RU2718707C1 - Способ создания наноструктурированного кремниевого анода - Google Patents

Способ создания наноструктурированного кремниевого анода Download PDF

Info

Publication number
RU2718707C1
RU2718707C1 RU2019100473A RU2019100473A RU2718707C1 RU 2718707 C1 RU2718707 C1 RU 2718707C1 RU 2019100473 A RU2019100473 A RU 2019100473A RU 2019100473 A RU2019100473 A RU 2019100473A RU 2718707 C1 RU2718707 C1 RU 2718707C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
silicon
nanowhiskers
channels
anode
threshold power
Prior art date
Application number
RU2019100473A
Other languages
English (en)
Inventor
Сергей Николаевич Максимовский
Original Assignee
Сергей Николаевич Максимовский
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сергей Николаевич Максимовский filed Critical Сергей Николаевич Максимовский
Priority to RU2019100473A priority Critical patent/RU2718707C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2718707C1 publication Critical patent/RU2718707C1/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82BNANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
    • B82B3/00Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01MPROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M4/00Electrodes
    • H01M4/02Electrodes composed of, or comprising, active material
    • H01M4/13Electrodes for accumulators with non-aqueous electrolyte, e.g. for lithium-accumulators; Processes of manufacture thereof
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10Energy storage using batteries

