KR101432509B1 - 실리콘 또는 실리콘-기재 물질로 이루어진 구조화된 입자의 제조 방법 및 리튬 재충전용 배터리에서의 그의 용도 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 실리콘 또는 실리콘 함유 물질의 필라화된 입자 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 이들 입자는 고분자 바인더, 도전성 첨가제 및 금속 호일 집전체를 갖는 복합 애노드 구조물 및 전극 구조물을 생성하는데 사용될 수 있다. 상기 입자들의 구조물은 충전/방전 용량 손실의 문제를 극복한다.

Description

실리콘 또는 실리콘-기재 물질로 이루어진 구조화된 입자의 제조 방법 및 리튬 재충전용 배터리에서의 그의 용도{A METHOD OF FABRICATING STRUCTURED PARTICLES COMPOSED OF SILICON OR A SILICON-BASED MATERIAL AND THEIR USE IN LITHIUM RECHARGEABLE BATTERIES}
본 발명은 실리콘을 함유하는 입자, 입자의 제조 방법, 활성 물질로서 입자를 함유하는 전극, 전기화학 셀, 리튬 재충전용 셀 애노드, 셀, 셀에 의해 전력이 공급되는 장치, 복합 전극의 제조 방법, 리튬 재충전용 셀의 제조 방법 및 실리콘-함유 섬유의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 휴대용 전화기 및 노트북 컴퓨터와 같은 휴대용 전자 기기의 사용이 증가하고 하이브리드 전기 자동차에 재충전용 배터리를 사용하는 최근 동향으로 인해 상기 언급된 기기 및 기타 배터리로 작동하는 장치들에 전력을 공급하기 위한 더 작고, 더 가볍고, 더 오래가는 재충전용 배터리의 필요가 생겨나게 되었다. 1990년대에, 리튬 재충전용 배터리, 특히 리튬-이온 배터리가 대중화되었고, 단위 판매량 측면에서, 현재 휴대용 전자제품 시장에서 우위를 차지하고 새롭고 가격에 민감한 제품들에 이용되고 있다. 그러나, 점점 더 많은 전력을 필요로 하는 기능들이 상기 기기들(예를 들어, 휴대폰상의 카메라)에 부가됨에 따라, 단위 중량 및 단위 부피당 더 많은 에너지를 저장하도록 개선된 저가의 배터리가 요구되고 있다.
실리콘이 재충전용 리튬-이온 전기화학 배터리 셀의 활성 애노드 물질로서 사용될 수 있음은 이미 공지되어 있다 [Insertion Electrode Materials for Rechargeable Lithium Batteries, M. Winter, J. O. Besenhard, M. E. Spahr, and P.Novak in Adv. Mater. 1998, 10, No. 10]. 그라파이트-기재 애노드 전극을 포함하는 종래의 리튬-이온 재충전용 배터리 셀의 기본 조성은 도 1에 도시되어 있으며, 상기 구성요소는 실리콘-기재 애노드로 대체될 수 있다. 배터리 셀은 단일 셀을 포함하나 하나 이상의 셀을 포함할 수도 있다.
일반적으로, 배터리 셀은 애노드용 구리 집전체(10) 및 캐소드용 알루미늄 집전체(12)를 포함하고, 이들은 적절한 로드(load) 또는 재충전원에 외부적으로 연결될 수 있다. 그라파이트-기재 복합 애노드 층(14)은 집전체(10)에 적층되고, 리튬을 함유하는 금속 산화물-기재 복합 캐소드 층(16)은 집전체(12)에 적층된다. 다공성 플라스틱 스페이서 또는 격리판(separator)(20)이 그라파이트-기재 복합 애노드 층(14)과 리튬 함유 금속 산화물-기재 복합 캐소드 층(16) 사이에 제공되며, 액체 전해물이 다공성 플라스틱 스페이서 또는 격리판(20), 복합 애노드 층(14) 및 복합 캐소드 층(16) 내에서 분산된다. 일부 경우에, 다공성 플라스틱 스페이서 또는 격리판(20)은 고분자 전해물로 대체될 수 있으며, 이 경우 고분자 전해물은 복합 애노드 층(14)과 복합 캐소드 층(16) 사이에 존재한다.
배터리 셀이 충분히 충전되었을 때, 리튬은 전해질을 통해 리튬 함유 금속 산화물로부터 그라파이트-기재 층으로 이동하고, 그라파이트와 반응하여 화합물 LiC6을 생성한다. 복합 애노드 층에서 전기화학적으로 활성 물질인 그라파이트는 372 mAh/g의 최대 용량을 갖는다. 용어 "애노드(anode)" 및 "캐소드(cathode)"는 배터리가 로드에 걸려 있다는 의미에서 사용됨을 주목할 것이다.
일반적으로, 실리콘은 리튬-이온 재충전용 셀에서 활성 애노드 물질로서 사용되는 경우 현재 사용되는 그라파이트보다 상당히 더 큰 용량을 제공하는 것으로 보여진다. 실리콘은 전기화학 셀에서 리튬과 반응하여 화합물 Li21Si5로 변환되는 경우 그라파이트의 최대 용량보다 상당히 더 큰 4,200 mAh/g의 최대 용량을 갖는다.
이와 같이, 그라파이트가 리튬 재충전용 배터리에서 실리콘으로 대체될 수 있다면, 단위 중량 및 단위 부피당 저장 에너지를 목적하는 정도로 증가시킬 수 있다.
리튬-이온 전기화학 셀에 실리콘 또는 실리콘-기재 활성 애노드 물질을 사용한 기존의 시도들은 목적한 횟수의 충전/방전 주기에 걸쳐 지속적인 용량을 나타내지 못하므로 상업적으로 이용되지 못하고 있다.
당 분야에서 공지된 한가지 시도는 실리콘을 분말 형태로 사용하는 것으로 (즉, 10㎛ 직경을 갖는 입자 또는 구형 요소), 어떠한 경우에는, 구리 집전체상에 코팅된 폴리비닐리덴 디플루오라이드와 같은 적정 바인더(binder)를 함유하고 전자 첨가제를 갖거나 갖지 않는 복합체로 제조된다. 그러나, 이 전극 시스템은 충전/방전 주기를 반복하는 경우 지속적인 용량을 나타내지 못한다. 본 용량 손실은 리튬이 호스트 실리콘으로 삽입/추출되면서 부피의 확장/축소로 인해 생겨난 실리콘 분말 덩어리가 부분적으로 물리적 분리되어 일어나는 것으로 보인다. 한편, 이는 구리 집전체로부터 및 그들 자체로부터 실리콘 성분의 전기 절연을 발생시킨다. 또한, 부피의 확장/축소는 구형 요소를 분해시켜 구형 요소 자체 내에서 전기 접촉의 손실을 유발한다.
당 분야에서 공지된 다른 시도는 연속적인 주기 동안 큰 부피 변화의 문제를 해결하기 위한 것으로, 실리콘 분말로 구성된 실리콘 요소의 크기를 매우 작게 하여, 1 내지 10 nm 범위의 직경을 갖는 구형 입자를 사용하는 것이다. 이 방법은 나노-크기화된 요소가 분해되거나 파괴되지 않으면서 리튬 삽입/추출과 연관된 큰 부피의 확장/축소를 수행할 수 있도록 한다. 그러나, 상기 시도는 매우 미세한 나노-크기의 분말을 취급해야 하므로 건강 및 안전에 위험할 수 있고, 실리콘 분말이 리튬 삽입/추출과 연관된 부피의 확장/축소를 수행할 때 구리 집전체 및 그들 자신으로부터 구형 요소의 전기 절연을 막지 못한다는 문제가 있다. 중요하게는, 나노-크기 요소의 큰 표면적은 리튬-이온 배터리 셀에 대량의 비가역적 용량을 부여하는 리튬 함유 표면막의 생성을 가능하게 한다. 더욱이, 다수의 작은 실리콘 입자들은 일정량의 실리콘에 대해 많은 수의 입자-대-입자 접촉을 생성하고 이들 각각은 접촉 저항을 가지므로, 실리콘 덩어리의 전기 저항을 너무 높이는 원인이 될 수 있다. 상기 문제들로 인해 실리콘 입자들은 리튬 재충전용 배터리 및 특히 리튬-이온 배터리의 그라파이트에 대한 시판 가능한 대체품이 되지 못하고 있다.
문헌[Ohara et al. Journal of Power Sources 136(2004) 303-306]에 기재된 또 다른 시도로는, 실리콘을 니켈 호일(foil) 집전체상에 박막으로 증발시킨 다음, 본 구조물을 사용하여 리튬-이온 셀의 애노드를 형성한다. 그러나, 본 시도가 양호한 용량의 보유를 나타낼지라도, 이는 매우 얇은 막(~50 nm)의 경우에만 가능하므로 이들 전극 구조물은 단위 면적당 유용한 양의 용량을 제공하지 못한다. 막 두께(>250 nm)를 증가시키는 것은 양호한 용량의 보유를 감소시키는 원인이 된다. 이들 박막의 양호한 용량의 보유는 막이 분해되거나 파괴되지 않으면서 실리콘으로부터의 리튬 삽입/추출과 연관된 부피의 확장/축소를 흡수하는 박막의 역량으로 인한 것으로 발명자들은 보고 있다. 또한, 박막은 동일 중량의 나노-크기 입자보다 훨씬 더 적은 표면적을 가지므로, 리튬 함유 표면막 형성으로 인한 비가역적 용량의 양이 줄어든다. 상기 언급된 문제들로 인해 금속 호일 집전체상의 실리콘 박막이 리튬 재충전용 배터리 및 특히 리튬-이온 배터리의 그라파이트에 대한 시판 가능한 대체물이 되지 못한다.
미국 특허 제 2004/0126659호에 기재된 또 다른 시도로는, 실리콘을 니켈 섬유 상에서 증발시킨 다음 이를 리튬 배터리의 애노드를 형성하는데 사용한다.
그러나, 이는 니켈 섬유 상에 실리콘이 불균일하게 분포되도록 하여 작용에 상당한 영향을 미침을 발견했다. 또한, 이들 구조물들은 활성 실리콘 중량에 대한 니켈 집전체 중량의 비율이 높아 단위 면적 또는 단위 중량당 유용한 양의 용량을 나타내지 못한다.
리튬-이온 이차 셀을 위한 나노- 및 벌크-실리콘-기재 삽입 애노드에 대한 리뷰가 문헌[Kasavajjula et al., J. Power Sources (2006), doi:10,1016/ jpowsour.2006.09.84]에 의해 제공된다.
영국 특허출원 GB2395059A에 기재된 또 다른 시도는 실리콘 기판상에서 제조된 실리콘 필라의 규칙적 또는 불규칙적인 배열을 포함하는 실리콘 전극을 사용한다. 이들 구조화된 실리콘 전극은 충전/방전 주기를 반복하는 경우에도 양호한 용량의 보유를 나타내고, 이와 같은 양호한 용량의 보유는 필라가 분해되거나 파괴되지 않으면서 호스트 실리콘으로부터 리튬 삽입/추출과 연관된 부피의 확장/축소를 흡수하는 실리콘 필라의 역량으로 인한 것으로 본 발명자들은 보고있다. 그러나, 상기 공보에 기재된 구조화된 실리콘 전극은 고순도의 단결정 실리콘 웨이퍼를 사용하여 제조되므로 전극을 제조하는데 높은 비용이 들게된다.
미국 특허 제 2004/0126659 영국 특허출원 GB2395059A
Insertion Electrode Materials for Rechargeable Lithium Batteries, M. Winter, J. O. Besenhard, M. E. Spahr, and P.Novak in Adv. Mater. 1998, 10, No. 10 Ohara et al. Journal of Power Sources 136(2004) 303-306 Kasavajjula et al., J. Power Sources (2006), doi:10,1016/ jpowsour.2006.09.84
최근 휴대용 전화기 및 노트북 컴퓨터와 같은 휴대용 전자 기기의 사용이 증가하고 하이브리드 전기 자동차에 재충전용 배터리를 사용하는 최근 동향으로 인해 상기 언급된 기기 및 기타 배터리로 작동하는 장치들에 전력을 공급하기 위한 더 작고, 더 가볍고, 더 오래가는 재충전용 배터리의 필요가 생겨나게 되었다. 1990년대에, 리튬 재충전용 배터리, 특히 리튬-이온 배터리가 대중화되었고, 단위 판매량 측면에서, 현재 휴대용 전자제품 시장에서 우위를 차지하고 새롭고 가격에 민감한 제품들에 이용되고 있다. 그러나, 점점 더 많은 전력을 필요로 하는 기능들이 상기 기기들(예를 들어, 휴대폰상의 카메라)에 부가됨에 따라, 단위 중량 및 단위 부피당 더 많은 에너지를 저장하도록 개선된 저가의 배터리가 요구되고 있다.
본 발명의 제 1 목적은 입자 코어(particle core) 및 그로부터 신장된 실리콘-함유 필라의 배열를 갖는 실리콘을 함유하는 입자에 관한 것이다.
