KR102289847B1 - 표면 처리된 구리 호일 - Google Patents

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Abstract

0.4 내지 2.2 μm3/μm2 의 범위의 기공 용적(Vv) 및 0.4 μm 이하의 산술 평균 파상도(arithmetic mean waviness)(Wa)를 나타내는 표면-처리된 구리 호일이 보고되어있다. 여기서 표면-처리된 구리 호일은 드럼 측면에서 처리되고 결절 층을 포함하는 처리 층을 포함한다. 이러한 표면-처리된 구리 호일은, 예를 들어 회로 기판에서 낮은 전도 손실(transmission loss)을 갖는 도전성 재료로서 사용될 수 있다.

Description

표면 처리된 구리 호일 {SURFACE TREATED COPPER FOIL}
본 개시는 제어된 표면 특성을 갖는 전착된 구리 호일에 관한 것이다. 본 개시는 또한 전기 신호의 전송 손실(transmission loss)이 낮고 전착된 구리 호일(electrodeposited copper foil)을 이의 부품으로서 포함하는 회로 기판 등에 관한 것이다.
대량의 데이터 전송에 대한 요구가 증가함에 따라 회로 기판의 부품 간에 신호 전송 속도의 증가가 계속 요구된다. 이러한 속도를 달성하기 위해, 주파수 범위는 필수적으로 1MHz 미만에서 1GHz, 10GHz 또는 그 이상으로 증가하고 있다. 이러한 비교적 높은 범위에서, 전류는 대부분 도체의 표면 근처에서 흐르는데, 이는 익히 공지되어 있는 "표피 효과(skin effect)", 즉 고주파 전류 밀도가 도체 표면에서 최대값이고 중심을 향할수록 지수적으로 감쇠되는 경향에 기인한다. 신호의 약 67 %가 전달되는 표피 깊이는 주파수의 제곱근에 반비례한다. 따라서, 1 MHz에서 표피 깊이는 65.2μm이고 1 GHz에서 2.1μm이며, 10 GHz에서 표피 깊이는 단지 0.7μm이다. 비교적 높은 주파수에서, 도체의 표면 토포그래피(topography) 또는 조도(roughness)는 표피 깊이 정도 또는 그보다 큰 조도가 산란을 통해 신호 전송에 영향을 미치기 때문에 보다 더 중요해진다.
악화 요인은 일반적으로 인쇄 회로 기판의 도체 표면이 회로 기판의 적층 구조에 사용되는 수지층에 대한 접착 특성을 향상시키기 위해 의도적으로 조면화(roughening)된다는 것이다. 조면화된 표면에서 표면 조도 Rz는 수 μm 정도가 전형적이며 GHz 범위의 모든 전송에 영향을 미칠 것이다. 따라서, 충분한 접착성을 보장하기 위한 높은 조도와 전송 손실을 최소화하기 위한 낮은 조도에 대한 상충되는 요구로 인해 설계가 제한된다. 표면 토포그래피의 제어를 시도하고 제공하는 한가지 접근법은 전착된 구리 호일의 침착면(deposition side) 또는 드럼면(drum side)을 조면화하는 것이다. 침착면은 전형적으로 드럼 또는 "광택"면 보다 거칠다. 통상의 처리된 호일에서, 침착면이 조면화되고, 조도가 전형적으로 높기 때문에 수지층에 대한 접착성이 우수하다. 신호 전송의 품질을 유지하기 위해, 역처리된 호일(RTF)이 개발되었다. RTF는 광택면에서 조면화되므로, 조도는 조면화가 전혀 이루어지지 않은 경우보다 높지만 조면화가 침착면에 제공된 경우보다는 낮도록 제어될 수 있다. 따라서, RTF는 예를 들어 통상의 처리된 호일에 필적하거나 적어도 회로 기판에 사용하기 위한 경우와 같은 용도에 대해 허용 가능한 정도의 우수한 접착성을 제공한다. RTF는 또한 통상의 처리된 호일에 비해 신호의 전송 손실을 이상적으로 감소시켰다.
RTF 기술이 전송 손실에 관하여 개선점을 제공하지만, 구리 호일의 매끈한 표면은 수지층에 대한 박리 강도를 불량하게 하므로, 구리 호일은 처리시 또는 이후 수지층으로부터 용이하게 떼어질 수 있다.
그러므로, 회로 기판을 제조하기 위한 낮은 전송 손실 및 우수한 접착 강도를 갖는 구리 호일이 여전히 요구된다.
일반적으로, 본원의 개시는 회로 기판에서 도체로서 사용될 수 있는 전착된 구리 호일과 같은 구리 호일에 관한 것이다. 회로 기판에서 고주파수에서조차 낮은 전송 손실과 수지층에 대한 높은 접착성을 제공하는 제어된 표면 특성을 갖는 구리 호일이 제조되었다.
제1 양태에서, 본 개시는 드럼면 및 침착면을 포함하는 전착된 구리 호일, 및 드럼면 위에 놓여 표면처리면을 제공하는 처리층을 포함하는 표면처리된 구리 호일을 제공하며, 상기 처리층은 노듈 층(nodule layer)을 포함한다. 표면처리면은 0.4 내지 2.2 μm3/μm2의 범위 내의 보이드 부피(void volume)(Vv) 및 0.4 μm 이하의 산술 평균 파상도(arithmetic mean waviness)(Wa)를 나타낸다.
임의로, 표면처리면은 0.1 내지 0.4 μm의 범위 내의 산술 평균 파상도(Wa)를 나타낸다. 임의로, 표면처리면은 0.4 내지 2 μm3/μm2의 범위 내의 코어 보이드 부피(Vvc)를 나타낸다. 임의로, 표면처리면은 0.01 내지 0.1 μm3/μm2의 범위 내의 계곡 보이드 부피(dale void volume)(Vvv)를 나타낸다.
일부 옵션에서, 표면처리면은 700 nm 파장에서 28 % 내지 76 %의 범위 내의 반사율을 나타낸다. 임의로, 700 nm 파장에서의 반사율은 40 % 초과이거나 40 % 내지 70 %의 범위 내이다.
일부 다른 옵션에서, 처리층은 장벽층, 변색방지층(anti-tarnish layer) 및 커플링층(coupling layer) 중의 적어도 하나를 추가로 포함한다. 임의로, 장벽층은 금속 또는 금속을 함유하는 합금으로 구성되고, 금속은 Ni, Zn, Cr, Co, Mo, Fe, Sn, 및 V 중의 적어도 하나로부터 선택된다. 임의로, 커플링층은 규소를 포함한다. 또한 임의로, 노듈 층은 구리 노듈을 포함한다.
제2 양태에서, 본 개시는 수지층 및 표면처리된 구리 호일을 포함하는 라미네이트(laminate)를 제공한다. 표면처리된 구리 호일은 드럼면 및 침착면을 포함하는 전착된 구리 호일, 및 드럼면 위에 놓여 수지층과 접촉하는 표면처리면을 제공하는 처리층을 포함하고, 처리층이 노듈 층을 포함한다. 표면처리면은 0.4 내지 2 μm3/μm2의 범위 내의 보이드 부피(Vv), 0.1 내지 0.4 μm의 범위 내의 산술 평균 파상도(Wa), 0.4 내지 2 μm3/μm2의 범위 내의 코어 보이드 부피(Vvc), 0.01 내지 0.1 μm3/μm2의 범위 내의 계곡 보이드 부피(Vvv), 및 40 % 내지 70 %의 범위 내의 700 nm 파장에서의 표면 반사율을 나타낸다.
