JP2016536651A - サイド領域を有するワイヤグリッド偏光子 - Google Patents
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Abstract
Description
1.以下の基板を設ける段階。
(a)入射光に対して十分に透過性を有する。
(b)基板の表面上に連続薄膜材料を有する。
2.基板及び薄膜をエッチングして、以下を形成する段階。
(a)基板の上に配置された互いに平行な細長い複数の中央リブのアレイ。複数の中央リブは下側の複数の第1の下部リブ及び複数の第1の上部リブを有している。
(b)複数のリブの間の、固形物のない複数の間隙。
3.基板及び複数の中央リブを材料層でコンフォーマルコーティングするとともに、複数のリブの間に固形物のない複数の間隙を保持する段階。
4.材料層をエッチングして複数の水平部分を取り除き、複数の中央リブの複数の側面に沿って鉛直の複数のサイドバーを残す段階。
1.入射光に対して十分に透過性を有する基板と、基板の上に配置された互いに平行な細長い複数の第1の下部リブのアレイとを設ける段階。
2.基板及び複数の第1の下部リブを材料層でコンフォーマルコーティングするとともに、複数の第1の下部リブの間に固形物のない複数の第1の間隙を保持する段階。
3.材料層をエッチングして複数の水平部分を取り除き、複数の第1の下部リブの複数の側面に沿って鉛直の複数のサイドバーを残す段階。
4.充填材料で、複数の第1の間隙を埋め戻し、連続して複数の第1の下部リブ及び複数のサイドバーの上方を充填する段階。充填材料は、複数の第1の下部リブと類似のエッチング特性を有している。
5.充填材料及び複数の第1の下部リブを、複数のサイドバーの上端の下方までエッチングして、複数のサイドバーの上端の間に固形物のない複数の第2の間隙を形成し、複数のサイドバーの間において複数の第1の下部リブと同列に複数の第2の下部リブを形成する段階。
6.上部材料で、複数の第2の間隙を埋め戻し、連続して複数のサイドバーの上方を充填する段階。
10:ワイヤグリッド偏光子
11:基板
12:第1の下部リブ
12b:第1の下部リブ12の下端
12t:第1の下部リブ12の上端面
12s:第1の下部リブ12の側面
13:第1の上部リブ
13t:第1の上部リブ13の上端
14:中央リブ
14s:中央リブ14の側面
15:サイドバー
15br:サイドバー15の下部領域
15t:サイドバー15の上端
15tr:サイドバー15の上部領域
16:各サイドバー15及び対応する中央リブ14と、隣接するサイドバー15及び対応する中央リブ15との間の間隙
20:ワイヤグリッド偏光子
24:サイドリブ
30:ワイヤグリッド偏光子
32:誘電体材料
40:ワイヤグリッド偏光子
42:第2の下部リブ
43:第2の上部リブ
53:薄膜
71:水平部分
75:材料層
96:第1の間隙
122:充填材料
136:第2の間隙
143:上部材料
160:ワイヤグリッド偏光子
161:ストリップ
161t:ストリップ161の上端
163:下部ワイヤ
165:上部ワイヤ
166:ストリップ161間の間隙
170:ワイヤグリッド偏光子
180:ワイヤグリッド偏光子
190:ワイヤグリッド偏光子
194:中心グループ
d:サイドバー15の上端15tの下方へのエッチング深さ
H:高さ
Th13:上部リブ13及び43の厚さ
Th15:サイドバー15の厚さ
Th161:ストリップ161の厚さ
W15:サイドバー15の幅
W75:材料層75の幅
W161:ストリップ161の幅
複数の光学構造に用いられる多くの材料は、ある程度の光を吸収し、ある程度の光を反射し、ある程度の光を透過する。以下の複数の定義は、主に吸収性、主に反射性、又は主に透過性を有する複数の材料又は複数の構造の間を区別することが意図されている。
1.本明細書に用いられたように、「吸収性」という用語は、対象波長の光を十分に吸収することを意味する。
(a)材料が「吸収性」を有するか否かは、偏光子に用いられる他の複数の材料と相対的である。従って、吸収性構造は、反射性構造 又は透過性構造 よりも十分に吸収する。
(b)材料が「吸収性」を有するか否かは、対象波長に依存する。材料は、1つの波長範囲において吸収性を有し得るが、別の波長範囲においては吸収性を有しないことがある。
