TWI557848B - 記憶體裝置及半導體裝置 - Google Patents

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Description

記憶體裝置及半導體裝置
本發明係有關非揮發性半導體記憶體裝置。尤其是，本發明係有關儲存資料之記憶體單元的結構及其驅動方法。
半導體記憶體裝置(下面簡稱為記憶體裝置)的例子包括DRAM和SRAM，它們被歸類為揮發性記憶體；遮罩ROM、EPROM、EEPROM、快閃記憶體、和鐵電記憶體，它們被歸類為非揮發性記憶體之類。包括單晶半導體基板之這些記憶體的大部分已實際使用中。在上述半導體記憶體之中，快閃記憶體廣為販售，其主要被使用於諸如USB記憶體和記憶卡等行動儲存媒體。其原因即為快閃記憶體耐撞擊，且便於使用，因為它們是非揮發性記憶體，可重複寫入和刪除資料並且可在未供應電力之下儲存資料。
作為快閃記憶體的類型，具有NAND快閃記憶體，其中，複數個記憶體單元被串聯連接；以及NOR快閃記憶體，其中，複數個記憶體單元被排列成矩陣。這些快閃記憶體的任一者具有用作為記憶體元件之電晶體在各記憶體單元中。另外，用作為記憶體元件之電晶體具有用以累積電荷之電極(被稱為浮動閘極)在閘極電極與用作為主動層的半導體膜之間。累積電荷在浮動閘極中能夠儲存資料。
專利文件1及2說明包括形成玻璃基板之上的浮動閘極之薄膜電晶體。
[參考]
[專利文件]
[專利文件1]日本公告專利申請案號H6-021478
[專利文件2]日本公告專利申請案號2005-322899
需注意的是，通常，在資料寫入時被施加到非揮發性記憶體的記憶體元件之電壓的絕對值約為20 V，其傾向高於被施加到揮發性記憶體的記憶體元件之電壓的絕對值。在可重複重寫資料之快閃記憶體的例子中，和在資料寫入時一樣，在資料拭除時也需要施加高電壓到被使用作為記憶體元件之電晶體。因此，當例如在資料寫入時和在資料拭除時之快閃記憶體操作時電力消耗變高，此為包括快閃記憶體作為記憶體裝置之電子裝置消耗高電力的其中一個因素。尤其是，當快閃記憶體被使用於諸如相機和行動電話等可攜式電子裝置時，高電力消耗產生連續使用時間短的不利點。
此外，雖然快閃記憶體為非揮發性記憶體，但是資料會由於電荷的些微漏洩而喪失。因此，迄今資料儲存週期約五年至十年，及希望實現能夠確保更長久的儲存週期之快閃記憶體。
另外，雖然快閃記憶體能夠重複寫入和拭除資料，但是當電荷累積在浮動閘極中時，閘極絕緣膜由於穿隧電流容易劣化。因此，在一記憶體元件中的資料重寫次數至多約一萬次至十萬次，及希望實現能夠重寫一萬次至十萬次或更多之快閃記憶體。
鑑於上述問題，本發明之目的在於提供能夠抑制電力消耗之記憶體裝置和使用此記憶體裝置的半導體裝置。另外，本發明之目的在於提供能夠將資料儲存一段更長週期之記憶體裝置和使用此記憶體裝置的半導體裝置。而且，本發明之目的在於提供能夠重寫資料許多次之記憶體裝置和使用此記憶體裝置的半導體裝置。
在本發明的實施例中，非揮發性記憶體裝置係使用電晶體所形成，此電晶體係用作為記憶體元件及除了一般閘極電極以外還包括用以控制臨界電壓之第二閘極電極。此外，在上述記憶體裝置中，為了寫入資料，未以高電壓注射電荷到由絕緣膜所包圍的浮動閘極；取而代之的是，以具有極低的關閉狀態電流之電晶體來控制用以控制被使用作為記憶體元件之電晶體的臨界電壓之第二閘極電極的電位。換言之，根據本發明的一個實施例之記憶體裝置至少包括其臨界電壓係受第二閘極電極所控制之電晶體；用以保持第二閘極電極的電位之電容器；以及被使用作為用以控制電容器的充電和放電的切換元件之電晶體。
被使用作為記憶體元件之電晶體的臨界電壓之位移量係受第二閘極電極之電位的高度所控制，尤其是，受源極電極與第二閘極電極之間的電位差所控制。此外，臨界電壓的高度差或由於臨界電壓之高度差所產生的源極電極與汲極電極之間的電阻差導致儲存在記憶體元件中之資料的差異。
只要是絕緣閘極型場效電晶體，被使用作為記憶體元件之電晶體可以是任何東西。尤其是，電晶體包括第一閘極電極；第二閘極電極；半導體膜，係位在第一閘極電極與第二閘極電極之間；第一絕緣膜，係位在第一閘極電極與半導體膜之間；第二絕緣膜，係位在該第二閘極電極與該半導體膜之間；以及源極電極和汲極電極，係與半導體膜相接觸。
而且，被使用作為切換元件之電晶體具有通道形成區，其包括具有寬於矽的能帶隙和低於矽的本徵載子密度之半導體材料。利用包括具有上述特性的半導體材料之通道形成區，可實現具有極低關閉狀態電流之電晶體。關於半導體材料，例如，可指定具有能帶隙約為矽的三倍之氧化物半導體、碳化矽、氮化鎵等等。
需注意的是，氧化物半導體為顯現包括高遷移率和均勻的元素特性二者之半導體特性的金屬氧化物。高遷移率為微晶矽或多晶矽的特性，而均勻的元素特性為非晶矽的特性。此外，藉由降低可能是諸如濕氣或氫等電子供體(施體)的雜質來高度淨化之氧化物半導體(淨化的OS)為i型(本徵半導體)或實質上為i型。包括上述氧化物半導體之電晶體具有極低的關閉狀態電流之特性。尤其是，在包括於氧化物半導體中的諸如濕氣或氫等雜質被去除之後，由二次離子質譜儀(SIMS)所測量之氧化物半導體中的氫濃度之值為5 x 1019/cm3或更少，較佳為5 x 1018/cm3或更少，更佳為5 x 1017/cm3或更少，且又更佳為5 x 1016/cm3或更少。此外，可由霍爾效應測量所測量之氧化物半導體膜的載子密度為少於1 x 1014/cm-3，較佳為少於1 x 1012/cm-3，更佳為少於1 x 1011/cm-3，此為最小測量限制或更少。也就是說，氧化物半導體膜中的載子密度極為接近零。而且，氧化物半導體的能帶為2 eV或更多，較佳為2.5 eV或更多，更佳為3 eV或更多。利用藉由充分降低諸如濕氣或氫等雜質濃度來高度淨化之氧化物半導體膜，可降低電晶體的關閉狀態電流。
此處說明氧化物半導體膜和導電膜中之氫濃度的分析。氧化物半導體膜和導電膜中之氫濃度係由SIMS所測量。已知原則上難以藉由SIMS獲得樣本表面附近或使用不同材料所形成的堆疊膜之間的介面附近的資料。因此，在由SIMS分析厚度方向上之膜的氫濃度之分佈的例子中，設置膜與可獲得彼此不會大幅改變及幾乎相同的值之區域中的平均值被利用作為氫濃度。另外，在膜的厚度小之例子中，由於彼此鄰接的膜之氫濃度影響，在某些例子中無法發現可獲得值幾乎相同的區域。在此例中，設置膜之區域的氫濃度之最大值或最小值被利用作為膜的氫濃度。而且，在設置膜之區域中未存在具有最大值的山形和具有最小值的谷形之例子中，彎曲點的值被利用作為氫濃度。
需注意的是，發現藉由濺鍍等等所形成之氧化物半導體膜包括成為雜質的大量濕氣或氫。濕氣或氫容易形成施體能階，因而用作為氧化物半導體本身的雜質。因此，在本發明的一個實施例中，在氫氛圍、氧氛圍、超乾燥空氣(水的含量為20 ppm或更少，較佳為1 ppm或更少，且更佳為10 ppb或更少之氣體)的氛圍、或稀有氣體(如、氬和氦)氛圍中，對氧化物半導體膜執行熱處理，以降低氧化物半導體膜中之諸如濕氣或氫等雜質。以500℃至850℃(另一選擇是，玻璃基板的應變點或更少)(含)，較佳以550℃至750℃(含)來執行上述熱處理。需注意的是，以未超出欲待使用的基板之溫度上限的溫度執行此熱處理。由熱吸附光譜法(TDS)證實藉由熱處理去除濕氣或氫之效果。
爐中的熱處理或快速熱退火法(RTA法)被用於熱處理。作為RTA法，可利用使用燈光源之方法或在加熱氣體中移動基板的同時以短時間執行熱處理之方法。藉由使用RTA法，亦能夠使熱處理所需的時間短於0.1小時。
尤其是，在使用以上述熱處理所高度淨化的氧化物半導體膜作為主動層之電晶體中，例如，甚至在具有通道寬度(W)1 x 106 μm和通道長度(L)10 μm之元件中，在源極電極和汲極電極之間的電壓(汲極電壓)1 V至10 V之範圍中，能夠獲得低於或等於半導體參數分析器的測量極限(亦即，低於或等於1 x 10-13 A)之關閉狀態電流(其為閘極電極和源極電極之間的電壓為0 V或更少之例子中的汲極電流)。因此，發現對應於以關閉狀態電流的值除以電晶體之通道寬度的值之此種方式所計算的數值之關閉狀態電流密度為100 zA/μm或更少。此外，藉由使用包括高度淨化的氧化物半導體膜之100 nm厚的閘極絕緣膜被使用作為用以保持電容器的電荷之切換元件的電晶體，以每單位時間之電容器中的電荷量之轉變來測量電晶體的關閉狀態電流。然後，發現當電晶體的源極電極和汲極電極之間的電壓為3 V時，低關閉狀態電流可如10 zA/μm至100 zA/μm一般低。因此，在關於本發明的實施例之記憶體裝置中，包括高度淨化的氧化物半導體膜作為主動層之電晶體的關閉狀態電流密度可為低於或等於100 zA/μm，較佳為低於或等於10 zA/μm，或更佳為低於或等於1 zA/μm。因此，當閘極電極和源極電極之間的電壓為0 V或更少時，使用高度淨化的氧化物半導體膜作為主動層之電晶體的關閉狀態電流遠低於使用具有晶性之矽的電晶體。
此外，包括高度淨化的氧化物半導體之電晶體顯現出與關閉狀態電流幾乎沒有溫度相依性。可說明這是因為藉由去除氧化物半導體中的電子供體(施體)之雜質來高度淨化氧化物半導體及導電型接近本徵，使得Fermi(費米)能階位在禁帶的中間。此亦起因於氧化物半導體具有能帶隙3 eV或更多及包括極少的熱激發載子。此外，源極電極和汲極電極在衰退狀態中，亦為未顯現溫度相依性之因素。主要以從衰退的源極電極注射到氧化物半導體內之載子操作電晶體，及可藉由溫度中的載子密度之獨立性來說明上述溫度中的關閉狀態電流之獨立性。
作為氧化物半導體，可使用四金屬元素的氧化物，諸如In-Sn-Ga-Zn-O類氧化物半導體等；三金屬元素的氧化物，諸如In-Ga-Zn-O類氧化物半導體、In-Sn-Zn-O類氧化物半導體、In-Al-Zn-O類氧化物半導體、Sn-Ga-Zn-O類氧化物半導體、Al-Ga-Zn-O類氧化物半導體、及Sn-Al-Zn-O類氧化物半導體等；兩金屬元素的氧化物，諸如In-Zn-O類氧化物半導體、Sn-Zn-O類氧化物半導體、Al-Zn-O類氧化物半導體、Zn-Mg-O類氧化物半導體、Sn-Mg-O類氧化物半導體、In-Mg-O類氧化物半導體、及In-Ga-O類氧化物半導體等；In-O類氧化物半導體；Sn-O類氧化物半導體；Zn-O類氧化物半導體；等等。需注意的是，在此說明書中，例如，In-Sn-Ga-Zn-O類氧化物半導體意指包括銦(In)、錫(Sn)、鎵(Ga)、和鋅(Zn)之金屬氧化物，及並未特別限制化學計量組成比例。上述氧化物半導體可包括矽。
另一選擇是，可以化學式InMO3(ZnO) m (m>0)表示氧化物半導體。此處，M表示選自Ga(鎵)、Al(鋁)、Mn(錳)、及Co(鈷)的其中一或多個金屬元素。
具有低關閉狀態電流之電晶體被使用作為用以保持累積在記憶體元件中之電荷的切換元件，藉以可防止電荷從記憶體元件漏洩。因此，可提供能夠長時間儲存資料之記憶體裝置和使用此記憶體裝置的半導體裝置。
另外，寫入資料和讀取資料至/自記憶體元件所需之電壓幾乎由用作為切換元件的電晶體之操作電壓所決定。因此，可提供操作電壓可遠低於習知快閃記憶體的操作電壓，和可抑制其電力消耗之記憶體裝置，以及使用此記憶體裝置的半導體裝置。
而且，可提供能夠增加重寫次數之記憶體裝置，及使用此記憶體裝置的半導體裝置，因為與習知快閃記憶體比較，可抑制由於穿隧電流所導致之閘極絕緣膜的劣化。
下面，將參考附圖詳細說明本發明的實施例。需注意的是，本發明並不侷限於下面說明，及精於本技藝之人士應容易明白，在不違背本發明的範疇和精神之下，可以各種方式改變模式和細節。因此，本發明不應被闡釋作侷限於下面實施例的說明。
需注意的是，本發明包括可使用記憶體裝置的所有半導體裝置在其類別中：例如，諸如微處理器和影像處理電路等積體電路、RF(射頻)標籤、記憶體媒體、和半導體顯示裝置。另外，半導體顯示裝置包括：使用半導體膜的電路元件包括在像素部或驅動器電路中之半導體顯示裝置，諸如液晶顯示裝置等；以有機發光元件(OLED)為代表之發光元件被提供給各像素之發光裝置；電子紙；數位微鏡裝置(DMD)；電漿顯示面板(PDP)；場發射顯示器(FED)等等在其類別中。
(實施例1)
圖1A圖解本發明的記憶體裝置之最小單元之記憶體單元的電路圖之一個例子。圖1A中之記憶體單元100包括：電晶體101，其用作為記憶體元件；以及電晶體102，其能夠控制電位到電晶體101的第二閘極電極之供應且用作為切換元件。另外，記憶體單元可包括電容器103，用以保持電晶體101的第二閘極電極之電位。
需注意的是，記憶體單元100可視需要另具有另一電路元件，諸如二極體、電阻器、或感應器等。
用作為記憶體元件之電晶體101具有第一閘極電極；第二閘極電極；半導體膜，係位在第一閘極電極和第二閘極電極之間；第一絕緣膜，係位在第一閘極電極和半導體膜之間；第二絕緣膜，係位在第二閘極電極和半導體膜之間；以及源極電極和汲極電極，係設置與半導體膜相接觸。利用電晶體101之第一閘極電極、第二閘極電極、源極電極、和汲極電極的電位，可控制記憶體裝置的各種操作。
用作為切換元件之電晶體102具有通道形成區，其包括具有寬於矽的能帶隙和低於矽的本徵載子密度之半導體材料。可藉由將此種半導體材料使用於電晶體102的通道形成區，而充分降低關閉狀態電流。
作為能帶隙寬於矽半導體的能帶隙且本徵載子密度低於矽的本徵載子密度之半導體材料的一個例子，可利用諸如碳化矽(SiC)或氮化鎵(GaN)等化合物半導體，由諸如氧化鋅(ZnO)等金屬氧化物所形成之氧化物半導體等等。在上述之中，氧化物半導體具有大規模產量之有利點，因為氧化物半導體係可藉由濺鍍、濕式處理(諸如、印刷法)等等來予以形成。此外，氧化物半導體的沉積溫度為300℃至500℃(玻璃轉換溫度或更少，且最大為約700℃)，反之碳化矽的處理溫度和氮化鎵的處理溫度分別為約1500℃和約1100℃。因此，氧化物半導體係可形成在很廉價就可取得的玻璃基板之上，及能夠使用未具有高到足以耐受1500℃至2000℃的熱處理之耐熱性的半導體材料來堆疊由氧化物半導體所形成的半導體元件在積體電路之上。另外，可使用較大的基板。因此，在具有寬能帶隙之半導體之中，氧化物半導體特別具有大規模產量的有利點。另外，在為了提高電晶體的特性(諸如、場效遷移綠)而欲獲得具有高晶性之氧化物半導體的例子中，可藉由450℃至800℃的熱處理容易就獲得具有晶性之氧化物半導體。
在下面說明中，指定具有上述有利點之氧化物半導體作為第二電晶體102的半導體膜之情況作為例子。
需注意的是，雖然在圖1A中記憶體單元100包括用作為切換元件之一個電晶體102，但是本發明並不侷限於此結構。在本發明的一個實施例中，只要用作為切換元件之一個電晶體設置在各記憶體單元中都可接受，及此種電晶體的數目可以是複數。在記憶體單元100包括複數個用作為切換元件的電晶體之例子中，複數個電晶體可彼此以並聯、串聯、或並聯連接與串聯連接的組合之方式來連接。
需注意的是，電晶體彼此串聯連接之狀態意指只有第一電晶體之源極電極和汲極電極的其中之一係連接到只有第二電晶體之源極電極和汲極電極的其中之一的狀態。另外，電晶體彼此並聯連接之狀態意指第一電晶體的源極電極連接到第二電晶體的源極電極，而第一電晶體的汲極電極連接到第二電晶體的汲極電極之狀態。
此外，用作為切換元件之電晶體102不同於用作為記憶體元件之電晶體101，因為只要包括設置在主動層的一側上之閘極電極都可接受。需注意的是，本發明並不侷限於此結構，及用作為切換元件之電晶體可包括具有主動層在其間的一對閘極電極，像用作為記憶體元件的電晶體一般。
另外，在本發明的一個實施例中，只要用作為切換元件的電晶體102至少具有有著寬能帶隙的上述半導體材料在主動層中都可接受。因此，氧化物半導體膜可被使用於用作為記憶體元件之電晶體101的主動層。另一選擇是，關於用作為記憶體元件之電晶體101的主動層，可使用除了氧化物半導體以外的下列半導體：非晶矽、微晶矽、多晶矽、單晶矽、非晶鍺、微晶鍺、多晶鍺、單晶鍺等等。需注意的是，當氧化物半導體膜被使用於記憶體單元100的所有電晶體時，可使處理簡化。
然後，將說明圖1A之記憶體單元100中的電晶體101、電晶體102、和電容器103之連接關係。
電晶體102的閘極電極連接到寫入字元線WL。電晶體102之源極電極和汲極電極的其中之一係連接到輸入資料線Din，及電晶體102之源極電極和汲極電極的另一個係連接到電晶體101的第二閘極電極。電晶體101的第一閘極電極連接到讀取字元線RL。電晶體101之源極電極和汲極電極的其中之一係連接到輸出資料線Dout，及電晶體101之源極電極和汲極電極的另一個係連接到供應有諸如接地電位等固定電位之供電線。