제3 양태에서, 본 개시는 제1 양태에 따른 표면처리된 구리 호일을 포함하는 회로 기판, 및 상기 회로 기판 위에 탑재된 복수의 부품을 포함하는 디바이스(device)를 제공한다. 복수의 부품 중의 적어도 제1 부품 및 제2 부품은 회로 기판의 표면처리된 구리 호일을 통해 서로 전기적으로 연결된다.
상기 요약이 본 개시의 모든 실시양태 또는 모든 양태를 나타내도록 의도하지는 않는다. 오히려, 전술한 요약은 본원에 제시된 신규한 양태 및 특징 중 일부의 예를 제공할 뿐이다. 본 개시의 상기 특징 및 이점, 및 다른 특징 및 이점은 첨부 도면 및 첨부된 청구범위와 관련하여 본 개시를 수행하기 위한 대표적인 실시양태 및 방식의 하기 상세한 설명으로부터 쉽게 명백해질 것이다.
본 개시는 첨부 도면을 참조하여 예시적인 실시양태의 하기 설명으로부터 더 잘 이해될 것이다.
도 1은 일부 실시양태에 따른 표면처리된 구리 호일을 도시한다.
도 2는 3D 표면 플롯 및 면적당 물질비 플롯(areal material ratio plot)을 도시한다.
도 3은 면적당 물질비 플롯의 세부사항을 도시한다.
도 4는 표면의 조도 및 파상도를 도시한다.
본 개시는 다양한 변형 및 대안적인 형태에 영향을 받기 쉽다. 일부 대표적인 실시양태가 도면에 예로서 도시되어 있으며 본원에서 상세하게 설명될 것이다. 그러나, 본 개시는 개시된 특정 형태로 제한되도록 의도되지 않았다는 것이 이해되어야 한다. 오히려, 본 개시는 첨부된 청구범위에 의해 정의된 바와 같이 본 개시의 요지 및 범위 내에 속하는 모든 수정, 등가물 및 대안을 포괄하는 것이다.
낮은 전송 손실을 나타내는 표면처리된 구리 호일이 기술된다. 표면처리된 구리 호일은 보이드 부피 및 파상도와 같은 제어된 표면 특성을 갖는다. 이러한 표면처리된 구리 호일은 인쇄 회로 기판 또는 절연체를 덮는 임의의 얇은 구리 호일과 같이 전기 신호의 낮은 전송 손실을 요하는 제품의 생산에 유용할 수 있다.
도 1은 전착된 구리 호일(102) 및 처리층(108)을 포함하는 표면처리된 구리 호일(100)의 실시양태의 개략적인 단면도를 도시한다. 전착된 구리 호일(102)은 드럼면(104) 및 침착면(106)을 갖는다. 처리층(108)은 드럼면(104) 위에 놓이고 표면처리면(110)을 제공한다.
본원에서 사용되는 바와 같이, 전착된 구리 호일의 "드럼면" 또는 "광택면"은 전착 동안 사용되는 캐소드 드럼과 접촉하는 전착된 구리 호일의 표면이고, "침착면"은 드럼면의 반대면, 또는 전착된 구리 호일을 형성하는 전착 동안 전해액과 접촉하는 전착된 구리 호일의 표면이다. 이들 용어는 회전하는 캐소드 드럼 어셈블리를 구리 이온 함유 전해액 내로 부분적으로 함침시키는 단계를 포함하는 전착된 구리 호일을 생성하기 위한 제조방법에 관한 것이다. 따라서, 전류의 작동 하에서, 구리 이온이 캐소드 드럼으로 끌어 당겨져 환원되어, 캐소드 드럼의 표면 위에 구리 금속 도금을 생성하여 캐소드 드럼의 표면 위에 전착된 구리 호일을 형성한다. 이러한 전착된 구리 호일은, 캐소드 드럼을 회전시키고 형성된 구리 호일이 캐소드 드럼과 함께 회전함에 따라 전착된 구리 호일을 전해액으로부터 제거됨으로써, 연속식 공정으로 형성되고 캐소드 드럼으로부터 제거된다. 예를 들면, 전착된 구리 호일이 연속식 공정에 의해 형성되고 연속식 공정에서 롤러 상에 또는 롤러를 거쳐 통과함에 따라, 전착된 구리 호일이 캐소드 드럼으로부터 떨어져 나갈 수 있다.
전착된 구리 호일(102)은 이의 드럼면(104) 및/또는 침착면(106) 상에 표면처리로 추가로 처리되어 처리층을 형성할 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 드럼면(104)은 처리층(108)으로 덮여서, 처리층(108)의 외부 표면인 표면처리면(110)을 제공한다. 표면처리는 노듈 층(112)을 제공하기 위한 조면화 처리, 장벽층(114)을 제공하기 위한 패시베이션(passivation) 처리, 변색방지층(116)을 제공하기 위한 변색방지 처리, 및 커플링층(118)을 제공하기 위한 커플링 처리와 같은 하나 이상의 처리를 포함할 수 있다. 따라서, 도 1에 도시한 실시양태에서, 노듈 층(112), 장벽층(114), 변색방지층(116), 및 커플링층(118)은 처리층(108)의 서브층(sub-layer)이다. 도 1에 도시된 처리층(108)의 표면처리 및 특정한 서브층들은 한 예시양태이고, 이에 추가해서 또는 이의 대안으로서 다른 표면처리 및 다른 서브층들이 일부 다른 실시양태에서 사용될 수 있다. 따라서, 서브층 중의 하나 이상이 처리층(108)의 다른 실시양태에서 존재할 수 있다.
표면처리면(110)의 표면 특성을 제어함으로써, 고주파에서 양호한 전송 손실을 유지하면서 우수한 접착성이 달성될 수 있다. 예를 들어, 표면처리면(110)은 보이드 부피 파라미터, 파상도 및 반사율에 의해 특성화되는 제어된 표면 특성을 가질 수 있다.
본원에 정의된 보이드 부피 파라미터는 도 2를 참조하여 예시되며, 이는 3D 표면 및 부피 파라미터를 얻기 위한 면적당 물질 플롯의 도출을 도시한다. 도 2의 좌측은 전착된 구리 호일의 드럼면 또는 침착면과 같은 표면의 표면 구조의 3차원 그래픽 표시도이다. 도 2의 우측은 ISO 표준 방법 ISO 25178-2:2012를 사용하여 얻을 수 있는 면적당 물질비 곡선의 도출을 도시하는데, 이는 최고 피크(210)의 상단에서 0 %의 물질비(mr)로부터 mr이 100 %인 최저 밸리(212)까지 걸쳐 있다. 보이드 부피(Vv)는, 표면 위이면서 0 %(피크(210)의 상단)와 100 %(밸리(212)의 하단) 사이에 지정된 물질비(mr)에 해당하는 높이에서 설정된 수평 절단 평면 아래에 있는 보이드의 부피를 적분하여 계산한다. 예를 들어, 70 % mr에서의 Vv는 도 2의 우측 플롯에서 음영 영역(214)으로 도시되어 있다.