상기 필라는 규칙적이거나 불규칙적일 수 있다. 본 발명의 필라는 제 1 크기가 0.08 내지 0.70 미크론, 바람직하게는 0.1 내지 0.5 미크론, 보다 바람직하게는 0.2 내지 0.4 미크론 및 가장 바람직하게는 0.3 미크론 이상이다. 제 2 크기로, 필라는 4 내지 100 미크론, 바람직하게는 10 내지 80 미크론, 보다 바람직하게는 30 미크론 이상이다. 이와 같이 필라는 20:1 이상의 종횡비(aspect ratio)를 갖는다. 필라는 실질적으로 원형 단면 또는 실질적으로 비-원형 단면을 가질 수 있다.
필라화된 입자는 도핑되지 않은 실리콘, 도핑된 실리콘 또는 실리콘-게르마늄 혼합물과 같은 혼합물을 포함할 수 있다. 특히, 입자는 90.00 중량% 내지 99.95 중량%, 바람직하게는 90.0 중량% 내지 99.5 중량%의 실리콘-순도를 가질 수 있다. 실리콘은 임의의 물질, 예를 들어, 인, 알루미늄, 은, 붕소 및/또는 아연으로 도핑될 수 있다. 입자는 비교적 낮은 순도의 MG등급(metallurgical grade) 실리콘일 수 있다.
입자는 단면이 규칙적이거나 불규칙적이며, 직경이 10　㎛ 내지 1 ㎜, 바람직하게는 20 ㎛ 내지 150 ㎛, 보다 바람직하게는 25　㎛ 내지 75 ㎛일 수 있다.
본 발명의 제 2 목적은 실리콘 함유 입자를 에칭하는 단계를 포함하는 제1 목적에 따른 입자의 제조 방법에 관한 것이다. 특히, 필라는 화학적 반응 에칭 또는 갈바닉(ga17lvanic) 교환 에칭에 의해 생성될 수 있다.
본 발명의 제 3 목적은 활성 물질 중 하나로서 본 발명의 제1 목적에서 정의된 입자를 함유하는 복합 전극에 관한 것이다. 특히, 제 3 목적은 집전체로서 구리를 사용하는 복합 전극을 제공한다. 제 3 목적의 특징으로, 상기 전극은 애노드일 수 있다.
그러므로, 제 3 목적은 또한 상기 정의된 바와 같은 전극을 함유하는 전기화학 셀을 제공한다. 특히, 캐소드가 활성 물질로서 리튬 이온을 방출 및 재흡수할 수 있는 리튬-함유 화합물로 이루어진 전기화학 셀을 제공한다. 특히, 상기 캐소드가 활성 물질로서 리튬-기재 금속 산화물 또는 인산염, 바람직하게는 LiCoO2 또는 LiMnxNixCo1-2xO2 또는 LiFePO4를 포함하는 전기화학 셀을 제공한다.
본 발명은 또한 제 1 목적에 따른 입자를 함유하는 리튬 재충전용 셀 애노드를 제공한다. 특히, 상기 입자들을 복합체의 일부로 하는 애노드를 제공한다.
제 3 목적은 또한 애노드 및 캐소드를 포함하는 셀을 제공하고, 상기 캐소드는 바람직하게는 리튬-기재 물질, 보다 바람직하게는 리튬 코발트 이산화물을 포함한다.
상기 정의된 셀에 의해 전력이 공급되는 장치가 또한 제공된다.
본 발명의 제 4 목적은 필라화된 입자를 함유하는 용매-기재 슬러리를 제조하는 단계, 상기 슬러리를 집전체상에 코팅하는 단계 및 용매를 증발시켜 복합 막을 생성하는 단계를 포함하는 복합 전극을 제조하는 방법을 제공한다.
본 발명은 또한 상기 정의된 애노드를 제조하는 단계 및 캐소드 및 전해질을 부가하는 단계를 포함하는 리튬 재충전용 셀을 제조하는 방법을 제공한다. 특히, 상기 방법은 캐소드와 애노드 사이에 격리판을 추가시키는 것을 더 포함한다. 케이싱(casing)이 셀 둘레에 제공될 수 있다.
하나 이상의 스크래핑(scraping), 교반(agitating) 또는 화학적 에칭에 의해 제1 목적에 따른 입자로부터 상기 필라를 분리시키는 실리콘-함유하는 섬유를 제조하는 방법을 또한 제공한다.
본 발명의 구조화된 입자를 이용한 애노드 전극 구조물의 제조는 또한 실리콘이 리튬과 가역적으로 반응하는 문제를 극복한다. 특히, 입자, 고분자 바인더 및 도전성 첨가제의 혼합물인 복합체 구조물에 입자들을 배열시키거나, 또는 구조화된 입자들을 집전체에 직접 결합시킴으로써, 충전/방전 과정이 가역적으로 반복 가능하게 되며, 양호한 용량 보유가 가능해진다. 이러한 양호한 가역성은 필라가 분해되거나 파괴되지 않으면서 호스트 실리콘으로부터 리튬의 삽입/추출과 연관된 부피의 확장/축소를 흡수하는 구조화된 실리콘 입자의 일부를 형성하는 실리콘 필라의 역량으로 인한 것으로 본 발명자들은 보고 있다. 중요하게는, 본 발명에 기재된 실리콘 전극은 낮은 순도의 MG 등급 실리콘을 사용하여 제조되므로 가능한 낮은 비용으로 전극을 제조할 수 있다.
본 발명은 실리콘 또는 실리콘-함유 물질의 필라화된 입자가 생성되도록 하며, 이들 입자들을 사용하여 고분자 바인더, 도전성 첨가제(필요시) 및 금속 호일 집전체를 갖는 복합 애노드 구조물 및 전극 구조물 모두를 생성하는 것을 가능하게 한다. 특히, 복합체를 구성하는 입자들의 구조로 인해 충전/방전 용량 손실의 문제가 극복되는 것으로 여겨진다. 복수개의 신장되거나 길고 얇은 필라를 갖는 입자를 제공하여, 충전/방전 용량 손실의 문제가 감소된다.
본 발명의 구현예가 하기 도면을 참조하여 기재될 것이다:
도 1은 배터리 셀의 구성요소를 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 구현예에 따른 필라화된 입자의 전자 현미경 사진이다.
도 3은 전체적인 갈바닉 교환 에칭 메커니즘을 나타낸다.
도 4는 갈바닉 교환 에칭 방법에서 부분적인 전류의 형태로 가상의 카이네틱 곡선을 나타낸다.
일반적으로, 필라는 길이 대 직경 비율이 약 20:1 가 될 것이다. 리튬이 필라내로 삽입 및 제거되므로 부피 확장 및 부피 축소를 유발할지라도, 필라를 파괴시키지는 않으므로 내부-섬유 전자 도전율이 보존된다.
예를 들어, 동일한 출원인의 동시 출원 GB0601318.9호[발명의 명칭: "실리콘-기재 물질의 에칭 방법(Method of etching a silicon-based material)]에 기재된 바와 같이, 필라는 습식 에칭/화학적 갈바닉 교환 방법에 의해 입자상에서 제조될 수 있다. 또한 이용될 수 있는 관련 방법은 문헌 [Peng K-Q, Yan, Y-J Gao, S-P, Zhu J., Adv. Materials, 14(2004), 1164-1167("Peng "); K. Peng et al, Angew. Chem. Int. Ed., 44 2737-2742; 및 K. Peng et al., Adv. Funct. Mater., 16(2006), 387-394; 및 K. Peng, Z. Huang and J. Zhu, Adv. Mater., 16 (2004), 127-132; 및 T. Qui, L. Wu, X. Yang, G. S. Huang and Z. Y. Zhang, Appl. Phys. Lett., 84 (2004), 3867-3869]에 개시되어 있다. 상기 언급된 방법들은 고순도의 실리콘 웨이퍼로부터 필라를 제조하는데 사용된다.
본 발명의 바람직한 구현예로, 필라는 MG 등급 실리콘과 같은 비교적 낮은 순도의 실리콘의 결정 입자상에서 제조된다. 방법은, 이후 실시예에서 설명되는 바와 같이, 분쇄(grinding) 및 여과(sieving); 세척(washing); 핵 형성(nucleation); 에칭; 및 은 제거의 다섯 가지 단계들을 포함한다. 본 발명에 따라 제조된 필라화된 입자의 전자 현미경 사진은 도 2에 도시된다.
임의의 적정한 분쇄 방법은 파워 분쇄(power grinding) 또는 볼 밀링(ball milling)이 적합하다. 최소 입자 크기가 필라가 표면상에서 에칭될 수 없는 크기 이하로 존재하게 되면 대신에 입자가 동질적으로 에칭되어 버린다는 것을 당업자라면 인식할 것이다. 입자의 직경이 0.5 ㎛ 이하이면 너무 작을 수 있다.
밀도 및 높이의 관점에서 보면, 에칭 전에 핵을 형성하므로써 보다 균일한 필라 배열이 이루어진다. 상기 단계는 은 핵/섬(핵이 결합하여 필라 성장을 위한 사이트인 은 섬(silver island)을 형성)의 균일한 분포를 이룬다.
은 섬은 필라 형성 및 {100} 평면의 갈바닉 플루오라이드 에칭을 묘사한다: 도 3 참조. 도 3은 필라(307)를 갖는 실리콘 표면(301)을 도시한다. 전자(305)는 플루오라이드 이온(303)으로부터 실리콘 표면(301)으로 이전된다. 불소가 실리콘(301) 및 플루오라이드 이온(303)과 반응하여 플루오로실리케이트 이온(305)이 생성된다. 이는 애노드의 에칭 방법이다. 캐소드 프로세스는 은이온(309)을 방출하여 금속 은(311)이 생성된다.
상기 구조는 실리콘-플루오라이드 결합이 에칭 방법에서 본질적인 단계로서 형성된다는 가정하에 설명된다. 그리고, 더 나아가, Si-F(모노-플루오라이드)인 구조는 안정적이며, F-Si-F(디-플루오라이드) 및 Si[-F]3(트리-플루오라이드)인 구조는 안정적이지 않다. 이는 가장 가까이 인접한 작용기들이 Si 표면 상에서의 입체 장애가 생기기 때문이이다. {111} 평면의 경우는 모서리를 제외하고는 안정적인 모노-플루오라이드 표면이 트리-플루오라이드 표면으로 불가피하게 진행되어 결과적으로 불안정하게 된다. {110} 표면은 모노-플루오라이드 결합만을 갖는 Si의 매우 안정적인 주요 결정 평면이므로 안정하고 에칭율 비율 [에칭율 <100>]:[에칭율 <110>]이 약 3 배 규모이다. 그래서, 필라의 측면은 {110} 평면상에서 종료될 것이다.
필라 표면 밀도는 입자의 표면상에서 필라의 밀도를 정의하기 위해 사용될 수 있다. 이는 F=P/[R+P]로 정의되며, 여기서 F는 필라 표면 밀도이고; P는 필라가 차지하는 입자의 총 표면적이고; 및 R은 필라가 차지하지 않는 입자의 총 표면적이다.
필라 표면 밀도가 더 커질수록, 실리콘 입자 전극의 단위 면적당 리튬 용량이 더 커지고, 섬유 생성에 유용한 획득 가능한 필라의 양이 더 많아진다.
예를 들어, 예비-에칭 크기가 400 x 300 x 200 ㎛인 상기 언급된 실리콘 분말(Elken, Norway)을 사용하여, 필라 높이가 약 25 내지 30　㎛, 직경이 약 200 내지 500 nm, 및 필라 표면 밀도, F가 10 내지 50%, 보다 일반적으로 30%인 필라가 표면 전체에 걸쳐 제조된다.
예를 들어, 예비-에칭 크기가 약 63-80 x 50 x 35㎛인 입자를 사용하여 높이가 약 10 내지 15 ㎛, 커버리지가 약 30% 및 직경이 약 200 내지 500　nm인 필라가 제조되는 것으로 나타났다.
바람직한 구현예로, 길이가 100 미크론 및 직경이 0.2 미크론인 필라가 실리콘-함유 입자상에서 및 실리콘-함유 입자로부터 제조된다. 보다 일반적으로, 길이가 4 내지 100 미크론의 범위이고 직경 또는 가로 치수가 0.08 내지 0.70 미크론의 범위인 필라가 초기 크기가 10 내지 1000 ㎛인 입자로부터 제조된다.
상기 방법에 따르면, 실리콘 입자는 주로 n- 또는 p-타입일 수 있으며, 화학적 연구에 따르면, 임의의 노출된(100),(111) 또는(110) 결정면 상에서 에칭될 수 있다. 에칭이 결정면을 따라 진행되기 때문에, 생성된 필라는 단결정이다. 이런 구조적 특징 때문에, 필라는 길이 대 직경 비율이 20:1 이상으로 실질적으로 직접 제조될 것이다.