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области электротехники, а именно к способу создания наноструктурированного многослойного кремниевого анода для литиевых аккумуляторов. В предложенном способе на титановую подложку (3) с двух сторон наносят поликристаллический кремний (2), затем на обе стороны приклеивают тонкую металлическую фольгу (1), размещенную внутри пластика, и облучают материал лазерным импульсным излучением надпороговой мощности, при этом образуются каналы (5), размер которых контролируется мощностью лазерного излучения, пространство между каналами заполняется кремниевыми нановискерами (4), покрытыми тонкой пленкой углерода. Упорядоченные нановискеры (4) вырастают также и на стенках каналов (5). Такая обработка сложной гетероструктуры позволяет увеличить в 1000 раз объем анода и его прочность, поскольку кремниевые бездислокационные нановискеры (4) обладают более высокой прочностью и меньшим значением модуля Юнга в сравнении с микрометрическими размерами кремния. Повышение емкости анода является техническим результатом изобретения. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к созданию нового поколения литиевых аккумуляторов в виде многослойной структуры рис 3. В способе создания наноструктурированного анода на титановую подложку 3 с двух сторон наносят поликристаллический кремний 2, затем на обе стороны приклеивают тонкую металлическую фольгу 1, размещенную внутри пластика и облучают материал лазерным импульсным излучением надпороговой мощности. В результате воздействия такой мощности лазерный луч делится на пороговую, при этом образуются каналы 5 размер которых контролируется мощностью лазерного излучения, а между каналами пространство заполняется кремниевыми нановискерами 4, покрытые тонкой пленкой углерода, при этом размер и плотность их контролируется параметрами лазерной установки. Упорядоченные нановискеры 4 вырастают также и на стенках каналов 5. Такая обработка сложной гетероструктуры позволяет увеличить в 1000 раз объем анода и его прочность, т.к. кремниевые бездислокационные нановискеры 4 обладют более высокой прочностью и обладают меньшим значением модуля Юнга в сравнении с микрометрическими размерами кремния. Изобретение позволяет создавать как аккумуляторы для питания слабых электронных изделий, так и для мощных транспортных систем
ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ.
Развитие вычислительной техники с процессоров на батареи и аккумуляторы. Мощный прожорливый процессор оказывается никому не нужен и выбор падает на более слабый тип с более долгим временем автономной работы. Фирмы Gartner, Locheed Martin, Nexeon считают, что в ближайшее время (два года) произойдет прорыв. Фирма Natural Nanotechnology Stenford создала гранатовую батарею, которая выдерживает 1000 циклов зарядки и сохраняет 97% емкости, а кремний размерами 3 мк, покрытый тонкой пленкой углерода собирается в виде граната. Недостатки предлагаемой технологии следующие: сложная химия по покрытию кремния тонкой пленкой углерода. Сложная сборка устройства (что признают сами авторы), которая не позволяет комерциализировать процесс и сделать его более дешевым.(1) Другим интересным решением является работа в которой использовались вискеры кремния, которые дают интересные результаты в начальной стадии работы аккумулятора, который выдерживает только 50 циклов зарядки, т.к. литий проникает в кремний, увеличивает объем вискеров в 3 раза и анод разрушается. Выращивание вискеров медленный процесс 5 мк\час, такие вискеры не ориентированы и механически имеют невысокую прочность.(Chan/J/Power Sources 2009'V 189. Р 303-306.) В патенте (RU 2325008) вискеры изготавливались при помощи химического травления из кристаллического кремния. Прочность их была невелика, поэтому как и в предыдущем случае изготовленные вискеры разрушались. Таким образом, изготовление кремниевых анодов при помощи кластерных технологий позволяет только частично решать сложные технологические задачи.
РАСКРЫТИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ.
В основу изобретения поставлена задача снизить трудоемкость изготовления гранатовых аккумуляторов, созданных на основе 3 мк кремния, покрытого углеродом, ввести в изделие более прочные и меньшего размера нановискеры 4 от 40 нм - 1 мк, покрытые углеродом, что позволит значительно увеличить емкость анода, а легирование кремния алюминием увеличит акцепторную проводимость анода, создать внутри кремния нановискеризованные колодцы 5, покрытые углеродом для удержаниия ионов лития, а высокоскоростная кристаллизация в лазерной плазме в диапазоне 3000-4000С и давлениях порядка 100000 атм при скоростях кристаллизации 80-100 м/сек позволит выращивать бездислокационные нановискеры высокой прочности, снизить энергозатраты и создать высокопроизводительный процесс изготовления аккумуляторов нового поколениия с объемным концентрированием лития, при этом пластины анодов, могут достигать 0,5 м2 по площади.
Поставленная задача решается тем, что в способе изготовления анода на тонкий металлический электрод 3 с обеих сторон наносится тонкий слой кремния 2, который заклеивается алюминиевой пластифицированной фольгой 1. Изготовленная таким образом структура подвергается воздействию сканирующего импульсного лазерного излучения надпороговой мощности
При таком способе воздействия на структуру, в ней образуются каналы 5, стенки которых покрыты нановискерами кремния 4, при этом диаметр каналов в зависимости от програмного обеспечения работы лазерной установки может изменяться от 1-150 мк, а также плотность расположения каналов.(рис 1)
При таком таком способе воздействия на структуру между каналами вырастают бездислокационные нановискеры кремния 4 с размерами от 40 нм до 1 мк и высотой от 100 нм до 5 мк (рис 2).
При таком способе воздействия на структуру при температурах лазерной плазмы одновременно происходит разрушение пластика с образованием свободного углерода, который покрывает кремниевые нановискеры 4, как в каналах 5, так и на поверхности
При таком способе воздействия на структуру одновременно происходит легирование кремния алюминием, т.е. увеличением акцепторной проводимости.
При таком способе изготовления кремниевого анода создается механически прочная структура, т.к. прочность нановискеров в десятки раз прочнее кристаллического кремния (Справочник по технологии наночастиц, Научный мир, 2013 стр 58-59).
Поскольку нановискеры 4 возникают в нескольких слоях структур начиная с нижнего, создается объемная пространственная конструкция для поглощения и удержания ионов лития, которая приводит к увеличению емкости структуры в десятки раз.
Предлагаемая технология резко упрощает и удешевляет изготовление и стоимость кремниевого анода
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ И ФОТОГРАФИЙ.
Рис 1 Фотография нановискеров на стенках канала выполненная при помощи атомно-силового микроскопа.
Рис 2.Фотография нановискеров на поверхности структуры между каналами.
Рис 3 Чертеж конструкции структуры.
ЛУЧШИЕ ВАРИАНТЫ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ.
Предлагаемый способ изготовления наноструктурированного кремниевого анода при изготовлении аккумуляторов и батарей нового поколения осуществляется следующим образом.
Для изготовления кремниевого анода размещают сканирующий импульсный источник лазерного излучения напротив структуры рис. 3, состоящей из 5 слоев и проводят лазерное облучение надпороговой мощности, при этом образуются как нановискеризованные каналы рис 1, так и нановискеры между каналами рис 2. Такое облучение производится с двух сторон структуры.
Затем производится вырубка анодных пластин, зачистка контактных поверхностей, сушка в вакуумном сушильном шкафу. Нарезка сепараторной ленты и изготовление электродно-сепараторного блока следующая операция. Далее ультразвуковая сварка электродов в стеки и приварка токовыводов. Затем изготовление пакета из ламината, сборка электродно-сепараторного блока в корпус и запайка пакета с трех сторон. Заливка электролита с помощью дозатора и финальная запайка пакета. В качестве катода можно применять феррофосфат лития.

Claims (4)

1. Способ образования наноразмерных кластеров и создания из них упорядоченных структур на основе кремния, заключающийся в том, что в анодный электрод вводят материалы с заданными электрохимическими параметрами, из которых образуют кластеры и создают из них упорядоченные структуры с управляемыми электрохимическими свойствами, отличающийся тем, что кремниевые слои на металлической подложке, покрытые пластифицированной алюминиевой фольгой, облучают лазерным импульсным сканирующим излучением надпороговой мощности, образуют в зоне сфокусированного излучения нановискеризованные каналы кремния, легированные алюминием и покрытые углеродом, а между каналами - монокристаллические бездислокационные нановискеры кремния, легированные алюминием и покрытые углеродом.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что импульсы лазерного излучения надпороговой мощности разрушают пластиковое покрытие с испарением водорода и кислорода, а оставшийся углерод покрывает нановискеры как внутри каналов, так и на поверхности за счет большой разницы в парциальных давлениях компонентов тонким слоем, обеспечивающим свободное проникновение лития в нановискеры.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что импульсы лазерного излучения надпороговой мощности испаряют алюминий из пластифицированной фольги, который начинает сокристаллизовываться с нановискерами кремния, при этом происходит легирование кремния акцепторной примесью и увеличение проводимости нановискеров.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что импульсы лазерного излучения надпороговой мощности создают на концах нановискеров оборванные химические связи из неспаренных электронов, обладающих повышенной сорбционной способностью, которая приводит к повышенной интеркаляции лития.
RU2019100473A 2019-01-11 2019-01-11 Способ создания наноструктурированного кремниевого анода RU2718707C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019100473A RU2718707C1 (ru) 2019-01-11 2019-01-11 Способ создания наноструктурированного кремниевого анода