도 3은 정의된 다양한 종류의 부피 파라미터와 관련된 일부 관계를 갖는 면적당 물질비 플롯의 세부 사항을 도시한다. 코어 보이드 부피(Vvc)는 면적(310)으로 도시된 mr1 및 mr2와 같은 두 물질비(mr) 사이의 보이드 부피의 차이이다. 예를 들어, Vvc는 mr1이 10 %이고 mr2가 80 % 인 경우에 선택될 수 있다. 밸리 보이드 부피라고도 불리는 계곡 보이드 부피(Vvv)는 면적(312)로 나타낸 80 %에서의 mr과 같은 지정된 mr 값에서의 보이드 부피이다. mr1에서의 보이드 부피(Vv)는 mr1과 mr2 사이의 코어 보이드 부피(Vvc)인 면적(310)과 mr2에서 계곡 보이드 부피(Vvv)인 면적(312)의 합이다. 다른 영역은 피크 물질 부피(Vmp)인 면적(314)와 코어 물질 부피(Vmc)인 면적(316)을 포함한다. 본원에 사용된 바와 같이 보이드 부피(Vv)에 대해 열거된 값은 달리 명시되지 않는 한 mr = 10 %에서의 Vv에 대한 것이다. 본원에 사용된 바와 같이, 코어 보이드 부피(Vvc)에 대해 열거된 값은 달리 명시되지 않는 한, 도 3에 도시된 바와 같이 물질비가 mr1 = 10 % 및 mr2 = 80 %에서 선택될 때 물질비 사이의 차이에 대해 계산된 값이다. 본원에서 사용된 계곡 보이드 부피(Vvv)에 대한 값은 달리 명시되지 않는 한 mr = 80 %에서의 값이다.
본원에서 사용되는 "파상도"는 간격이 조도보다 큰 요철에 관한 것이다. 이는 구리 호일(410)의 샘플과 같은 샘플을 도시하는 도 4를 참조하여 설명된다. 샘플(410)의 표면 프로파일은, 예를 들어 샘플링 방향(414)에서 샘플의 표면을 가로질러 프로파일링 기구의 기계적 스타일러스(412)를 드래그함으로써 프로브될 수 있다. 샘플링 방향(414)의 프로파일(418)이 도시되며, 이는 파상도 프로파일(420) 또는 조도 프로파일(422)로 분할될 수 있다. 파상도 프로파일의 파장(λWa)은 Ra 프로파일의 파장(λRa)보다 크다. 파상도 프로파일의 높이(hWa)가 도 4에서 조도 프로파일의 높이(hRa)보다 크게 도시되어 있지만, 이는 파상도와 조도의 구별에 필수적이지 않다. 즉, hWa와 hRa는 같을 수 있고, hWa는 hRa보다 클 수 있으며, 또는 hWa는 hRa보다 작을 수 있다. 필터(λc)를 프로파일(418)로 설정함으로써 파상도 프로파일(420) 및 조도 프로파일(422)을 구별할 수 있다. 고역 통과 신호는 조도 프로파일(422)로 볼 수 있고, 저역 통과 신호는 파상도 프로파일(420)로 볼 수 있다. 필터(λc)는 종종 JIS B 0601-2013 4.2.1을 기준으로 하여 0.8μm로 설정된다. 대안으로, 측정 방법 자체는 예를 들어 측정 프로브의 해상도 한계에 따라 파상도 또는 조도 프로파일만을 제공할 수 있다. "산술 평균 파상도"(Wa)는 본원에서 JIS B 0601-2013 4.2.1에 따라 정의된다.
"반사율"은 복사 에너지를 반사시키는 데 있어서 물질 표면의 효율을 나타내며, 백분율(반사율 %)과 같이 표면으로부터 반사되는 입사 전자기 전력의 분율로 표현될 수 있다. 일부 파장에서는 에너지가 특정 물질에 의해 반사되기보다는 흡수되기 때문에 반사율은 입사 방사선 파장 또는 에너지의 함수이다. 예를 들어, 구리는 200 nm 내지 650 nm의 파장을 갖는 광을 흡수하는 반면, 700 nm 파장에서 광을 반사시킨다. 또한, 입사 방사선의 파장에 가까운 표면의 특성이 방사선을 반사시키기보다는 산란시킬 수 있기 때문에 반사율은 표면 토포그래피의 함수이다. 따라서, 반사율은 표면을 특성화하고 정의할 수 있는 반사 표면의 측정 가능한 특성이다.
일부 실시양태에서, 표면처리된 구리 호일(100)은 표면처리면(110) 상의 Vv를 약 0.4 μm3/μm2 의 낮은 값과 약 2.2 μm3/μm2의 높은 값 사이와 같은 낮은 값과 높은 값 사이의 제어된 범위 내로 갖는다. Vv가 약 0.4 μm3/μm2 미만과 같이 너무 작은 경우, 전착된 구리 호일의 수지층에 대한 접착성은 약한 앵커 효과로 인해 불량하다. 즉, 물질이 표면에 잘 고정되지 않아 접착성이 불량하다. Vv가 약 2.2 μm3/μm2 초과와 같이 너무 크면, 전송 손실이 너무 높아진다.
0.4 내지 2.20 μm3/μm2의 범위 내의 Vv 값이 표면처리된 구리 호일(100)의 표면처리면(110)에 대해 기술되는 실시양태에서, 이들 범위는 연속적이고 다음과 같이 나타낼 수 있음을 명백히 이해해야 한다: 0.40, 0.41, 0.42, 0.43, 0.44, 0.45, 0.46, 0.47, 0.48, 0.49, 0.50, 0.51, 0.52, 0.53, 0.54, 0.55, 0.56, 0.57, 0.58, 0.59, 0.60, 0.61, 0.62, 0.63, 0.64, 0.65, 0.66, 0.67. 0.68, 0.69, 0.70, 0.71, 0.72, 0.73, 0.74, 0.75, 0.76, 0.77, 0.78, 0.79, 0.80, 0.81, 0.82, 0.83, 0.84, 0.85, 0.86, 0.87. 0.88, 0.89, 0.90, 0.91, 0.92, 0.93, 0.94, 0.95, 0.96, 0.97. 0.98, 0.99, 1.00, 1.01, 1.02, 1.03, 1.04, 1.05, 1.06, 1.07, 1.08, 1.09, 1.10, 1.11, 1.12, 1.13, 1.14, 1.15, 1.16, 1.17, 1.18, 1.19, 1.20, 1.21, 1.22, 1.23, 1.24, 1.25, 1.26, 1.27, 1.28, 1.29, 1.30, 1.31 1.32, 1.33, 1.34, 1.35, 1.36, 1.37, 1.38, 1.39, 1.40, 1.41, 1.42, 1.43, 1.44, 1.45, 1.46, 1.47, 1.48, 1.49, 1.50, 1.51, 1.52, 1.53, 1.54, 1.55, 1.56, 1.57. 1.58, 1.59, 1.60, 1.61, 1.62, 1.63, 1.64, 1.65, 1.66, 1.67, 1.68, 1.69, 1.70, 1.71, 1.72, 1.73, 1.74, 1.75, 1.76, 1.77. 1.78, 1.79, 1.80, 1.81, 1.82, 1.83, 1.84, 1.85, 1.86, 1.87, 1.88, 1.89, 1.90, 1.91, 1.92, 1.93, 1.94, 1.95, 1.96, 1.97, 1.98, 1.99, 2.00, 2.01, 2.02, 2.03, 2.04, 2.05, 2.06, 2.07, 2.08, 2.09, 2.10, 2.11, 2.12, 2.13, 2.14, 2.15, 2.16, 2.17, 2.18, 2.19 및 2.20 μm3/μm2(이들 각각의 값은 값 범위의 끝점을 나타낸다).