(c)1つの態様において、吸収性構造は、40%を上回る対象波長の光を吸収し、60%を下回る対象波長の光を反射し得る(吸収性構造は光学的に厚い膜、すなわち表皮の厚さより厚いと仮定する)。
(d)複数の吸収性リブは、光の1つの偏光を選択的に吸収するために用いられ得る。
2.本明細書に用いられたように、「反射性」という用語は、対象波長において十分に光を反射することを意味する。
(a)材料が「反射性」を有するか否かは、偏光子に用いられる他の複数の材料と相対的である。従って、反射性構造は、吸収性構造又は透過性構造 よりも十分に反射する。
(b)材料が「反射性」を有するか否かは、対象波長に依存する。材料は、1つの波長範囲において反射性を有し得るが、別の波長範囲においては反射性を有しないことがある。いくつかの波長範囲では、複数の高反射性材料が効果的に利用され得る。他の複数の波長範囲、特に、材料劣化が生じる可能性がより高い低波長側では、材料の選択がより限られるので、光学設計者は、所望するより低い反射率の材料を受け入れる必要があり得る。
(c)1つの態様において、反射性構造は、80%を上回る対象波長の光を反射し、20%を下回る対象波長の光を吸収し得る(反射性構造は光学的に厚い膜、すなわち表皮の厚さより厚いと仮定する)。
(d)複数の金属が、反射性材料に用いられることが多い。
(e)複数の反射性ワイヤが、光の1つの偏光を、光の反対の偏光から分離するために用いられ得る。
3.本明細書に用いられたように、「透過性」という用語は、対象波長の光に対して十分に透過性を有することを意味する。
(a)材料が「透過性」を有する否かは、偏光子に用いられる他の複数の材料と相対的である。従って、透過性構造は、吸収性構造又は反射性構造よりも十分に透過する。
(b)材料が「透過性」を有するか否かは、対象波長に依存する。材料は、1つの波長範囲において透過性を有し得るが、別の波長範囲においては透過性を有しないことがある。
(c)1つの態様において、透過性構造は、90%を上回る対象波長の光を透過し、10%を下回る対象波長の光を吸収し得る。
4.これらの定義に用いられたように、「材料」という用語は、特定の構造の全体的な材料を指す。従って、「吸収性」を有する構造は、材料が反射性又は透過性の成分をいくらか含み得るとしても、全体として十分に吸収性を有する材料で作成される。従って、例えば、光を十分に吸収するように、十分な量の吸収性材料で作成されたリブは、その中に埋め込まれた反射性又は透過性の材料をいくらか含んでいるとしても、吸収性リブである。
5.本明細書に用いられたように、「光」という用語は、X線、紫外線、可視光線、及び/又は赤外線、又は電磁スペクトルの他の複数の領域における、光 又は電磁放射を意味する。
6.本明細書に用いられたように、「基板」という用語は、例えば、ガラスウェハなどの基材を含む。「基板」という用語は単一の材料を含み、また、複数の材料、例えば、基材として共に用いられるウェハ表面に少なくとも1つの薄膜を有するガラスウェハなども含む。
1.以下の基板11を設ける段階(図5を参照)。
(a)基板は、入射光に対する十分な透過性を有し得る。本明細書で説明された複数の作成方法では、「基板」という用語は単一の材料であり得るか、又は、例えば、ウェハの表面に少なくとも1つの薄膜を有するガラスウェハなど、複数の層の材料であり得る。
(b)基板は、基板の表面上に連続薄膜53の材料を有し得る。薄膜は、化学気相成長又は物理気相成長を含む様々な方法によって、設けられ得る。薄膜53は、誘電体材料、金属、又は他の材料であり得る。薄膜53は、偏光子の所望の用途、偏光子製造の複数の他の材料、及び全体的な偏光子設計に応じて、入射光を十分に透過、十分に反射、又は十分に吸収し得る。
2.基板11及び薄膜53をエッチングして、以下を形成する段階(図6を参照)。
(a)基板11の上に配置された互いに平行な細長い複数の中央リブ14のアレイ。複数の中央リブ14は、複数の第1の下部リブ12の上に配置された複数の第1の上部リブ13を有する。
(b)複数のリブ14の間の固形物のない複数の間隙16。図5に示された元の基板が上端に材料層を有する基板であり、複数の第1の下部リブ12がこの上端の層にエッチングされた場合、図6の複数の第1の下部リブ12は、図6の基板11と異なる材料であり得る。例えば、基板11がもともと二酸化チタンの層を有する二酸化ケイ素であり、二酸化チタン層を貫いてエッチングが行われた場合には、残っている基板11は二酸化ケイ素であり得て、複数の第1の下部リブ12は二酸化チタンのみ、又は、二酸化チタンの上部領域及び二酸化ケイ素の下部領域であり得る。
