JP2020056903A - 偏光素子、偏光素子の製造方法、液晶装置、および電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
(偏光素子1の構成)
図1は、本発明の実施形態1に係る偏光素子1の一態様を示す説明図である。図2は、図1に示す金属部31等を拡大して示す断面図である。なお、図1には、光吸収部41、およびシリコン酸化膜6の図示を省略してある。図1および図2に示す偏光素子1は、透光性の基板2と、基板2の一方面2aに形成された複数の金属部31とを有するワイヤーグリッド偏光素子である。複数の金属部31は、等ピッチで一方向(Y方向)に延在してワイヤーグリッドを形成している。本実施形態において、複数の金属部31は、互いに平行に並列している。
図3は、図2に示す偏光素子1の製造方法の一態様を示す工程断面図である。なお、偏光素子1を製造するにあたっては、基板2より大型のマザー基板の状態で以下の工程が行われるが、以下の説明では、サイズにかかわらず、基板2として説明する。
図4は、図2に示す偏光素子1等の光学特性を示す説明図であり、図4には、光学特性として、p偏光の光の反射率Rp、p偏光の光の透過率Tp、s偏光の光の反射率Rs、およびs偏光の光の透過率Tsを周波数特性として示してある。また、図4には、図3の第1エッチング工程ST3を終了した時点での偏光素子1の光学特性(a)、図3の第2成膜工程ST4を終了した時点での偏光素子1の光学特性(b)、および図3の第2エッチング工程ST5を終了した時点での偏光素子1の光学特性(c)を示してある。また、以下に説明するp偏光の光の透過率Tp、コントラスト比CR、およびs偏光の光の反射率Rsはいずれも、波長500nmから590nmの光に対する平均値である。コントラスト比CRの値は大きい方が好ましい。また、本実施形態では、p偏光の光の透過率Tpは大きい方が好ましく、s偏光の光の反射率Rsの値は小さい方が好ましい。
図5は、本発明の参考例に係る偏光素子1の説明図である。なお、図5に示す構成要素のうち、図2および図3を参照して説明した本発明の実施形態1の構成要素と対応する部分には同一の符号を付して図示し、それらの説明を省略する。図6は、図5に示す偏光素子1等の光学特性を示す説明図であり、図6には、図5のパターニング工程ST12を終了した時点での偏光素子1の光学特性(a)、および図5の成膜工程ST13を終了した時点での偏光素子1の光学特性(b)を示してある。
このように、参考例に示す態様では、金属部31の側面310をシリコン酸化膜6で覆うには、偏光素子1の全面にシリコン酸化膜6を形成することになるので、光学特性が低下する。このため、参考例においてシリコン酸化膜6を形成した場合の光学特性と、本発明の実施形態1においてシリコン酸化膜6を形成した場合の光学特性とを比較すると、本発明の実施形態1においてシリコン酸化膜6を形成した場合の方が、p偏光の光の透過率Tp、およびコントラスト比CRが高く、s偏光の光の反射率Rsが低い。それ故、本実施形態によれば、金属部31の側面310にシリコン酸化膜6を設けることによって、金属部31の水分による腐食を防止した場合でも、優れた光学特性を発揮する。また、本実施形態によれば、シリコン酸化膜6は、第2成膜工程ST4で成膜した膜であるため、金属部31を構成する材質にかかわらず、金属部31の側面310に設けることができる。
図7は、本発明の実施形態2に係る偏光素子1の説明図であり、金属部31等を拡大して示す断面図である。図8は、図7に示す偏光素子1の製造方法の一態様を示す工程断面図である。図9は、図7に示す偏光素子1等の光学特性を示す説明図であり、図9には、図8の第1エッチング工程ST3を終了した時点での偏光素子1の光学特性(a)、図8の第2成膜工程ST4を終了した時点での偏光素子1の光学特性(b)、および図8の第2エッチング工程ST5を終了した時点での偏光素子1の光学特性(c)を示してある。なお、本実施形態の基本的な構成は、実施形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
図10は、本発明の実施形態3に係る偏光素子1の説明図であり、金属部31等を拡大して示す断面図である。図11は、図10に示す偏光素子1の製造方法の一態様を示す工程断面図である。図12は、図10に示す偏光素子1等の光学特性を示す説明図であり、図10には、図11の第1エッチング工程ST3を終了した時点での偏光素子1の光学特性(a)、図11の第2成膜工程ST4を終了した時点での偏光素子1の光学特性(b)、および図11の第2エッチング工程ST5を終了した時点での偏光素子1の光学特性(c)を示してある。なお、本実施形態の基本的な構成は、実施形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