另外，電容器103之一對電極的其中之一係連接到電晶體101的第二閘極電極，而電容器103之一對電極的另一個係連接到被供應有諸如接地電位等固定電位之供電線。
需注意的是，此說明書中的"連接"一詞意指電連接，及對應於可供應或傳送電流、電位、或電壓之狀態。因此，連接狀態不僅意指直接連接的狀態，而且意指經由諸如配線、電阻器、二極體、或電晶體等電路元件間接連接，使得能夠供應或傳送電流、電位、或電壓之狀態。
此外，甚至當在電路圖中不同組件彼此連接時，實際上具有一導電膜具有複數個組件的功能之例子，諸如配線的部分用作為電極之例子等。"連接"一詞亦意指一個導電膜具有複數個組件的功能之此種例子。
包括在電晶體中之"源極電極"和"汲極電極"的名稱依據電晶體的極性或施加到各自電極之電位的位準之間的差異而彼此互換。通常，在n通道電晶體中，施加較低電位之電極被稱為源極電極，而施加較高電位之電極被稱為汲極電極。另外，在p通道電晶體中，施加較低電位之電極被稱為汲極電極，而施加較高電位之電極被稱為源極電極。在此說明書中，為了方便，雖然在某些例子中假設固定源極電極和汲極電極之下來說明電晶體的連接關係；然而，實際上，源極電極和汲極電極的名稱可依據上述電位之間的關係而彼此互換。
需注意的是，在圖1A中，電晶體102具有閘極電極在主動層的一側上。當電晶體102具有有著主動層在其間之一對閘極電極時，閘極電極的其中之一係連接到寫入字元線WL，而閘極電極的另一個可在浮動狀態(亦即，電絕緣)或可被供應有電位。在後一例子中，可將具有相同位準的電位施加到此對電極，或只施加諸如接地電位等固定電位到閘極電極的另一個。當供應到閘極電極的另一個之電位的位準被控制時，可控制電晶體102的臨界電壓。
然後，圖1B圖解具有圖1A之電路結構的記憶體單元100之橫剖面圖的一個例子。圖1B之記憶體單元在具有絕緣表面的基板110之上包括電晶體101，其用作為記憶體元件；以及電晶體102，其用作為切換元件。
尤其是，電晶體101在具有絕緣表面的基板110之上包括：第一閘極電極121；絕緣膜112，係在該第一閘極電極121之上；氧化物半導體膜123，其用作為主動層，及與第一閘極電極121重疊，且絕緣膜112係設置在氧化物半導體膜123與第一閘極電極121之間；源極電極124和汲極電極125，係在氧化物半導體膜123之上；絕緣膜116，係在氧化物半導體膜123、源極電極124、和汲極電極125之上；以及與氧化物半導體膜123重疊之第二閘極電極126，係在絕緣膜116之上。另外，絕緣膜117係形成在第二閘極電極126之上，及被包括作為電晶體101的組件。
此外，電晶體102在具有絕緣表面的基板110之上包括：閘極電極111；絕緣膜112，係在閘極電極111之上；氧化物半導體膜113，其用作為主動層，及與閘極電極111重疊，且絕緣膜112係設置在氧化物半導體膜113與閘極電極111之間；以及源極電極114和汲極電極115，係在氧化物半導體膜113之上。絕緣膜116係形成在氧化物半導體膜113、源極電極114、和汲極電極115之上，及被包括作為電晶體102的組件。
此外，電容器103係形成在電晶體101的源極電極124和第二閘極電極126彼此重疊，且絕緣膜116係設置在電晶體101的源極電極124和第二閘極電極126之間的區域中。
接著，將參考圖2A及2B說明當電晶體1０1為n通道電晶體及使用二元資料時之操作，來作為用作為記憶體元件之電晶體的操作之一個例子。需注意的是，圖2A圖解電晶體101的電路圖。包括在電晶體101中之各電極的電位被表示如下：第一閘極電極的電位被表示為Vcg，第二閘極電極的電位被表示為Vbg，源極電極的電位被表示為Vs，及汲極電極的電位被表示為Vd。
首先，將說明資料寫入時之電晶體101的操作。在資料寫入時，等於或低於臨界電壓Vth0之電壓被施加在電晶體101的第一閘極電極和源極電極之間。需注意的是，臨界電壓Vth0對應於當第二閘極電極的電位Vbg等於接地電位Vgnd時之電晶體101的臨界電壓。尤其是，在資料寫入時之第一閘極電極的電位和源極電極的電位之間的關係為(Vcg-Vs)Vth0。因此，電晶體101在資料寫入時為關閉狀態，及電晶體101的汲極電極具有高阻抗。
然後，在資料寫入時，根據寫入之資料的值來控制第二閘極電極之電位Vbg的位準。當使用二元資料時，高電位Vdd或低電位Vss被施加到第二閘極電極。電位之間的關係可被表示為Vdd>VssVgnd。例如，當第二閘極電極的電位Vbg為等於Vgnd之低電位Vss時，電晶體101的臨界電壓保持在Vth0。另一方面，當第二閘極電極的電位Vbg為高電位Vdd時，電晶體101的臨界電壓位移到負側及變成Vth1。
需注意的是，雖然在實施例1中，說明資料寫入時低電位Vss等於Vgnd之情況作為例子，但是低電位Vss不一定要等於接地電位Vgnd。例如，亦可接受Vdd>Vss>Vgnd。需注意的是，在該例子中，臨界電壓的位移量小於當第二閘極電極的電位Vbg為高電位Vdd時之臨界電壓的位移量。
接著，將說明資料儲存時之電晶體101的操作。在資料儲存時，用作為切換元件之電晶體102在關閉狀態中。因為如上述電晶體102的關閉狀態電流極低，所以保持在資料寫入時所設定之電位Vbg的位準。
然後，將說明資料讀取時之電晶體101的操作。在資料讀取時，高於臨界電壓Vth1和低於臨界電壓Vth0之電壓被施加到電晶體101的第一閘極電極和源極電極。
在資料讀取之前所執行的最新資料寫入時使電晶體101之臨界電壓成為Vth1的例子中，電晶體101被導通，因為電晶體101的第一閘極電極和源極電極之間的電壓變成高於臨界電壓Vth1，使得源極電極和汲極電極之間的電阻降低。因此，電晶體101之源極電極的電位Vs被供應到電晶體101的汲極電極。另一方面，在資料讀取之前所執行的最新資料寫入時使電晶體101之臨界電壓成為Vth0的例子中，當第一閘極電極和源極電極之間的電壓高於臨界電壓Vth1但低於臨界電壓Vth0時，使電晶體101保持關閉。因此，源極電極和汲極電極之間的電阻高，使得電晶體101的汲極電極保持高阻抗。
因此，汲極電極的電位Vd依據資料讀取之前所執行的最新資料寫入時之施加到第二閘極電極的電位之位準來予以決定。圖2B圖解資料讀取時之第一閘極電極的電位Vcg和電晶體101的汲極電流Id之間的關係。線130圖解當臨界電壓為Vth1時的電位Vcg和汲極電流Id之間的關係。線131圖解當臨界電壓為Vth0時的電位Vcg和汲極電流Id之間的關係。如圖2B所示，當第一閘極電極和源極電極之間的電壓為高於臨界電壓Vth1但低於臨界電壓Vth0之電壓Vread時，從線130及線131可明白，在臨界電壓為Vth1時所獲得之汲極電流Id1高於在臨界電壓為Vth0時所獲得之汲極電流Id0。因此，當讀取汲極電流Id的量或汲極電極的電位Vd時，可明白所寫入資料的值。
需注意的是，在實施例1中，雖然說明資料讀取時第一閘極電極和源極電極之間的電壓高於臨界電壓Vth1但低於臨界電壓Vth0之例子，但是本發明並不侷限於此結構。資料讀取時的第一閘極電極和源極電極之間的電壓不一定要低於或等於臨界電壓Vth0。例如，在資料讀取之前所執行的最新資料寫入時使電晶體101的臨界電壓成為Vth1之例子中，當在讀取資料中第一閘極電極和源極電極之間的電壓高於臨界電壓Vth0時電晶體被導通，使得源極電極和汲極電極之間的電阻降低。以Rds0表示那時源極電極和汲極電極之間的電阻。另一方面，在資料讀取之前所執行的最新資料寫入時使電晶體101之臨界電壓成為Vth0的例子中，當在資料讀取中第一閘極電極和源極電極之間的電壓高於臨界電壓Vth0時電晶體被導通，使得源極電極和汲極電極之間的電阻降低。以Rds1表示那時源極電極和汲極電極之間的電阻。至少在臨界電壓為Vth1之例子中，電晶體101在飽和區中操作；因此，在電晶體101的臨界電壓為Vth1及電晶體101的臨界電壓為Vth0之兩例子中，甚至當電晶體101在導通狀態中時，源極電極和汲極電極之間的電阻差仍可被表示為Rds0<Rds1。尤其是，當Vgs表示第一閘極電極和源極電極之間的電壓時，及當Vds表示源極電極和汲極電極之間的電壓時，電晶體101應在|Vds|>|Vgs-Vth0|的範圍中操作。當源極電極和汲極電極之間的電阻差被表示為Rds0<Rds1時，甚至當資料讀取時的第一閘極電極和源極電極之間的電壓高於臨界電壓Vth0時，汲極電極的電位Vd仍可依據資料讀取之前所執行的最新資料寫入時之施加到第二閘極電極的電位之位準來予以決定。例如，如圖2B所示，當第一閘極電極和源極電極之間的電壓為高於臨界電壓Vth0之電壓Vread’時，從線130及線131可明白，在臨界電壓為Vth1時所獲得之汲極電流Id1’高於在臨界電壓為Vth0時所獲得之汲極電流Id0’。因此，讀取汲極電流Id的量或汲極電極的電位Vd，使得明白所寫入資料的值。
然後，將說明資料拭除時之電晶體101的操作。在資料拭除時，等於或低於臨界電壓Vth1之電壓被施加在電晶體101的第一閘極電極和源極電極之間，如同在資料寫入時一般。尤其是，在資料拭除時之第一閘極電極的電位和源極電極的電位之間的關係為(Vcg-Vs)≦Vth1。因此，電晶體101在資料拭除時為關閉狀態，及電晶體101的汲極電極具有高阻抗。此外，在資料拭除時，第二閘極電極的電位Vbg被設定成諸如接地電位等固定電位，及電晶體101的臨界電壓被設定成Vth0。
需注意的是，在實施例1中，雖然說明拭除所寫入資料之記憶體裝置的驅動方法，但是本發明並不侷限於此結構。根據本發明的一個實施例之記憶體裝置不同於習知快閃記憶體，因為不需要資料拭除，此為有利點之一。因此，例如，可寫入其他資料，使得所寫入資料可被覆寫。
需注意的是，在一般快閃記憶體之例子中，在資料寫入時，累積電荷之浮動閘極被覆蓋有絕緣膜且在絕緣狀態中。因此，需要施加約20 V的高電壓到記憶體元件，以便藉由使用穿隧效應將電荷累積在浮動閘極中。另一方面，在本發明的一個實施例中，可藉由使用包括高度淨化的氧化物半導體膜作為電晶體之主動層的電晶體來執行寫入和讀取。因此，記憶體裝置的操作只需要幾伏特電壓，使得電力消耗明顯降低。需注意的是，因為用於快閃記憶體的記憶體元件之電晶體和用於根據本發明的一個實施例之記憶體元件的電晶體在結構和驅動法上不同，所以難以藉由施加到記憶體元件的各電極之電位來準確明白電力消耗的差異。然而，例如，當比較只在資料寫入中之電力消耗時，可在施加在第二閘極電極和源極電極之間的電壓為5 V之例子中，將資料適當寫入到根據本發明的一個實施例之記憶體裝置。相對地，在一般快閃記憶體中，至少需要施加約16 V的電壓在閘極電極和源極電極之間，使得能夠藉由累積電荷在浮動閘極中來寫入資料。電晶體的電力消耗對應於藉由將電晶體的閘極電壓之平方除以電晶體的負載電阻所獲得之值。因此，發現根據本發明的一個實施例之記憶體裝置的電力消耗約為一般快閃記憶體之電力消耗的10%。因此，從資料寫入時之電力消耗的比較明白，可大幅降低操作時之電力消耗。
需注意的是，在使用一般快閃記憶體之半導體裝置中，因為快閃記憶體的操作所需之電壓(操作電壓)高，所以施加到快閃記憶體之電壓通常藉由步進式dc-dc(直流-直流)轉換器等等來升壓。然而，因為在根據本發明的一個實施例之記憶體裝置中可降低記憶體裝置的操作電壓，所以能夠降低電力消耗。因此，可減少半導體裝置中用於記憶體裝置的操作之外部電路的負載，諸如步進式dc-dc(直流-直流)轉換器等，使得能夠擴展外部電路的功能，及可實現半導體裝置的較高性能。另外，可降低記憶體裝置的操作電壓，使得不需要掩蓋由於高操作電壓所導致的故障所需之冗餘電路設計；因此，可增加用於半導體裝置的積體電路之整合密度，及可形成較高性能的半導體裝置。
另外，在實施例1中，雖然說明使用二元數位資料時之驅動方法，但是本發明的記憶體裝置亦可使用具有三或更多值之多值資料。在使用具有三或更多值之多值資料的例子中，使得在資料寫入時能夠選擇第二閘極電極之電位Vbg的三或更多位準。因為臨界電壓的值受第二閘極電極之電位Vbg控制，所以藉由利用上述結構，可根據第二閘極電極的電位Vbg位準來設定臨界電壓的三或更多位準。可使用由於臨界電壓的位準差所產生之汲極電流的差，或者由於臨界電壓的位準差所產生之源極電極和汲極電極之間的電阻差，而讀取多值資料。另外，作為另一方法，事先準備位準稍微高於臨界電壓的位準之電壓，及將電壓施加到第一閘極電極，使得根據臨界電壓的位準來讀取資料。例如，在讀取四值資料之例子中，事先準備稍微高於四位準臨界電壓(Vth0、Vth1、Vth2、Vth3)之四電壓(Vread0、Vread1、Vread2、Vread3)，及藉由使用四電壓來讀取資料四次；因此，可讀取四值資料。藉由上述結構，在防止記憶體裝置的面積擴大同時，可增加記憶體裝置的記憶體容量。
需注意的是，在資料中具有三或更多值之多值資料的例子中，例如，因為臨界電壓的位準之間的差隨著值的數目增至四、五、及六而變得越來越小。因此，若存在些微的關閉狀態電流量，則改變第二閘極電極的電位；在此種狀態中，難以維持資料的準確性，及保持週期傾向更短。然而，在本發明的一個實施例中，因為藉由使用高度淨化的氧化物半導體膜大幅降低關閉狀態電流之電晶體被使用作為切換元件，所以可比包括矽之電晶體更有效地防止關閉狀態電流的產生。因此，可抑制由於值多工化所導致之保持週期的減短。
此外，圖1B圖解用作為切換元件的電晶體102為包括氧化物半導體膜113在閘極電極111之上的底閘極電晶體之例子。然而，電晶體102並不侷限於底閘極電晶體。只要電晶體102包括氧化物半導體膜作為主動層都可接受。例如，電晶體102可以是包括閘極電極在氧化物半導體膜之上的頂閘極電晶體。另外，電晶體102並不侷限於源極電極114和汲極電極115形成在氧化物半導體膜113之上的頂接觸電晶體。電晶體102可以是氧化物半導體膜113形成在源極電極114和汲極電極115之上的底接觸電晶體。而且，雖然電晶體102為與源極電極114和汲極電極115之間的絕緣膜116重疊之氧化物半導體膜113的部分之厚度小於其他部位的通道蝕刻型電晶體，但是本發明並不侷限於此結構。電晶體102可以是通道保護型電晶體，其中，通道保護膜係設置在源極電極114和汲極電極115之間且在氧化物半導體膜113之上，以防止由於用以形成源極電極114和汲極電極115之蝕刻時的電漿所導致之破壞、由於蝕刻導致膜厚度的降低等等。
圖3A圖解具有圖1A的電路結構之記憶體單元100的橫剖面圖之一個例子。在圖3A的記憶體單元中，是通道保護電晶體且用作為記憶體元件之電晶體101以及是通道保護電晶體且用作為切換元件之電晶體102係形成在具有絕緣表面的基板140之上。
尤其是，電晶體101在具有絕緣表面的基板140之上包括：第一閘極電極151；絕緣膜142，係在第一閘極電極151之上；氧化物半導體膜153，其與第一閘極電極151重疊，且絕緣膜142係設置在氧化物半導體膜153與第一閘極電極151之間，且用作為主動層；與閘極電極151重疊之通道保護膜157，係在氧化物半導體膜153之上；源極電極154和汲極電極155，係在氧化物半導體膜153之上；絕緣膜146，係在氧化物半導體膜153、通道保護膜157、源極電極154和汲極電極155之上；以及與氧化物半導體膜153重疊之第二閘極電極156，係在絕緣膜146之上。此外，絕緣膜147係形成在第二閘極電極156之上，及可被包括作為電晶體101的組件。
此外，電晶體102在具有絕緣表面的基板140之上包括：閘極電極141；絕緣膜142，係在閘極電極141之上；氧化物半導體膜143，其與閘極電極141重疊，且絕緣膜142係設置在氧化物半導體膜143與閘極電極141之間，且用作為主動層；通道保護膜148，係在氧化物半導體膜143之上；以及源極電極144和汲極電極145，係在氧化物半導體膜143之上。絕緣膜146係形成在氧化物半導體膜143、通道保護膜148、源極電極144、和汲極電極145之上，及可被包括作為電晶體102的組件。
另外，電容器103係形成在電晶體101的源極電極154和第二閘極電極156彼此重疊，且絕緣膜146係設置在電晶體101的源極電極154和第二閘極電極156之間的區域中。