일부 실시양태에서, 표면처리된 구리 호일(100)의 표면처리면(110)에 대한 코어 보이드 값(Vvc)은 0.4 내지 2 μm3/μm2 의 범위 내에 있다. 이들 범위는 연속적이고 다음과 같이 나타낼 수 있음을 명백히 이해해야 한다: 0.40, 0.41, 0.42, 0.43, 0.44, 0.45, 0.46, 0.47, 0.48, 0.49, 0.50, 0.51, 0.52, 0.53, 0.54, 0.55, 0.56, 0.57, 0.58, 0.59, 0.60, 0.61, 0.62, 0.63, 0.64, 0.65, 0.66, 0.67. 0.68, 0.69, 0.70, 0.71, 0.72, 0.73, 0.74, 0.75, 0.76, 0.77, 0.78, 0.79, 0.80, 0.81, 0.82, 0.83, 0.84, 0.85, 0.86, 0.87. 0.88, 0.89, 0.90, 0.91, 0.92, 0.93, 0.94, 0.95, 0.96, 0.97. 0.98, 0.99, 1.00, 1.01, 1.02, 1.03, 1.04, 1.05, 1.06, 1.07, 1.08, 1.09, 1.10, 1.11, 1.12, 1.13, 1.14, 1.15, 1.16, 1.17, 1.18, 1.19, 1.20, 1.21, 1.22, 1.23, 1.24, 1.25, 1.26, 1.27, 1.28, 1.29, 1.30, 1.31 1.32, 1.33, 1.34, 1.35, 1.36, 1.37, 1.38, 1.39, 1.40, 1.41, 1.42, 1.43, 1.44, 1.45, 1.46, 1.47, 1.48, 1.49, 1.50, 1.51, 1.52, 1.53, 1.54, 1.55, 1.56, 1.57. 1.58, 1.59, 1.60, 1.61, 1.62, 1.63, 1.64, 1.65, 1.66, 1.67, 1.68, 1.69, 1.70, 1.71, 1.72, 1.73, 1.74, 1.75, 1.76, 1.77. 1.78, 1.79, 1.80, 1.81, 1.82, 1.83, 1.84, 1.85, 1.86, 1.87, 1.88, 1.89, 1.90, 1.91, 1.92, 1.93, 1.94, 1.95, 1.96, 1.97, 1.98, 1.99 및 2.00 μm3/μm2(이들 각각의 값은 값 범위의 끝점을 나타낸다).
일부 실시양태에서, 표면처리된 구리 호일(100)은 표면처리면(110)에 대한 계곡 보이드 용적(Vvv)이 0.01 내지 0.10 μm3/μm2의 범위이다. 이들 범위는 연속적이고 다음과 같이 나타낼 수 있음을 명백히 이해해야 한다: 0.01, 0.02, 0.03, 0.04, 0.05, 0.06, 0.07, 0.08, 0.09 및 0.10 μm3/μm2(이들 각각의 값은 값 범위의 끝점을 나타낸다).
일부 실시양태에서, 표면처리된 구리 호일(100)은 표면처리면(110)에 대한 Wa를 0.1 내지 0.4 μm의 범위와 같이 낮은 값과 높은 값 사이의 제어된 범위 내로 나타낸다. Wa가 약 0.4 μm 초과와 같이 너무 크면, 전송 손실이 너무 높아진다. 이들 범위는 연속적이고 다음과 같이 나타낼 수 있음을 명백히 이해해야 한다: 0.10, 0.11, 0.12, 0.13, 0.14, 0.15, 0.16, 0.17, 0.18, 0.19, 0.20, 0.21, 0.22, 0.23, 0.24, 0.25, 0.26, 0.27, 0.28, 0.29, 0.30, 0.31, 0.32, 0.33, 0.34, 0.35, 0.36, 0.37, 0.38, 0.39 및 0.40 μm(이들 각각의 값은 값 범위의 끝점을 나타낸다).
일부 실시양태에서, 표면처리된 구리 호일(100)은 표면처리면(110)에 대한 700 nm 파장에서의 반사율이 28% 내지 76%의 범위이다. 이들 범위는 연속적이고 다음과 같이 나타낼 수 있음을 명백히 이해해야 한다: 28, 29, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37 38, 39, 40, 41, 42, 43, 44, 45, 46, 47, 48, 49, 50, 51, 52, 53, 54, 55, 56, 57, 58, 59, 60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68, 69, 70, 71, 72, 73, 74, 75 및 76 %(이들 각각의 값은 값 범위의 끝점을 나타낸다).
일부 실시양태에서, 노듈 층(112)과 같은 노듈 층은 구리 노듈과 같은 금속 노듈을 포함할 수 있다. 노듈은, 예를 들면, 호일 위에 금속을 전기도금시킴으로써 형성될 수 있다. 일부 실시양태에서, 구리 노듈은 구리 또는 구리 합금으로 구성될 수 있다. 일부 실시양태에서, 노듈 층은 약 1μm 초과의 두께를 가질 수 있다. 일부 실시양태에서, 장벽층, 변색방지층 및 커플링층의 두께의 합은 약 0.1 μm 미만이다. 일부 실시양태에서, 노듈 층은 구리 노듈 상의 구리 침착과 같이 금속 노듈 상의 금속 커버링을 포함한다. 예를 들면, 금속 커버링은 금속 노듈의 박리 방지를 도울 수 있다.
본원에서 사용되는 "장벽층"은 금속 또는 금속을 함유하는 합금으로 구성되는 층이다. 일부 실시양태에서, 장벽층(114)과 같은 장벽층은 아연(Zn), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 바나듐(V), 철(Fe), 주석(Sn) 및 이들의 조합으로부터 선택된 적어도 하나의 금속으로 구성된다. 일부 실시양태에서, 장벽층은 Ni를 포함한다. 일부 실시양태에서, 장벽층은 Zn을 포함한다. 일부 실시양태에서, 장벽층은 Ni 층 및 Zn 층을 포함한다.