3.基板11及び複数の中央リブ14を材料層75でコンフォーマルコーティング(例えば、原子層堆積)するとともに、複数のリブ14の間に固形物のない複数の間隙16を保持する段階(図7を参照)。「固形物のない複数の間隙16を保持する」とは、複数の第1の下部リブ12の間に固形物のない領域が残り得ることを意味するが、当然、複数の間隙16のサイズは、加えられた材料層75によって縮小されることに留意されたい。材料層75は、段階4で説明される最終的な複数のサイドバー15の所望の材料であり得る。
4.材料層75をエッチングして複数の水平部分71を取り除き、複数の中央リブ14の複数の側面に沿って鉛直の複数のサイドバー15を残す段階(図7〜図8を参照)。複数の水平部分71を取り除くとともに、鉛直の複数のサイドバー15を残すべく、エッチングは異方性エッチングであり得る。次の段階5〜6はワイヤグリッド偏光子の耐久性を向上させるために行われ得るか、又は、さもなければ偏光子性能に影響を及ぼすべく行われる。
5.複数の間隙16を埋め戻し、複数のサイドリブ24を形成する段階(図2を参照)。
(a)埋め戻しは、含まれた溶媒を蒸発させた後に硬化し得る液体を回転塗布することによって行われ得る。例えば、溶媒中の液状ガラスを回転塗布し、次にベークして溶媒を蒸発させる。例えば、原子層堆積(ALD)の使用によって複数の層を設けるなど、他の複数の埋め戻し方法が用いられ得る。
(b)図2の構造は、複数の中央リブ14及び複数のサイドバー15の上方を、複数のサイドリブ24の所望の材料で埋め戻し、次に複数の中央リブ14及び複数のサイドバー15の上端までエッチングし、これにより別個の複数のサイドリブ24を形成することによって形成され得る。
6.複数の中央リブ14及び複数のサイドバー15の上方を誘電体材料32で埋め戻す段階(図3を参照)。
(a)誘電体材料32は、複数のサイドリブ24の材料と同じ材料であり得るか、又は複数のサイドリブ24の材料と異なり得る。
(b)誘電体材料32が複数のサイドリブ24の材料と同じ材料である場合には、誘電体材料32は、複数の間隙16を充填する段階と同じ製造段階で設けられ得る。例えば、液体材料が、複数の間隙16及び複数の中央リブ14の上方を両方とも充填し得て、次に液体は加熱されて固まり硬化し得る。
(c)誘電体材料32が、複数のサイドリブ24と異なる材料である場合には、この誘電体材料32の層を、複数の中央リブ14及び複数のサイドリブ24の上方に設けるために、化学気相成長又は物理気相成長が用いられ得る。
(d)誘電体材料32が最終的な偏光子の一部になる場合には、透過性誘電体材料を使用することが好ましい場合がある。なぜならば、吸収性誘電体材料の連続層は、p偏光の吸収率を不必要に増やし得るからである。
1.基板11の上に配置された互いに平行な細長い複数の第1の下部リブ12のアレイを有する基板11を設ける段階(図9を参照)。複数の第1の下部リブ12の間には、固形物のない複数の第1の間隙96が存在し得る。基板11及び複数の第1の下部リブ12は、本明細書の他の複数のセクションで説明されたように、複数の特性を有し得る。基板11自体、又は基板11の上端の材料層は、パターニング及びエッチングをされて、複数の第1の下部リブ12を形成し得る。
2.基板及び複数の第1の下部リブ12を、材料層75でコンフォーマルコーティングするとともに、複数の第1の下部リブ12の間に複数の第1の間隙96を保持する段階(図10を参照)。「複数の第1の間隙96を保持する」とは、複数の第1の下部リブ12の間に固形物のない領域が残り得ることを意味するが、当然、複数の第1の間隙96のサイズは、加えられた材料層75によって縮小されることに留意されたい。材料層75は、段階3で説明される最終的な複数のサイドバー15の所望の材料であり得る。
3.材料層75をエッチングして複数の水平部分71を取り除き、複数の第1の下部リブ12の複数の側面に沿って鉛直の複数のサイドバー15を残す段階(図11を参照)。複数の水平部分71を取り除くとともに、鉛直の複数のサイドバー15を残すべく、エッチングは異方性エッチングであり得る。