通道保護膜157和通道保護膜148係可藉由諸如電漿CVD或熱CVD法等化學氣相沉積或者濺鍍所形成。此外，通道保護膜157和通道保護膜148較佳係使用包括氧之無機材料(諸如，氧化矽、氮氧化矽、或氧氮化矽等)來予以形成。藉由將包括氧之無機材料用於通道保護膜157和通道保護膜148，能夠以下列方法滿足化學計量組成比：將氧至少供應到分別與通道保護膜157和通道保護膜148相接觸之氧化物半導體膜153和氧化物半導體膜143的區域，及即使由於用於降低氧化物半導體膜153和氧化物半導體膜143中的濕氣或氫之熱處理而導致氧不足，仍可降低用作為施體的氧不足。因此，通道形成區可以是本徵或實質上為本徵，及降低由於氧不足所導致之電晶體的電特性變化；因此，可提高電特性。
需注意的是，通道形成區對應於與閘極電極重疊且閘極絕緣膜係設置在半導體膜和閘極電極之間的半導體膜之區域。在電晶體被使用作為記憶體元件之例子中，通道形成區對應於在源極電極和汲極電極之間且與第一閘極電極或第二閘極電極重疊且閘極絕緣膜係設置在半導體膜和第一閘極電極或第二閘極電極之間的半導體膜之區域。
然後，圖3B圖解具有圖1A的電路結構之記憶體單元100的橫剖面圖之一個例子。圖3B之記憶體單元在具有絕緣表面的基板160之上包括是底接觸電晶體且用作為記憶體元件之電晶體101以及是底接觸電晶體且用作為切換元件之電晶體102。
尤其是，電晶體101在具有絕緣表面的基板160之上包括：第一閘極電極171；絕緣膜162，係在第一閘極電極171之上；源極電極174和汲極電極175，係在絕緣膜162之上；與第一閘極電極171重疊且絕緣膜162係設置在氧化物半導體膜173與第一閘極電極171之間的氧化物半導體膜173，係與源極電極174和汲極電極175相接觸，且用作為主動層；絕緣膜166，係在氧化物半導體膜173、源極電極174、和汲極電極175之上；以及與氧化物半導體膜173重疊之第二閘極電極176，係在絕緣膜166之上。此外，絕緣膜167係形成在第二閘極電極176之上，及可被包括作為電晶體101的組件。
另外，電晶體102在具有絕緣表面的基板160之上包括：絕緣膜162，係在閘極電極161之上；源極電極164和汲極電極165，係在絕緣膜162之上；以及與閘極電極161重疊且絕緣膜162係設置在氧化物半導體膜163與閘極電極161之間的氧化物半導體膜163，係與源極電極164和汲極電極165相接觸，且用作為主動層。絕緣膜166係形成在氧化物半導體膜163、源極電極164、和汲極電極165之上，及可被包括作為電晶體102的組件。
另外，電容器103係形成在電晶體101的源極電極174和第二閘極電極176彼此重疊，且絕緣膜166係設置在電晶體101的源極電極174和第二閘極電極176之間的區域中。
此外，圖1A、圖3A、及圖3B圖解氧化物半導體膜被用於用作為記憶體元件之電晶體101的主動層之例子。然而，如上述，關於電晶體101的主動層，亦可使用除了氧化物半導體以外的下列半導體：非晶矽、微晶矽、多晶矽、單晶矽、非晶鍺、微晶鍺、多晶鍺、單晶鍺等等。
圖4A圖解當包括矽的半導體膜被用於用作為記憶體元件之電晶體101的主動層時之記憶體單元100的橫剖面圖之一個例子。在圖4A之記憶體單元中，用作為記憶體元件之電晶體101和用作為切換元件之電晶體102係形成在具有絕緣表面的基板200之上。
尤其是，電晶體102在具有絕緣表面的基板200之上包括：閘極電極211：絕緣膜230，係在閘極電極211之上；氧化物半導體膜213，其與閘極電極211重疊且絕緣膜230係設置在氧化物半導體膜213與閘極電極211之間，且用作為主動層；以及源極電極214和汲極電極215，係在氧化物半導體膜213之上。絕緣膜231係形成在氧化物半導體膜213、源極電極214、和汲極電極215之上，及可被包括作為電晶體102的組件。
另外，電晶體101在形成於具有絕緣表面的基板200之上的絕緣膜231之上包括：第一閘極電極221；絕緣膜212，係在第一閘極電極221之上；半導體膜223，其與第一閘極電極221重疊且絕緣膜212係設置在半導體膜223與第一閘極電極221之間，且用作為包括矽之主動層；源極電極224和汲極電極225，係在半導體膜223之上；絕緣膜216，係在半導體膜223、源極電極224、和汲極電極225之上；以及與半導體膜223重疊之第二閘極電極226，係在絕緣膜216之上。此外，絕緣膜217係形成在第二閘極電極226之上，及可被包括作為電晶體101的組件。
另外，電容器103係形成在電晶體101的汲極電極225和第二閘極電極226彼此重疊，且絕緣膜216係設置在電晶體101的汲極電極225和第二閘極電極226之間的區域中。
然後，圖4B圖解當包括矽之半導體膜被用於用作為記憶體元件之電晶體101的主動層時之記憶體單元100的橫剖面圖之一個例子。在圖4B的記憶體單元中，用作為記憶體元件之電晶體101和用作為切換元件之電晶體102係形成在具有絕緣表面的基板270之上。
尤其是，電晶體102在形成於基板270之上的絕緣膜247之上包括：閘極電極241；絕緣膜260，係在閘極電極241之上；氧化物半導體膜243，其與閘極電極241重疊且絕緣膜260係設置在氧化物半導體膜243與閘極電極241之間，且用作為主動層；以及源極電極244和汲極電極245，係在氧化物半導體膜243之上。絕緣膜261係形成在氧化物半導體膜243、源極電極244、和汲極電極245之上，及可被包括作為電晶體102的組件。
此外，電晶體101在基板270之上包括：第一閘極電極251；絕緣膜242，係在第一閘極電極251之上；半導體膜253，其與第一閘極電極251重疊且絕緣膜242係設置在半導體膜253與第一閘極電極251之間，且用作為包括矽之主動層；源極電極254和汲極電極255，係在半導體膜253之上；絕緣膜246，係在半導體膜253、源極電極254、和汲極電極255之上；以及與半導體膜253重疊之第二閘極電極256，係在絕緣膜246之上。此外，絕緣膜247係形成在第二閘極電極256之上，及可被包括作為電晶體101的組件。
另外，電容器103係形成在電晶體101的汲極電極255和第二閘極電極256彼此重疊，且絕緣膜246係設置在電晶體101的汲極電極255和第二閘極電極256之間的區域中。
需注意的是，雖然圖4A及圖4B圖解電晶體101為底閘極電晶體之例子，但是電晶體101可以是頂閘極電晶體或底接觸電晶體。此外，雖然電晶體101為通道蝕刻型電晶體，但是電晶體101可以是通道保護型電晶體。另外，雖然圖4A及圖4B圖解電晶體102為底閘極電晶體之例子，但是電晶體102可以是頂閘極電晶體或底接觸電晶體。此外，雖然電晶體102為通道蝕刻型電晶體，但是電晶體102可以是通道保護型電晶體。
(實施例2)
在實施例2中，將說明包括複數個記憶體單元之記憶體裝置的結構及其驅動方法之例子。
作為例子，圖5圖解複數個記憶體單元300被排列成矩陣之NOR型記憶體裝置中的單元陣列之電路圖。包括在圖5之記憶體裝置中的各記憶體單元300之結構可參考實施例1中的記憶體單元100之結構的說明。
尤其是，記憶體單元300包括用作為記憶體元件之電晶體301和用作為切換元件及可控制到電晶體301的第二閘極電極之電位的供應之電晶體302。此外，記憶體單元300可包括用以保持電晶體301的第二閘極電極之電位的電容器303。記憶體單元300可視需要另具有另一電路元件，諸如二極體、電阻器、或感應器等。
圖5中之單元陣列包括各種配線，諸如複數個輸入資料線Din、複數個輸出資料線Dout、複數個寫入字元線WL、和複數個讀取字元線RL等。經由這些配線，將來自單元陣列的驅動器電路之供電電位或信號供應到記憶體單元300的每一個。因此，配線的數目係可藉由記憶體單元300的數目和記憶體單元300的配置予以決定。
尤其是，圖5中之單元陣列包括：設置在三列和三行中之記憶體單元彼此排列成矩陣；及設置至少輸入資料線Din1至Din3、輸出資料線Dout1至Dout3、寫入字元線WL1至WL3、和讀取字元線RL1至RL3。
然後，將說明連接到輸入資料線Din1、輸出資料線Dout1、寫入字元線WL1、和讀取字元線RL1之記憶體單元300的其中之一作為記憶體單元300中之配線和電路的連接結構之例子。電晶體302的閘極電極連接到寫入字元線WL1。電晶體302之源極電極和汲極電極的其中之一係連接到輸入資料線Din1，而電晶體302之源極電極和汲極電極的另一個係連接到電晶體301的第二閘極電極。電晶體30的第一閘極電極連接到讀取字元線RL1。電晶體301之源極電極和汲極電極的其中之一係連接到輸出資料線Dout1，而電晶體301之源極電極和汲極電極的另一個係連接到被供應有諸如接地電位等固定電位之供電線304。
另外，電容器303之一對電極的其中之一係連接到電晶體301的第二閘極電極，而電容器303之電極的另一個係連接到被供應有諸如接地電位等固定電位的供電線304。
作為例子，圖6圖解複數個記憶體單元300串聯連接之NAND型記憶體裝置中的單元陣列之電路圖。圖6中的結構與圖5中的結構相同，及包括在圖6之記憶體裝置中的各記憶體單元之結構可參考實施例1中的記憶體單元100之結構的說明。
圖6中的單元陣列包括三個記憶體單元被串聯連接之三行單元陣列。尤其是，單元陣列包括設置在三行和三列中之記憶體單元；及輸入資料線Din1至Din3、輸出資料線Dout1至Dout3、寫入字元線WL1至WL3、讀取字元線RL1至RL3、選擇信號線SEL1及SEL2、和供電線304。經由這些配線，將來自單元陣列的驅動器電路之供電電位或信號供應到記憶體單元的每一個。因此，配線的數目係可由記憶體單元300的數目予以決定。
然後，將說明記憶體單元300中之配線和電路元件的連接結構。例如，將重心聚焦於連接到輸入資料線Din1、輸出資料線Dout1、寫入字元線WL1、和讀取字元線RL1之記憶體單元300。電晶體302的閘極電極連接到寫入字元線WL1。電晶體302之源極電極和汲極電極的其中之一係連接到輸入資料線Din1，而電晶體302之源極電極和汲極電極的另一個係連接到電晶體301的第二閘極電極。電晶體301的第一閘極電極連接到讀取字元線RL1。此外，在輸出資料線Dout1和被供應有諸如接地電位等固定電位的供電線304之間，電晶體301在彼此鄰接的記憶體單元之中串聯連接。
另外，電容器303之一對電極的其中之一係連接到電晶體301的第二閘極電極，而電容器303之電極的另一個係連接到被供應有諸如接地電位等固定電位的供電線304。
然後，將參考指定圖6中的記憶體陣列作為例子之圖21說明根據本發明的一個實施例之記憶體裝置的操作。圖21為隨著時間過去之輸入到配線的信號之電位變化的時序圖。圖21圖解電晶體301和電晶體302為n通道電晶體及使用二元資料之例子。
首先，將說明資料寫入時之記憶體裝置的操作。在資料寫入時，當具有脈波的信號被輸入到寫入字元線WL1時，脈波的電位，尤其是高位準電位，被供應到電晶體302的閘極電極。閘極電極連接到寫入字元線WL1之各電晶體302是在導通狀態中。同時，當低位準電位被輸入到讀取字元線RL1時，低位準電位被供應到電晶體301的第一閘極電極。第一閘極電極連接到讀取字元線RL1之各電晶體301是在關閉狀態中。
然後，具有資料的信號連續輸入到輸入資料線Din1至Din3。圖21圖解具有高位準電位之信號被輸入到輸入資料線Din1和輸入資料線Din3，以及具有低位準電位之信號被輸入到輸入資料線Din2的例子。無須說，輸入到輸入資料線Din1至Din3之信號的電位位準視資料而改變。
經由在導通狀態中之電晶體302，將輸入到輸入資料線Din1至 Din3之電位供應到電晶體301的第二閘極電極。根據第二閘極電極的電位決定電晶體301之臨界電壓的位移量。尤其是，因為具有高位準電位之信號被輸入到輸入資料線Din1及輸入資料線Din3，所以在連接到輸入資料線Din1之記憶體單元300和連接到輸入資料線Din3之記憶體單元300的每一個中，電晶體301的第二閘極電極之電位是在高位準中。亦即，在此種記憶體單元300中，用作為記憶體元件之電晶體301依據圖2B的線130來操作。另一方面，因為具有低位準的電位之信號被輸入到輸入資料線Din2，所以在連接到輸入資料線Din2之記憶體單元300的每一個中，電晶體301的第二閘極電極之電位是在低位準中。亦即，在此種記憶體單元300中，用作為記憶體元件之電晶體301依據圖2B的線131來操作。
當完成輸入具有脈波之信號到寫入字元線WL1時，閘極電極連接到寫入字元線WL1之各電晶體302被關閉。然後，具有脈波之信號連續輸入到寫入字元線WL2和寫入字元線WL3，及在包括寫入字元線WL2之記憶體單元和包括寫入字元線WL3之各記憶體單元中同樣重複上述操作。
然後，將說明資料儲存時之記憶體裝置的操作。在資料儲存時，所有寫入字元線WL1至WL3被供應有具有關閉電晶體302的位準之電位，尤其是，低位準電位。因為電晶體302的關閉狀態電流如上述極低，所以保持資料寫入時所設定之第二閘極電極的電位位準。低位準電位被供應到所有讀取字元線RL1至RL3。
在圖21之時序圖中，為了說明資料儲存的操作而提供保持週期。然而，記憶體的實際操作不一定要提供保持週期。
然後，將說明資料讀取時之記憶體裝置的操作。在資料讀取時，如同在資料儲存時一般，所有寫入字元線WL1至WL3被供應有具有關閉電晶體302的位準之電位，尤其是，低位準電位。
在NAND型記憶體裝置中，在輸入資料線和被供應有諸如接地電位等固定電位的供電線之間，鄰接的記憶體單元彼此串聯連接。在記憶體單元中的資料將被讀取之例子中，可以是否藉由控制連接到與記憶體單元相同的輸入資料線之記憶體單元而連接記憶體單元之輸入資料線與被供應有諸如接地電位等固定電位的供電線在導電狀態中，來區分所儲存的二元資料。
尤其是，重心聚焦在連接到輸入資料線Din1、輸出資料線Dout1、寫入字元線WL1、和讀取字元線RL1之記憶體單元300，及考慮讀取儲存在記憶體單元300中之高位準資料的例子。為了選擇連接記憶體單元300之輸出資料線Dout1，使SEL1及SEL2具有高位準電位，使得能夠使連接到SEL1之電晶體320和連接到SEL2之電晶體321在導通狀態中。然後，連接到記憶體單元300中之電晶體301的第一閘極電極之讀取字元線RL1具有低位準電位。另外，讀取字元線RL2及RL3被供應有高位準電位，使得連接到讀取字元線RL2及RL3之各電晶體301可被導通。高位準資料被寫入到記憶體單元300的電晶體301之第二閘極電極。亦即，根據用作為圖2B所示的記憶體元件之電晶體301的操作將臨界電壓位移到負側及變成Vth1。因此，電晶體301是在導通狀態中。因此，連接到輸出資料線Dout1的各個電晶體是在導通狀態中，及輸出資料線Dout1和被供應有接地之供電線成為導電狀態，使得能夠使輸出資料線DOut1具有與接地實質上相同的電位。
隨後，重心聚焦在連接到輸入資料線Din2、輸出資料線Dout2、寫入字元線WL1、和讀取字元線RL1之記憶體單元300，及考慮讀取儲存在記憶體單元300中之低位準資料的例子。為了選擇輸出資料線Dout2，使SEL1及SEL2具有低位準電位，使得能夠使連接到SEL1之電晶體320和連接到SEL2之電晶體321被導通。然後，連接到記憶體單元300中之電晶體301的第一閘極電極之讀取字元線RL1具有低位準電位。另外，讀取字元線RL2及RL3被供應有高位準電位，使得連接到讀取字元線RL2及RL3之各電晶體301可被導通。低位準資料被寫入到記憶體單元300的電晶體301之第二閘極電極。亦即，根據用作為圖2B所示的記憶體元件之電晶體301的操作，未將臨界電壓位移及變成Vth0。因此，電晶體301是在關閉狀態中。因此，輸出資料線Dout2和被供應有接地之供電線未在導電狀態，及使輸出資料線Dout2具有高阻抗。
需注意的是，輸出資料線Dout的每一個連接到讀取電路，及讀取電路的輸出信號為記憶體的實際輸出。
需注意的是，在實施例2中，當在資料讀取中選擇輸出資料線時，圖解使用兩選擇信號線SEL1及SEL2和閘極電極連接到信號線之電晶體的例子。因為當在資料讀取中選擇輸出資料線時，只要能夠選擇輸出資料線和連接至此的讀取電路是在導電狀態還是未導電狀態都可接受，所以可設置至少一選擇信號線和連接到選擇信號線之電晶體。
雖然在實施例2中，說明在複數個記憶體單元中連續執行資料的寫入、儲存、和讀取之驅動方法，但是本發明並不侷限於此結構。具有指定位址之唯一記憶體單元亦可經過上述操作。