변색방지층(116)과 같은, 본원에서 사용되는"변색방지층"은 금속에 도포된 코팅으로서 상기 코팅된 금속을 부식으로 인한 분해와 같은 분해로부터 보호할 수 있다. 일부 실시양태에서, 변색방지층은 금속 또는 유기 화합물을 포함한다. 예를 들면, 크롬 또는 크롬 합금은 전착된 구리 호일 상의 금속 코팅으로서 사용될 수 있다. 변색방지층이 크롬 합금으로 구성되는 경우, 이는 아연(Zn), 니켈(Ni), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo) 및 바나듐(V) 중의 임의의 하나 이상을 추가로 함유한다. 변색방지층이 유기물로 구성되는 일부 실시양태에서, 상기 층은 트리아졸, 티아졸 및 이미다졸 또는 이들의 유도체로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 구성원을 포함할 수 있다. 트리아졸 그룹은 오르토트리아졸(1,2,3-트리아졸), 벤조트리아졸, 톨릴트리아졸, 카복시벤조트리아졸, 염소 치환된 벤조트리아졸, 3-아미노-1,2,4-트리아졸, 2-아미노-1,3,4-트리아졸, 4-아미노-1,2,4-트리아졸, 1-아미노-1,3,4-트리아졸, 및 이들의 이성체 또는 이들의 유도체를 포함하지만 이로 제한되지 않는다. 티아졸 그룹은 티아졸, 2-머캅토벤조티아졸, 디벤조티아질디설파이드, 및 이들의 이성체 또는 이들의 유도체를 포함하지만 이로 제한되지 않는다. 이미다졸 그룹은 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 1-벤질-2-메틸이미다졸, 및 이들의 이성체 또는 이들의 유도체를 포함하지만 이로 제한되지 않는다.
커플링층(118)과 같은, 본원에서 사용되는 "커플링층"은 구리 호일과 수지층, 예를 들면, 회로 기판의 제조에 사용되는 수지층 사이의 결합을 개선시키기 위해 추가되는 층이다. 일부 실시양태에서, 이는 규소 및 산소를 포함하는 층을 제공하는 실란 처리에 의해 제공된다. 실란은 아미노계 실란, 에폭시계 실란 및 머캅토계 실란이 예시될 수 있지만, 이로 제한되지 않는다. 실란은 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 2-(3,4-에폭시사이클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필 메틸디메톡시실란, 3-글리시독시프로필 트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필 메틸디에톡시실란, 3-글리시독시프로필 트리에톡시실란, p-스티릴트리메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필 메틸디메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필 트리메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필 메틸디에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필 트리에톡시실란, 3-아크릴옥시프로필 트리메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-트리에톡시실릴-N-(1,3-디메틸-부틸리덴)프로필아민의 부분 가수분해물, N-(비닐벤질)-2-아미노에틸-3-아미노프로필트리메톡시실란 하이드로클로라이드, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란, 트리스-(트리메톡시실릴프로필)이소시아누레이트, 3-우레이도프로필트리알콕시실란, 3-머캅토프로필메틸디메톡시실란, 3-머캅토프로필트리메톡시실란, 및 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란으로부터 선택될 수 있지만, 이로 제한되지 않는다.
일부 실시양태에서, 처리층(108)의 서브층과 같은 서브층은 노듈 층(112)을 장벽층(114)으로 덮고 장벽층(114)을 변색방지층(116)으로 덮으며 변색방지층(116)을 커플링층(118)으로 덮도록 제공되지만; 다른 실시양태에 따라 서브층의 스태킹 순서(stacking order) 또는 개수는 여기서 제한되지 않는다. 도 1에 도시된 실시양태에서, 표면처리면(110)의 최종 물리적 표면은 커플링층(118)으로 제공되지만, 이는 이후 라미네이트 구조에서 수지층에 커플링될 수 있다. 일부 실시양태에서, Vv, Vvc 및 Vvv와 같은, 표면처리면(110)의 표면 조도는 노듈 층(112)에 의해 지배되는데, 그 이유는 임의로 조합된 장벽층(114), 변색방지층(116) 및 커플링층(118)이 노듈 층(112)보다 훨씬 더 얇을 수 있기 때문이다.
일부 실시양태에서, 표면처리된 구리 호일(예를 들면, 100)과 수지층은 조합하여 적층 구조물을 형성한다. 상기 구조물은 구리 호일과 수지층이 교대하는 둘 이상의 층을 포함할 수 있다. 이들은, 예를 들면, 적어도 하나는 표면처리된 구리 호일(100)인 구리 호일과 수지층의 교호 시트를 스태킹하고 상기 스택을 가열하면서 프레스를 사용하여 상기 스택을 함께 압축시켜 형성한다. 일부 실시양태에서, 수지층은 표면처리된 구리 호일(100)의 표면처리면(110)과 접촉한다. 예를 들면, 적어도 하나는 표면처리된 구리 호일(100)인 3개 이상의 도전성 층이 수지층과 교대하는 경우, 라미네이트는 다중층 PCB(인쇄 회로 기판)를 제조하는 데 사용될 수 있는 다중층 구조이다.
본원에서 사용되는 "수지"는 표면처리된 구리 호일과 같은 기판 상에 시트 또는 층으로서 형성될 수 있는 유기 중합체 물질에 관한 것이다. 수지의 일부 예는 페놀 수지, 에폭시 수지, 폴리에스테르 수지(예를 들면, 폴리에틸렌 테레프탈레이트), 폴리이미드 수지, 아크릴, 포름알데히드 수지, 비스말레이미드 트리아진 수지, 시아네이트 에스테르 수지, 플루오로중합체, 폴리 에테르 설폰, 셀룰로스성 열가소성 물질, 폴리카보네이트, 폴리올레핀, 폴리프로필렌, 폴리설파이드 및 폴리우레탄을 포함한다. 수지는 또한 충전제 물질 또는 아라미드, 탄소, 유리, 셀룰로스 및 무기 물질과 같은 강화 물질을 포함할 수 있으며, 이들 모두는 임의로 입자, 섬유, 절단 섬유(chopped fiber), 직물 또는 웨빙(webbing)의 형태이다. 일부 실시양태에서, 수지는 복합 시트에서 하나 이상의 수지 및 하나 이상의 충전제 물질을 사용하여 시트로 형성된다. 일부 실시양태에서, 하나 이상의 수지층은 서로의 위에 직접 접촉하여 스태킹되어 때로는 다중 기판으로 지칭되는 멀티-스택 수지층을 제공한다. 본원에서 사용되는 수지층은 다중 기판과 같은 멀티-스택 수지층으로 지칭할 수 있다.
일부 실시양태에서, 표면처리된 구리 호일(100)은 회로 기판(예를 들면, 인쇄 회로 기판 또는 PCB)을 제조하는 데 사용된다. 예를 들어, 회로 기판은 구리 호일 및 수지층의 라미네이트를 사용하여 형성한다. 도전(conduction) 라인 또는 트랙, 접촉 패드, 차폐 영역 및 도전 비아(via)의 제조와 같은 추가 처리는 리소그래피, 구리 에칭, 및 구리 호일/수지 라미네이트의 드릴링과 같은 공지된 처리 방법에 의해 달성될 수 있다. 배터리, 저항기, LED, 릴레이, 트랜지스터, 커패시터, 인덕터, 다이오드, 스위치, 마이크로 컨트롤러, 크리스탈 및 오실레이터와 같은 부품, 및 집적 회로는 공지된 방법에 의해 회로 기판에 탑재(예를 들어, 기계적으로 및 전기적으로 연결)될 수 있다. 예를 들어, 부품을 부착하고 조립을 위한 기술을 선택하고 배치하는 표면 탑재 방법 또는 구멍-관통 방법이다.