4.充填材料122で、複数の第1の間隙96を埋め戻し、連続して複数の第1の下部リブ12及び複数のサイドバー15の上方を充填する段階(図12を参照)。充填材料122は、複数の第1の下部リブ12と類似のエッチング特性を有し得る。充填材料122で埋め戻すことは、含まれた溶媒を蒸発させた後に硬化し得る液体を回転塗布することによって行われ得る。例えば、溶媒中の液状ガラスを回転塗布し、次にベークして溶媒を蒸発させる。例えば、原子層堆積(ALD)の使用によって複数の層を設けるなど、他の複数の埋め戻し方法が用いられ得る。
5.充填材料122及び複数の第1の下部リブ12を、複数のサイドバー15の上端15tの下方までエッチングして、複数のサイドバー15の上部領域15trにおいて固形物のない複数の第2の間隙136を形成し、複数のサイドバー15と複数の第1の下部リブ12との間において、複数の第1の下部リブ12と同列に(複数のサイドバー15の下部領域15brにおいて)複数の第2の下部リブ42を形成する段階(図13を参照)。
(a)エッチングは、複数のサイドバー15のエッチングを最小限にして、充填材料122及び複数の第1の下部リブ12を優先的にエッチングするよう選択され得る。
(b)複数の第2の下部リブ42は、以前の固形物のない複数の第1の間隙96の位置に形成され得る。
(c)複数の第1の下部リブ12及び複数の第2の下部リブ42は、複数の第1の下部リブ12と比べて類似した充填材料122のエッチング特性に起因して、ほぼ同じ高さHまでエッチングされ得る。
(d)複数のサイドバー15の上端15tの下方へのエッチング深さdは、次の複数の段階に説明される複数の上部リブ13及び43の厚さTh13とほぼ同等であり得る。例えば、複数のサイドバー15の上端15tの下方へのエッチング深さd、複数の第1の上部リブ13の厚さTh13、及び/又は複数の第2の上部リブ43の厚さTh13は、1つの態様において少なくとも5nm、別の態様において少なくとも10nm、別の態様において少なくとも25nm、又は別の態様において少なくとも75nmであり得る。
(e)充填材料122及び複数の第2の下部リブ42は、入射光を十分に透過、十分に反射、又は十分に吸収する材料であり得る。
6.上部材料143で、複数の第2の間隙136を埋め戻し、連続して複数のサイドバー15の上端15tの上方を充填する段階(図14を参照)。埋め戻しは、上記段階4で説明されたものと類似の方法によって行われ得る。
7.上部材料143を、少なくとも複数のサイドバー15の上端15tまでエッチングして、複数の第1の下部リブ12の上方、及び複数の第2の下部リブ42の上方に、互いに平行な細長い複数の上部リブ13及び43のアレイを形成する段階(図15を参照)。複数の第1の上部リブ13は複数の第1の下部リブ12の上に、複数の第2の上部リブ43は複数の第2の下部リブ42の上に配置され得る。複数のサイドバー15は、複数の第1の下部リブ12を複数の第2の下部リブ42から分離し得て、複数の第1の上部リブ13を複数の第2の上部リブ43から分離し得る。
1.基板11の上に配置された互いに平行な細長い複数の第1の下部リブ12のアレイを有する基板11を設ける段階。図9を参照。
2.基板11及び複数の第1の下部リブ12を、第1の材料でコンフォーマルコーティングする(例えば、原子層堆積によるなど)とともに、複数の第1の下部リブ12の間に固形物のない複数の第1の間隙96を保持する段階。この段階は、図10に示された製造段階と類似している。
3.第1の材料をエッチングして複数の水平部分を取り除き、複数の中央リブ14の複数の側面に沿って複数の下部ワイヤ163を残す段階。複数の下部ワイヤ163を、複数の第1の下部リブ12の上端12tの下方に、連続してエッチングする。
4.レジストを塗布し、複数の下部ワイヤ163の上方に複数の開口部を設けるべくパターニングする段階。
5、第2の材料を設ける段階。
6.第2の材料をエッチングして複数の水平部分を取り除き、複数の第1の下部リブ12の複数の側面に沿って、複数の下部ワイヤ163の上方に複数の上部ワイヤ165を残す段階。
7.レジストを除去する段階。
(項目1)
(a)入射光に対して十分な透過性を有する基板と、
(b)上記基板の上に配置され、上記基板に連結された下端、上記下端の反対にある上端面、及び両側面を有する、互いに平行な細長い複数の第1の下部リブのアレイと、
(c)それぞれの第1の下部リブが対応する第1の上部リブと組み合わされて、複数の中央リブのアレイを画定するように、上記複数の第1の下部リブの上記上端面の上に配置された互いに平行な細長い複数の第1の上部リブのアレイと、