此外，在圖6之單元陣列中，四個配線(輸入資料線Din、輸出資料線Dout、寫入字元線WL、和讀取字元線RL)連接到各記憶體單元。然而，在本發明的記憶體裝置中，連接到各記憶體單元的配線數目並不侷限於四個。可適當決定配線數目和連接結構，使得記憶體單元300可被供應有控制電晶體301的導通/關閉之信號、控制電晶體302的切換之信號、和供應電位到電晶體301的第二閘極電極之信號，及具有電晶體301的汲極電流量或者源極電極和汲極電極之間的電阻之電位作為資料可被傳送到驅動器電路。
需注意的是，在圖21之時序圖中，輸出資料線Dout1、Dout2、及Dout3中的陰影部表示資料未決定之狀態。另外，雖然各信號垂直上升和下降，但是精於本技藝之人士應明白，實際信號的波形由於信號線的負載、雜訊等等之影響而減弱。
然後，將參考指定圖5中的單元陣列作為例子之圖7說明根據本發明的一個實施例之記憶體裝置的操作。圖7為隨著時間過去之輸入到配線的信號之電位變化的時序圖。圖7圖解電晶體301和電晶體302為n通道電晶體及使用二元資料之例子。
首先，將說明資料寫入時之記憶體裝置的操作。在資料寫入時，當具有脈波的信號被輸入到寫入字元線WL1時，脈波的電位，尤其是高位準電位，被供應到電晶體302的閘極電極。閘極電極連接到寫入字元線WL1之各電晶體302是在導通狀態中。另一方面，具有低於圖解用作為記憶體元件的電晶體之操作的圖2B中之Vth1的電位之信號被輸入到讀取字元線RL1；因此，第一閘極電極連接到讀取字元線RL1之各電晶體301保持關閉。
然後，具有資料的信號連續輸入到輸入資料線Din1至Din3。雖然圖7圖解具有高位準電位之信號被輸入到輸入資料線Din1至Din3的每一個之例子。但無須說，輸入到輸入資料線Din1至Din3的信號之電位位準視資料的內容而改變。另外，在使用二元資料的例子中，只要輸入到輸入資料線Din1至Din3的信號之電位對應於兩種供電電壓(諸如，Vdd及Vss)都可接受。在使用具有三或更多值之多值資料的例子中，依據資料中所使用的基數來決定電位的位準種類。
經由在導通狀態中之電晶體302，將輸入到輸入資料線Din1至Din3之電位供應到電晶體301的第二閘極電極。電晶體301的臨界電壓位移量係根據第二閘極電極的電位來決定。
當完成輸入具有脈波之信號到寫入字元線WL1時，閘極電極連接到寫入字元線WL1之各電晶體302被關閉。然後，具有脈波之信號連續輸入到寫入字元線WL2和寫入字元線WL3，及在具有寫入字元線WL2之記憶體單元和包括寫入字元線WL3之各記憶體單元中同樣重複上述操作。
然後，將說明資料儲存時之記憶體裝置的操作。在資料儲存時，所有寫入字元線WL1至WL3被供應有具有關閉電晶體302的位準之電位，尤其是，低位準電位。因為電晶體302的關閉狀態電流如上述極低，所以保持資料寫入時所設定之第二閘極電極的電位位準。另外，所有讀取字元線RL1至RL3被供應有具有關閉電晶體302的位準之電位，尤其是，低於圖解用作為記憶體元件之電晶體的操作之圖2B中的Vth1之電位。
在圖7之時序圖中，為了說明資料儲存的操作而提供保持週期。然而，記憶體的實際操作並不一定要提供保持週期。
然後，將說明資料讀取時之記憶體裝置的操作。在資料讀取時，如同在資料儲存時一般，所有寫入字元線WL1至WL3被供應有具有關閉電晶體302的位準之電位，尤其是，低位準電位。
另一方面，在資料讀取時，具有脈波之信號被連續輸入到讀取字元線RL1至RL3。尤其是，首先，當具有脈波之信號被輸入到讀取字元線RL1時，脈波的電位，尤其是高於圖解用作為記憶體元件之電晶體的操作之圖2B中的Vth1但低於Vth0之電位或高於Vth0之電位，被施加到電晶體301的第一閘極電極。當電晶體301的第一閘極電極被供應有高於圖解用作為記憶體元件之電晶體的操作之圖2B中的Vth1但低於Vth0之電位或高於Vth0之電位時，電晶體301的源極電極和汲極電極之間的電阻或汲極電流係根據資料讀取之前的最新資料寫入時所設定之臨界電壓予以決定。
具有電晶體301的汲極電流量或電晶體301的源極電極和汲極電極之間的電阻值之電位作為資料，亦即，經由輸出資料線Dout1至Dout3，將達接到輸出資料線Dout1至Dout3的電晶體301之源極電極和汲極電極的其中之一的電位係供應到驅動器電路。
需注意的是，供應到輸出資料線Dout1至Dout3之電位的位準係根據寫入到記憶體單元之資料所決定。因此，以理想觀點，當具有相同值之資料被儲存在複數個記憶體單元時，應供應具有相同位準之電位到連接於記憶體單元的所有輸出資料線。然而，實際上，具有電晶體301或電晶體302的特性在記憶體單元之間變化的情況；因此，即使欲待讀取的所有資料具有相同值，供應到輸出資料線的電位仍會改變，使得有時電位的值分佈廣泛。因此，在記憶體裝置中設置讀取電路作為驅動器電路。在讀取電路中，甚至當微小變化發生在供應到輸出資料線Dout1至Dout3之電位中時，仍會產生包括讀取自上述電位的資料且具有根據理想規格所處理的振幅和波形之信號。
圖9圖解讀取電路的電路圖之例子。圖9之讀取電路包括：用作為切換元件之電晶體310_1至310_3，用以控制輸入輸出資料線Dout1至Dout3的電位到讀取電路；以及用作為電阻器之電晶體311_1至311_3。此外，圖9之讀取電路包括運算放大器312_1至312_3。
尤其是，電晶體311_1至311_3的閘極電極分別連接到電晶體311_1至311_3的汲極電極。此外，高位準供電電位Vdd被供應到閘極電極和汲極電極。另外，電晶體311_1至311_3的源極電極分別連接到運算放大器312_1至312_3的非反相輸入端子(+)。因此，電晶體311_1至311_3用作為連接在被供應有供電電位Vdd的節點和運算放大器312_1至312_3的非反相輸入端子(+)之間的電阻器。需注意的是，雖然在圖9中閘極電極連接到汲極電極之電晶體被使用作為電阻器，但是本發明並不侷限於此。另一選擇是，可使用用作為電阻器的元件。
另外，用作為切換元件之電晶體310_1至310_3的閘極電極分別連接到位元線BL1至BL3。然後，輸出資料線Dout1至Dout3和電晶體311_1至311_3的源極電極之間的連接係根據位元線BL1至BL3之電位來控制。
例如，當電晶體310_1被導通時，記憶體單元300中的電晶體301和讀取電路中的電晶體311_1被串聯連接。然後，連接的節點上之電位Vdata被供應到運算放大器312_1至312_3的非反相輸入端子(+)。電位Vdata的位準係根據電晶體301的源極電極和汲極電極之間的電阻對電晶體311_1的源極電極和汲極電極之間的電阻之比率來決定；因此，電位Vdata的位準反映所讀取資料的值。
相對地，運算放大器312_1至312_3的反相輸入端子(-)被供應有參考電位Vref。輸出端子Vout的電位位準視相關於參考電位Vref的電位Vdata之位準而改變。因此，可獲得間接包括資料之信號。
需注意的是，即使具有相同值之資料儲存在記憶體單元中，所讀取電位Vdata的位準之波動仍會由於記憶體單元的特性變化而發生，使得有時電位的值會廣泛分佈。參考電位Vref的位準係考量節點的電位Vdata之波動來決定，以準確讀取資料的值。
此外，雖然在圖9中將用以讀取資料的一運算放大器用於各輸出資料線，但運算放大器的數目並不侷限於此。當使用n值資料(n為2或更大的自然數)時，用於各輸出資料線之運算放大器的數目為(n-1)。
然後，將說明資料拭除時之記憶體裝置的操作。在資料拭除時，如同在資料寫入時一般，當具有脈波之信號被輸入到寫入字元線WL1時，脈波的電位，尤其是高位準電位，被供應到電晶體302的閘極電極。閘極電極連接到字元線WL1之各電晶體302是在導通狀態中。另一方面，具有低於圖解用作為記憶體元件之電晶體的操作之圖2B中的Vth1之電位的信號被輸入到讀取字元線RL1；因此，第一閘極電極連接到讀取字元線RL1之各電晶體301保持關閉。
諸如接地電位等固定電位被供應到輸入資料線Din1至Din3。圖7圖解具有低位準電位之信號被輸入到所有輸入資料線Din1至Din3的例子。經由在導通狀態中的電晶體302，將以低位準輸入到輸入資料線Din1至Din3之低位準固定電位供應到電晶體301的第二閘極電極。電晶體301的臨界電壓之位準係根據第二閘極電極的電位來重設。
當完成輸入具有脈波之信號到寫入字元線WL1時，閘極電極連接到寫入字元線WL1之各電晶體302被關閉。然後，具有脈波之信號連續輸入到寫入字元線WL2和寫入字元線WL3，及在具有寫入字元線WL2之記憶體單元和具有寫入字元線WL3之各記憶體單元中同樣重複上述操作。
在圖7之時序圖中，提供拭除週期以說明拭除的操作。然而，在記憶體的實際操作中，不一定需要拭除週期。在此例中，可寫入另一資料，以便覆寫所寫入的資料。根據本發明的一個實施例之記憶體裝置具有有利點，因為不一定需要提供拭除週期。
雖然在實施例2中說明在複數個記憶體單元中連續執行資料的寫入、儲存、讀取、和拭除之驅動方法，但是本發明定不侷限於此結構。具有指定位址之唯一記憶體單元亦可經過上述操作。
此外，在圖5之單元陣列中，四個配線(輸入資料線Din、輸出資料線Dout、寫入字元線WL、和讀取字元線RL)連接到各記憶體單元。然而，在本發明的記憶體裝置中，連接到各記憶體單元的配線數目並不侷限於四個。可適當決定配線數目和連接結構，使得記憶體單元300可被供應有控制電晶體301的導通/關閉之信號、控制電晶體302的切換之信號、和供應電位到電晶體301的第二閘極電極之信號，及具有電晶體301的汲極電流量或者源極電極和汲極電極之間的電阻之電位作為資料可被傳送到驅動器電路。
然後，指定使用圖5之單元陣列的記憶體裝置作為例子，及說明根據本發明的一個實施例之記憶體裝置中的驅動器電路之結構。
圖8圖解根據本發明的一個實施例之記憶體裝置的結構之方塊圖作為例子。需注意的是，在圖8之方塊圖中，根據其功能分類記憶體裝置中的電路，及圖解分開的區塊。然而，難以完全根據其功能來分類實際電路，及一個電路能夠具有複數個功能。
圖8之記憶體裝置包括：單元陣列500，其中，複數個單元陣列排列成矩陣；以及驅動器電路501，用以控制單元陣列500的驅動。驅動器電路501包括：讀取電路502，其產生具有讀取自單元陣列500之資料的信號；字元線驅動器電路503，其每一列選擇包括在單元陣列500中之記憶體單元；資料線驅動器電路504，其控制所選擇的記憶體單元中之資料的寫入和拭除；以及控制電路，其控制讀取電路502、字元線驅動器電路503、和資料線驅動器電路504之操作。另外，字元線驅動器電路503包括字元線解碼器506。此外，資料線驅動器電路504包括資料線解碼器508和資料線選擇器509。
需注意的是，只要根據本發明的一個實施例之記憶體裝置包括至少單元陣列500都可接受。單元陣列和驅動器電路的部分或全部連接到單元陣列之記憶體模組亦被列入根據本發明的一個實施例之記憶體裝置的範疇內。記憶體模組可被設置有可安裝在印刷配線板等等上之連接端子，以及可以樹脂等等加以保護(亦即，可被封裝)。
另外，可將上述驅動器電路501的全部或部分形成在與單元陣列500相同或不同的基板之上。在將驅動器電路501的全部或部分設置在與單元陣列500不同的基板之上的例子中，可經由FPC(可撓性印刷電路)等等將驅動器電路501的全部或部分連接到單元陣列500。在那例子中，可藉由COF(膜上置晶片)法將驅動器電路501的部分連接到FPC。另外，可藉由COG(玻璃上置晶片)將驅動器電路501的全部或部分連接到單元陣列500。
當單元陣列500和驅動器電路501形成在一基板之上時，連接到記憶體裝置之外部電路的組件數目被降低；因此，可藉由降低組裝步驟和檢測步驟數目來實現成本降低。另外，在記憶體裝置和外部電路彼此連接之連接部中可降低接點的數目；因此，可防止產量減少，及可防止由於連接部的機械性薄弱所導致之可靠性降低。另一選擇是，只有諸如字元線驅動器電路503、資料線選擇器509等驅動頻率低於其他電路的驅動頻率至極低之電路可形成在與單元陣列500同一基板之上。因此，當驅動器電路501的部分設置在與被設置有單元陣列500同一基板之上時，可享有下面有利點至某種程度：例如，可避免連接缺陷所導致的產量降低、可避免連接部中的機械性薄弱、及可藉由降低組裝步驟和檢測步驟的數目來降低成本。另外，與單元陣列500和所有驅動器電路501形成在一基板上之例子比較，可增加具有高驅動頻率之電路的性能特性。
當具有位址(Ax,Ay)作為資料之信號AD被輸入到記憶體裝置時，控制電路505將相關於位址中的行方向之資料的位址Ax以及相關於位址中的列方向之資料的位址Ay分別傳送到資料線驅動器電路504和字元線驅動器電路503。此外，控制電路505傳送包括輸入到記憶體裝置之資料的信號DATA到資料線驅動器電路504。
由供應到控制電路505之信號RE(讀取賦能)、WE(寫入賦能)、EE(拭除賦能)等等來決定資料被寫入、讀取、還是拭除。需注意的是，當複數個單元陣列500設置在記憶體裝置中時，用以選擇單元陣列之信號CE(晶片賦能)可輸入到控制電路505。
當由信號WE選擇資料寫入的操作時，由包括在字元線驅動器電路503中之字元線解碼器506，將具有脈波之信號輸入到對應於位址Ay之寫入字元線WL，以回應來自控制電路505的指令。另一方面，當由信號WE選擇資料寫入的操作時，資料線解碼器508供應用以控制資料線選擇器509的操作之信號到資料線驅動器電路504中的資料線選擇器509，以回應來自控制電路505的指令。在資料線選擇器509中，根據來自資料線解碼器508之信號而取樣具有資料之信號DATA，及所取樣的信號被輸入到對應於位址Ax之輸入資料線Din。
當由信號RE選擇資料讀取的操作時，從包括在字元線驅動器電路503中之字元線解碼器506輸入具有脈波之信號到對應於位址Ay之讀取字元線RL，以回應來自控制電路505的指令。另一方面，當由信號RE選擇資料寫入的操作時，在讀取電路502中，對應於位址Ax之位元線BL的電位被控制，以回應來自控制電路505的指令，使得對應於位址Ax之電晶體310_1至310_3以外的電晶體被導通。然後，使用對應於位址Ax之輸出資料線Dout的電位來讀取儲存在具有對應位址之記憶體單元中的資料，及產生具有資料的信號。
當由信號EE選擇資料拭除的操作時，從包括在字元線驅動器電路503中之字元線解碼器506輸入具有脈波之信號到對應於位址Ay之寫入字元線WL，以回應來自控制電路505的指令。另一方面，當由信號EE選擇資料拭除的操作時，資料線解碼器508供應用以控制資料線選擇器509的操作之信號到資料線驅動器電路504中的資料線選擇器509，以回應來自控制電路505的指令。在資料線選擇器509中，根據來自資料線解碼器508之信號，而將用以拭除資料之信號輸入到對應於位址Ax之輸入資料線Din。
需注意的是，雖然在圖8之記憶體裝置中，字元線驅動器電路503控制信號到寫入字元線WL之輸入以及信號到讀取字元線RL之輸入，但是本發明並不侷限於此結構。可在記憶體裝置中設置控制信號到寫入字元線WL之輸入的驅動器電路以及控制信號到讀取字元線RL之輸入的驅動器電路。
此實施例可與上述實施例的任一者適當組合實施。
(實施例3)
指定通道蝕刻型底閘極電晶體作為例子，及將說明根據本發明的一個實施例之記憶體裝置的製造方法。需注意的是，在實施例3中，指定使用氧化物半導體膜作為用作為記憶體元件之電晶體和用作為切換元件之電晶體二者中的主動層之事例作為說明的例子。
如圖10A所示，閘極電極401和閘極電極402係形成在具有絕緣表面的基板400之上。
雖然並未特別限制可被使用作為具有絕緣表面的基板400之基板，但是基板必須具有高到足以至少耐受稍後步驟所執行的熱處理之耐熱性。例如，可使用藉由玻璃熔化處理或飄浮處理所形成之玻璃基板。在使用玻璃基板和稍後步驟所執行的熱處理之溫度高的例子中，較佳使用應變點為730℃或更高之玻璃基板。作為玻璃基板，例如，使用諸如鋁矽酸鹽玻璃、鋁硼矽酸鹽玻璃、或鋇硼矽酸鹽玻璃等玻璃材料。需注意的是，通常，藉由含氧化鋇(BaO)的量大於氧化硼的量，可獲得耐熱且更實用的玻璃基板。因此，使用含BaO和B2O3之玻璃基板，較佳使得BaO的量大於B2O3的量之玻璃基板。
需注意的是，作為上述玻璃基板，可使用由絕緣體所形成之基板，諸如陶瓷基板、石英基板、或藍寶石基板等。另一選擇是，可使用結晶玻璃等等。可使用具有設置有絕緣層的表面之不銹鋼合金等等的金屬基板。