일부 실시양태에서, 표면처리된 구리 호일(100)은 디바이스에서 사용되는 회로 기판 상에 탑재된 복수의 부품을 포함하는 회로 기판을 제조하는 데 사용될 수 있다. 본원에서 사용되는 디바이스는 신호의 전압, 전류, 주파수 또는 전력의 조작에 의해 전기 신호를 처리하기 위한 임의의 아이템 또는 부품을 포함한다. 예를 들어, 랩탑, 데스크탑, 차량에서 사용되는 컴퓨터, 전화기, 측정 및 모니터링 장치(예 : 포도당 측정기, pH 측정기, 공기 모니터링 장치), 데이터 출력 장치(예 : 모니터, 프린터), 입력 장치(터치 스크린, 키보드, 마우스), 및 와이-파이, 지그비(Zigbee) 및 블루투스와 같은 무선 송신/수신 디바이스가 있지만, 이로 제한되지 않는다.
본 개시의 범위 내에서, 상기 언급된 기술적 특징 및 (실시예와 같이) 하기 언급된 기술적 특징이 자유롭게 상호 조합되어 새롭거나 바람직한 기술적 해결책을 형성할 수 있음이 이해되어야 하지만, 이는 간결성을 위해 생략된다.
실시예
구리 호일 제조
드럼 버프.
전착된 구리 호일을 제조하기 위한 시스템은 금속 캐소드 드럼 및 불용성 금속 애노드를 포함한다. 금속 캐소드 드럼은 회전 가능하며 연마된 표면을 갖는다. 이러한 시스템에서, 불용성 금속 애노드는 금속 캐소드 드럼의 대략 하반부에 배치되고 금속 캐소드 드럼을 둘러싼다. 전착된 구리 호일은 금속 캐소드 드럼과 불용성 금속 애노드 사이에 황산구리 전해액을 흐르게 하고, 이들 사이에 전류를 인가하여 금속 캐소드 드럼으로 구리 이온을 끌어 당겨 환원시켜 금속 캐소드 드럼 상에 구리를 전착시킴으로써 전착된 구리 호일을 형성하고, 소정의 두께가 얻어지면 상기 전착된 구리 호일을 금속 캐소드 드럼으로부터 떼어냄으로써 연속식 전착을 사용하여 제조된다.
산 용액에 함침시키기 때문에, 티타늄 드럼의 표면은 점차 부식(산화)되어 표면이 고르지 않거나 열악하게 되어, 생성되는 구리 호일의 표면 특성에 영향을 미칠 수 있다. 그러므로, 티타늄 드럼의 표면을 연마하는 것은 조도와 같은 구리 호일 특성을 제어하는 효과적인 방법이다. 연마는 구리 호일의 드럼면 상의 표면 특성을 개질하는데 효과적일 수 있다. 따라서, 드럼 상에 구리가 전착되기 전에, 드럼 자체가 회전함에 따라 회전하여 드럼과 접촉하는 원통형 버프를 사용하여 드럼을 연마한다. 조건이 변하여 드럼 상에 상이한 표면 마감을 제공할 수 있으며, 이와 동시에 전착된 구리 호일 상에, 특히 드럼면에 상이한 표면 마감을 제공한다. 일부 예시적인 조건은 드럼 속도 3m/분 원주 속도, 버프 # 500, # 1000, # 1500, # 2000 및 # 2500(버프 공급원: Nippon Tokushu Kento Co., Ltd.) 및 버프 속도 150 내지 450m/min 원주 속도이다. 드럼과 원통형 버프의 회전은 접촉 지점에서의 접선 방향 벡터가 동일한 방향이 되도록 커플링된다. 예를 들어, 드럼이 반시계 방향으로 회전하면, 원통형 버프는 시계 방향으로 회전하고, 드럼이 시계 방향으로 회전하면 원통형 버프는 반시계 방향으로 회전한다. 하기 표 1은 예시적인 조건을 나타낸다.
전착된 구리 호일 제조.
구리 와이어를 황산 수용액(50 중량%)에 용해시켜 320 g/L의 황산구리(CuSO4·5H2O) 및 100 g/L의 황산을 함유하는 황산구리 전해액을 제조하였다. 염산(RCI Labscan Ltd로부터 입수)을 첨가하여 황산구리 전해액에 20 mg/L의 클로라이드 이온 농도를 제공하였다. 0.35 mg/L의 젤라틴(SV, Nippi Company)이 또한 첨가되었다 .
버핑 단계 및 구리 함유 전해질의 제조 후, 전착된 구리 호일을 전착에 의해 제조하였다. 전착 동안, 황산구리 전해액의 액체 온도는 약 50 ℃로 유지되었고, 전류 밀도는 약 70 A/dm2로 유지되었다. 두께가 약 35 μm인 전착된 구리 호일을 제조하였다.
표면처리.
조면화 처리를 위한 제1 단계에서, 상기 개략한 바와 같이 전착된 구리 호일을 제조한 후, 전착된 구리 호일을 산 용액을 사용하여 세정한다. 130 g/L의 황산구리 및 50 g/L의 황산을 함유하는 전해질로 용기를 채우고 상기 용액에 대해 약 27 ℃의 온도를 유지하는 산 세척 용기를 이러한 과정에서 사용하였다. 전착된 구리 호일을 산 세척 용기로 보내어, 표면 상의 오일, 지방 및 산화물을 제거하기 위해 전해질에 30 초 동안 침지시켰다. 이어서, 전착된 구리 호일을 물로 세정하였다.
이어서, 전착된 구리 호일의 드럼면의 표면에 전기도금에 의해 노듈 층을 형성하였다. 노듈 층을 도금하기 위해, 황산구리 70g/L, 황산 100 g/L, 텅스텐산나트륨(Na2WO4) 250 mg/L, 황산철(FeSO4) 2000 mg/L, 및 사카린(1,1-디옥소-1,2- 벤조티아 졸-3-온, 제조원: Sigma-Aldrich Company) 10 mg/L을 함유하는 황산구리 용액을 도금 전해질로서 사용하였다. 도 1에 도시한 바와 같이, 다른 첨가제 농도가 사용될 수 있다. 황산구리 용액의 온도를 약 25 ℃로 유지하고, 전착된 구리 호일을 10 A/dm2의 전류 밀도로 10 초 동안 전기 도금하였다. 처리 후, 처리된 구리 호일을 건조시키고 롤에 감았다.
노듈 층의 박리를 방지하기 위해, 구리 커버링이 노듈 상에 침착되었다. 이러한 커버링 공정에서, 황산구리 및 황산의 농도가 각각 320 g/L 및 100 g/L인 황산구리 용액을 사용하였다. 전해액의 온도는 약 40 ℃로 유지되었고 전류 밀도는 10 초 동안 15A/dm2로 설정되었다.
피복 도금 공정을 완료한 후, 2 개의 장벽층이 도포되었다. 먼저, 노듈 층의 표면에 니켈을 침착시켰다. 전해 조건은 다음과 같았다: 188 g/L의 황산니켈, 32 g/L의 붕산, 4 g/L의 차아인산, 온도 20 ℃, pH 3.5. 전류 밀도는 3 초 동안 0.7 A/dm2로 설정되었다. 둘째, 아연층은 니켈층 위에 침착되고, 이와 동시에 전착된 구리 호일의 침착면 위에도 침착되었다. 전해 조건은 다음과 같았다: 11 g/L의 황산아연, 0.25 g/L의 바나듐산암모늄, pH 13 및 온도 15 ℃. 전류 밀도는 2 초 동안 0.5 A/dm2로 설정되었다.