(d)上記複数の中央リブのそれぞれの各側面に沿って配置されたサイドバーを含む、細長い複数のサイドバーのアレイと、
(e)それぞれのサイドバー及び対応する中央リブと、隣接するサイドバー及び対応する中央リブとの間の間隙と、
を備え、
(f)上記複数の第1の下部リブ、複数の第1の上部リブ、及び複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に反射する、
ワイヤグリッド偏光子。
(項目2)
上記複数の第1の下部リブ、複数の第1の上部リブ、及び複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
項目1に記載の偏光子。
(項目3)
上記複数の第1の下部リブ、複数の第1の上部リブ、及び複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に透過する、
項目1に記載の偏光子。
(項目4)
上記複数のサイドバーは、上記複数の中央リブの各側面に沿って、実質的に上記複数の第1の下部リブの上記下端から、上記複数の第1の上部リブの上端まで延在する、
項目1に記載の偏光子。
(項目5)
複数の上記間隙を十分に充填する複数のサイドリブをさらに備える、
項目1に記載の偏光子。
(項目6)
上記複数のサイドリブは、誘電体材料を含み、上記誘電体材料は、複数の上記間隙から、上記複数の中央リブ及び上記複数のサイドバーの上端の上方及び上に延在する、
項目5に記載の偏光子。
(項目7)
上記複数の第1の下部リブ、複数の第1の上部リブ、複数のサイドバー、及び複数のサイドリブのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
項目5に記載の偏光子。
(項目8)
(a)上記複数のサイドリブは、複数の第2の下部リブの上に配置された複数の第2の上部リブを有し、
(b)上記複数の第2の下部リブ又は複数の第2の上部リブの一方は入射光を十分に透過し、上記複数の第2の下部リブ又は複数の第2の上部リブの他方は入射光を十分に吸収し、
(c)上記複数のサイドバーは、上記複数の第1の下部リブを上記複数の第2の下部リブから分離し、上記複数の第1の上部リブを上記複数の第2の上部リブから分離する、
項目5に記載の偏光子。
(項目9)
上記偏光子は、400nmから700nmまでの光波長において、光の1つの偏光の90%を透過し、光の反対の偏光の80%を吸収する、
項目1に記載の偏光子。
(項目10)
上記複数のサイドバーのアスペクト比は、8と60との間である、
項目1に記載の偏光子。
(項目11)
上記複数のサイドバーは、5nmと20nmとの間の幅、及び150nmと300nmとの間の厚さを有する、
項目1に記載の偏光子。
(項目12)
(a)入射光に対して十分な透過性を有する基板と、
(b)上記基板の上に配置され、両側面を有する、互いに平行な細長い複数の第1の下部リブのアレイと、
(c)上記複数の第1の下部リブの各側面に沿って配置され、そこに接するサイドバーを含む、上記基板の上に配置された細長い複数のサイドバーのアレイと、
(d)中心グループを画定する、それぞれの第1の下部リブ及び複数のサイドバーの組と、
(e)隣接する複数の中心グループの間に配置され、かつそれに接するサイドリブを含む、上記基板の上に配置された細長い複数のサイドリブのアレイと、
を備え、
(f)上記複数の第1の下部リブ、複数のサイドバー、及び複数のサイドリブのうち少なくとも1つは、入射光を十分に反射し、
(g)上記複数の第1の下部リブ、複数のサイドバー、及び複数のサイドリブのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
ワイヤグリッド偏光子。
(項目13)
ワイヤグリッド偏光子を作成する第1の方法であって、以下の複数の段階、すなわち、
(a)以下の基板、つまり
(i)入射光に対して十分に透過性を有し、
(ii)上記基板の表面上に連続薄膜の材料を有する、
上記基板を設ける段階と、
(b)上記基板及び上記薄膜の材料をエッチングして、
(i)複数の第1の下部リブの上に配置された複数の第1の上部リブを含む、上記基板の上に配置された互いに平行な細長い複数の中央リブのアレイと、
(ii)複数のリブの間の固形物のない複数の間隙と、
を形成する段階と、