另外，諸如塑膠等等由可撓性合成樹脂所形成之基板通常傾向具有低的溫度上限，但是只要基板能夠耐受稍後製造步驟中的處理溫度仍可被使用作為基板400。塑膠基板的例子包括以聚乙烯對苯二甲酸酯(PET)為代表之聚酯、聚醚(PES)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚碳酸酯(PC)、聚二醚酮(PEEK)、聚碸(PSF)、聚醚醯亞胺(PEI)、聚芳酯化合物(PAR)、聚對苯二甲酸丁二酯(PBT)、聚醯亞胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂、聚氯乙烯、聚丙烯、聚乙烯醇、丙烯酸樹脂等。
用作為基底膜之絕緣膜係可形成在基板400與閘極電極401和閘極電極402之間。作為基底膜，例如，可使用氧化矽膜、氮氧化矽膜、氮化矽膜、氧氮化矽膜、氮化鋁膜、或氧氮化鋁膜的單層，或者複數個這些膜的疊層。尤其是，具有高障壁特性之絕緣膜，例如氮化矽膜、氧氮化矽膜、氮化鋁膜、或氧氮化鋁膜被用於基底膜，使得可防止諸如濕氣或氫等氛圍中的雜質，或者諸如鹼性金屬或重金屬等包括在基板400中之雜質進入氧化物半導體膜、閘極絕緣膜、或在氧化物半導體膜與另一絕緣膜之間的介面中及其附近。
在此說明書中，氮氧化物意指包括氧多於氮之物質，而氧氮化物意指包括氮多於氧之物質。
閘極電極401及402係可被形成有使用使用諸如鉬、鈦、鉻、鉭、鎢、釹、或鈧等金屬材料或者包括這些金屬材料的任一者作為主要成分之合金材料，或者這些金屬的氮化物之一或多個導電膜的單層或疊層。需注意的是，若鋁或銅能夠耐受稍後步驟所執行的熱處理之溫度，則亦可使用鋁或銅作為此種金屬材料。較佳鋁或銅與耐火金屬材料相組合，以便防止低耐熱性的問題和腐蝕的問題。作為耐火金屬材料，可使用鉬、鈦、鉻、鉭、鎢、釹、鈧等等。
例如，作為閘極電極401及402的兩層結構，下面結構較佳：鉬膜堆疊在鋁膜之上的兩層結構，鉬膜堆疊在銅膜之上的兩層結構，氮化鈦膜或氮化鉭膜堆疊在銅膜之上的兩層結構，及堆疊氮化鈦膜和鉬膜之兩層結構。作為閘極電極401及402的三層結構，下面結構較佳：鋁膜、鋁和矽的合金膜、鋁和鈦的合金膜、或鋁和釹的合金膜被使用作為中間層，並且夾置在選自鎢膜、氮化鎢膜、氮化鈦膜、或鈦膜作為頂層和底層的兩膜之間的堆疊結構。
另外，當諸如氧化銦膜、氧化銦和氧化錫的合金之膜、氧化銦和氧化鋅的合金之膜、氧化鋅膜、氧化鋅鋁膜、氮氧化鋅鋁膜、氧化鋅鎵膜等等之透光氧化物導電膜被用於閘極電極401及402時，可提高像素部的孔徑比。
閘極電極401及402的厚度各為10 nm至400 nm，較佳為100 nm至200 nm。在實施例3中，在使用鎢靶材藉由濺鍍將用於閘極電極的導電膜形成具有厚度150 nm之後，藉由蝕刻將導電膜處理(圖案化)成想要的形狀，藉以形成閘極電極401及402。需注意的是，所形成的閘極電極之端部位較佳為錐形，因為提高與形成在其上的閘極絕緣膜之覆蓋範圍。需注意的是，可以噴墨法形成抗蝕遮罩。以噴墨法形成抗蝕遮罩無須光罩；因此可降低製造成本。
接著，閘極絕緣膜403係形成在閘極電極401及402之上。藉由電漿CVD、濺鍍等等，將閘極絕緣膜403形成具有氧化矽膜、氮化矽膜、氮氧化矽膜、氧氮化矽膜、氧化鋁膜、氮化鋁膜、氮氧化鋁膜、氧氮化鋁膜、氧化鉿膜、或氧化鉭膜之單層結構或疊層結構。較佳的是閘極絕緣膜403包括盡可能少的諸如濕氣或氫等雜質。在藉由濺鍍形成氧化矽膜之例子中，使用矽靶材或石英靶材作為靶材，及使用氧或氧和氬的混合氣體作為濺鍍氣體。
藉由去除雜質使其為本徵氧化物半導體或實質上為本徵氧化物半導體之氧化物半導體(被高度淨化的氧化物半導體)對介面能態和介面電荷極為敏感；因此，高度淨化的氧化物半導體和閘極絕緣膜403之間的介面相當重要。因此，與高度淨化的氧化物半導體相接觸之閘極絕緣膜(GI)必須具有較高的品質。
例如，較佳使用微波(2.45 GHz)之高密度電漿CVD，因為可形成具有高耐壓之濃密的高品質絕緣膜。這是因為當高度淨化的氧化物半導體與高品質的閘極絕緣膜緊密接觸時，可降低介面能態及介面特性可令人滿意。
無須說，只要能夠形成高品質絕緣膜作為閘極絕緣膜，可應用諸如濺鍍或電漿CVD等其他膜形成法。而且，能夠形成經由形成絕緣膜之後所執行的熱處理來提高與氧化物半導體之介面的品質和特性之絕緣膜。在任一例子中，形成具有令人滿意的膜品質之絕緣膜作為閘極絕緣膜、及可降低與氧化物半導體的介面能態密度以形成令人滿意的介面之絕緣膜。
閘極絕緣膜403可被形成具有結構如下：使用具有高障壁特性的材料所形成之絕緣膜和諸如氧化矽膜或氮氧化矽膜等具有較低的氮比例之絕緣膜加以堆疊。在此例中，諸如氧化矽膜或氮氧化矽膜等絕緣膜係形成在具有高障壁特性的絕緣膜和氧化物半導體膜之間。作為具有高障壁特性的絕緣膜，例如，可指定氮化矽膜、氧氮化矽膜、氮化鋁膜、氧氮化鋁膜等等。利用具有高障壁特性的絕緣膜，可防止諸如濕氣或氫等氛圍中的雜質、或諸如鹼性金屬或重金屬等包括在基板400中之雜質進入氧化物半導體膜、閘極絕緣膜、或在氧化物半導體膜與另一絕緣膜之間的介面中及其附近。此外，諸如氧化矽膜或氮氧化矽膜等具有較低的氮比例之絕緣膜被形成，以便與氧化物半導體膜相接觸，使得能夠防止具有高障壁特性的絕緣膜直接與氧化物半導體膜相接觸。
例如，藉由濺鍍形成具有厚度50 nm至200 nm(含)之氮化矽膜(SiNy(y>0))作為第一閘極絕緣膜，而將具有厚度5 nm至300 nm(含)之氧化矽膜(SiOy(y>0))堆疊在第一閘極絕緣膜之上作為第二閘極絕緣膜；因此，可使用這些膜作為100 nm厚的閘極絕緣膜403。可依據電晶體所需的特性來適當決定閘極絕緣膜403之厚度，及可約為350 nm至400 nm。
在實施例3中，形成具有結構如下的閘極絕緣膜403：藉由濺鍍所形成之具有厚度100 nm的氧化矽膜堆疊在藉由濺鍍所形成之具有厚度50 nm的氮化矽膜。
為了使閘極絕緣膜403中含有盡可能少的氫、氫氧根、和濕氣，較佳的是形成閘極電極401及402之基板400在濺鍍設備的預熱室中預熱，使得諸如吸附於基板400上之諸如濕氣或氫等雜質被消除和去除，作為膜形成的預處理。需注意的是，預熱的溫度為100℃至400℃(含)，較佳為150℃至300℃(含)。作為設置在預熱室中之抽空單元，低溫泵較佳。需注意的是，可省略此預熱處理。
接著，在閘極絕緣膜403之上，氧化物半導體膜404被形成具有厚度2 nm至200 nm(含)，較佳為3 nm至50 nm(含)，更佳為3 nm至20 nm(含)。藉由使用氧化物半導體作為靶材，以濺鍍形成氧化物半導體膜404。而且，可在稀有氣體(諸如，氬)氛圍、氧氛圍、或包括稀有氣體(諸如，氬)和氧之混合氛圍中，以濺鍍形成氧化物半導體膜404。
需注意的是，在藉由濺鍍形成氧化物半導體膜404之前，藉由引進氬氣和產生電漿，較佳以反向濺鍍來去除閘極絕緣膜403的基板上之灰塵。反向濺鍍意指在未施加電壓到靶材側之下，在氬氛圍中，使用RF電源來施加電壓到基板側以修改表面。需注意的是，可使用氮氛圍、氦氛圍等等來取代氬氛圍。另一選擇是，可使用添加氧、氧化亞氮等等之氬氛圍。另一選擇是，可使用添加氯、四氯化碳等等之氬氛圍。
關於氧化物半導體膜404，可使用如上述此種氧化物半導體。
在實施例3中，作為氧化物半導體膜404，使用以包括銦(In)、鎵(Ga)、和鋅(Zn)之氧化物半導體靶材，藉由濺鍍法所獲得的具有厚度30 nm之In-Ga-Zn-O類非單晶膜。在使用濺鍍之例子中，含2 wt%至10 wt%(含)的SiO2之靶材可被用於膜形成。包括In、Ga、及Zn之氧化物半導體靶材的充填率為90%至100%(含)，較佳為95%至99.9%(含)。藉由使用具有高充填率之氧化物半導體靶材，形成濃密的氧化物半導體膜。
以將基板支托在維持於降壓的處理室中，在去除處理室內所剩餘的濕氣同時，將已去除氫和濕氣之濺鍍氣體引進處理室內，及使用金屬氧化物作為靶材之此種方式，將氧化物半導體膜404形成在基板400之上。在膜形成時，基板溫度可以為100℃至600℃(含)，較佳為200℃至400℃(含)。在加熱基板的同時執行膜形成，藉以可降低所形成的氧化物半導體層所含有之雜質濃度。此外，可降低由於濺鍍的破壞。為了去除處理室中的剩餘濕氣，較佳使用誘捕式真空泵。例如，較佳使用低溫泵、離子泵、或鈦昇華泵。抽空單元可以是設置有冷凝阱之渦輪泵。在以低溫泵抽空之沉積室中，例如，去除氫原子、諸如水(H2O)等含氫原子之化合物(較佳含探原子之化合物)等等，藉以可降低沉積室所形成之氧化物半導體膜中的雜質濃度。
作為沉積條件的一個例子，基板和靶材之間的距離為100 mm、壓力為0.6 Pa、直流(DC)電源為0.5 kW、及氛圍為氧氛圍(氧流率的比率為100%)。需注意的是，脈衝式直流(DC)電源較佳，因為可降低亦被稱為粒子及在膜形成時產生之灰塵，及可使膜厚度均勻。氧化物半導體膜較佳具有厚度5 nm至30 nm(含)。因為適當厚度係依據所使用的氧化物半導體材料而定，所以可視材料而適當決定厚度。
為了使氧化物半導體膜404盡可能不含有諸如氫、氫氧根、或濕氣等雜質，在膜形成之前，於濺鍍設備的預熱室中預熱被設置有閘極絕緣膜403之基板400，較佳的是使得吸附於基板400上之諸如濕氣或氫等雜質被消除或去除。需注意的是，預熱的溫度為100℃至400℃(含)，較佳為150℃至300℃(含)。作為設置在預熱室中之抽空單元，低溫泵較佳。需注意的是，可省略此預熱處理。此外，在形成絕緣膜411之前，可在形成源極電極407、汲極電極408、源極電極409、和汲極電極410之基板400上同樣執行預熱。
濺鍍的例子包括：RF濺鍍法，其中，高頻電源被用於濺鍍電源；DC濺鍍法；及脈衝式DC濺鍍法，其中，以脈衝方式施加偏壓。RF濺鍍法主要用在形成絕緣膜時，而DC濺鍍法主要用在形成金屬膜時。
此外，亦具有能夠設定不同材料的複數個靶材之多源濺鍍設備。利用多源濺鍍設備，可將不同材料的膜形成堆疊在同一室中，或可在同一室中同時藉由放電形成複數種材料的膜。
另一選擇是，被設置有磁性系統在室內之濺鍍設備被用於磁電管濺鍍，或可使用用於在未使用輝光放電之下使用微波所產生的電漿之ECR濺鍍的濺鍍設備。
另外，作為使用濺鍍之沉積方法，可使用反應性濺鍍，其中，在膜形成期間靶材物質和濺鍍氣體成分彼此起化學反應以形成其薄的化合物膜；或者偏壓濺鍍，其中，在膜形成期間亦施加電壓。
可在未暴露於空氣之下連續形成閘極絕緣膜403和氧化物半導體膜404。在未暴露於空氣之下之連續膜形成能夠在未受到諸如水、碳氫化合物等飄浮在空氣中的氛圍成分或雜質元素等等之污染之下而獲得疊層之間的各介面。因此，可降低電晶體的特性變化。
接著，如圖10B所示，藉由蝕刻等等將氧化物半導體膜404處理(圖案化)成想要的形狀，藉以在島型氧化物半導體膜405及406與閘極電極401及402重疊之位置中，將島型氧化物半導體膜405及406形成在閘極絕緣膜403之上。
可以噴墨法形成用以形成島型氧化物半導體膜405及406之抗蝕遮罩。以噴墨法形成抗蝕遮罩無須光罩；因此可降低製造成本。
在閘極絕緣膜403中形成接觸孔之例子中，在形成島型氧化物半導體膜405及406時可執行形成接觸孔之步驟。
需注意的是，用以形成島型氧化物半導體膜405及406之蝕刻可以是濕式蝕刻、乾式蝕刻、或乾式蝕刻和濕式蝕刻二者。作為用於乾式蝕刻的蝕刻氣體，使用含氯的氣體(氯類氣體，諸如氯(Cl2)、氯化硼(BCl3)、氯化矽(SiCl4)、或四氯化碳(CCl4)等)等等。另一選擇是，可使用含氟的氣體(氟類氣體，諸如四氟化碳(CF4)、氟化硫(SF6)、氟化氮(NF3)、或三氟甲烷(CHF3)等)；溴化氫(HBr)；氧(O2)；添加諸如氦(He)或氬(Ar)等稀有氣體之這些氣體的任一個等等。
作為乾式蝕刻，可使用平行板RIE(反應性離子蝕刻)法或ICP(電感式耦合電漿)蝕刻法。為了將層蝕刻成想要的形狀，適當地調整蝕刻條件(施加到線圈型電極之電力量，施加到基板側上之電極的電力量，基板側上的電極之溫度等)。
作為用於濕式蝕刻之蝕刻劑，可使用磷酸、乙酸、硝酸的混合溶液等。另一選擇是，可使用ITO07N(由KANTO化學股份有限公司所製造)等等。藉由清潔將濕式蝕刻之後的蝕刻劑與所蝕刻的材料一起去除。可將包括蝕刻劑和被蝕刻掉的材料之廢棄液體淨化及再使用材料。當從蝕刻之後的廢棄液體收集包括在氧化物半導體膜中之諸如銦等材料及再使用時，可有效使用資源和可降低成本。
需注意的是，在隨後步驟中之導電膜的形成之前執行反向濺鍍，較佳的是使得附著於島型氧化物半導體膜405、島型氧化物半導體膜406、和閘極絕緣膜403的表面上之抗蝕劑剩餘物等等被去除。
然後，在氮氛圍、氧氛圍、超乾燥空氣(水含量為低於或等於20 ppm，較佳為低於或等於1 ppm，更佳為及低於或等於10 ppb之空氣)的氛圍、或稀有氣體(諸如，氬和氦)氛圍中，對氧化物半導體膜405及406執行熱處理。對氧化物半導體膜405及406執行熱處理，可消除氧化物半導體膜405及406中之濕氣或氫。尤其是，可以350℃至850℃(或玻璃基板的應變點或更少)(含)，且較佳為550℃至750℃(含)來執行熱處理。例如，可以600℃執行熱處理約三分鐘至六分鐘(含)。因為以RTA法可以短時間執行脫水處理或除氫處理，所以甚至載波離基板的應變點之上的溫度中仍可執行熱處理。另一選擇是，可在基板溫度約450℃之狀態中執行熱處理約一小時。
在實施例3中，在基板溫度約600℃之狀態中，於氮氛圍中，以熱處理設備的其中之一的電爐，對氧化物半導體膜405及406執行熱處理達六分鐘。熱處理之後，氧化物半導體膜405及406未暴露於空氣，以防止濕氣或氫的再次進入。
需注意的是，熱處理設備並不侷限於電爐，及可包括藉由來自諸如電阻加熱元件等加熱元件的熱傳導或熱輻射來加熱欲待處理的物體之裝置。例如，可使用諸如GRTA(氣體快速熱退火)設備或LRTA(燈快速熱退火)等RTA(快速熱退火)設備。LRTA設備為用以藉由從諸如鹵素燈、金屬鹵化物燈、氙弧光燈、碳弧光燈、高壓鈉燈、或高壓水銀燈等燈所發出的光之輻射(電磁波)來加熱欲待處理的物體之設備。GRTA設備為使用高溫氣體的熱處理之設備。作為氣體，使用不由於熱處理而與欲待處理的物體起反應之鈍氣，諸如氮或諸如氬等稀有氣體等。
例如，熱處理可利用GRTA，其中，基板被移至已被加熱至高溫650℃至700℃之鈍氣中，在那裡加熱幾分鐘，而後將基板移出鈍氣之外。利用GRTA，可達成短時間週期之高溫熱處理。
需注意的是，在熱處理中，較佳的是濕氣、氫等等未包含在氮或諸如氦、氖、或氬等稀有氣體中。例如，引進到熱處理設備之氮或諸如氦、氖、或氬等稀有氣體的純度為6N(99.9999%)或更大，較佳為7N(99.99999%)或更大(亦即，雜質濃度為1 ppm或更低，較佳為0.1 ppm或更低)較佳。
另外，當在溫度為85℃及施加到閘極之電壓為2 x 106 V/cm的條件下，將含諸如濕氣或氫等雜質之氧化物半導體經過閘極偏壓-溫度應力測試(BT測試)達12小時時，可藉由高電場(B：偏壓)和高溫(T：溫度)劈開雜質和氧化物半導體的主要成分之間的接合，及所產生的懸鍵引起臨界電壓(Vth)的飄移。然而，如上所述，提高閘極絕緣膜和氧化物半導體膜之間的介面中之特性，及盡可能去除氧化物半導體膜中的雜質，尤其是濕氣、氫等等，使得能夠獲得耐受BT測試的電晶體。
經由上述步驟，可降低氧化物半導體膜中之氫的濃度，及高度淨化氧化物半導體膜。因此，能夠使氧化物半導體膜穩定。此外，低於或等於玻璃轉換溫度之溫度的熱處理能夠形成載子密度極低之具有寬能帶隙的氧化物半導體膜。因此，能夠使用大面積基板來製造電晶體；因此，可提高大量生產力。此外，藉由使用降低氫濃度之高度淨化的氧化物半導體膜，能夠製造具有高耐壓、縮減的短通道效應、和高開關比之電晶體。
需注意的是，當加熱氧化物半導體膜時，平面狀晶體形成在上表面中，雖然其視氧化物半導體膜的材料和加熱條件而定。較佳的是平面狀晶體為c軸對準在垂直於氧化物半導體膜的表面之方向上的單晶。另外，使用a-b平面在通道形成區中彼此對應之多晶，或者a軸或b軸在通道形成區中彼此對應之多晶，且為c軸對準在垂直於氧化物半導體膜的表面之方向上者較佳。需注意的是，當氧化物半導體膜的基表面不平均時，平面狀晶體為多晶。