장벽층을 형성한 후, 물로 세척을 수행하고, 도금 욕에서 전기 도금함으로써 크롬 변색방지층을 아연층 위에 형성하였다. 5 g/L의 크롬산을 함유하는 도금 욕을 pH 12.5 및 온도 35 ℃에서 유지시켰다. 5 초 동안 10 A/dm2의 전류 밀도로 도금을 수행하여 크롬층을 형성하였다.
최종적으로, 드럼면에서 크롬층 위에 커플링층을 형성하였다. 실란 용액을 10 초 동안 크롬층 위에 분무한다. 실란 용액은 0.25 중량%의 3-아미노프로필트리에톡시실란을 함유하는 수용액이다.
실란 처리 후, 호일을 오븐에서 1분 체류 시간 동안 120℃에서 가열한 다음, 롤에 감았다.
구리 호일 특성화
상술한 바와 같이 제조되고 특정 조건을 갖는 구리 호일을 표 1에 나타내었다. 다양한 조건을 갖는 11개의 실시예 및 8개의 비교 실시예가 표에 열거되어 표면처리된 구리 호일의 일부 실시양태를 예시한다.
Figure 112020016594573-pat00001
시험 방법
산술 평균 파상도(Wa)
산술 평균 파상도(Wa)는 JIS B 0601-2013 4.2.1에 따라 정의된다. 조도 측정 기구(Kosaka Laboratory Ltd; SE 600 시리즈)를 사용하여 측정하였다. 스타일러스의 팁 직경은 2 μm이며 팁의 원추 각도는 90 °이다.
표면처리면에서 Wa를 측정하였다. 평가 길이는 7.5 mm이고, 등고선은 fh(λc) = 0.8 mm, fl (λf) = 2.5 mm에서 필터링 제거되었다.
조도(R z )
Rz는 JIS B 0601-1994에 따라 정의되었다.
I. 접촉 방법.
Wa 측정에 사용된 것과 동일한 표면 조도 측정 기구 및 스타일러스를 사용하여 표면처리면의 프로파일을 검측하였다. 평가 길이는 4.0 mm이고, 등고선은 fh (λc) = 0.8 mm로 필터링 제거되었다.
II. 비-접촉 방법.
레이저 현미경의 표면 텍스쳐(surface texture) 분석(제조원: Olympus, LEXT OLS5000-SAF)을 사용하여 표면처리면의 프로파일을 검측하였다. 시험 조건은 다음과 같다.
광원: 405 nm 파장
대물 렌즈: 100x (MPLAPON-100xLEXT)
광학 줌: 1.0x
평가 길이: 4.0 mm
해상도: 1024 픽셀×1024 픽셀
조건: 자동 틸트 제거
필터: 필터링되지 않음
반사율
반사율은 코니카 미놀타(Konica minolta) 휴대용 분광광도계 CM-2500c를 사용한 측정값이었다. 표면처리된 구리 호일의 처리면의 반사율은 700 nm 파장의 광을 사용하여 측정되었다. 발광체는 D65이고 디스플레이는 SPECT GRAPH이다.
부피 파라미터
표 1에서 10%의 물질비에서 보이드 부피(Vv) 값은 ISO 25178-2 (2012)에 따른 절차에 의해 실시예 및 비교 실시예에 대해 구하였다. 표면 텍스처 분석은 레이저 현미경의 이미지로 수행되었다. 레이저 현미경은 올림푸스(Olympus)에 의해 제조된 LEXT OLS5000-SAF이었고, 이미지는 24±3 ℃의 공기 온도 및 63 ± 3 %의 상대 습도에서 만들어졌다. 필터 설정은 필터링되지 않음으로 설정되었다. 광원은 405 nm 파장 광원이었다. 대물 렌즈는 100 x 배율(MPLAPON-100xLEXT)이였다. 광학 줌이 1.0x로 설정되었다. 이미지 면적은 129 μm x 129 μm로 설정되었다. 해상도는 1024 픽셀 x 1024 픽셀로 설정되었다. 조건이 자동 틸트 제거(auto tilt removal)로 설정되었다.
표 1에 열거된 바와 같이 코어 보이드 부피 (Vvc)의 값은 10 % 내지 80 %의 물질비로 계산된다. 표 1에 열거된 계곡 보이드 부피(Vvv)의 값은 80 %의 물질비로 계산된다. 보이드 부피의 단위는 μm³/μm2이다. mr = 10 %의 보이드 부피(Vv)는 이러한 코어 보이드 부피(Vvc)와 계곡 보이드 부피(Vvv)의 합이다.
박리 강도
6 개의 시판 수지 시트 (두께 0.076mm, SyTech Corporation로부터의 S7439G)를 함께 스태킹하고 구리 호일을 그 위에 놓았다. 구리 호일 및 수지 시트를 2 개의 편평한 플레이트(스테인리스 강판) 사이에 두었다. 구리 호일 및 수지 시트를 2개의 편평한 플레이트(스테인리스 강판) 사이에 두었다. 상기 스택을 200 ℃의 온도 및 400psi의 압력 하에서 120 분 동안 열간 프레스하여 구리 호일 및 수지층의 라미네이트를 형성하였다.
박리 강도는 구리 호일로부터 수직 방향 (90 ° 박리 방향)으로 수지층을 박리함으로써 JIS C 6471을 기준으로 하여 측정하였다.
전송 손실
스트립-라인을 사용하여 전송 특성을 평가하였다. 구리 호일을 수지에 부착하여 추가로 스트립 라인으로 제조하고, 이 스트립 라인을 소스 전극으로 사용하였다. 수지의 두께(SyTech Corporation으로부터의 S7439G)는 152.4 μm이고, IPC-TM 650 No. 2.5.5.5에 의한 10 GHz 신호 시험 하에서 Dk = 3.74이고 Df = 0.006이었다. 스트립 라인은 길이 = 100 mm, 폭 = 120 μm, 및 두께 = 35 μm이었다.
스트립 라인을 제조한 후, 2개의 표면을 2개의 다른 수지(Sytech Corporation으로부터의 S7439G)로 각각 덮고, 2개의 다른 구리 호일을 접지 전극으로서 수지 위에 배치하였다. 이 어셈블리는 커버레이 필름이 없었고 약 50Ω의 특성 임피던스를 갖는다. 스트립 라인과 접지 전극에 의해 전달된 신호를 비교하여 전송 손실을 제공한다.
스트립 라인 및 접지 전극의 측정은 Agilent PNA N5230C 네트워크 분석기를 사용하여 수행되었다. 사용된 주파수 범위는 200 MHz 내지 15 GHz이고, 스위프 수(sweep number)는 6401 포인트이며, 보정은 TRL이고, 시험 방법은 Cisco S 방법이었다.
본원에서 사용된 용어 "포함하는" 또는 "포함하다"는 청구된 발명에 필수적인 조성물, 방법, 및 이들의 각각의 구성 요소(들)를 참조하여 사용되지만, 필수적 이건 아니건간에 지정되지 않은 요소를 포함하는 것에 개방적이다
본 명세서 및 첨부된 청구범위에 사용된 바와 같이, 단수 형태(원문의 "a", "an" 및 "the")는 문맥상 명백하게 다르게 지시되지 않는 한 복수의 언급을 포함한다. 따라서, 예를 들어, "방법"에 대한 언급은 본원에서 기술되고/되거나 본 개시 등을 읽을 때 당업자에게 명백할 타입의 하나 이상의 방법 및/또는 단계 등을 포함한다. 유사하게는, 용어 "또는"은 문맥상 명백하게 달리 나타내지 않는 한 "및"을 포함하는 것으로 의도된다.