(c)上記基板及び上記複数の中央リブを、材料層でコンフォーマルコーティングするとともに、上記複数のリブの間に固形物のない上記複数の間隙を保持する段階と、
(d)上記材料層をエッチングして複数の水平部分を取り除き、上記複数の中央リブの複数の側面に沿って鉛直の複数のサイドバーを残す段階と、
を順番に備え、
上記複数の第1の下部リブ、上記複数の第1の上部リブ、及び上記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に反射する、
第1の方法。
(項目14)
上記材料層を上記エッチングする段階の後に以下の段階、つまり、上記複数の間隙を誘電体材料で埋め戻し、上記複数の間隙に複数のサイドリブを形成する段階をさらに備える、
項目13に記載の第1の方法。
(項目15)
上記複数の間隙を誘電体材料で埋め戻す段階は、上記複数の中央リブ及び上記複数のサイドバーの上方を上記誘電体材料で埋め戻す段階をさらに含み、上記誘電体材料は入射光を十分に透過する、
項目14に記載の第1の方法。
(項目16)
上記複数の第1の下部リブ、上記複数の第1の上部リブ、及び鉛直の上記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
項目13に記載の第1の方法。
(項目17)
ワイヤグリッド偏光子を作成する第2の方法であって、以下の複数の段階、すなわち、
(a)基板の上に配置された互いに平行な細長い複数の第1の下部リブのアレイを有し、上記複数の第1の下部リブの間に固形物のない複数の第1の間隙を有する上記基板を設ける段階であって、上記基板及び上記複数の第1の下部リブは入射光を十分に透過する、段階と、
(b)上記基板及び上記複数の第1の下部リブを、材料層でコンフォーマルコーティングするとともに、上記複数の第1の下部リブの間に上記複数の第1の間隙を保持する段階と、
(c)上記材料層をエッチングして複数の水平部分を取り除き、上記複数の第1の下部リブの複数の側面に沿って鉛直の複数のサイドバーを残す段階と、
(d)充填材料で、上記複数の第1の間隙を埋め戻し、連続して上記複数の第1の下部リブ及び上記複数のサイドバーの上方を充填する段階であって、上記充填材料は、上記複数の第1の下部リブと類似のエッチング特性を有する、段階と、
(e)上記充填材料及び上記複数の第1の下部リブを、上記複数のサイドバーの上端の下方までエッチングして、上記複数のサイドバーの上部領域に固形物のない複数の第2の間隙を形成し、上記複数のサイドバーと上記複数の第1の下部リブとの間において上記複数の第1の下部リブと同列に複数の第2の下部リブを形成する段階であって、上記複数の第1の下部リブ、上記複数の第2の下部リブ、及び上記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に反射する、段階と、
(f)上部材料で、上記複数の第2の間隙を埋め戻し、連続して上記複数のサイドバーの上記上端の上方を充填する段階と、
を順番に備える、
第2の方法。
(項目18)
上記複数の第1の下部リブ、上記複数の第2の下部リブ、及び上記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
項目17に記載の第2の方法。
(項目19)
上記複数の第2の間隙を埋め戻した後に以下の段階、つまり、上記上部材料を、少なくとも上記複数のサイドバーの上記上端までエッチングして、上記複数の第1の下部リブの上方、及び上記複数の第2の下部リブの上方に、上記複数の第1の下部リブの上の複数の第1の上部リブ、及び上記複数の第2の下部リブの上の複数の第2の上部リブを含む、互いに平行な細長い複数の上部リブのアレイを形成する段階であって、上記複数のサイドバーは、上記複数の第1の下部リブを上記複数の第2の下部リブから、また上記複数の第1の上部リブを上記複数の第2の上部リブから分離する、段階をさらに備える、
項目17に記載の第2の方法。
(項目20)
上記複数の第1の下部リブ、上記複数の第1の上部リブ、上記複数の第2の下部リブ、上記複数の第2の上部リブ、及び上記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
項目19に記載の第2の方法。
Claims (20)
- (a)入射光に対して十分な透過性を有する基板と、
(b)前記基板の上に配置され、前記基板に連結された下端、前記下端の反対にある上端面、及び両側面を有する、互いに平行な細長い複数の第1の下部リブのアレイと、