이어서, 하기 기재된 바와 같이 필라화된-입자를 사용하여 복합 전극을 형성할 수 있다. 이와는 달리, 필라가 입자로부터 분리되어, 섬유-기재 전극을 형성하는데 사용될 수 있다. 분리된 필라는 또한 섬유로써 기재될 수 있다.
본 발명은 입자로부터 필라의 분리를 포함한다. 필라가 부착된 입자를 비이커 또는 임의 적정 용기에 담아, 에탄올과 또는 물과 같은 불활성 액체로 덮고, 초음파 교반을 수행한다. 몇 분 이내에 액체가 혼탁해지는 것이 보이며, 이 단계에서, 필라가 입자로부터 제거된다는 것을 전자 현미경 검사로 알 수 있다.
구현예에서, 필라는 두 단계의 공정을 통해 입자로부터 제거된다. 제 1 단계에서, 입자를 물로 수회 세척하고, 필요에 따라 낮은 진공시스템내에서 건조시켜 물을 제거한다. 제 2 단계에서, 입자를 초음파 배쓰(bath)내에서 교반시켜 필라를 분리시킨다. 이들을 물에 현탁시킨 다음 상이한 크기의 다양한 필터 페이퍼를 사용하여 여과시켜 실리콘 섬유를 수합한다.
필라를 "수득하기(harvesting)" 위한 대안적인 방법은 입자 표면을 스크래핑하여 이들을 분리하거나 화학적으로 분리하는 것을 포함하는 것으로 인식될 것이다. n-타입 실리콘 재료에 적합한 화학적 연구는 후방 조명의 존재하에 HF 용액중에서 입자를 에칭하는 것을 포함한다.
필라화된 입자가 제조되면, 이들은 리튬-이온 전기화학 셀의 복합 애노드에서의 활성 물질로 사용될 수 있다. 복합 애노드를 제조하기 위해, 필라화된 입자를 폴리비닐리덴 디플루오라이드와 혼합시켜 n-메틸 피롤리디논과 같은 캐스팅 용매로 슬러리를 제조할 수 있다. 상기 슬러리를 예를 들어 물리적으로 블레이드 또는 임의의 다른 적절한 방식으로 금속 플레이트, 금속 호일 또는 다른 전도성 기판 상에 도포하거나 코팅하여 목적한 두께를 갖는 코팅된 막을 수득하고, 이어서 50 ℃ 내지 140 ℃ 범위로 가온시킬 수 있는 적정한 건조 시스템을 사용하여 캐스팅 용매를 상기 막으로부터 증발시켜 캐스팅 용매가 거의 존재하지 않는 복합 막이 제조된다. 생성된 복합 막은 실리콘-기재 필라화된 입자의 중량이 보통 70 % 내지 95 %인 다공성 구조를 갖는다. 복합 막은 10 내지 30 %, 바람직하게는 약 20 %의 퍼센트 기공 부피를 가질 것이다.
리튬-이온 배터리 셀의 제조는 이후 예를 들어 도 1에 도시된 일반적인 구조에 따른 임의의 적정 방식으로 수행될 수 있으나, 그라파이트 활성 애노드 물질보다는 실리콘-함유 활성 애노드 물질로 수행될 수 있다. 예를 들어, 실리콘 입자-기반의 복합 애노드 층은 다공성 스페이서(18)로 덮이고, 전해질을 최종 구조물에 첨가시켜 모든 유용한 기공 부피를 포화시킨다. 전해질 첨가는 전극을 적정 케이싱에 배치한 후에 수행되며, 기공 부피가 액체 전해질로 채워지도록 애노드의 진공 충진을 포함할 수 있다.
일부 구현예는 활성 물질로서 복수 개의 필라화된 실리콘 입자를 함유하는 전극을 제공한다. 필라화된 실리콘 구조물이 리튬의 삽입/추출(충전 및 방전)과 연관된 부피 확장을 수용할 수 있기 때문에 용량 보유가 증진된다. 유리하게는, 실리콘 코어가 0.08 ㎛ 내지 0.5 ㎛의 직경 및 4 ㎛ 내지 150 ㎛의 길이를 갖는 필라로 덮일 수 있도록, 낮은 순도의 실리콘(MG 등급 실리콘) 덩어리를 에칭하여 필라화된 입자가 생성될 수 있다.
본 명세서에 기재된 시도의 특정 이점은, 최근 리튬-이온 배터리 셀의 그라파이트-기재 애노드에서의 경우처럼, 실리콘-기재 애노드의 큰 시트를 제조한 다음 이어서 말거나(rolled) 또는 압인(stamp out)할 수 있다는 것으로, 이는 본 명세서에 기재된 시도가 기존의 제조 능력으로 갱신시킬 수 있다는 것을 의미한다.
본 발명은 하나 이상의 하기 실시예들을 참조하여 설명될 것이나 이에 국한되는 것은 아니다.
분쇄 및 여과 ( Grinding and seiving )
제 1 단계에서, 상품명 "Silgrain" (Elkem, Norway)과 같은 널리-이용되는 MG 등급 실리콘을 분쇄 및 여과시켜 10 내지 1000 ㎛, 바람직하게는 30 내지 300 ㎛ 및 보다 바람직하게는 50 내지 100 ㎛ 범위의 입자를 제조하였다.
세척
제 2 단계는 상기 분쇄 및 여과시킨 입자를 물로 세척하여 큰 입자에 부착된 임의의 미세 입자를 제거하는 것을 포함하였다. 세척된 입자를 이어서 희석된 HNO3(1mol·L) 또는 H2SO4/H2O2(1:2 부피) 또는 H2O2/NH3H2O/H2O2(1:1:1 부피)로 10분간 처리하여 가능한 유기 또는 금속 불순물을 제거하였다.
핵 형성
제 3 단계에서, 핵 형성 반응은 17.5 ml HF(40 %) + 20ml AgNO3(0.06 mol/l) + 2.5ml EtOH(97.5 %) + 10 ml H2O 용액중에서 약 400×300×200 ㎛ 크기의 실리콘 입자 0.1 g 을 사용하여 실온(~23℃)에서 7~10분 동안 수행하였다. 동일한 중량의 실리콘에 대해, 더 작은 실리콘 입자는 부피에 대한 표면적 비율이 증가하여 더 많은 부피의 용액을 필요로 하였다.
실온에서 에탄올의 효과는 화학적 공정을 늦추게 하여 은 섬의 보다 균일한 분포를 나타낸다. 상기 시간(특히 상한으로)은 상당량의 용액 은을 소비하기에 충분했다.
에칭
제 4 단계는 에칭을 포함했다. 에칭 반응은 약 400×300×200 ㎛ 크기의 실리콘 입자 0.1 g 을 사용하여 실온(~23℃)에서 1~1.5시간 동안 17.5 ml HF(40 %) +12.5ml Fe(NO3)3(0.06 mol·l) +2 ml AgNO3(0.06mol·l) +18 ml H2O의 용액을 사용하였다. 동일한 중량의 실리콘에 대해, 더 작은 실리콘 입자는 부피 대 표면적 비율이 증가하여 더 많은 부피의 용액을 필요로 하였다. 또한, 입자 크기가 감소하면, 더 작은 실리콘 입자를 위해 필요한 시간이 더 짧아지는데, 예를 들어, 100 ~ 120 ㎛(체 크기) 시료에 대해서는 30분 및 63 ~ 80 ㎛ 시료에 대해서는 20분이다.
부가적인 변형으로, 교반(stirring)은 수소 방출로 인해 가능한 에칭 비율을 증가시켰다. 여기서, 플루오로실리케이트 이온의 외부 확산은 속도 제한적이다.
당업자는 Ag+ 이외의 다른 산화제도 동일하게 적합할 수 있다는 것을 이해할 것이다. 예를 들어: K2PtCl6; Cu(NO3)2; Ni(NO3)2; Mn(NO3)2; Fe(NO3)3; Co(NO3)2; Cr(NO3)2; Mg(NO3)2. 수소보다 더 높은 전위를 갖는 Cu 및 Pt를 포함하는 화합물은 금속 증착(Cu 및 Pt)을 수행하나 Ni를 제외한 다른 화합물은 그렇지않다.
전체적인 갈바닉 교환 에칭 메커니즘은 도 3 및 도 4를 이용하여 설명될 수 있다. 도 3에서, 애노드 프로세스는 실리콘의 국소적인 에칭이다,
Si +6F - = SiF 6 2 - +4e - (-1.24 Volts)
반면, 은이온 방출에 수반된 전자의 제거가 캐소드 프로세스이다.
Ag + +e - = Ag (+0.8 Volts)
표준 조건에서, 전체 셀 전압은 2.04볼트이다. 주요한 다른 캐소드 커플은 Cu/Cu2+(+0.35V); PtCl6 2 -/ PtCl4 2 -(+0.74V); Fe3 +/ Fe2 +(+0.77V)이며, 이는 이들이 수소에 대해 모두 양극이기 때문이다. H+/H2 보다 음극인 커플은 수소와 경쟁관계에 있을 것이나 크게 영향을 미치지는 않을 것이다. 도 4는 부분적인 전극 반응의 개략적인 버전을 도시한다.
은 제거
상기 방법의 마지막 단계는 제 3 및 제 4 단계들로부터 에칭된 실리콘 입자상에 남아 있던 은을 제거하는 것을 포함한다. 은을 5~10분간 15% HNO3 용액을 사용하여 제거(및 저장)하였다.
상기 기재된 연구 및 장치를 달성하기 위해 임의의 적절한 시도가 채용될 수 있음은 물론 인식 가능할 것이다. 예를 들어, 필라 분리 공정은 필라가 입자로부터 제거되는 한 쉐이킹, 스크래핑, 화학적 또는 기타 공정 중 임의의 방법을 포함할 수 있다. 입자는 임의의 적정한 크기일 수 있으며, 예를 들어 순수 실리콘이나 도핑된 실리콘, 또는 실리콘-게르마늄 혼합물이나 임의의 다른 적정 혼합물과 같은 기타 실리콘-함유 물질일 수 있다. 필라가 생성되는 입자는 100 내지 0.001 Ohm cm 범위의 n- 또는 p-타입일 수 있고, 또는 실리콘, 예를 들어 SixGe1 -x의 적합한 합금일 수 있다. 입자는 MG 등급 실리콘일 수 있다.
입자 및/또는 분리된 필라는 일반적으로 캐소드를 포함하는 전극 제조와 같은 임의의 적정 목적을 위해 사용될 수 있다. 캐소드 물질은 임의의 적정 물질, 일반적으로 LiCoO2, LiMnxNixCo1 -2 xO2 또는 LiFePO4과 같은 리튬-기재 금속 산화물 또는 인산염 물질일 수 있다. 다른 구현예의 특징은 적절히 교체되거나 병치될 수 있으며, 방법의 단계들은 임의의 적정 순서에 따라 수행될 수 있다.
실리콘의 비교적 높은 순도의 단결정 웨이퍼가 에칭되어 목적하는 파라미터의 필라를 제조할 수 있을지라도, 웨이퍼 그 자체는 그의 고순도로 인해 매우 고가이다. 더 나아가, 필라화된-웨이퍼를 전극구조(electrode-geometry)로 배열하는 것은 어렵다. 본 발명의 구현예는 MG 등급 실리콘이 비교적 저렴하고 필라화된 입자 자체가 추가 가공 없이 복합 전극으로 혼입될 수 있기 때문에 이점이 있다. 또한, 필라화된 입자는 실리콘 섬유의 좋은 공급원으로, 그 자체로 배터리 전극에서 "활성" 성분으로 사용될 수 있다.
에칭에 사용된 입자는 예를 들어 필요한 필라 높이와 동일하거나 더 큰 결정 크기를 갖는 단결정 또는 다결정인 결정형일 수 있다. 다결정 입자는 임의 수, 예를 들어 둘 이상의 결정체를 함유할 수 있다.
유리하게는, MG 등급 실리콘은 (반도체 산업에서 사용되는 실리콘 웨이퍼와 비교하여) 비교적 고밀도의 결함으로 인해 배터리 전극으로 특히 적합하다. 이는 낮은 저항을 유도하여 높은 도전율을 나타낸다.
물질이 크게 퇴화되지 않는다면 n-타입 및 p-타입 실리콘 모두가 에칭될 수 있고, 어떠한 밀도의 전하 캐리어도 적절하다는 것을 당업자라면 이해할 것이다.

Claims (46)

  1. 실리콘을 함유하는 구조화 입자이며, 입자상의 코어(core) 및 상기 입자상의 코어로부터 신장되는 복수의 실리콘-함유 연장 구조를 가지는 전극 활물질용 구조화 입자.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 실리콘-함유 연장 구조는 실리콘-함유 필라(pillar)들의 규칙적 또는 불규칙적인 배열인 구조화 입자.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 입자상의 코어는 실리콘을 함유하고 {100}, {111} 또는 {110} 결정면들을 가지는 구조화 입자.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 구조들은 {110} 면을 가지는 측부들을 가지는 실리콘-함유 필라들을 포함하는 구조화 입자.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 구조들은 상기 입자상의 코어의 복수의 면들로부터 신장되는 구조화 입자.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 구조들은 상기 입자상의 코어의 전체 표면에 걸쳐 신장되는 구조화 입자.