然後，如圖10C所示，欲成為源極電極和汲極電極(包括形成在與源極電極和汲極電極相同層中之配線)之導電膜係形成在與閘極絕緣膜403、氧化物半導體膜405、和氧化物半導體膜406之上，然後，將導電膜圖案化。然後，源極電極407和汲極電極408係形成在氧化物半導體膜405之上，及源極電極409和汲極電極410係形成在氧化物半導體膜406之上。導電膜係可藉由濺鍍或真空蒸發法來形成。作為欲成為源極電極和汲極電極(包括形成在與源極電極和汲極電極相同層中之配線)之導電膜，具有選自Al(鋁)、Cr(鉻)、Cu(銅)、Ta(鉭)、Ti(鈦)、Mo(鉬)、及W(鎢)之元素；包括這些元素的任一者作為成分之合金；組合包括這些元素的任一者之合金等等。此外，可使用諸如Cr、Ta、Ti、Mo、或W等耐火金屬的膜堆疊在Al、Cu等等的金屬膜之下側或上側上的結構。而且，可使用添加諸如矽、鈦、鉭、鎢、鉬、鉻、釹、鈧、或釔等防止小丘或鬚狀物產生在鋁膜中之元素的鋁材，因而提高耐熱性。
另外，導電膜可具有單層結構或兩或多層之堆疊結構。例如，可指定包括矽之鋁膜的單層結構，鈦膜堆疊在鋁膜之上的兩層結構，鈦膜、鋁膜、和鈦膜以此順序加以堆疊之三層結構等等。
另一選擇是，欲成為源極電極和汲極電極(包括形成在與源極電極和汲極電極相同層中之配線)之導電膜係可使用導電金屬氧化物來形成。作為導電金屬氧化物，可使用氧化銦(In2O3)、氧化錫(SnO2)、氧化鋅(ZnO)、氧化銦和氧化錫的合金(In2O3-SnO2，縮寫為ITO)、氧化銦和氧化鋅的合金(In2O3-ZnO)、或添加矽或氧化矽之金屬氧化物材料。
在形成導電膜之後執行熱處理的例子中，較佳的是導電膜具有足夠高到耐受熱處理之耐熱性。
然後，抗蝕遮罩係形成在導電膜之上。藉由選擇性蝕刻來形成源極電極407、汲極電極408、源極電極409、和汲極電極410。之後，去除抗蝕遮罩。
紫外線、KrF雷射光束、或ArF雷射光束被用於光致微影步驟中用以形成抗蝕遮罩之曝光。欲在稍後步驟所形成之電晶體的各通道長度L係由氧化物半導體膜405及406之上彼此鄰接的源極電極的下端和汲極電極的下端之間的距離所決定。在通道長度L短於25 nm及執行光致微影步驟中用以形成抗蝕遮罩之曝光的例子中，使用具有波長短如幾奈米至幾十奈米之超紫外線。利用超紫外線的曝光產生高解析度和大的焦點深度。因此，稍後步驟所完成之電晶體的通道長度L可以是10 nm至1000 nm(含)，及可增加電路的操作速度，而且關閉狀態電流的值極小，使得可達成低電力消耗。
需注意的是，適當調整各材料和蝕刻條件，使得在蝕刻導電膜時盡可能不去除氧化物半導體膜405及406。
在實施例3中，使用鈦膜作為導電膜，及藉由使用包括氨和氧化的水之溶液(過氧化氨混合物)，對導電膜執行濕式蝕刻，使得源極電極407、汲極電極408、源極電極409、和汲極電極410被形成。作為包括過氧化氨混合物之溶液，尤其是，使用以體積比5:2:2混合氧化的水(31 wt%過氧化氫)、氨水(28 wt%銨)、和水之溶液。另一選擇是，可使用含氯(Cl2)、氯化硼(BCL3)等等之氣體，對導電膜執行乾式蝕刻。
當經由上述圖案化形成源極電極407、汲極電極408、源極電極409、和汲極電極410時，島型氧化物半導體膜405中之曝光部的部分被蝕刻，使得有時形成溝槽(凹下部)。可以噴墨法形成用以形成源極電極407、汲極電極408、源極電極409、和汲極電極410之抗蝕遮罩。以噴墨法形成抗蝕遮罩無須光罩；因而可降低製造成本。
此外，為了降低用於光致微影步驟之光罩數目和步驟數目，可藉由使用由多色調遮罩所形成之抗蝕遮罩來執行蝕刻。經由多色調遮罩透射光以具有複數個強度。藉由使用多色調遮罩所形成之抗蝕遮罩具有複數個厚度，及可進一步藉由蝕刻改變形狀；因此，可在複數個蝕刻步驟中使用抗蝕遮罩，以處理成不同圖案。因此，對應於至少兩或多種不同圖案之抗蝕遮罩係可由一多色調遮罩所形成。因此，可降低曝光罩的數目，及亦可降低對應的光致微影步驟之數目，藉以可實現處理的簡化。
接著，使用諸如N2O、N2、或Ar等執行電漿處理。藉由電漿處理，去除附著於氧化物半導體膜的露出表面之水等。另一選擇是，也可使用氧和氬的混合氣體執行電漿處理。
需注意的是，在執行電漿處理之後，如圖10D所示，絕緣膜411被形成，以便覆蓋源極電極407、汲極電極408、源極電極409、汲極電極410、氧化物半導體膜410、氧化物半導體膜405、及氧化物半導體膜406。較佳的是絕緣膜411包括盡可能少之諸如濕氣或氫等雜質，及絕緣膜411係可使用單層絕緣膜或堆疊的複數個絕緣膜所形成。當氫包括在絕緣膜411中時，發生氫進入氧化物半導體膜或氧化物半導體膜中的氧被氫擷取，藉以氧化物半導體膜的背通道部具有較低電阻(n型導電性)；因此，可形成寄生通道。因此，為了形成含有盡可能少的氫之絕緣膜411，較佳利用未使用氫的膜形成法。較佳的是具有高障壁特性之材料被使用於絕緣膜411。例如，作為具有高障壁特性的絕緣膜，可使用氮化矽膜、氧氮化矽膜、氮化鋁膜、氧氮化鋁膜等等。當使用堆疊的複數個絕緣膜時，諸如氧化矽膜或氮氧化矽膜等具有比具有高障壁特性之絕緣膜低的氮比例之絕緣膜形成在接近氧化物半導體膜405及406的側邊上。然後，具有高障壁特性的絕緣膜被形成，以便與源極電極407、汲極電極408、源極電極409、汲極電極410、氧化物半導體膜405、和氧化物半導體膜406重疊，且具有較低氮比例之絕緣膜在具有障壁特性的絕緣膜與源極電極、汲極電極、和氧化物半導體膜之間。利用具有高障壁特性之絕緣膜，可防止諸如濕氣或氫等雜質進入氧化物半導體膜405和氧化物半導體膜406、閘極絕緣膜403，或在另一絕緣膜與氧化物半導體膜405及406的每一個之間的介面中及其附近。此外，諸如氧化矽膜或氮氧化矽膜等具有較低的氮比例之絕緣膜被形成，以便與氧化物半導體膜405及406相接觸，使得能夠防止具有高障壁特性的絕緣膜直接與氧化物半導體膜405及406相接觸。
在實施例3中，形成具有結構如下之絕緣膜411：藉由濺鍍所形成之具有厚度100 nm的氮化矽膜堆疊在藉由濺鍍所形成之具有厚度200 nm的氧化矽膜之上。膜形成時之基板溫度可在室溫至300℃(含)的範圍中，及在實施例3中為100℃。
需注意的是，可在形成絕緣膜411之後執行熱處理。以200℃至400℃(含)，例如250℃至350℃(含)，在氮氛圍、氧氛圍、超乾燥空氣(水含量低於或等於20 ppm，較佳為低於或等於1 ppm，且更佳為低於或等於10 ppb之空氣)的氛圍、或稀有氣體(諸如，氬和氦)氛圍中執行熱處理。在實施例3中，以250℃在氮氛圍中執行熱處理達一小時。另一選擇是，在形成源極電極407、汲極電極408、源極電極409、和汲極電極410之前，可執行在短時間中以高溫所執行的熱處理之RTA處理，如同當氧化物半導體膜經過熱處理時一般。在設置包括氧的絕緣膜411以便與形成在源極電極407與汲極電極408之間的氧化物半導體膜405之露出區相接觸之後，或者在設置包括氧的絕緣膜411以便與形成在源極電極409和汲極電極410之間的氧化物半導體膜406之露出區相接觸之後執行熱處理；因此，甚至當在氧化物半導體膜上所執行的熱處理使氧不足發生在氧化物半導體膜405及406中，仍將氧供應到氧化物半導體膜405及氧化物半導體膜406。氧被供應到與絕緣膜411相接觸之氧化物半導體膜405及406的部分，以降低用作為施體之氧不足，使得能夠實現滿足化學計量組成比之結構。結果，可使氧化物半導體膜405及406成為本徵半導體膜或實質上為本徵半導體膜。因此，可提高電晶體的電特性及可降低其電特性的變化。只要其在形成絕緣膜411之後執行，並未特別限制此熱處理的時序。當此熱處理亦用作為另一步驟的熱處理時，例如，形成樹脂膜時的熱處理或用以降低透明導電膜的電阻之熱處理，在不增加步驟數目之下，氧化物半導體膜405及406可以是本徵(i型)或實質上為本徵。
圖11A圖解完成到圖10D的步驟之後的記憶體裝置的俯視圖。需注意的是，沿著圖11A中的虛線A1-A2所取之橫剖面圖對應於圖10D。
然後，藉由蝕刻等等將接觸孔412形成在絕緣膜411中，以露出汲極電極408的部分。接著，如圖10E所示，在藉由圖案化形成在絕緣膜411之上的導電膜以便與氧化物半導體膜406重疊而形成背閘極電極413之後，絕緣膜414被形成，以便覆蓋背閘極電極413。背閘極電極413連接到接觸孔412中的汲極電極408。背閘極電極413係可使用類似於閘極電極401及402或源極電極407、汲極電極408、源極電極409、和汲極電極410的材料和結構來形成。
背閘極電極413的厚度被設定為10 nm至400 nm，較佳為100 nm至200 nm。在實施例3中，形成以鈦膜、鋁膜、和鈦膜堆疊之導電膜，藉由光致微影法等等形成抗蝕遮罩，及藉由蝕刻去除不必要部位，使得導電膜被處理(圖案化)成想要的形狀之此種方式來形成背閘極電極413。
較佳的是絕緣膜414係使用具有能夠防止氛圍中之濕氣、氫、氧等等影響電晶體的特性之高障壁特性的材料來予以形成。例如，藉由電漿CVD、濺鍍等等，可將絕緣膜414形成具有氮化矽膜、氧氮化矽膜、氮化鋁膜、氧氮化鋁膜等等之單層結構或疊層結構，作為具有高障壁特性的絕緣膜。為了獲得障壁特性的效果，例如，較佳的是絕緣膜414被形成而具有厚度15 nm至400 nm。
在實施例3中，藉由電漿CVD將絕緣膜形成厚度300 nm。在下列條件之下形成絕緣膜：矽烷氣體的流率為4 sccm；一氧化二氮(N2O)的流率為800 sccm；及基板溫度為400℃。
經由上述步驟，形成用作為切換元件之電晶體420、用作為記憶體元件之電晶體421、和電容器430。圖11B圖解圖10E所示之記憶體單元的俯視圖。圖10E對應於沿著圖11B的虛線A1-A2所取之橫剖面圖。
電晶體420包括：閘極電極401，係形成在具有絕緣表面的基板400之上；閘極絕緣膜403，係在閘極電極401之上；氧化物半導體膜405，其與閘極電極401重疊且在閘極絕緣膜403之上；以及一對源極電極407和汲極電極408，係形成在氧化物半導體膜405之上。電晶體420可包括設置在氧化物半導體膜405之上的絕緣膜411作為其組件。圖10E所示之電晶體420具有通道蝕刻型結構，其中，氧化物半導體膜405在源極電極407和汲極電極408之間被部分蝕刻。
需注意的是，雖然說明電晶體420作為單閘極電晶體，但是視需要可藉由具有彼此電連接的複數個閘極電極401，而形成具有複數個通道形成區之多閘極電晶體。
另外，電晶體421包括：閘極電極402，其係設置在具有絕緣表面的基板400之上；閘極絕緣膜403，係在閘極電極402之上；氧化物半導體膜406，係與閘極電極402重疊且在閘極絕緣膜403之上；源極電極409和汲極電極410之一對電極，係設置在氧化物半導體膜406之上；絕緣膜411，係形成在氧化物半導體膜406、源極電極409、和汲極電極410之上；以及背閘極電極413，係與氧化物半導體膜406和閘極電極402重疊且在絕緣膜411之上。可包括形成在背閘極電極413之上的絕緣膜414作為電晶體421的組件。圖10E所示之電晶體421具有通道蝕刻型結構，其中，氧化物半導體膜406在源極電極409和汲極電極410之間被部分蝕刻。
需注意的是，雖然說明電晶體421作為單閘極電晶體，但是視需要可藉由具有彼此電連接的複數個閘極電極402，而形成具有複數個通道形成區之多閘極電晶體。
電容器430係形成在電晶體421的源極電極409與電晶體421的背閘極電極413彼此重疊，且絕緣膜411係設置在電晶體421的源極電極409與電晶體421的背閘極電極413之間的區域中。
包括在電晶體421中之閘極電極402用作為第一電極，其可藉由控制電極402的電位來選擇諸如寫入、讀取、儲存、和拭除等記憶體元件之操作。背閘極電極413用作為第二電極，其可控制使用作為記憶體元件之電晶體421的臨界電壓。需注意的是，雖然在實施例3中，指定電晶體421用作為具有在形成氧化物半導體膜406之前所形成的閘極電極402作為第一電極，及在形成氧化物半導體膜406之後所形成的背閘極電極413作為第二電極之記憶體元件的記憶體單元作為例子，但是本發明並不侷限於此結構。例如，亦可利用在電晶體421中，在形成氧化物半導體膜406之前所形成的閘極電極402用作為第二電極，及在形成氧化物半導體膜406之後所形成的背閘極電極413作為第一電極之結構。需注意的是，在此例中，取代背閘極電極413的閘極電極402連接到電晶體420的汲極電極408。
此外，在圖11B中，圖解背閘極電極413重疊整個氧化物半導體膜416之事例作為例子，但是本發明並不侷限於此結構。只要背閘極電極413重疊包括在氧化物半導體中之通道形成區的至少部分，可利用任何結構。
需注意的是，氧化物半導體的能帶隙、碳化矽的能帶矽、和氮化鎵的能帶隙分別為3.0 eV至3.5 eV、3.26 eV、及3.39 eV：它們約為矽的能帶隙三倍寬。諸如碳化矽和氮化鎵等化合物半導體與氧化物半導體一樣，因為它們為寬能帶隙半導體，其特性具有提高電晶體的耐壓、降低電力損耗等等之有利點。
隨後，如同在實施例3中一般，將說明藉由盡可能去除氧化物半導體膜所含有之諸如濕氣、氫等雜質來高度淨化氧化物半導體膜將如何影響電晶體的特性。
圖12為包括氧化物半導體之反相交錯式電晶體的縱向橫剖面圖。氧化物半導體膜(OS)係設置在閘極電極(GE)之上，且閘極絕緣膜(GI)在氧化物半導體膜(OS)和閘極電極(GE)之間，源極電極(S)和汲極電極(D)係設置在其上，及絕緣膜被設置，以便覆蓋源極電極(S)和汲極電極(D)。
圖13為沿著圖12所示之剖面A-A’的能帶圖(概要圖)。在圖13中，黑圈(●)和白圈(○)分別表示電子和電洞及具有電荷-q及+q。以施加到汲極電極(D)的正電壓(VD>0)，虛線表示沒有電壓施加到閘極電極(GE)(VG=0)時，而實線表示正電壓施加到閘極電極(GE)(VG>0)時。在沒有電壓施加到閘極電極(GE)時，因為高電位障壁，所以載子(電子)未從源極電極(S)注射到氧化物半導體膜(OS)側，使得沒有電流流動，此意謂關閉狀態。反之，當正電壓施加到閘極電極(GE)時，電位障壁降低，使得電流流動，此意謂導通狀態。
圖14A及14B為沿著圖12所示之剖面B-B’的能帶圖(概要圖)。圖14A圖解正電位(VG>0)施加到閘極電極(GE)之狀態以及載子(電子)流動在源極電極(S)和汲極電極(D)之間的導通狀態。圖14B圖解負電壓(VG<0)施加到閘極電極(GE)之狀態以及關閉狀態(少數載子不流動)。
圖15圖解真空位準和金屬的功函數(Φ M )之間以及真空位準和氧化物半導體的電子親和力(χ)之間的關係。
在一般溫度中，金屬中的電子退化及費米能階位在導電帶中。另一方面，通常，習知氧化物半導體為n型半導體，及其費米能階(Ef)位在較接近導電帶(Ec)而遠離位在能帶隙的中間之本徵費米能階(Ei)。需注意的是，已知氧化物半導體中之氫的部分為施體及產生n型氧化物半導體的因素之一。另外，已知氧不足為產生n型氧化物半導體的成因之一。
相對地，根據本發明的一個實施例，從氧化物半導體去除氧不足及去除n型雜質之氫以便高度淨化，使得盡可能不包括除了氧化物半導體的主要成分之外的雜質；因此，使氧化物半導體極為接近本徵氧化物半導體。亦即，非藉由添加雜質，而是藉由盡可能去除氧不足和諸如濕氣或氫等雜質以具有高純度，使得獲得本徵(i型)半導體或實質上為本徵(i型)半導體之氧化物半導體，而使氧化物半導體極為接近本徵氧化物半導體。利用上述結構，費米能階(Ef)可實質上接近與本徵費米能階(Ei)相同的位準，如箭頭所示。
在氧化物半導體的能帶隙(Eg)為3.15 V，電子親和力(χ)可說是4.3 eV。包括在源極電極和汲極電極中之鈦(Ti)的功函數實質上等於氧化物半導體的電子親和力(χ)。在那例子中，對電子的Schottky(肖特基)障壁未形成在金屬和氧化物半導體之間的介面中。
在此例中，如圖14A所示，電子沿著閘極絕緣膜和高度淨化的氧化物半導體之間的介面中之能量穩定的氧化物半導體之最下面部分移動。
在圖14B中，當負電位施加到閘極電極(GE)時，少數載子之電洞實質上為零；因此，電流實質上接近零。
然後，計算氧化物半導體中的本徵載子密度。In-Ga-Zn-O類氧化物半導體的能帶隙為3.05 eV，及根據此值來計算本徵載子密度。已知實心的電子之能量分佈f(E)遵循以下面公式所表示之費米-狄拉克統計。
[公式1]
在載子密度不是非常高(未產生)之一般半導體之例子中，滿足下面關係式。
[公式2]
|E-E F |>kT　(2)
因此，藉由以下面公式所表示之波爾茲曼分佈的公式來大致估計公式1的費米-狄拉克分佈。
[公式3]
當使用公式3來計算半導體之本徵載子密度(ni)時，可獲得下面公式。
[公式4]