(c)それぞれの第1の下部リブが対応する第1の上部リブと組み合わされて、複数の中央リブのアレイを画定するように、前記複数の第1の下部リブの前記上端面の上に配置された互いに平行な細長い複数の第1の上部リブのアレイと、
(d)前記複数の中央リブのそれぞれの各側面に沿って配置されたサイドバーを含む、細長い複数のサイドバーのアレイと、
(e)それぞれのサイドバー及び対応する中央リブと、隣接するサイドバー及び対応する中央リブとの間の間隙と、
を備え、
(f)前記複数の第1の下部リブ、複数の第1の上部リブ、及び複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に反射する、
ワイヤグリッド偏光子。 - 前記複数の第1の下部リブ、複数の第1の上部リブ、及び複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
請求項1に記載の偏光子。 - 前記複数の第1の下部リブ、複数の第1の上部リブ、及び複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に透過する、
請求項1に記載の偏光子。 - 前記複数のサイドバーは、前記複数の中央リブの各側面に沿って、実質的に前記複数の第1の下部リブの前記下端から、前記複数の第1の上部リブの上端まで延在する、
請求項1に記載の偏光子。 - 複数の前記間隙を十分に充填する複数のサイドリブをさらに備える、
請求項1に記載の偏光子。 - 前記複数のサイドリブは、誘電体材料を含み、前記誘電体材料は、複数の前記間隙から、前記複数の中央リブ及び前記複数のサイドバーの上端の上方及び上に延在する、
請求項5に記載の偏光子。 - 前記複数の第1の下部リブ、複数の第1の上部リブ、複数のサイドバー、及び複数のサイドリブのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
請求項5に記載の偏光子。 - (a)前記複数のサイドリブは、複数の第2の下部リブの上に配置された複数の第2の上部リブを有し、
(b)前記複数の第2の下部リブ又は複数の第2の上部リブの一方は入射光を十分に透過し、前記複数の第2の下部リブ又は複数の第2の上部リブの他方は入射光を十分に吸収し、
(c)前記複数のサイドバーは、前記複数の第1の下部リブを前記複数の第2の下部リブから分離し、前記複数の第1の上部リブを前記複数の第2の上部リブから分離する、
請求項5に記載の偏光子。 - 前記偏光子は、400nmから700nmまでの光波長において、光の1つの偏光の90%を透過し、光の反対の偏光の80%を吸収する、
請求項1に記載の偏光子。 - 前記複数のサイドバーのアスペクト比は、8と60との間である、
請求項1に記載の偏光子。 - 前記複数のサイドバーは、5nmと20nmとの間の幅、及び150nmと300nmとの間の厚さを有する、
請求項1に記載の偏光子。 - (a)入射光に対して十分な透過性を有する基板と、
(b)前記基板の上に配置され、両側面を有する、互いに平行な細長い複数の第1の下部リブのアレイと、
(c)前記複数の第1の下部リブの各側面に沿って配置され、そこに接するサイドバーを含む、前記基板の上に配置された細長い複数のサイドバーのアレイと、
(d)中心グループを画定する、それぞれの第1の下部リブ及び複数のサイドバーの組と、
(e)隣接する複数の中心グループの間に配置され、かつそれに接するサイドリブを含む、前記基板の上に配置された細長い複数のサイドリブのアレイと、
を備え、
(f)前記複数の第1の下部リブ、複数のサイドバー、及び複数のサイドリブのうち少なくとも1つは、入射光を十分に反射し、
(g)前記複数の第1の下部リブ、複数のサイドバー、及び複数のサイドリブのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
ワイヤグリッド偏光子。 - ワイヤグリッド偏光子を作成する第1の方法であって、以下の複数の段階、すなわち、
(a)以下の基板、つまり
(i)入射光に対して十分に透過性を有し、
(ii)前記基板の表面上に連続薄膜の材料を有する、
前記基板を設ける段階と、
(b)前記基板及び前記薄膜の材料をエッチングして、
(i)複数の第1の下部リブの上に配置された複数の第1の上部リブを含む、前記基板の上に配置された互いに平行な細長い複数の中央リブのアレイと、