  7. 제 1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장된 구조가 차지하는 상기 입자상의 코어의 표면적 분율이 0.1 내지 0.5인 구조화 입자.
  8. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 구조들은 20:1보다 더 큰 길이 대 직경비를 갖는 구조화 입자.
  9. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 구조들은 0.08 내지 0.70 미크론 범위의 제 1 크기를 갖는 구조화 입자.
  10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 구조들은 원형 단면을 갖는 구조화 입자.
  11. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연장 구조들은 비-원형 단면을 갖는 구조화 입자.
  12. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입자는 도핑되지 않은 실리콘, 도핑된 실리콘 또는 실리콘 게르마늄 혼합물을 함유하는 구조화 입자.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 입자는 도핑된 실리콘을 함유하고, 상기 실리콘은 인, 알루미늄, 은, 보론 및 아연 중 적어도 하나로 도핑되는 구조화 입자.
  14. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 실리콘의 순도는 90.00 내지 99.95중량%인 구조화 입자.
  15. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입자는 적어도 0.5㎛의 직경을 가지는 구조화 입자.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 입자의 직경은 10㎛ 내지 1mm인 구조화 입자.
  17. 복수의 제 1 항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 따른 구조화 입자를 함유하는 전극.
  18. 제 17 항에 있어서, 상기 전극은 복수의 구조화 입자들을 포함하는 다공성 복합물을 함유하는 전극.
  19. 제 17 항에 있어서, 상기 구조화 입자들은 집전체에 직접 결합(bonding)되는 전극.
  20. 제 18 항에 있어서, 상기 다공성 복합물은 70 내지 95중량%의 상기 구조화된 입자를 함유하는 전극.
  21. 제 18 항에 있어서, 상기 다공성 복합물은 바인더 및 도전성 첨가제 중 적어도 하나를 더 함유하는 전극.
  22. 제 17 항에 있어서, 상기 전극은 전기화학 셀용 전극이고 상기 구조화 입자는 전기화학 셀용 전극의 활성 물질들 중 하나인 전극.
  23. 제 22 항에 있어서, 상기 구조화된 입자의 연장 구조들은 {110} 면들을 가지는 측부들을 가지는 실리콘-함유 필라들을 포함하는 전극.
  24. 제 22 항에 따른 전극을 포함하는 전기화학 셀.
  25. 제 24 항에 있어서, 상기 전기화학 셀은 캐소드를 더 포함하며, 상기 캐소드는 활성 물질로서 리튬 이온을 방출 및 재흡수할 수 있는 리튬-함유 화합물을 포함하는 전기화학 셀.
  26. 제 24 항에 따른 전기화학 셀에 의해 전력이 공급되는 장치.
  27. 전극을 제조하는 방법으로서, 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 따른 복수의 구조화 입자들을 포함하는 층을 증착(deposition)하는 단계를 포함하는 전극을 제조하는 방법.
  28. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 따른 복수의 구조화 입자들을 함유하는 용매-기재 슬러리를 제조하는 단계, 집전체 상에 슬러리를 코팅하는 단계, 및 용매를 증발시켜 다공성 복합 막을 생성하는 단계를 포함하는 복합 전극의 제조 방법.
  29. 제 27 항에 따른 방법으로 전극을 제조하는 단계; 및 캐소드 및 전해질을 첨가하는 단계;를 포함하는 리튬 재충전용 셀의 제조 방법.
  30. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 따른 실리콘-함유 구조화 입자를 제조하는 방법으로서, 실리콘-함유 입자를 습식 에칭하는 단계를 포함하는 구조화 입자를 제조하는 방법.
  31. 제 30 항에 있어서, 상기 습식 에칭 단계는 화학적 반응 에칭, 갈바닉(galvanic) 교환 에칭 또는 갈바닉 플루오라이드(galvanic fluoride) 에칭을 포함하는 구조화 입자를 제조하는 방법.
  32. 제 30 항에 있어서, 상기 습식 에칭 전, 상기 실리콘-함유 입자 상에 은 핵을 분포 형성시키는 핵형성 단계를 더 포함하는 구조화 입자를 제조하는 방법.
  33. 제 31 항에 있어서, 상기 습식 에칭 단계는 Si + 6F- = SiF6 2- + 4e-에 의해 표현되는 애노드 에칭 프로세스를 포함하는 갈바닉 교환 에칭을 포함하고 전자들의 제거는 은 이온들의 방출에 의해 달성되는 구조화 입자를 제조하는 방법.
  34. 제 31 항에 있어서, 수소보다 더 높은 전위를 가지는 Cu 또는 Pt를 함유하는 화합물로부터의 금속을 상기 실리콘-함유 입자 상에 증착하는 단계를 포함하는 구조화 입자를 제조하는 방법.
  35. 제 32 항에 있어서, 질산을 포함하는 용액을 이용하여 습식 에칭 후 잔류하는 은을 제거하는 단계를 더 포함하는 구조화 입자를 제조하는 방법.
  36. 실리콘-함유 섬유의 제조방법으로, 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 따른 실리콘-함유 구조화 입자로부터 실리콘-함유 연장 구조들을 분리시켜 실리콘-함유 섬유를 제조하는 실리콘-함유 섬유의 제조방법.
  37. 제 36 항에 있어서, 상기 실리콘-함유 연장 구조들이 하나 이상의 스크래핑, 교반 또는 화학적 에칭에 의해 상기 실리콘-함유 구조화 입자로부터 분리되는 실리콘-함유 섬유의 제조 방법.
  38. 제 37항에 있어서, 상기 섬유들은 {110} 표면들을 가지는 측부들을 가지는 실리콘-함유 섬유의 제조방법.
  39. 제 36 항에 따라 제조된 실리콘-함유 섬유를 함유하는 코팅을 증착하는 단계를 포함하는 전극의 제조방법.
  40. 제 36 항에 따라 제조된 실리콘-함유 섬유를 함유하는 용매-기재 슬러리를 제조하는 단계, 집전체 상에 슬러리를 코팅하는 단계, 및 용매를 증발시켜 복합 막을 생성하는 단계를 포함하는 다공성 복합 전극의 제조 방법.
  41. 제 36 항에 따라 제조되는 복수의 실리콘-함유 섬유들을 활성 물질들 중 하나로서 함유하는 전극.
  42. 제 41 항에 따른 전극을 포함하는 전기화학 셀.
  43. 제 42 항에 있어서, 상기 전기화학 셀은 캐소드를 더 포함하며, 상기 캐소드는 활성 물질로서 리튬 이온을 방출 및 재흡수할 수 있는 리튬-함유 화합물을 포함하는 전기화학 셀.
  44. 제 43 항에 따른 전기화학 셀에 의해 전력이 공급되는 장치.
  45. 복수의 실리콘-함유 입자들을 자체의 활성 물질들 중 하나로써 함유하는 전기화학 셀용 전극으로서, 상기 실리콘 함유 입자들은:
    (a) 특정한 형상을 가지는 코어 및 코어로부터 신장되는 복수의 실리콘 함유 연장 구조들을 포함하는 구조화 입자; 또는
    (b) 실리콘-함유 섬유들 중 적어도 하나를 포함하고,
    상기 연장 구조들 또는 섬유들은 {110} 평면들 상에서 종료되는 표면들을 가지는 측부들을 가지는 전극.
  46. 제 1 항에 있어서, 상기 코어는 상기 코어의 면에 수직인 방향이 불연속적으로 변하는 각진 형상을 가지는 구조화 입자.
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Families Citing this family (91)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0601319D0 (en) 2006-01-23 2006-03-01 Imp Innovations Ltd A method of fabricating pillars composed of silicon-based material
WO2008089110A1 (en) 2007-01-12 2008-07-24 Microazure Corporation Three-dimensional batteries and methods of manufacturing the same
GB0709165D0 (en) 2007-05-11 2007-06-20 Nexeon Ltd A silicon anode for a rechargeable battery
US8066770B2 (en) * 2007-05-31 2011-11-29 Depuy Products, Inc. Sintered coatings for implantable prostheses
GB0713898D0 (en) 2007-07-17 2007-08-29 Nexeon Ltd A method of fabricating structured particles composed of silcon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries
GB0713896D0 (en) 2007-07-17 2007-08-29 Nexeon Ltd Method
GB0713895D0 (en) 2007-07-17 2007-08-29 Nexeon Ltd Production
US7816031B2 (en) 2007-08-10 2010-10-19 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Nanowire battery methods and arrangements
GB2464157B (en) 2008-10-10 2010-09-01 Nexeon Ltd A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material
GB2464158B (en) 2008-10-10 2011-04-20 Nexeon Ltd A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries
KR101819035B1 (ko) * 2009-02-16 2018-01-18 삼성전자주식회사 14족 금속나노튜브를 포함하는 음극, 이를 채용한 리튬전지 및 이의 제조 방법
US8940438B2 (en) 2009-02-16 2015-01-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Negative electrode including group 14 metal/metalloid nanotubes, lithium battery including the negative electrode, and method of manufacturing the negative electrode
GB2470056B (en) 2009-05-07 2013-09-11 Nexeon Ltd A method of making silicon anode material for rechargeable cells
US20100285358A1 (en) 2009-05-07 2010-11-11 Amprius, Inc. Electrode Including Nanostructures for Rechargeable Cells
GB2495951B (en) * 2011-10-26 2014-07-16 Nexeon Ltd A composition for a secondary battery cell
GB0908089D0 (en) 2009-05-11 2009-06-24 Nexeon Ltd A binder for lithium ion rechargaable battery cells
GB2470190B (en) 2009-05-11 2011-07-13 Nexeon Ltd A binder for lithium ion rechargeable battery cells
US9853292B2 (en) 2009-05-11 2017-12-26 Nexeon Limited Electrode composition for a secondary battery cell
EP2433475B1 (en) 2009-05-19 2021-04-21 OneD Material, Inc. Nanostructured materials for battery applications
US8450012B2 (en) 2009-05-27 2013-05-28 Amprius, Inc. Interconnected hollow nanostructures containing high capacity active materials for use in rechargeable batteries
US9373838B2 (en) 2009-09-29 2016-06-21 Georgia Tech Research Corporation Electrodes, lithium-ion batteries, and methods of making and using same
US9061902B2 (en) 2009-12-18 2015-06-23 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Crystalline-amorphous nanowires for battery electrodes
EP2543098B1 (en) 2010-03-03 2019-07-31 Amprius, Inc. Template electrode structures for depositing active materials
US9780365B2 (en) 2010-03-03 2017-10-03 Amprius, Inc. High-capacity electrodes with active material coatings on multilayered nanostructured templates
US9172088B2 (en) 2010-05-24 2015-10-27 Amprius, Inc. Multidimensional electrochemically active structures for battery electrodes
GB201005979D0 (en) 2010-04-09 2010-05-26 Nexeon Ltd A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries
GB201009519D0 (en) 2010-06-07 2010-07-21 Nexeon Ltd An additive for lithium ion rechargeable battery cells
GB201014706D0 (en) * 2010-09-03 2010-10-20 Nexeon Ltd Porous electroactive material
GB201014707D0 (en) * 2010-09-03 2010-10-20 Nexeon Ltd Electroactive material
US9843027B1 (en) 2010-09-14 2017-12-12 Enovix Corporation Battery cell having package anode plate in contact with a plurality of dies
WO2012067943A1 (en) 2010-11-15 2012-05-24 Amprius, Inc. Electrolytes for rechargeable batteries
GB2487569B (en) * 2011-01-27 2014-02-19 Nexeon Ltd A binder for a secondary battery cell
FR2972461B1 (fr) * 2011-03-09 2021-01-01 Inst Nat Sciences Appliquees Lyon Procede de fabrication de nanoparticules semi-conductrices
JP5551101B2 (ja) * 2011-03-30 2014-07-16 株式会社クラレ リチウムイオン二次電池用の負極およびリチウムイオン二次電池
GB2492167C (en) 2011-06-24 2018-12-05 Nexeon Ltd Structured particles
EP2727175A4 (en) 2011-07-01 2015-07-01 Amprius Inc ELECTRODE TEMPLATE STRUCTURES WITH IMPROVED ADHESION PROPERTIES
ES2893853T3 (es) 2011-07-26 2022-02-10 Oned Mat Inc Método para producir nanocables de silicio
GB2500163B (en) 2011-08-18 2016-02-24 Nexeon Ltd Method
US20130084495A1 (en) * 2011-09-30 2013-04-04 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Power storage device
GB201117279D0 (en) 2011-10-06 2011-11-16 Nexeon Ltd Etched silicon structures, method of forming etched silicon structures and uses thereof
JP5857614B2 (ja) * 2011-10-17 2016-02-10 日産自動車株式会社 リチウムイオン二次電池用負極活物質
KR101323328B1 (ko) * 2011-11-24 2013-10-30 한국과학기술연구원 다공성 컬럼형 실리콘 비대칭하이브리드 리튬이차전지
CN103137968B (zh) * 2011-11-30 2015-06-10 北京有色金属研究总院 锂离子电池用的正极复合材料及其制备方法
GB201122315D0 (en) 2011-12-23 2012-02-01 Nexeon Ltd Etched silicon structures, method of forming etched silicon structures and uses thereof
US9356271B2 (en) 2012-01-24 2016-05-31 Enovix Corporation Ionically permeable structures for energy storage devices
US8841030B2 (en) 2012-01-24 2014-09-23 Enovix Corporation Microstructured electrode structures
JP2015508934A (ja) * 2012-01-30 2015-03-23 ネクソン リミテッドＮｅｘｅｏｎ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｓｉ／Ｃ電気活性材料組成物
GB2499984B (en) * 2012-02-28 2014-08-06 Nexeon Ltd Composite particles comprising a removable filler
GB2502345B (en) * 2012-05-25 2017-03-15 Nexeon Ltd Composite material
GB2502625B (en) 2012-06-06 2015-07-29 Nexeon Ltd Method of forming silicon
CN104662714B (zh) 2012-08-16 2017-09-29 艾诺维克斯公司 三维电池的电极结构
US10374221B2 (en) 2012-08-24 2019-08-06 Sila Nanotechnologies, Inc. Scaffolding matrix with internal nanoparticles
GB2507535B (en) 2012-11-02 2015-07-15 Nexeon Ltd Multilayer electrode
TW201421771A (zh) * 2012-11-16 2014-06-01 Quan An Resource Co Ltd 矽材料之製備方法及其應用
WO2014119229A1 (ja) * 2013-01-30 2014-08-07 三洋電機株式会社 非水電解質二次電池用負極及び非水電解質二次電池
KR102512505B1 (ko) 2013-03-15 2023-03-22 에노빅스 코오퍼레이션 3차원 배터리들을 위한 분리기들
US20140346618A1 (en) 2013-05-23 2014-11-27 Nexeon Limited Surface treated silicon containing active materials for electrochemical cells
EP3014680B1 (en) 2013-10-15 2017-04-12 Nexeon Limited Reinforced current collecting substrate assemblies for electrochemical cells
KR101737197B1 (ko) * 2014-02-28 2017-05-17 주식회사 엘지화학 다공성 실리콘계 음극 활물질, 이의 제조 방법, 및 이를 포함하는 리튬 이차전지