작용 실시예 이외의, 또는 달리 지시된 경우에, 본원에 사용된 성분 또는 반응 조건의 양을 나타내는 모든 수는 모든 경우에 용어 "약"에 의해 수정된 것으로 이해되어야 한다. 용어 "약"은 언급되는 값의 ±5 %(예를 들어, ±4 %, ±3 %, ±2 %, ±1 %)를 의미할 수 있다.
값의 범위가 제공되는 경우, 상기 범위의 상한 및 하한 사이에 포함되는 각 수치는 본원에 개시된 바와 같이 고려된다. 본원에 인용된 임의의 수치 범위는 그 안에 포함된 모든 하위 범위를 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "1 내지 10"의 범위는 언급된 최소값 1 및 언급된 최대 값 10 사이에 포함되는, 즉 최소값이 1 이상이고 최대 값이 10 이하인 모든 하위 범위를 포함하는 것을 의도한다. 개시된 수치 범위는 연속적이기 때문에, 이들은 최소값과 최대 값 사이의 모든 값을 포함한다. 달리 명시하지 않는 한, 본 출원에 명시된 다양한 수치 범위는 근사치이다.
본 명세서에서 달리 정의되지 않는 한, 본 출원과 관련하여 사용된 과학 용어 및 기술 용어는 당업자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가질 것이다. 또한, 문맥상 달리 요구되지 않는 한, 단수 용어는 복수를 포함하고 복수 용어는 단수를 포함해야 한다.
본 개시는 본원에 기술된 특정 방법론, 프로토콜 및 시약 등에 제한되지 않으며 이와 같이 다양할 수 있음을 이해해야 한다. 본원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시양태를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 개시의 범위를 한정하려는 의도가 없으며, 이는 청구범위에 의해서만 한정된다.
본원에 개시된 ASTM, JIS 방법을 포함하는 임의의 특허, 특허 출원 및 공보는, 예를 들어, 본 개시와 관련하여 사용될 수 있는 이러한 공보에 기재된 방법론을 기술하고 개시할 목적으로 본원에 명백하게 참조로 인용된다. 이들 공보는 오직 본 출원의 출원일 이전의 이들의 개시에 대해서만 제공된다. 이와 관련하여 어떠한 것도 본 발명자들이 선행 개시에 의해 또는 임의의 다른 이유로 이러한 개시에 선행할 자격이 없다는 것을 인정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 이 문서의 내용에 대한 날짜 또는 표현에 대한 모든 진술은 출원인이 이용할 수 있는 정보를 기반으로 하며 이 문서의 날짜 또는 내용의 정확성에 대한 인정을 의미하지 않는다.

Claims (14)

  1. 드럼면(drum side) 및 침착면(deposition side)을 포함하는 전착된 구리 호일(electrodeposited copper foil); 및
    드럼면 위에 놓여 표면처리면을 제공하는 처리층을 포함하는 표면처리된 구리 호일로서,
    처리층이 노듈 층(nodule layer)을 포함하고, 표면처리면이 0.4 내지 2.2 μm3/μm2의 범위 내의 보이드 부피(void volume)(Vv) 및 0.1 내지 0.4 μm 범위 내의 산술 평균 파상도(arithmetic mean waviness)(Wa)를 나타내는, 표면처리된 구리 호일.
  2. 제1항에 있어서, 표면처리면이 0.4 내지 2 μm3/μm2의 범위 내의 코어 보이드 부피(Vvc)를 나타내는, 표면처리된 구리 호일.
  3. 제1항에 있어서, 표면처리면이 0.01 내지 0.1 μm3/μm2의 범위 내의 계곡 보이드 부피(dale void volume)(Vvv)를 나타내는, 표면처리된 구리 호일.
  4. 제1항에 있어서, 표면처리면이 28 % 내지 76 %의 범위 내의 700 nm 파장에서의 반사율을 나타내는, 표면처리된 구리 호일.
  5. 제1항에 있어서, 표면처리면이 40 % 초과의 700 nm 파장에서의 반사율을 나타내는, 표면처리된 구리 호일.
  6. 제5항에 있어서, 표면처리면이 40 % 내지 70 %의 범위 내의 700 nm 파장에서의 반사율을 나타내는, 표면처리된 구리 호일.
  7. 제1항에 있어서, 처리층이 장벽층, 변색방지층(anti-tarnish layer) 및 커플링층 중의 적어도 하나를 추가로 포함하는, 표면처리된 구리 호일.
  8. 제7항에 있어서, 장벽층이 금속 또는 금속을 함유하는 합금으로 구성되고, 금속은 Ni, Zn, Cr, Co, Mo, Fe, Sn, 및 V 중의 적어도 하나로부터 선택되는, 표면처리된 구리 호일.
  9. 제7항에 있어서, 커플링층(coupling layer)이 규소를 포함하는, 표면처리된 구리 호일.
  10. 제1항에 있어서, 노듈 층이 구리 노듈을 포함하는, 표면처리된 구리 호일.
  11. 수지층; 및
    표면처리된 구리 호일을 포함하는 라미네이트(laminate)로서, 표면처리된 구리 호일이
    드럼면 및 침착면을 포함하는 전착된 구리 호일,
    드럼면 위에 놓여 수지층과 접촉하는 표면처리면을 제공하는 처리층을 포함하고, 처리층이 노듈 층을 포함하며,
    표면처리면이 0.4 내지 2.2 μm3/μm2의 범위 내의 보이드 부피(Vv), 0.1 내지 0.4 μm의 범위 내의 산술 평균 파상도(Wa), 0.4 내지 2 μm3/μm2의 범위 내의 코어 보이드 부피(Vvc), 0.01 내지 0.1 μm3/μm2의 범위 내의 계곡 보이드 부피(Vvv), 및 40 % 내지 70 %의 범위 내의 700 nm 파장에서의 표면 반사율을 나타내는, 라미네이트.
  12. 제1항의 표면처리된 구리 호일을 포함하는 회로 기판 및 상기 회로 기판 위에 탑재된 복수의 부품을 포함하는 디바이스(device)로서,
    복수의 부품 중의 적어도 제1 부품 및 제2 부품이 회로 기판의 표면처리된 구리 호일을 통해 서로 전기적으로 연결되는, 디바이스.
  13. 드럼면 및 침착면을 포함하는 전착된 구리 호일; 및
    드럼면 위에 놓여 표면처리면을 제공하는 처리층을 포함하는 표면처리된 구리 호일로서,
    처리층이 노듈 층을 포함하고, 표면처리면이 0.4 내지 2.2 μm3/μm2의 범위 내의 보이드 부피(Vv), 0.1 내지 0.4 μm 범위 내의 산술 평균 파상도(Wa)를 나타내며,
    노듈 층이 구리 노듈을 포함하고, 처리층이 장벽층, 변색방지층 및 커플링층 중의 적어도 하나를 추가로 포함하는, 표면처리된 구리 호일.
  14. 삭제
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