とそれぞれ同一であり、
前記第1の高周波電源部は、前記同期信号に応じて前記第1の期間において前記パルス状の高周波電力を生成し、前記同期信号に応じて前記一以上の第2の期間の各々において前記合成高周波電力を生成するように構成されている、
請求項1〜3の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。 - プラズマ処理装置のチャンバ内でプラズマを生成する方法であって、
前記チャンバ内でガスからプラズマを生成するために、第1の期間においてパルス状の高周波電力を出力する工程と、
前記パルス状の高周波電力に対する反射波を表す反射波モニタ信号に対して逆位相で振動する補正信号を生成する工程と、
前記チャンバ内でガスからプラズマを生成するために、前記第1の期間の後の一以上の第2の期間の各々において、合成高周波電力を出力する工程であり、該合成高周波電力は、該パルス状の高周波電力と該パルス状の高周波電力に対する反射波に対して逆位相で振動する補正高周波電力との合成電力であり、前記補正信号を用いて生成される、該工程と、
を含み、
パルス状の高周波電力を出力する前記工程及び合成高周波電力を出力する前記工程は、前記第1の期間における前記パルス状の高周波電力の出力と前記一以上の第2の期間における前記合成高周波電力の出力が交互に繰り返されるように、実行される、
プラズマを生成する方法。 - 前記反射波モニタ信号は、前記パルス状の高周波電力及び前記合成高周波電力がその上で伝送される電気経路上に設けられた方向性結合器によって出力され、
前記補正信号は、前記方向性結合器によって出力された前記反射波モニタ信号からを生成され、
前記パルス状の高周波電力は、高周波信号発生器によって発生されるパルス状の高周波信号を増幅器によって加算することによって生成され、
前記合成高周波電力は、加算器によって前記パルス状の高周波信号に前記補正信号を加算することにより生成される合成高周波信号を前記増幅器によって増幅することにより生成され、
前記第1の期間では、前記補正信号が前記パルス状の高周波信号に加算されない、
請求項6に記載の方法。 - 前記補正信号は、前記反射波モニタ信号の逆相信号を生成し、前記増幅器の入力信号の振幅に対する増幅率の依存性を解消するように前記逆相信号を補正することによりを生成される、請求項7に記載の方法。
- 前記第1の期間及び前記一以上の第2の期間は、所定の周波数で規定される連続する複数の周期とそれぞれ同一の期間である、請求項6〜8の何れか一項に記載の方法。
- 前記プラズマ処理装置は、
前記パルス状の高周波電力又は前記合成高周波電力を出力するように構成された第1の高周波電源部と、
下部電極を有し、前記チャンバの中で基板を支持するように構成された支持台と、
前記支持台に電気的に接続されており、別の高周波電力を出力するように構成された第2の高周波電源部であり、該別の高周波電力の周波数は、前記パルス状の高周波電力の周波数よりも低い、該第2の高周波電源部と、
前記別の高周波電力に同期した同期信号を発生するように構成された同期信号発生器と、
を更に備え、
前記第1の期間及び前記一以上の第2の期間は、前記別の高周波電力の連続する複数の周期とそれぞれ同一であり、
前記第1の高周波電源部は、前記同期信号に応じて前記第1の期間において前記パルス状の高周波電力を生成し、前記同期信号に応じて前記一以上の第2の期間の各々において前記合成高周波電力を生成するように構成されている、
請求項6〜8の何れか一項に記載の方法。
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US11798790B2 (en) | 2020-11-16 | 2023-10-24 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11901157B2 (en) | 2020-11-16 | 2024-02-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11495470B1 (en) | 2021-04-16 | 2022-11-08 | Applied Materials, Inc. | Method of enhancing etching selectivity using a pulsed plasma |
US11948780B2 (en) | 2021-05-12 | 2024-04-02 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11791138B2 (en) | 2021-05-12 | 2023-10-17 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11810760B2 (en) | 2021-06-16 | 2023-11-07 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method of ion current compensation |
US11569066B2 (en) | 2021-06-23 | 2023-01-31 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage source for plasma processing applications |
US11776788B2 (en) | 2021-06-28 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage boost for substrate processing |
US11476090B1 (en) | 2021-08-24 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Voltage pulse time-domain multiplexing |
US11694876B2 (en) * | 2021-12-08 | 2023-07-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for delivering a plurality of waveform signals during plasma processing |
US20230230806A1 (en) * | 2022-01-05 | 2023-07-20 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for processing a substrate |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS629705A (ja) | 1985-07-05 | 1987-01-17 | Kawasaki Steel Corp | 金属材料の加工熱処理装置 |