KR101567203B1 (ko) 2014-04-09 2015-11-09 (주)오렌지파워 이차 전지용 음극 활물질 및 이의 방법
KR101604352B1 (ko) 2014-04-22 2016-03-18 (주)오렌지파워 음극 활물질 및 이를 포함하는 리튬 이차 전지
CN106663786B (zh) 2014-05-12 2020-06-16 安普瑞斯股份有限公司 硅在纳米线上的结构受控的沉积
KR101550781B1 (ko) 2014-07-23 2015-09-08 (주)오렌지파워 2 차 전지용 실리콘계 활물질 입자의 제조 방법
KR101823069B1 (ko) * 2014-11-19 2018-01-30 연세대학교 산학협력단 구형의 실리카 표면에 나노선 형태로 음각화되어 있는 이산화탄소 건식흡착제용 담체 및 이의 제조방법
GB2533161C (en) 2014-12-12 2019-07-24 Nexeon Ltd Electrodes for metal-ion batteries
KR101614016B1 (ko) 2014-12-31 2016-04-20 (주)오렌지파워 실리콘계 음극 활물질 및 이의 제조 방법
KR101726037B1 (ko) 2015-03-26 2017-04-11 (주)오렌지파워 실리콘계 음극 활물질 및 이의 제조 방법
NL2014588B1 (en) * 2015-04-07 2017-01-19 Stichting Energieonderzoek Centrum Nederland Rechargeable battery and method for manufacturing the same.
ES2956858T3 (es) 2015-05-14 2023-12-29 Enovix Corp Restricciones longitudinales para dispositivos de almacenamiento de energía
KR20230110655A (ko) 2016-05-13 2023-07-24 에노빅스 코오퍼레이션 3차원 배터리들에 대한 치수 구속부들
ES2962317T3 (es) 2016-07-15 2024-03-18 Oned Mat Inc Aparato de fabricación y método para fabricar nanocables de silicio sobre polvos basados en carbono para uso en baterías
KR101918815B1 (ko) 2016-08-23 2018-11-15 넥시온 엘티디. 이차 전지용 음극 활물질 및 이의 제조 방법
KR101773719B1 (ko) 2016-08-23 2017-09-01 (주)오렌지파워 2 차 전지용 실리콘계 활물질 입자 및 이의 제조 방법
DE102016218501A1 (de) 2016-09-27 2018-03-29 Robert Bosch Gmbh Ätzverfahren zur Herstellung von porösen Siliciumpartikeln
WO2018093965A1 (en) 2016-11-16 2018-05-24 Enovix Corporation Three-dimensional batteries with compressible cathodes
US10784477B2 (en) * 2016-11-28 2020-09-22 Viking Power Systems Pte. Ltd. Rechargeable battery with elastically compliant housing
CN107068993B (zh) * 2017-01-17 2019-05-10 北京工商大学 一种三维复合Co3O4-Si-C负极材料的制备方法
GB201704586D0 (en) * 2017-03-23 2017-05-10 Blacksilicon Ltd Electrodes for metal- ion batteries
KR101968112B1 (ko) 2017-05-26 2019-04-11 한국화학연구원 이차전지 음극재
US11264680B2 (en) 2017-11-15 2022-03-01 Enovix Corporation Electrode assembly and secondary battery
US10256507B1 (en) 2017-11-15 2019-04-09 Enovix Corporation Constrained electrode assembly
US11211639B2 (en) 2018-08-06 2021-12-28 Enovix Corporation Electrode assembly manufacture and device
RU2698574C1 (ru) * 2018-11-28 2019-08-28 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" Способ изготовления полупроводниковой структуры, выступающей из монолитного кремниевого тела
RU2718707C1 (ru) * 2019-01-11 2020-04-14 Сергей Николаевич Максимовский Способ создания наноструктурированного кремниевого анода
CN110010864A (zh) * 2019-03-21 2019-07-12 中国科学院半导体研究所 硅-石墨烯电池负极材料及其制备方法、锂电池
CN110380029B (zh) * 2019-07-10 2022-03-25 长园泽晖新能源材料研究院(珠海)有限公司 锂电池用硅基负极材料及其制备方法
EP4200921A1 (en) 2020-09-18 2023-06-28 Enovix Corporation Processes for delineating a population of electrode structures in a web using a laser beam
RU2749534C1 (ru) * 2020-10-27 2021-06-11 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт высокотемпературной электрохимии Уральского отделения Российской Академии наук Электрохимический способ обработки монокристаллических кремниевых пластин для солнечных батарей
JP2023553115A (ja) 2020-12-09 2023-12-20 エノビクス・コーポレイション 電極、電極スタックおよび電池の製造のための装置、システムおよび方法
CN115275209B (zh) * 2022-09-28 2023-03-10 四川启睿克科技有限公司 具有稳定结构的高首效硅负极、制备方法及锂离子电池
CN117393741A (zh) * 2023-12-12 2024-01-12 陕西晶泰新能源科技有限公司 碳包覆的异元素掺杂氧化亚硅/石墨复合材料的制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050090218A (ko) * 2004-03-08 2005-09-13 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지용 음극 활물질, 그의 제조 방법 및 그를포함하는 리튬 이차 전지
US20060097691A1 (en) 2002-11-05 2006-05-11 Mino Green Structured silicon anode

Family Cites Families (292)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB601318A (en) 1944-06-16 1948-05-04 August Wullschleger Improvements in or relating to friction clutches
GB980513A (en) 1961-11-17 1965-01-13 Licentia Gmbh Improvements relating to the use of silicon in semi-conductor devices
US3351445A (en) 1963-08-07 1967-11-07 William S Fielder Method of making a battery plate
GB1014706A (en) 1964-07-30 1965-12-31 Hans Ohl Improvements in or relating to devices for controlling the dosing of a plurality of different pourable substances for the production of mixtures
US4002541A (en) * 1972-11-03 1977-01-11 Design Systems, Inc. Solar energy absorbing article and method of making same
SU471402A1 (ru) 1973-03-02 1975-05-25 Предприятие П/Я Г-4671 Травильный раствор
SU544019A1 (ru) 1975-07-22 1977-01-25 Одесский Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет Им.И.И.Мечникова Травитель дл полупроводниковых материалов
US4436796A (en) 1981-07-30 1984-03-13 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy All-solid electrodes with mixed conductor matrix
JPS63215041A (ja) 1987-03-04 1988-09-07 Toshiba Corp 結晶欠陥評価用エツチング液
US4950566A (en) 1988-10-24 1990-08-21 Huggins Robert A Metal silicide electrode in lithium cells
JPH08987B2 (ja) 1989-02-10 1996-01-10 日産自動車株式会社 アルミニウム合金の表面処理方法
WO1991006132A1 (en) * 1989-10-13 1991-05-02 The Regents Of The University Of California Cell for making secondary batteries
JP2717890B2 (ja) 1991-05-27 1998-02-25 富士写真フイルム株式会社 リチウム二次電池
DE4202454C1 (ko) 1992-01-29 1993-07-29 Siemens Ag, 8000 Muenchen, De
JP3216311B2 (ja) 1993-03-26 2001-10-09 松下電器産業株式会社 リチウム電池
CA2143102A1 (en) 1993-06-23 1995-01-05 Tatsuhiko Suzuki Electrode for batteries, secondary battery using the same and process for producing electrode for batteries
JPH07202023A (ja) * 1993-12-28 1995-08-04 Nippon Steel Corp 半導体記憶装置及びその製造方法
TW342537B (en) 1995-03-03 1998-10-11 Atochem North America Elf Polymeric electrode, electrolyte, article of manufacture and composition
US5660948A (en) 1995-09-26 1997-08-26 Valence Technology, Inc. Lithium ion electrochemical cell
US5907899A (en) 1996-06-11 1999-06-01 Dow Corning Corporation Method of forming electrodes for lithium ion batteries using polycarbosilanes
US6881520B1 (en) 1996-06-14 2005-04-19 N.V. Umicore S.A. Electrode material for rechargeable batteries and process for the preparation thereof
JP3713900B2 (ja) 1996-07-19 2005-11-09 ソニー株式会社 負極材料及びこれを用いた非水電解液二次電池
JPH1046366A (ja) 1996-08-02 1998-02-17 Toyota Motor Corp アルミニウム合金用エッチング液およびエッチング方法
US6022640A (en) 1996-09-13 2000-02-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Solid state rechargeable lithium battery, stacking battery, and charging method of the same
JPH1097833A (ja) * 1996-09-20 1998-04-14 Nippon Electric Glass Co Ltd 陰極線管用パネル
JP3296543B2 (ja) 1996-10-30 2002-07-02 スズキ株式会社 めっき被覆アルミニウム合金、及びそのシリンダーブロック、めっき処理ライン、めっき方法
JP3620559B2 (ja) 1997-01-17 2005-02-16 株式会社ユアサコーポレーション 非水電解質電池
US6337156B1 (en) * 1997-12-23 2002-01-08 Sri International Ion battery using high aspect ratio electrodes
JP4399881B2 (ja) 1998-12-02 2010-01-20 パナソニック株式会社 非水電解質二次電池
JP3624088B2 (ja) 1998-01-30 2005-02-23 キヤノン株式会社 粉末材料、電極構造体、それらの製造方法、及びリチウム二次電池
JPH11283603A (ja) 1998-03-30 1999-10-15 Noritake Co Ltd 電池用セパレーター及びその製造方法
JP4728458B2 (ja) 1998-06-12 2011-07-20 宇部興産株式会社 非水二次電池
US6235427B1 (en) 1998-05-13 2001-05-22 Fuji Photo Film Co., Ltd. Nonaqueous secondary battery containing silicic material
JP2948205B1 (ja) 1998-05-25 1999-09-13 花王株式会社 二次電池用負極の製造方法
JP2000022162A (ja) 1998-07-06 2000-01-21 Advanced Display Inc 液晶表示装置の製法
US6063995A (en) 1998-07-16 2000-05-16 First Solar, Llc Recycling silicon photovoltaic modules
KR100276656B1 (ko) 1998-09-16 2001-04-02 박찬구 박막형 복합 재료 양극으로 구성된 고체형 이차 전지
EP1052712B1 (en) 1998-12-02 2010-02-24 Panasonic Corporation Non-aqueous electrolyte secondary cell
US6809229B2 (en) 1999-01-12 2004-10-26 Hyperion Catalysis International, Inc. Method of using carbide and/or oxycarbide containing compositions
KR100310824B1 (ko) * 1999-01-29 2001-10-17 김영환 반도체장치의 캐패시터 및 그 제조방법
US6280697B1 (en) 1999-03-01 2001-08-28 The University Of North Carolina-Chapel Hill Nanotube-based high energy material and method
DE19922257A1 (de) 1999-05-14 2000-11-16 Siemens Ag Verfahren zum Einbringen von Schlitzen in Siliziumscheiben
US6399177B1 (en) 1999-06-03 2002-06-04 The Penn State Research Foundation Deposited thin film void-column network materials
US6313015B1 (en) 1999-06-08 2001-11-06 City University Of Hong Kong Growth method for silicon nanowires and nanoparticle chains from silicon monoxide
GB9919479D0 (en) 1999-08-17 1999-10-20 Imperial College Island arrays
EP1244163A4 (en) 1999-10-22 2007-10-31 Sanyo Electric Co ELECTRODE FOR LITHIUM ACCUMULATOR AND LITHIUM ACCUMULATOR
CN1257567C (zh) 1999-10-22 2006-05-24 三洋电机株式会社 锂电池和可再充电锂电池中用的电极
AU7951300A (en) 1999-10-22 2001-04-30 Sanyo Electric Co., Ltd. Method for producing material for electrode for lithium cell
CN1260841C (zh) 1999-10-22 2006-06-21 三洋电机株式会社 锂电池和可再充电锂电池中用的电极
US6395427B1 (en) 1999-11-04 2002-05-28 Samsung Sdi Co., Ltd. Negative active material for rechargeable lithium battery and method of preparing same
KR100772467B1 (ko) 1999-11-08 2007-11-02 나노그램 코포레이션 특정 크기의 입자를 갖는 전극
US6780704B1 (en) * 1999-12-03 2004-08-24 Asm International Nv Conformal thin films over textured capacitor electrodes
JP2000348730A (ja) 2000-01-01 2000-12-15 Seiko Instruments Inc 非水電解質二次電池
US6353317B1 (en) 2000-01-19 2002-03-05 Imperial College Of Science, Technology And Medicine Mesoscopic non-magnetic semiconductor magnetoresistive sensors fabricated with island lithography
US7335603B2 (en) 2000-02-07 2008-02-26 Vladimir Mancevski System and method for fabricating logic devices comprising carbon nanotube transistors
TW521451B (en) 2000-03-13 2003-02-21 Canon Kk Process for producing an electrode material for a rechargeable lithium battery, an electrode structural body for a rechargeable lithium battery, process for producing said electrode structural body, a rechargeable lithium battery in which said electrode
JP2001291514A (ja) 2000-04-06 2001-10-19 Sumitomo Metal Ind Ltd 非水電解質二次電池用負極材料とその製造方法
US6399246B1 (en) 2000-05-05 2002-06-04 Eveready Battery Company, Inc. Latex binder for non-aqueous battery electrodes
US6334939B1 (en) 2000-06-15 2002-01-01 The University Of North Carolina At Chapel Hill Nanostructure-based high energy capacity material
JP4137350B2 (ja) * 2000-06-16 2008-08-20 三星エスディアイ株式会社 リチウム二次電池用の負極材料及びリチウム二次電池用の電極及びリチウム二次電池並びにリチウム二次電池用の負極材料の製造方法
NL1015956C2 (nl) 2000-08-18 2002-02-19 Univ Delft Tech Batterij en werkwijze voor het vervaardigen van een dergelijke batterij.