然後，Si(矽)的能帶隙(Eg)和In-Ga-Zn-O類氧化物半導體之能態的有效密度(Nc及Nv)之值被取代到公式4內，及計算本徵載子密度。結果圖示於表格1。
發現與Si比較，In-Ga-Zn-O類氧化物半導體具有極低的本徵載子密度。在選擇值3.05 eV作為In-Ga-Zn-O類氧化物半導體的能帶隙之例子中，假設費米-狄拉克分佈法則可應用到本徵載子密度，則可說明Si的載子密度為In-Ga-Zn-O類氧化物半導體的載子密度約1017倍一樣大。
然後，將說明測量包括高度淨化的氧化物半導體膜之電晶體的關閉狀態電流之方法及其結果。
圖18圖解測量時所使用的測量電路之結構。圖18之測量電路包括具有高度淨化的氧化物半導體膜作為用以保持電荷在儲存電容器中之切換元件的電晶體。利用測量電路，藉由每單位小時之儲存電容中的電荷量變化來測量電晶體之關閉狀態電流。
尤其是，圖18之測量電路具有用以測量關閉狀態電流之測量系統801-1至801-3並聯連接之結構。測量系統801-1至801-3各包括電容器802和欲待測量的電晶體803。測量系統801-1至801-3各包括電晶體804至806。
在各測量系統中，電晶體803的閘極電極連接到被供應有電位Vgb之節點。電晶體803的源極電極連接到被供應有電位Vb之節點，及電晶體803的汲極電極連接到節點A。電晶體804的閘極電極連接到被供應有電位Vga之節點。電晶體804的源極電極連接到節點A，及電晶體804的汲極電極連接到被供應有電位Va之節點。電晶體805的閘極電極和汲極電極連接到被供應有電位Va之節點。電晶體806的閘極電極連接到節點A，及電晶體806的源極電極連接到被供應有電位Vb之節點。電晶體805的源極電極和電晶體806的汲極電極彼此連接，及從各測量系統輸出這兩電極的電位作為電位Vout1、電位Vout2、或電位Vout3。電容器802之一對電極的其中之一係連接到節點A，而另一個係連接到被供應有電位Vb之節點。
此外，在實施例3中，欲待測量的電晶體803包括高度淨化之30 nm厚的氧化物半導體膜和100 nm厚的閘極絕緣膜。電晶體803的通道形成區具有通道長度L 10 μm及通道寬度W 50 μm。此外，包括在測量系統中之電容器802的電容分別為100 fF、1 pF、及3 pF。
在測量之前執行初始化。首先，電位Vgb具有足夠高到導通電晶體803之位準。因此，電晶體803被導通，及節點A被供應有電位Vb，亦即，低電位VSS。之後，使電位Vgb具有足夠低到關閉電晶體803之位準。接著，使電位Vga具有足夠高到導通電晶體804之位準。因此，節點A被供應有電位Va，亦即，高位準電位VDD，及低位準電位VSS和高位準電位VDD之間的電位差被施加在電容器802的一對電極之間。之後，使電位Vga具有足夠低到關閉電晶體804之位準，使得電晶體804被關閉及節點A進入浮動狀態。
接著，執行測量操作。當執行測量時，各別使電位Va和電位Vb具有電荷流至/自節點A之位準。在實施例3中，電位Va和電位Vb為低位準電位VSS。需注意的是，雖然電位Va在測量電位Vout之時序時暫時為高位準電位VDD，但是除了上述時序之外，電位Va和電位Vb都保持在低位準電位VSS。
因為些許關閉狀態電流流經電晶體803，所以保持在節點A中之電荷量隨著時間過去而改變。此外，因為節點A的電位視保持在節點A中之電荷量的變化而改變，所以電位Vout1至Vout3的位準根據電晶體803的關閉狀態電流之值而改變。
尤其是，在測量中，電位VDD為5 V而電位VSS為0 V。電位Vout1至Vout3被測量如下：電位Va基本上為電位VSS，及以間隔100 sec至300 sec改變成電位VDD達100 msec。
圖19圖解測量電流時的消逝時間Time和輸出電位Vout之間的關係。電位在約90小時之後改變。
事先獲得節點A的電位VA和輸出電位Vout之間的關係，藉以可使用輸出電位Vout而獲得節點A的電位VA。通常，可藉由下面方程式將節點A的電位VA表示為輸出電位Vout的函數。
[公式5]
V A =F(Vout)
可藉由使用節點A的電位VA、連接到節點A的電容CA、和常數(const)，以下面方程式來表示節點A的電荷QA。此處，連接到節點A的電容CA為電容器802的電容和其他電容(諸如大如包括電晶體805和電晶體806之電路的輸入電容)的總和。
[公式6]
Q A =C A V A +const
因為節點A的電流IA係藉由微分相關於時間之流至節點A的電荷(或流自節點A的電荷)所獲得，所以節點A的電流IA係以下面方程式來表示。
[公式7]
以此方式，節點A的電流IA可係可從連接到節點A的電容CA和電位Vout1至Vout3予以獲得。
圖20圖解在上述電流測量中所計算的關閉狀態電流。另外，當電流I流經電晶體803時所使用的Δt約為30,000秒。需注意的是，圖20圖解源極電極和汲極電極之間的關閉狀態電流I和電壓V之間的關係。根據圖20，發現關閉狀態電流約為40 zA/μm，其中，源極電極和汲極電極之間的電壓為4 V。
以此方式，氧化物半導體膜被高度淨化，使得盡可能含有除了氧化物半導體的主要成分之外的諸如濕氣或氫等雜質越少越好，藉以可使電晶體的操作令人滿意。
此實施例可與上述實施例的任一者適當組合實施。
(實施例4)
在實施例4中，將說明使用根據本發明之一個實施例的記憶體裝置之半導體裝置的其中之一的行動記憶體媒體之例子。
圖16A圖解根據本發明的一個實施例之記憶體媒體的結構作為例子。在圖16A之記憶體媒體中，下面組件被安裝在印刷配線板706上：根據本發明的一個實施例之記憶體裝置701；連接器702，其執行驅動器電路和記憶體媒體之間的電連接；介面703，其根據各種信號經由連接器702而對各信號輸入或輸出執行信號處理；發光二極體704，其根據記憶體媒體等的操作而發光；以及控制器705，其控制記憶體媒體中的電路和半導體元件之操作，諸如記憶體裝置701、介面703、和發光二極體704等。另外，可額外設置被用於產生用以控制控制器705的時脈信號之石英振盪器、用以控制記憶體媒體中的供電電壓之位準的調節器等等。
如圖16B所示，可藉由覆蓋有使用樹脂等等的覆蓋材料707，以便露出連接器702的部分和發光二極體704的部分，以保護圖16A之印刷配線板706。
因為在根據本發明的一個實施例之記憶體裝置701中，可抑制操作時之電力消耗，所以可實現降低使用記憶體裝置701之記憶體媒體的電力消耗，並且降低連接到記憶體媒體之驅動裝置的電力消耗。另外，因為在根據本發明的一個實施例之記憶體裝置701中，所以可長時間儲存資料及可增加重寫次數，可增強記憶體媒體的可靠性。而且，因為可長時間儲存資料及可增加重寫次數，所以減輕記憶體媒體的操作條件；因此，可提高記憶體媒體的多用途。
此實施例可與上述實施例的任一者適當組合實施。
[例子1]
藉由使用根據本發明的一個實施例之半導體裝置，可設置高度可靠的電子裝置、具有低電力消耗的電子裝置、和具有高速驅動之電子裝置。尤其是，在連續接收電力上有困難之可攜式電子裝置的例子中，當添加根據本發明的一個實施例之具有低電力消耗的半導體裝置作為裝置的組件時，可獲得增加連續工作週期(duty period)之有利點。
而且，利用本發明的半導體裝置，可抑制製造處理時之熱處理溫度；因此，甚至當薄膜電晶體形成在使用諸如塑膠等耐熱性低於玻璃的耐熱性之可撓性合成樹脂所形成的基板之上時，仍可形成具有絕佳特性的高度可靠薄膜電晶體。因此，藉由使用根據本發明的一個實施例之製造方法，可設置可撓性半導體裝置。塑膠基板的例子包括：以聚乙烯對苯二甲酸酯(PET)為代表之聚酯、聚醚(PES)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚碳酸酯(PC)、聚二醚酮(PEEK)、聚碸(PSF)、聚醚醯亞胺(PEI)、聚芳酯化合物(PAR)、聚對苯二甲酸丁二酯(PBT)、聚醯亞胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯樹脂、聚氯乙烯、聚丙烯、聚乙烯醇、丙烯酸樹脂等。
根據本發明的一個實施例之半導體裝置可被用於顯示裝置、膝上型電腦、或設置有記錄媒體之再生裝置(典型上為再生諸如數位影音光碟(DVD)等記錄媒體之內容且具有用以顯示所再生的影像之顯示器的裝置)。除了上述，作為可使用根據本發明的一個實施例之半導體裝置的電子裝置，可指定行動電話、可攜式遊戲機、可攜式資訊端子、電子書閱讀器、視頻相機、數位靜態相機、護目型顯示器(頭戴型顯示器)、導航系統、聲頻再生裝置(諸如大如汽車聲頻系統和數位聲頻播放器)、影印機、傳真機、列印機、多功能列印機、自動櫃員機(ATM)、自動販賣機等等。圖17A至17C圖解這些電子裝置的特別例子。
圖17A圖解可攜式遊戲機，其包括機殼7031、機殼7032、顯示部7033、顯示部7034、麥克風7035、揚聲器7036、操作鍵7037、電子筆7038等等。根據本發明的一個實施例之半導體裝置亦可用於用以控制可攜式遊戲機的驅動之積體電路。根據本發明的一個實施例之半導體裝置可被用於用以控制可攜式遊戲機的驅動之積體電路，使得可設置高度可靠的可攜式遊戲機、具有低電力消耗的可攜式遊戲機、及較高性能的可攜式遊戲機。需注意的是，雖然圖17A所示之可攜式遊戲機包括兩顯示部7033及7034，但是包括在可攜式遊戲機中的顯示部數目並不侷限於二。
圖17B圖解行動電話，其包括機殼7041、顯示部7042、聲頻輸入部7043、聲頻輸出部7044、操作鍵7045、光接收部7046等等。光接收部7046所接收的光被轉換成電信號，藉以可載入外部影像。根據本發明的一個實施例之半導體裝置亦可用於用以控制行動電話的驅動之積體電路。根據本發明的一個實施例之半導體裝置可被用於用以控制行動電話的驅動之積體電路，使得可設置高度可靠的行動電話，具有低電力消耗的行動電話、及較高性能的行動電話。
圖17C圖解可攜式資訊端子，其包括機殼7051、顯示部7052、操作鍵7053等等。數據機可結合在圖17C所示之可攜式資訊端子的機殼7051中。根據本發明的一個實施例之半導體裝置亦可用於用以控制可攜式資訊端子的驅動之積體電路。根據本發明的一個實施例之半導體裝置可被用於用以控制可攜式資訊端子的驅動之積體電路，使得可設置高度可靠的可攜式資訊端子、具有低電力消耗的可攜式資訊端子、及較高性能的可攜式資訊端子。
此實施例可與上述實施例的任一者適當組合實施。
此申請案係依據日本專利局於2009、12、28所發表之日本專利申請案序號2009-297140，藉以倂入其全文做為參考。
100．．．記憶體單元
101．．．電晶體
102．．．電晶體
103．．．電容器
110．．．基板
111．．．閘極電極
112．．．絕緣膜
113．．．氧化物半導體膜
114．．．源極電極
115．．．汲極電極
116．．．絕緣膜
117．．．絕緣膜
121．．．閘極電極
123．．．氧化物半導體膜
124．．．源極電極
125．．．汲極電極
126．．．閘極電極
130．．．線
131．．．線
140．．．基板
141．．．閘極電極
142．．．絕緣膜
143．．．氧化物半導體膜
144．．．源極電極
145．．．汲極電極
146．．．絕緣膜
147．．．絕緣膜
148．．．通道保護膜
151．．．閘極電極
153．．．氧化物半導體膜
154．．．源極電極
155．．．汲極電極
156．．．閘極電極
157．．．通道保護膜
160．．．基板
161．．．閘極電極
162．．．絕緣膜
163．．．氧化物半導體膜
164．．．源極電極
165．．．汲極電極
166．．．絕緣膜
167．．．絕緣膜
171．．．閘極電極
173．．．氧化物半導體膜
174．．．源極電極
175．．．汲極電極
176．．．閘極電極
200．．．基板
208．．．氧化物半導體膜
211．．．閘極電極
212．．．絕緣膜
213．．．氧化物半導體膜
214．．．源極電極
215．．．汲極電極
216．．．絕緣膜
217．．．絕緣膜
221．．．閘極電極
223．．．一半導體膜
224．．．源極電極
225．．．汲極電極
226．．．閘極電極
230．．．絕緣膜
231．．．絕緣膜
241．．．閘極電極
242．．．絕緣膜
243．．．氧化物半導體膜
244．．．源極電極
245．．．汲極電極
246．．．絕緣膜
247．．．絕緣膜
251．．．閘極電極
253．．．一半導體膜
254．．．源極電極
255．．．汲極電極
256．．．閘極電極
260．．．絕緣膜
261．．．絕緣膜
270．．．基板
300．．．記憶體單元
301．．．電晶體
302．．．電晶體
303．．．電容器
304．．．供電線
310_1．．．電晶體
310_2．．．電晶體
310_3．．．電晶體
311_1．．．電晶體
311_2．．．電晶體
311_3．．．電晶體
312_1．．．運算放大器
312_2．．．運算放大器
312_3．．．運算放大器
320．．．電晶體
321．．．電晶體
400．．．基板
401．．．閘極電極
402．．．閘極電極
403．．．閘極絕緣膜
404．．．氧化物半導體膜
405．．．氧化物半導體膜
406．．．氧化物半導體膜
407．．．源極電極
408．．．汲極電極
409．．．源極電極
410．．．汲極電極
411．．．絕緣膜
412．．．接觸孔
413．．．背閘極電極
414．．．絕緣膜
420．．．電晶體
421．．．電晶體
430．．．電容器
500．．．記憶體單元
501．．．驅動器電路
502．．．一讀取電路
503．．．字元線驅動器電路
504．．．資料線驅動器電路
505．．．控制電路
506．．．字元線解碼器
508．．．資料線解碼器
509．．．資料線選擇器
701．．．記憶體裝置
702．．．連接器
703．．．介面
704．．．發光二極體
705．．．控制器
706．．．印刷配線板
707．．．覆蓋材料
801-1．．．測量系統
801-2．．．測量系統
801-3．．．測量系統
802．．．電容器
803．．．電晶體
804．．．電晶體
805．．．電晶體
806．．．電晶體
7031．．．機殼
7032．．．機殼
7033．．．顯示部
7034．．．顯示部
7035．．．麥克風
7036．．．揚聲器
7037．．．操作鍵
7038．．．電子筆
7041．．．機殼
7042．．．顯示部
7043．．．聲頻輸入部
7044．．．聲頻輸出部
7045．．．操作鍵
7046．．．光接收部
7051．．．機殼
7052．．．顯示部
7053．．．操作鍵
圖1A及1B為記憶體單元的結構圖。
圖2A為記憶體元件的結構圖，而圖2B為其操作圖。
圖3A及3B各為記憶體單元的結構圖。
圖4A及4B各為記憶體單元的結構圖。
圖5為單元陣列的結構圖。
圖6為單元陣列的結構圖。
圖7為記憶體裝置的驅動法之時序圖。
圖8為記憶體裝置的結構圖。
圖9為讀取電路的結構圖。
圖10A至10E為圖解記憶體裝置的製造方法之記憶體單元的橫剖面圖。
圖11A及11B為記憶體單元的俯視圖。
圖12為使用氧化物半導體之反相交錯式電晶體的縱向橫剖面圖。
圖13為沿著圖12中的剖面A-A’之能帶圖(概要圖)。
圖14A為施加正電位(+VG)到閘極電極(GE)之狀態圖，而圖14B為施加負電位(-VG)到閘極電極(GE)之狀態圖。
圖15為真空位準和金屬的功函數(Φ M )之間以及真空位準和氧化物半導體的電子親和力(χ)之間的關係圖。
圖16A及16B為記憶體媒體的結構圖。
圖17A至17C各為電子裝置的結構圖。
圖18為測量用的電路之結構圖。
圖19為測量結果圖(經過的時間Time和輸出電位Vout之間的關係)。
圖20為測量結果圖(源極-汲極電壓V和關閉狀態電流I之間的關係)。
圖21為記憶體裝置的驅動法之時序圖。
100．．．記憶體單元
101．．．電晶體
102．．．電晶體
103．．．電容器

Claims (28)