(ii)複数のリブの間の固形物のない複数の間隙と、
を形成する段階と、
(c)前記基板及び前記複数の中央リブを、材料層でコンフォーマルコーティングするとともに、前記複数のリブの間に固形物のない前記複数の間隙を保持する段階と、
(d)前記材料層をエッチングして複数の水平部分を取り除き、前記複数の中央リブの複数の側面に沿って鉛直の複数のサイドバーを残す段階と、
を順番に備え、
前記複数の第1の下部リブ、前記複数の第1の上部リブ、及び前記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に反射する、
第1の方法。 - 前記材料層を前記エッチングする段階の後に以下の段階、つまり、前記複数の間隙を誘電体材料で埋め戻し、前記複数の間隙に複数のサイドリブを形成する段階をさらに備える、
請求項13に記載の第1の方法。 - 前記複数の間隙を誘電体材料で埋め戻す段階は、前記複数の中央リブ及び前記複数のサイドバーの上方を前記誘電体材料で埋め戻す段階をさらに含み、前記誘電体材料は入射光を十分に透過する、
請求項14に記載の第1の方法。 - 前記複数の第1の下部リブ、前記複数の第1の上部リブ、及び鉛直の前記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
請求項13に記載の第1の方法。 - ワイヤグリッド偏光子を作成する第2の方法であって、以下の複数の段階、すなわち、
(a)基板の上に配置された互いに平行な細長い複数の第1の下部リブのアレイを有し、前記複数の第1の下部リブの間に固形物のない複数の第1の間隙を有する前記基板を設ける段階であって、前記基板及び前記複数の第1の下部リブは入射光を十分に透過する、段階と、
(b)前記基板及び前記複数の第1の下部リブを、材料層でコンフォーマルコーティングするとともに、前記複数の第1の下部リブの間に前記複数の第1の間隙を保持する段階と、
(c)前記材料層をエッチングして複数の水平部分を取り除き、前記複数の第1の下部リブの複数の側面に沿って鉛直の複数のサイドバーを残す段階と、
(d)充填材料で、前記複数の第1の間隙を埋め戻し、連続して前記複数の第1の下部リブ及び前記複数のサイドバーの上方を充填する段階であって、前記充填材料は、前記複数の第1の下部リブと類似のエッチング特性を有する、段階と、
(e)前記充填材料及び前記複数の第1の下部リブを、前記複数のサイドバーの上端の下方までエッチングして、前記複数のサイドバーの上部領域に固形物のない複数の第2の間隙を形成し、前記複数のサイドバーと前記複数の第1の下部リブとの間において前記複数の第1の下部リブと同列に複数の第2の下部リブを形成する段階であって、前記複数の第1の下部リブ、前記複数の第2の下部リブ、及び前記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に反射する、段階と、
(f)上部材料で、前記複数の第2の間隙を埋め戻し、連続して前記複数のサイドバーの前記上端の上方を充填する段階と、
を順番に備える、
第2の方法。 - 前記複数の第1の下部リブ、前記複数の第2の下部リブ、及び前記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
請求項17に記載の第2の方法。 - 前記複数の第2の間隙を埋め戻した後に以下の段階、つまり、前記上部材料を、少なくとも前記複数のサイドバーの前記上端までエッチングして、前記複数の第1の下部リブの上方、及び前記複数の第2の下部リブの上方に、前記複数の第1の下部リブの上の複数の第1の上部リブ、及び前記複数の第2の下部リブの上の複数の第2の上部リブを含む、互いに平行な細長い複数の上部リブのアレイを形成する段階であって、前記複数のサイドバーは、前記複数の第1の下部リブを前記複数の第2の下部リブから、また前記複数の第1の上部リブを前記複数の第2の上部リブから分離する、段階をさらに備える、
請求項17に記載の第2の方法。 - 前記複数の第1の下部リブ、前記複数の第1の上部リブ、前記複数の第2の下部リブ、前記複数の第2の上部リブ、及び前記複数のサイドバーのうち少なくとも1つは、入射光を十分に吸収する、
請求項19に記載の第2の方法。
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