WO2002021616A1 (fr) 2000-09-01 2002-03-14 Sanyo Electric Co., Ltd. Electrode negative pour accumulateur au lithium et procede de production
JP4212263B2 (ja) 2000-09-01 2009-01-21 三洋電機株式会社 リチウム二次電池用負極及びその製造方法
WO2002025356A2 (en) 2000-09-25 2002-03-28 Bookham Technology Plc Mechanical deformation based on optical illumination
WO2002047185A2 (en) 2000-12-06 2002-06-13 Huggins Robert A Improved electrodes for lithium batteries
WO2002058182A1 (fr) 2001-01-18 2002-07-25 Sanyo Electric Co., Ltd. Batterie secondaire au lithium
JP2002279974A (ja) 2001-03-19 2002-09-27 Sanyo Electric Co Ltd 二次電池用電極の製造方法
US7141859B2 (en) 2001-03-29 2006-11-28 Georgia Tech Research Corporation Porous gas sensors and method of preparation thereof
US6887623B2 (en) 2001-04-09 2005-05-03 Sanyo Electric Co., Ltd. Electrode for rechargeable lithium battery and rechargeable lithium battery
JP2002313319A (ja) 2001-04-09 2002-10-25 Sanyo Electric Co Ltd リチウム二次電池用電極及びリチウム二次電池
JP2002313345A (ja) 2001-04-13 2002-10-25 Japan Storage Battery Co Ltd 非水電解質二次電池
EP1258937A1 (en) 2001-05-17 2002-11-20 STMicroelectronics S.r.l. Micro silicon fuel cell, method of fabrication and self-powered semiconductor device integrating a micro fuel cell
JP4183401B2 (ja) * 2001-06-28 2008-11-19 三洋電機株式会社 リチウム二次電池用電極の製造方法及びリチウム二次電池
US7070632B1 (en) 2001-07-25 2006-07-04 Polyplus Battery Company Electrochemical device separator structures with barrier layer on non-swelling membrane
GB0118689D0 (en) * 2001-08-01 2001-09-19 Psimedica Ltd Pharmaceutical formulation
KR100382767B1 (ko) 2001-08-25 2003-05-09 삼성에스디아이 주식회사 리튬 2차 전지용 음극 박막 및 그의 제조방법
EP1313158A3 (en) 2001-11-20 2004-09-08 Canon Kabushiki Kaisha Electrode material for rechargeable lithium battery, electrode comprising said electrode material, rechargeable lithium battery having said electrode , and process for the production thereof
US7252749B2 (en) 2001-11-30 2007-08-07 The University Of North Carolina At Chapel Hill Deposition method for nanostructure materials
JP4035760B2 (ja) 2001-12-03 2008-01-23 株式会社ジーエス・ユアサコーポレーション 非水電解質二次電池
WO2003063271A1 (en) 2002-01-19 2003-07-31 Huggins Robert A Improved electrodes for alkali metal batteries
US20030135989A1 (en) 2002-01-19 2003-07-24 Huggins Robert A. Electrodes for alkali metal batteries
JP4199460B2 (ja) 2002-01-23 2008-12-17 パナソニック株式会社 角形密閉式電池
US7105053B2 (en) * 2002-02-14 2006-09-12 Rec Silicon Inc. Energy efficient method for growing polycrystalline silicon
WO2003078688A1 (en) 2002-03-15 2003-09-25 Canon Kabushiki Kaisha Porous material and process for producing the same
US7147894B2 (en) 2002-03-25 2006-12-12 The University Of North Carolina At Chapel Hill Method for assembling nano objects
US6872645B2 (en) 2002-04-02 2005-03-29 Nanosys, Inc. Methods of positioning and/or orienting nanostructures
JP3607901B2 (ja) * 2002-04-26 2005-01-05 ムネカタ株式会社 熱可塑性樹脂用難燃性付与剤
JP4302948B2 (ja) 2002-07-22 2009-07-29 ユニ・チャーム株式会社 清掃用保持具およびその清掃用保持具を用いた清掃物品
JP2004071305A (ja) 2002-08-05 2004-03-04 Hitachi Maxell Ltd 非水電解質二次電池
US20080003496A1 (en) 2002-08-09 2008-01-03 Neudecker Bernd J Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate
US8445130B2 (en) 2002-08-09 2013-05-21 Infinite Power Solutions, Inc. Hybrid thin-film battery
US6916679B2 (en) 2002-08-09 2005-07-12 Infinite Power Solutions, Inc. Methods of and device for encapsulation and termination of electronic devices
US20070264564A1 (en) 2006-03-16 2007-11-15 Infinite Power Solutions, Inc. Thin film battery on an integrated circuit or circuit board and method thereof
US8021778B2 (en) 2002-08-09 2011-09-20 Infinite Power Solutions, Inc. Electrochemical apparatus with barrier layer protected substrate
US8236443B2 (en) 2002-08-09 2012-08-07 Infinite Power Solutions, Inc. Metal film encapsulation
JP2004095264A (ja) 2002-08-30 2004-03-25 Mitsubishi Materials Corp リチウムイオン二次電池用負極及び該負極を用いて作製したリチウムイオン二次電池
EP1547973A4 (en) 2002-09-05 2008-07-30 Nat Inst Of Advanced Ind Scien CARBON FINE POWDER COATED WITH METAL OXIDE, METAL NITRIDE OR METALLIC CARBIDE, CORRESPONDING PRODUCTION PROCESS AND SUPERCAPSULATOR AND ACCUMULATOR USING THE CARBON FINE POWDER
US20040126659A1 (en) 2002-09-10 2004-07-01 Graetz Jason A. High-capacity nanostructured silicon and lithium alloys thereof
US7051945B2 (en) 2002-09-30 2006-05-30 Nanosys, Inc Applications of nano-enabled large area macroelectronic substrates incorporating nanowires and nanowire composites
JP4614625B2 (ja) 2002-09-30 2011-01-19 三洋電機株式会社 リチウム二次電池の製造方法
CA2411695A1 (fr) 2002-11-13 2004-05-13 Hydro-Quebec Electrode recouverte d'un film obtenu a partir d'une solution aqueuse comportant un liant soluble dans l'eau, son procede de fabrication et ses utilisations
JP4088957B2 (ja) 2002-11-19 2008-05-21 ソニー株式会社 リチウム二次電池
JP3664252B2 (ja) 2002-11-19 2005-06-22 ソニー株式会社 負極およびそれを用いた電池
JP4025995B2 (ja) 2002-11-26 2007-12-26 信越化学工業株式会社 非水電解質二次電池負極材及びその製造方法並びにリチウムイオン二次電池
EP1569733A2 (en) 2002-12-09 2005-09-07 The University of North Carolina at Chapel Hill Methods for assembly and sorting of nanostructure-containing materials and related articles
US7491467B2 (en) 2002-12-17 2009-02-17 Mitsubishi Chemical Corporation Negative electrode for nonaqueous electrolyte secondary battery and nonaqueous electrolyte secondary battery using the same
JP3827642B2 (ja) 2003-01-06 2006-09-27 三星エスディアイ株式会社 リチウム二次電池用負極活物質及びその製造方法並びにリチウム二次電池
US8048568B2 (en) 2003-01-06 2011-11-01 Samsung Sdi Co., Ltd. Negative active material for rechargeable lithium battery and rechargeable lithium battery
CN100452493C (zh) 2003-01-06 2009-01-14 三星Sdi株式会社 再充电锂电池用的负极活性材料、其制法和再充电锂电池
US7244513B2 (en) * 2003-02-21 2007-07-17 Nano-Proprietary, Inc. Stain-etched silicon powder
JP2004281317A (ja) 2003-03-18 2004-10-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 非水電解質二次電池用電極材料とその製造方法、ならびにそれを用いた非水電解質二次電池
US20040185346A1 (en) 2003-03-19 2004-09-23 Takeuchi Esther S. Electrode having metal vanadium oxide nanoparticles for alkali metal-containing electrochemical cells
US6969690B2 (en) 2003-03-21 2005-11-29 The University Of North Carolina At Chapel Hill Methods and apparatus for patterned deposition of nanostructure-containing materials by self-assembly and related articles
US7378041B2 (en) 2003-03-26 2008-05-27 Canon Kabushiki Kaisha Electrode material for lithium secondary battery, electrode structure comprising the electrode material and secondary battery comprising the electrode structure
JP4027255B2 (ja) 2003-03-28 2007-12-26 三洋電機株式会社 リチウム二次電池用負極及びその製造方法
US20040241548A1 (en) 2003-04-02 2004-12-02 Takayuki Nakamoto Negative electrode active material and non-aqueous electrolyte rechargeable battery using the same
JP4607488B2 (ja) 2003-04-25 2011-01-05 三井化学株式会社 リチウム電池用非水電解液およびその製造方法ならびにリチウムイオン二次電池
KR20060010727A (ko) 2003-05-22 2006-02-02 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 비수 전해질 2차 전지와 그 제조 방법
WO2004109839A1 (ja) 2003-06-09 2004-12-16 Sanyo Electric Co., Ltd. リチウム二次電池及びその製造方法
US7094499B1 (en) 2003-06-10 2006-08-22 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Carbon materials metal/metal oxide nanoparticle composite and battery anode composed of the same
JP4610213B2 (ja) 2003-06-19 2011-01-12 三洋電機株式会社 リチウム二次電池及びその製造方法
US7265037B2 (en) 2003-06-20 2007-09-04 The Regents Of The University Of California Nanowire array and nanowire solar cells and methods for forming the same
US7318982B2 (en) 2003-06-23 2008-01-15 A123 Systems, Inc. Polymer composition for encapsulation of electrode particles
JP4095499B2 (ja) 2003-06-24 2008-06-04 キヤノン株式会社 リチウム二次電池用の電極材料、電極構造体及びリチウム二次電池
EP1662592A4 (en) 2003-07-15 2008-09-24 Itochu Corp ELECTRICITY STRUCTURE AND ELECTRON STRUCTURE
KR100595896B1 (ko) 2003-07-29 2006-07-03 주식회사 엘지화학 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그의 제조 방법
KR100496306B1 (ko) 2003-08-19 2005-06-17 삼성에스디아이 주식회사 리튬 금속 애노드의 제조방법
KR100497251B1 (ko) 2003-08-20 2005-06-23 삼성에스디아이 주식회사 리튬 설퍼 전지용 음극 보호막 조성물 및 이를 사용하여제조된 리튬 설퍼 전지
US7479351B2 (en) 2003-10-09 2009-01-20 Samsung Sdi Co., Ltd. Electrode material for a lithium secondary battery, lithium secondary battery, and preparation method for the electrode material for a lithium secondary battery
DE10347570B4 (de) 2003-10-14 2015-07-23 Evonik Degussa Gmbh Anorganische Separator-Elektroden-Einheit für Lithium-Ionen-Batterien, Verfahren zu deren Herstellung, Verwendung in Lithium-Batterien und Lithium-Batterien mit der anorganischen Separator-Elektroden-Einheit
JP4497899B2 (ja) 2003-11-19 2010-07-07 三洋電機株式会社 リチウム二次電池
US7816032B2 (en) 2003-11-28 2010-10-19 Panasonic Corporation Energy device and method for producing the same
US7553371B2 (en) 2004-02-02 2009-06-30 Nanosys, Inc. Porous substrates, articles, systems and compositions comprising nanofibers and methods of their use and production
US8025960B2 (en) 2004-02-02 2011-09-27 Nanosys, Inc. Porous substrates, articles, systems and compositions comprising nanofibers and methods of their use and production
US20110039690A1 (en) 2004-02-02 2011-02-17 Nanosys, Inc. Porous substrates, articles, systems and compositions comprising nanofibers and methods of their use and production