  1. 一種半導體裝置，包含：第一線；第二線；第三線；第四線；以及記憶體單元，包含第一電晶體、第二電晶體和電容，其中，該第一電晶體包含：第一閘極電極；第一絕緣膜，在該第一閘極電極之上；第一半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第一源極電極，與該第一半導體膜電接觸；第一汲極電極，與該第一半導體膜電接觸；第二絕緣膜，在該第一半導體膜、該第一源極電極、和該第一汲極電極之上；以及第二閘極電極，在該第二絕緣膜之上，其中，該第二電晶體包含：第三閘極電極；該第一絕緣膜，在該第三閘極電極之上；第二半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第二源極電極，與該第二半導體膜電接觸；第二汲極電極，與該第二半導體膜電接觸；以及該第二絕緣膜，在該第二半導體膜、該第二源極電極、以及該第二汲極電極之上； 其中，該第一電晶體的該第一閘極電極係電連接到該第一線，其中，該第二電晶體的該第三閘極電極係電連接到該第二線，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的其中之一係電連接到該第三線，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的另一個係直接連接到該電容的一個電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的其中之一係電連接到該第四線，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該第一電晶體的該第二閘極電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該電容的另一個電極，並且其中，該第二半導體膜包括氧化物半導體。
  2. 根據申請專利範圍第1項之半導體裝置，其中，該氧化物半導體為In-Ga-Zn-O類氧化物半導體。
  3. 根據申請專利範圍第1項之半導體裝置，其中，該第二半導體膜的氫濃度為5 x 1019/cm3或更少。
  4. 根據申請專利範圍第1項之半導體裝置，其中，該第一半導體膜係位在該第一源極電極和該第一汲極電極之下。
  5. 一種半導體裝置，包含： 第一線；第二線；第三線；第四線；以及記憶體單元，包含第一電晶體、第二電晶體和電容，其中，該第一電晶體包含：第一閘極電極；第一絕緣膜，在該第一閘極電極之上；第一半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第一源極電極，與該第一半導體膜電接觸；第一汲極電極，與該第一半導體膜電接觸；第二絕緣膜，在該第一半導體膜、該第一源極電極、和該第一汲極電極之上；以及第二閘極電極，在該第二絕緣膜之上，其中，該第二電晶體包含：第三閘極電極；該第一絕緣膜，在該第三閘極電極之上；第二半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第二源極電極，與該第二半導體膜電接觸；第二汲極電極，與該第二半導體膜電接觸；以及該第二絕緣膜，在該第二半導體膜、該第二源極電極、以及該第二汲極電極之上；其中，該第一電晶體的該第一閘極電極係電連接到該第一線， 其中，該第二電晶體的該第三閘極電極係電連接到該第二線，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的其中之一係電連接到該第三線，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的另一個係直接連接到該電容的一個電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的其中之一係電連接到該第四線，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該第一電晶體的該第二閘極電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該電容的另一個電極，並且其中，該第一半導體膜和該第二半導體膜包括氧化物半導體。
  6. 根據申請專利範圍第5項之半導體裝置，其中，該氧化物半導體為In-Ga-Zn-O類氧化物半導體。
  7. 根據申請專利範圍第5項之半導體裝置，其中，該第二半導體膜的氫濃度為5 x 1019/cm3或更少。
  8. 根據申請專利範圍第5項之半導體裝置，其中，該第一半導體膜係位在該第一源極電極和該第一汲極電極之下。
  9. 一種半導體裝置，包含：第一線； 第二線；第三線；第四線；以及記憶體單元，包含第一電晶體、第二電晶體和電容，其中，該第一電晶體包含：第一閘極電極；第一絕緣膜，在該第一閘極電極之上；第一半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第一源極電極，與該第一半導體膜電接觸；第一汲極電極，與該第一半導體膜電接觸；第二絕緣膜，在該第一半導體膜、該第一源極電極、和該第一汲極電極之上；以及第二閘極電極，在該第二絕緣膜之上，其中，該第二電晶體包含：第三閘極電極；該第一絕緣膜，在該第三閘極電極之上；第二半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第二源極電極，與該第二半導體膜電接觸；第二汲極電極，與該第二半導體膜電接觸；以及該第二絕緣膜，在該第二半導體膜、該第二源極電極、以及該第二汲極電極之上；其中，該第一電晶體的該第一閘極電極係電連接到該第一線，其中，該第二電晶體的該第三閘極電極係電連接到該 第二線，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的其中之一係電連接到該第三線，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的另一個係直接連接到該電容的一個電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的其中之一係電連接到該第四線，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該第一電晶體的該第二閘極電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該電容的另一個電極，其中，該第二半導體膜包括氧化物半導體，並且其中，該第一源極電極和該第一汲極電極的至少其中之一係與該第二閘極電極重疊，且該第二絕緣膜係插入在該第一源極電極和該第一汲極電極的該至少其中之一與該第二閘極電極之間。
  10. 根據申請專利範圍第9項之半導體裝置，其中，該氧化物半導體為In-Ga-Zn-O類氧化物半導體。
  11. 根據申請專利範圍第9項之半導體裝置，其中，該第二半導體膜的氫濃度為5 x 1019/cm3或更少。
  12. 根據申請專利範圍第9項之半導體裝置，其中，該第一半導體膜係位在該第一源極電極和該第一汲極電極之下。
  13. 一種半導體裝置，包含：第一線；第二線；第三線；第四線；以及記憶體單元，包含第一電晶體、第二電晶體和電容，其中，該第一電晶體包含：第一閘極電極；第一絕緣膜，在該第一閘極電極之上；第一半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第一源極電極，與該第一半導體膜電接觸；第一汲極電極，與該第一半導體膜電接觸；第二絕緣膜，在該第一半導體膜、該第一源極電極、和該第一汲極電極之上；以及第二閘極電極，在該第二絕緣膜之上，其中，該第二電晶體包含：第三閘極電極；該第一絕緣膜，在該第三閘極電極之上；第二半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第二源極電極，與該第二半導體膜電接觸；第二汲極電極，與該第二半導體膜電接觸；以及該第二絕緣膜，在該第二半導體膜、該第二源極電極、以及該第二汲極電極之上；其中，該第一電晶體的該第一閘極電極係電連接到該 第一線，其中，該第二電晶體的該第三閘極電極係電連接到該第二線，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的其中之一係電連接到該第三線，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的另一個係直接連接到該電容的一個電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的其中之一係電連接到該第四線，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該第一電晶體的該第二閘極電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該電容的另一個電極，其中，該第一半導體膜和該第二半導體膜包括氧化物半導體，並且其中，該第一源極電極和該第一汲極電極的至少其中之一係與該第二閘極電極重疊，且該第二絕緣膜係插入在該第一源極電極和該第一汲極電極的該至少其中之一與該第二閘極電極之間。
  14. 根據申請專利範圍第13項之半導體裝置，其中，該氧化物半導體為In-Ga-Zn-O類氧化物半導體。
  15. 根據申請專利範圍第13項之半導體裝置，其中，該第二半導體膜的氫濃度為5 x 1019/cm3或更少。
  16. 根據申請專利範圍第13項之半導體裝置，其中，該第一半導體膜係位在該第一源極電極和該第一汲極電極之下。
  17. 一種半導體裝置，包含記憶體單元，該記憶體單元包含：第一電晶體，第二電晶體，以及電容，其中，該第一電晶體包含：第一閘極電極；第二閘極電極，在該第一閘極電極之上；以及第一通道形成區，在該第一閘極電極與該第二閘極電極之間，其中，該第二電晶體包含第二通道形成區，該第二通道形成區包括具有晶性的氧化物半導體，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的其中之一係直接連接到該電容的一個電極，其中，該第二電晶體之第二源極電極和第二汲極電極的其中之一係直接連接到該第一電晶體的該第二閘極電極，並且其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該電容的另一個電極。
  18. 根據申請專利範圍第17項之半導體裝置，其中，該氧化物半導體為In-Ga-Zn-O類氧化物半導體。
  19. 根據申請專利範圍第17項之半導體裝置，其中，該第二通道形成區的氫濃度為5 x 1019/cm3或更少。
  20. 根據申請專利範圍第17項之半導體裝置，進一步包含：被排列成矩陣之複數個該記憶體單元；以及第一線、第二線、第三線、和第四線，其中，每一該記憶體單元中：該第一電晶體的該第一閘極電極係電連接至該第一線，該第二電晶體的第三閘極電極係電連接至該第二線，該第一電晶體的源極電極和汲極電極的其中之一係電連接至該第三線，以及該第二電晶體的該源極電極和該汲極電極的另一個係電連接至該第四線，其中，該第一線和該第二線係連接至形成一列排列成矩陣之該複數個記憶體單元的記憶體單元，以及其中，該第三線和該第四線係連接至形成一行排列成矩陣之該複數個記憶體單元的記憶體單元。
  21. 一種半導體裝置，包含記憶體單元，該記憶體單元包含：第一電晶體，該第一電晶體包含：第一閘極電極；第一絕緣膜，在該第一閘極電極之上； 第一半導體膜，在該第一絕緣膜之上；第一源極電極和第一汲極電極各自與該第一半導體膜電接觸；該第一半導體膜、該第一源極電極、及該第一汲極電極上之第二絕緣膜；以及該第二絕緣膜上之第二閘極電極，第二電晶體，該第二電晶體包含：第三閘極電極；第三絕緣膜，在該第三閘極電極之上；第二半導體膜，在該第三絕緣膜之上；第四絕緣膜，在該第二半導體膜之上；以及第二源極電極和第二汲極電極各自與該第二半導體膜電接觸，以及電容，其中，該第一電晶體之該第一源極電極和該第一汲極電極的其中之一係直接連接到該電容的一個電極，其中，該第二電晶體的該第二源極電極和該第二汲極電極的其中之一係直接連接至該第一電晶體的該第二閘極電極，其中，該第二電晶體之該第二源極電極和該第二汲極電極的另一個係直接連接到該電容的另一個電極，並且其中，該第一半導體膜和該第二半導體膜各自包括氧化物半導體。
  22. 根據申請專利範圍第21項之半導體裝置，進一步 包含：第一通道保護膜插入在該第一半導體膜和每一該第一源極電極、該第一汲極電極、以及該第二絕緣膜之間；第二通道保護膜插入在該第二半導體膜和每一該第二源極電極、該第二汲極電極、以及該第四絕緣膜之間；以及額外的絕緣膜形成在每一該第二閘極電極、該第二絕緣膜、以及該第四絕緣膜之上，並且與每一該第二閘極電極、該第二絕緣膜、以及該第四絕緣膜相接觸，其中，該第一通道保護膜及該第二通道保護膜係由相同層形成。
  23. 根據申請專利範圍第22項之半導體裝置，其中，該第一絕緣膜和該第三絕緣膜各自包含第一膜，該第一膜包含矽和氮化物，以及在包含矽和氮化物之該第一膜上之包含矽和氧的第二膜，其中，該第一通道保護膜和該第二通道保護膜各自包含矽和氧，以及其中，該第二絕緣膜和該第四絕緣膜各自包含矽和氧。
  24. 根據申請專利範圍第21項之半導體裝置，其中，該第二電晶體的該第二源極電極和該第二汲極電極的其中之一導電連接至該第一電晶體的該第二閘極電極。
  25. 根據申請專利範圍第21項之半導體裝置， 其中，該第二電晶體的該第二源極電極和該第二汲極電極的其中之一經由直流導電路徑連接至該第一電晶體的該第二閘極電極。
  26. 根據申請專利範圍第21項之半導體裝置，其中，該第二電晶體的該第二源極電極和該第二汲極電極的其中之一係物理連接至該第一電晶體的該第二閘極電極。
  27. 根據申請專利範圍第1、5、9、13、17或21項之半導體裝置，其中，該第二電晶體的關閉狀態電流密度為100zA/μm或更少，並且其中，該關閉狀態電流密度對應以該第二電晶體的關閉狀態電流的值除以該第二電晶體的通道寬度的值的方式所計算的數值。
  28. 一種記憶體單元，包含：第一電晶體；第二電晶體；以及電容，其中，該第一電晶體包含，第一導電層、第二導電層、第三導電層、第四導電層及第一半導體膜，其中，該第一導電層設置在絕緣表面上，其中，該第一半導體膜設置在該第一導電層上，其中，該第二導電層設置在該第一半導體膜上，其中，該第一半導體膜包含該第一電晶體的通道形成 區，其中，該第一導電層具有與該第一電晶體的該通道形成區重疊的區域，第一絕緣膜夾於該第一導電層與該第一電晶體的該通道形成區之間，其中，該第二導電層具有與該第一電晶體的該通道形成區重疊的區域，第二絕緣膜夾於該第二導電層與該第一電晶體的該通道形成區之間，其中，該第一導電層具有可作為該第一電晶體的第一閘極的功能，其中，該第二導電層具有可作為該第一電晶體的第二閘極的功能，其中，該第三導電層具有可作為該第一電晶體的第一源極或第一汲極的其中之一的功能，其中，該第三導電層與該第一半導體膜電連接，其中，該第四導電層具有可作為該第一電晶體的該第一源極或該第一汲極的另一者的功能，其中，該第四導電層與該第一半導體膜電連接，其中，該第二電晶體包含，第五導電層、第六導電層、第七導電層及第二半導體膜，其中，該第五導電層設置在該絕緣表面上，其中，該第二半導體膜設置在該第五導電層上，其中，該第二半導體膜包含該第二電晶體的通道形成區，其中，該第五導電層具有與該第二電晶體的該通道形 成區重疊的區域，該第一絕緣膜夾於該第五導電層與該第二電晶體的該通道形成區之間，其中，該第五導電層具有可作為該第二電晶體的第三閘極的功能，其中，該第六導電層具有可作為該第二電晶體的第二源極或第二汲極的其中之一的功能，其中，該第六導電層與該第二半導體膜電連接，其中，該第七導電層具有可作為該第二電晶體的該第二源極或該第二汲極的另一者的功能，其中，該第七導電層與該第二半導體膜電連接，其中，該第七導電層與該第二導電層直接連接，其中，該第一半導體膜包含氧化物半導體，其中，該第二半導體膜包含氧化物半導體，其中，該第一電晶體之該第一源極和該第一汲極的其中之一係電連接到該第一線，其中，該第一電晶體之該第一源極和該第一汲極的另一者係直接連接到該電容的一對電極的其中之一，其中，該第一電晶體之該第二閘極係直接連接到該電容的該一對電極的另一者，其中，該第二電晶體之該第二源極和該第二汲極的其中之一係電連接到該第二線，其中，該第一電晶體的該第一閘極具有可供給使該第一電晶體於導通狀態的電位及使該第一電晶體於關閉狀態的電位的功能，並且 其中，該第二電晶體的該第三閘極具有可供給使該第二電晶體於導通狀態的電位及使該第二電晶體於關閉狀態的電位的功能。
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