上記実施形態では、第2エッチング工程ST5において、隣り合う金属部31の間の溝315の底部、および光吸収部41に対して金属部31とは反対側に設けられていたシリコン酸化膜6を完全に除去したが、隣り合う金属部31の間の溝315の底部、および光吸収部41に対して金属部31とは反対側にシリコン酸化膜6を残してもよい。この場合、シリコン酸化膜6は、隣り合う金属部31の間の溝315の底部、および光吸収部41に対して金属部31とは反対側に金属部31の側面310における厚さ未満の厚さで残る。
上述した実施形態に係る偏光素子1を用いた電子機器の一例として、投射型表示装置(液晶プロジェクター)を説明する。図13は、透過型の液晶パネルを用いた投射型表示装置の説明図である。図13に示す投射型表示装置2100では、各色の液晶パネル100と、液晶パネル100に供給される光を出射する光源部と、液晶パネルによって変調された光を投射する投射光学系とが設けられ、光源部から液晶パネルを経由して投射光学系に到る光路に、本発明を適用した偏光素子1が配置される。本実施形態では、ライトバルブとしての各色の液晶装置100R、100G、100Bは各々、液晶パネル100の光入射側および光出射側に入射側偏光分離素子111、および出射側偏光分離素子112を備えており、入射側偏光分離素子111、および出射側偏光分離素子112の少なくとも一方は、本発明を適用した偏光素子1である。
投射型表示装置については、光源部として、各色の光を出射するLED光源等を用い、かかるLED光源から出射された色光を各々、別の液晶装置に供給するように構成してもよい。また、図13に示す投射型表示装置2100では、液晶装置100R、100G、100Bに透過型の液晶パネル100を用いたが、反射型の液晶パネルを用いた投射型表示装置において、光源部から液晶パネルを経由して投射光学系に到る光路に、図1〜図12を参照して説明した偏光素子1が配置してもよい。また、1つの液晶装置によってカラー画像を表示する投射型表示装置に用いる偏光素子に、本発明を適用した偏光素子1を用いてもよい。
本発明を適用した偏光素子1を備えた電子機器は、上記実施形態の投射型表示装置2100に限定されない。例えば、投射型のHUD(ヘッドアップディスプレイ)や直視型のHMD(ヘッドマウントディスプレイ)、パーソナルコンピューター、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ等の電子機器に用いてもよい。
Claims (9)
- 一方向に延在する金属部と、
前記金属部の厚さ方向の先端側に設けられた光吸収部と、
前記金属部の側面に設けられたシリコン酸化膜と、
を有し、
断面視において前記光吸収部の幅が前記金属部の幅より広く、
前記シリコン酸化膜の厚さは、断面視において前記金属部の幅との和が前記光吸収部の幅以下であることを特徴とする偏光素子。 - 請求項1に記載の偏光素子において、
前記シリコン酸化膜は、前記金属部と前記金属部と隣り合う他の金属部との間の溝の底部における厚さが前記金属部の前記側面における厚さ未満であることを特徴とする偏光素子。 - 請求項2に記載の偏光素子において、
前記シリコン酸化膜は、前記溝の底部に設けられていないことを特徴とする偏光素子。 - 請求項1から3までの何れか一項に記載の偏光素子において、
前記シリコン酸化膜は、前記光吸収部に対して前記金属部とは反対側における厚さが前記金属部の前記側面における厚さ未満であることを特徴とする偏光素子。 - 請求項4に記載の偏光素子において、
前記シリコン酸化膜は、前記光吸収部に対して前記金属部とは反対側には設けられていないことを特徴とする偏光素子。 - 金属膜を成膜した後、前記金属膜の表面側に光吸収膜を成膜する第1成膜工程と、
前記金属膜および前記光吸収膜をパターニングして一方向に延在する金属部の表面側に光吸収部を備えた突条部を形成するパターニング工程と、
前記光吸収部をエッチングマスクにしてドライエッチングを行い、前記金属部の幅を狭める第1エッチング工程と、
前記突条部を覆うようにシリコン酸化膜を成膜する第2成膜工程と、
前記光吸収部をエッチングマスクにして前記シリコン酸化膜にドライエッチングを行い、前記金属部の側面に前記シリコン酸化膜を残す第2エッチング工程と、
を有することを特徴とする偏光素子の製造方法。 - 請求項6に記載の偏光素子の製造方法において、
前記パターニング工程では、前記光吸収膜の表面側にハードマスクを設けた状態で前記金属膜および前記光吸収膜をエッチングし、
前記第1エッチング工程および前記第2エッチング工程では、前記光吸収部および前記ハードマスクを前記エッチングマスクとすることを特徴とする偏光素子の製造方法。 - 請求項1から5までの何れか一項に記載の偏光素子が液晶パネルの光入射側および光出射側の少なくとも一方に設けられていることを特徴とする液晶装置。
- 請求項8に記載の液晶装置を有することを特徴とする電子機器。
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