JP2005235358A (ja) 2004-02-23 2005-09-02 Tdk Corp 磁気記録媒体
US7468224B2 (en) 2004-03-16 2008-12-23 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Battery having improved positive electrode and method of manufacturing the same
US7521153B2 (en) 2004-03-16 2009-04-21 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Corrosion protection using protected electron collector
US7348102B2 (en) 2004-03-16 2008-03-25 Toyota Motor Corporation Corrosion protection using carbon coated electron collector for lithium-ion battery with molten salt electrolyte
JP4623283B2 (ja) 2004-03-26 2011-02-02 信越化学工業株式会社 珪素複合体粒子及びその製造方法並びに非水電解質二次電池用負極材
US7790316B2 (en) * 2004-03-26 2010-09-07 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Silicon composite particles, preparation thereof, and negative electrode material for non-aqueous electrolyte secondary cell
DE102004016766A1 (de) 2004-04-01 2005-10-20 Degussa Nanoskalige Siliziumpartikel in negativen Elektrodenmaterialien für Lithium-Ionen-Batterien
US8231810B2 (en) 2004-04-15 2012-07-31 Fmc Corporation Composite materials of nano-dispersed silicon and tin and methods of making the same
US7781102B2 (en) 2004-04-22 2010-08-24 California Institute Of Technology High-capacity nanostructured germanium-containing materials and lithium alloys thereof
KR20070011550A (ko) * 2004-04-30 2007-01-24 나노시스, 인크. 나노와이어 성장 및 획득 시스템 및 방법
KR100821630B1 (ko) 2004-05-17 2008-04-16 주식회사 엘지화학 전극 및 이의 제조방법
US20060019115A1 (en) 2004-05-20 2006-01-26 Liya Wang Composite material having improved microstructure and method for its fabrication
GB2414231A (en) 2004-05-21 2005-11-23 Psimedica Ltd Porous silicon
JP5156375B2 (ja) 2004-07-01 2013-03-06 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア プロパンからのアクロレインもしくはアクリル酸またはそれらの混合物の製造
FR2873854A1 (fr) 2004-07-30 2006-02-03 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'une electrode lithiee, electrode lithiee susceptible d'etre obtenue par ce procede et ses utilisations
US20060088767A1 (en) 2004-09-01 2006-04-27 Wen Li Battery with molten salt electrolyte and high voltage positive active material
US20060051670A1 (en) * 2004-09-03 2006-03-09 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Non-aqueous electrolyte secondary cell negative electrode material and metallic silicon power therefor
US7635540B2 (en) 2004-11-15 2009-12-22 Panasonic Corporation Negative electrode for non-aqueous electrolyte secondary battery and non-aqueous electrolyte secondary battery comprising the same
US7955735B2 (en) 2004-11-15 2011-06-07 Panasonic Corporation Non-aqueous electrolyte secondary battery
CN101707256B (zh) 2004-12-09 2013-11-06 奈米系统股份有限公司 用于燃料电池的基于纳米线的膜电极组件
US7939218B2 (en) 2004-12-09 2011-05-10 Nanosys, Inc. Nanowire structures comprising carbon
JP4824394B2 (ja) 2004-12-16 2011-11-30 パナソニック株式会社 リチウムイオン二次電池用負極、その製造方法、およびそれを用いたリチウムイオン二次電池
KR100738054B1 (ko) 2004-12-18 2007-07-12 삼성에스디아이 주식회사 음극 활물질, 그 제조 방법 및 이를 채용한 음극과 리튬전지
JP4229062B2 (ja) 2004-12-22 2009-02-25 ソニー株式会社 リチウムイオン二次電池
CN100511781C (zh) 2004-12-22 2009-07-08 松下电器产业株式会社 复合负极活性材料及其制备方法以及非水电解质二次电池
FR2880198B1 (fr) 2004-12-23 2007-07-06 Commissariat Energie Atomique Electrode nanostructuree pour microbatterie
JP4095621B2 (ja) 2005-03-28 2008-06-04 アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 光学画像取得装置、光学画像取得方法、及びマスク検査装置
JP2006290938A (ja) 2005-04-06 2006-10-26 Nippon Brake Kogyo Kk 摩擦材
CA2506104A1 (en) 2005-05-06 2006-11-06 Michel Gauthier Surface modified redox compounds and composite electrode obtain from them
US7560085B2 (en) 2005-05-09 2009-07-14 Vesta Research, Ltd. Porous silicon particles
US7781100B2 (en) 2005-05-10 2010-08-24 Advanced Lithium Electrochemistry Co., Ltd Cathode material for manufacturing rechargeable battery
TWI254031B (en) 2005-05-10 2006-05-01 Aquire Energy Co Ltd Manufacturing method of LixMyPO4 compound with olivine structure
US7799457B2 (en) 2005-05-10 2010-09-21 Advanced Lithium Electrochemistry Co., Ltd Ion storage compound of cathode material and method for preparing the same
US20080138710A1 (en) 2005-05-10 2008-06-12 Ben-Jie Liaw Electrochemical Composition and Associated Technology
US7700236B2 (en) 2005-09-09 2010-04-20 Aquire Energy Co., Ltd. Cathode material for manufacturing a rechargeable battery
US7887954B2 (en) 2005-05-10 2011-02-15 Advanced Lithium Electrochemistry Co., Ltd. Electrochemical composition and associated technology
FR2885734B1 (fr) 2005-05-13 2013-07-05 Accumulateurs Fixes Materiau nanocomposite pour anode d'accumulateur au lithium
JP2006351516A (ja) 2005-05-16 2006-12-28 Toshiba Corp 負極活物質及び非水電解質二次電池
FR2885913B1 (fr) 2005-05-18 2007-08-10 Centre Nat Rech Scient Element composite comprenant un substrat conducteur et un revetement metallique nanostructure.
JP4603422B2 (ja) 2005-06-01 2010-12-22 株式会社タカギセイコー 樹脂製タンクの表面処理方法
CN100533821C (zh) 2005-06-03 2009-08-26 松下电器产业株式会社 非水电解质二次电池及其负极的制备方法
US7682741B2 (en) 2005-06-29 2010-03-23 Panasonic Corporation Composite particle for lithium rechargeable battery, manufacturing method of the same, and lithium rechargeable battery using the same
KR100684733B1 (ko) 2005-07-07 2007-02-20 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지
CN100540456C (zh) 2005-07-12 2009-09-16 中国科学院物理研究所 一种纳米硅线/碳复合材料及其制备方法和用途
US7851085B2 (en) 2005-07-25 2010-12-14 3M Innovative Properties Company Alloy compositions for lithium ion batteries
JP4876468B2 (ja) 2005-07-27 2012-02-15 パナソニック株式会社 非水電解質二次電池
US8080334B2 (en) 2005-08-02 2011-12-20 Panasonic Corporation Lithium secondary battery
KR100845702B1 (ko) 2005-08-23 2008-07-11 주식회사 엘지화학 개선된 접착력 및 코팅 특성을 갖는 이차 전지용 바인더
CN100438157C (zh) 2005-08-29 2008-11-26 松下电器产业株式会社 用于非水电解质二次电池的负极、其制造方法以及非水电解质二次电池
US7524529B2 (en) 2005-09-09 2009-04-28 Aquire Energy Co., Ltd. Method for making a lithium mixed metal compound having an olivine structure
KR100738057B1 (ko) 2005-09-13 2007-07-10 삼성에스디아이 주식회사 음극 전극 및 이를 채용한 리튬 전지
CN100431204C (zh) 2005-09-22 2008-11-05 松下电器产业株式会社 负极和使用该负极制备的锂离子二次电池
JP2007123242A (ja) 2005-09-28 2007-05-17 Sanyo Electric Co Ltd 非水電解質二次電池
ATE555513T1 (de) 2005-10-13 2012-05-15 3M Innovative Properties Co Verfahren zur verwendung einer elektrochemischen zelle
KR100759556B1 (ko) * 2005-10-17 2007-09-18 삼성에스디아이 주식회사 음극 활물질, 그 제조 방법 및 이를 채용한 음극과 리튬전지
US20070099084A1 (en) 2005-10-31 2007-05-03 T/J Technologies, Inc. High capacity electrode and methods for its fabrication and use
KR100749486B1 (ko) 2005-10-31 2007-08-14 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지용 음극 활물질, 그의 제조 방법 및 그를포함하는 리튬 이차 전지
JP2007128766A (ja) 2005-11-04 2007-05-24 Sony Corp 負極活物質および電池
CA2624776C (en) 2005-11-21 2015-05-12 Nanosys, Inc. Nanowire structures comprising carbon
US20070117018A1 (en) 2005-11-22 2007-05-24 Huggins Robert A Silicon and/or boron-based positive electrode
KR100949330B1 (ko) 2005-11-29 2010-03-26 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그를 포함하는 리튬 이차전지
JP2007165079A (ja) 2005-12-13 2007-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 非水電解質二次電池用負極とそれを用いた非水電解質二次電池
FR2895572B1 (fr) 2005-12-23 2008-02-15 Commissariat Energie Atomique Materiau a base de nanotubes de carbone et de silicium utilisable dans des electrodes negatives pour accumulateur au lithium
US7906238B2 (en) 2005-12-23 2011-03-15 3M Innovative Properties Company Silicon-containing alloys useful as electrodes for lithium-ion batteries
KR100763892B1 (ko) 2006-01-20 2007-10-05 삼성에스디아이 주식회사 음극 활물질, 그 제조 방법, 및 이를 채용한 음극과 리튬전지
GB0601319D0 (en) 2006-01-23 2006-03-01 Imp Innovations Ltd A method of fabricating pillars composed of silicon-based material
GB0601318D0 (en) 2006-01-23 2006-03-01 Imp Innovations Ltd Method of etching a silicon-based material
US7951242B2 (en) 2006-03-08 2011-05-31 Nanoener Technologies, Inc. Apparatus for forming structured material for energy storage device and method
US7972731B2 (en) 2006-03-08 2011-07-05 Enerl, Inc. Electrode for cell of energy storage device and method of forming the same
CN100467670C (zh) 2006-03-21 2009-03-11 无锡尚德太阳能电力有限公司 一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法
US7776473B2 (en) 2006-03-27 2010-08-17 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Silicon-silicon oxide-lithium composite, making method, and non-aqueous electrolyte secondary cell negative electrode material
WO2007114168A1 (ja) 2006-03-30 2007-10-11 Sanyo Electric Co., Ltd. リチウム二次電池及びその製造方法
KR101328982B1 (ko) 2006-04-17 2013-11-13 삼성에스디아이 주식회사 음극 활물질 및 그 제조 방법
CN100563047C (zh) 2006-04-25 2009-11-25 立凯电能科技股份有限公司 适用于制作二次电池的正极的复合材料及其所制得的电池
JP5003047B2 (ja) 2006-04-28 2012-08-15 東ソー株式会社 エッチング用組成物及びエッチング方法
KR101483123B1 (ko) 2006-05-09 2015-01-16 삼성에스디아이 주식회사 금속 나노결정 복합체를 포함하는 음극 활물질, 그 제조방법 및 이를 채용한 음극과 리튬 전지
JP2007305546A (ja) 2006-05-15 2007-11-22 Sony Corp リチウムイオン電池
KR100863733B1 (ko) 2006-05-15 2008-10-16 주식회사 엘지화학 바인더로서 폴리우레탄을 물리적으로 혼합한폴리아크릴산이 포함되어 있는 전극 합제 및 이를 기반으로하는 리튬 이차전지
US20070269718A1 (en) 2006-05-22 2007-11-22 3M Innovative Properties Company Electrode composition, method of making the same, and lithium ion battery including the same