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2019100473A RU2718707C1 (ru) 2019-01-11 2019-01-11 Способ создания наноструктурированного кремниевого анода

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2718707C1 true RU2718707C1 (ru) 2020-04-14

Family

ID=70277788

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019100473A RU2718707C1 (ru) 2019-01-11 2019-01-11 Способ создания наноструктурированного кремниевого анода

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2718707C1 (ru)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU31899U1 (ru) * 2002-10-31 2003-09-10 Владимирское научно-производственное общество с ограниченной ответственностью "Гидропровод" Ручной культиватор
RU2325008C2 (ru) * 2002-11-05 2008-05-20 Империал Колледж Инновэйшнс Лимитед Структурированный кремниевый анод
RU2451368C2 (ru) * 2007-07-17 2012-05-20 Нексеон Лимитед Способ изготовления структурированных частиц, состоящих из кремния или материала на основе кремния, и их применение в перезаряжаемых литиевых батареях
US20130136973A1 (en) * 2011-11-30 2013-05-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Rechargeable lithium ion battery with silicon anode
DE102013211388A1 (de) * 2013-06-18 2014-12-18 Wacker Chemie Ag Elektrodenmaterial und dessen Verwendung in Lithium-Ionen-Batterien
RU2596023C2 (ru) * 2014-12-17 2016-08-27 Общество с ограниченной ответственностью "Литион" Анодный материал

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU31899U1 (ru) * 2002-10-31 2003-09-10 Владимирское научно-производственное общество с ограниченной ответственностью "Гидропровод" Ручной культиватор
RU2325008C2 (ru) * 2002-11-05 2008-05-20 Империал Колледж Инновэйшнс Лимитед Структурированный кремниевый анод
RU2451368C2 (ru) * 2007-07-17 2012-05-20 Нексеон Лимитед Способ изготовления структурированных частиц, состоящих из кремния или материала на основе кремния, и их применение в перезаряжаемых литиевых батареях
US20130136973A1 (en) * 2011-11-30 2013-05-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Rechargeable lithium ion battery with silicon anode
DE102013211388A1 (de) * 2013-06-18 2014-12-18 Wacker Chemie Ag Elektrodenmaterial und dessen Verwendung in Lithium-Ionen-Batterien
RU2596023C2 (ru) * 2014-12-17 2016-08-27 Общество с ограниченной ответственностью "Литион" Анодный материал

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10403884B2 (en) Electrode structures
Wan et al. Laser scribed graphene for supercapacitors
JP7177822B2 (ja) 所定間隔を有する複数の(ナノ)チャネルを備えるテンプレートへのバルブ金属層の変換、及びそこにおける所定間隔を有する構造物の形成
CN106463692B (zh) 制造高深宽比结构的装置及方法
Stier et al. Thermally Assisted Sub‐10 fs Electron Transfer in Dye‐Sensitized Nanocrystalline TiO2 Solar Cells
RU2444816C2 (ru) Электрод для ячейки устройства, аккумулирующего энергию, и способ его изготовления
JP4085421B2 (ja) 色素増感型光電変換装置及びその製造方法
Wu et al. Two-dimensional black phosphorus: Properties, fabrication and application for flexible supercapacitors
CN106981665A (zh) 一种负极集流体、其制备方法及其应用
JP7022689B2 (ja) 基板上の導電性ピラー化構造を含むリチウムバッテリー電流コレクタ
Ouyang et al. Green synthesis of vertical graphene nanosheets and their application in high-performance supercapacitors
GB2495405A (en) Etching silicon utilizing copper metal
CN109478636A (zh) 制造锂电池的方法
CN112786969B (zh) 锂电池结构及其极层结构
CN101427415A (zh) 基于交错的微容器结构的三维微电池
TWI463718B (zh) 鋰離子電池
JP2007110061A (ja) 電気二重層キャパシタ製造用分離膜シート及びこれを用いた電気二重層キャパシタの製造方法
WO2019136932A1 (zh) 石墨烯超级电容器及其制备方法
CN107221637B (zh) 一种锂离子电池一体化负极的激光烧蚀氧化原位制备方法
RU2718707C1 (ru) Способ создания наноструктурированного кремниевого анода
US9972827B2 (en) Method for producing 3D-structured thin films
WO2019210596A1 (zh) 一种有效抑制锂金属电池枝晶不可控生长的改性集流体、其制备方法及用途
TWI472081B (zh) 鋰離子電池的製備方法
TWI725654B (zh) 鋰電池結構及其極層結構
Hardy et al. Towards a solution deposited 3D thin-film Li-ion battery

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210112