EP0840350A2 (en) | 1996-11-04 | 1998-05-06 | Applied Materials, Inc. | Plasma apparatus and process with filtering of plasma sheath-generated harmonics |
JP3629705B2 (ja) | 1997-06-06 | 2005-03-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP4120051B2 (ja) * | 1998-07-31 | 2008-07-16 | 株式会社日立国際電気 | 高周波共振装置 |
JP3027572B1 (ja) * | 1998-12-24 | 2000-04-04 | 日本高周波株式会社 | プラズマ処理用インピーダンス測定装置 |
WO2005015964A1 (ja) * | 2003-08-07 | 2005-02-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP3998630B2 (ja) * | 2003-11-19 | 2007-10-31 | 株式会社東芝 | 電力増幅器 |
JP4879548B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2012-02-22 | 株式会社ダイヘン | 高周波電源装置 |
JP2007134849A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Nagano Japan Radio Co | 増幅装置 |
JP5210659B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2013-06-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP5319150B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-10-16 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP4891384B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2012-03-07 | 株式会社新川 | プラズマ発生装置 |
JP5484375B2 (ja) * | 2011-02-17 | 2014-05-07 | 三菱電機株式会社 | プラズマ成膜装置及びプラズマ成膜方法 |
JP2012174668A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Mitsubishi Electric Corp | 高周波電力供給装置、プラズマ処理装置、及び半導体薄膜の製造方法 |
JP5867701B2 (ja) * | 2011-12-15 | 2016-02-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP5808012B2 (ja) * | 2011-12-27 | 2015-11-10 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
US9462672B2 (en) * | 2012-02-22 | 2016-10-04 | Lam Research Corporation | Adjustment of power and frequency based on three or more states |
US9171700B2 (en) * | 2012-06-15 | 2015-10-27 | COMET Technologies USA, Inc. | Plasma pulse tracking system and method |
JP6202644B2 (ja) * | 2013-08-26 | 2017-09-27 | 株式会社日立国際電気 | プラズマ生成用電源装置 |
JP6512962B2 (ja) * | 2014-09-17 | 2019-05-15 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
KR101677748B1 (ko) * | 2014-10-29 | 2016-11-29 | 삼성전자 주식회사 | 펄스 플라즈마 장치 및 펄스 플라즈마 장치 구동 방법 |
CN105826154B (zh) | 2015-01-06 | 2017-12-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 针对脉冲射频电源的阻抗匹配方法及装置 |
JP6396822B2 (ja) * | 2015-02-16 | 2018-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置のサセプタの電位を制御する方法 |
US9741539B2 (en) * | 2015-10-05 | 2017-08-22 | Applied Materials, Inc. | RF power delivery regulation for processing substrates |
JP6541623B2 (ja) * | 2016-06-20 | 2019-07-10 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置、及び波形補正方法 |
WO2018038398A1 (ko) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | 한국전기연구원 | 펄스 전원 보상 장치 및 이를 포함하는 고전압 펄스 전원 시스템. |
KR102088602B1 (ko) * | 2016-09-28 | 2020-03-12 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 고주파 전원 장치 |
US10546724B2 (en) * | 2017-05-10 | 2020-01-28 | Mks Instruments, Inc. | Pulsed, bidirectional radio frequency source/load |
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