KR100830612B1 (ko) 2006-05-23 2008-05-21 강원대학교산학협력단 리튬 이차 전지용 음극 활물질, 그의 제조 방법 및 그를포함하는 리튬 이차 전지
US8080335B2 (en) 2006-06-09 2011-12-20 Canon Kabushiki Kaisha Powder material, electrode structure using the powder material, and energy storage device having the electrode structure
JP5200339B2 (ja) 2006-06-16 2013-06-05 パナソニック株式会社 非水電解質二次電池
JP5398962B2 (ja) 2006-06-30 2014-01-29 三洋電機株式会社 リチウム二次電池及びその製造方法
US7964307B2 (en) 2006-07-24 2011-06-21 Panasonic Corporation Negative electrode for lithium ion secondary battery, method for producing the same, and lithium ion secondary battery
JP2008034266A (ja) 2006-07-28 2008-02-14 Canon Inc リチウム二次電池用負極材料の製造方法
US7722991B2 (en) 2006-08-09 2010-05-25 Toyota Motor Corporation High performance anode material for lithium-ion battery
EP2058882A4 (en) 2006-08-29 2013-03-06 Unitika Ltd BINDER FOR MANUFACTURING ELECTRODE, MELT FOR ELECTRODE MANUFACTURING USING THE BINDER, ELECTRODE USING THE SLUDGE, SECONDARY BATTERY USING THE ELECTRODE AND CAPACITOR USING THE ELECTRODE
JP5039956B2 (ja) 2006-09-07 2012-10-03 トヨタ自動車株式会社 負極活物質、負極およびリチウム二次電池
JP4164541B2 (ja) * 2006-10-10 2008-10-15 松下電器産業株式会社 非水電解質二次電池用負極
US8187754B2 (en) 2006-10-11 2012-05-29 Panasonic Corporation Coin-type non-aqueous electrolyte battery
KR100994181B1 (ko) 2006-10-31 2010-11-15 주식회사 엘지화학 전기 전도성을 향상시킨 도전제를 포함한 리튬 이차전지
KR100778450B1 (ko) 2006-11-22 2007-11-28 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지용 음극 활물질, 이의 제조 방법 및 이를포함하는 리튬 이차 전지
KR100814816B1 (ko) 2006-11-27 2008-03-20 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그를 포함하는 리튬 이차전지
JP4501081B2 (ja) 2006-12-06 2010-07-14 ソニー株式会社 電極の形成方法および電池の製造方法
JP2008171802A (ja) * 2006-12-13 2008-07-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 非水電解質二次電池用負極とその製造方法およびそれを用いた非水電解質二次電池
JP4321584B2 (ja) 2006-12-18 2009-08-26 ソニー株式会社 二次電池用負極および二次電池
US7709139B2 (en) 2007-01-22 2010-05-04 Physical Sciences, Inc. Three dimensional battery
JP5143437B2 (ja) 2007-01-30 2013-02-13 日本カーボン株式会社 リチウムイオン二次電池用負極活物質の製造方法、負極活物質及び負極
WO2008097723A1 (en) 2007-02-06 2008-08-14 3M Innovative Properties Company Electrodes including novel binders and methods of making and using the same
JP5277656B2 (ja) 2007-02-20 2013-08-28 日立化成株式会社 リチウムイオン二次電池用負極材、負極及びリチウムイオン二次電池
JP5165258B2 (ja) 2007-02-26 2013-03-21 日立マクセルエナジー株式会社 非水電解質二次電池
US20080206641A1 (en) 2007-02-27 2008-08-28 3M Innovative Properties Company Electrode compositions and electrodes made therefrom
US20080206631A1 (en) 2007-02-27 2008-08-28 3M Innovative Properties Company Electrolytes, electrode compositions and electrochemical cells made therefrom
US20090053589A1 (en) 2007-08-22 2009-02-26 3M Innovative Properties Company Electrolytes, electrode compositions, and electrochemical cells made therefrom
JP2008234988A (ja) 2007-03-20 2008-10-02 Sony Corp 負極およびその製造方法、ならびに電池およびその製造方法
KR100796664B1 (ko) 2007-03-21 2008-01-22 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 이를 포함하는 리튬 이차전지
KR100859687B1 (ko) 2007-03-21 2008-09-23 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그를 포함하는 리튬 이차전지
EP2320512B1 (en) 2007-03-27 2012-09-12 Hitachi Vehicle Energy, Ltd. Lithium secondary battery
US8361333B2 (en) 2007-03-28 2013-01-29 Life Bioscience, Inc. Compositions and methods to fabricate a photoactive substrate suitable for shaped glass structures
JP4979432B2 (ja) 2007-03-28 2012-07-18 三洋電機株式会社 円筒型リチウム二次電池
US20080241703A1 (en) 2007-03-28 2008-10-02 Hidekazu Yamamoto Nonaqueous electrolyte secondary battery
JP2008243717A (ja) 2007-03-28 2008-10-09 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 非水電解液二次電池及びその製造方法
JP5628469B2 (ja) 2007-04-26 2014-11-19 三菱化学株式会社 二次電池用非水系電解液及びそれを用いた非水系電解液二次電池
JP2008269827A (ja) 2007-04-17 2008-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電気化学素子の電極材料およびその製造方法並びにそれを用いた電極極板および電気化学素子
GB0709165D0 (en) 2007-05-11 2007-06-20 Nexeon Ltd A silicon anode for a rechargeable battery
JP5338041B2 (ja) 2007-06-05 2013-11-13 ソニー株式会社 二次電池用負極および二次電池
GB0713895D0 (en) 2007-07-17 2007-08-29 Nexeon Ltd Production
GB0713898D0 (en) * 2007-07-17 2007-08-29 Nexeon Ltd A method of fabricating structured particles composed of silcon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries
GB0713896D0 (en) 2007-07-17 2007-08-29 Nexeon Ltd Method
US7816031B2 (en) 2007-08-10 2010-10-19 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Nanowire battery methods and arrangements
EP2221893A3 (en) 2007-08-21 2013-09-18 The Regents of the University of California Nanostructures Having High Performance Thermoelectric Properties
KR101252904B1 (ko) 2007-09-06 2013-04-09 캐논 가부시끼가이샤 리튬 이온 축적·방출 재료의 제조 방법, 리튬 이온 축적·방출 재료 및 상기 재료를 사용한 전극 구조체 및 축전 디바이스
US20090078982A1 (en) 2007-09-24 2009-03-26 Willy Rachmady Alpha hydroxy carboxylic acid etchants for silicon microstructures
US20090087731A1 (en) 2007-09-27 2009-04-02 Atsushi Fukui Lithium secondary battery
US8119288B2 (en) 2007-11-05 2012-02-21 Nanotek Instruments, Inc. Hybrid anode compositions for lithium ion batteries
CN101442124B (zh) 2007-11-19 2011-09-07 比亚迪股份有限公司 锂离子电池负极用复合材料的制备方法及负极和电池
JP2009176719A (ja) 2007-12-26 2009-08-06 Sony Corp 電解液、二次電池およびスルホン化合物
US20090186267A1 (en) 2008-01-23 2009-07-23 Tiegs Terry N Porous silicon particulates for lithium batteries
US20110104480A1 (en) 2008-02-19 2011-05-05 Steven Malekos Targets and processes for fabricating same
KR101406013B1 (ko) 2008-03-17 2014-06-11 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 비수 전해질 2차 전지용 부극재 및 그것의 제조 방법, 및 비수 전해질 2차 전지용 부극 및 비수 전해질 2차 전지
US8273591B2 (en) 2008-03-25 2012-09-25 International Business Machines Corporation Super lattice/quantum well nanowires
JP2009252348A (ja) 2008-04-01 2009-10-29 Panasonic Corp 非水電解質電池
JP4998358B2 (ja) 2008-04-08 2012-08-15 ソニー株式会社 リチウムイオン二次電池用負極およびリチウムイオン二次電池
WO2009128800A1 (en) 2008-04-17 2009-10-22 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Silicon nanowire and composite formation and highly pure and uniform length silicon nanowires
JP4844849B2 (ja) 2008-04-23 2011-12-28 ソニー株式会社 リチウムイオン二次電池用負極およびリチウムイオン二次電池
CN100580876C (zh) 2008-04-25 2010-01-13 华东师范大学 一种选择性刻蚀硅纳米线的方法
US8034485B2 (en) 2008-05-29 2011-10-11 3M Innovative Properties Company Metal oxide negative electrodes for lithium-ion electrochemical cells and batteries
US20100085685A1 (en) 2008-10-06 2010-04-08 Avx Corporation Capacitor Anode Formed From a Powder Containing Coarse Agglomerates and Fine Agglomerates
GB2464157B (en) 2008-10-10 2010-09-01 Nexeon Ltd A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material
GB2464158B (en) 2008-10-10 2011-04-20 Nexeon Ltd A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries
KR101065778B1 (ko) 2008-10-14 2011-09-20 한국과학기술연구원 탄소나노튜브 피복 실리콘-구리 복합 입자 및 그 제조 방법과, 이를 이용한 이차전지용 음극 및 이차전지
JP4952746B2 (ja) 2008-11-14 2012-06-13 ソニー株式会社 リチウムイオン二次電池およびリチウムイオン二次電池用負極
CN101740747B (zh) 2008-11-27 2012-09-05 比亚迪股份有限公司 一种硅负极和含有该硅负极的锂离子电池
KR101819035B1 (ko) 2009-02-16 2018-01-18 삼성전자주식회사 14족 금속나노튜브를 포함하는 음극, 이를 채용한 리튬전지 및 이의 제조 방법
GB2470056B (en) 2009-05-07 2013-09-11 Nexeon Ltd A method of making silicon anode material for rechargeable cells
US20100285358A1 (en) 2009-05-07 2010-11-11 Amprius, Inc. Electrode Including Nanostructures for Rechargeable Cells
GB0908089D0 (en) 2009-05-11 2009-06-24 Nexeon Ltd A binder for lithium ion rechargaable battery cells
GB2470190B (en) 2009-05-11 2011-07-13 Nexeon Ltd A binder for lithium ion rechargeable battery cells
EP2433475B1 (en) 2009-05-19 2021-04-21 OneD Material, Inc. Nanostructured materials for battery applications
US20100330419A1 (en) 2009-06-02 2010-12-30 Yi Cui Electrospinning to fabricate battery electrodes
JP5220698B2 (ja) * 2009-07-06 2013-06-26 富士フイルム株式会社 結晶性ポリマー微孔性膜及びその製造方法、並びに濾過用フィルタ
EP2497144A4 (en) 2009-11-03 2014-04-23 Envia Systems Inc HIGH CAPACITY ANODE MATERIALS FOR LITHIUM ION BATTERIES
GB201005979D0 (en) 2010-04-09 2010-05-26 Nexeon Ltd A method of fabricating structured particles composed of silicon or a silicon-based material and their use in lithium rechargeable batteries
WO2011137446A2 (en) * 2010-04-30 2011-11-03 University Of Southern California Fabrication of silicon nanowires
GB2499984B (en) 2012-02-28 2014-08-06 Nexeon Ltd Composite particles comprising a removable filler
GB2529409A (en) 2014-08-18 2016-02-24 Nexeon Ltd Electroactive materials for metal-ion batteries
GB2533161C (en) 2014-12-12 2019-07-24 Nexeon Ltd Electrodes for metal-ion batteries

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060097691A1 (en) 2002-11-05 2006-05-11 Mino Green Structured silicon anode
KR20050090218A (ko) * 2004-03-08 2005-09-13 삼성에스디아이 주식회사 리튬 이차 전지용 음극 활물질, 그의 제조 방법 및 그를포함하는 리튬 이차 전지

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Chemistry A european Journal 2006,12, pp7942-7947 *

Also Published As

Publication number Publication date
EP2533331B1 (en) 2015-08-19
US20150188122A1 (en) 2015-07-02
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CA2894999A1 (en) 2009-01-22
EP2183804B1 (en) 2012-03-07
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GB0713898D0 (en) 2007-08-29
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